JP7421593B2 - 基板処理装置 - Google Patents
基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7421593B2 JP7421593B2 JP2022077298A JP2022077298A JP7421593B2 JP 7421593 B2 JP7421593 B2 JP 7421593B2 JP 2022077298 A JP2022077298 A JP 2022077298A JP 2022077298 A JP2022077298 A JP 2022077298A JP 7421593 B2 JP7421593 B2 JP 7421593B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pipe
- piping
- coil
- substrate
- supply
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 350
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 177
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 227
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 90
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 90
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 64
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 56
- 238000000352 supercritical drying Methods 0.000 claims description 46
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 23
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 8
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 84
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 34
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 26
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 17
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 17
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 16
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 11
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 10
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 10
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 239000003517 fume Substances 0.000 description 7
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 5
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 5
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 5
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 3
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 2
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N sulfuric acid Substances OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 238000004380 ashing Methods 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 1
- JEGUKCSWCFPDGT-UHFFFAOYSA-N h2o hydrate Chemical compound O.O JEGUKCSWCFPDGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N n-(2,4-dichloro-5-propan-2-yloxyphenyl)acetamide Chemical compound CC(C)OC1=CC(NC(C)=O)=C(Cl)C=C1Cl QPJSUIGXIBEQAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 description 1
- 230000001151 other effect Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 1
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 1
- 239000012487 rinsing solution Substances 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- -1 sulfuric acid peroxide Chemical class 0.000 description 1
- 235000011149 sulphuric acid Nutrition 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B5/00—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat
- F26B5/005—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat by dipping them into or mixing them with a chemical liquid, e.g. organic; chemical, e.g. organic, dewatering aids
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/67034—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for drying
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L11/00—Hoses, i.e. flexible pipes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
- H01L21/67103—Apparatus for thermal treatment mainly by conduction
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67126—Apparatus for sealing, encapsulating, glassing, decapsulating or the like
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/67161—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the layout of the process chambers
- H01L21/67173—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the layout of the process chambers in-line arrangement
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/6719—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the processing chambers, e.g. modular processing chambers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
280 乾燥チャンバ
2812 第1ボディー
2814 第2ボディー
2840 流体供給ユニット
2850 流体排出ユニット
2860 駆動機
Claims (20)
- 基板を処理する装置において、
お互いに組合されて内部に基板を処理する処理空間を提供する第1ボディー及び第2ボディーを有するハウジングと、
前記第2ボディーを前記第1ボディーに対して上下方向に移動させて前記処理空間を密閉または開放する駆動機と、
前記第2ボディーに結合されて流体が流動する配管と、を含み、
前記配管は、
前記第2ボディーの上下移動によって伸縮可能な伸縮配管を含み、
前記伸縮配管はコイル配管(Coil-Tube)に提供され、
前記コイル配管で前記流体が流れる通路の断面積は、
前記コイル配管の上端、そして、前記コイル配管の下端と連結される配管の断面積よりさらに小さく形成されることを特徴とする基板処理装置。 - 基板を処理する装置において、
お互いに組合されて内部に基板を処理する処理空間を提供する第1ボディー及び第2ボディーを有するハウジングと、
前記第2ボディーを前記第1ボディーに対して上下方向に移動させて前記処理空間を密閉または開放する駆動機と、
前記第2ボディーに結合されて流体が流動する配管と、を含み、
前記配管は、
前記第2ボディーの上下移動によって伸縮可能な伸縮配管と、前記第2ボディーの上下移動とともに上下移動する移動配管とを含むことを特徴とする基板処理装置。 - 前記伸縮配管はコイル配管(Coil-Tube)により構成されることを特徴とする請求項2に記載の基板処理装置。
- 前記配管は前記処理空間から前記流体を排出する排出配管を含み、
前記コイル配管は、
その上端が下端より前記排出配管の上流に位置することを特徴とする請求項1または3に記載の基板処理装置。 - 前記コイル配管は、
前記第2ボディーが下方向に移動する時、圧縮されるように構成されることを特徴とする請求項4に記載の基板処理装置。 - 前記排出配管は、
前記コイル配管の下流側に連結される第1排出配管と、
前記コイル配管の上流側で前記コイル配管及び前記第2ボディーを連結する第2排出配管と、をさらに含み、
前記第1排出配管は前記第2ボディーが上下移動する時、その高さが固定され、
前記第2排出配管は前記第2ボディーが上下移動する時、前記第2ボディーの上下移動によって共に上下移動するように構成されることを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。 - 前記配管は前記処理空間で前記流体を供給する供給配管を含み、
前記コイル配管は、
その上端が下端より前記供給配管の上流に位置することを特徴とする請求項1または3に記載の基板処理装置。 - 前記コイル配管は、
前記第2ボディーが下方向に移動する時、引っ張られるように構成されることを特徴とする請求項7に記載の基板処理装置。 - 前記供給配管は、
前記コイル配管の上流側に連結される第1供給配管と、
前記コイル配管の下流側で前記コイル配管及び前記第2ボディーを連結する第2供給配管と、をさらに含み、
前記第1供給配管は前記第2ボディーが上下移動する時、その高さが固定され、
前記第2供給配管は前記第2ボディーが上下移動する時、前記第2ボディーの上下移動によって共に上下移動するように構成されることを特徴とする請求項8に記載の基板処理装置。 - 前記配管は超臨界流体が流動する配管により構成されることを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記第2ボディーは前記第1ボディーより下に位置し、
前記配管は、
前記第1ボディーに連結されて前記処理空間に前記流体を供給する第1供給配管と、
前記第2ボディーに連結されて前記処理空間に前記流体を供給する第2供給配管と、
前記処理空間から前記流体を排出する排出配管と、を含み、
前記コイル配管は前記第2供給配管及び前記排出配管によりそれぞれ構成されることを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。 - 基板を処理する装置において、
お互いに組合されて基板上に残留する有機溶剤が超臨界状態の乾燥用流体によって乾燥される処理空間を形成する第1ボディーと第2ボディーが提供されるハウジングと、
前記第2ボディーを前記第1ボディーに対して昇下降して前記処理空間を密閉または開放する駆動機と、
前記処理空間内で基板を支持する支持ユニットと、
前記第2ボディーに結合されて前記処理空間から前記超臨界状態の乾燥用流体を排出する排出配管と、を含み、
前記排出配管は、
前記第2ボディーの昇下降によって伸縮可能なコイル配管(Coil-Tube)を含み、
前記コイル配管は、
前記第2ボディーが昇降して前記処理空間が密閉される時、その上端が下端より前記排出配管の上流に位置し、
前記コイル配管は、
前記第2ボディーが下降移動する時に圧縮されるように提供され、
前記排出配管は、
前記コイル配管の下流側に連結される第1排出配管と、
前記コイル配管の上流側で前記コイル配管及び前記第2ボディーを連結する第2排出配管と、をさらに含み、
前記第1排出配管は前記第2ボディーが上下移動する時、その高さが固定され、
前記第2排出配管は前記第2ボディーが上下移動する時、前記第2ボディーの上下移動によって共に上下移動するように提供され、
前記第2排出配管は、
前記排出配管の上流側から下流側に順に配置された第1部分、第2部分、第3部分、そして、第4部分を含み、
前記第1部分は前記第2ボディーに結合された支点から地面に対して下方向に延長され、
前記第2部分は前記第1部分から地面に対して平行な方向に延長され、
前記第3部分は前記第2部分から地面に対して上の方向に垂直に延長され、
前記第4部分は前記第3部分から地面に対して水平に延長されるが、
前記第2ボディーが下降移動する時、前記第1部分及び前記第3部分は下方向に移動し、前記コイル配管は圧縮される、基板処理装置。 - 基板を処理する装置において、
お互いに組合されて基板上に残留する有機溶剤が超臨界状態の乾燥用流体によって乾燥される処理空間を形成する第1ボディーと第2ボディーが提供されるハウジングと、
前記第2ボディーを前記第1ボディーに対して昇下降して前記処理空間を密閉または開放する駆動機と、
前記処理空間内で基板を支持する支持ユニットと、
前記第2ボディーに結合されて前記処理空間から前記超臨界状態の乾燥用流体を排出する排出配管と、を含み、
前記排出配管は、
前記第2ボディーの昇下降によって伸縮可能なコイル配管(Coil-Tube)を含み、
前記コイル配管は、
前記第2ボディーが昇降して前記処理空間が密閉される時、その上端が下端より前記排出配管の上流に位置し、
前記コイル配管で前記超臨界状態の乾燥用流体が流れる通路の断面積は、
前記コイル配管の上端、そして、前記コイル配管の下端と連結される配管の断面積よりさらに小さく形成される、基板処理装置。 - 基板を処理する装置において、
お互いに組合されて基板上に残留する有機溶剤が超臨界状態の乾燥用流体によって乾燥される処理空間を形成する第1ボディーと第2ボディーが提供されるハウジングと、
前記第2ボディーを前記第1ボディーに対して昇下降して前記処理空間を密閉または開放する駆動機と、
前記処理空間内で基板を支持する支持ユニットと、
前記第2ボディーに結合されて前記処理空間から前記超臨界状態の乾燥用流体を排出する排出配管と、を含み、
前記排出配管は、
前記第2ボディーの昇下降によって伸縮可能なコイル配管(Coil-Tube)と、前記第2ボディーの昇下降とともに昇下降する移動配管とを含み、
前記コイル配管は、
前記第2ボディーが昇降して前記処理空間が密閉される時、その上端が下端より前記排出配管の上流に位置する基板処理装置。 - 前記コイル配管は、
前記第2ボディーが下降移動する時に圧縮されるように構成されることを特徴とする請求項13または14に記載の基板処理装置。 - 前記排出配管は、
前記コイル配管の下流側に連結される第1排出配管と、
前記コイル配管の上流側で前記コイル配管及び前記第2ボディーを連結する第2排出配管と、をさらに含み、
前記第1排出配管は前記第2ボディーが上下移動する時、その高さが固定され、
前記第2排出配管は前記第2ボディーが上下移動する時、前記第2ボディーの上下移動によって共に上下移動するように構成されることを特徴とする請求項13または14に記載の基板処理装置。 - 基板を処理する装置において、
お互いに組合されて基板上に残留する有機溶剤が超臨界状態の乾燥用流体によって乾燥される処理空間を形成する第1ボディーと第2ボディーが提供されるハウジングと、
前記第2ボディーを前記第1ボディーに対して昇下降して前記処理空間を密閉または開放する駆動機と、
前記処理空間内で基板を支持する支持ユニットと、
前記第2ボディーに結合されて前記処理空間に前記超臨界状態の乾燥用流体を供給する供給配管と、を含むが、
前記供給配管は、
前記第2ボディーの昇下降によって伸縮可能なコイル配管(Coil-Tube)を含み、
前記コイル配管は、
前記第2ボディーが昇降して前記処理空間が密閉される時、その上端が下端より前記供給配管の上流に位置し、
前記コイル配管で前記超臨界状態の乾燥用流体が流れる通路の断面積は、
前記コイル配管の上端、そして、前記コイル配管の下端と連結される配管の断面積よりさらに小さく形成される、基板処理装置。 - 基板を処理する装置において、
お互いに組合されて基板上に残留する有機溶剤が超臨界状態の乾燥用流体によって乾燥される処理空間を形成する第1ボディーと第2ボディーが提供されるハウジングと、
前記第2ボディーを前記第1ボディーに対して昇下降して前記処理空間を密閉または開放する駆動機と、
前記処理空間内で基板を支持する支持ユニットと、
前記第2ボディーに結合されて前記処理空間に前記超臨界状態の乾燥用流体を供給する供給配管と、を含み、
前記供給配管は、
前記第2ボディーの昇下降によって伸縮可能なコイル配管(Coil-Tube)と、前記第2ボディーの昇下降とともに昇下降する移動配管とを含み、
前記コイル配管は、
前記第2ボディーが昇降して前記処理空間が密閉される時、その上端が下端より前記供給配管の上流に位置する基板処理装置。 - 前記供給配管は、
前記コイル配管の上流側に連結される第1供給配管と、
前記コイル配管の下流側で前記コイル配管及び前記第2ボディーを連結する第2供給配管と、をさらに含み、
前記第1供給配管は前記第2ボディーが上下移動する時、その高さが固定され、
前記第2供給配管は前記第2ボディーが上下移動する時、前記第2ボディーの上下移動によって共に上下移動するように構成されることを特徴とする請求項17または18に記載の基板処理装置。 - 前記第2供給配管は、
前記コイル配管から前記供給配管の下流側に順に配置された第5部分、第6部分を含み、
前記第5部分は前記第2ボディーに結合された支点から地面に対して下方向に延長され、
前記第6部分は前記第5部分から地面に対して平行な方向に延長され、
前記第2ボディーが下降移動する時、前記第5部分は下方向に移動し、前記コイル配管は引張されることを特徴とする請求項19に記載の基板処理装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020210070010A KR102609394B1 (ko) | 2021-05-31 | 2021-05-31 | 기판 처리 장치 |
KR10-2021-0070010 | 2021-05-31 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022184751A JP2022184751A (ja) | 2022-12-13 |
JP7421593B2 true JP7421593B2 (ja) | 2024-01-24 |
Family
ID=84193878
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022077298A Active JP7421593B2 (ja) | 2021-05-31 | 2022-05-10 | 基板処理装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220381509A1 (ja) |
JP (1) | JP7421593B2 (ja) |
KR (2) | KR102609394B1 (ja) |
CN (1) | CN115483131A (ja) |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001077071A (ja) | 1992-09-07 | 2001-03-23 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造装置のガスクリーニング方法 |
JP2008311603A (ja) | 2006-11-28 | 2008-12-25 | Ebara Corp | 基板の表面処理装置及び方法、並びに基板処理装置及び方法 |
JP2010060244A (ja) | 2008-09-05 | 2010-03-18 | Tokyo Electron Ltd | 蒸気発生器、蒸気発生方法および基板処理装置 |
JP2010161165A (ja) | 2009-01-07 | 2010-07-22 | Tokyo Electron Ltd | 超臨界処理装置、基板処理システム及び超臨界処理方法 |
JP2013004662A (ja) | 2011-06-15 | 2013-01-07 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置および液処理方法 |
JP2013033962A (ja) | 2011-07-29 | 2013-02-14 | Semes Co Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101329304B1 (ko) * | 2011-07-29 | 2013-11-14 | 세메스 주식회사 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
KR102319449B1 (ko) * | 2020-06-25 | 2021-11-01 | 무진전자 주식회사 | 기판 건조 장치 |
-
2021
- 2021-05-31 KR KR1020210070010A patent/KR102609394B1/ko active IP Right Grant
-
2022
- 2022-05-10 JP JP2022077298A patent/JP7421593B2/ja active Active
- 2022-05-26 US US17/825,275 patent/US20220381509A1/en active Pending
- 2022-05-31 CN CN202210613432.4A patent/CN115483131A/zh active Pending
-
2023
- 2023-11-29 KR KR1020230169287A patent/KR20230166999A/ko not_active Application Discontinuation
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001077071A (ja) | 1992-09-07 | 2001-03-23 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造装置のガスクリーニング方法 |
JP2008311603A (ja) | 2006-11-28 | 2008-12-25 | Ebara Corp | 基板の表面処理装置及び方法、並びに基板処理装置及び方法 |
JP2010060244A (ja) | 2008-09-05 | 2010-03-18 | Tokyo Electron Ltd | 蒸気発生器、蒸気発生方法および基板処理装置 |
JP2010161165A (ja) | 2009-01-07 | 2010-07-22 | Tokyo Electron Ltd | 超臨界処理装置、基板処理システム及び超臨界処理方法 |
JP2013004662A (ja) | 2011-06-15 | 2013-01-07 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置および液処理方法 |
JP2013033962A (ja) | 2011-07-29 | 2013-02-14 | Semes Co Ltd | 基板処理装置及び基板処理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20220162216A (ko) | 2022-12-08 |
CN115483131A (zh) | 2022-12-16 |
KR102609394B1 (ko) | 2023-12-06 |
JP2022184751A (ja) | 2022-12-13 |
KR20230166999A (ko) | 2023-12-07 |
US20220381509A1 (en) | 2022-12-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN106920743B (zh) | 基板处理方法及基板处理系统 | |
JP5626611B2 (ja) | 基板乾燥装置及び基板乾燥方法 | |
JP5544666B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP5146522B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理方法及び記憶媒体 | |
JP5639686B2 (ja) | 基板処理方法 | |
KR101536724B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
CN107611056B (zh) | 用于处理基板的设备和方法 | |
US10825698B2 (en) | Substrate drying apparatus, facility of manufacturing semiconductor device, and method of drying substrate | |
US20140360041A1 (en) | Substrate treating apparatus | |
JP6495030B2 (ja) | ウエハ状の物品を処理する方法および装置 | |
JP7421593B2 (ja) | 基板処理装置 | |
KR102294728B1 (ko) | 액 공급 유닛 및 이를 가지는 기판 처리 장치 | |
JP5641374B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP7237042B2 (ja) | 流体供給ユニット及びこれを有する基板処理装置 | |
KR101570167B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR101605713B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR102578764B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
US20230100773A1 (en) | Unit for supplying liquid, apparatus and method for treating substrate with the unit | |
US20230187230A1 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
US20210050210A1 (en) | Method and apparatus for treating substrate | |
KR102155216B1 (ko) | 탱크, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 | |
JP2023095783A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
KR20230049801A (ko) | 초임계 유체 저장부 및 이를 포함하는 기판 처리 장치 | |
CN116387136A (zh) | 用于处理基板的设备及用于处理基板的方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220510 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230605 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230613 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230913 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20231017 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20231222 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20240109 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240112 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7421593 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |