JP7411436B2 - 超純水中の微粒子捕捉方法及び微粒子捕捉用ろ過膜 - Google Patents
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Description
そこで、本発明は、超純水中の微粒子を分析、観察するために、安定してろ過操作を行うことができ、かつ、その表面観察において、微細な微粒子を、安定して観察できる超純水中の微粒子捕捉方法及びその方法に好適な微粒子捕捉用ろ過膜を提供することを目的とする。
まず、本実施形態の微粒子捕捉用ろ過膜について説明する。
本実施形態の微粒子捕捉用ろ過膜は、上記のように、ろ過膜と、該ろ過膜の表面に、CVD法を用いて形成した薄膜と、を有してなる。
そのため、このろ過膜は、上述した材質のうち、アルミナ(Al2O3)、銀(Ag)、銅(Cu)等で形成されているろ過膜が、特に好ましいものとして挙げられる。
また、熱CVD法は、ガス状にして導入した金属化合物を、加熱された膜表面上で熱分解反応して、金属や酸化物、窒化物の膜を堆積させる方法である。
なお、薄膜形成の方法としては、スパッタリング法も広く普及しているが、この方法を用いた場合、ろ過膜の外表面には薄膜が形成されるものの、背面側への膜形成が十分とならず、超純水との接触による不具合が解消されないおそれがあり、また、ろ過膜の細孔内部に薄膜が形成されないため、ろ過膜の強度の向上が望めないため、好ましくない。
次に、本発明の一実施形態である超純水中の微粒子捕捉方法について説明する。
この微粒子捕捉方法は、表面に、上記した本実施形態の微粒子捕捉用ろ過膜を用意し、この微粒子捕捉用ろ過膜に超純水を通水させるものである。以下、それぞれの構成について詳細に説明する。
(実施例1)
アルミナ製のろ過膜(ワットマン社製、商品名:アノディスク;孔径 0.02μm、直径 25mm、厚さ 60μm)の表面に、オスミウムコータ(メイワフォーシス株式会社製、商品名:Neoc-Pro)を用い、プラズマCVD法により厚さ3nmのアモルファスなオスミウム金属膜を形成し、微粒子捕捉用ろ過膜1を得た。
一方、超純水製造システム(半導体製造用システム:1次系は前段逆浸透膜システムで、逆浸透膜の後段に脱気膜、TOCUV、EDI等を設置し、2次系は脱気膜、ポリッシャー等を設置したシステム)で、18.2MΩ・cm、DO(溶存酸素)濃度が0.7μg/Lの超純水を製造した。
この超純水製造システムで得られる超純水を、その出口水として流通している主配管から分岐させ、微粒子捕捉用ろ過膜1に30日間通水した。
実施例1と同様に、超純水製造システムで製造した超純水を、その出口水として流通している主配管から分岐させ、アルミナ製のろ過膜(ワットマン社製、商品名:アノディスク;孔径 0.02μm、直径 25mm、厚さ 60μm)に2日間通水した。
被処理水を、超純水の代わりに実施例1の超純水システムの逆浸透膜(東レ株式会社製、商品名:TM720;RO膜)に透過して得られたRO透過水(導電率110μS/cm、溶存酸素(DO)濃度8mg/L)とした以外は、比較例1と同様の操作により、RO透過水をアルミナ製のろ過膜に2日間通水処理した。
アルミナ製のろ過膜(ワットマン社製、商品名:アノディスク;孔径 0.02μm、直径 25mm、厚さ 60μm)の表面に、スパッタコータ(株式会社日立ハイテクノロジーズ製、商品名:E-1030)を用い、厚さ 10nmのPt-Pd膜を形成し、微粒子捕捉用ろ過膜C3を得た。
次いで、実施例1と同様に、超純水を、ここで得られた微粒子捕捉用ろ過膜C3に2日間通水した。
比較例3は、表面に薄膜を形成したろ過膜を用いたが、膜の細孔内部まで薄膜で覆われたものではないので、被処理水の超純水(別名ハングリーウォーター)の影響で、膜が破損した。そのため、図4では膜の孔径が大きいように見えるが、これは膜の破損によって膜の支持層が見えるようになっているためである。
金属銀製のろ過膜(STERLITECH社製、商品名:銀メンブレンフィルター;孔径 0.1μm、直径 25mm、厚さ 50μm)の表面に、オスミウムコータ(メイワフォーシス株式会社製、商品名:Neoc-Pro)を用い、プラズマCVD法により厚さ3nmのアモルファスなオスミウム金属膜を形成し、微粒子捕捉用ろ過膜2を得た。
実施例1と同一の超純水製造システムで得られた超純水を、その出口水として流通している主配管から分岐させ、微粒子捕捉用ろ過膜2に30日間通水した。
実施例2と同様に、超純水製造システムで製造した超純水を、その出口水として流通している主配管から分岐させ、金属銀製のろ過膜(STERLITECH社製、商品名:銀メンブレンフィルター;孔径 0.1μm、直径 25mm、厚さ 50μm)に2日間通水した。
被処理水を、超純水の代わりにRO膜(東レ株式会社製、商品名:TM720)に透過して得られたRO透過水(導電率110μS/cm、溶存酸素(DO)濃度8mg/L)とした以外は、比較例4と同様の操作により、RO透過水を金属銀製のろ過膜に2日間通水処理した。
金属銀製のろ過膜(STERLITECH社製、商品名:銀メンブレンフィルター;孔径 0.1μm、直径 25mm、厚さ 50μm)の表面に、スパッタコータ(株式会社日立ハイテクノロジーズ製、商品名:E-1030)を用い、厚さ 10nmのPt-Pd膜を形成し、微粒子捕捉用ろ過膜C6を得た。
次いで、実施例2と同様に、超純水を、ここで得られた微粒子捕捉用ろ過膜C6に2日間通水した。
これらの評価は、その形成された薄膜や通水した水の種類に応じて、実施例1と、比較例1~3と対応するろ過膜と同様である。すなわち、実施例2(図5)と比較例5(図7)は、膜の破損は見られなかった。また、比較例4(図6)と比較例6(図8)は、膜が一部溶解し、孔径が大きい部分が確認できる。おそらく、膜表面が少しずつ超純水に溶解し、流れやすい部分が生じ、そこに集中的に超純水が流れることにより、その部分の溶解が優先的に進行して、このような状況になると推測される。
Claims (12)
- ろ過膜と、前記ろ過膜の表面に、CVD法を用いて形成した薄膜と、を有する微粒子捕捉用ろ過膜を用意し、
前記微粒子捕捉用ろ過膜に超純水を通水させることを特徴とする超純水中の微粒子捕捉方法。 - 前記薄膜が、オスミウム、タングステン及びチタンから選ばれる少なくとも一つの元素を含有する薄膜である請求項1に記載の超純水中の微粒子捕捉方法。
- 前記通水後の前記微粒子捕捉用ろ過膜の表面を、観察装置により観察する請求項1又は2に記載の超純水中の微粒子捕捉方法。
- 前記観察装置が、走査型電子顕微鏡(SEM)である請求項3に記載の超純水中の微粒子捕捉方法。
- 前記薄膜が、オスミウム単体及び/又はオスミウム酸化物で形成されている請求項1~4のいずれか1項に記載の超純水中の微粒子捕捉方法。
- 前記薄膜が、前記ろ過膜表面の90%以上を被覆してなる請求項1~5のいずれか1項に記載の超純水中の微粒子捕捉方法。
- 前記ろ過膜が、セルロース混合エステル、ポリカーボネート、親水性ポリエーテルスルホン若しくは液晶構造を有する高分子で形成される有機系材料又はアルミナ若しくは銀で形成される無機系材料で形成されている請求項1~6のいずれか1項に記載の超純水中の微粒子捕捉方法。
- 前記微粒子捕捉用ろ過膜の孔径が、0.01~3μmである請求項1~7のいずれか1項に記載の超純水中の微粒子捕捉方法。
- ろ過膜と、前記ろ過膜の表面に、オスミウム、タングステン及びチタンから選ばれる少なくとも一つの元素を含有する薄膜と、を有し、
前記薄膜が、オスミウム単体及び/又はオスミウム酸化物で形成されている微粒子捕捉用ろ過膜。 - 前記薄膜が、前記ろ過膜表面の90%以上を被覆している請求項9に記載の微粒子捕捉用ろ過膜。
- 前記ろ過膜が、セルロース混合エステル、ポリカーボネート、親水性ポリエーテルスルホン若しくは液晶構造を有する高分子で形成される有機系のろ過膜又はアルミナ若しくは銀で形成される無機系のろ過膜である請求項9又は10に記載の微粒子捕捉用ろ過膜。
- 前記微粒子捕捉用ろ過膜の孔径が、0.01~3μmである請求項9~11のいずれか1項に記載の微粒子捕捉用ろ過膜。
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