JP7428478B2 - 拡散剤組成物、及び半導体基板の製造方法 - Google Patents
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Description
ナノスケールの微小な空隙を有する三次元構造をその表面に備える基板において、微小な空隙の内表面全面を含む全表面に塗布型の拡散剤組成物を均一に塗布できれば、かかる立体的な表面を有する半導体基板において、不純物を均一に拡散させることができる。
しかし、ナノスケールの三次元構造上に拡散剤組成物を塗布する場合、拡散剤組成物からなる塗布膜の膜厚を薄くする必要がある。ところが、塗布型の拡散剤組成物を用いて極薄い塗布膜を形成する場合に、膜厚等のムラが少ない均一な塗布膜を形成しにくかったり、形成された塗布膜の安定性が低かったりする場合がある。
不純物拡散成分(A)と、アミン化合物(B)とを含み、
アミン化合物(B)が脂肪族アミンであり、アミン化合物(B)が有する第一級アミノ基の数をNAとし、アミン化合物(B)が有する第二級アミノ基の数をNBとし、アミン化合物(B)が有する第三級アミノ基の数をNCとする場合に、NA、NB、及びNCが下記式(1)及び(2):
(NB+NC)≧1・・・(1)
(NA+NB+NC)≧2・・・(2)
を満たし、
NB+NC<NAである場合、アミン化合物(B)において、第一級アミノ基が炭素原子数2以下の脂肪族炭化水素基に結合している、拡散剤組成物である。
である。
拡散剤組成物中の不純物拡散成分(A)の、半導体基板への拡散と、を含む、半導体基板の製造方法である。
拡散剤組成物は、半導体基板への不純物拡散に用いられる拡散剤組成物であって、不純物拡散成分(A)を含む。
不純物拡散成分(A)は、半導体基板の表面に塗布することにより拡散層を形成可能である。
不純物拡散成分(A)は、従来から半導体基板へのドーピングに用いられている成分であれば特に限定されず、n型ドーパントであっても、p型ドーパントであってもよい。n型ドーパントとしては、リン、ヒ素、及びアンチモン等の単体、並びにこれらの元素を含む化合物が挙げられる。p型ドーパントとしては、ホウ素、ガリウム、インジウム、及びアルミニウム等の単体、並びにこれらの元素を含む化合物が挙げられる。
拡散剤組成物はアミン化合物(B)を含有する。アミン化合物(B)は脂肪族アミンである。ここで芳香族基を有さないアミン化合物を脂肪族アミンとする。
アミン化合物(B)について、アミン化合物(B)が有する第一級アミノ基の数をNAとし、アミン化合物(B)が有する第二級アミノ基の数をNBとし、アミン化合物(B)が有する第三級アミノ基の数をNCとする場合に、NA、NB、及びNCが下記式(1)及び(2):
(NB+NC)≧1・・・(1)
(NA+NB+NC)≧2・・・(2)
を満たす。
拡散剤組成物が不純物拡散成分(A)とともに、前述の所定の条件を満たすアミン化合物(B)を含むことにより、拡散剤組成物を用いて経時的な安定性に優れる薄膜を形成できる。
比較的鎖長が長い脂肪族炭化水素基に立体障害の小さい第一級アミノ基が結合する場合、第一級アミノ基の立体的な自由度が高い。また、NB+NC<NAである場合、アミン化合物が2以上の第一級アミノ基を有する。詳細な理由は不明であるが、第一級アミノ基についての上記の条件を満たすことにより、立体的な自由度が高い第一級アミノ基の数を制限することで、成膜性や膜の安定性が向上すると思われる。
Rb1Rb2N-(-Rb3-NRb4-)m-Rb5・・・(B1)
mが2以上5以下の整数である場合、複数のRb3は同一であっても異なっていてもよく、複数のRb4は同一であっても異なっていてもよい。
式(B1)において、Rb1、Rb2、Rb4、及びRb5からなる群より選択される任意の2つの基が結合して環を形成してもよい。また、式(B1)で表されるアミン化合物は、2つの環を含んでいてもよい。
Rb1、Rb2、Rb4、及びRb5としてのアルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、sec-ブチル基、tert-ブチル基、n-ペンチル基、及びn-ヘキシル基が挙げられる。これらの中では、メチル基、エチル基、n-プロピル基、イソプロピル基、n-ブチル基、イソブチル基、sec-ブチル基、及びtert-ブチル基が好ましい。
Rb1、Rb2、Rb4、及びRb5としてのヒドロキシアルキル基の具体例としては、ヒドロキシメチル基(メチロール基)、2-ヒドロキシエチル基、3-ヒドロキシ-n-プロピル基、4-ヒドロキシ-n-ブチル基、5-ヒドロキシ-n-ペンチル基、及び6-ヒドロキシ-n-ヘキシル基が挙げられる。これらの中では、2-ヒドロキシエチル基、及び3-ヒドロキシ-n-プロピル基が好ましい。
Rb3としてのアルキレン基の具体例としては、メチレン基、エタン-1,2-ジイル基、エタン-1,1-ジイル基、プロパン-1,3-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、及びヘキサン-1,6-ジイル基が挙げられる。これらの中では、メチレン基、エタン-1,2-ジイル基、及びプロパン-1,3-ジイル基が好ましい。
N,N-ジメチルエチレンジアミン、N,N-ジエチルエチレンジアミン、N,N-ジ-n-プロピルエチレンジアミン、N,N-ジイソプロピルエチレンジアミン、N,N-ジ-n-ブチルエチレンジアミン、N,N-ジイソブチルエチレンジアミン、N,N-ジ-sec-ブチルエチレンジアミン、N,N-ジ-tert-ブチルエチレンジアミン、N,N-ジメチル-1,3-プロパンジアミン、N,N-ジエチル-1,3-プロパンジアミン、N,N-ジ-n-プロピル-1,3-プロパンジアミン、N,N-ジイソプロピル-1,3-プロパンジアミン、N,N-ジ-n-ブチル-1,3-プロパンジアミン、N,N-ジイソブチル-1,3-プロパンジアミン、N,N-ジ-sec-ブチル-1,3-プロパンジアミン、及びN,N-ジ-tert-ブチル-1,3-プロパンジアミン等のN,N-ジアルキルアルカンジアミン;
N,N’-ジメチルエチレンジアミン、N,N’-ジエチルエチレンジアミン、N,N’-ジ-n-プロピルエチレンジアミン、N,N’-ジイソプロピルエチレンジアミン、N,N’-ジ-n-ブチルエチレンジアミン、N,N’-ジイソブチルエチレンジアミン、N,N’-ジ-sec-ブチルエチレンジアミン、N,N’-ジ-tert-ブチルエチレンジアミン、N,N’-ジメチル-1,3-プロパンジアミン、N,N’-ジエチル-1,3-プロパンジアミン、N,N’-ジ-n-プロピル-1,3-プロパンジアミン、N,N’-ジイソプロピル-1,3-プロパンジアミン、N,N’-ジ-n-ブチル-1,3-プロパンジアミン、N,N’-ジイソブチル-1,3-プロパンジアミン、N,N’-ジ-sec-ブチル-1,3-プロパンジアミン、及びN,N’-ジ-tert-ブチル-1,3-プロパンジアミン等のN,N’-ジアルキルアルカンジアミン;
ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、テトラエチレンペンタミン、3,3-ジアミノジプロピルアミン、N,N’-ビス(3-アミノプロピル)エチレンジアミン、N,N’-ビス(3-アミノプロピル)-1,3-プロパンジアミン、トリス(2-アミノエチル)アミン、及びトリス(3-アミノプロピル)アミン、N-(2-アミノエチル)ピペラジン、及びN-(3-アミノプロピル)ピペラジン等の3以上の窒素原子を有する脂肪族アミン類;
N-(2-アミノエチル)エタノールアミン、N,N-ビス(2-アミノエチル)エタノールアミン、N,N-ビス(2-ヒドロキシエチル)エチレンジアミン、N-(3-アミノプロピル)エタノールアミン、N,N-ビス(3-アミノプロピル)エタノールアミン、及びN,N-ビス(2-ヒドロキシエチル)-1,3-プロパンジアミン等のヒドロキシアルキルアミン類;及び
ピペラジン、N-メチルピペラジン、及びN-エチルピペラジン等の環式骨格を有する脂肪族ジアミンが挙げられる。
上記の範囲内の量のアミン化合物(B)を用いる場合、パーティクルの発生等に起因する膜の不均一化、及びアミンの析出による膜質の劣化を抑制しやすい。
拡散剤組成物は、加水分解性シラン化合物(C)を含有していてもよい。拡散剤組成物が加水分解性シラン化合物(C)を含む場合、拡散剤組成物を半導体基板に塗布して薄膜を形成する際に、加水分解性シラン化合物が加水分解縮合して、塗布膜内にケイ素酸化物系の極薄い膜が形成される。塗布膜内に、ケイ素酸化物系の極薄い膜が形成される場合、前述の不純物拡散成分(A)の基板外への外部拡散が抑制され、拡散剤組成物からなる膜が薄膜であっても、良好且つ均一に半導体基板に不純物拡散成分(A)を拡散させやすい。
(Rc1)4-nSi(NCO)n・・・(c1)
(式(c1)中、Rc1は炭化水素基であり、nは3又は4の整数である。)
拡散剤組成物は、通常、薄膜の塗布膜を形成できるように、溶媒として有機溶剤(S)を含む。有機溶剤(S)の種類は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。
拡散剤組成物は、本発明の目的を阻害しない範囲で、界面活性剤、消泡剤、pH調整剤、粘度調整剤等の種々の添加剤を含んでいてもよい。また、拡散剤組成物は、塗布性や、製膜性を改良する目的でバインダー樹脂を含んでいてもよい。バインダー樹脂としては種々の樹脂を用いることができ、アクリル樹脂が好ましい。
半導体基板の製造方法は、
半導体基板上に前述の拡散剤組成物を塗布することによる塗布膜の形成と、
拡散剤組成物中の不純物拡散成分(A)の、半導体基板への拡散と、を含む方法が好ましい。
以下、塗布膜の形成について「塗布工程」とも記し、不純物拡散成分(A)の半導体基板への拡散を「拡散工程」とも記す。
また、塗布膜を備える半導体基板を、拡散温度よりも低い温度条件下に所定の時間処理する拡散前加熱処理工程を、塗布工程と拡散工程との間に実施してもよい。
塗布工程では、半導体基板上に前述の拡散剤組成物を塗布して塗布膜を形成する。拡散剤組成物を塗布する方法は、所望の膜厚の塗布膜を形成できる限り特に限定されない。拡散剤組成物の塗布方法としては、スピンコート法、インクジェット法、及びスプレー法が好ましく、スピンコート法が特に好ましい。
なお、塗布膜の膜厚は、エリプソメーターを用いて測定された5点以上の膜厚の平均値である。
シリコン基板等の半導体基板は、表面が自然に酸化されることにより形成される自然酸化膜を備えることが多い。例えばシリコン基板は、主にSiO2からなる自然酸化膜を備えることが多い。
半導体基板に、不純物拡散成分(A)を拡散させる場合、必要に応じて、フッ化水素酸の水溶液等を用いて、半導体基板表面の自然酸化膜が除去される。
拡散前加熱処理工程では、塗布膜の形成後から、不純物拡散成分(A)の拡散の開始の間に、半導体基板に対して拡散温度よりも低い温度条件下での加熱処理を行う。
かかる加熱処理の条件は、好ましくは、450℃以上700℃未満、5秒以上1分以下である。拡散前加熱処理は好ましくは一定の温度で行われる。
拡散前加熱処理工程の実施は、不純物拡散成分(A)がホウ素化合物である場合に特に有効である。不純物拡散成分(A)中の、ホウ素が酸化されてホウ酸ガラス化することにより、ホウ素が膜として固定されやすくなると考えられる。
拡散工程では、拡散剤組成物を用いて半導体基板上に形成された薄い塗布膜中の不純物拡散成分(A)を半導体基板に拡散させる。不純物拡散成分(A)を半導体基板に拡散させる方法は、加熱により拡散剤組成物からなる塗布膜から不純物拡散成分(A)を拡散させる方法であれば特に限定されない。
なお、本願明細書では、「拡散工程」を所定の拡散温度に到達した時点から、拡散時間(拡散温度の保持時間)が経過するまでの間の工程とする。
雰囲気中の酸素濃度は、拡散工程より前の工程における任意のタイミングにて、所望する濃度に調整される。
酸素濃度の調整方法は特に限定されない。酸素濃度の調整方法としては、半導体基板の加熱を行う装置内に、窒素ガス等の不活性ガスを流通させて、装置内の酸素を不活性ガスとともに装置外に排出する方法が挙げられる。この方法では、不活性ガスを流通させる時間を調整することにより、装置内の酸素濃度を調整出来る。不活性ガスを流通させる時間が長い程、装置内の酸素濃度が低下する。
低酸素濃度の雰囲気で拡散を行う場合、半導体基板表面に酸素により形成される酸化ケイ素が形成しにくいと考えられる。その結果、不純物拡散成分(A)がケイ素を主体とする基板に拡散しやすくなり、不純物拡散成分(A)の拡散の面内均一性が向上する。
かかる残渣物の付着や、高濃度層の形成は、拡散工程を経て得られた半導体基板を用いて半導体デバイスを製造する場合に、製造される半導体デバイスの性能に悪影響を与える場合がある。
このため、拡散工程後には、残渣物や高濃度層を除去する処理を行うのが好ましい。
フッ化水素酸の水溶液の濃度は、残渣物を除去できる限り特に限定されない。フッ化水素酸の水溶液の濃度は、例えば、0.05質量%以上5質量%以下が好ましく、0.1質量%以上1質量%以下がより好ましい。
半導体基板表面と、フッ化水素酸の水溶液とを接触させる温度は、残渣物を除去できる限り特に限定されない。半導体基板表面と、フッ化水素酸の水溶液とを接触させる温度は、例えば、20℃以上40℃以下が好ましく、23℃以上30℃以下がより好ましい。
半導体基板表面と、フッ化水素酸の水溶液とを接触させる時間は、残渣物を除去でき、半導体基板に許容できないダメージが生じない限り特に限定されない。半導体基板表面と、フッ化水素酸の水溶液とを接触させる時間は、例えば、15秒以上5分以下が好ましく、30秒以上1分以下がより好ましい。
プラズマアッシングとしては、酸素含有ガスを用いるプラズマアッシングが好ましく、酸素プラズマアッシングがより好ましい。
酸素プラズマの発生に用いられるガスには、本発明の目的を阻害しない範囲で、従来、酸素とともにプラズマ処理に用いられている種々のガスを混合することができる。かかるガスとしては、例えば、窒素ガス、水素ガス等が挙げられる。
プラズマアッシングの条件は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。
このため、上記の製造方法は、表面が平坦な半導体基板の製造のみならず、微小な立体的な構造を有するマルチゲート素子の製造に用いられる半導体基板の製造に好適に適用できる。本発明にかかる方法は、特に、CMOSイメージセンサー用のCMOS素子や、ロジックLSIデバイス等の半導体素子の製造に好適に適用できる。
実施例1~実施例52、及び比較例2~比較例18において、不純物拡散成分(A)((A)成分)として、下記のA1~A5を用いた。
A1:ホウ酸
A2:三酸化ホウ素
A3:テトラヒドロキシジボラン
A4:トリn-ブトキシホウ素
A5:トリメトキシホウ素
B1:N,N’-ジ-tert-ブチルエチレンジアミン(NA:0、NB:2、NC:0)
B2:N-(2-アミノエチル)エタノールアミン(NA:1、NB:1、NC0)
B3:ピペラジン(6水和物)(NA:0、NB:2、NC:0)
B4:トリエチレンテトラミン(NA:2、NB:2、NC:0)
B5:N,N’-ビス(3-アミノプロピル)エチレンジアミン(NA:2、NB:2、NC:0)
B6:N,N’-ジメチルエチレンジアミン(NA:0、NB:2、NC:0)
B7:N,N’-ジイソプロピルエチレンジアミン(NA:0、NB:2、NC:0)
B8;N,N’-ジメチル-1,3-プロパンジアミン(NA:0、NB:2、NC:0)
B9:ジエチレントリアミン(NA:2、NB:1、NC:0)
B10:テトラエチレンペンタミン(NA2;NB3、NC:0)
B11;N,N’-ビス(3-アミノプロピル)エチレンジアミン(NA:2、NB:2、NC:0)
B12:トリス(2-アミノエチル)アミン(NA:3、NB:0、NC:1)
B13:N-(2-アミノエチル)ピペラジン(NA:1、NB1:NC:1)
B’1:tert-ブチルアミン(NA:1、NB:0、NC:0)
B’2:ジエチルアミン(NA:0、NB:1、NC:0)
B’3:トリエチルアミン(NA:0、NB:0、NC:1)
B’4:イミダゾール
B’5:1-メチルイミダゾール
B’6:モノエタノールアミン(NA:1、NB:0、NC:0)
S1:プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート70質量%と、プロピレングリコールモノメチルエーテル30質量%とからなる混合溶剤
S2:プロピレングリコールモノメチルエーテル
なお、比較例1ではアミン化合物を用いなかった。
実施例7では、スピンコーターによる塗布後にプロピレングリコールモノメチルエーテルによるリンスを行った。
実施例28、実施例31、比較例2、比較例4、比較例7、比較例10、比較例13、及び比較例16では、スピンコーターによる塗布後にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートによるリンスを行った。
実施例45、実施例47、実施例49、及び実施例51では、スピンコーターによる塗布後に前述の有機溶剤S1によるリンスを行った。
具体的には、形成された塗布膜を、クリーンルーム(常温常圧)の環境に24時間置いた後に再度塗布膜の膜厚を測定し、以下の基準に従い塗布膜の安定性を評価した。
◎:24時間静置後の塗布膜の膜厚が、形成直後の塗布膜の膜厚の90%以上である。
〇:24時間静置後の塗布膜の膜厚が、形成直後の塗布膜の膜厚の70%以上90%未満である。
×:24時間静置後の塗布膜の膜厚が、形成直後の塗布膜の膜厚の70%未満である。
ラピッドサーマルアニール装置(ランプアニール装置)を用いて、流量1L/mの窒素雰囲気下において昇温速度15℃/秒の条件で塗布膜を備える半導体基板を表1~表3に記載の温度まで加熱した。次いで、表1~表3に記載の温度を表1~表3に記載の時間保持して拡散処理を行った。拡散時間の始点は、基板の温度が所定の拡散温度に達した時点である。拡散の終了後、半導体基板を室温まで急速に冷却した。
また、不純物拡散剤組成物(A)のみを含むか、不純物拡散剤組成物(A)とともに、所定の条件を満たさないアミン化合物を含む拡散剤組成物を用いる場合、そもそも均一な塗布膜を形成できないか、安定性に優れる塗布膜を形成しにくいことがわかる。
実施例28の拡散剤組成物を、表面にトレンチパターンを有するシリコン基板上に、実施例28と同条件にて塗布したのち、実施例28と同条件について拡散処理を行った。
トレンチパターンについて、トレンチ(溝)の幅が450nmであり、トレンチの深さが4500nmであり、トレンチ間の間隔が1800nmである。
拡散処理後の半導体基板を走査型広がり抵抗顕微鏡法(SSRM)により観察したところ、トレンチパターンの表面形状に追従した均一な厚さの発光が確認された。これにより、トレンチパターンの表面に均一な塗布膜が形成されていたことが分かる。
実施例54~実施例78において、不純物拡散成分(A)((A)成分)として、下記のA6~A9を用いた。
A6:リン酸トリメチル
A7:リン酸トリス(トリメチルシリル)
A8:五酸化二リン
A9:トリ-n-ブトキシヒ素
Claims (11)
- 半導体基板への不純物拡散に用いられる拡散剤組成物であって、
不純物拡散成分(A)と、アミン化合物(B)とを含み、
前記アミン化合物(B)が脂肪族アミンであり、前記アミン化合物(B)が有する第一級アミノ基の数をNAとし、前記アミン化合物(B)が有する第二級アミノ基の数をNBとし、前記アミン化合物(B)が有する第三級アミノ基の数をNCとする場合に、NA、NB、及びNCが下記式(1)及び(2):
(NB+NC)≧1・・・(1)
(NA+NB+NC)≧2・・・(2)
を満たし、
NB+NC<NAである場合、前記アミン化合物(B)において、第一級アミノ基が炭素原子数2以下の脂肪族炭化水素基に結合しており、
前記アミン化合物(B)が下記式(B1)で表されるアミン化合物である、拡散剤組成物。
R b1 R b2 N-(-R b3 -NR b4 -) m -R b5 ・・・(B1)
(上記式(B1)中、R b1 、R b2 、R b4 、及びR b5 は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1以上6以下のアルキル基、又は炭素原子数1以上6以下のヒドロキシアルキル基である。R b3 は、炭素原子数1以上6以下のアルキレン基である。mは1以上5以下の整数である。
mが2以上5以下の整数である場合、複数のR b3 は同一であっても異なっていてもよく、複数のR b4 は同一であっても異なっていてもよい。
mが1である場合、式(B1)において、R b1 、R b2 、R b4 、及びR b5 からなる群より選択される任意の2つの基が結合して環を形成しておらず、また、式(B1)で表されるアミン化合物は、2つの環を含んでいない。
mが2以上5以下の整数である場合、式(B1)において、R b1 、R b2 、R b4 、及びR b5 からなる群より選択される任意の2つの基が結合して環を形成してもよく、また、式(B1)で表されるアミン化合物は、2つの環を含んでいてもよい。) - 半導体基板への不純物拡散に用いられる拡散剤組成物であって、
不純物拡散成分(A)と、アミン化合物(B)とを含み、
前記アミン化合物(B)が脂肪族アミンであり、前記アミン化合物(B)が有する第一級アミノ基の数をNAとし、前記アミン化合物(B)が有する第二級アミノ基の数をNBとし、前記アミン化合物(B)が有する第三級アミノ基の数をNCとする場合に、NA、NB、及びNCが下記式(1)及び(2):
(NB+NC)≧1・・・(1)
(NA+NB+NC)≧2・・・(2)
を満たし、
NB+NC<NAである場合、前記アミン化合物(B)において、第一級アミノ基が炭素原子数2以下の脂肪族炭化水素基に結合しており、
前記アミン化合物(B)が下記式(B1)で表されるアミン化合物である、拡散剤組成物。
R b1 R b2 N-(-R b3 -NR b4 -) m -R b5 ・・・(B1)
(上記式(B1)中、R b1 、R b2 、R b4 、及びR b5 は、それぞれ独立に、水素原子、炭素原子数1以上6以下のアルキル基、又は炭素原子数1以上6以下のヒドロキシアルキル基である。R b3 は、メチレン基、プロパン-1,3-ジイル基、プロパン-1,2-ジイル基、プロパン-1,1-ジイル基、ブタン-1,4-ジイル基、ペンタン-1,5-ジイル基、又はヘキサン-1,6-ジイル基である。mは1以上5以下の整数である。
mが2以上5以下の整数である場合、複数のR b3 は同一であっても異なっていてもよく、複数のR b4 は同一であっても異なっていてもよい。
式(B1)において、R b1 、R b2 、R b4 、及びR b5 からなる群より選択される任意の2つの基が結合して環を形成してもよい。また、式(B1)で表されるアミン化合物は、2つの環を含んでいてもよい。) - 半導体基板への不純物拡散に用いられる拡散剤組成物であって、
不純物拡散成分(A)と、アミン化合物(B)とを含み、
前記アミン化合物(B)が脂肪族アミンであり、前記アミン化合物(B)が有する第一級アミノ基の数をNAとし、前記アミン化合物(B)が有する第二級アミノ基の数をNBとし、前記アミン化合物(B)が有する第三級アミノ基の数をNCとする場合に、NA、NB、及びNCが下記式(1)及び(2):
(NB+NC)≧1・・・(1)
(NA+NB+NC)≧2・・・(2)
を満たし、
NB+NC<NAである場合、前記アミン化合物(B)において、第一級アミノ基が炭素原子数2以下の脂肪族炭化水素基に結合しており、
前記アミン化合物(B)が、直鎖状又は分岐状の脂肪族アミン化合物である、拡散剤組成物。 - 前記アミン化合物(B)が、直鎖状又は分岐状の脂肪族アミン化合物である、請求項1又は2に記載の拡散剤組成物。
- 前記不純物拡散成分(A)が、ホウ素化合物、リン化合物、及びヒ素化合物からなる群より選択される少なくとも1種を含む、請求項1~3のいずれか1項に記載の拡散剤組成物。
- 有機溶剤(S)を含む、請求項1~3のいずれか1項に記載の拡散剤組成物。
- 半導体基板上に請求項1~3のいずれか1項に記載の拡散剤組成物を塗布することによる塗布膜の形成と、
前記拡散剤組成物中の不純物拡散成分(A)の、前記半導体基板への拡散と、を含む、半導体基板の製造方法。 - 前記塗布膜を、700℃以上1200℃未満の温度で加熱して、前記不純物拡散成分(A)を前記半導体基板に拡散させる、請求項7に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記塗布膜の膜厚が0.5nm以上30nm以下である、請求項7又は8に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記塗布膜の有機溶剤によるリンスを含む、請求項7~9のいずれか1項に記載の半導体基板の製造方法。
- 前記半導体基板が、凸部と凹部とを備える立体構造を前記拡散剤組成物が塗布される面上に有する、請求項7~10のいずれか1項に記載の半導体基板の製造方法。
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