JP7435187B2 - 定量液供給装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体を一定流量で連続的に供給することのできる定量液供給装置に関する。

一定の流量で液体を供給する定量液供給装置は、例えば、部分めっき装置などで有用となることがある。従来、電子部品などにおいて、必要な一部の箇所のみにめっきを施す場合がある。例えば、電極端子部品などでは、接点となる箇所のみにＡｕの部分めっきを施すことで、めっきに使用するＡｕ量を減らしてコスト削減に寄与することができる。

このような部分めっき装置では、電解液供給手段によって所定量の電解液を被めっき物のめっき領域に供給するものがある。このとき、電解液供給手段による供給量（電解液の流量）に変動が生じると、めっき領域の範囲が安定せず、所望のめっき領域のみに高精度に部分めっきを施すことが困難になる。

特開２０１３－１４６２２１号公報

液体供給をポンプによって行う場合、流量センサなどで流量を監視しながらフィードバック制御でポンプ回転数などを調整し、流量を一定にする制御を行うことが考えられる。しかしながら、ポンプのフィードバック制御では、フィードバック制御の応答遅れによって流量変動が起きやすいといった問題がある。また、ポンプから供給される液体において、ポンプの脈動による液圧変動が生じるといった問題もある。このような流量変動や液圧変動は、高機能なポンプや制御システムを用いることで低減できるとも考えられるが、その場合は、当然ながらコスト上昇の問題が発生する。

定量液供給装置としては、めっき用のものではないが、水耕栽培システムにおける養液供給用の定量液供給装置が、特許文献１に開示されている。特許文献１における定量液供給装置は、センサによって所定量の養液を検出したときに、送液に用いるエアポンプの駆動を停止するものである。すなわち、特許文献１における定量液供給装置は、エアポンプの駆動および停止制御によって養液の供給量を制御するものであるため、エアポンプの駆動および停止に伴って流量変動が生じることは避けられない。

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、流量変動の無い定量液供給装置を提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために、本発明の定量液供給装置は、液体を一定流量で連続的に供給する定量液供給装置であって、液流入口を介して外部から流入する液体が流れ込むと共に、底部に液供給口を有する第１室と、平面視で前記第１室と隣接するように配置され、底部に液排出口を有する第２室とを有し、前記第１室と前記第２室との間には流量制御用隔壁が設けられ、かつ、前記第１室および前記第２室の上部は空間で連通していることを特徴としている。

上記の構成によれば、ポンプなどによって外部から流入する液体は、液流入口を介して第１室に流れ込み、第１室の液供給口から他装置などに供給することができる。このとき、第１室に流れ込む液体の流量が所定流量以上であれば、第１室における液面は流量制御用隔壁の高さに到達し、過剰な液体は流量制御用隔壁を越えて第２室側へオーバーフローする。これにより、第１室においては、液面高さおよび液供給口の流路面積を固定した状態で、液供給口からの流量変動の無い液供給を行うことができる。

また、上記定量液供給装置は、平面視で前記第１室と隣接するように配置され、前記液流入口を有する第３室を有し、前記第１室と前記第３室との間には補助隔壁が設けられ、かつ、前記第１室および前記第３室の上部は空間で連通している構成とすることができる。

上記の構成によれば、液流入口から流入する液体は、直接第１室には流れこまず、第３室から補助隔壁を越えて第１室へ流れ込む。これにより、液流入口への液供給にポンプを用いる場合、液供給口から外部に供給される液体において、ポンプの脈動による液圧変動などが発生することを防止できる。

また、上記定量液供給装置は、前記流量制御用隔壁の高さを調整可能である構成とすることができる。

上記の構成によれば、流量制御用隔壁の高さを調整することで、液供給口の流量を調整することができる。

また、上記定量液供給装置は、前記液供給口における流路面積を調整可能である構成とすることができる。

上記の構成によれば、液供給口における流路面積を調整することで、液供給口の流量を調整することができる。

本発明の定量液供給装置は、第１室から第２室へのオーバーフローを発生させることにより、第１室においては、液面高さおよび液供給口の流路面積を固定した状態で、液供給口からの流量変動の無い液供給を行うことができるといった効果を奏する。

本発明の一実施形態を示すものであり、めっきシステムの主要部となる電解液供給装置および部分めっき装置の外観を示す正面図である。 電解液供給装置の縦断面図である。 電解液供給装置の変形例を示す部分縦断面図である。 電解液供給装置の他の変形例を示す部分縦断面図である。 部分めっき装置の斜視図である。 部分めっき装置の縦断面図である。 部分めっき装置における被めっき物の搬送形態を示す斜視図である。 被めっき物の形状例を示すものであり、被めっき物の拡大斜視図である。 部分めっき装置におけるめっき実施箇所の拡大斜視図である。 部分めっき装置におけるめっき実施箇所の拡大断面図である。 電解液吸引装置として使用されるエジェクタの縦断面図である。 めっきシステムの一例を示す概略図である。

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。以下の説明では、本発明に係る定量液供給装置を、部分めっきを行うめっきシステムの電解液供給装置として使用する場合を例示する。但し、本発明に係る定量液供給装置は、めっきシステムの電解液供給装置に限定されるものではなく、他の用途にも使用できる。すなわち、液体を一定流量で連続的に供給し、かつ、流量変動の発生を抑えたい場合には、本発明の定量液供給装置が好適に使用できる。

まずは、本発明が適用されるめっきシステム１０（詳細は後述）における主要部の構成を説明する。図１は、めっきシステム１０の主要部となる電解液供給装置（定量液供給装置）２０および部分めっき装置３０の外観を示す正面図である。

めっきシステム１０は、電解液供給装置２０および部分めっき装置３０を備えている。電解液供給装置２０は、部分めっき装置３０に対して、一定量の電解液を連続的に供給する装置である。部分めっき装置３０は、電解液循環機能および被めっき物搬送機能を有している。すなわち、部分めっき装置３０は、電解液供給装置２０から供給された電解液を所定の電解液循環路に沿って循環させる。さらに、部分めっき装置３０は、被めっき物Ｐ（図８参照）の一部（めっき領域）を電解液循環路に露出させながら搬送することで、被めっき物Ｐに対して部分めっきを施す。以下、電解液供給装置２０および部分めっき装置３０のそれぞれについて、詳細に説明する。

〔電解液供給装置２０〕
図２は、電解液供給装置２０の縦断面図である。電解液供給装置２０は、それぞれが鉛直方向に延設された流入室（第３室）２１、供給室（第１室）２２および排出室（第２室）２３を有している。

流入室２１は、ポンプ５０（図１２参照）と接続される液流入口２１１を有している。すなわち、流入室２１には、ポンプ５０によって送られてくる電解液が液流入口２１１から流入する。尚、図２では、液流入口２１１は流入室２１の底面に設けられているが、液流入口２１１は流入室２１の側面に設けられていてもよい。

供給室２２は、平面視で流入室２１および排出室２３と隣接するように配置されており、供給室２２と流入室２１との間には第１隔壁（補助隔壁）２４が設けられ、供給室２２および流入室２１の上部は空間で連通している。また、供給室２２と排出室２３との間には第２隔壁（流量制御用隔壁）２５が設けられ、供給室２２および排出室２３の上部は空間で連通している。供給室２２の底面には、部分めっき装置３０へ電解液を供給するための液供給口２２１が設けられている。但し、液供給口２２１は、供給室２２の底面ではなく、供給室２２の底部付近の側面において（例えば、液供給口２２１の下端が供給室２２の底面と同じ高さになるように）設けられていてもよい。排出室２３の底面には、電解液供給装置２０に対して過剰に供給された電解液を排出するための液排出口２３１が設けられている。また、電解液供給装置２０の上面には、電解液の蒸発を防ぐための蓋２６が被せられる。

電解液供給装置２０において、ポンプ５０によって流入室２１へ送られてくる電解液は、第１隔壁２４を越えて供給室２２へ流れ込む。このとき、ポンプ５０によって流入室２１へ送られてくる電解液の流量が所定流量以上であれば、供給室２２における液面は第２隔壁２５の高さに到達し、過剰な電解液は第２隔壁２５を越えて排出室２３側へオーバーフローする。そして、電解液供給装置２０は、供給室２２における液面が第２隔壁２５の高さに維持されている限り、液供給口２２１から一定量の電解液を連続的に供給することができる。すなわち、供給室２２における液面高さをｈ（ｍ）、液供給口２２１における流路面積をＡ（ｍ²）とするとき、液供給口２２１から供給される電解液の流量Ｑ（ｍ³／ｓ）は、以下の（１）式で表される。尚、（１）式において、ｇは重力加速度（９．８ｍ／ｓ²）であり、Ｃは、電解液の密度や粘度などによって決定される流量係数である。

電解液供給装置２０では、ポンプ５０による電解液の供給流量が、供給室２２における液面が第２隔壁２５の高さに維持されている状態での流量Ｑよりも大きければ、流量Ｑを一定量に維持することができる。このとき、ポンプ５０供給における過剰な電解液は、供給室２２から第２隔壁２５を越えて排出室２３側へオーバーフローするため、供給室２２における液面高さは第２隔壁２５の高さに維持される。排出室２３側へオーバーフローした電解液は、液排出口２３１から電解液供給装置２０の外部に排出される。液排出口２３１から排出された電解液は、例えば管理槽５２（図１２参照）に送られ、管理槽５２からポンプ５０によって再び流入室２１へ送られるように循環させることができる。

尚、電解液供給装置２０において、流入室２１の底面位置は、供給室２２の底面位置に比べて十分に高い位置とされていることが好ましい。これは、流入室２１の容積を小さくし、電解液供給装置２０において電解液が過剰に溜められないようにするためである。また、図２において、排出室２３の底面位置は供給室２２の底面位置と同じ高さとされているが、これらは同じ高さでなくともよい。

上述したように、電解液供給装置２０では、供給室２２における液面高さｈ、および液供給口２２１の流路面積Ａを固定することで、流量Ｑを一定に制御することができる。また、液面高さｈ、または流路面積Ａを可変とすることで、流量Ｑを調整することも可能である。流路面積Ａについては、例えば、液供給口２２１に流量調整弁を取り付け、流量調整弁の開度を変更することで容易に調整できる。

液面高さｈについては、第２隔壁２５の高さを変更することで調整することができる。第２隔壁２５の高さの変更は、例えば、第２隔壁２５を電解液供給装置２０に対して着脱可能とし、電解液供給装置２０に装着する第２隔壁２５の交換によって高さを変更する構成とすることができる。

あるいは、図３に示すように、第２隔壁２５を、複数の隔壁板２５１を高さ方向に積み重ねて構成するものとし、使用する隔壁板２５１の枚数を変更することで、第２隔壁２５の高さを変更する構成とすることができる。この場合、液面高さｈの変更範囲を大きくすることが容易となる。

あるいは、図４に示すように、第２隔壁２５の一部を、高さ方向にスライド可能な可動壁２５２とし、この可動壁２５２をスライド移動させることで、第２隔壁２５の高さを変更する構成とすることができる。この場合、液面高さｈを無段階で変更することもできる（液面高さｈの微調整が行える）。

電解液供給装置２０による電解液の流量制御は、流量センサなどを用いてのフィードバック制御を必要としない。このため、フィードバック制御による応答遅れは発生せず、流量Ｑの流量変動を無くすことができる。また、ポンプ５０によって供給される電解液は、流入室２１から第１隔壁２４を越えて供給室２２へ流れ込んだ後、供給室２２の液供給口２２１から供給される。このため、液供給口２２１から供給される電解液において、ポンプ５０による液圧の脈動などが発生することも防止できる。

〔部分めっき装置３０〕
図５は、部分めっき装置３０の斜視図である。図６は、部分めっき装置３０の縦断面図である。

部分めっき装置３０は、大略的には、電解液循環構造体３１と、被めっき物搬送構造体３２とを備えて構成されている。図６では、電解液循環構造体３１を右上がり斜線のハッチングで示し、被めっき物搬送構造体３２を右下がり斜線のハッチングで示している。

電解液循環構造体３１は、電解液流入口３１１および電解液流出口３１２を有していると共に、電解液流入口３１１と電解液流出口３１２との間を繋ぐ電解液循環路をその内部に有している。この電解液循環路は、電解液導入路３１３、電解液拡散路３１４、電解液収縮路３１５、および電解液排出路３１６によって構成されている。

電解液流入口３１１は、部分めっき装置３０の上面に設けられており、電解液供給装置２０の液供給口２２１と接続される。これにより、部分めっき装置３０は、電解液供給装置２０から一定量の電解液を連続的に供給されるようになっている。電解液流出口３１２は、部分めっき装置３０の下部に設けられており、電解液循環路を循環した後の電解液は、電解液流出口３１２から部分めっき装置３０の外部に排出される。

電解液循環構造体３１は平面視で略円形形状であり、電解液導入路３１３は、電解液循環構造体３１の中心部において鉛直方向に沿って設けられている。電解液拡散路３１４は、電解液導入路３１３の下端部から、水平方向に沿って放射状に拡がるように形成されている。すなわち、電解液拡散路３１４は、平面視では、電解液循環構造体３１の中心から外周縁に向かって中心角が約１８０度の扇形状に拡がるように形成されている。

電解液収縮路３１５は、電解液拡散路３１４で放射状に拡げられた電解液循環路を、電解液循環構造体３１の外周縁から中心に向かって収縮させる。すなわち、電解液収縮路３１５は、平面視において、電解液拡散路３１４と重なるように中心角が約１８０度の扇形状に形成されている。尚、図６では、図の右側領域において、電解液拡散路３１４および電解液収縮路３１５が設けられている。電解液排出路３１６は、電解液収縮路３１５の下流側端部（電解液循環構造体３１の中心側端部）と接続されており、鉛直方向に沿って延びた後、水平方向に折れ、電解液循環構造体３１の側面に電解液流出口３１２を設けている。

また、電解液拡散路３１４と電解液収縮路３１５とは、電解液循環構造体３１の外周縁付近で、水平方向から見てＵ字形状に電解液循環路を反転させるようにして接続されている。すなわち、電解液循環路は、電解液循環構造体３１の外周縁付近で円弧状に形成されている。そして、電解液循環路の反転箇所（円弧状箇所）においては、円周方向に沿って延び、電解液循環構造体３１の外部に開放されるスリット状の窓部３１７が、電解液循環路の外周側に形成されている。詳細は後述するが、部分めっき装置３０における被めっき物Ｐは、窓部３１７を介して部分的に電解液と接触し、部分めっきが施されるようになっている。

被めっき物搬送構造体３２は、電解液循環構造体３１の上部（詳細には、電解液拡散路３１４および電解液収縮路３１５の上部）に重ねて配置され、電解液循環構造体３１の中心軸を回転軸として回転できるようになっている。被めっき物搬送構造体３２は、その回転によって、部分めっき装置３０における被めっき物Ｐを、電解液循環構造体３１の窓部３１７に沿って搬送することができる。すなわち、被めっき物Ｐは、窓部３１７に沿って搬送される間に部分めっきが施される。

より具体的には、図７に示すように、部分めっき装置３０においては、電解液循環構造体３１の窓部３１７の周囲において、連続配置された（多数の個片が搬送方向に連続的に繋がった）被めっき物Ｐが搬送されてくる。被めっき物搬送構造体３２は、その回転により連続配置された被めっき物Ｐに搬送力を与えることで、被めっき物Ｐを搬送する。連続配置された被めっき物Ｐは、めっきが施された後に各個片に分離される。尚、連続配置された被めっき物Ｐへの搬送力は、連続配置された被めっき物Ｐに直接搬送力を与えてもよく、あるいは、搬送ベルトなどを介して被めっき物Ｐに搬送力を与えてもよい。

続いて、部分めっき装置３０による被めっき物Ｐのめっき方法について、図８ないし図１０を参照して詳細に説明する。図８は、被めっき物Ｐの形状例を示すものであり、被めっき物Ｐの拡大斜視図である。図９は、部分めっき装置３０におけるめっき実施箇所の拡大斜視図である。図１０は、部分めっき装置３０におけるめっき実施箇所の拡大断面図である。尚、説明の便宜上、図９および図１０では搬送ベルト４０については図示を省略しており、図９では１つの被めっき物Ｐのみを例示して図示している。

被めっき物Ｐでは、図８中に示す領域ａ１が、部分めっきの施されるめっき領域となる。ここでは、被めっき物Ｐにおいて、領域ａ１のある面を被めっき物Ｐの表面として、領域ａ１のある面と反対側の面を被めっき物Ｐの裏面とする。被めっき物Ｐは、図９に示すように、部分めっき装置３０のめっき実施箇所に配置されるとき、被めっき物Ｐの表面が部分めっき装置３０側に向けられ、領域ａ１が電解液循環構造体３１の窓部３１７に対向する。このとき、被めっき物Ｐの領域ａ１（表面）は窓部３１７を介して電解液と接触するが、領域ａ１の裏面、および表面と裏面とを繋ぐ側面は電解液に接触しない。このため、部分めっき装置３０は、被めっき物Ｐの表面となる１面のみにめっきを施すことができる。

めっき実施箇所に配置される被めっき物Ｐでは、領域ａ１だけでなく、図８中に示す領域ａ２も窓部３１７に対向する。但し、被めっき物Ｐの領域ａ２は、領域ａ１に比べ、電解液循環路に対して半径方向に離れて配置される。そのため、部分めっき装置３０による電解液の流量などが適切に制御されていれば、領域ａ２に電解液が触れることを抑制でき、領域ａ１のみに部分めっきを施すことが可能となる。また、被めっき物Ｐの表面において、領域ａ１および領域ａ２以外の領域は、電解液循環構造体３１の外側面に接触し、窓部３１７には対向していないため、電解液に接触することはなく、めっきが施されることもない。

部分めっき装置３０におけるめっき実施箇所では、図１０の上部図面に示すように、電解液循環路を挟んで窓部３１７と対向する部材に＋（プラス）電位が与えられ、アノード電極とされている。一方、被めっき物Ｐには－（マイナス）電位が与えられ、被めっき物Ｐはカソード電極とされている。これにより、被めっき物Ｐは、電解めっき法によって短時間で効率的にめっきが施される。また、被めっき物Ｐが窓部３１７に沿って搬送されている間、アノード・カソード間の距離は一定であり、被めっき物Ｐに対して安定した膜厚のめっき膜を形成することができる。

さらに、図１０の下部図面に示すように、窓部３１７における上側エッジ（電解液の流れ方向における上流側のエッジ）では、電解液循環路と接する側の面（被めっき物Ｐとの接触面に対し反対側の面）における角部３１８が、角Ｒ（コーナーアール）を有するように形成されている。このように、角部３１８に角Ｒを設けることにより、窓部３１７付近を流れる電解液が、角部３１８の角Ｒで発生するコアンダ効果（粘性流体の噴流が近くの壁に引き寄せられる効果）によって被めっき物Ｐ側に引き込まれ、被めっき物Ｐに対して確実にめっきを施す（電解液を確実に被めっき物Ｐに接触させる）ことができるようになる。言い換えれば、角部３１８に角Ｒが設けられていなければ、電解液を確実に被めっき物Ｐに接触させることができず、被めっき物Ｐの領域ａ１にめっきが施されない場合が起こり得る。

また、被めっき物Ｐに対して良好な部分めっきを施すためには、電解液を被めっき物Ｐの領域ａ１のみに接触させ、他の部分には接触させないようにすることが重要である。例えば、電解液が窓部３１７を介して被めっき物Ｐの領域ａ２に接触したり、電解液が被めっき物Ｐの領域ａ１から被めっき物Ｐの側面や裏面に回り込んだりした場合には、被めっき物Ｐに対して不要なめっきが発生する。被めっき物Ｐに対して不要なめっきが多く発生すると、被めっき物Ｐにおけるめっき金属（例えばＡｕ）の使用量が増加し、部分めっきによるコスト削減の効果が低下する。

部分めっき装置３０では、電解液循環路の一部に円弧状箇所を有しており、窓部３１７は円弧状箇所の外周側に設けられている。このため、窓部３１７を通過した後の電解液は、被めっき物Ｐの表面から法線方向において離れるように流れることになり、電解液が被めっき物Ｐの領域ａ１から被めっき物Ｐの側面や裏面に回り込みにくくなる。これにより、被めっき物Ｐに対する不要なめっきを抑制することができる。

さらに、被めっき物Ｐに対する不要なめっきを抑制するには、窓部３１７の下流側（すなわち電解液収縮路３１５）において、電解液の吸引力を発生させることが有効である。電解液収縮路３１５に電解液の吸引力を発生させれば、電解液が被めっき物Ｐの領域ａ２に接触したり、電解液が被めっき物Ｐの側面や裏面に回り込むことを、より効果的に抑制することができる。

電解液収縮路３１５に電解液の吸引力を発生させるためには、電解液循環構造体３１の電解液流出口３１２に電解液吸引装置３３を接続する構成が考えられる。無論、電解液吸引装置３３については、部分めっき装置３０の一部と見なすことも可能である。電解液吸引装置３３には、例えば図１１に示すような、汎用型のエジェクタが使用可能である。図１１のエジェクタを電解液吸引装置３３に使用する場合、エジェクタのポートＰｏ２を電解液流出口３１２に接続し、ポートＰｏ１からポートＰｏ３に電解液を流すことで、ポートＰｏ２に負圧が発生し、電解液排出路３１６を介して電解液収縮路３１５に吸引力を与えることができる。この吸引力は、ポートＰｏ１－Ｐｏ３に流す電解液の流量を変更することで調節可能である（Ａ－Ｃ流量を増加させると、吸引力も増加する）。また、図１０の上部図面に示すように、窓部３１７と対向してアノード電極となる部材は、水平方向から見て円弧状（Ｕ字形状）に形成されているため、この部分でも窓部３１７を通過した電解液にコアンダ効果を発生させ、電解液収縮路３１５における電解液の吸引を補助することができる。

部分めっき装置３０では、供給される電解液の流量、および電解液吸引装置３３による吸引力を適切に調整することで、被めっき物Ｐに対して良好な部分めっきを施すことが可能となる。尚、電解液の流量が少なかったり、吸引力が強すぎたりする場合には、電解液が被めっき物Ｐの領域ａ１に接触せず、必要な部分めっきの施されない被めっき物Ｐが発生しやすくなる。また、電解液の流量が多かったり、吸引力が弱すぎたりする場合には、電解液が被めっき物Ｐの不要な領域にまで接触し（場合によっては、電解液が窓部３１７から噴出し）、不要な部分めっきの施された被めっき物Ｐが発生しやすくなる。

〔めっきシステム１０〕
図１２は、本実施の形態に係るめっきシステム１０の一例を示す概略図である。めっきシステム１０は、上述した電解液供給装置２０、部分めっき装置３０、および電解液吸引装置３３以外に、ポンプ５０，５１および管理槽５２を備えている。

図１２に示すように、電解液供給装置２０の液流入口２１１は、ポンプ５０を介して管理槽５２と接続されている。これにより、液流入口２１１には、ポンプ５０によって管理槽５２から電解液が供給される。電解液供給装置２０の液排出口２３１は管理槽５２と接続されており、液排出口２３１から排出された電解液は管理槽５２に戻される。

電解液吸引装置３３は、ポートＰｏ２が電解液流出口３１２に接続され、ポートＰｏ１およびポートＰｏ３が管理槽５２に接続される。また、ポンプ５１は、管理槽５２とポートＰｏ１との間（もしくは管理槽５２とポートＰｏ３との間）に配置され、ポートＰｏ１からポートＰｏ３に電解液を流すことができる。すなわち、電解液吸引装置３３では、ポートＰｏ１およびポートＰｏ２から流入する電解液が、共にポートＰｏ３から流出し、管理槽５２に戻される。

今回開示した実施形態は全ての点で例示であって、限定的な解釈の根拠となるものではない。したがって、本発明の技術的範囲は、上記した実施形態のみによって解釈されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて画定される。また、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内での全ての変更が含まれる。

１０ めっきシステム
２０ 電解液供給装置（定量液供給装置）
２１ 流入室（第３室）
２１１ 液流入口
２２ 供給室（第１室）
２２１ 液供給口
２３ 排出室（第２室）
２３１ 液排出口
２４ 第１隔壁（補助隔壁）
２５ 第２隔壁（流量制御用隔壁）
２５１ 隔壁板
２５２ 可動壁
３０ 部分めっき装置
３１ 電解液循環構造体
３１１ 電解液流入口
３１２ 電解液流出口
３１３ 電解液導入路
３１４ 電解液拡散路
３１５ 電解液収縮路
３１６ 電解液排出路
３１７ 窓部
３１８ 角部
３２ 被めっき物搬送構造体
３３ 電解液吸引装置
４０ 搬送ベルト
５０，５１ ポンプ
５２ 管理槽
Ｐ 被めっき物

Claims (4)

1. 液体を一定流量で連続的に供給する定量液供給装置であって、
   液流入口を介して外部から流入する液体が流れ込むと共に、底部に液供給口を有する第１室と、
   平面視で前記第１室と隣接するように配置され、底部に液排出口を有する第２室とを有し、
   前記第１室と前記第２室との間には流量制御用隔壁が設けられ、かつ、前記第１室および前記第２室の上部が連通しており、
   前記流量制御用隔壁は複数の隔壁板を高さ方向に積み重ねて構成されており、前記隔壁板の枚数を変更することで前記流量制御用隔壁の高さを調整可能である
   ことを特徴とする定量液供給装置。
2. 液体を一定流量で連続的に供給する定量液供給装置であって、
   液流入口を介して外部から流入する液体が流れ込むと共に、底部に液供給口を有する第１室と、
   平面視で前記第１室と隣接するように配置され、底部に液排出口を有する第２室とを有し、
   前記第１室と前記第２室との間には流量制御用隔壁が設けられ、かつ、前記第１室および前記第２室の上部が連通しており、
   前記流量制御用隔壁の一部が高さ方向にスライド可能な可動壁とされており、前記可動壁をスライド移動させることで前記流量制御用隔壁の高さを調整可能であることを特徴とする定量液供給装置。
3. 請求項１または２に記載の定量液供給装置であって、
   平面視で前記第１室と隣接するように配置され、前記液流入口を有する第３室を有し、
   前記第１室と前記第３室との間には補助隔壁が設けられ、かつ、前記第１室および前記第３室の上部が連通していることを特徴とする定量液供給装置。
4. 請求項１から３の何れか１項に記載の定量液供給装置であって、
   前記液供給口における流路面積を調整可能であることを特徴とする定量液供給装置。

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