JP7433565B1

JP7433565B1 - 加工ノズルおよびレーザ加工機

Info

Publication number: JP7433565B1
Application number: JP2023570414A
Authority: JP
Inventors: 恭諒丸小
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2023-06-22
Filing date: 2023-06-22
Publication date: 2024-02-19
Anticipated expiration: 2043-06-22

Abstract

レーザ光を集光し、加工対象物に照射する加工ヘッド本体部（１４）のレーザ光の出射面側に設けられる加工ノズル（１５）であって、内部をレーザ光が通る内側ノズル（１５１）と、内側ノズル（１５１）の外側に内側ノズル（１５１）から間隔を置いて配置され、吸引部に配管を介して接続される開口部（１５２１）を有する外側ノズル（１５２）と、を備える。内側ノズル（１５１）は、内側ノズル（１５１）を厚さ方向に貫通する複数の長孔（１５１１）を有する。複数の長孔（１５１１）の長軸は、内側ノズル（１５１）の中心軸（Ｃ）に沿う方向に延在している。

Description

本開示は、レーザ加工に用いられる加工ノズルおよびレーザ加工機に関する。

加工対象物にレーザを照射して加工を行うレーザ加工の分野においては、加工時に発生する分解生成物が加工部位に溜まらないように、ガスを噴射して分解生成物を吹き飛ばしながらレーザ加工を行うレーザ加工方法が知られている。しかし、繊維強化複合材料を前述のレーザ加工方法で加工する場合には、加工時に発生する高温の分解生成物が加工対象物に付着し、付着した表面への熱影響として焼き付きまたは汚れの付着が発生することによって、加工品質が大きく低下してしまう問題があった。そこで、特許文献１には、加工点に向けてガスを噴射するノズルと、レーザ光の光軸を中心にノズルを回転させる回転機構と、切断加工中において加工点に吹き付けるガスが加工品側から加工点に向かって噴射されるようにノズルの向きを制御する制御部を備えるレーザ加工方法が開示されている。

特許第６６３６２１３号公報

しかしながら、上記従来のレーザ加工方法では、ノズルの向きを制御しながら加工を行っても、ガス吹き付けの下流にあたる加工対象物の表面には分解生成物が付着する。このため、分解生成物が付着した部分は端材として廃却の対象となり、材料を効率よく使用できないという問題があった。また、レーザ光の光軸を中心に回転するノズルの存在によって、加工テーブル上に設置した加工対象物と回転するノズルとが物理的に干渉する場合には加工ができず、加工の自由度が低下してしまうという問題もあった。

本開示は、上記に鑑みてなされたものであって、加工対象物の表面への分解生成物の付着を抑制するとともに、従来に比して加工の自由度を向上させることができる加工ノズルを得ることを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本開示は、レーザ光を集光し、加工対象物に照射する加工ヘッド本体部のレーザ光の出射面側に設けられる加工ノズルであって、内部をレーザ光が通る内側ノズルと、内側ノズルの外側に内側ノズルから間隔を置いて配置され、吸引部に配管を介して接続される開口部を有する外側ノズルと、を備える。内側ノズルは、内側ノズルを厚さ方向に貫通する複数の長孔を有する。複数の長孔の長軸は、内側ノズルの中心軸に沿う方向に延在している。

本開示に係る加工ノズルは、加工対象物の表面への分解生成物の付着を抑制するとともに、従来に比して加工の自由度を向上させることができるという効果を奏する。

実施の形態１に係る加工ノズルを有するレーザ加工機の構成の一例を模式的に示す図実施の形態１に係る加工ノズルの構成の一例を模式的に示す図実施の形態１に係る加工ノズルの中心軸に垂直な面内の構成の一例を模式的に示す図実施の形態１に係る加工ノズルの構成の他の例を模式的に示す図実施の形態２に係る加工ノズルの外側ノズルの構成の一例を模式的に示す図

以下に、本開示の実施の形態に係る加工ノズルおよびレーザ加工機を図面に基づいて詳細に説明する。

実施の形態１．
図１は、実施の形態１に係る加工ノズルを有するレーザ加工機の構成の一例を模式的に示す図である。図１に示されるレーザ加工機１は、繊維強化複合材料からなる加工対象物Ｗへのレーザ光Ｌの照射によって加工対象物Ｗを切断加工するものである。繊維強化複合材料の一例は、炭素繊維強化プラスチック（Carbon Fiber Reinforced Plastics：ＣＦＲＰ）である。レーザ加工機１は、レーザ発振器１１と、光路形成部１２と、加工ヘッド１３と、吸引部１６と、配管１７と、加工テーブル１８と、制御部１９と、を備える。

レーザ発振器１１は、レーザ光Ｌを出力する。レーザ発振器１１は、固体レーザ、ガスレーザ、半導体レーザ等のレーザ光Ｌを出射する光源である。

光路形成部１２は、レーザ発振器１１から出力されるレーザ光Ｌを加工ヘッド１３へと伝搬させる光路を形成する。光路形成部１２は、レーザ光Ｌの特性に応じて選択される。一例では光路形成部１２は、光ファイバである。他の例では、光路形成部１２は、ミラーとレンズとを組み合わせた光学系である。

加工ヘッド１３は、光路形成部１２を伝搬するレーザ光Ｌを加工対象物Ｗに照射する。加工ヘッド１３は、レーザ光Ｌを加工対象物Ｗに集光し、照射する加工ヘッド本体部１４と、加工ヘッド本体部１４の加工対象物Ｗ側に設けられる加工ノズル１５と、を有する。加工ヘッド本体部１４は、光路形成部１２からのレーザ光Ｌを集光し、加工対象物Ｗにレーザ光Ｌを導くレンズ１４１を含む光学系を有する。加工ノズル１５は、加工ヘッド本体部１４の加工対象物Ｗ側の面に設けられる支持部に固定される。加工ノズル１５は、加工ヘッド本体部１４側から加工対象物Ｗ側に向かった先細り形状を有する中空の構造を有する。加工ノズル１５の詳細な構成については、後述する。加工ヘッド本体部１４から出力されるレーザ光Ｌは、加工ノズル１５の中空の部分を通るように加工ノズル１５は加工ヘッド１３に固定される。

吸引部１６は、加工対象物Ｗにレーザ光Ｌが照射されたときに生じる加工粉塵Ｄを加工ノズル１５から吸引する。吸引部１６の一例は真空ポンプである。また、加工対象物Ｗが繊維強化複合材料である場合には、加工粉塵Ｄの一例は繊維強化複合材料の分解生成物である。

配管１７は、加工ノズル１５と吸引部１６との間を接続する筒状部材である。吸引部１６によって吸引がなされると、加工ノズル１５からの加工粉塵Ｄが通過する。

加工テーブル１８は、加工対象物Ｗを載置する台である。この例では、加工テーブル１８の加工対象物Ｗが載置される面である載置面は水平となっている。加工テーブル１８は、加工中に加工対象物Ｗが動かないように加工対象物Ｗを固定する固定機構を有することが望ましい。なお、図示しないが加工ヘッド１３および加工テーブル１８の少なくとも一方には加工ヘッド１３および加工テーブル１８を相対的に移動させる駆動部が設けられている。これによって、加工テーブル１８の載置面に平行な方向および載置面に垂直な方向に加工ヘッド１３および加工テーブル１８を相対的に移動させることができる。

制御部１９は、レーザ発振器１１、加工ヘッド１３、吸引部１６および加工テーブル１８のそれぞれに制御信号を送り、それぞれの動作を制御する。レーザ発振器１１は、制御信号に従ってレーザ光Ｌを出力したり、レーザ光Ｌの出力を停止したりする。吸引部１６は、制御信号にしたがって、吸引動作を開始したり、吸引動作を停止したりする。加工ヘッド１３および加工テーブル１８は、制御信号に従って相対的に移動する。

つぎに、加工ノズル１５の構成について説明する。図２は、実施の形態１に係る加工ノズルの構成の一例を模式的に示す図である。なお、ここでは、加工ノズル１５および加工ヘッド本体部１４の支持部１４２については、加工ノズル１５の中心軸Ｃを通る平面で加工ノズル１５を切断した斜視図を示している。図３は、実施の形態１に係る加工ノズルの中心軸に垂直な面内の構成の一例を模式的に示す図であり、図１のＩＩＩ－ＩＩＩ断面図である。加工ノズル１５は、同一の軸を中心軸Ｃとする、内部をレーザ光Ｌが通る内側ノズル１５１と、内側ノズル１５１の外側に内側ノズル１５１から間隔を置いて配置される外側ノズル１５２と、を有する。つまり、加工ノズル１５は、内側ノズル１５１および外側ノズル１５２の二重構造を有する。

図１および図２に示される例では、内側ノズル１５１および外側ノズル１５２は、中空の円錐台状である。内側ノズル１５１は、内側ノズル１５１の中心軸Ｃに沿う方向、より具体的には円錐台の母線に平行な方向に延在し、内側ノズル１５１を厚さ方向に貫通する円形ではない複数の長孔１５１１を有する。つまり、長孔１５１１の長軸は、内側ノズル１５１の中心軸Ｃに沿う方向に延在している。長孔１５１１は、内側ノズル１５１の母線に垂直な方向に均一な間隔で設けられてもよいし、不均一な間隔で設けられてもよい。長孔１５１１の形状は、矩形状、角が丸くされた矩形状、楕円状などである。外側ノズル１５２は、配管１７に接続される開口部１５２１を有する。以下では、加工ノズル１５の加工ヘッド本体部１４と接続される方の端部は第１端部と称され、加工対象物Ｗに対向する方の端部は第２端部と称される。

加工ヘッド本体部１４は、レーザ光Ｌの出射面側に加工ノズル１５を支持する支持部１４２を有する。支持部１４２は、一例では、加工ヘッド本体部１４の加工対象物Ｗ側の面である出射面から突出して設けられる板金によって構成される。支持部１４２は、内側ノズル１５１を支持する第１支持部１４３と、外側ノズル１５２を支持する第２支持部１４４と、を有する。第１支持部１４３および第２支持部１４４は、一例では円筒状であり、出射面の中心位置を中心として同心円状に配置される。第１支持部１４３および第２支持部１４４の外側の面にはねじが切られており、第１支持部１４３および第２支持部１４４はおねじとなっている。なお、第１支持部１４３および第２支持部１４４は、中心軸Ｃに平行な方向にスリットの入った円筒状であってもよい。

内側ノズル１５１および外側ノズル１５２の第１端部側の内側の面には、ねじが切られている。つまり、内側ノズル１５１および外側ノズル１５２の第１端部はめねじとなっている。内側ノズル１５１のめねじを第１支持部１４３のおねじに螺合させることで、内側ノズル１５１は加工ヘッド本体部１４に固定される。同様に、外側ノズル１５２のめねじを第２支持部１４４のおねじに螺合させることで、外側ノズル１５２は加工ヘッド本体部１４に固定される。

内側ノズル１５１と外側ノズル１５２とをそれぞれ個別に第１支持部１４３および第２支持部１４４に固定してもよいし、内側ノズル１５１と外側ノズル１５２とを固定部材で固定して、内側ノズル１５１および外側ノズル１５２を同時に第１支持部１４３および第２支持部１４４に固定してもよい。後者の場合には、一例では、内側ノズル１５１の外面と外側ノズル１５２の内面とを複数の固定部材で固定することによって、内側ノズル１５１と外側ノズル１５２とを一体のものとして扱うことが可能となる。

内側ノズル１５１と外側ノズル１５２との間の空間は、吸引部１６によって吸引される空気が流れる流路１５３となる。具体的には、レーザ加工中に発生する加工粉塵Ｄが空気とともに、流路１５３を流れることになる。つまり、レーザ加工中に発生した加工粉塵Ｄは空気とともに内側ノズル１５１の第２端部の開口部１５１ａから吸引され、内側ノズル１５１に設けられた長孔１５１１を介して流路１５３に流入し、流入した加工粉塵Ｄを含む空気が外側ノズル１５２の開口部１５２１から吸引部１６へと吸引される。内側ノズル１５１の第１端部と外側ノズル１５２の第１端部との間は、開口された状態であってもよいし、閉口された状態であってもよい。内側ノズル１５１の第１端部と外側ノズル１５２の第１端部との間が開口された状態である場合には、この開口からも加工粉塵Ｄを吸引することができる。

つぎに、このような構成のレーザ加工機１の動作について説明する。制御部１９は、吸引部１６を動作させ、加工を行いたい位置にレーザ光Ｌが照射されるように、加工ヘッド１３および加工テーブル１８の少なくとも一方を移動させる。また、制御部１９は、レーザ発振器１１を動作させる。これによって、レーザ発振器１１より出射されたレーザ光Ｌは、光路形成部１２を通って加工ヘッド１３に設置されているレンズ１４１まで伝達される。レンズ１４１によって集光されたレーザ光Ｌが加工対象物Ｗとなる繊維強化複合材料に照射されることで加工対象物Ｗが切断される。

加工対象物Ｗの切断時に、分解生成物などの加工粉塵Ｄが生成される。実施の形態１では、レーザ光Ｌの照射中に、吸引部１６による吸引がなされているので、レーザ光Ｌの照射によって発生した加工粉塵Ｄは、加工ノズル１５の第１端部から吸い込まれる。実施の形態１では、中心軸Ｃに沿う方向に延在した長孔１５１１を内側ノズル１５１に設けたので、長孔１５１１の下部から加工粉塵Ｄが内側ノズル１５１と外側ノズル１５２との間の流路１５３へと移動し、さらに、流路１５３内で外側ノズル１５２の開口部１５２１に向かって移動し、吸引部１６によって吸引される。このとき、長孔１５１１の下部で吸引しきれなかった加工粉塵Ｄは、長孔１５１１の中央部または上部で吸引される。このようにして、レーザ加工中に発生した加工粉塵Ｄを吸引することで、加工対象物Ｗ上に分解生成物が付着し、熱による影響を加工対象物Ｗに与えることを抑制することができる。

図４は、実施の形態１に係る加工ノズルの構成の他の例を模式的に示す図である。なお、ここでは、加工ノズル１５の中心軸Ｃを通る平面で加工ノズル１５を切断した斜視図を示している。図４に示されるように、内側ノズル１５１に、円形ではない複数の長孔１５１１が第２端部から第１端部に向かって乱雑に配置されている。つまり、図１から図３に示される例では、長孔１５１１の延在方向が中心軸Ｃに沿う方向となっていたが、図４に示される例では、延在方向は中心軸Ｃに沿う方向ではない方向となる複数の長孔１５１１が中心軸Ｃに沿う方向に配置されている。長孔１５１１は、中心軸Ｃに沿う方向に均一の間隔で配置されてもよいし、不均一な間隔で配置されてもよい。長孔１５１１の延在方向は、任意の方向とすることができる。また、長孔１５１１の延在方向は、すべての長孔１５１１で同じであってもよいし、異なるものであってもよい。このような図４に示される構造の加工ノズル１５でも、下部の長孔１５１１で吸引しきれなかった加工粉塵Ｄをこの長孔１５１１よりも上方に位置する長孔１５１１で吸引することが可能となる。

また、内側ノズル１５１および外側ノズル１５２の第１端部側が開放されている場合には、内側ノズル１５１と外側ノズル１５２との間の第１端部側が開口している場合には、この開口からも加工粉塵Ｄを吸引することができる。

レーザ光Ｌの照射によって繊維強化複合材料の切断加工を行う際には、加工点から分解生成物が勢いよく噴出し、加工対象物Ｗの表面に噴出した分解生成物による汚れが付着する。このため、従来の技術におけるレーザ加工機は、加工点に向けてレーザ光Ｌの光軸とは異なる方向からガスを噴射するノズルを備え、このノズルがレーザ光Ｌの光軸を中心に回転することでガスを噴射する方向を制御し、不要となる端材側に汚れを吹き流しながら切断加工を行っていた。この特徴により、加工後に製品となる箇所の繊維強化複合材料の表面を加工時に発生する分解生成物によって汚染することなく切断加工することが可能となっている。しかし、分解生成物を吹き飛ばした側の強化繊維複合材料の表面には吹き飛ばした高温の分解生成物が付着してしまうため、製品として品質の悪い状態となってしまう。このため、加工対象物Ｗの分解生成物が付着した部分は、製品として使用することができず、端材として廃棄されていた。

一方、実施の形態１に係る加工ノズル１５を備えるレーザ加工機１は、加工点に向かってガスを噴射する機能を有さず、加工ノズル１５の内部に侵入した分解生成物を吸引する機能を備えている。このため、従来の技術における課題であった加工時に加工対象物Ｗの表面が噴出した高温の分解生成物によって汚れてしまうという点が解決される。この結果、従来の技術においてやむを得ず廃棄する必要のあった表面が汚染された強化繊維複合材料を無くすことができ、効率的に強化繊維複合材料を使用することが可能となる。また、従来の技術のレーザ加工機が有していたレーザ光Ｌの光軸を中心に回転するガスノズルが不要となるので、従来はこのガスノズルが物理的に干渉してしまうことによって加工することができなかった形状でも加工することができるようになる副次効果を有する。つまり、加工可能領域を従来の技術に比して拡大することができる。

また、実施の形態１に係る加工ノズル１５は、中心軸Ｃが同一となるように内側ノズル１５１と外側ノズル１５２とを間隔をあけて二重に配置した構造を有する。内側ノズル１５１は、中心軸Ｃに沿う方向に延在する長孔１５１１を長孔１５１１の延在方向に垂直な方向に間隔をあけて配置した構成、あるいは延在方向の方向が限定されない長孔１５１１を中心軸Ｃに沿う方向に間隔をあけて配置した構成を有する。外側ノズル１５２は、吸引部１６に繋がる配管１７と接続される開口部１５２１を有する。そして、レーザ加工時に、配管１７を介して吸引部１６から吸引を行うことで、レーザ光Ｌの照射箇所から発生する加工粉塵Ｄが内側ノズル１５１の第２端部側の開口部１５１ａから吸い込まれ、内側ノズル１５１の長孔１５１１を介して内側ノズル１５１と外側ノズル１５２との間の流路１５３を流れ、外側ノズル１５２の開口部１５２１から吸引部１６へと吸引される。このとき、内側ノズル１５１の下方部分の長孔１５１１で吸引することができなかった加工粉塵Ｄは、より上方の長孔１５１１で吸引される。中心軸Ｃに沿う方向に延在する長孔１５１１では、下方の部分で吸引されなかった加工粉塵Ｄは、長孔１５１１の中央部分または上方の部分で吸引される。中心軸Ｃに沿う方向に間隔をあけて長孔１５１１が配置される場合には、下方に配置される長孔１５１１で吸引されなかった加工粉塵Ｄは、この長孔１５１１よりも上方に配置される長孔１５１１で吸引される。これによって、一例では、加工ノズルの先端からの高さが一定の位置に複数の円形の孔が設けられる場合と比較して、加工粉塵Ｄを効率的に吸引することが可能となる。

実施の形態２．
図５は、実施の形態２に係る加工ノズルの外側ノズルの構成の一例を模式的に示す図である。ここでは、中心軸Ｃを通る平面で外側ノズル１５２を切断した斜視図を示している。なお、内側ノズル１５１の構成は、実施の形態１で説明したものと同様であるので、その説明を省略する。図５に示されるように、外側ノズル１５２は、外側ノズル１５２を厚さ方向に貫通する開口部である複数の吸引孔１５２２を有する。

外側ノズル１５２は、吸引孔１５２２に取り付けおよび取り外し可能な閉止栓１５２３を有する。閉止栓１５２３は、吸引孔１５２２を塞ぐように設けられていてもよいし、外されていてもよい。加工対象物Ｗに応じて閉止栓１５２３で吸引孔１５２２を塞ぐことができる。吸引孔１５２２の塞ぎ方によって、内側ノズル１５１から吸引される加工粉塵Ｄの方向および吸引量を調整することが可能である。つまり、吸引孔１５２２の塞ぎ方によって、加工対象物Ｗの特性に応じて適切な吸引方向および吸引量を備えた加工ノズル１５として使用することが可能である。

吸引孔１５２２は、一例では円形状の開口部である。一例では、吸引孔１５２２の縁にはねじが切られている。つまり、吸引孔１５２２はめねじを構成している。また、閉止栓１５２３は吸引孔１５２２に螺合可能なおねじとすることができる。この場合には、任意の箇所の吸引孔１５２２に閉止栓１５２３であるおねじを螺合させることで、吸引孔１５２２を塞ぐことができる。

外側ノズル１５２に吸引孔１５２２を設け、吸引孔１５２２を塞ぐ部分と塞がない部分とを設けることによって、加工ノズル１５の内部での塞がれていない吸引孔１５２２における空気の流れがよくなり、吸引しやすくなる。一例では、吸引させたい側の吸引孔１５２２は開けた状態とし、それ以外の吸引孔１５２２は閉止栓１５２３で塞ぐようにすればよい。一例では、図１で加工対象物Ｗに照射されるレーザ光Ｌを示す矢印よりも右側の位置で加工粉塵Ｄが発生するような場合には、加工ノズル１５の中心軸Ｃよりも右側に存在する吸引孔１５２２を開けた状態とし、左側に存在する吸引孔１５２２を閉止栓１５２３で塞ぐ状態とすることができる。また、閉止栓１５２３で塞ぐ吸引孔１５２２の個数または比率を変えることで、加工粉塵Ｄの吸引量を変えることができる。一例では、吸引孔１５２２を閉止栓１５２３で塞ぐ数が少ないほど吸引量が多くなる場合には、吸引量を多くしたい方向の吸引孔１５２２を閉止栓１５２３で塞ぐ個数または比率を他の方向に比して少なくすればよい。

また、吸引孔１５２２が設けられる位置は、内側ノズル１５１に設けられる長孔１５１１の位置に対応して設けられることが望ましい。すなわち、内側ノズル１５１の長孔１５１１の位置に重なるように外側ノズル１５２に吸引孔１５２２が設けられることが望ましい。内側ノズル１５１の長孔１５１１の位置に対応して吸引孔１５２２を設けることで、目的とする位置における風の流れをつけやすくすることができる。

このような構成のレーザ加工機１でのレーザ加工について説明する。レーザ加工において加工粉塵Ｄが発生する方向、すなわち加工粉塵Ｄを吸引する方向が変わる場合には、加工粉塵Ｄが発生する方向が変わるたびに閉止栓１５２３の位置を変えればよい。一例では、第１方向に加工粉塵Ｄが発生する場合には、第１方向の吸引孔１５２２が開放され、他の方向の吸引孔１５２２が塞がれるように閉止栓１５２３を塞いだ加工ヘッド１３でレーザ加工を行う。その後、加工粉塵Ｄが発生する方向が第２方向に変わる場合には、レーザ加工を一時停止し、第２方向の吸引孔１５２２が開放され、他の方向の吸引孔１５２２が塞がれるように加工ヘッド１３の閉止栓１５２３を塞いだ後に、レーザ加工を再開する。このように、加工粉塵Ｄが発生する方向が変わるたびに、閉止栓１５２３の位置を変えればよい。

実施の形態２に係る加工ノズル１５では、外側ノズル１５２は、厚さ方向に貫通する複数の吸引孔１５２２と、吸引孔１５２２に取り付けおよび取り外し可能な閉止栓１５２３と、を有する。レーザ加工時に発生する加工粉塵Ｄの発生方向に応じて、吸引孔１５２２を開放または閉止栓１５２３で閉止することで、加工粉塵Ｄの吸引方向および吸引量を任意に調整することができるという効果を有する。

なお、上記した説明では、加工ノズル１５の内側ノズル１５１および外側ノズル１５２は、円錐台状であったが、第１端部よりも第２端部の開口部１５１ａの方が小さい形状であれば、他の形状であってもよい。一例では、第１端部から第２端部に向かって連続的に径が小さくなる形状であってもよいし、階段状に径が小さくなる形状であってもよい。

以上の実施の形態に示した構成は、一例を示すものであり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、実施の形態同士を組み合わせることも可能であるし、要旨を逸脱しない範囲で、構成の一部を省略、変更することも可能である。

１レーザ加工機、１１レーザ発振器、１２光路形成部、１３加工ヘッド、１４加工ヘッド本体部、１５加工ノズル、１６吸引部、１７配管、１８加工テーブル、１９制御部、１４１レンズ、１４２支持部、１４３第１支持部、１４４第２支持部、１５１内側ノズル、１５１ａ，１５２１開口部、１５２外側ノズル、１５３流路、１５１１長孔、１５２２吸引孔、１５２３閉止栓、Ｃ中心軸、Ｄ加工粉塵、Ｌレーザ光、Ｗ加工対象物。

Claims

レーザ光を集光し、加工対象物に照射する加工ヘッド本体部のレーザ光の出射面側に設けられる加工ノズルであって、
内部をレーザ光が通る内側ノズルと、
前記内側ノズルの外側に前記内側ノズルから間隔を置いて配置され、吸引部に配管を介して接続される開口部を有する外側ノズルと、
を備え、
前記内側ノズルは、前記内側ノズルを厚さ方向に貫通する複数の長孔を有し、
前記複数の長孔の長軸は、前記内側ノズルの中心軸に沿う方向に延在していることを特徴とする加工ノズル。
レーザ光を集光し、加工対象物に照射する加工ヘッド本体部のレーザ光の出射面側に設けられる加工ノズルであって、
内部をレーザ光が通る内側ノズルと、
前記内側ノズルの外側に前記内側ノズルから間隔を置いて配置され、吸引部に配管を介して接続される開口部を有する外側ノズルと、
を備え、
前記内側ノズルは、前記内側ノズルを厚さ方向に貫通する円形ではない複数の長孔を有し、
前記複数の長孔は、前記内側ノズルの中心軸に沿う方向に配置されることを特徴とする加工ノズル。
前記外側ノズルは、
厚さ方向に貫通する複数の吸引孔と、
前記吸引孔に取り付けおよび取り外し可能な閉止栓と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の加工ノズル。
前記吸引孔は、円形の開口部で、前記開口部の縁にねじが切られためねじであり、
前記閉止栓は、前記吸引孔に螺合可能なおねじであることを特徴とする請求項３に記載の加工ノズル。
前記外側ノズルは、
厚さ方向に貫通する複数の吸引孔と、
前記吸引孔に取り付けおよび取り外し可能な閉止栓と、
を有することを特徴とする請求項２に記載の加工ノズル。
前記吸引孔は、円形の開口部で、前記開口部の縁にねじが切られためねじであり、
前記閉止栓は、前記吸引孔に螺合可能なおねじであることを特徴とする請求項５に記載の加工ノズル。
前記レーザ光を出力するレーザ発振器と、
前記レーザ光を前記加工対象物に照射する前記加工ヘッド本体部と、
請求項１から６のいずれか１つに記載の加工ノズルと、
前記外側ノズルの前記開口部に前記配管を介して接続される吸引部と、
を備えることを特徴とするレーザ加工機。