JP7436050B2 - 多段ルーツ式真空ポンプ - Google Patents
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Description
本発明はかかる点に鑑み、少ないスペースで設置できるコンパクトな形態の多段ルーツ式真空ポンプを提供することを目的とする。
ケーシングを、吸込口を設けたアッパケーシングと吐出口を設けたロアケーシングから成り、両ケーシングを合体した2分割構造とし、
両ケーシングの接合面にシールボンドを塗布し、
余剰のシールボンドが流体通路に侵入するのを防止するため接合面に開口する流体通路の開口端面を溝で囲ったことを特徴とする。
ハウジングにシャフトを回転可能に支持するベアリングを組み込み、
シャフトに被せたシャフトスリーブに第1オイルシールと第2オイルシールが装着され、両オイルシールで中間室を区画形成し、
ハウジングから突出するシャフトの端部に組み付けたタイミングギヤを覆うとともに、タイミングギヤとベアリングへ給油される潤滑油の貯留部を内部に設けたギヤカバーをハウジングに組み付け、
中間室の内部に、初段のロータ室に隣接する第1オイルシールとベアリングに隣接する第2オイルシールを、カラーを介してシャフトに装着して中間室を軸封する。
中間室65にはハウジング12のドレンを排出するハウジングドレン口73と、不活性ガス又は大気の導入口74が設けられている。
11…ケーシング
12…ハウジング
13…ギヤカバー
14…駆動モータ
15…アッパケーシング
16…ロアケーシング
17,18,19,20,21…ロータ室
22…シャフト
23、24、25、26、27…ルーツロータ
28、29,30,31,32…吸込口
33、34,35,36,37…吐出口
38,39,40,41…流体通路
42…水冷ジャケット
43…冷却気体導入通路
44…バイパス管
45…逆止弁
46,47,48、49…ドレン口
50、51,52、53…均圧口
54、55,56,57…管路
58…接合面
59、60,61,62…溝
63…シャフトスリーブ
65…中間室
66…ベアリング
67…タイミングギヤ
68…潤滑油
70…第1オイルシール
71…第2オイルシール
73…ハウジングドレン口
74…不活性ガス又は大気の導入口
Claims (8)
- ケーシングに複数段のロータ室を設けて各ロータ室にルーツロータを回転可能に組み付け、一のロータ室の吐出口と次段のロータ室の吸込口を流体通路で連通し、流体通路を通して初段のロータ室から順次、最終段のロータ室へ流体を吸引し、各段のロータ室で流体を圧縮する多段ルーツ式真空ポンプであって、
ケーシングを、吸込口を設けたアッパケーシングと吐出口を設けたロアケーシングから成り、両ケーシングを合体した2分割構造とし、
両ケーシングの接合面にシールボンドを塗布し、
余剰のシールボンドが流体通路に侵入するのを防止するため接合面に開口する流体通路の開口端面を溝で囲ったことを特徴とする多段ルーツ式真空ポンプ。 - ロータ室の外周部を形成するケーシングの部位に流体通路を形成したことを特徴とする請求項1に記載の多段ルーツ式真空ポンプ。
- 流体通路に隣接するように水冷ジャケットを設け、水冷ジャケットに貯えた冷却水で流体通路を通過する圧縮流体を冷却するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の多段ルーツ式真空ポンプ。
- 最終段のロータ室に冷却用気体を導入する冷却気体導入通路を設けたことを特徴とする請求項1に記載の多段ルーツ式真空ポンプ。
- 中間段のロータ室の外周部に設けた流体通路と最終段のロータ室の吐出口をバイパス管で接続するとともに、バイパス管に逆止弁を設け、ポンプ内圧が所定圧力を超えたとき逆止弁を開いて中間段のロータ室の圧力流体の一部が最終段の吐出口で合流するようにしたことを特徴とする請求項1に記載の多段ルーツ式真空ポンプ。
- ケーシングにおける各段のロータ室の下部にドレン口を設け、上部に均圧口を設け、ドレン口と均圧口を配管接続し、各段のロータ室の下部と上部の間を均圧状態にしたことを特徴とする請求項1に記載の多段ルーツ式真空ポンプ。
- ケーシングにルーツロータのシャフトが貫通するハウジングを組み付け、
ハウジングにシャフトを回転可能に支持するベアリングを組み込み、
シャフトに被せたシャフトスリーブに第1オイルシールと第2オイルシールが装着され、両オイルシールで中間室を区画形成し、
ハウジングから突出するシャフトの端部に組み付けたタイミングギヤを覆うとともに、タイミングギヤとベアリングへ給油される潤滑油の貯留部を内部に設けたギヤカバーをハウジングに組み付け、
中間室の内部に、初段のロータ室に隣接する第1オイルシールとベアリングに隣接する第2オイルシールを、カラーを介してシャフトに装着して中間室を軸封したことを特徴とする請求項1に記載の多段ルーツ式真空ポンプ。 - 中間室にハウジングのドレンを排出するハウジングドレン口と、不活性ガス又は大気の導入口を設けたことを特徴とする請求項7に記載の多段ルーツ式真空ポンプ。
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Family Applications (1)
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JP2021203004A Active JP7436050B2 (ja) | 2021-12-15 | 2021-12-15 | 多段ルーツ式真空ポンプ |
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