JP7443347B2 - プラズマにより反射される電気出力を判定する装置及び方法 - Google Patents
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Claims (21)
- プラズマ(P)により反射される電気出力を判定する装置(100;100a;100b)であって、第1の周波数(f1)を有する第1の高周波出力信号(LS1)と、少なくとも1つの第2の周波数(f2)を有する少なくとも1つの第2の高周波出力信号(LS2)とを前記プラズマ(P)に印加可能であり、前記第2の周波数(f2)は前記第1の周波数(f1)よりも低く、
前記第1の周波数(f1)の領域で前記プラズマ(P)により反射される出力を特徴づける第1の量(G1)を判定(500)し、
第1の周波数領域で前記プラズマ(P)により反射される出力を特徴づける第2の量(G2)を判定(502)し、ここで、前記第1の周波数領域は、前記第1の周波数(f1)と、前記第2の周波数(f2)の整数倍との設定可能な数の周波数和(fs_1、fs_2、fs_3)及び/又は周波数差(fd_1、fd_2、fd_3)を有し、かつ前記第1の周波数(f1)の領域を含んでおらず、
前記第1の周波数(f1)で前記プラズマ(P)により反射される出力と前記第1の周波数領域でプラズマ(P)により反射される出力との間で区別をするように構成され、
制御のために前記第1の量(G1)と前記第2の量(G2)とがゼロに等しくないそれぞれ相違する重みづけ係数をもって制御に取り込まれる、高周波発生器(200;400;400a)を制御するための装置(100;100a;100b)。 - 前記周波数和(fs_1、fs_2、fs_3)は式fs_n=f1+n*f2に依存して判定可能であり、且つ/又は前記周波数差(fd_1、fd_2、fd_3)は式fd_n=f1-n*f2に依存して判定可能であり、ここでfs_nはn番目の周波数和であり、f1は第1の周波数(f1)であり、nはゼロよりも大きい自然数であり、「*」は乗算演算子であり、f2は第2の周波数(f2)であり、fd_nはn番目の周波数差である、請求項1に記載の装置(100;100a;100b)。
- 前記第1の周波数(f1)は約10MHz~約190MHzである、請求項1又は2に記載の装置(100;100a;100b)。
- 前記第2の周波数(f2)は約10kHz~約2.3MHzである、請求項1~3の何れか1項に記載の装置(100;100a;100b)。
- 前記装置(100;100a;100b)は、第1の高周波出力信号(LS1)を提供する第1の高周波発生器(200;400)へと前記プラズマ(P)により反射される電圧波(Ur)を特徴づける第1の信号(s1)に依存して前記第1の量(G1)及び/又は前記第2の量(G2)を判定するために構成される、請求項1~4の何れか1項に記載の装置(100;100a;100b)。
- 前記装置(100;100a;100b)は、前記第1の信号(s1)又はこれから導き出される信号(s1′s1″)を第2の信号(s2)への下方変換によって変換するために構成され、前記第2の信号(s2)はベースバンド信号である、請求項5に記載の装置(100;100a;100b)。
- 前記装置(100;100a;100b)は、前記第2の信号(s2)を得るために、前記第1の信号(s1)又はこれから導き出される信号(s1′s1″)を局部発振器信号(LO)と混合するために構成される、請求項6に記載の装置(100;100a;100b)。
- 前記装置(100;100a;100b)は、第1の限界周波数を有する少なくとも1つの第1のローパスフィルタリングによって前記第2の信号(s2)から第3の信号(s3)を導き出すために構成され、前記装置(100;100a;100b)は前記第3の信号(s3)に依存して前記第1の量(G1)を判定するために構成される、請求項6又は請求項7に記載の装置(100;100a;100b)。
- 前記第1の限界周波数は前記第2の周波数(f2)よりも低いか、又はこれにほぼ等しく、好ましくは前記第2の周波数(f2)よりも低い、請求項8に記載の装置(100;100a;100b)。
- 前記装置(100;100a;100b)は、第2の限界周波数を有する第2のローパスフィルタリングによって前記第2の信号(s2)から第4の信号(s4)を導き出すために構成され、前記装置(100;100a;100b)は前記第4の信号(s4)と前記第1の量(G1)とに依存して前記第2の量(G2)を判定するために構成された、請求項6~9の何れか1項に記載の装置(100;100a;100b)。
- 前記装置(100;100a;100b)は、a)前記第1の量(G1)と前記第2の量(G2)の和として、及び/又はb)第4の信号(s4)に依存して、第3の量(G3)を判定(510)するために構成された、請求項1~10の何れか1項に記載の装置(100;100a;100b)。
- 前記装置(100;100a;100b)は、前記第1の量(G1)と前記第3の量(G3)とに依存して、前記第1の量(G1)と前記第3の量(G3)との重みづけされた和として、第4の量(G4)を判定するために構成され、前記第1の量(G1)に第1の重みづけ係数(a)が割り当てられ、前記第3の量(G3)に第2の重みづけ係数(b)が割り当てられる、請求項11に記載の装置(100;100a;100b)。
- 前記装置(100;100a;100b)は前記プラズマ(P)のインピーダンスを判定するために構成され、前記プラズマ(P)のインピーダンスの時間的推移を判定するために構成される、請求項1~12の何れか1項に記載の装置(100;100a;100b)。
- 前記装置(100;100a;100b)は、第4の量(G4)及び/又は第5の量(G5)を前記プラズマ(P)のインピーダンスに追加的に依存して判定するために構成される、請求項12又は請求項13に記載の装置(100;100a;100b)。
- 前記装置(100;100a;100b)は、次の各量、前記第1の量(G1)、前記第2の量(G2)、第3の量(G3)、第4の量(G4)、第5の量(G5)のうち少なくとも1つを外部のユニット(200;400;400a)に出力(520)し、及び/又は表示装置(110;1040)を通じて出力(520)するために構成される、請求項1~14の何れか1項に記載の装置(100;100a;100b)。
- プラズマ(P)により反射される電気出力を判定する装置(100;100a;100b)を作動させる方法において、第1の周波数(f1)を有する第1の高周波出力信号(LS1)と、少なくとも1つの第2の周波数(f2)を有する少なくとも1つの第2の高周波出力信号(LS2)とを前記プラズマ(P)に印加可能であり、前記第2の周波数(f2)は前記第1の周波数(f1)よりも低く、
前記装置(100;100a;100b)は、
前記第1の周波数(f1)の領域で前記プラズマ(P)により反射される出力を特徴づける第1の量(G1)を判定(500)し、
第1の周波数領域でプラズマ(P)により反射される出力を特徴づける第2の量(G2)を判定(502)し、ここで、前記第1の周波数領域は、前記第1の周波数(f1)と、前記第2の周波数(f2)の整数倍との設定可能な数の周波数和(fs_1、fs_2、fs_3)及び/又は周波数差(fd_1、fd_2、fd_3)を有し、かつ前記第1の周波数(f1)の領域を含んでおらず、
前記第1の周波数(f1)で前記プラズマ(P)により反射される出力と前記第1の周波数領域で前記プラズマ(P)により反射される出力との間で区別をすることができ、
制御のために前記第1の量(G1)と前記第2の量(G2)とがゼロに等しくないそれぞれ相違する重みづけ係数をもって制御に取り込まれる、高周波発生器(200;400;400a)を制御するための方法。 - 請求項1~請求項15の何れか1項に記載の少なくとも1つの装置(100;100a;100b)を有し、第1の周波数(f1)を有する少なくとも1つの第1の高周波出力信号(LS1)を生成するための高周波発生器(200;400;400a)。
- 前記高周波発生器(200;400;400a)は、次の各量、前記第1の量(G1)、前記第2の量(G2)、第3の量(G3)、第4の量(G4)、第5の量(G5)のうち少なくとも2つに依存して第1の制御器(402)によって前記第1の高周波出力信号(LS1)の生成を制御するために構成される、請求項17に記載の高周波発生器(200;400;400a)。
- 前記高周波発生器(200;400;400a)は次の各量、前記第1の量(G1)、前記第2の量(G2)、前記第3の量(G3)、前記第4の量(G4)、前記第5の量(G5)のうち少なくとも1つについて第1の制御チャネルを有し、次の各量、前記第1の量(G1)、前記第2の量(G2)、前記第3の量(G3)、前記第4の量(G4)、前記第5の量(G5)のうち少なくとも1つの別の量について第2の制御チャネルを有する、請求項18に記載の高周波発生器(200;400;400a)。
- 前記第1の量(G1)と前記第2の量(G2)とを表示装置及び/又は機械可読のインターフェースへ両方の前記量(G1、G2)の区別可能な表示及び/又は処理のために伝送するための、請求項1から請求項15のうち少なくとも1項に記載の装置(100;100a;100b)及び/又は請求項16に記載の方法の利用法。
- 制御のために前記第1の量(G1)と前記第2の量(G2)とがそれぞれ相違する重みづけ係数をもって、前記第1の量(G1)が前記第2の量(G2)よりも数値的に大きい重みづけ係数をもって、制御に取り込まれる、インピーダンス整合装置を、整合ネットワーク(220)を制御するための、請求項1から請求項15のうち少なくとも1項に記載の装置(100;100a;100b)及び/又は請求項16、請求項20に記載の方法の利用法。
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