JP7405875B2 - ナノ秒パルサのrf絶縁 - Google Patents
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- 238000002955 isolation Methods 0.000 title description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 97
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 14
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 13
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 2
- 238000007792 addition Methods 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 230000001143 conditioned effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 1
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 238000002294 plasma sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/46—Generating plasma using applied electromagnetic fields, e.g. high frequency or microwave energy
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/32137—Radio frequency generated discharge controlling of the discharge by modulation of energy
- H01J37/32146—Amplitude modulation, includes pulsing
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/32091—Radio frequency generated discharge the radio frequency energy being capacitively coupled to the plasma
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/321—Radio frequency generated discharge the radio frequency energy being inductively coupled to the plasma
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/321—Radio frequency generated discharge the radio frequency energy being inductively coupled to the plasma
- H01J37/3211—Antennas, e.g. particular shapes of coils
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/32137—Radio frequency generated discharge controlling of the discharge by modulation of energy
- H01J37/32155—Frequency modulation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32082—Radio frequency generated discharge
- H01J37/32174—Circuits specially adapted for controlling the RF discharge
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/3244—Gas supply means
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/32—Processing objects by plasma generation
- H01J2237/33—Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
- H01J2237/332—Coating
- H01J2237/3321—CVD [Chemical Vapor Deposition]
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/32—Processing objects by plasma generation
- H01J2237/33—Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
- H01J2237/334—Etching
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
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- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
- H01L21/306—Chemical or electrical treatment, e.g. electrolytic etching
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- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
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Description
幾つかの実施形態では、ナノ秒パルサバイアス発生器115は、図3と関連して示される。
ナノ秒パルサバイアス発生器115はフィルタ145と結合されている。この例では、フィルタ145はローパスフィルタを含む。このローパスフィルタは、ローパスキャパシタ720及びローパスインダクタ715を含んでよい。ローパスインダクタ175はナノ秒パルサバイアス発生器115と直列に結合されてよく、ローパスキャパシタ720はナノ秒パルサバイアス発生器115と接地とに結合されてよい。
fresonant=1/(2π√((L5)(C2)))=一定
幾つかの実施形態では、抵抗R1は、直列及び/又は並列に並んだ複数の抵抗を含んでよい。キャパシタC11は、抵抗R1の浮遊キャパシタンスを表してよく、これは、直列及び/又は並列の抵抗の並びのキャパシタンスを含む。浮遊キャパシタンスC11のキャパシタンスは、例えば、500pF、250pF、100pF、50pF、10pF、1pF等より小さくてよい。浮遊キャパシタンスC11のキャパシタンスは、例えば、負荷キャパシタンスより小さい場合があり、例えば、C7、C8、及び/又はC9のキャパシタンスより小さくてよい。
〔付記1〕
プラズマチャンバと、
前記プラズマチャンバに入るRFバーストを、2MHzより高いRF周波数で駆動するRFドライバと、
前記プラズマチャンバに入るパルスを、前記RF周波数より低いパルス繰り返し周波数と、2kVより高いピーク電圧とで駆動するナノ秒パルサと、
前記RFドライバと前記プラズマチャンバとの間に配置された第1のフィルタと、
前記ナノ秒パルサと前記プラズマチャンバとの間に配置された第2のフィルタと、
を含むプラズマシステム。
〔付記2〕
前記パルス繰り返し周波数は10kHzより高い、付記1に記載のプラズマシステム。
〔付記3〕
第1のフィルタは、前記RFドライバ及び前記プラズマチャンバと直列であるキャパシタを含み、前記キャパシタは、キャパシタンスが約500pHより小さい、付記1に記載のプラズマシステム。
〔付記4〕
第1のフィルタは、前記RFドライバの出力と接地とに結合されたインダクタを含む、付記1に記載のプラズマシステム。
〔付記5〕
前記第2のフィルタは、前記ナノ秒パルサ及び前記プラズマチャンバと直列であるインダクタを含み、前記インダクタは、インダクタンスが約50μHより小さい、付記1に記載のプラズマシステム。
〔付記6〕
前記第2のフィルタは、前記ナノ秒パルサの出力と接地とに結合されたキャパシタを含む、付記1に記載のプラズマシステム。
〔付記7〕
前記第1のフィルタはハイパスフィルタを含む、付記1に記載のプラズマシステム。
〔付記8〕
前記第2のフィルタはローパスフィルタを含む、付記1に記載のプラズマシステム。
〔付記9〕
前記RFドライバはマッチングネットワークを含まない、付記1に記載のプラズマシステム。
〔付記10〕
前記プラズマチャンバは、前記RFドライバと電気的に結合されたアンテナを含む、付記1に記載のプラズマシステム。
〔付記11〕
前記プラズマチャンバは、前記RFドライバと電気的に結合されたカソードを含む、付記1に記載のプラズマシステム。
〔付記12〕
前記プラズマチャンバは、前記ナノ秒パルサと電気的に結合されたカソードを含む、付記1に記載のプラズマシステム。
〔付記13〕
アンテナ及びカソードを含むプラズマチャンバと、
前記アンテナと電気的に結合されたRFドライバであって、前記RFドライバは、約2MHzより高いRF周波数で前記プラズマチャンバ内にRFバーストを発生させる、前記RFドライバと、
前記カソードと電気的に結合されたナノ秒パルサであって、前記ナノ秒パルサは、前記RF周波数より低いパルス繰り返し周波数と、2kVより高い電圧とで前記プラズマチャンバ内にパルスを発生させる、前記ナノ秒パルサと、
前記RFドライバと前記アンテナとの間に配置されたキャパシタと、
前記ナノ秒パルサと前記カソードとの間に配置されたインダクタと、
を含むプラズマシステム。
〔付記14〕
前記キャパシタはキャパシタンスが約100pFより小さい、付記13に記載のプラズマシステム。
〔付記15〕
前記インダクタはインダクタンスが約10nHより小さい、付記13に記載のプラズマシステム。
〔付記16〕
前記パルス繰り返し周波数は10kHzより高い、付記13に記載のプラズマシステム。
〔付記17〕
カソードを含むプラズマチャンバと、
前記カソードと電気的に結合されたRFドライバであって、前記RFドライバは、約2MHzより高いRF周波数で前記プラズマチャンバ内にRFバーストを発生させる、前記RFドライバと、
前記カソードと電気的に結合されたナノ秒パルサであって、前記ナノ秒パルサは、前記RF周波数より低いパルス繰り返し周波数と、2kVより高い電圧とで前記プラズマチャンバ内にパルスを発生させる、前記ナノ秒パルサと、
前記RFドライバと前記カソードとの間に配置されたキャパシタと、
前記ナノ秒パルサと前記カソードとの間に配置されたインダクタと、
を含むプラズマシステム。
〔付記18〕
前記キャパシタはキャパシタンスが約100pFより小さい、付記17に記載のプラズマシステム。
〔付記19〕
前記インダクタはインダクタンスが約10nHより小さい、付記17に記載のプラズマシステム。
〔付記20〕
前記パルス繰り返し周波数は10kHzより高い、付記17に記載のプラズマシステム。
Claims (19)
- プラズマチャンバと、
フルブリッジスイッチング回路又はハーフブリッジスイッチング回路を備えるRFドライバであって、前記プラズマチャンバに入るRFバーストを、2MHzより高いRF周波数で駆動するRFドライバと、
前記プラズマチャンバに入るパルスを、前記RF周波数より低いパルス繰り返し周波数と、2kVより高いピーク電圧とで駆動するパルサと、
前記RFドライバと前記プラズマチャンバとの間に配置された第1のフィルタと、
前記パルサと前記プラズマチャンバとの間に配置された第2のフィルタと、を含み、
前記RFドライバは、マッチングネットワークを含まない、
プラズマシステム。 - 前記パルス繰り返し周波数は10kHzより高い、請求項1に記載のプラズマシステム。
- 第1のフィルタは、前記RFドライバ及び前記プラズマチャンバと直列であるキャパシタを含み、前記キャパシタは、キャパシタンスが500pFより小さい、請求項1に記載のプラズマシステム。
- 第1のフィルタは、前記RFドライバの出力と接地とに結合されたインダクタを含む、請求項1に記載のプラズマシステム。
- 前記第2のフィルタは、前記パルサ及び前記プラズマチャンバと直列であるインダクタを含み、前記インダクタは、インダクタンスが50μHより小さい、請求項1に記載のプラズマシステム。
- 前記第2のフィルタは、前記パルサの出力と接地とに結合されたキャパシタを含む、請求項1に記載のプラズマシステム。
- 前記第1のフィルタはハイパスフィルタを含む、請求項1に記載のプラズマシステム。
- 前記第2のフィルタはローパスフィルタを含む、請求項1に記載のプラズマシステム。
- 前記プラズマチャンバは、前記RFドライバと電気的に結合されたアンテナを含む、請求項1に記載のプラズマシステム。
- 前記プラズマチャンバは、前記RFドライバと電気的に結合されたカソードを含む、請求項1に記載のプラズマシステム。
- 前記プラズマチャンバは、前記パルサと電気的に結合されたカソードを含む、請求項1に記載のプラズマシステム。
- アンテナ及びカソードを含むプラズマチャンバと、
前記アンテナと電気的に結合されたRFドライバであって、前記RFドライバは、フルブリッジスイッチング回路又はハーフブリッジスイッチング回路を備え、2MHzより高いRF周波数で前記プラズマチャンバ内にRFバーストを発生させる、前記RFドライバと、
前記カソードと電気的に結合されたパルサであって、前記パルサは、前記RF周波数より低いパルス繰り返し周波数と、2kVより高い電圧とで前記プラズマチャンバ内にパルスを発生させる、前記パルサと、
前記RFドライバと前記アンテナとの間に配置されたキャパシタと、
前記パルサと前記カソードとの間に配置されたインダクタと、を含み、
前記RFドライバは、マッチングネットワークを含まない、
プラズマシステム。 - 前記キャパシタはキャパシタンスが100pFより小さい、請求項12に記載のプラズマシステム。
- 前記インダクタはインダクタンスが10nHより小さい、請求項12に記載のプラズマシステム。
- 前記パルス繰り返し周波数は10kHzより高い、請求項12に記載のプラズマシステム。
- カソードを含むプラズマチャンバと、
前記カソードと電気的に結合されたRFドライバであって、前記RFドライバは、フルブリッジスイッチング回路又はハーフブリッジスイッチング回路を備え、2MHzより高いRF周波数で前記プラズマチャンバ内にRFバーストを発生させる、前記RFドライバと、
前記カソードと電気的に結合されたパルサであって、前記パルサは、前記RF周波数より低いパルス繰り返し周波数と、2kVより高い電圧とで前記プラズマチャンバ内にパルスを発生させる、前記パルサと、
前記RFドライバと前記カソードとの間に配置されたキャパシタと、
前記パルサと前記カソードとの間に配置されたインダクタと、を含み、
前記RFドライバは、マッチングネットワークを含まない、
プラズマシステム。 - 前記キャパシタはキャパシタンスが100pFより小さい、請求項16に記載のプラズマシステム。
- 前記インダクタはインダクタンスが10nHより小さい、請求項16に記載のプラズマシステム。
- 前記パルス繰り返し周波数は10kHzより高い、請求項16に記載のプラズマシステム。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201962869999P | 2019-07-02 | 2019-07-02 | |
US62/869,999 | 2019-07-02 | ||
PCT/US2020/040579 WO2021003319A1 (en) | 2019-07-02 | 2020-07-01 | Nanosecond pulser rf isolation |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022539385A JP2022539385A (ja) | 2022-09-08 |
JP7405875B2 true JP7405875B2 (ja) | 2023-12-26 |
Family
ID=74101180
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021577859A Active JP7405875B2 (ja) | 2019-07-02 | 2020-07-01 | ナノ秒パルサのrf絶縁 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20210029815A1 (ja) |
EP (1) | EP3994716A4 (ja) |
JP (1) | JP7405875B2 (ja) |
KR (1) | KR20220027141A (ja) |
CN (1) | CN114041203A (ja) |
TW (1) | TWI795654B (ja) |
WO (1) | WO2021003319A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10555412B2 (en) | 2018-05-10 | 2020-02-04 | Applied Materials, Inc. | Method of controlling ion energy distribution using a pulse generator with a current-return output stage |
US11476145B2 (en) | 2018-11-20 | 2022-10-18 | Applied Materials, Inc. | Automatic ESC bias compensation when using pulsed DC bias |
JP7451540B2 (ja) | 2019-01-22 | 2024-03-18 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | パルス状電圧波形を制御するためのフィードバックループ |
US11508554B2 (en) | 2019-01-24 | 2022-11-22 | Applied Materials, Inc. | High voltage filter assembly |
TWI778449B (zh) | 2019-11-15 | 2022-09-21 | 美商鷹港科技股份有限公司 | 高電壓脈衝電路 |
US11462389B2 (en) | 2020-07-31 | 2022-10-04 | Applied Materials, Inc. | Pulsed-voltage hardware assembly for use in a plasma processing system |
US11798790B2 (en) | 2020-11-16 | 2023-10-24 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and methods for controlling ion energy distribution |
US11901157B2 (en) | 2020-11-16 | 2024-02-13 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and methods for controlling ion energy distribution |
US11495470B1 (en) | 2021-04-16 | 2022-11-08 | Applied Materials, Inc. | Method of enhancing etching selectivity using a pulsed plasma |
US11948780B2 (en) | 2021-05-12 | 2024-04-02 | Applied Materials, Inc. | Automatic electrostatic chuck bias compensation during plasma processing |
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- 2020-07-01 JP JP2021577859A patent/JP7405875B2/ja active Active
- 2020-07-01 EP EP20835623.8A patent/EP3994716A4/en active Pending
- 2020-07-01 CN CN202080048240.2A patent/CN114041203A/zh active Pending
- 2020-07-01 WO PCT/US2020/040579 patent/WO2021003319A1/en unknown
- 2020-07-01 KR KR1020227000061A patent/KR20220027141A/ko unknown
- 2020-07-01 US US16/919,085 patent/US20210029815A1/en active Pending
- 2020-07-02 TW TW109122475A patent/TWI795654B/zh active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20210029815A1 (en) | 2021-01-28 |
EP3994716A4 (en) | 2023-06-28 |
EP3994716A1 (en) | 2022-05-11 |
TW202112186A (zh) | 2021-03-16 |
JP2022539385A (ja) | 2022-09-08 |
KR20220027141A (ko) | 2022-03-07 |
CN114041203A (zh) | 2022-02-11 |
WO2021003319A1 (en) | 2021-01-07 |
TWI795654B (zh) | 2023-03-11 |
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Date | Code | Title | Description |
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|
A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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