JP7434843B2 - 光導波路素子、光変調器、光変調モジュール、及び光送信装置 - Google Patents
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Description
本発明の他の態様によると、前記電極の前記多層構造においては、前記基板に最も近い前記金属層である最下層を除く前記金属層の少なくとも一つが、前記最下層より厚く構成されている。
本発明の他の態様によると、前記樹脂層は、前記光導波路の導波方向に沿った長さが、隣接する前記金属層の、前記光導波路の導波方向に沿った長さより長くなるように形成されている。
本発明の他の態様によると、前記樹脂層は、前記隣接する前記金属層が形成されていない部分の、前記光導波路の導波方向に沿った長さが、前記光導波路を伝搬する光の波長より長く構成されている。
本発明の他の態様によると、前記樹脂層に隣接する前記金属層は、前記光導波路の導波方向に沿った長さが、当該金属層に隣接する他の前記金属層の、前記光導波路の導波方向に沿った長さに等しいか又は長くなるように形成されている。
本発明の他の態様によると、前記樹脂層に隣接する前記金属層は、前記他の金属層が形成されていない部分の、前記光導波路の導波方向に沿った長さが、前記光導波路を伝搬する光の波長より長く構成されている。
本発明の他の態様によると、前記樹脂層は、前記光導波路の導波方向に沿った両端部において、当該導波方向に直交する方向の幅が、前記光導波路の幅以下であって且つ前記交差部から離れるに従ってより狭く形成されている。
本発明の他の態様によると、前記樹脂層は、その厚さが、前記光導波路の導波方向に沿った両端部において、前記交差部から離れるに従ってより薄く形成されている。
本発明の他の態様によると、前記多層構造を構成する前記金属層のうち、最も上部に形成された前記金属層を除く少なくとも一つの前記金属層に、スリットが形成されている。
本発明の他の態様によると、前記樹脂層は、少なくとも2つの前記交差部にまたがって形成されている。
本発明の他の態様は、光の変調を行う光変調素子である上記いずれかの光導波路素子と、前記光導波路素子を収容する筺体と、前記光導波路素子に光を入力する光ファイバと、前記光導波路素子が出力する光を前記筺体の外部へ導く第2の光ファイバと、を備える光変調器である。
本発明の他の態様は、光の変調を行う光変調素子である上記いずれかの光導波路素子と、前記光導波路素子を駆動する駆動回路と、を備える光変調モジュールである。
本発明のさらに他の態様は、前記光変調器または前記光変調モジュールと、前記光導波路素子に変調動作を行わせるための電気信号を生成する電子回路と、を備える光送信装置である。
[第1の実施形態]
図1は、本発明の第1の実施形態に係る光導波路素子である光変調素子104を用いた光変調器100の構成を示す図である。光変調器100は、筺体102と、当該筺体102内に収容された光変調素子104と、中継基板106と、を有する。光変調素子104は、例えば、DP-QPSK変調器である。筺体102は、最終的にはその開口部に板体であるカバー(不図示)が固定されて、その内部が気密封止される。
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。本実施形態は、第1の実施形態に係る光変調器100が備える光変調素子104を用いた光変調モジュール1500である。図15は、本実施形態に係る光変調モジュール1500の構成を示す図である。図15において、図1に示す第1の実施形態に係る光変調器100と同一の構成要素については、図1に示す符号と同じ符号を用いて示すものとし、上述した図1についての説明を援用する。
次に、本発明の第3の実施形態について説明する。本実施形態は、第1の実施形態に係る光変調器100を搭載した光送信装置1600である。図16は、本実施形態に係る光送信装置1600の構成を示す図である。この光送信装置1600は、光変調器100と、光変調器100に光を入射する光源1604と、変調器駆動部1606と、変調信号生成部1608と、を有する。なお、光変調器100及び変調器駆動部1606に代えて、上述した光変調モジュール1500を用いることもできる。
Claims (13)
- 基板と、
前記基板に形成された光導波路と、
前記光導波路を伝搬する光波を制御する電極と、
を備える光導波路素子において、
前記光導波路と前記電極とは互いに交差する交差部を有し、
前記交差部において、前記電極は金属材料から成る複数の金属層を含む多層構造をなし、前記電極と前記基板との間に樹脂材料から成る樹脂層が形成されており、
前記樹脂層は、前記交差部を中心として、隣接する他の前記交差部を含まない範囲において前記光導波路に沿って延在し、
前記電極のうち、前記交差部において前記光導波路に隣接する前記金属層は、前記交差部を中心として、隣接する他の前記交差部を含まない範囲において、前記金属層に隣接する他の前記金属層に沿って延在する、
光導波路素子。 - 前記電極の前記多層構造においては、前記基板に最も近い前記金属層である最下層を除く前記金属層の少なくとも一つが、前記最下層より厚く構成されている、
請求項1に記載の光導波路素子。 - 前記樹脂層は、前記光導波路の導波方向に沿った長さが、隣接する前記金属層の、前記光導波路の導波方向に沿った長さより長くなるように形成されている、
請求項1または2に記載の光導波路素子。 - 前記樹脂層は、前記隣接する前記金属層が形成されていない部分の、前記光導波路の導波方向に沿った長さが、前記光導波路を伝搬する光の波長より長く構成されている、
請求項3に記載の光導波路素子。 - 前記樹脂層に隣接する前記金属層は、前記光導波路の導波方向に沿った長さが、当該金属層に隣接する他の前記金属層の、前記光導波路の導波方向に沿った長さに等しいか又は長くなるように形成されている、
請求項1ないし4のいずれか一項に記載の光導波路素子。 - 前記樹脂層に隣接する前記金属層は、前記他の金属層が形成されていない部分の、前記光導波路の導波方向に沿った長さが、前記光導波路を伝搬する光の波長より長く構成されている、
請求項5に記載の光導波路素子。 - 前記樹脂層は、前記光導波路の導波方向に沿った両端部において、当該導波方向に直交する方向の幅が、前記光導波路の幅以下であって且つ前記交差部から離れるに従ってより狭く形成されている、
請求項1ないし6のいずれか一項に記載の光導波路素子。 - 前記樹脂層は、その厚さが、前記光導波路の導波方向に沿った両端部において、前記交差部から離れるに従ってより薄く形成されている、
請求項1ないし7のいずれか一項に記載の光導波路素子。 - 前記多層構造を構成する前記金属層のうち、最も上部に形成された前記金属層を除く少なくとも一つの前記金属層に、スリットが形成されている、
請求項1ないし8のいずれか一項に記載の光導波路素子。 - 前記樹脂層は、少なくとも2つの前記交差部にまたがって形成されている、
請求項1ないし9のいずれか一項に記載の光導波路素子。 - 光の変調を行う光変調素子である請求項1ないし10のいずれか一項に記載の光導波路素子と、
前記光導波路素子を収容する筺体と、
前記光導波路素子に光を入力する光ファイバと
前記光導波路素子が出力する光を前記筺体の外部へ導く光ファイバと、
を備える光変調器。 - 光の変調を行う光変調素子である請求項1ないし10のいずれか一項に記載の光導波路素子と、前記光導波路素子を駆動する駆動回路と、を備える光変調モジュール。
- 請求項11に記載の光変調器、または請求項12に記載の光変調モジュールと、
前記光導波路素子に変調動作を行わせるための電気信号を生成する電子回路と、
を備える、
光送信装置。
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