JP7407733B2 - フラックスシート及びフラックスシートを用いたはんだ接合方法 - Google Patents
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Description
そこで、本発明の課題は、基板との接着性が強く、リフロー中にはんだボールのズレが生じないフラックスシートを提供することである。
すなわち、本発明は、以下のフラックスシート及びはんだ接合方法である。
この特徴によれば、基板との接着性及びはんだボールの保持力が強く、シートの平坦性が良好であるため、シート軟化後にはんだボールが真下に沈むことができ、はんだボールのズレが生じないという効果を発揮することができる。さらに、本発明のフラックスシートは、低温でもラミネートすることができ、またラミネートしなくても基板との接着性が良好であるという効果を生じる。
この特徴によれば、基板との接着性が良好であり、リフロー中にはんだボールのズレが生じないという効果を発揮できるとともに、フラックスシートの接着性やタック性を制御できるという効果により優れたリワーク性を発揮することができる。
この特徴によれば、はんだボールの濡れ性を向上させることができ、はんだリフロー時に、はんだボールと電極との位置ズレを補正することができるという効果(セルフアライメント効果)を発揮することができる。
この特徴によれば、はんだリフロー時における低分子化合物の気化等による基板汚染や、はんだの転がりによるズレを抑制することができるという効果を発揮することができる。
この特徴によれば、フラックスシートの作製時や実装時やはんだリフロー後、フラックスシートを洗浄する際に、水系の溶媒を用いることができる。これにより揮発性の高い有機溶媒を使用せずにフラックスシートを洗浄することが可能となるため、有機溶媒の揮発による環境負荷を低減することができるという効果を発揮することができる。
この特徴によれば、基板との接着性が良好であり、リフロー中にはんだボールのズレが生じないという効果をより発揮することができる。
この特徴によれば、接着性やタック性を制御して作業時の取り扱い性をよくし、リワーク性に優れ、また見かけの水溶性を向上させることができる。
この特徴によれば、はんだボール保持力と、良好な取り扱い性を両立させることができる。
この特徴によれば、はんだボールと電極との位置ズレがより大きく発生する大面積のウエハや基板に対して、位置ズレをより抑制することができるという効果を発揮することができる。
(1)電極を有する基板の電極を有する面に前記フラックスシートを配置するステップ
(2)前記フラックスシートの上に、はんだボールを配置するステップ
(3)前記フラックスシートが溶融或いは軟化する温度に加熱するステップ
(4)(3)と同時或いはその後、はんだの融点以上の温度に加熱するステップ
この特徴によれば、基板との接着性が強く、リフロー中にはんだボールのズレが生じないフラックスシートを用いることから、はんだ接合の不良等が生じないという効果を発揮することができる。
本発明のフラックスシートは、樹脂(A)を含むフラックスシートであって、前記樹脂(A)が、ガラス転移点が40℃以下で、150℃の溶融粘度が500Pa・s(せん断速度10mm/分で測定)以下である樹脂(a1)を含有することを特徴とする。本発明において、「フラックスシート」とは、はんだ接合の形成のために用いられるシートであって、はんだ表面の酸化皮膜を除去するために用いるものである。具体的には、樹脂(A)としてフラックス作用を有する樹脂を含有する、もしくはフラックスシートがフラックス剤(B)を含有する、のうち少なくとも一方を満たすことで、フラックス効果を有するシート(フラックスシート)とすることができる。
本発明の樹脂(A)は、ガラス転移点が40℃以下で、150℃の溶融粘度が500Pa・s以下である樹脂(a1)を含有することを特徴とする。
ガラス転移点は、物質のガラス転移が起こる温度(ミクロブラウン運動が起こる温度)であり、一般的にガラス転移点未満の温度領域では、硬くガラス状の性質を示し、ガラス転移点より高い温度領域では、軟らかくゴム状や液体状の性質を示す。
上記樹脂(a1)のガラス転移点と接着性の関係について説明すると、アモルファス構造をもつ高分子シートでは、ガラス転移温度より低温で硬いガラス状態、高温で軟らかいゴム状態となる。そのため、ガラス転移温度が低い(室温付近、更には室温以下)樹脂を含むシートは、取り扱う温度領域で軟らかく、基板にシートを配置する際に、基板と界面での密着性が向上するため、シートの接着力が強くなるといえる。またガラス転移温度が低い樹脂を含むシートは、基板の反り発生や熱分解などの悪影響を及ぼす可能性の低い、比較的低温(60~80℃程度)の領域でも、ボイドをかむことなくラミネートできるといえる。結果、ガラス転移点を40℃以下とすることで粘着付与剤等を添加することなく基板・はんだボールと接着性が良好なフラックスシートが得られる。
本発明において、ガラス転移点は、示差走査熱量測定装置(X-DSC7000 セイコーインスツル株式会社製)を用いて測定することができる。
本発明において、150℃の溶融粘度はせん断速度10mm/minの条件で、キャピラリーレオメーター(キャピログラフID 株式会社東洋精機製作所製)により測定することができる。
樹脂(a1)が、水溶性であることで、フラックスシートを製造する際に、水系の溶媒を用いて製造することができる。また、フラックスシートを洗浄する際に、水系の溶媒を用いることができ、有機溶媒の揮発による環境負荷を低減することができるという効果を発揮することができる。
nを上記範囲内とすることで、接着性に優れたフラックスシートを得ることができる。
炭素原子数1~10のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n-プロピル基、i-プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等が挙げられる。
炭素原子数1~10アシル基としては、メチルカルボニル基、エチルカルボニル基、n-プロピルカルボニル基、i-プロピルカルボニル基、ブチルカルボニル基、ペンチルカルボニル基、ヘキシル基カルボニル等が挙げられる。
炭素原子数1~10のアルキルエステル基としては、メチルオキシカルボニルメチレン基、メチルカルボニルオキシメチレン基、エチルオキシカルボニルエチレン基、エチルカルボニルオキシエチレン基等が挙げられる。
炭素原子数1~10のアルキルアミド基としては、N,N’-ジメチルアミドアルキレン基、N,N’-ジエチルアミドアルキレン基等が挙げられる。
前記ポリエステルとして、具体的には、商品名「ペスレジンA-680(高松油脂株式会社製;ガラス転移点30℃、150℃の溶融粘度:29Pa・s(せん断速度10mm/分))、前記ポリアミドとして、具体的には、商品名「AQナイロン T-70(東レ株式会社製;ガラス転移点-46℃、150℃の溶融粘度:17Pa・s(せん断速度10mm/分))が挙げられる。
樹脂(a2)としては、ガラス転移点が前記樹脂(a1)より高い樹脂であれば、限定されないが、例えば、上記樹脂(a1)において例示した熱可塑性樹脂を用いることができる。更に、上記熱可塑性樹脂に加えて、熱硬化性樹脂等も含有することができるが、洗浄性の観点からは熱硬化性樹脂は45質量%以下であることが好ましい。熱硬化性樹脂の含有量を60質量%以下とすることで、熱硬化性樹脂が組成物中において島相を形成することができ、良好な洗浄性を得ることができるため好ましい。
樹脂(a2)のガラス転移点としては、40℃より高いことが好ましい。また、下限値としては、より好ましくは50℃以上であり、更に好ましくは60℃以上である。
樹脂(a1)の含有量は、下限値としては、好ましくは60質量%以上であり、より好ましくは65質量%以上であり、更に好ましくは、70質量%以上である。上限値としては、95質量%以下であり、より好ましくは、90質量%以下である。
発明の樹脂(A)は、樹脂(a1)に加えて、樹脂(a2)を加えることで、基板等に対する粘着力を制御することができる。また配置されたはんだボールの位置を簡単に補正することができ、リワーク性が向上する。更に、シート自体の柔軟性や取扱い性に優れる。また、樹脂(a2)の含有量を上記範囲内とすることで、水系の溶媒で洗浄することが可能となる。
本発明のフラックスシートは、樹脂(A)に加えて、例えば、フラックス剤(B)を含有させてもよい。フラックス剤を含有させることで、より強いフラックス作用を発現或いは向上させ、はんだ接合の形成性を良好にすると共に、電気伝導性を向上させることができる。また、はんだの濡れ性を向上させることができ、はんだリフロー時に、はんだボールと電極との位置ズレを補正することができるという効果(セルフアライメント効果)をより発揮することができる。
フラックス剤(B)は、はんだ表面にある高融点の金属酸化物を取り除くことができる成分であれば特に限定されず、酸性物質、塩基性物質又はアルコール等が好ましく用いられる。また常温で活性を有するもの、加熱により活性するもの、いずれも用いることができる。
フラックス剤(B)の含有量を上記範囲内とすることで、フラックス剤と基板との接着性を抑制せずに、はんだ表面の酸化皮膜を充分に除去することができる。更に基板中にフラックス剤が残留することを抑制することで高温高湿での絶縁抵抗の低下抑制や、金属の腐食やマイグレーションを防ぐことができる。
本発明のフラックスシートは、上記樹脂(A)及びフラックス剤(B)に加えて、本発明の効果を損なわない範囲で、例えば、一般的なフラックスに含まれる添加剤を含有してもよい。添加剤としては、チクソトロピー性付与剤やフラックス活性補助剤、消泡剤などが挙げられる。
チクソトロピー性付与剤としては、m-キシリレンビスステアリン酸アミドなどの脂肪酸アミド、カスターワックス(硬化ひまし油)などのポリオレフィン系ワックス、N-ブチル-N'-ステアリル尿素などの置換尿素ワックス、ポリエチレングリコール、メチルセルロース、エチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロースなどの高分子化合物、シリカ粒子、カオリン粒子などの無機粒子、などが挙げられる。
チクソトロピー性付与剤は1種単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。
消泡剤としては、例えば、ラウリルアルコール、セチルアルコール、ステアリルアルコール、エイコサノール、ドコサノール等のアルコール、ポリエチレンワックス、パラフィンワックス、白油などの炭化水素系化合物、カルボン酸(例えば、パルミチン酸、オレイン酸、ステアリン酸など)とアルコール(例えば、メタノール、エタノール、オクタノールなど)と縮合により得られる脂肪酸エステル類、牛脂、大豆油、アマニ油、などの天然物油脂、ポリジメチルシロキサン、ポリメチルフェニルシロキサンなどのシロキサン類などが挙げられる。また、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤等の親油性の高い界面活性剤も用いることができる。
実質的に(B)以外の低分子化合物を含有しないことで、はんだリフロー時における低分子化合物の気化等による基板汚染や、突発的な気化によるはんだの転がりによるズレを抑制することができるという効果を発揮することができる。
実質的に含有しないとは、フラックスシートの構成成分として、意図的に(B)以外の低分子化合物を添加しないことを意味する。フラックスシートにおいて、シート作成工程上必要となる溶媒や(A)樹脂の原料モノマー由来の低分子化合物などが残存することがあるが、その場合、例えば、含有量として10質量%未満であり、上限値としては、好ましくは5質量%未満であり、より好ましくは3質量%未満であり、更に好ましくは2質量%未満であり、特に好ましくは1質量%未満である。
本発明のフラックスシートは、樹脂(A)が、ガラス転移点が40℃以下で、150℃の溶融粘度が500Pa・s(せん断速度10mm/分で測定)以下である樹脂(a1)を含有することを特徴としているため、基板との接着性が強く、リフロー中にはんだボールのズレが生じないという効果を有する。更に、150℃の溶融粘度が500Pa・s以下である樹脂(a1)を含有することから、はんだリフロー時に、はんだボールが自重で沈み込むことができ、はんだボールの位置ずれを抑制することができる。そのため、はんだ接合性に優れた効果を発揮することができる。
また、液状及びペースト状フラックスを印刷等で塗布する場合、塗布量のばらつきが大きいので、適宜、塗布量の調整等が必要であり、作業性が劣るが、本発明のフラックスシートは、所定量のシートを基板上に載置、ラミネートするのみでよく、作業性に優れている。
溶媒が残存すると接合時に蒸発してボイドとなることがあるため、本発明のフラックスシートは、残存溶媒の含有率を10質量%未満とすることが好ましい。この含有率は、例えば、カールフィッシャ―法や加熱による重量減少により測定することができる。
フラックスシートの面積を30000mm2以上とすることで、大面積のパネルやウエハ等の電子部材基板に対しても前記基板の全面に一度で貼付することができる。
大面積電子部材基板とは、直径が200mm(8インチ)以上のウエハや、300mm角以上パネルを含むものである。
ウエハのサイズとしては、直径が200mm(8インチ)のウエハ、直径が300mm(12インチ)のウエハ等が含まれる。
フラックスシートの作製方法としては、特に限定されないが、例えば、樹脂成分(A)を溶媒に溶解させ、樹脂溶液を調製し、表面に離型処理された支持体等に、ロールコーター、コンマコーター、グラビアコーター等の公知の方法により塗布して塗布膜を形成し、該塗膜を乾燥させて溶媒を除去して得る方法が挙げられる。また、必要に応じてフラックス剤(B)等を添加してもよい。なお、溶媒を用いて溶液化せず、(A)(B)等を無溶剤で混練溶融してシート化してもよい。
本発明のはんだ接合方法は、本発明のフラックスシートを用いた、下記ステップを含む方法であることを特徴とする。
(1)電極を有する基板の電極を有する面に前記フラックスシートを配置するステップ
(2)前記フラックスシート上に、はんだボールを配置するステップ
(3)前記フラックスシートをはんだの融点以上の温度であって、かつ前記樹脂シートが液状化する温度に加熱するステップ
(4)(3)と同時或いはその後、はんだの融点以上の温度に加熱するステップ
この特徴によれば、基板との接着性が良好であり、リフロー中にはんだボールのズレが生じないフラックスシートを用いることから、はんだ接合の不良等が生じないという効果を発揮することができる。
本発明に係るはんだ接合方法では、煩雑な印刷等の塗布工程が不要で、はんだボールと基板の電極との間にフラックスシートを配置するのみでよく作業性に優れている。
以下、上記接合方法に用いる基板及びはんだボールについて説明した上で、各工程の詳細について、図面を参照しながら、説明する。
<ステップ(1)電極を有する基板の電極を有する面に前記フラックスシートを配置するステップ>
本ステップは、基板の電極を有する面に前記フラックスシートを配置するステップである。図1は、電極を備える基板の概略平面図である。また、図2は、電極を有する基板を側面からみた概略図である。次に図3(A)に示すように、基板の電極を備える電極面側に、本発明のフラックスシートを配置する。また、図3(B)に示すように、基板電極がフラックスシートに埋め込まれるようにラミネートしてもよい。フラックスシートを配置する前に、基板を予め脱脂しておくことが好ましい。基板上にフラックスシートを配置する方法は、特に限定されず、そのまま置くのみでもよいが、フラックスシートを置いた後、大気圧下または真空条件でラミネート装置を用いて仮固定することが好ましい。ラミネート装置としては真空ラミネートやロールラミネータ装置を用いることができる。ラミネートする際の温度は、好ましくはガラス転移温度以上、より好ましくはガラス転移温度より20℃以上高い温度もしくは軟化点以上である(軟化点がない場合は、ガラス転移温度以上のゴム状態である)ことが好ましい。樹脂成分(A)の種類などにより異なるが、例えば、30~100℃である。
本発明のはんだ接合方法で用いる基板は、電極を備える基板であって、一つ以上の電極を備えていればよく、例えば、図1に示された複数の電極が備えられた基板、チップ、ウエハ等が挙げられる。また、一部の基板上面の電極以外の領域には、ソルダーレジストが形成されている(なお、図2~5では簡略化のためソルダーレジストを図示しない)。このような電極を備える基板としては、例えば、上記で示したプリント配線基板等が挙げられる。電極表面には、はんだボールとの濡れ性を向上させるために、例えば、Cu電極表面には、Cu/Ni/Pd/Au、Cu/Ni/Au、Cu/Ni-P/Au等からなるUBM(Under Bump Metallization)層又は、Surface
Finish処理層を形成していることが好ましい。
本ステップは、図4のように、はんだボールを、フラックスシートを介して基板の電極上に位置するように配置して固定する工程である。配置に関しては、各種のボールマウンター装置を用いてもよいし、電極上に開口したメタルマスクなどを用いて刷毛などでボールを落としこみ配置する方法や、先端に接着剤を塗布した細いワイヤーやピンを用いてボールを電極に運んだ後フラックスシートに粘着させ配置する方法などを用いてもよい。フラックスシートを介してはんだボールと基板に仮固定するために、はんだを配置する際、フラックスシートをラミネートする際の温度と同程度、即ち、好ましくはガラス転移点以上、より好ましくはガラス転移点より20℃以上高い温度もしくは軟化点以上(軟化点がない場合は、ガラス転移点以上のゴム状態)の温度で加熱することが好ましい。樹脂成分(A)の種類などにより異なるが、例えば、30~100℃である。また、はんだボールを、フラックスシートを介して基板の電極上に配置する際、押圧してもよいが、本発明のシートはガラス転移点が40℃以下である樹脂(a1)を含有し、柔軟な構造であることから、積極的に押圧する必要はない。本発明のフラックスシートを用いることで、はんだボールが自重でフラックスシート中に埋まるため、はんだボールとフラックスシート及び基板との接着が向上する。
本発明のはんだ接合方法で使用するはんだボールの組成としては、例えば、Sn-Pb系、Pb-Sn-Sb系、Sn-Sb系、Sn-Pb-Bi系、鉛フリーのSn-Ag系、Sn-Ag-Cu系、Bi-Sn系、Sn-Cu系、Sn-Ag-Bi-In系、Sn-Zn-Bi系等が挙げられる。また、鉛フリーで、且つ低融点はんだであるSn-Bi系(Sn58Bi:融解温度:138℃)やIn-Sn系(In48Sn:融解温度:118℃)のはんだも使用することができる。本発明では、鉛を含有しない鉛フリーはんだを用いることが好ましい。鉛フリーはんだの中では、機械特性等の観点から、Sn-Ag-Cu系のはんだが好ましく、例えば、Sn3Ag0.5Cu(融解温度:約217℃)がより好ましい。また、200℃を超える高温プロセスにおいて、液晶のような材料自体が劣化してしまう材料に対しては、鉛フリーで低融点のはんだを用いることが好ましい。
本ステップは、前記フラックスシートが溶融或いは軟化する温度以上で加熱処理する工程である。上記温度で加熱処理をすることで、熱により活性化するフラックス成分を含む場合は、シートのフラックス作用により、はんだボールの表面に形成される金属酸化物を除去することができる。また、はんだの表面だけでなく、電極の表面に存在する酸化物も併せて除去できる。なお、本発明においては、樹脂(A)に樹脂(a1)を含むフラックスシートを用いているため、本ステップ(3)において、図5のように電極とはんだとのズレが生じず、更にはんだが基板へ自重で簡単に貫通することができ、はんだ接合性が良好となる。
本ステップは、はんだの融点以上で温度処理する工程である。上記温度で加熱処理をすることで、はんだボールを融解して、はんだ付けすることができる。(4)のステップは、(3)と同時であってもよく、(3)の後に実施してもよい。
(3)加熱温度としては、樹脂シートの溶融温度或いは軟化温度以上であり、例えば溶融温度(軟化温度)+20℃以上+100℃以下であることが好ましい。加熱時間としては、例えば、5秒~10分間が好ましい。(4)加熱温度(最高到達温度)としては、はんだボールの融解温度をT(℃)としたとき、例えば、T+10℃以上T+80℃以下である。下限値としては、好ましくはT+20℃以上であり、より好ましくはT+30℃以上である。上限値としては、好ましくはT+70℃以下であり、より好ましくはT+45℃以下である。加熱時間としては、加熱温度(最高到達温度)によって適宜設定できるが、加熱温度(最高到達温度)が上記範囲の温度である場合、加熱時間(保持時間)としては、例えば、5秒~10分間である。下限値としては、好ましくは10秒以上であり、より好ましくは20秒以上である。上限値としては5分間以下であり、より好ましくは3分間以下である。また、本工程は、大気圧条件下や窒素等の不活性ガス雰囲気下で行ってもよいが、窒素等の不活性ガス雰囲気下で行うことがより好ましい。
また、本発明のフラックスシートは、ガラス転移点が40℃以下であり、150℃の溶融粘度が500Pa・s以下の樹脂(a1)を含有するから、はんだボールから基板へ向けて、押圧した状態で加熱処理を行う必要が無い。本ステップ終了後、図5に示すように、はんだ接合した状態となる。
界面活性剤としては、アニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、両性イオン系界面活性剤、ノニオン系界面活性剤等の界面活性剤を用いることができる。
[製造例1]
変性ポリビニルアルコール(ポリエチレングリコールが付加されたポリビニルアルコール:日本合成化学工業社製、商品名「ゴーセネックス(登録商標)LW-100;ガラス転移点-0.5℃、150℃の溶融粘度:63Pa・s(せん断速度10mm/分)(水を揮発させて樹脂単独で測定)、ケン化度39.0~46.0)を樹脂溶液とした(固形分40質量%水溶液)。
支持体である、表面に離型処理が施されたポリエチレンテレフタレートフィルム(リンテック株式会社製6502)(以下、離型フィルムとする。)上に、上記調製した樹脂溶液を塗布し、塗膜を形成した。そして、この塗膜を、80℃、60分間加熱乾燥して、支持体上に膜厚が30μmのフラックスシートを作製した。
フラックス剤として、アジピン酸5質量部(LW-100の樹脂固形分100質量部に対して)を用いたこと以外は、製造例1と同様の方法により、膜厚30μmのフラックスシートを作製した。
フラックス剤として、サリチル酸5質量部(LW-100の樹脂固形分100質量部に対して)を用いたこと以外は、製造例1と同様の方法により、膜厚30μmのフラックスシートを作製した。
ポリアミド(PA)(東レ株式会社製、商品名「AQナイロン T-70;ガラス転移点-46℃、150℃の溶融粘度:17Pa・s(せん断速度10mm/分)(水を揮発させて樹脂単独で測定))100質量部(固形分51質量%)に、フラックス剤として、ドデシルアミン5質量部(T-70の樹脂固形分100質量部に対して)を加えて攪拌し、樹脂溶液を作製した。そして、この調整した樹脂溶液を用いて、製造例1と同様の方法により、膜厚30μmのフラックスシートを作製した。
フラックス剤として、アジピン酸5質量部(T-70の樹脂固形分100質量部に対してを用いたこと以外は、製造例4と同様の方法により、膜厚30μmのフラックスシートを作製した。
ポリエステル(PEs)(高松油脂株式会社製、商品名「ペスレジンA-680;ガラス転移点30℃、150℃の溶融粘度:29Pa・s(せん断速度10mm/分)(水を揮発させて樹脂単独で測定))100質量部(固形分20質量%)に、フラックス剤として、アジピン酸5質量部(ペスレジンA-680の樹脂固形分100質量部に対して)を蒸留水に溶解した水溶液を加えて攪拌し、樹脂溶液を作製した。そして、この調整した樹脂溶液を用いて、実施例1と同様の方法により、膜厚30μmのフラックスシートを作製した。
フラックス剤として、サリチル酸43質量部(LW-100の樹脂固形分100質量部に対して)を用いたこと以外は、製造例1と同様の方法により、膜厚30μmのフラックスシートを作製した。
LW-100の固形分を70質量部とし、ポリビニルアルコール(PVA)(日本酢ビポバール株式会社製、商品名「ポバールJP-03」;ガラス転移点63℃)30質量部を用い、アジピン酸5質量部(前記LW-100とJP-03の合計100質量部に対して)を用いたこと以外は、製造例1と同様の方法により、膜厚30μmのフラックスシートを作製した。
[製造例9]
LW-100の固形分の配合量を60質量部とし、JP-03の配合量を40質量部、相容化剤としてカルボキシメチルセルロース(CMC)(ダイセルファインケム株式会社製、商品名「CMC1220」)5重量部を用いたこと以外は、製造例8と同様の方法により、膜厚30μmのフラックスシートを作製した。
LW-100の固形分の配合量を50質量部とし、JP-03の配合量を50質量部とした以外は、製造例9と同様の方法により、膜厚30μmのフラックスシートを作製した。
LW-100の固形分の配合量を40質量部とし、JP-03の配合量を60質量部とした以外は、製造例10と同様の方法により、膜厚30μmのフラックスシートを作製した。
ポリビニルブチラール(PVB)(積水化学工業株式会社製、商品名「エスレック KW-1;ガラス転移点65℃、150℃の溶融粘度:1444Pa・s(せん断速度10mm/分)(水を揮発させて樹脂単独で測定))の固形分100質量部(固形分20質量%)に、フラックス剤として、アジピン酸5質量部(KW-1の樹脂固形分100質量部に対して)を蒸留水に溶解した水溶液を加えて攪拌し、樹脂溶液を作製した。そして、この調整した樹脂溶液を用いて、製造例1と同様の方法により、膜厚30μmのフラックスシートを作製した。
ポリビニルアルコール(PVA)(日本酢ビポバール株式会社製、商品名「ポバール JP-03;ガラス転移点63℃、150℃では溶融しない)の固形分100質量部に、フラックス剤として、アジピン酸5質量部(JP-03の樹脂固形分100質量部に対して)を加えて攪拌し、樹脂溶液を作製した。そして、この調整した樹脂溶液を用いて、製造例1と同様の方法により、膜厚30μmのフラックスシートを作製した。
エチレン・酢酸ビニル共重合体(EVA)(デンカ株式会社製、商品名「デンカEVAラテックス55N」;ガラス転移点-10℃、150℃では溶融しない)の固形分100質量部に、フラックス剤として、アジピン酸5質量部(デンカEVAラテックス55Nの樹脂固形分100質量部に対して)を蒸留水に溶解した水溶液を加えて攪拌し、樹脂溶液を作製した。そして、この調整した樹脂溶液を用いて、製造例1と同様の方法により、膜厚30μmのフラックスシートを作製した。
はんだ接合試験にあたり、使用した、基板及びはんだボールは以下の通りである。
基板:FR-4(ガラスエポキシ基板で、電極は銅からなり、電極表面のUBM層はCu/Ni/Au(Ni層の厚さは3μm、Au層の厚さは0.03μm)からなるものである。)
はんだボール:はんだ組成(直径760μm、Sn-Ag-Cu;Sn:96.5質量%、Ag:3.0質量%、Cu:0.5質量%(融解温度217~219℃)))
上記製造例1~11、比較製造例1~3で作製したフラックスシートに用いて下記(1)~(6)の項目について、以下の方法に基づいて評価を行った。評価結果を表1に示す。
(1)フラックスシートと基板との接着性
上記で作製した離型フィルム付フラックスシートを80℃に加熱し、基板に真空で押し当て、基板にラミネートした。室温に戻して、離型フィルムを引き剥がしたときの基板の様子を観察した。
A:フラックスシートが離型フィルムから離れ基板に転写された。
C:フラックスシート/基板界面での剥離、又は/且つ、フラックスシート内での破壊が起こった。
(2)フラックスシートのタック性
上記で作製したフラックスシートについて指触し、室温でのタック性を官能評価した。A:適度なタックを有する(べたつきがある)
C:タックがない(べたつきがなく他材への貼着が不可のもの)
(3)フラックスシートのリワーク性・取り扱い性
上記で作製したフラックスシートについて、シートに指触後、シートに押し当てた指を他の指に押し当てたときの粘着の有無でのり残りを確認し、室温(体温)でのリワーク性・取り扱い性を官能評価した。
A:指へののり残りない
C:指へののり残りあり
(4)はんだボールの保持力
メタルマスクを用いて、フラックスシートでラミネートされた基板上にはんだボール36個を配置させ、一旦80℃に昇温し、室温に戻した。
はんだボールが配置後の基板を特定角度で傾け、フラックスシートによるはんだボールの保持力を測定した。
A:はんだボール配置後90度傾けたとき、はんだボールが落ちない。
C:はんだボール配置後90度傾けたとき、はんだボールが落ちた。
はんだボールを搭載した基板を、250℃、大気下で加熱処理を行い、はんだと基板を接合させた。
はんだ接合を形成した基板を、超音波洗浄機「プランソニック」(製品名5510、BRANSON社製)を用いて、42kHzで揺動した25℃の蒸留水に浸漬し、5分間の洗浄処理を行った。なお、実施例6においては、蒸留水の代わりに、メタノール/蒸留水=1/1(質量比)の混合溶媒を用いた。以上の工程を経て、フラックスシートを用いた場合のはんだ接合体を得た。
洗浄後の基板を目視及びルーペを用いて、はんだ/基板間の隙間に残存するフラックスシートの有無を観察し、以下の基準により評価した。
A:フラックスシートが全く残存していない。
B:フラックスシートがはんだ端部に少し観察される。
C:フラックスシートが全体にわたって残存している。
(6)はんだ接合力
ダイシェアテスターにより、接合したはんだボール5個についてシェアテストを行い、はんだ接合力を確認した。
A:全て凝集破壊である。
C:一部または全て界面破壊である。
Claims (10)
- 樹脂(A)を含むフラックスシートであって、前記樹脂(A)が、ガラス転移点が40℃以下で、150℃の溶融粘度が500Pa・s(せん断速度10mm/分で測定)以下である樹脂(a1)を含有することを特徴とする、フラックスシート。
- 前記樹脂(A)が、ガラス転移点が40℃以下で、150℃の粘度が500Pa・s(せん断速度10mm/分で測定)以下である樹脂(a1)を35~99質量%、ガラス転移点が前記樹脂(a1)より高い樹脂(a2)を1~65質量%含有することを特徴とする、請求項1に記載のフラックスシート。
- 前記フラックスシートが、フラックス剤(B)を含有することを特徴とする、請求項1又は2に記載のフラックスシート。
- 前記フラックスシートは、実質的に(B)以外の低分子化合物を含有しないことを特徴とする、請求項1~3のいずれか一項に記載のフラックスシート。
- 前記樹脂(a1)が水溶性であることを特徴とする、請求項1~4のいずれか一項に記載のフラックスシート。
- 前記樹脂(a1)がポリビニルアルコールの一部のヒドロキシ基(-OH)を、アルキレンオキサイド鎖が1つ又は複数連結した部分構造-(CH(R1)CH(R2)O)n―R3(nはアルキレンオキサイド鎖の繰り返し数(平均値)を表し、1.0以上である。R1,R2及びR3は、互いに独立して水素原子又は有機基を示す。R1,R2及びR3が複数ある場合、それぞれ同一であってもよく異なっていてもよい。)に置換した変性ポリビニルアルコール、ポリアミド及びポリエステルから選択される1種以上を含むことを特徴とする、請求項1~5のいずれか一項に記載のフラックスシート。
- 前記樹脂(a2)としてポリビニルアルコールを含有することを特徴とする、請求項2~6の何れか一項に記載のフラックスシート。
- 前記フラックスシートにおいて、前記樹脂(A)の含有量が50質量%以上であること特徴とする、請求項1~7のいずれか一項に記載のフラックスシート。
- 前記フラックスシートの面積が30000mm2以上であることを特徴とする、請求項1~8のいずれか一項に記載のフラックスシート。
- 請求項1~9のいずれか一項に記載のフラックスシートを用いたはんだ接合方法であって、下記(1)~(4)のステップを有することを特徴とする、はんだ接合方法。
(1)電極を有する基板の電極を有する面に前記フラックスシートを配置するステップ
(2)前記フラックスシートの上に、はんだボールを配置するステップ
(3)前記フラックスシートが溶融或いは軟化する温度に加熱するステップ
(4)(3)と同時或いはその後、はんだの融点以上の温度に加熱するステップ
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