JP7430294B2 - 撮像ユニット、内視鏡、および、撮像ユニットの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、積層素子を含む撮像ユニット、および、積層素子を含む撮像ユニットが先端硬性部に配設された内視鏡、および、積層素子を含む撮像ユニットの製造方法に関する。

内視鏡の挿入部の先端部に配設される撮像ユニットは低侵襲化のため細径化が重要である。

日本国特開２０１２－１８９９３号公報には、細径の撮像ユニットを効率良く製造するために、ウエハレベル法で製造された積層素子が開示されている。ウエハレベル法では、積層素子は、それぞれが複数のレンズを含む複数のレンズウエハと、複数の撮像素子とを接着した積層ウエハを切断することで作製される。

国際公開第２０１５／０８２３２８号（特許６５３３７８７号）には、積層素子を立体配線板の凹部に収容した撮像ユニットが開示されている。

積層素子を保護するために、凹部と積層素子との隙間には樹脂が注入される。しかし、超小型の撮像ユニットでは、凹部と積層素子との隙間は極めて小さい。このため、注入する樹脂の量を適正化することは容易ではない。樹脂の量が少ないと、積層素子の保護が不十分となり、撮像ユニットの信頼性が低下する。樹脂の量が多いと、積層素子の受光面の一部が樹脂によって覆われるため、撮像ユニットの性能が低下する。

特開２０１２－１８９９３号公報 国際公開第２０１５／０８２３２８号

本発明の実施形態は、信頼性および性能が優れた撮像ユニット、信頼性および性能が優れた内視鏡、および、信頼性および性能が優れた撮像ユニットの製造方法を提供することを目的とする。

本発明の実施形態の撮像ユニットは、第１の主面に凹部を有し、前記凹部の壁面は上領域の傾斜角度が下領域の傾斜角度よりも小さい立体配線板と、前記凹部に配設された光学系と撮像素子とを有する積層素子と、前記凹部と前記積層素子との間の隙間に配設された樹脂と、を具備する。

別の実施形態の内視鏡は、撮像ユニットを含み、前記撮像ユニットは、第１の主面に凹部を有し、前記凹部の壁面は上領域の傾斜角度が下領域の傾斜角度よりも小さい立体配線板と、前記凹部に配設された光学系と撮像素子とを有する積層素子と、前記凹部と前記積層素子との間の隙間に配設された樹脂と、を具備する。

別の実施形態の撮像ユニットの製造方法は、第１の主面に凹部を有し、前記凹部の壁面は上領域の傾斜角度が下領域の傾斜角度よりも小さい立体配線板と、光学系と撮像素子とを有する積層素子と、を作製する工程と、前記凹部に前記積層素子を配設する工程と、前記凹部の壁面と前記積層素子との間に樹脂を注入する工程と、を具備し、前記樹脂を注入するときに、前記第１の主面の方向から観察した、前記樹脂の面積の増加速度を基に前記樹脂の注入を終了する。

本発明の実施形態によれば、信頼性および性能が優れた撮像ユニット、信頼性および性能が優れた内視鏡、および、信頼性および性能が優れた撮像ユニットの製造方法を提供できる。

第１実施形態の撮像ユニットの斜視図である。 第１実施形態の撮像ユニットの図１のＩＩ－ＩＩ線にそった断面図である。 第１実施形態の撮像ユニットの製造方法を説明するための断面図である。 第１実施形態の撮像ユニットの製造方法を説明するための上面図である。 第１実施形態の撮像ユニットの製造方法を説明するための断面図である。 第１実施形態の撮像ユニットの製造方法を説明するための上面図である。 第１実施形態の撮像ユニットの製造方法を説明するための断面図である。 第１実施形態の撮像ユニットの製造方法を説明するための上面図である。 従来の撮像ユニットの製造方法を説明するための断面図である。 従来の撮像ユニットにおける樹脂注入を説明するためのグラフである。 第１実施形態の撮像ユニットにおける樹脂注入を説明するためのグラフである。 第１実施形態の変形例１の撮像ユニットの部分断面図である。 第１実施形態の変形例１の撮像ユニットにおける樹脂注入を説明するためのグラフである。 第１実施形態の変形例２の撮像ユニットの部分断面図である。 第１実施形態の変形例２の撮像ユニットにおける樹脂注入を説明するためのグラフである。 第１実施形態の変形例３の撮像ユニットの部分断面図である。 第１実施形態の変形例３の撮像ユニットにおける樹脂注入を説明するためのグラフである。 第１実施形態の変形例４の撮像ユニットの製造方法を説明するための部分断面図である。 第１実施形態の変形例４の撮像ユニットにおける樹脂注入を説明するためのグラフである。 第２実施形態の内視鏡の斜視図である。 第２実施形態の変形例の内視鏡の先端硬性部の斜視図である。

＜第１実施形態＞
図１および図２に示すように、本実施形態の撮像ユニット１は、立体配線板１０と、積層素子２０と、樹脂３０と、を具備する。

なお、実施形態に基づく図面は、模式的なものである。各部分の厚みと幅との関係、夫々の部分の厚みの比率などは現実のものとは異なる。図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている。一部の構成要素の図示、符号の付与を省略する場合がある。光が入射する方向を「上」という。

立体配線板１０は、例えば、成形回路部品（ＭＩＤ：Molded Interconnect Device）である。立体配線板１０は、第１の主面１０ＳＡと第１の主面１０ＳＡの反対側の第２の主面１０ＳＢとを有する直方体である。立体配線板１０は、第１の主面１０ＳＡに矩形の開口がある凹部Ｈ１０を有する。凹部Ｈ１０は、４つの壁面Ｈ１０ＳＳと底面Ｈ１０ＳＢとを有する。凹部Ｈ１０の開口は角が曲線の略矩形でもよい。

なお、立体配線板は、ＭＩＤに限定されず、例えば、３Ｄプリンタによる加工または切削加工によって作製してもよい。材質も樹脂には限定されず、セラミックまたはガラスエポキシでもよい。

凹部Ｈ１０の底面Ｈ１０ＳＢには接合電極１１が配設されている。接合電極１１は貫通配線１２を経由して第２の主面１０ＳＢの電極１３と電気的に接続されている。図示しないが、電極１３には信号ケーブル等が接合される。接合電極１１は、壁面配線、上面配線、および側面配線を経由して、電極１３と接続されていてもよい。

凹部Ｈ１０に配設されている積層素子２０は、受光面２０ＳＡと受光面２０ＳＡの反対側の裏面２０ＳＢとを有する。積層素子２０は、複数の光学素子が積層された光学系２２と、撮像素子（イメージセンサ）２１とを含む。光学素子は、例えば、ガラス板と樹脂レンズとを有するハイブリッドレンズ素子（複合素子）または赤外線カットフィルタ素子等である。なお、図２等の断面図では、光学系２２の光学素子を平板として図示する。

光学系２２の構成、すなわち、光学素子の構成（厚さ、形状）、種類、数、および積層順序は、仕様に応じて種々の変形が可能である。いずれかの光学素子の主面にパターニングされた遮光膜が絞りとして配設されていてもよい。

積層素子２０は、それぞれが複数の光学素子を含む複数の光学素子ウエハからなる積層ウエハと、複数の撮像素子を含む複数の撮像素子ウエハとを接合した接合ウエハを切断するウエハレベル法にて作製されている。このため、積層素子２０は直方体である。積層素子２０は、積層ウエハに複数の撮像素子を接着してから切断することで作製されてもよい。

シリコンを母材とする撮像素子２１は、ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等からなる受光部を有する。積層素子２０（撮像素子２１）は、裏面２０ＳＢの電極２３に半田バンプ２４を有する。撮像素子２１の下面に撮像信号を処理する半導体素子が積層されていてもよいし、撮像素子２１の上面にカバーガラスが配設されていてもよい。電極２３は半田バンプ２４によって、立体配線板１０の凹部Ｈ１０の底面Ｈ１０ＳＢの接合電極１１と接合されている。すなわち、撮像素子２１の受光部は、電極２３、半田バンプ２４、接合電極１１、貫通配線１２を経由して電極１３と電気的に接続されている。

例えば、熱硬化性エポキシ樹脂である樹脂３０は、凹部Ｈ１０と積層素子２０のとの隙間を封止している。樹脂３０は、積層素子２０を封止すると同時に、積層素子２０に印加される応力を緩和する。積層素子２０の側面から外光が進入するのを防止するため、樹脂３０は、遮光粒子を含んでいることなどによって、遮光性を有することが好ましい。

樹脂３０の厚さ、言い替えれば、凹部Ｈ１０の壁面Ｈ１０ＳＳと積層素子２０との間の隙間の幅は、例えば、５０μｍ超５００μｍ未満が好ましい。隙間の幅が前記下限超であれば、封止効果および応力緩和効果が顕著である。隙間の幅が前記上限未満であれば、撮像ユニット１の大きさが許容範囲内である。

立体配線板１０の凹部Ｈ１０は、第１の主面１０ＳＡの開口の面積が底面Ｈ１０ＳＢの面積よりも広い。すなわち、凹部Ｈ１０の壁面Ｈ１０ＳＳは第１の主面１０ＳＡ、第２の主面１０ＳＢ、および、凹部Ｈ１０の底面Ｈ１０ＳＢに対して垂直ではなく、傾斜している。

さらに、撮像ユニット１では、凹部Ｈ１０の壁面Ｈ１０ＳＳは上領域ＵＡの傾斜角度θＵが下領域ＬＡの傾斜角度θＬよりも小さい。すなわち、壁面Ｈ１０ＳＳの傾斜角度が一定ではない。例えば、上領域ＵＡの傾斜角度θＵは、４５度であり、下領域ＬＡの傾斜角度θＬは、８９度である。ここで、傾斜角度とは、底面Ｈ１０ＳＢに対する壁面Ｈ１０ＳＳの角度である。

隙間の幅が極めて短いため、隙間に注入する樹脂３０の適切な量は極めて微量である。このため、適切な量の樹脂３０を注入することは容易ではない。しかし、撮像ユニット１では、後述するように、樹脂３０を注入する際に、第１の主面１０ＳＡの方向（上方向）から観察された、樹脂３０の面積Ｓの増加量ΔＳ、または、樹脂３０の面積Ｓの増加速度ΔＳ／ｄｔ、を基に樹脂３０の注入を終了するため、適切な量の樹脂３０が注入されている。

このため、撮像ユニット１は、信頼性および性能が優れている。

＜製造方法＞
図３Ａから図５Ｂを用いて撮像ユニット１の製造方法を説明する。

＜立体配線板、および、積層素子の作製＞
図３Ａおよび図３Ｂに示すように、第１の主面１０ＳＡに凹部Ｈ１０を有し、凹部Ｈ１０の壁面Ｈ１０ＳＳは上領域ＵＡの傾斜角度θＵが下領域ＬＡの傾斜角度θＬよりも小さい立体配線板１０が作製される。立体配線板１０の外形は、円柱形でもよい。また、ウエハレベル法を用いて、外形が直方体の積層素子２０が作製される。

＜積層素子配設＞
立体配線板１０の凹Ｈ１０に、積層素子２０が配設される。凹Ｈ１０の底面Ｈ１０ＳＢの接合電極１１に、撮像素子２１の電極２３が半田バンプ２４によって接合される。

＜樹脂注入＞
図４Ａ、図４Ｂに示すように、凹部Ｈ１０の壁面Ｈ１０ＳＳと積層素子２０との間の隙間への樹脂３０の注入が開始される。

ここで、比較のため、凹部Ｈ１１０の壁面Ｈ１０ＳＳの傾斜角度が一定の従来の撮像ユニット１０１（図６）における樹脂注入について説明する。

図７は、横軸が樹脂３０の凹部Ｈ１１０への注入量を示し、縦軸が第１の主面１０ＳＡの方向（上方向）から観察された、樹脂３０の面積Ｓを示している。面積Ｓはカメラによって撮影された画像から観察されてもよいし、撮影された画像の画像処理によって数値化されてもよい。

面積Ｓは、注入開始からＡ点まで短時間で増加する。そして、Ａ点からＸ点まで、面積Ｓはほとんど変化しない。これは、凹部Ｈ１１０の壁面の傾斜角度が一定のため、凹部Ｈ１１０の深さ方向において隙間の幅がほぼ同じためである。Ｘ点は、樹脂３０が積層素子２０の受光面２０ＳＡに広がりはじめた状態である。

すなわち、樹脂３０が、注入量の最大量Ｖｍａｘ超注入されるまで、面積Ｓはほとんど変化しない。このため、樹脂３０は、予め推定した最適注入量に基づき注入される。しかし、最適注入量は、例えば、０．１マイクロリットル超１０マイクロリットルと微量である。このため、最適注入量の許容誤差は、例えば、０．０１マイクロリットルと極微量となる。また、凹部Ｈ１１０の大きさ、および、積層素子２０の大きさは、製造誤差によって変化する。さらに、温度による熱膨張／熱収縮によっても、最適注入量は変化する。

このため、従来の撮像ユニット１０１では、樹脂３０の注入量が最小量Vmin未満になって信頼性が低下したり、最大量Ｖｍａｘ超になって、性能が低下したりすることがあった。

これに対して、すでに説明したように、撮像ユニット１では、凹部Ｈ１０の壁面Ｈ１０ＳＳは上領域ＵＡの傾斜角度θＵが、下領域ＬＡの傾斜角度θＬよりも小さい（図２）。

図４Ａ、図４Ｂおよび図８に示すように、樹脂３０が凹部Ｈ１０の下領域ＬＡに注入されている間は、従来の撮像ユニットと略同じである。すなわち、第１の主面１０ＳＡの方向（上方向）から観察された樹脂３０（図４Ｂのハッチング領域）の面積Ｓの増加速度はほぼ一定である（図８）。

図５Ａに示すように、樹脂３０が凹部Ｈ１０の上領域ＵＡ（Ｂ点）に達すると、図５Ｂに示す樹脂３０の面積Ｓが大きくなる。すなわち、樹脂３０の面積Ｓの増加速度が早くなるため、図８に示すように、面積Ｓの傾き（面積Ｓの微分値）が増加する。面積Ｓの増加速度が早くなったことが検出されると、樹脂３０の注入を終了する。

樹脂３０は、凹部Ｈ１０に注入後に、硬化処理される。

撮像ユニット１は、樹脂３０の注入量を適切に管理できるため、信頼性および性能が高い。

上領域ＵＡは、第１の主面１０ＳＡから、凹部Ｈ１０の深さの２５％以下の領域であることが好ましく、１０％以下の領域であることが特に好ましい。前記範囲以下であれば、最小量Vmin以上の樹脂３０の注入が担保される。

上領域ＵＡは、第１の主面１０ＳＡから、凹部Ｈ１０の深さの３％以上の領域であることが好ましく、５％以上の領域であることが特に好ましい。前記範囲以上であれば、最大量Ｖｍａｘ超以上の樹脂３０が注入される前に、注入を終了できる。

また、上領域ＵＡは、光学系２２の受光面２０ＳＡを構成している最上部の光学素子２０Ａ（図５Ａ）の厚さ未満であることが好ましく、最上部の光学素子２０Ａの厚さの８０％未満であることが特に好ましい。前記範囲未満であれば、樹脂３０による封止効果が損なわれることがない。

なお、壁面の下領域ＬＡの傾斜角度θＬは、撮像ユニット１の細径化、および、金型からの抜去を容易にするため、例えば、８５度超８９．５度未満が好ましい。これに対して、上領域ＵＡの傾斜角度θＵは、例えば、２０度超６０度未満が好ましい。

壁面Ｈ１０ＳＳの上領域ＵＡの断面は、直線ではなく、上に凸の曲線でもよいし、下に凸の曲線でもよい。上領域ＵＡの断面が曲線の撮像ユニットでは、壁面の傾斜角度の微分値の平均が前記範囲内であればよい。

撮像ユニット１では、積層素子２０の受光面２０ＳＡが、立体配線板１０の第１の主面１０ＳＡよりも下に位置していた。このため、過剰に注入された樹脂３０は、受光面２０ＳＡに広がっていた。これに対して、受光面２０ＳＡが第１の主面１０ＳＡよりも上に位置する撮像ユニットでは、過剰に注入された樹脂３０は、第１の主面１０ＳＡに広がってしまう。このため、受光面２０ＳＡが第１の主面１０ＳＡよりも上に位置する撮像ユニットでも、樹脂３０の注入量は正確に管理する必要がある。

＜第１実施形態の変形例＞
変形例の撮像ユニット１Ａ―１Ｄは、撮像ユニット１と類似し同じ効果を有するため、同じ機能の構成要素には同じ符号を付し説明は省略する。

＜変形例１＞
図９に示す本変形の撮像ユニット１Ａでは、立体配線板１０Ａの凹部Ｈ１０Ａの壁面Ｈ１０ＳＳは、上領域ＵＡと下領域ＬＡとの間に、傾斜角度が上領域ＵＡよりも小さい、例えば、底面に平行（傾斜角度０度）または略平行な中間領域ＭＡを有する。すなわち、中間領域ＭＡは、第１の主面１０ＳＡおよび第２の主面１０ＳＢにも平行または略平行である。「略平行」とは、例えば、一方の面に対して他方の面の傾斜角が１０度未満の状態である。額縁状の中間領域ＭＡは外側に向かって下方に傾斜（傾斜角度がマイナス１０度未満）していてもよい。

図１０に示すように、樹脂３０が凹部Ｈ１０Ａの下領域ＬＡを満たして中間領域ＭＡ（Ｂ１点）に達すると、樹脂３０の面積Ｓの増加速度が急激に早くなる。これは、樹脂３０が中間領域ＭＡに一気に広がるためである。そして、樹脂３０が凹部Ｈ１０Ａの上領域ＵＡ（Ｂ２点）に達すると、樹脂３０の面積Ｓの増加速度が低下する。

樹脂３０の面積Ｓの増加速度が変化するため、撮像ユニット１Ａは、樹脂３０が最小量Vmin以上注入されたことを、撮像ユニット１よりも容易に検出できる。

＜変形例２＞
図１１に示す本変形例の撮像ユニット１Ｂでは、立体配線板１０Ｂの凹Ｈ１０Ｂの壁面Ｈ１０ＳＳは、上領域ＵＡと下領域ＬＡとの間に、底面に平行または略平行な複数の中間領域ＭＡ１、ＭＡ２を有する。

図１２に示すように、樹脂３０が凹部Ｈ１０Ｂの下領域ＬＡを満たして中間領域ＭＡ１（Ｂ１点－Ｂ２点）に達すると、樹脂３０の面積Ｓの増加速度が急激に早くなる。これは、樹脂３０が中間領域ＭＡ２に広がるためである。その後、樹脂３０はＢ２点に達して、樹脂３０の面積Ｓの増加速度は低下する。さらに、樹脂３０が中間領域ＭＡ１（Ｂ３点－Ｂ４点）に達すると、樹脂３０の面積Ｓの増加速度が再び急激に早くなる。その後、樹脂３０はＢ４点に達して、樹脂３０の面積Ｓの増加速度が低下する。

撮像ユニット１Ａは、樹脂３０の最小量Vminが注入されたことを中間領域ＭＡ１における面積Ｓの増加速度の増加によって検出され、まもなく、樹脂３０の最大量Ｖｍａｘまで注入されたことを中間領域ＭＡ２における面積Ｓの増加速度の増加によって検出される。

撮像ユニット１Ａは、樹脂３０が最小量Vmin以上注入されたことを容易に検出できるだけでなく、樹脂３０が最大量Ｖｍａｘを超えない状態に注入できる。

＜変形例３＞
図１３に示す本変形の撮像ユニット１Ｃでは、立体配線板１０Ｃの凹部Ｈ１０Ｃの壁面Ｈ１０ＳＳは、中間領域ＭＡに、積層素子２０を囲む額縁状の突出部１５を有する。突出部１５の高さは、積層素子２０の受光面２０ＳＡよりも低くなる状態に設定されている。

図１４に示すように、樹脂３０が凹部Ｈ１０Ｃの下領域ＬＡを満たしてから、さらに突出部１５に達すると（Ｂ１点）、樹脂３０が突出部１５を覆うことが第１の主面１０ＳＡの方向（上方向）から観察できる。更に、樹脂３０は突出部１５を超えて突出部１５の周囲に広がる（Ｂ２点）。このため、樹脂３０の面積Ｓの増加速度が急激に早くなる。

樹脂３０の増加をより段階的に観察することで、撮像ユニット１Ｃは、樹脂３０が最小量Vmin以上注入されたことを、撮像ユニット１Ａよりも確実に検出できる。

突出部１５の高さは、積層素子２０の周囲において同じでなくともよい。突出部１５は、積層素子２０の周囲に一部突出するような形状でもよく、積層素子２０を部分的に囲む形状でもよいし、隙間なく囲んでもよい。中間領域ＭＡの積層素子２０を囲む位置に突出部１５を有している撮像ユニットは、樹脂３０の増加を段階的に観察できる。

＜変形例４＞
図１５に示す本変形の撮像ユニット１Ｄでは、立体配線板１０Ｄの凹部Ｈ１０Ｄの壁面Ｈ１０ＳＳは、底面に略平行な中間領域ＭＡの一部に、切り欠きＨを有する。

図１６に示すように、樹脂３０が切り欠きＨに達すると、樹脂３０の面積Ｓが広くなる（Ｂ１点）。樹脂３０が切り欠きＨを充填するまで、樹脂３０の面積Ｓは略一定である。その後、樹脂３０が中間領域ＭＡに達すると、樹脂３０の面積Ｓが広くなる（Ｂ２点）。

樹脂３０の面積Ｓの増加をより段階的に観察することで、撮像ユニット１Ｄは、樹脂３０が最小量Vmin注入されたことを、撮像ユニット１Ｃよりも確実に検出できる。

＜第２実施形態＞
図１７に示す本実施形態の内視鏡９は、挿入部９０と、操作部９１と、ユニバーサルコード９２と、を具備する。内視鏡９は、プロセッサ８０、光源装置８１。および、モニタ８２とともに内視鏡システム８を構成している。

細長管形状の挿入部９０は、生体の体腔内に挿入される。挿入部９０は、先端側から順に先端部９０Ａ、湾曲部９０Ｂ、可撓管９０Ｃが連設されており、全体として可撓性を備えている。

湾曲部９０Ｂは、湾曲操作を行うための操作部９１の湾曲ノブの回動操作に応じて、上下左右方向へと湾曲する。

可撓管９０Ｃは、受動的に可撓自在である柔軟性を有する管状部材である。可撓管９０Ｃの内部には、処置具挿通チャンネル、各種の電気信号線、ライトガイドファイバー束等が挿通されている。電気信号線は、先端部９０Ａに内蔵される撮像ユニットから延出され操作部９１を経てユニバーサルコード９２へと延設される。ライトガイドファイバー束は、光源装置８１からの光を先端部９０Ａの先端面へと導光する。

操作部９１は、挿入部９０の基端部に連設されており、複数の操作部材等を有する。ユニバーサルコード９２は、可撓性を有し、操作部９１から延出する管状部材である。

先端部９０Ａには、内部に撮像ユニット１（１Ａ－１Ｄ）が配設されている円筒形の硬質部材９０Ａ１を有している。

内視鏡９は、挿入部９０の先端部９０Ａに配設された撮像ユニット１、１Ａ―１Ｄを具備する。すでに説明したように、撮像ユニット１、１Ａ―１Ｄは、信頼性および性能が優れているため、内視鏡９は信頼性および性能が優れている。

内視鏡は、挿入部が軟性の軟性鏡でも、挿入部が硬性の硬性鏡でもよい。また内視鏡の用途は、医療用でも工業用でもよい。

＜第２実施形態の変形例＞
図１８に示す本変形例の内視鏡９Ｅでは、立体配線板１０Ｅが、硬質部材９１Ａ１である。すなわち、撮像ユニット１Ｅでは、円筒形の立体配線板１０Ｅの先端面（第１の主面１０ＳＡ）の凹部に、積層素子２０、樹脂３０が配設されている。硬質部材９１Ａ１は、処置具挿通チャンネルの貫通孔Ｈ９を有する。硬質部材９１Ａ１には、ライトガイドファイバー束が導光した照明光を照射する照明ユニット４０が配設されている。なお、照明ユニット４０は、先端面に実装されているＬＥＤ等の発光素子でもよい。

撮像ユニット１Ｅは、撮像ユニット１、１Ａ－１Ｄのいずれかと同じ構成の凹部に積層素子２０が配設されている。このため、撮像ユニット１Ｅは、撮像ユニット１、１Ａ－１Ｄのいずれかと同じ効果を有する。また、内視鏡９Ｅは、撮像ユニット１Ｅの立体配線板１０Ｅが、硬質部材９１Ａ１であるため、先端硬性部９１Ａが細径であり、かつ、製造が容易である。

本発明は、上述した実施形態等に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更、組み合わせおよび応用が可能である。

１、１Ａ－１Ｅ・・・撮像ユニット
９・・・内視鏡
１０・・・立体配線板
１５・・・突出部
２０・・・積層素子
２１・・・撮像素子
２２・・・光学系
Ｈ１０・・・凹部
Ｈ１０ＳＳ・・・壁面
ＬＡ・・・下領域
ＭＡ・・・中間領域
ＵＡ・・・上領域

Claims (9)

1. 第１の主面に凹部を有し、前記凹部の壁面は上領域の傾斜角度が下領域の傾斜角度よりも小さい立体配線板と、
   前記凹部に配設された光学系と撮像素子とを有する積層素子と、
   前記凹部と前記積層素子との間の隙間に配設された樹脂と、を具備することを特徴とする撮像ユニット。
2. 前記上領域は、前記第１の主面から、前記凹部の深さの２５％以下の領域であることを特徴とする請求項１に記載の撮像ユニット。
3. 前記壁面は、前記上領域と前記下領域との間に、前記凹部の底面に平行または略平行な少なくとも１つの中間領域を有することを特徴とする請求項１に記載の撮像ユニット。
4. 前記壁面は、前記中間領域の前記積層素子を囲む位置に、突出部を有することを特徴とする請求項３に記載の撮像ユニット。
5. 前記壁面は、前記中間領域に、切り欠きを有することを特徴とする請求項３に記載の撮像ユニット。
6. 前記壁面は、前記上領域と前記下領域との間に、前記凹部の底面に略平行な複数の中間領域を有することを特徴とする請求項２に記載の撮像ユニット。
7. 第１の主面に凹部を有し、前記凹部の壁面は上領域の傾斜角度が下領域の傾斜角度よりも小さい立体配線板と、
   前記凹部に配設された光学系と撮像素子とを有する積層素子と、
   前記凹部と前記積層素子との間の隙間に配設された樹脂と、を具備することを特徴とする内視鏡。
8. 前記立体配線板が、挿入部の先端部に配設されている円筒形の硬質部材であることを特徴とする請求項７に記載の内視鏡。
9. 第１の主面に凹部を有し、前記凹部の壁面は上領域の傾斜角度が下領域の傾斜角度よりも小さい立体配線板と、光学系と撮像素子とを有する積層素子と、を作製する工程と、
   前記凹部に前記積層素子を配設する工程と、
   前記凹部の壁面と前記積層素子との間に樹脂を注入する工程と、を具備し、
   前記樹脂を注入するときに、前記第１の主面の方向から観察した、前記樹脂の面積の増加速度を基に前記樹脂の注入を終了することを特徴とする撮像ユニットの製造方法。

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