JP7403883B2 - キャッピング層を含む発光デバイスおよびそれを製造するための方法 - Google Patents

キャッピング層を含む発光デバイスおよびそれを製造するための方法 Download PDF

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Description

関連出願
本出願は、2019年12月24日に出願された米国仮特許出願第62/953,442号の優先権の利益を主張し、これの内容は、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
本開示は、光電子デバイスに関し、特に、各々が半導電性層によって分離された第1および第2の電極を含み、発光領域によって生じた発光スペクトル波長範囲に合わせて変調された光学特性を有するキャッピング層を有する、多重発光領域を有する光電子デバイスに関する。
有機発光ダイオード(OLED)などの光電子デバイスでは、少なくとも1つの半導電性層が、アノードおよびカソードなどの一対の電極間に配設されている。アノードおよびカソードは、電源に電気的に結合され、それぞれ、少なくとも1つの半導電性層を通って互いに向かって移動する正孔および電子を生じさせる。正孔および電子の対が組み合わされるとき、光子が放出される場合がある。
OLEDディスプレイパネルは、複数の(サブ)ピクセルを含み得、その各々は、関連付けられた対の電極を有する。そのようなパネルの様々な層およびコーティングは、通常、真空ベースの堆積技法によって形成されている。
いくつかの用途では、OLED製造プロセス中に、電極および/またはそれに電気的に結合された導電性要素などであるがこれらに限定されない、デバイス特徴部を形成するための導電性コーティングの選択的堆積によって、パネルの横側面および断面側面のいずれかまたは両方にわたって、パネルの各(サブ)ピクセルに対して、あるパターンで、導電性コーティングおよび/または電極コーティングを提供することが望ましい場合がある。
そうするための1つの方法は、いくつかの非限定的な用途では、電極材料および/またはそれに電気的に結合された導電性要素の堆積中のファインメタルマスク(FMM)の挿入を伴う。しかしながら、電極として典型的に使用される材料は、比較的高い蒸発温度を有し、これは、FMMを再利用する能力、および/または達成され得るパターンの精度に影響を及ぼし、それに付随して、コスト、労力、および複雑さが増加する。
そうするための1つの方法は、いくつかの非限定的な例では、電極材料を堆積させることと、その後、レーザー穿孔プロセスによることを含む、その不要な領域を除去して、パターンを形成することと、を伴う。しかしながら、除去プロセスは、多くの場合、破片の作成および/または存在を伴い、製造プロセスの収率に影響する場合がある。
さらに、そのような方法は、いくつかの用途における、および/または特定の形態的特徴部を有するいくつかのデバイスとの使用に好適ではない場合がある。
いくつかの用途では、各々が光電子デバイスによって放出された波長スペクトルに合わせて変調された光学特徴を有する多重発光領域を有する光電子デバイスを提供することが望ましい場合がある。
本開示の目的は、先行技術の少なくとも1つの欠点を取り除くまたは軽減することである。
本開示は、複数の層を有する光電子デバイスを開示する。第1のキャッピング層(CPL)は、第1のCPL材料を含み、第1の発光領域内に配設される。第2のCPLは、第2のCPL材料を含み、第2の発光領域内に配設される。第1の発光領域は、第1の開始波長を特徴とする第1の波長スペクトルを有する光子を放出するように構成される。第2の発光領域は、第2の開始波長を特徴とする第2の波長スペクトルを有する光子を放出するように構成される。第1のCPLおよび第1のCPL材料(総称して「CPL(m)1」)のうちの少なくとも1つは、第1の開始波長よりも短い第1の吸収端波長での第1の吸収端を示す。第2のCPLおよび第2のCPL材料(総称して「CPL(m)2」)のうちの少なくとも1つは、第2の開始波長よりも短い第2の吸収端波長での第2の吸収端を示す。
本開示の広い態様によれば、複数の層を有する光電子デバイスであって、第1のキャッピング層(CPL)を含み、第1の発光領域内に配設された第1のCPLであって、第1の発光領域が、第1の開始波長を特徴とする第1の波長スペクトルを有する光子を放出するように構成されている、第1のキャッピング層と、第2のCPL材料を含み、第2の発光領域内に配設された第2のCPLであって、第2の発光領域が、第2の開始波長を特徴とする第2の波長スペクトルを有する光子を放出するように構成されている、第2のCPLと、を含み、第1のCPLおよび第1のCPL材料(CPL(m)1)のうちの少なくとも1つが、第1の開始波長よりも短い第1の吸収端波長での第1の吸収端を示し、第2のCPLおよび第2のCPL材料(CPL(m)2)のうちの少なくとも1つが、第2の開始波長よりも短い第2の吸収端波長での第2の吸収端を示す、光電子デバイス、を開示している。
いくつかの非限定的な例では、第1の開始波長は、第2の開始波長よりも短くてもよい。いくつかの非限定的な例では、第1の吸収端波長は、第2の吸収端波長よりも短い。
いくつかの非限定的な例では、第1の吸収端は、CPL(m)1の吸光係数kが閾値に等しい第1の吸光波長を特徴とし得、第2の吸収端が、CPL(m)2の吸光係数が閾値に等しい第2の吸光波長を特徴とし得る。
いくつかの非限定的な例では、第1の開始波長は、約50nm、約40nm、約35nm、約30nm、約25nm、約20nm、約15nm、約10nm、約5nm、および約3nmのうちの少なくとも1つ未満だけ第1の吸収端波長よりも長くてもよい。いくつかの非限定的な例では、第1の吸光波長は、CPL(m)1の吸光係数が閾値に等しい少なくとも1つの波長のうちの最も長い波長であり得る。いくつかの非限定的な例では、波長の関数としてのCPL(m)の吸光係数の一次導関数は、第1の吸光波長で負であり得る。いくつかの非限定的な例では、第1の吸光波長よりも長い波長でのCPL(m)1の吸光係数は、閾値よりも小さくてもよい。いくつかの非限定的な例では、第1の吸光波長よりも長いすべての波長でのCPL(m)1の吸光係数は、閾値よりも小さくてもよい。いくつかの非限定的な例では、第1の開始波長よりも長い任意の波長でのCPL(m)1の吸光係数は、約0.1、約0.09、約0.08、約0.06、約0.05、約0.03、約0.01、約0.005、および約0.0001のうちの少なくとも1つよりも小さくてもよい。いくつかの非限定的な例では、第1の吸収端波長よりも短い波長でのCPL(m)1の吸光係数は、約0.1、約0.12、約0.13、約0.15、約0.18、約0.2、約0.25、約0.3、約0.5、約0.7、約0.75、約0.8、約0.9、および約1.0のうちの少なくとも1つを超えてもよい。
いくつかの非限定的な例では、第1の吸収端波長よりも長い少なくとも1つの波長についてのCPL(m)1の屈折率は、第1の吸収端波長よりも短い少なくとも1つの波長についてのCPL(m)1の屈折率を超えてもよい。いくつかの非限定的な例では、第1の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長でのCPL(m)の屈折率は、約1.8、約1.9、約1.95、約2、約2.05、約2.1、約2.2、約2.3、および約2.5のうちの少なくとも1つを超えてもよい。
いくつかの非限定的な例では、第2の開始波長は、約200nm、約150nm、約130nm、約100nm、約80nm、約70nm、約60nm、約50nm、約40nm、約35nm、約25nm、約20nm、約15nm、および約10nのうちの少なくとも1つ未満だけ第2の吸収端波長よりも長くてもよい。いくつかの非限定的な例では、第2の吸光波長は、CPL(m)2の吸光係数が閾値に等しい少なくとも1つの波長のうちの最も長い波長であり得る。いくつかの非限定的な例では、波長の関数としてのCPL(m)2の吸光係数の一次導関数は、第2の吸光波長で負であり得る。いくつかの非限定的な例では、第2の吸光波長よりも長い波長でのCPL(m)2の吸光係数は、閾値よりも小さくてもよい。いくつかの非限定的な例では、第2の吸光波長よりも長いすべての波長でのCPL(m)2の吸光係数は、閾値よりも小さくてもよい。いくつかの非限定的な例では、第2の開始波長よりも長い任意の波長でのCPL(m)2の吸光係数は、約0.1、約0.09、約0.08、約0.06、約0.05、約0.03、約0.01、約0.005、および約0.0001のうちの少なくとも1つよりも小さくてもよい。いくつかの非限定的な例では、第2の吸収端波長よりも短い波長でのCPL(m)2の吸光係数は、約0.1、約0.12、約0.13、約0.15、約0.18、約0.2、約0.25、約0.3、約0.5、約0.7、約0.75、約0.8、約0.9、および約1.0のうちの少なくとも1つを超えてもよい。
いくつかの非限定的な例では、第2の吸収端波長よりも長い少なくとも1つの波長についてのCPL(m)2の屈折率は、第2の吸収端波長よりも短い少なくとも1つの波長についてのCPL(m)2の屈折率を超えてもよい。いくつかの非限定的な例では、第2の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長でのCPL(m)2の屈折率は、約1.8、約1.9、約1.95、約2、約2.05、約2.1、約2.2、約2.3、および約2.5のうちの少なくとも1つを超えてもよい。
いくつかの非限定的な例では、CPL(m)1の吸光係数は、第2の開始波長で閾値よりも小さくてもよい。いくつかの非限定的な例では、CPL(m)1の吸光係数は、第2の波長スペクトルにおけるすべての波長で閾値よりも小さくてもよい。いくつかの非限定的な例では、第2の波長スペクトルにおける任意の波長でのCPL(m)1の吸光係数は、約0.1、約0.09、約0.08、約0.05、約0.05、約0.03、約0.01、約0.005、および約0.001のうちの少なくとも1つよりも小さくてもよい。
いくつかの非限定的な例では、第1の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長についてのCPL(m)1の屈折率は、第2の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長についてのCPL(m)1の屈折率を超えてもよい。いくつかの非限定的な例では、第2の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長についてのCPL(m)2の屈折率は、第1の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長についてのCPL(m)2の屈折率を超えてもよい。いくつかの非限定的な例では、第2の波長スペクトルの少なくとも1つの波長についてのCPL(m)1の屈折率は、約1.8、約1.7、約1.65、約1.6、約1.5、約1.45、約1.4、および約1.3のうちの少なくとも1つよりも小さくてもよい。いくつかの非限定的な例では、第1の波長スペクトルの少なくとも1つの波長でのCPL(m)2の屈折率は、約1.8、約1.7、約1.65、約1.6、約1.5、約1.45、約1.4、および約1.3のうちの少なくとも1つよりも小さくてもよい。
いくつかの非限定的な例では、CPL(m)2の吸光係数は、第1の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長についてのCPL(m)1の吸光係数を超えてもよい。いくつかの非限定的な例では、CPL(m)2の吸光係数は、第1の波長スペクトルにおけるあらゆる波長についてのCPL(m)1の吸光係数を超えてもよい。
いくつかの非限定的な例では、閾値は、0.1、0.09、0.08、0.06、0.05、0.03、0.01、0.005、および0.001のうちの少なくとも1つであり得る。
いくつかの非限定的な例では、第1の発光領域および第2の発光領域は、横側面においてデバイスの異なる領域を占領し得る。
いくつかの非限定的な例では、第1の波長スペクトルおよび第2の波長スペクトルは、可視スペクトルに位置する。いくつかの非限定的な例では、第1の波長スペクトルは、第1のピーク波長を有し得、第2の波長スペクトルは、第1のピーク波長よりも長い第2のピーク波長を有し得る。
いくつかの非限定的な例では、第1の開始波長は、第1の波長スペクトルの強度が第1のピーク波長での強度の約20%、約15%、約10%、約5%、約3%、約1%、および約0.01%のうち少なくとも1つであり得る少なくとも1つの波長のうちの最も短い波長であり得る。いくつかの非限定的な例では、第2の開始波長は、第2の波長スペクトルの強度が第2のピーク波長での強度の約20%、約15%、約10%、約5%、約3%、約1%、および約0.01%のうち少なくとも1つであり得る少なくとも1つの波長のうちの最も短い波長であり得る。
いくつかの非限定的な例では、第1の波長スペクトルは、B(青)およびG(緑)のうちの少なくとも1つである色に対応し得る。いくつかの非限定的な例では、第2の波長スペクトルは、R(赤)およびG(緑)のうちの少なくとも1つである色に対応し得る。いくつかの非限定的な例では、第1の波長スペクトルは、B(青)である色に対応し得、第2の波長スペクトルは、G(緑)およびR(赤)のうちの少なくとも1つである色に対応し得る。いくつかの非限定的な例では、第1の波長スペクトルは、G(緑)である色に対応し得、第2の波長スペクトルは、R(赤)である色に対応し得る。
いくつかの非限定的な例では、第1のCPL材料は、第2のCPL材料とは異なる組成を有し得る。
いくつかの非限定的な例では、第1のCPLの厚さは、第2のCPLの厚さと同じであり得る。いくつかの非限定的な例では、第1のCPLの厚さは、第2のCPLの厚さとは異なり得る。
いくつかの非限定的な例では、第1のCPLの厚さは、約5~約120nmの範囲であってもよい。いくつかの非限定的な例では、第1のCPLの厚さは、約10nm、約15nm、約20nm、約25nm、約30nm、および約40nmのうちの少なくとも1つを超えてもよい。いくつかの非限定的な例では、第1のCPLの厚さは、約100nm、約90nm、約80nm、および約70nmのうちの少なくとも1つよりも小さくてもよい。
いくつかの非限定的な例では、第2のCPLの厚さは、約5nm~約120nmの範囲であってもよい。いくつかの非限定的な例では、第2のCPLの厚さは、約10nm、約15nm、約20nm、約25nm、約30nm、および約40nのうちの少なくとも1つを超えてもよい。いくつかの非限定的な例では、第2のCPLの厚さは、約100nm、約90nm、約80nm、および約70nmよりも小さくてもよい。
いくつかの非限定的な例では、デバイスは、第1の発光領域および第2の発光領域内に少なくとも1つの電極コーティングをさらに含み得る。いくつかの非限定的な例では、第1のCPLは、少なくとも1つの電極コーティングの露出層表面上に配設され得る。いくつかの非限定的な例では、第2のCPLは、少なくとも1つの電極コーティングの露出層表面上に配設され得る。いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの電極コーティングは、第1の発光領域内に第1の電極厚さを有し得る。いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの電極コーティングは、第2の発光領域内に第2の電極厚さを有し得る。
いくつかの非限定的な例では、第1の電極厚さは、第2の電極厚さよりも小さくてもよい。いくつかの非限定的な例では、第1の電極厚さを第2の電極厚さで除算したものの商は、約0.9、約0.8、約0.7、約0.6、約0.5、約0.4、約0.3、および約0.2のうちの少なくとも1つよりも小さくてもよい。いくつかの非限定的な例では、第1の電極厚さは、約5nm~約100nm、約5nm~約50nm、約5nm~約25nm、約5nm~約20nm、約5nm~約15nm、約8nm~約15nm、約8nm~約12nm、および約8nm~約10nmのうちの少なくとも1つである範囲であってもよい。いくつかの非限定的な例では、第2の電極厚さは、約10nm~約60nm、約10nm~約50nm、約15nm~約40nm、約15nm~約35nm、および約20nm~約35nmのうちの少なくとも1つである範囲であってもよい。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極厚さは、第1の電極厚さよりも小さくてもよい。いくつかの非限定的な例では、第2の電極厚さを第1の電極厚さで除算したものの商は、約0.9、約0.8、約0.7、約0.6、約0.5、約0.4、約0.3、および約0.2のうちの少なくとも1つよりも小さくてもよい。いくつかの非限定的な例では、第1の電極厚さは、約10nm~約60nm、約10nm~約50nm、約15nm~約40nm、約15nm~約35nm、および約20nm~約35nmのうちの少なくとも1つである範囲であってもよい。いくつかの非限定的な例では、第2の電極厚さは、約tnm~約100nm、約5nm~約50nm、約5nm~約25nm、約5nm~約20nm、約5nm~約15nm、約8nm~約15nm、約8nm~約12nm、および約8nm~約10nmのうちの少なくとも1つである範囲であってもよい。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの電極コーティングは、金属コーティング、および金属コーティングの露出層表面上に配設された導電性コーティングを含み得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティングは、金属コーティングと第2の発光領域内の第2のCPLとの間に延在し得る。いくつかの非限定的な例では、第1のCPLは、第1の発光領域内の金属コーティングの露出層表面上に配設され得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティングは、金属コーティングと第1の発光領域内の第1のCPLとの間に延在し得る。
いくつかの非限定的な例では、金属コーティングは、金属コーティング材料で構成され得る。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、少なくとも10kJ/モル、少なくとも50kJ/モル、少なくとも100kJ/モル、少なくとも150kJ/モル、少なくとも180kJ/モル、および少なくとも200kJ/モルのうちの少なくとも1つの、298Kでのその二原子分子中の結合解離エネルギーを有する金属を含み得る。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、約1.4、約1.3、および約1.2のうちの少なくとも1つよりも小さい電気陰性度を有する元素を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、カリウム(K)、ナトリウム(Na)、リチウム(Li)、バリウム(Ba)、セシウム(Cs)、イッテルビウム(Yb)、銀(Ag)、金(Au)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、マグネシウム(Mg)、亜鉛(Zn)、カドミウム(Cd)、スズ(Sn)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)、パラジウム(Pd)、クロム(Cr)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ジルコニウム(Zr)、白金(Pt)、バナジウム(V)、ニオブ(Nb)、イリジウム(Ir)、オスミウム(Os)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択される元素を含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Cu、Ag、Au、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択され得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Cuであり得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Alであり得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Zn、Cd、Yb、およびこれらのネイのいずれかの任意の組み合わせから選択され得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Sn、Ni、Ti、Pd、Cr、Fe、Co、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択され得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Zr、Pt、V、Nb、Ir、Os、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択され得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Ta、Mo、W、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択され得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Ag、Al、Yb、Li、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択され得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Ag、Al、Yb、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせのうちのいずれか1つから選択され得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Ag、Yb、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択され得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Ag、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択され得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Agであり得る。
いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、純粋な金属を含み得る。いくつかの非限定的な例では、純粋な金属は、純粋な銀(Ag)および実質的に純粋なAgのうちの少なくとも1つであり得る。いくつかの非限定的な例では、純粋な金属は、純粋なマグネシウム(Mg)および実質的に純粋なMgのうちの少なくとも1つであり得る。いくつかの非限定的な例では、純粋な金属は、純粋なアルミニウム(Al)および実質的に純粋なAlのうちの少なくとも1つであり得る。
いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、合金を含み得る。いくつかの非限定的な例では、合金は、銀(Ag)含有合金、および銀-マグネシウム(AgMg)含有合金のうちの少なくとも1つであり得る。
いくつかの非限定的な例では、金属コーティングは、酸素(O)を含み得る。いくつかの非限定的な例では、金属コーティングは、Oおよび少なくとも1つの金属を含み得る。いくつかの非限定的な例では、金属コーティングは、金属酸化物を含み得る。いくつかの非限定的な例では、金属酸化物は、亜鉛(Zn)、インジウム(I)、スズ(Sn)、アンチモン(Sb)、ガリウム(Ga)、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせを含み得る。いくつかの非限定的な例では、金属酸化物は、透明導電性酸化物(TCO)であり得る。いくつかの非限定的な例では、TCOは、インジウムチタン酸化物(ITO)、亜鉛酸化物(ZnO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、インジウムガリウム亜鉛酸化物(IGZO)、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせのうちの少なくとも1つであり得る。
いくつかの非限定的な例では、金属コーティングは、金属コーティング材料の複数の層を含み得る。いくつかの非限定的な例では、複数の層のうちの第1の層の金属コーティング材料は、複数の層のうちの第2の層の金属コーティング材料とは異なり得る。いくつかの非限定的な例では、複数の層のうちの少なくとも1つの金属コーティング材料は、イッテルビウム(Yb)を含み得る。いくつかの非限定的な例では、複数の層のうちの別の層の金属コーティング材料は、銀(Ag)含有合金、および銀-マグネシウム(AgMg)含有合金のうちの少なくとも1つを含み得る。いくつかの非限定的な例では、複数の層のうちの別の層の金属コーティング材料は、純粋な銀(Ag)、実質的に純粋な(Ag)、純粋なマグネシウム(Mg)、実質的に純粋なMg、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせのうちの少なくとも1つを含み得る。いくつかの非限定的な例では、NICの近位にある複数の層のうちの1つの金属コーティング材料は、銀(Ag)、金(Au)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、スズ(Sn)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)、パラジウム(Pd)、クロム(Cr)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ジルコニウム(Zr)、白金(Pt)、バナジウム(V)、ニオブ(Nb)、イリジウム(Ir)、オスミウム(Os)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択される元素を含む。いくつかの非限定的な例では、元素は、Cu、Ag、Au、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Cuであり得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Alであり得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Sn、Ti、Pd、Cr、Fe、Co、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Ni、Zr、Pt、V、Nb、Ir、Os、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Ta、Mo、W、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Ag、Al、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Ag、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Agであり得る。いくつかの非限定的な例では、複数の層のうちの少なくとも1つは、約4eV未満である仕事関数を有する金属を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティングは、導電性コーティング材料で構成され得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料は、300kJ/モル未満、200kJ/モル未満、165kJ/モル未満、150kJ/モル未満、100kJ/モル未満、50kJ/モル未満、および20kJ/モル未満の、298Kでのその二原子分子中の結合解離エネルギーを有する金属を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料は、カリウム(K)、ナトリウム(Na)、リチウム(Li)、バリウム(Ba)、セシウム(Cs)、イッテルビウム(Yb)、銀(Ag)、金(Au)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、マグネシウム(Mg)、亜鉛(Zn)、カドミウム(Cd)、スズ(Sn)、イットリウム(Y)、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択される元素を含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、K、Na、Li、Ba、Cs、Yb、Ag、Au、Cu、Al、Mg、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択され得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Cu、Ag、Au、およびこれらの任意の組み合わせから選択され得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Cuであり得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Alであり得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Zn、Cd、Yb、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択され得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Ag、Al、Yb、Li、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択され得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Ag、Yb、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択され得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Ag、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択され得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Agであり得る。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料は、純粋な金属を含み得る。いくつかの非限定的な例では、純粋な金属は、純粋な銀(Ag)、および実質的に純粋なAgのうちの少なくとも1つであり得る。いくつかの非限定的な例では、実質的に純粋なAgは、少なくとも約95%、少なくとも約98%、少なくとも約99%、少なくとも約99.9%、少なくとも約99.99%、少なくとも約99.999%、および少なくとも約99.9995%のうちの少なくとも1つの純度を有し得る。いくつかの非限定的な例では、純粋な金属は、純粋なマグネシウム(Mg)、および実質的に純粋なMgのうちの少なくとも1つであり得る。いくつかの非限定的な例では、実質的に純粋なMgは、少なくとも約95%、少なくとも約98%、少なくとも約99%、少なくとも約99.9%、少なくとも約99.99%、少なくとも約99.999%、および少なくとも約99.9995%のうちの少なくとも1つの純度を有し得る。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティングは、合金を含み得る。いくつかの非限定的な例では、合金は、銀(Ag)含有合金、マグネシウム(Mg)含有合金、およびAgMg含有合金のうちの少なくとも1つであり得る。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティングは、非金属元素を含み得る。いくつかの非限定的な例では、非金属元素は、酸素(O)、硫黄(S)、窒素(N)、炭素(C)、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせのうちの少なくとも1つから選択され得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料中の非金属元素の濃度は、約1%、約0.1%、約0.01%、約0.001%、約0.0001%、約0.00001%、約0.000001%、および約0.0000001%のうちの少なくとも1つよりも小さくてもよい。
いくつかの非限定的な例では、デバイスは、半導電性層をさらに含み得、少なくとも1つの電極コーティングが、半導電性層と第1の発光領域内の第1のCPLとの間、および半導電性層と第2の発光領域内の第2のCPLとの間に延在する。いくつかの非限定的な例では、第1のCPLおよび第2のCPLのうちの少なくとも1つは、導電性コーティングをパターン化するための核生成抑制コーティング(NIC)を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、第2のCPLは、第1の発光領域内に配設され得る。いくつかの非限定的な例では、第1のCPLは、少なくとも1つの電極コーティングと第1の発光領域内の第2のCPLとの間に延在し得る。いくつかの非限定的な例では、第2のCPLは、少なくとも1つの電極コーティングと第1の発光領域内の第1のCPLとの間に延在し得る。
いくつかの非限定的な例では、第1のCPLは、第2の発光領域内に配設され得る。いくつかの非限定的な例では、第1のCPLは、少なくとも1つの電極コーティングと第2の発光領域内の第2のCPLとの間に延在し得る。いくつかの非限定的な例では、第2のCPLは、少なくとも1つの電極コーティングと第2の発光領域内の第1のCPLとの間に延在し得る。
いくつかの非限定的な例では、デバイスは、第3の開始波長を特徴とする第3の波長スペクトルを有する光子を放出するように構成された第3の発光領域をさらに含み得る。いくつかの非限定的な例では、第3の波長スペクトルは、第2の波長スペクトルの第2のピーク波長よりも短く、第1の波長スペクトルの第1のピーク波長よりも長い第3のピーク波長を有し得る。いくつかの非限定的な例では、第1の波長スペクトルは、B(青)である色に対応し得、第2の波長スペクトルは、G(緑)である色に対応し得、第3の波長スペクトルは、R(赤)である色に対応し得る。
いくつかの非限定的な例では、第1のCPLおよび第2のCPLのうちの少なくとも1つは、第3の発光領域内に配設され得る。いくつかの非限定的な例では、第3のCPLは、第3の発光領域内に配設され得る。いくつかの非限定的な例では、第3のCPLおよび第3のCPL材料(CPL(m)3)のうちの少なくとも1つは、第3の開始波長よりも短い第3の吸収端波長で第3の吸収端を示し得る。
いくつかの非限定的な例では、第3の吸収端は、CPL(m)3の吸光係数が閾値に等しい第3の吸光波長を特徴とし得る。
いくつかの非限定的な例では、第3の開始波長は、約200nm、約150nm、約130nm、約100nm、約80nm、約70nm、約60nm、約50nm、約40nm、約35nm、約25nm、約20nm、約15nm、および約10nmのうちの少なくとも1つ未満だけ吸収端波長よりも長くてもよい。いくつかの非限定的な例では、第3の吸光波長は、CPL(m)3の吸光係数が閾値に等しい少なくとも1つの波長のうちの最も長い波長である。いくつかの非限定的な例では、波長の関数としてのCPL(m)3の吸光係数の一次導関数は、第3の吸光波長で負であり得る。いくつかの非限定的な例では、第3の吸光波長よりも長い波長でのCPL(m)3の吸光係数は、閾値よりも小さくてもよい。いくつかの非限定的な例では、第3の吸光波長よりも長いすべての波長でのCPL(m)3の吸光係数は、閾値よりも小さくてもよい。いくつかの非限定的な例では、第3の開始波長よりも長い任意の波長でのCPL(m)3の吸光係数は、約0.1、約0.09、約0.08、約0.06、約0.05、約0.03、約0.01、約0.005、および約0.0001のうちの少なくとも1つよりも小さくてもよい。いくつかの非限定的な例では、第1の吸収端波長よりも短い波長でのCPL(m)3の吸光係数は、約0.1、約0.12、約0.13、約0.15、約0.18、約0.2、約0.25、約0.3、約0.5、約0.7、約0.75、約0.8、約0.9、および約1.0のうちの少なくとも1つを超えてもよい。
いくつかの非限定的な例では、第3の吸収端波長よりも長い少なくとも1つの波長についてのCPL(m)3の屈折率は、第1の吸収端波長よりも短い少なくとも1つの波長についてのCPL(m)3の屈折率を超えてもよい。いくつかの非限定的な例では、第3の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長でのCPL(m)3の屈折率は、約1.8、約1.9、約1.95、約2、約2.05、約2.1、約2.2、約2.3、および約2.5のうちの少なくとも1つを超えてもよい。
いくつかの非限定的な例では、第3の発光領域には、第1のCPLおよび第2のCPLのうちの少なくとも1つが実質的になくてもよい。
実施例は、それらを実施することができる本開示の態様と併せて上述している。当業者は、実施例が、それらが説明されている態様と併せて実施され得るが、その態様または別の態様の他の実施例とともに実施されてもよいことを理解するであろう。実施例が相互に排他的である、または他の点で互いに不適合であるとき、それは、当業者には明らかであろう。いくつかの実施例は、1つの態様に関係して説明され得るが、当業者には明らかであるように、他の態様にも適用可能であり得る。
本開示のいくつかの態様または実施例は、それぞれのキャッピング層(CPL)を堆積させるそれぞれの発光スペクトルを有する第1および第2の発光領域を有する光電子デバイスを提供することができ、この光学特性は、下にある発光領域の少なくとも1つの光学マイクロキャビティ効果を修正するために選択され得る。CPLは、CPLにその後に堆積される導電性コーティングが実質的にないように、基部表面上に導電性コーティングを形成するための初期付着確率よりも実質的に小さい、その表面上に導電性コーティングを形成するための初期付着確率を有するパターニングコーティングを含み得る。
本発明は、例えば、以下を提供する。
(項目1)
複数の層を有する光電子デバイスであって、
第1のキャッピング層(CPL)材料を含み、第1の発光領域内に配設された第1のCPLであって、前記第1の発光領域が、第1の開始波長を特徴とする第1の波長スペクトルを有する光子を放出するように構成されている、第1のCPLと、
第2のCPL材料を含み、第2の発光領域内に配設された第2のCPLであって、前記第2の発光領域が、第2の開始波長を特徴とする第2の波長スペクトルを有する光子を放出するように構成されている、第2のCPLと、を含み、
前記第1のCPLおよび前記第1のCPL材料(CPL(m)1)のうちの少なくとも1つが、前記第1の開始波長よりも短い第1の吸収端波長での第1の吸収端を示し、
前記第2のCPLおよび前記第2のCPL材料(CPL(m)2)のうちの少なくとも1つが、前記第2の開始波長よりも短い第2の吸収端波長での第2の吸収端を示す、光電子デバイス。
(項目2)
前記第1の開始波長が、前記第2の開始波長よりも短い、項目1に記載の光電子デバイス。
(項目3)
前記第1の吸収端波長が、前記第2の吸収端波長よりも短い、項目1または2に記載の光電子デバイス。
(項目4)
前記第1の吸収端が、前記CPL(m)1)の吸光係数が閾値に等しい第1の吸光波長を特徴とし、前記第2の吸収端が、前記CPL(m)2の吸光係数が前記閾値に等しい第2の吸光波長を特徴とする、項目1~3のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目5)
前記第1の開始波長が、約50nm、約40nm、約35nm、約30nm、約25nm、約20nm、約15nm、約10nm、約5nm、および約3nmのうちの少なくとも1つ未満だけ前記第1の吸収端波長よりも長い、項目4に記載の光電子デバイス。
(項目6)
前記第1の吸光波長が、前記CPL(m)1の前記吸光係数が前記閾値に等しい少なくとも1つの波長のうちの最も長い波長である、項目4または5に記載の光電子デバイス。
(項目7)
波長の関数としての前記CPL(m)1の前記吸光係数の一次導関数が、前記第1の吸光波長で負である、項目4~6のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目8)
前記第1の吸光波長よりも長い波長での前記CPL(m)1の前記吸光係数が、前記閾値よりも小さい、項目4~7のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目9)
前記第1の吸光波長よりも長いすべての波長での前記CPL(m)1の前記吸光係数が、前記閾値よりも小さい、項目4~8のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目10)
前記第1の開始波長よりも長い任意の波長での前記CPL(m)1の前記吸光係数が、約0.1、約0.09、約0.08、約0.06、約0.05、約0.03、約0.01、約0.005、および約0.0001のうちの少なくとも1つよりも小さい、項目4~9のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目11)
前記第1の吸収端波長よりも短い波長での前記CPL(m)1の前記吸光係数が、約0.1、約0.12、約0.13、約0.15、約0.18、約0.2、約0.25、約0.3、約0.5、約0.7、約0.75、約0.8、約0.9、および約1.0のうちの少なくとも1つを超える、項目4~10のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目12)
前記第1の吸収端波長よりも長い少なくとも1つの波長についての前記CPL(m)1の屈折率が、前記第1の吸収端波長よりも短い少なくとも1つの波長についての前記CPL(m)1の屈折率を超える、項目4~11のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目13)
前記第1の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長での前記CPL(m)1の屈折率が、約1.8、約1.9、約1.95、約2、約2.05、約2.1、約2.2、約2.3、および約2.5のうちの少なくとも1つを超える、項目4~12のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目14)
前記第2の開始波長が、約200nm、約150nm、約130nm、約100nm、約80nm、約70nm、約60nm、約50nm、約40nm、約35nm、約25nm、約20nm、約15nm、および約10nmのうちの少なくとも1つ未満だけ前記第2の吸収端波長よりも長い、項目4~13のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目15)
前記第2の吸光波長が、前記CPL(m)2の前記吸光係数が前記閾値に等しい少なくとも1つの波長のうちの最も長い波長である、項目4~14のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目16)
波長の関数としての前記CPL(m)2の前記吸光係数の一次導関数が、前記第2の吸光波長で負である、項目4~15のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目17)
前記第2の吸光波長よりも長い波長での前記CPL(m)2の前記吸光係数が、前記閾値よりも小さい、項目4~16のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目18)
前記第2の吸光波長よりも長いすべての波長での前記CPL(m)2の前記吸光係数が、前記閾値よりも小さい、項目4~17のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目19)
前記第2の開始波長よりも長い任意の波長での前記CPL(m)2の前記吸光係数が、約0.1、約0.09、約0.08、約0.06、約0.05、約0.03、約0.01、約0.005、および約0.0001のうちの少なくとも1つよりも小さい、項目4~18のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目20)
前記第2の吸収端波長よりも短い波長での前記CPL(m)2の前記吸光係数が、約0.1、約0.12、約0.13、約0.15、約0.18、約0.2、約0.25、約0.3、約0.5、約0.7、約0.75、約0.8、約0.9、および約1.0のうちの少なくとも1つを超える、項目4~19のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目21)
前記第2の吸収端波長よりも長い少なくとも1つの波長についての前記CPL(m)2の屈折率が、前記第2の吸収端波長よりも短い少なくとも1つの波長についての前記CPL(m)1の屈折率を超える、項目4~20のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目22)
前記第2の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長での前記CPL(m)2の屈折率が、約1.8、約1.9、約1.95、約2、約2.05、約2.1、約2.2、約2.3、および約2.5のうちの少なくとも1つを超える、項目4~21のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目23)
前記CPL(m)1の前記吸光係数が、前記第2の開始波長で前記閾値よりも小さい、項目4~22のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目24)
前記CPL(m)1の前記吸光係数が、前記第2の波長スペクトルにおけるすべての波長で前記閾値よりも小さい、項目4~23のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目25)
前記第2の波長スペクトルにおける任意の波長での前記CPL(m)1の前記吸光係数が、約0.1、約0.09、約0.08、約0.06、約0.05、約0.03、約0.01、約0.005、および約0.001のうちの少なくとも1つよりも小さい、項目4~24のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目26)
前記第1の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長についての前記CPL(m)1の屈折率が、前記第2の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長についての前記CPL(m)1の屈折率を超える、項目4~25のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目27)
前記第2の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長についての前記CPL(m)2の屈折率が、前記第1の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長についての前記CPL(m)2の屈折率を超える、項目4~26のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目28)
前記第2の波長スペクトルの少なくとも1つの波長についての前記CPL(m)1の屈折率が、約1.8、約1.7、約1.65、約1.6、約1.5、約1.45、約1.4、および約1.3のうちの少なくとも1つよりも小さい、項目4~27のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目29)
前記第1の波長スペクトルの少なくとも1つの波長での前記CPL(m)2の屈折率が、約1.8、約1.7、約1.65、約1.6、約1.5、約1.45、約1.4、および約1.3のうちの少なくとも1つよりも小さい、項目4~28のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目30)
前記CPL(m)2の前記吸光係数が、前記第1の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長についての前記CPL(m)1の前記吸光係数を超える、項目4~29のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目31)
前記CPL(m)2の前記吸光係数が、前記第1の波長スペクトルにおけるあらゆる波長についての前記CPL(m)1の前記吸光係数を超える、項目4~30のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目32)
前記閾値が、0.1、0.09、0.08、0.06、0.05、0.03、0.01、0.005、および0.001のうちの少なくとも1つである、項目4~31のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目33)
前記第1の発光領域および前記第2の発光領域が、横側面における前記デバイスの異なる領域を占領する、項目1~32のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目34)
前記第1の波長スペクトルおよび前記第2の波長範囲が、可視スペクトルに位置する、項目1~33のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目35)
前記第1の波長スペクトルが、第1のピーク波長を有し、前記第2の波長スペクトルが、前記第1のピーク波長よりも長い第2のピーク波長を有する、項目1~34のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目36)
前記第1の開始波長が、前記第1の波長スペクトルの強度が前記第1のピーク波長での強度の約20%、約15%、約10%、約5%、約3%、約1%、および約0.1%のうち少なくとも1つである少なくとも1つの波長のうちの最も短い波長である、項目35に記載の光電子デバイス。
(項目37)
前記第2の開始波長が、前記第2の波長スペクトルの強度が前記第2のピーク波長での強度の約20%、約15%、約10%、約5%、約3%、約1%、および約0.1%のうち少なくとも1つである少なくとも1つの波長のうちの最も短い波長である、項目35または36に記載の光電子デバイス。
(項目38)
前記第1の波長スペクトルが、B(青)およびG(緑)のうちの少なくとも1つである色に対応している、項目1~37のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目39)
前記第2の波長スペクトルが、R(赤)およびG(緑)のうちの少なくとも1つである色に対応している、項目1~38のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目40)
前記第1の波長スペクトルが、B(青)である色に対応し、前記第2の波長スペクトルが、G(緑)およびR(赤)のうちの少なくとも1つである色に対応している、項目1~39のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目41)
前記第1の波長スペクトルが、G(緑)である色に対応し、前記第2の波長スペクトルが、R(赤)である色に対応している、項目1~40のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目42)
前記第1のCPL材料が、前記第2のCPL材料とは異なる組成を有する、項目1~41のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目43)
前記第1のCPLの厚さが、前記第2のCPLの厚さと同じである、項目1~42のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目44)
前記第1のCPLの厚さが、前記第2のCPLの厚さとは異なる、項目1~42のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目45)
前記第1のCPLの厚さが、約5nm~約120nmの範囲にある、項目1~44のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目46)
前記第1のCPLの厚さが、約10nm、約15nm、約20nm、約25nm、約30nm、および約40nmのうちの少なくとも1つを超える、項目1~45のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目47)
前記第1のCPLの厚さが、約100nm、約90nm、約80nm、および約70nmのうちの少なくとも1つよりも小さい、項目1~46のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目48)
前記第2のCPLの厚さが、約5nm~約120nmの範囲にある、項目1~47のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目49)
前記第2のCPLの厚さが、約10nm、約15nm、約20nm、約25nm、約30nm、および約40nmのうちの少なくとも1つを超える、項目1~48のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目50)
前記第2のCPLの厚さが、約100nm、約90nm、約80nm、および約70nmのうちの少なくとも1つよりも小さい、項目1~49のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目51)
前記第1の発光領域および前記第2の発光領域内に少なくとも1つの電極コーティングをさらに含む、項目1~50のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目52)
前記第1のCPLが、前記少なくとも1つの電極コーティングの露出層表面上に配設されている、項目1~51のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目53)
前記第2のCPLが、前記少なくとも1つの電極コーティングの露出層表面上に配設されている、項目52に記載の光電子デバイス。
(項目54)
前記少なくとも1つの電極コーティングが、前記第1の発光領域内に第1の電極厚さを有する、項目52または53に記載の光電子デバイス。
(項目55)
前記少なくとも1つの電極コーティングが、前記第2の発光領域内に第2の電極厚さを有する、項目54に記載の光電子デバイス。
(項目56)
前記第1の電極厚さが、前記第2の電極厚さよりも小さい、項目55に記載の光電子デバイス。
(項目57)
前記第1の電極厚さを前記第2の電極厚さで除算したものの商が、約0.9、約0.8、約0.7、約0.6、約0.5、約0.4、約0.3、および約0.2のうちの少なくとも1つよりも小さい、項目56に記載の光電子デバイス。
(項目58)
前記第1の電極厚さが、約5nm~約100nm、約5nm~約50nm、約5nm~約25nm、約5nm~約20nm、約5nm~約15nm、約8nm~約15nm、約8nm~約12nm、および約8nm~約10nmのうちの少なくとも1つである範囲にある、項目56または57に記載の光電子デバイス。
(項目59)
前記第2の電極厚さが、約10nm~約60nm、約10nm~約50nm、約15nm~約40nm、約15nm~約35nm、および約20nm~約35nmのうちの少なくとも1つである範囲にある、項目56~58のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目60)
前記第2の電極厚さが、前記第1の電極厚さよりも小さい、項目55に記載の光電子デバイス。
(項目61)
前記第2の電極厚さを前記第1の電極厚さで除算したものの商が、約0.9、約0.8、約0.7、約0.6、約0.5、約0.4、約0.3、および約0.2のうちの約少なくとも1つよりも小さい、項目60に記載の光電子デバイス。
(項目62)
前記第1の電極厚さが、約10nm~約60nm、約10nm~約50nm、約15nm~約40nm、約15nm~約35nm、および約20nm~約35nmのうちの少なくとも1つである範囲にある、項目60または61に記載の光電子デバイス。
(項目63)
前記第2の電極厚さが、約5nm~約100nm、約5nm~約50nm、約5nm~約25nm、約5nm~約20nm、約5nm~約15nm、約8nm~約15nm、約8nm~約12nm、および約8nm~約10nmのうちの少なくとも1つである範囲にある、項目60~62のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目64)
前記少なくとも1つの電極コーティングが、金属コーティング、および前記金属コーティングの露出層表面上に配設された導電性コーティングを含む、項目52~63のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目65)
前記導電性コーティングが、前記金属コーティングと、前記第2の発光領域内の前記第2のCPLとの間に延在する、項目64に記載の光電子デバイス。
(項目66)
前記第1のCPLが、前記第1の発光領域内の前記金属コーティングの露出層表面上に配設されている、項目65に記載の光電子デバイス。
(項目67)
前記導電性コーティングが、前記金属コーティングと、前記第1の発光領域内の前記第1のCPLとの間に延在する、項目64に記載の光電子デバイス。
(項目68)
前記金属コーティングが、金属コーティング材料で構成されている、項目64~67のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目69)
前記金属コーティング材料が、少なくとも10kJ/モル、少なくとも50kJ/モル、少なくとも100kJ/モル、少なくとも150kJ/モル、少なくとも180kJ/モル、および少なくとも200kJ/モルのうちの少なくとも1つの、298Kでのその二原子分子中の結合解離エネルギーを有する金属を含む、項目68に記載の光電子デバイス。
(項目70)
前記金属コーティング材料が、約1.4、約1.3、および/または約1.2のうちの少なくとも1つよりも小さい電気陰性度を有する元素を含む、項目68または69に記載の光電子デバイス。
(項目71)
前記金属コーティング材料が、カリウム(K)、ナトリウム(Na)、リチウム(Li)、バリウム(Ba)、セシウム(Cs)、イッテルビウム(Yb)、銀(Ag)、金(Au)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、マグネシウム(Mg)、亜鉛(Zn)、カドミウム(Cd)、スズ(Sn)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)、パラジウム(Pd)、クロム(Cr)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ジルコニウム(Zr)、白金(Pt)、バナジウム(V)、ニオブ(Nb)、イリジウム(Ir)、オスミウム(Os)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択される元素を含む、項目68~70のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目72)
前記元素が、Cu、Ag、Au、およびこれらのうちのいずれかの任意の組み合わせから選択される、項目71に記載のデバイス。
(項目73)
前記元素が、Cuである、項目71に記載のデバイス。
(項目74)
前記元素が、Alである、項目71に記載のデバイス。
(項目75)
前記元素が、Mg、Zn、Cd、Yb、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択される、項目71に記載のデバイス。
(項目76)
前記元素が、Sn、Ni、Ti、Pd、Cr、Fe、Co、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択される、項目71に記載のデバイス。
(項目77)
前記元素が、Zr、Pt、V、Nb、Ir、Os、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択される、項目71に記載のデバイス。
(項目78)
前記元素が、Ta、Mo、W、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択される、項目71に記載のデバイス。
(項目79)
前記元素が、Mg、Ag、Al、Yb、Li、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択される、項目71に記載のデバイス。
(項目80)
前記元素が、Mg、Ag、Yb、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択される、項目71に記載のデバイス。
(項目81)
前記元素が、Mg、Ag、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択される、項目71に記載のデバイス。
(項目82)
前記元素が、Agである、項目71に記載のデバイス。
(項目83)
前記金属コーティング材料が、純粋な金属を含む、項目68~82のいずれか一項に記載のデバイス。
(項目84)
前記純粋な金属が、純粋な銀(Ag)および実質的に純粋なAgのうちの少なくとも1つである、項目83に記載のデバイス。
(項目85)
前記純粋な金属が、純粋なマグネシウム(Mg)および実質的に純粋なMgのうちの少なくとも1つである、項目83に記載のデバイス。
(項目86)
前記純粋な金属が、純粋なアルミニウム(Al)および実質的に純粋なAlのうちの少なくとも1つである、項目83に記載のデバイス。
(項目87)
前記金属コーティング材料が、合金を含む、項目69~86のいずれか一項に記載のデバイス。
(項目88)
前記合金が、銀(Ag)含有合金、および銀-マグネシウム(AgMg)含有合金のうちの少なくとも1つである、項目87に記載のデバイス。
(項目89)
前記金属コーティング材料が、酸素(O)を含む、項目68~88のいずれか一項に記載のデバイス。
(項目90)
前記金属コーティング材料が、Oおよび少なくとも1つの金属を含む、項目89に記載のデバイス。
(項目91)
前記金属コーティング材料が、金属酸化物を含む、項目89または90に記載のデバイス。
(項目92)
前記金属酸化物が、亜鉛(Z)、インジウム(I)、スズ(Sn)、アンチモン(Sb)、ガリウム(Ga)、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせを含む、項目91に記載のデバイス。
(項目93)
前記金属酸化物が、透明導電性酸化物(TCO)である、項目92に記載のデバイス。
(項目94)
前記TCOが、インジウムチタン酸化物(ITO)、亜鉛酸化物(ZnO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、インジウムガリウム亜鉛酸化物(IGZO)、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせのうちの少なくとも1つである、項目93に記載のデバイス。
(項目95)
前記金属コーティングが、前記金属コーティング材料の複数の層を含む、項目68~94のいずれか一項に記載のデバイス。
(項目96)
前記複数の層のうちの第1の層の前記金属コーティング材料が、前記複数の層のうちの第2の層の前記金属コーティング材料とは異なる、項目95に記載のデバイス。
(項目97)
前記複数の層のうちの少なくとも1つの前記金属コーティング材料が、イッテルビウム(Yb)を含む、項目95または96に記載のデバイス。
(項目98)
前記複数の層のうちの別の層の前記金属コーティング材料が、銀(Ag)含有合金、および銀-マグネシウム(AgMg)含有合金のうちの少なくとも1つを含む、項目97に記載のデバイス。
(項目99)
前記複数の層のうちの別の層の前記金属コーティング材料が、純粋な銀(Ag)、実質的に純粋なAg、純粋なマグネシウム(Mg)、実質的に純粋なMg、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせのうちの少なくとも1つを含む、項目98に記載のデバイス。
(項目100)
NICの近位にある前記複数の層のうちの1つの前記金属コーティング材料が、銀(Ag)、金(Au)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、スズ(Sn)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)、パラジウム(Pd)、クロム(Cr)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ジルコニウム(Zr)、白金(Pt)、バナジウム(V)、ニオブ(Nb)、イリジウム(Ir)、オスミウム(Os)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)、タングステン(W)、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択される元素を含む、項目98に記載のデバイス。
(項目101)
前記元素が、Cu、Ag、Au、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせを含む、項目100に記載のデバイス。
(項目102)
前記元素が、Cuである、項目100に記載のデバイス。
(項目103)
前記元素が、Alである、項目100に記載のデバイス。
(項目104)
前記元素が、Sn、Ti、Pd、Cr、Fe、Co、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせを含む、項目100に記載のデバイス。
(項目105)
前記元素が、Ni、Zr、Pt、V、Nb、Ir、Os、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせを含む、項目100に記載のデバイス。
(項目106)
前記元素が、Ta、Mo、W、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせを含む、項目100に記載のデバイス。
(項目107)
前記元素が、Mg、Ag、Al、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせを含む、項目100に記載のデバイス。
(項目108)
前記元素が、Mg、Ag、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせを含む、項目100に記載のデバイス。
(項目109)
前記元素が、Agである、項目100に記載のデバイス。
(項目110)
前記複数の層のうちの少なくとも1つが、約4eV未満である仕事関数を有する金属を含む、項目95~109のいずれか一項に記載のデバイス。
(項目111)
前記導電性コーティングが、導電性コーティング材料で構成されている、項目64~110のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目112)
前記導電性コーティング材料が、300kJ/モル未満、200kJ/モル未満、165kJ/モル未満、150kJ/モル未満、100kJ/モル未満、50kJ/モル未満、および20kJ/モル未満の、298Kでのその二原子分子中の結合解離エネルギーを有する金属を含む、項目111に記載のデバイス。
(項目113)
前記導電性コーティング材料が、カリウム(K)、ナトリウム(Na)、リチウム(Li)、バリウム(Ba)、セシウム(Cs)、イッテルビウム(Yb)、銀(Ag)、金(Au)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、マグネシウム(Mg)、亜鉛(Zn)、カドミウム(Cd)、スズ(Sn)、イットリウム(Y)、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択される元素を含む、項目111または112に記載のデバイス。
(項目114)
前記元素が、K、Na、Li、Ba、Cs、Yb、Ag、Au、Cu、Al、Mg、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択される、項目113に記載のデバイス。
(項目115)
前記元素が、Cu、Ag、Au、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択される、項目113に記載のデバイス。
(項目116)
前記元素が、Cuである、項目113に記載のデバイス。
(項目117)
前記元素が、Alである、項目113に記載のデバイス。
(項目118)
前記元素が、Mg、Zn、Cd、Yb、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択される、項目113に記載のデバイス。
(項目119)
前記元素が、Mg、Ag、Al、Yb、Li、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択される、項目113に記載のデバイス。
(項目120)
前記元素が、Mg、Ag、Yb、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択される、項目113に記載のデバイス。
(項目121)
前記元素が、Mg、Ag、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせから選択される、項目113に記載のデバイス。
(項目122)
前記元素が、Agである、項目113に記載のデバイス。
(項目123)
前記導電性コーティング材料が、純粋な金属を含む、項目111~122のいずれか一項に記載のデバイス。
(項目124)
前記純粋な金属が、純粋な銀(Ag)、および実質的に純粋なAgのうちの少なくとも1つである、項目123に記載のデバイス。
(項目125)
前記実質的に純粋なAgが、少なくとも約95%、少なくとも約98%、少なくとも約99%、少なくとも約99.9%、少なくとも約99.99%、少なくとも約99.999%、および少なくとも約99.9995%のうちの少なくとも1つの純度を有する、項目124に記載のデバイス。
(項目126)
前記純粋な金属が、純粋なマグネシウム(Mg)、および実質的に純粋なMgのうちの少なくとも1つである、項目123に記載のデバイス。
(項目127)
前記実質的に純粋なMgが、少なくとも約95%、少なくとも約98%、少なくとも約99%、少なくとも約99.9%、少なくとも約99.99%、少なくとも約99.999%、および少なくとも約99.9995%のうちの少なくとも1つの純度を有する、項目126に記載のデバイス。
(項目128)
前記導電性コーティング材料が、合金を含む、項目111~127のいずれか一項に記載のデバイス。
(項目129)
前記合金が、銀(Ag)含有合金、マグネシウム(Mg)含有合金、およびAgMg含有合金のうちの少なくとも1つである、項目128に記載のデバイス。
(項目130)
前記導電性コーティング材料が、非金属元素を含む、項目111~129のいずれか一項に記載のデバイス。
(項目131)
前記非金属元素が、酸素(O)、硫黄(S)、窒素(N)、炭素(C)、およびこれらのいずれかの任意の組み合わせのうちの少なくとも1つから選択される、項目130に記載のデバイス。
(項目132)
前記導電性コーティング材料中の前記非金属元素の濃度が、約1%、約0.1%、約0.01%、約0.001%、約0.0001%、約0.00001%、約0.000001%、および約0.0000001%のうちの少なくとも1つよりも小さい、項目130または131に記載のデバイス。
(項目133)
半導電性層をさらに含み、前記少なくとも1つの電極コーティングが、前記半導電性層と前記第1の発光領域内の前記第1のCPLとの間、および前記半導電性層と前記第2の発光領域内の前記第2のCPLとの間に延在する、項目52~132のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目134)
前記第1のCPLおよび前記第2のCPLのうちの少なくとも1つが、前記導電性コーティングをパターン化するための核生成抑制コーティング(NIC)を含む、項目133に記載の光電子デバイス。
(項目135)
前記第2のCPLが、前記第1の発光領域内に配設されている、項目52~134のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目136)
前記第1のCPLが、前記少なくとも1つの電極コーティングと前記第1の発光領域内の前記第2のCPLとの間に延在する、項目135に記載の光電子デバイス。
(項目137)
前記第2のCPLが、前記少なくとも1つの電極コーティングと前記第1の発光領域内の前記第1のCPLとの間に延在する、項目135または136に記載の光電子デバイス。
(項目138)
前記第1のCPLが、前記第2の発光領域内に配設されている、項目52~137のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目139)
前記第1のCPLが、前記少なくとも1つの電極コーティングと前記第2の発光領域内の前記第2のCPLとの間に延在する、項目138に記載の光電子デバイス。
(項目140)
前記第2のCPLが、前記少なくとも1つの電極コーティングと前記第2の発光領域内の前記第1のCPLとの間に延在する、項目138または139に記載の光電子デバイス。
(項目141)
第3の開始波長を特徴とする第3の波長スペクトルを有する光子を放出するように構成された第3の発光領域をさらに含む、項目1~140のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目142)
前記第3の波長スペクトルが、前記第2の波長スペクトルの第2のピーク波長よりも短く、前記第1の波長スペクトルの第1のピーク波長よりも長い第3のピーク波長を有する、項目141に記載の光電子デバイス。
(項目143)
前記第1の波長スペクトルが、B(青)である色に対応し、前記第2の波長スペクトルが、G(緑)である色に対応し、前記第3の波長スペクトルが、R(赤)である色に対応する、項目143または144に記載の光電子デバイス。
(項目144)
前記第1のCPLおよび前記第2のCPLのうちの少なくとも1つが、前記第3の発光領域内に配設されている、項目135~143のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目145)
第3のCPLが、前記第3の発光領域内に配設されている、項目135~144のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目146)
前記第3のCPLおよび前記第3のCPL材料(CPL(m)3)のうちの少なくとも1つが、前記第3の開始波長よりも短い第3の吸収端波長での第3の吸収端を示す、項目145に記載の光電子デバイス。
(項目147)
前記第3の吸収端が、前記CPL(m)3の吸光係数が閾値に等しい第3の吸光波長を特徴とする、項目146に記載の光電子デバイス。
(項目148)
前記第3の開始波長が、約200nm、約150nm、約130nm、約100nm、約80nm、約70nm、約60nm、約50nm、約40nm、約35nm、約25nm、約20nm、約15nm、および約10nmのうちの少なくとも1つ未満だけ前記第3の吸収端波長よりも長い、項目146または147に記載の光電子デバイス。
(項目149)
前記第3の吸光波長が、前記CPL(m)3の前記吸光係数が前記閾値に等しい少なくとも1つの波長のうちの最も長い波長である、項目147または148に記載の光電子デバイス。
(項目150)
波長の関数としての前記CPL(m)3の前記吸光係数の一次導関数が、前記第3の吸光波長で負である、項目147~149のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目151)
前記第3の吸光波長よりも長い波長での前記CPL(m)3の前記吸光係数が、前記閾値よりも小さい、項目147~150のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目152)
前記第3の吸光波長よりも長いすべての波長での前記CPL(m)3の前記吸光係数が、前記閾値よりも小さい、項目147~151のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目153)
前記第3の開始波長よりも長い任意の波長での前記CPL(m)3の前記吸光係数が、約0.1、約0.09、約0.08、約0.06、約0.05、約0.03、約0.01、約0.005、および約0.0001のうちの少なくとも1つよりも小さい、項目147~152のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目154)
前記第1の吸収端波長よりも短い波長での前記CPL(m)3の前記吸光係数が、約0.1、約0.12、約0.13、約0.15、約0.18、約0.2、約0.25、約0.3、約0.5、約0.7、約0.75、約0.8、約0.9、および約1.0のうちの少なくとも1つを超える、項目146~153のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目155)
前記第3の吸収端波長よりも長い少なくとも1つの波長についての前記CPL(m)3の屈折率が、前記第1の吸収端波長よりも短い少なくとも1つの波長についての前記CPL(m)3の屈折率を超える、項目146~154のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目156)
前記第3の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長での前記CPL(m)3の屈折率が、約1.8、約1.9、約1.95、約2、約2.05、約2.1、約2.2、約2.3、および約2.5のうちの少なくとも1つを超える、項目146~155のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
(項目157)
前記第3の発光領域には、前記第1のCPLおよび前記第2のCPLのうちの少なくとも1つが実質的にない、項目141~156のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
ここで、本開示の例を、以下の図を参照することによって説明し、異なる図中の同一の参照番号は、同一の要素、ならびに/またはいくつかの非限定的な例では、類似するおよび/もしくは対応する要素を示している。
本開示の例による、エレクトロルミネセントデバイスの例の断面側面からのブロック図である。 バックプレーン層の中に具体化された薄膜トランジスタ(TFT)を示す、図1のデバイスの基板のバックプレーン層の例の断面図である。 図2のバックプレーン層内に示すTFTのうちの1つ以上によって提供され得るような回路の例についての回路図である。 図1のデバイスの断面図である。 デバイスの少なくとも1つの第2の電極の堆積を支持する少なくとも1つのピクセル定義層(PDL)の例を示す、図1のデバイスのバージョンの例の断面図である。 本開示の例による、表面上に吸収された吸着原子の相対的なエネルギー状態を示すエネルギープロファイルの例である。 本開示の例による、図1のデバイスのバージョンの例の基部材料の露出層表面上にパターンで選択的コーティングを堆積させるためのプロセスの例を示す概略図である。 選択的コーティングが核生成抑制コーティング(NIC)である図7の選択的コーティングの堆積パターンを含む露出層表面上に第1のパターンで導電性コーティングを堆積させるためのプロセスの例を示す概略図である。 本開示の例による、オープンマスク内にアパーチャを有する、図7のプロセスとともに使用するのに好適なオープンマスクの例を示す概略図である。 本開示の例による、オープンマスク内にアパーチャを有する、図7のプロセスとともに使用するのに好適なオープンマスクの例を示す概略図である。 本開示の例による、オープンマスク内にアパーチャを有する、図7のプロセスとともに使用するのに好適なオープンマスクの例を示す概略図である。 本開示の例による、オープンマスク内にアパーチャを有する、図7のプロセスとともに使用するのに好適なオープンマスクの例を示す概略図である。 本開示の例による、追加の堆積ステップの例を有する図1のデバイスのバージョンの例である。 第1の部分が不連続コーティングを含む、図10Aのデバイスのバージョンの例である。 図10Bのデバイスの第1の部分の平面図である。 第3の部分をさらに含む、図10Aのデバイスのバージョンの例である。 図10Dのデバイスの一部分の平面図である。 図9の選択的コーティングの堆積パターンを含む露出層表面上にパターンで核生成促進コーティング(NPC)である選択的コーティングを堆積させるためのプロセスの例を示す概略図である。 図11AのNPCの堆積されたパターンを含む露出層表面上にパターンで導電性コーティングを堆積させるためのプロセスの例を示す概略図である。 本開示の例による、図1のデバイスのバージョンの例の基部材料の露出層表面上にパターンでNPCを堆積させるためのプロセスの例を示す概略図である。 図12AのNPCの堆積パターンを含む露出層表面上にパターンでNICを堆積させるプロセスの例を示す概略図である。 図12BのNICの堆積されたパターンを含む露出層表面上にパターンで導電性コーティングを堆積させるためのプロセスの例を示す概略図である。 本開示の例による、図1のデバイスのバージョンの例において、露出層表面上にパターンで選択的コーティングを堆積させるための印刷プロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、図1のデバイスのバージョンでの使用に好適なパターン化された電極の例を平面図で示す概略図である。 線15-15に沿って取られた図14のデバイスの断面図の例を示す概略図である。 本開示の例による、図1のデバイスのバージョンの例での使用に好適な電極の複数のパターンの例を平面図で示す概略図である。 線16B-16Bに沿って取られた図16Aのデバイスの中間段階での断面図の例を示す概略図である。 線16C-16Cに沿って取られた図16Aのデバイスの断面図の例を示す概略図である。 本開示の例による、パターン化された補助電極の例を有する図1のデバイスのバージョンの例の断面図を示す概略図である。 本開示の例による、図1のデバイスのバージョンの例における発光領域および/または非発光領域の配置の例を平面図で示す概略図である。 本開示の例による、非発光領域と重なり合う補助電極の例を示す図18Aの一部のセグメントを各々示す概略図である。 本開示の例による、非発光領域と重なり合う補助電極の例を示す図18Aの一部のセグメントを各々示す概略図である。 本開示の例による、非発光領域と重なり合う補助電極の例を示す図18Aの一部のセグメントを各々示す概略図である。 本開示の例による、少なくとも1つの発光領域および少なくとも1つの非発光領域と重なり合う補助電極のパターンの例を平面図で示す概略図である。 本開示の例による、ダイヤモンド構成の発光領域の複数の群を有する図1のデバイスのバージョンの例のパターンの例を平面図で示す概略図である。 線20B-20Bに沿って取られた図20Aのデバイスの断面図の例を示す概略図である。 線20C-20Cに沿って取られた図20Aのデバイスの断面図の例を示す概略図である。 本開示の例による、追加の堆積ステップの例を有する図4のデバイスのバージョンの例の断面図の例を示す概略図である。 本開示の例による、追加の堆積ステップの例を有する図4のデバイスのバージョンの例の断面図の例を示す概略図である。 本開示の例による、追加の堆積ステップの例を有する図4のデバイスのバージョンの例の断面図の例を示す概略図である。 本開示の例による、追加の堆積ステップの例を有する図4のデバイスのバージョンの例の断面図の例を示す概略図である。 本開示の例による、選択的堆積およびその後の除去プロセスによって、図1のデバイスのバージョンの例の露出層表面上にパターンで導電性コーティングを堆積させるためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、少なくとも1つの補助電極を有する、少なくとも1つのピクセル領域の例、および少なくとも1つの光透過性領域の例を含む図1のデバイスの透明バージョンの例を平面図で示す概略図である。 直線26B-26Bに沿って取られた図26Aのデバイスの断面図の例を示す概略図である。 本開示の例による、少なくとも1つのピクセル領域の例、および少なくとも1つの光透過性領域の例を含む図1のデバイスの透明バージョンの例を平面図で示す概略図である。 直線27B-27Bに沿って取られた図27Aのデバイスの断面図の例を示す概略図である。 直線27B-27Bに沿って取られた図27Aのデバイスの断面図の別の例を示す概略図である。 本開示の例による、各々が異なる厚さの第2の電極を有する2つの発光領域を提供するために、図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、各々が異なる厚さの第2の電極を有する2つの発光領域を提供するために、図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、各々が異なる厚さの第2の電極を有する2つの発光領域を提供するために、図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、各々が異なる厚さの第2の電極を有する2つの発光領域を提供するために、図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、異なる厚さの第2の電極を有するサブピクセル領域を有する図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、異なる厚さの第2の電極を有するサブピクセル領域を有する図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、異なる厚さの第2の電極を有するサブピクセル領域を有する図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、異なる厚さの第2の電極を有するサブピクセル領域を有する図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、第2の電極が補助電極に結合されている図1のデバイスのバージョンの例の断面図の例を示す概略図である。 本開示の様々な例による、図1のデバイスのバージョンの例の導電性コーティングを有する堆積界面でのNICの様々な潜在的挙動を示す概略図である。 本開示の様々な例による、図1のデバイスのバージョンの例の導電性コーティングを有する堆積界面でのNICの様々な潜在的挙動を示す概略図である。 本開示の様々な例による、図1のデバイスのバージョンの例の導電性コーティングを有する堆積界面でのNICの様々な潜在的挙動を示す概略図である。 本開示の様々な例による、図1のデバイスのバージョンの例の導電性コーティングを有する堆積界面でのNICの様々な潜在的挙動を示す概略図である。 本開示の様々な例による、図1のデバイスのバージョンの例の導電性コーティングを有する堆積界面でのNICの様々な潜在的挙動を示す概略図である。 本開示の様々な例による、図1のデバイスのバージョンの例の導電性コーティングを有する堆積界面でのNICの様々な潜在的挙動を示す概略図である。 本開示の様々な例による、図1のデバイスのバージョンの例の導電性コーティングを有する堆積界面でのNICの様々な潜在的挙動を示す概略図である。 本開示の様々な例による、図1のデバイスのバージョンの例の導電性コーティングを有する堆積界面でのNICの様々な潜在的挙動を示す概略図である。 本開示の様々な例による、図1のデバイスのバージョンの例の導電性コーティングを有する堆積界面でのNICの様々な潜在的挙動を示す概略図である。 本開示の様々な例による、一対の発光領域の例についての発光スペクトルの例と、発光領域を覆うそれぞれのキャッピング層の屈折率の例のプロットとの間の関係を定性的な形態で示す概略図である。 本開示の様々な例による、図32の屈折率の例のプロットと、図32のそれぞれのキャッピング層の吸光係数の例のそれぞれのプロットとの間の関係を定性的な形態で示す概略図である。 本開示の様々な例による、図32の発光スペクトルの例と、図33の吸光係数の例のそれぞれのプロットとの間の関係を定性的な形態で示す概略図である。 本開示の例による、NICの下にある金属コーティングおよび/または導電性コーティングを示す概略図である。 図28A~28Bの段階に続く図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 図28A~28Bの段階に続く図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、各々が異なる厚さの第2の電極を有する3つの発光領域を提供するために、図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、各々が異なる厚さの第2の電極を有する3つの発光領域を提供するために、図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、各々が異なる厚さの第2の電極を有する3つの発光領域を提供するために、図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、各々が異なる厚さの第2の電極を有する3つの発光領域を提供するために、図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、各々が異なる厚さの第2の電極を有する3つの発光領域を提供するために、図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、異なる厚さの第2の電極を有するサブピクセル領域を有する図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、異なる厚さの第2の電極を有するサブピクセル領域を有する図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、異なる厚さの第2の電極を有するサブピクセル領域を有する図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、異なる厚さの第2の電極を有するサブピクセル領域を有する図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、異なる厚さの第2の電極を有するサブピクセル領域を有する図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、異なる厚さの第2の電極を有するサブピクセル領域を有する図1のデバイスのバージョンの例を製造するためのプロセスの例の段階の例を示す概略図である。 本開示の例による、図1のデバイスのバージョンの例を示す概略図である。 本開示の例による、図1のデバイスのバージョンの例を示す概略図である。 本開示の例による、図1のデバイスのバージョンの例を示す概略図である。 本開示の例による、膜核の形成を示す概略図である。
本開示では、限定ではなく解説の目的で、特定のアーキテクチャ、インターフェース、および/または技法を含むがこれらに限定されない、本開示の完全な理解を提供するために特定の詳細が記述されている。場合によっては、本開示の説明を不必要な詳細で曖昧にしないように、よく知られているシステム、技術、構成要素、デバイス、回路、方法、および用途の詳細な説明が省略されている。
さらに、本明細書で再現されたブロック図は、技術の原理を具体化する例示的な構成要素の概念図を表し得ることが理解されよう。
したがって、システムおよび方法の構成要素は、図面中の従来の記号によって適切に表されており、本明細書における説明の利益を有する当業者に容易に明らかになる詳細で本開示を曖昧にしないように、本開示の例を理解することに関連するこれらの特定の詳細のみを示している。
本明細書で提供されるいかなる図面も、縮尺どおりに描かれているものではなく、いかなる方法でも本開示を制限するとみなされるものではない。
破線のアウトラインで示す任意の特徴または作用は、いくつかの例では任意選択としてみなされる場合がある。
光電子デバイス
本開示は概して、電子デバイス、およびより具体的には光電子デバイスに関する。光電子デバイスは概して、電気信号を光子に、およびその逆に変換する任意のデバイスを包含する。
本開示では、「光子」および「光」という用語は、同様の概念を指すために互換的に使用され得る。本開示では、光子は、その赤外線(IR)および/または紫外線(UV)領域において、可視光スペクトルに位置する波長を有し得る。
本開示では、本明細書で使用される「可視光スペクトル」という用語は、一般に、電磁スペクトルの可視部分における少なくとも1つの波長を指す。いくつかの非限定的な例では、可視光スペクトルは、約380nm~約750nmの波長範囲に対応し得る。
本開示では、本明細書で使用され、波長(λ)の関数としての強度(I)のプロットとして図32に非限定的な例として示される「発光スペクトル」(ES)という用語は、一般に、光電子デバイスによって放出された光のエレクトロルミネッセンススペクトルを指す。非限定的な例として、発光スペクトル(ES)は、非限定的な例として、波長範囲にわたる電磁放射の強度(I)を測定する分光光度計などの光学機器を使用して検出され得る。
本開示では、本明細書で使用され、図32に非限定的な例として示される「開始波長」λonsetという用語は、一般に、発光が発光スペクトル内で検出される最も短い波長を指す。
本開示では、本明細書で使用され、図32に非限定的な例として示される「ピーク波長」λmaxという用語は、一般に、発光スペクトル内で最大輝度が検出される波長を指す。当業者は、輝度がカンデラ(cd)(平方面積当たりの光度の測定値)の単位で、cd/mの単位またはニットで測定することができることを理解するであろう。発光スペクトルが視角(すなわち、発光スペクトルが測定される角度)によって変わる光電子デバイスのいくつかの非限定的な例では、デバイスの平面に対して垂直な角度で取られた発光スペクトルは、最大輝度および/またはそのピーク波長λmaxを含むがこれらに限定されない、発光の様々な特徴を決定するために使用することができる。
一般に、開始波長λonsetは、ピーク波長λmaxよりも短い波長で発生する。いくつかの非限定的な例では、開始波長λonsetは、一般に、図32の非限定的な例として示されるように、輝度が閾値強度(Ionset)にある発光スペクトル内の波長に対応し得、これは、いくつかの非限定的な例では、ピーク波長λmaxでの輝度の約10%、約5%、約3%、約1%、約0.5%、約0.1%、または約0.01%であり得る。
一般に、エレクトロルミネセントデバイスは、約425nm~約725nmの範囲における波長を有する光、およびより具体的には、いくつかの非限定的な例では、それぞれ、B(青)2543、G(緑)2542、およびR(赤)2541サブピクセルに対応する456nm、528nm、および624nmのピーク発光波長を有する光を放出ならびに/もしくは透過するように構成されている。したがって、そのようなエレクトロルミネセントデバイスの文脈において、発光スペクトルは、約425nm~約725nm、または約456nm~約624nmの任意の波長もしくは波長範囲を指し得る。可視光スペクトルにおける波長を有する光子は、いくつかの非限定的な例では、本明細書では「可視光」とも称され得る。
いくつかの非限定的な例では、可視光スペクトルのR(赤)部分に位置する発光スペクトルは、600nm~約640nmの波長範囲に位置し得るピーク波長λmaxを特徴とし得、非限定的な例では、実質的に約620nmであり得る。対応する開始波長λonsetは、約500nm~約610nm、約575nm~約600nm、約570nm~約580nm、または約580nm~約590nmの波長範囲に位置し得る。
いくつかの非限定的な例では、可視光スペクトルのG(緑)部分に位置する発光スペクトルは、510nm~約540nmの波長範囲に位置し得るピーク波長λmaxを特徴とし得、非限定的な例では、実質的に約530nmであり得る。対応する開始波長λonsetは、約470nm~約520nm、約480nm~約510nm、約480nm~約490nm、または約490~約500nmの波長範囲に位置し得る。
いくつかの非限定的な例では、可視光スペクトルのB(青)部分に位置する発光スペクトルは、450nm~約460nmの波長範囲に位置し得るピーク波長λmaxを特徴とし得、非限定的な例では、実質的に約455nmであり得る。対応する開始波長λonsetは、約420nm~約450nm、約425nm~約440nm、約420nm~約430nm、または約430nm~約440nmの波長範囲に位置し得る。
本開示では、本明細書で使用される「IR信号」という用語は、一般に、EMスペクトルのIR部分における波長を有するEM放射を指す。IR信号は、いくつかの非限定的な例では、その近赤外線(NIR)サブセットに対応する波長を有し得る。非限定的な例として、NIR信号は、約750nm~約1400nm、約750nm~約1300nm、約800nm~約1300nm、約800nm~約1200nm、約850nm~約1100nm、および/または約900nm~約1000nmの波長を有し得る。
本開示では、本明細書で使用される「吸収スペクトル」という用語は、一般に、吸収が発生するEMスペクトルの波長(サブ)範囲を指す。
本開示では、本明細書で使用され、一般に、図33に非限定的な例として示される「吸光係数」(k)という用語は、材料を通って伝搬するときに電磁係数が減衰される程度を指す。いくつかの非限定的な例では、吸光係数は、複素屈折率Nの虚数成分kに対応すると理解され得る。いくつかの非限定的な例では、材料の吸光係数は、偏光解析法によることを含むが、これに限定されない、様々な方法によって測定され得る。
本開示では、媒体を説明するために本明細書で使用され、一般に図32に非限定的な例として示される「屈折率(refractive index)」(n)および/または「屈折率(index)」という用語は、真空中の光の速度に対するそのような媒体中の光の速度の比から計算された値を指す。本開示では、特に、薄膜層および/またはコーティングを含むがこれらに限定されない、実質的に透明な材料の特性を説明するために使用される場合、これらの用語は、式N=n+ikにおける実数部nに対応し得、式中、Nは、複素屈折率を表し、kは、吸光係数を表す。
当業者によって理解されるように、薄膜層および/またはコーティングを含むがこれらに限定されない、実質的に透明な材料は、一般に、可視光スペクトルにおいて比較的低いk値を示し、したがって、式の虚数成分は、複素屈折率Nにほとんど寄与しない場合がある。もう一方では、例えば、金属薄膜によって形成された光透過性電極は、可視光スペクトルにおいて比較的低いn値および比較的高いk値を示し得る。したがって、そのような薄膜の複素屈折率Nは、主にその虚数成分によって決定づけることができる。
本開示では、文脈上別段の指示がない限り、屈折率への特定性のない言及は、複素屈折率Nの実数部nへの言及であることが意図されている。
本開示では、本明細書で使用され、図33に非限定的な例として示される「吸収端」(AE)、「吸収不連続性」、および/または「吸収限界」という用語は、一般に、コーティング、層、および/または材料の吸光係数kならびに/もしくは吸収スペクトルの急速な減少を指す。本開示では、例えば、キャッピング層(CPL)3610に関連して説明される「吸収端」は、CPL3610の吸光係数kの急速な減少が観察される、例えば可視スペクトルにおける最も長い波長を指す。いくつかの非限定的な例では、特に可視スペクトルにおけるCPL3610の吸光係数kは、ゼロに向かって減少し、可視スペクトルの残りにわたって低いままであり得る。そのような非限定的な例では、CPL3610の吸収端は、一般に図33の非限定的な例として示されるように、ゼロに向かって減少するため、吸光係数kが閾値TAEを通過する波長または最も長い波長に対応し得る。いくつかの非限定的な例では、CPL3610の吸収端は、吸光係数kが負である波長λの関数としての吸光係数kの一次導関数を有する閾値TAEを通過する波長または最も長い波長に対応し得る。
いくつかの非限定的な例では、屈折率nと透過率との間に一般に正の相関関係、または言い換えれば、屈折率nと吸収端もしくはその近傍での吸収との間に一般に負の相関関係があり得る。いくつかの非限定的な例では、物質の吸収端は、吸光係数kが0に近い閾値に近づく波長に対応し得る。
有機光電子デバイスは、デバイスの1つ以上の活性層および/または層状部が主に有機(炭素含有)材料、およびより具体的には有機導電性材料で形成される任意の光電子デバイスを包含することができる。
本開示では、有機材料は、多種多様な有機分子および/または有機ポリマーを含み得るがこれらに限定されないことが当業者に理解されよう。さらに、元素および/または無機化合物を含むがこれらに限定されない、様々な無機物質でドープされた有機材料は、依然として有機材料とみなされ得ることが当業者に理解されよう。依然として、様々な有機材料が使用されてもよく、本明細書で説明するプロセスは、概して、そのような有機材料の全範囲に適用可能であることが当業者にさらに理解されよう。なおさらに、金属および/または他の無機元素を含有する有機材料が依然として有機材料とみなされ得ることが当業者に理解されよう。なおさらに、様々な有機材料が分子、オリゴマー、および/またはポリマーであり得ることが当業者に理解されよう。
本開示では、無機物質は、主に無機材料を含む物質を指し得る。本開示では、無機材料は、金属、ガラス、および/または鉱物を含むがこれらに限定されない、有機材料とはみなされない任意の材料を含み得る。
光電子デバイスがルミネセントプロセスを通して光子を放出する場合、デバイスは、エレクトロルミネセントデバイスとみなすことができる。いくつかの非限定的な例では、エレクトロルミネセントデバイスは、有機発光ダイオード(OLED)デバイスであり得る。いくつかの非限定的な例では、エレクトロルミネセントデバイスは、電子デバイスの一部であり得る。非限定的な例として、エレクトロルミネセントデバイスは、OLED照明パネルまたはモジュール、かつ/あるいはスマートフォン、タブレット、ラップトップ、電子書籍リーダーなどのコンピューティングデバイス、ならびに/もしくはモニターおよび/またはテレビなどのいくつかの他の電子デバイスのOLEDディスプレイまたはモジュール(総称して、「ユーザデバイス」)であり得る。
いくつかの非限定的な例では、光電子デバイスは、光子を電気に変換する有機薄膜太陽電池(OPV)デバイスであり得る。いくつかの非限定的な例では、光電子デバイスは、エレクトロルミネセント量子ドットデバイスであり得る。本開示では、具体的には、特に異議を唱えない限り、いくつかの例では、そのような開示が、当業者に明らかな様態で、OPVおよび/または量子ドットデバイスを含むがこれらに限定されない、他の光電子デバイスに等しく適用可能にされ得ることを理解して、OLEDデバイスを参照する。
そのようなデバイスの構造は、2つの側面の各々から、すなわち、断面側面から、および/または横(平面図)側面から説明する。
本開示では、「層」および「層状部」という用語は、同様の概念を指すために互換的に使用され得る。
下記の断面側面を紹介する文脈では、そのようなデバイスの構成要素は、実質的に平面の横層状部で示す。当業者は、そのような実質的に平面の表現は例示のみを目的とするものであり、そのようなデバイスの横範囲にわたるものであり、いくつかの非限定的な例では層の実質的に完全な欠如、および/または非平面遷移領域(横ギャップおよび不連続部も含む)によって分離された層を含む、異なる厚さおよび寸法の局所化された実質的に平坦な層状部があってもよいことを理解するであろう。したがって、例示目的で、デバイスは、実質的に層状の構造としてその断面側面において下記に示されているが、下記で考察される平面図の態様では、そのようなデバイスは、特徴部を画定するための多様な形態(topography)を示し得、これらの各特徴部は、断面側面において述べる層状プロファイルを実質的に示し得る。
断面側面
図1は、本開示による、エレクトロルミネセントデバイスの例の断面側面からの簡略化されたブロック図である。一般に100で示すエレクトロルミネセントデバイスは、基板110を含むがこれに限定されない、複数の層を含み、この上に、複数の層、それぞれ第1の電極120、少なくとも1つの半導電性層130、および第2の電極140を含むフロントプレーン10が配設される。いくつかの非限定的な例では、フロントプレーン10は、光子放出および/または放出された光子の操作のためのメカニズムを提供し得る。いくつかの非限定的な例では、バリアコーティング1650(図16C)を設けて、層120、130、140、および/またはそれらの上に配設された基板110を取り囲む、ならびに/もしくはカプセル化することができる。
例示する目的で、基部材料の露出層表面は111と称される。図1では、露出層表面111は、第2の電極140のものであるとして示されている。当業者は、非限定的な例として、第1の電極120の堆積時に、露出層表面111が基板110の111aとして示されていることを理解するであろう。
当業者は、構成要素、層、領域、および/またはその部分が、別の基部材料、構成要素、層、領域および/または部分上(on)ならびに/もしくは上(over)に「形成」、「配設」、かつ/あるいは「堆積」されると称されるとき、そのような形成、配設および/または堆積は、そのような基部材料、構成要素、層、領域、および/または部分の(そのような形成、配設、および/または堆積時の)露出層表面111上に直接的、ならびに/もしくはそれらの間に材料、構成要素、層、領域、および/または部分を有して間接的であり得ることを理解するであろう。
本開示では、方向の慣習に従い、基板110がデバイス100の「下面」であるとみなされ、層120、130、140が基板11の「上面」上に配設される、上述の横側面に対して実質的に垂直に延在している。そのような慣習に従って、たとえ(1つ以上の層120、130、140が蒸着プロセスによって導入され得る、製造プロセス中を含むがこれに限定されない、いくつかの例での場合であり得るとして)、堆積材料(図示せず)が上方に移り、その上面に薄膜として堆積することを可能にするために、基板110が、第1の電極120などであるがこれに限定されない、層120、130、140のうちの1つが配設されるべき上面が、基板110の物理的に下方にあるように、物理的に反転されても、第2の電極140は、示すデバイス100の上面にある。
いくつかの非限定的な例では、デバイス100は、電源15と電気的に結合され得る。そのように結合されるとき、デバイス100は、本明細書で説明するように光子を放出することができる。
いくつかの非限定的な例では、デバイス100は、そこから生じた光子の放出方向に従って分類することができる。いくつかの非限定的な例では、生じた光子が、デバイス100の下面にある基板100に向かうおよびそれを通り、基板110の上面に配設された層120、130、140から離れる方向に放出される場合、デバイス100は、下面放出デバイスであるとみなされ得る。いくつかの非限定的な例では、光子が、デバイス100の下面にある基板110から離れ、基板110の上面に中間層120、130とともに配設された上層140に向かうおよび/またはそれを通る方向に放出される場合、デバイス100は上面発光デバイスであるとみなされ得る。いくつかの非限定的な例では、デバイス100は、それが下面(基板110に向かう、およびそれを通る)および上面(上層140に向かう、およびそれを通る)の両方で光子を放出するように構成されている場合、両面発光デバイスであるとみなされ得る。
薄膜の形成
フロントプレーン10層120、130、140は、基部材料のターゲット露出層表面111(および/またはいくつかの非限定的な例では、本明細書に開示する選択的堆積の場合に、そのような表面の少なくとも1つのターゲット領域および/または部分を含むがこれに限定されない)に順次配設することができ、この基部材料は、いくつかの非限定的な例では、時々、基板110および薄膜として、介在する下層120、130、140であり得る。いくつかの非限定的な例では、電極120、140、1750、4150は、導電性コーティング830(図8)の少なくとも1つの薄膜導電性層から形成され得る。そのような導電性コーティング830は、デバイス100の複数の層のうちの(少なくとも)1つであり得ることが当業者に理解されよう。導電性コーティング830は、導電性コーティング材料831で構成され得る。当業者は、導電性コーティング830およびそれを構成する導電性コーティング材料831が、特に、フィルムとして、ならびに導電性コーティング830を堆積させる際に採用されるものと実質的に同様の条件下で、および/またはそれと実質的に同様のメカニズムによって配設されるとき、ほぼ同様の光学特性および/または他の特性を示し得ることを理解するであろう。
図1におよび図全体を通して示す、層120、130、140を含むがこれらに限定されない各層、および基板110の厚さは、例示のみであり、必ずしも別の層120、130、140(および/または基板110)に対する厚さを表すものではない。
本開示では、説明を簡単にする目的で、本明細書で使用される「コーティングフィルム」、「閉じたコーティング」、および/または「閉じたフィルム」4530という用語は、いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830のために使用される導電性コーティング材料831の薄膜構造および/またはコーティングを指し、表面の関連部分は、それによって実質的にコーティングされ、その結果、そのような表面がその上に堆積されたコーティングフィルム4530によって、またはそれを通して実質的に露出されない。
本開示では、文脈上別段の指示がない限り、薄膜への特定性のない言及は、実質的に閉じたフィルム4530への言及であることが意図されている。
いくつかの非限定的な例では、いくつかの非限定的な例では導電性コーティング材料831の閉じたフィルム4530は、基部表面の一部分を覆うように配設され得、その結果、そのような部分内で、その内部の基部表面の約20%未満、約15%未満、約10%未満、約5%未満、約3%未満、または約1%未満が、閉じたフィルム4530によって、またはそれを通して露出されている。
当業者は、基部表面の露出層表面111の一部を意図的に残して、閉じたフィルム4530の堆積後に露出されるように、本明細書で説明されるものを含むが、これらに限定されない、様々な技術およびプロセスを使用して閉じたフィルム4530をパターン化することができることを理解するであろう。本開示では、そのようなパターン化されたフィルムは、それにもかかわらず、非限定的な例として、そのようなパターニングの文脈内で、ならびにそのような基部表面の露出層表面111の意図的に露出された一部間に堆積される薄膜および/またはコーティング自体が実質的に閉じたフィルム4530を含む場合、閉じたフィルム4530を構成するとみなされ得る。
当業者は、堆積プロセスにおける固有の変動性によって、およびいくつかの非限定的な例では、堆積材料、いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831、および基部材料の露出層表面111のいずれかまたは両方における不純物の存在によって、本明細書で説明されるものを含むが、これに限定されない、様々な技術およびプロセスを使用する薄膜の堆積は、それにもかかわらず、ピンホール、裂け目、および/または亀裂を含むがこれらに限定されない、小さなアパーチャの形成をその中にもたらす場合がある。本開示では、そのような薄膜は、それにもかかわらず、非限定的な例として、堆積される薄膜および/またはコーティングが実質的に閉じたフィルム4530を含み、そのようなアパーチャの存在にもかかわらず、上記で設定された被覆率基準を満たす場合、閉じたフィルム4530を構成するとみなされ得る。
モノマー(いくつかの非限定的な例では、蒸気形態の堆積材料の分子および/または原子であり得る)の継続的な蒸気堆積により、実質的に閉じたフィルム4530は、最終的に、基部材料の露出層表面111上に堆積され得る。そのような閉じたフィルム4530の、それによって引き起こされた光学効果を含む挙動は、一般に、比較的一定であり、驚くべきことではない。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの閉じたフィルム4530を含む薄膜の、その光学効果を含む挙動は、一般に、比較的均一である。
本開示は、蒸着に関して、少なくとも1つの層またはコーティングを参照して、薄膜形成について述べているが、当業者は、いくつかの非限定的な例では、エレクトロルミネセントデバイス100の様々な構成要素が、蒸発(熱蒸発および/または電子ビーム蒸発を含むがこれらに限定されない)、フォトリソグラフィ、印刷(インクジェットおよび/または蒸気ジェット印刷、リールツーリール印刷、ならびに/もしくはミクロ接触転写印刷を含むがこれらに限定されない)、物理蒸着(PVD)(スパッタリングを含むがこれに限定されない)、化学蒸着(CVD)(プラズマ強化CVD(PECVD)および/または有機気相成長(OVPD)を含むがこれに限定されない)、レーザーアニーリング、レーザー誘起熱イメージング(LITI)パターニング、原子層堆積(ALD)、コーティング(スピンコーティング、ディップコーティング、ラインコーティング、および/またはスプレーコーティングを含むがこれに限定されない)、ならびに/もしくはそれらの組み合わせを含むがこれらに限定されない、多種多様な技法を使用して選択的に堆積され得ることを理解するであろう。いくつかのプロセスは、いくつかの非限定的な例では、様々な層および/またはコーティングのいずれかの堆積中に、オープンマスクおよび/またはファインメタルマスク(FMM)であり得るシャドウマスクと組み合わせて使用して、それに露出された基部材料の表面のある特定の部分上への堆積された材料の堆積を覆うおよび/または排除することによる様々なパターンを達成することができる。
本開示では、「蒸発」および/または「昇華」という用語は、概して、加熱によるものを含むがこれに限定されない源材料が蒸気に変換されて、固体状態であるがこれに限定されないターゲット表面に堆積される堆積プロセスを指すように互換的に使用され得る。理解されるように、蒸発プロセスはPVDプロセスの一種であり、1つ以上の源材料を低圧(真空を含むがこれに限定されない)環境下で蒸発および/または昇華させて、蒸気モノマーを形成し、1つ以上の蒸発した源材料の逆昇華を通してターゲット表面上に堆積させる。様々な異なる蒸発源が源材料を加熱するために使用され、したがって、源材料を様々な形で加熱してもよいことが当業者に理解されよう。非限定的な例として、源材料は、電気フィラメント、電子ビーム、誘導加熱、および/または抵抗加熱によって加熱してもよい。いくつかの非限定的な例では、源材料は、加熱されたるつぼ、加熱されたボート、クヌーセンセル(エフュージョン蒸発源であり得る)、および/または他の任意のタイプの蒸発源に充填されてもよい。
いくつかの非限定的な例では、堆積源材料は、混合物であり得る。いくつかの非限定的な例では、堆積源材料の混合物の少なくとも1つの成分は、堆積プロセス中に堆積されない(または、いくつかの非限定的な例では、そのような混合物の他の成分と比較して比較的少量で堆積される)場合がある。
本開示では、材料の層厚さへの言及は、その堆積のメカニズムに関係なく、言及された層厚さを有する材料の均一に厚い層でターゲット表面を被覆する材料の量に対応するターゲット露出層表面111上に堆積された材料の量を指す。非限定的な例として、10nmの材料の層厚さを堆積させることは、表面上に堆積された材料の量が、10nm厚である材料の均一に厚い層を形成するための材料の量に対応することを示す。上記で考察された薄膜が形成されるメカニズムに関して、非限定的な例として、モノマー(いくつかの非限定的な例では、分子および/または原子であり得る)の起こり得るスタッキングまたはクラスタリングによって、堆積材料の実際の厚さが不均一である場合があることが理解されよう。非限定的な例として、10nmの層厚さを堆積させることにより、10nmを超える実際の厚さを有する堆積材料のいくつかの一部、または10nm未満の実際の厚さを有する堆積材料の他の一部が得られる場合がある。したがって、表面上に堆積された材料のある特定の層厚さは、いくつかの非限定的な例では、閉じたフィルム4530としてを含むがこれに限定されない、ターゲット表面にわたる堆積材料の平均厚さに対応し得る。
本開示では、基準層厚さへの言及は、高い初期付着確率または初期付着係数Sを示す基準表面(つまり、約1、および/または1に近い初期付着確率Sを有する表面)上に堆積される導電性コーティング831とも本明細書で称される導電性コーティング830の層厚さを指す。基準層厚さは、ターゲット表面(核生成抑制コーティング(NIC)810の表面などであるがこれに限定されない)上に堆積された導電性コーティング材料831の実際の厚さを示すものではない。
そのようなNIC810は、デバイス100の複数の層のうちの(少なくとも)1つであり得ることが当業者に理解されよう。NIC810は、NIC材料で構成され得る。当業者は、NIC810およびそれを構成するNIC材料が、特に、フィルムとして、ならびにNIC810を堆積させる際に採用されるものと実質的に同様の条件下で、および/またはそれと実質的に同様のメカニズムによって配設されるとき、ほぼ同様の光学特性および/または他の特性を示し得ることを理解するであろう。
むしろ、基準層厚さは、基準表面上、いくつかの非限定的な例では、ターゲット表面および基準表面を同じ堆積期間で、導電性コーティング材料831の同一の蒸気フラックスに曝したときに、堆積速度および基準層厚さを監視するために堆積チャンバの内部に位置決めされた水晶の表面上に堆積される導電性コーティング材料831の層厚さを指す。当業者は、ターゲット表面と基準表面が堆積中に同時に同一の蒸気フラックスに曝されない場合、基準層厚さを決定および/または監視するために適切なツーリングファクタが使用されてもよいことを理解するであろう。
本開示では、材料の数Xの単分子層を堆積させることへの言及は、ある量の材料を堆積させて、閉じたフィルム4530などであるがこれに限定されない材料の構成モノマーのX個の単分子層で露出層表面111の所望の面積を被覆することを指す。
基部材料の露出層表面111への蒸着中の薄膜の形成は、核生成および成長のプロセスを伴う。フィルム形成の初期段階中に、十分な数の蒸気モノマー(いくつかの非限定的な例では、分子および/または原子であり得る)は、通常、気相から凝縮して、基板110(または介在する下層120、130、140)のいずれであっても、提示された露出層表面111上に初期核を形成する。蒸気モノマーがそのような表面上に衝突し続けると、これらの初期核のサイズと密度が増加して、小さいクラスタまたは島が形成される。島の密度に飽和した後、概して、隣接する島が合体し始め、島の密度を減らしながら島の平均サイズが増加する。隣接する島の合体は、実質的に閉じたフィルム4530が形成されるまで続き得る。
しかしながら、実質的に閉じたフィルム4530の形成の前に、蒸気モノマーの堆積は、本明細書で説明される薄膜構造をもたらし得、これは、1つ以上の種々の特徴、およびそれに付随して、光学効果を含むがこれに限定されない、種々の挙動を示し得る。
本開示では、材料の画分0.Xの単分子層を堆積させることへの言及は、ある量の材料を堆積させて、材料の構成モノマーの単層で表面の所望の面積の画分0.Xを被覆することを指す。当業者は、非限定的な例として、モノマーの起こり得るスタッキングおよび/またはクラスタリングのために、表面の所望の面積にわたる堆積材料の実際の局所的な厚さが不均一である場合があることを理解するであろう。非限定的な例として、材料の1つの単分子層を堆積させると、表面の所望の面積のいくつかの局所的な領域が材料によって被覆されなくなる場合があり、一方、表面の所望の面積の他の局所的な領域は、その上に堆積した多数の原子層および/または分子層を有し得る。
本開示では、ターゲット表面(および/またはそのターゲット領域)は、任意の好適な決定メカニズムによって決定されるようなターゲット表面上の材料が実質的に欠如している場合、材料「が実質的にない」、「を実質的に含まない」、または「によって実質的に被覆されていない」とみなされ得る。
本開示では、説明を簡単にする目的で、閉じたフィルム4530が形成されている段階に(まだ)到達していない、基部材料の露出層表面111上への蒸気モノマーの堆積の結果は、「クラスタリング層」と称されるであろう。いくつかの非限定的な例では、そのようなクラスタリング層は、堆積プロセスが完了していないことを反映している場合があり、そのようなクラスタリング層は、閉じたフィルム4530の形成の中間的な段階とみなされ得る。いくつかの非限定的な例では、クラスタリング層は、完了した堆積プロセスの結果であり、したがって、それ自体における、およびそれ自体の形成の最終段階を構成し得る。
本開示では、説明を簡単にする目的で、本明細書で使用される「不連続コーティング」1050という用語は、堆積プロセスによってコーティングされた基部材料の露出層表面111の関連部分に、そのような材料が実質的にないか、またはその閉じたフィルム4530が形成されていないクラスタリング層を指す。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831の不連続コーティング1050は、そのような表面上に堆積された複数の個別の島として現れ得る。
本開示では、説明を簡単にする目的で、導電性コーティング830を含むがこれに限定されない、コーティングに関する「樹状」という用語は、横側面から見たときに分岐構造に似ている特徴部を指す。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、樹状突起1021および/または樹状窪み1022を含み得る。いくつかの非限定的な例では、樹状突起1021は、物理的に接続され、実質的に外側に延在する複数の短い突起を含む分岐構造を示す導電性コーティング830の一部に対応し得る。いくつかの非限定的な例では、樹状窪み1022は、物理的に接続され、実質的に外側に延在する導電性コーティング830のギャップ、開口部、および/または被覆されていない部分の分岐構造に対応し得る。いくつかの非限定的な例では、樹状窪み1022は、鏡像および/または逆パターンを含むがこれらに限定されない、樹状突起1021のパターンに対応し得る。いくつかの非限定的な例では、樹状突起1021および/または樹状窪み1022は、フラクタルパターン、メッシュ、ウェブ、および/または交互嵌合構造を示すおよび/または模倣する構成を有し得る。
いくつかの非限定的な例では、不連続コーティング1050の形成後であるが、閉じたフィルム4530の形成の前に、蒸気モノマーの堆積の中間段階を反映するクラスタリング層があり得、クラスタおよび/または島5001、5002の継続的な合体は、残っているクラスタおよび/または島5001、5002の数がゼロに近づくまで続く。そのような中間段階のクラスタリング層に到達した場合、堆積したモノマーは、いくつかの非限定的な例では、単一の単分子層の画分0.Xを含み得る中間段階の薄膜を形成し得、その結果、1つ以上の樹状突起1021および/または1つ以上の樹状窪み1022を含むがこれらに限定されない、フィルム被覆部内にアパーチャおよび/またはギャップがあり得、まだ実質的に導電性のままであるという点で、それは閉じたフィルム4530ではない。
最初はクラスタリング層として、いくつかの非限定的な例では、最終的に閉じたフィルム4530になる薄膜の形成には、1)島(Volmer-Weber)、2)層毎(Frank-van der Merwe)、および3)Stranski-Krastanovの少なくとも3つの基本的な成長モードがあり得る。
本開示では、「島」および「クラスタ」という用語は、同様の概念を指すために互換的に使用され得る。
島の成長は通常、モノマーの安定したクラスタが表面で核となり、成長して離散した島を形成するときに発生する。この成長モードは、モノマー間の相互作用がモノマーと表面間の相互作用よりも強い場合に発生する。
核生成率は、単位時間当たりに表面上に形成する所与のサイズの核(自由エネルギーがそのような核のクラスタを押して成長または収縮させない場合)(「臨界核」)がいくつあるかを説明する。膜形成の初期段階中に、核の密度が低く、これにより核が表面の比較的小さい部分を被覆するため(例えば、隣り合う核の間に大きいギャップ/空間がある)、核が表面へのモノマーの直接衝突から成長する可能性は低い。したがって、臨界核が成長する速度は、通常、表面上の吸着原子(例えば、吸着したモノマー)が移動して近傍の核に付着する速度に依存する。
基部材料(図では、基板110)の露出層表面111に吸着された吸着原子のエネルギープロファイルの例を図6に示す。具体的には、図6は、局所的低エネルギー部位から脱出する吸着原子(610)、露出層表面111での吸着原子の拡散(620)、および吸着原子の脱着(630)に対応する定性的エネルギープロファイルの例を示している。
610では、局所的低エネルギー部位は、吸着原子がより低いエネルギーになる基部材料の露出層表面111上の任意の部位であり得る。通常、核生成部位は、ステップ縁部、化学的不純物、結合部位、および/またはキンクを含むがこれらに限定されない、露出層表面111上の欠陥および/または異常を含み得る。吸着原子が局所的低エネルギー部位でトラップされると、通常、表面拡散が起こる前にエネルギー障壁が存在する場合がある。そのようなエネルギー障壁は、図6においてΔE611として表されている。いくつかの非限定的な例では、局所的低エネルギー部位から脱出するためのエネルギー障壁ΔE611が十分に大きい場合、その部位は核生成部位として作用する場合がある。
620では、吸着原子は、露出層表面111上に拡散し得る。非限定的な例として、局所化された吸収物の場合に、吸着原子は、表面電位の最小値付近で振動し、吸着原子が脱離するならびに/もしくは吸着原子のクラスタ5001、5002によって形成される成長している膜および/または成長している島に組み込まれるまで、様々な近接部位に移動する傾向がある。図6では、吸着原子の表面拡散に関連付けられた活性化エネルギーは、E621として表される。
630では、吸着原子の表面からの脱離に関連付けられた活性化エネルギーは、Edes631として表される。当業者は、脱着されていない任意の吸着原子が露出層表面111に残っている場合があることを理解するであろう。非限定的な例として、そのような吸着原子は、成長膜および/またはコーティングの一部として組み込まれる露出層表面111上に拡散する、ならびに/もしくは露出層表面111上に島を形成する吸着原子のクラスタ5001、5002の一部になり得る。
吸着原子が表面に吸着した後、吸着原子は、表面から脱離するか、あるいは、脱離し、他の吸着原子と相互作用して小さなクラスタを形成し、または成長している核に付着する前に、表面上をある程度移動することができる。最初の吸着後に吸着原子が表面上に留まる平均時間は、次の式で与えられる。
上記の等式では、vは表面の吸着原子の振動周波数であり、kはボルツマン定数であり、Tは温度であり、Edes631は吸着原子を表面から脱離させるために必要なエネルギーである。この等式から、Edes631の値が低いほど、吸着原子が表面から脱離しやすくなるため、吸着原子が表面上に留まる時間が短くなることがわかる。吸着原子が拡散できる平均距離は、次の式で与えられる。
式中、aは格子定数であり、E621は、表面拡散の活性化エネルギーである。低い値Edes631および/または高い値のE621については、脱離前に短い距離を拡散するため、成長している核に付着したり、別の吸着原子または吸着原子のクラスタと相互作用したりする可能性が低くなる。
膜形成の初期段階では、吸着された吸着原子が相互作用してクラスタを形成することができ、単位面積当たりのクラスタの臨界濃度は、次の式で与えられる。
式中、Eはi個の吸着原子を含有する臨界クラスタを別個の吸着原子に解離するために必要なエネルギーであり、nは吸着部位の総密度であり、Nは次の式で与えられるモノマー密度である。
式中、
は蒸気衝突速度である。通常、iは、堆積される材料の結晶構造に依存し、安定した核を形成するための臨界クラスタサイズを決定する。
成長するクラスタの臨界モノマー供給速度は、蒸気衝突の速度と、吸着原子が脱離する前に拡散できる平均面積によって与えられる。
したがって、臨界核生成速度は、上記の等式の組み合わせによって与えられる。
上記の等式から、吸着した吸着原子の脱離エネルギーが低い表面、吸着原子の拡散の活性化エネルギーが高い表面、高温である表面、および/または蒸気衝突速度を受ける表面では、臨界核生成速度が抑制されることがわかる。
欠陥、レッジ、またはステップ縁部などの基板の異質性の部位は、Edes631を増加させ、そのような部位で観察される核のより高い密度につながる場合がある。また、不純物または表面の汚染もEdes631を増加させ、核密度を高める場合がある。高真空条件下で行われる蒸着プロセスの場合、表面の汚染物質の種類と密度は、真空圧力と、その圧力を構成する残留ガスの組成に影響される。
高真空条件下では、表面に衝突する分子のフラックス(cm-sec当たり)は次のように与えられる。
式中、Pは圧力、Mは分子量である。したがって、HOなどの反応性ガスの分圧が高くなると、蒸着中に表面上の汚染密度が高くなり、Edes631が増加するため核の密度が高くなり得る。
いくつかの非限定的な例では、表面上の材料の量の1つの尺度は、そのような材料による表面の被覆率である。いくつかの非限定的な例では、表面被覆率は、透過型電子顕微鏡法(TEM)、原子間力顕微鏡法(AFM)、および/または走査型電子顕微鏡法(SEM)を含むがこれらに限定されない、様々な撮像技法を使用して判断され得る。
いくつかの非限定的な例では、銀(Ag)、マグネシウム(Mg)、および/またはイッテルビウム(Yb)を含むがこれに限定されない、導電性材料は、光子を減衰および/または吸着するため、いくつかの非限定的な例では、表面上の導電性材料の量の1つの尺度は(光)透過率である。
したがって、いくつかの非限定的な例では、材料の表面を通る光透過率がそのような材料の同様の組成および寸法の参照材料の透過率よりも90%を超える、92%を超える、95%を超える、および/または98%を超える場合、いくつかの非限定的な例では電磁スペクトルの可視部分において、材料の表面には、導電性材料が実質的にないとみなすことができる。
本開示では、例示を簡単にするために、層の厚さプロファイルおよび/または縁部プロファイルを含むがこれらに限定されない、堆積材料の詳細は省略されている。NIC810と導電性コーティング830との間の界面にある様々な起こり得る縁部プロファイルが本明細書で考察されている。
基板
いくつかの例では、基板110は、ベース基板112を備えてもよい。いくつかの例では、ベース基板112は、シリコン(Si)、ガラス、金属(金属箔を含むがこれに限定されない)、サファイア、および/もしくは他の無機材料を含むがこれらに限定されない無機材料、ならびに/またはポリイミドおよび/もしくはシリコン系ポリマーを含むがこれらに限定されない、ポリマーを含むがこれに限定されない有機材料を含むがこれらに限定されない、その使用に好適な材料から形成され得る。いくつかの例では、ベース基板112は、剛性または可撓性であり得る。いくつかの例では、基板112は、少なくとも1つの平面によって画定され得る。基板110は、第1の電極120、少なくとも1つの半導電性層130、および/または第2の電極140を含むがこれらに限定されない、デバイス100の残りのフロントプレーン10の構成要素を支持する少なくとも1つの表面を有する。
いくつかの非限定的な例では、そのような表面は、有機表面および/または無機表面であり得る。
いくつかの例では、基板110は、ベース基板112に加えて、ベース基板112の露出層表面111上に支持された1つ以上の追加の有機層および/または無機層(本明細書には示されず、具体的に説明もされない)を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、そのような追加の層は、1つ以上の有機層を含む、および/またはそれらを形成し得、これらは、少なくとも1つの半導電性層130のうちの1つ以上を含む、置き換える、および/または補足し得る。
いくつかの非限定的な例では、そのような追加の層は、1つ以上の無機層を含み得、これらは、1つ以上の電極を含む、および/またはそれらを形成し得、これらは、いくつかの非限定的な例では、第1の電極120および/または第2の電極140を含む、置き換える、および/または補足し得る。
いくつかの非限定的な例では、そのような追加の層は、半導電性材料のバックプレーン層20(図2)を含む、ならびに/もしくはそれからおよび/またはそれとして形成され得る。いくつかの非限定的な例では、バックプレーン層20は、低圧(真空を含むがこれに限定されない)環境の導入下で提供されることはない、および/またはその導入に先行し得るフォトリソグラフィプロセスによって形成され得る、電子TFT構造および/またはその構成要素200(図2)を含むがこれらに限定されない、デバイス100を駆動するための電力回路および/またはスイッチング要素を含有する。
本開示では、半導電性材料は、概してバンドギャップを示す材料として説明することができる。いくつかの非限定的な例では、バンドギャップは、半導電性材料の最高占有分子軌道(HOMO)と最低非占有分子軌道(LUMO)との間に形成され得る。したがって、半導電性材料は、概して、導電性材料(金属を含むがこれに限定されない)の導電性よりも低いが、絶縁材料(ガラスを含むがこれに限定されない)よりも高い導電性を示す。いくつかの非限定的な例では、半導電性材料は、有機半導電性材料を含み得る。いくつかの非限定的な例では、半導電性材料は、無機半導電性材料を含み得る。
その中に具体化されたバックプレーンおよびTFT構造
図2は、そのバックプレーン層20を含む、デバイス100の基板110の例の簡略化された断面図である。いくつかの非限定的な例では、基板110のバックプレーン20は、アクティブマトリックスおよび/またはパッシブマトリックスデバイスとして作用するデバイス100を支持することができるような、トランジスタ、抵抗器、および/またはコンデンサを含むがこれらに限定されない1つ以上の電子および/または光電子構成要素を含み得る。いくつかの非限定的な例では、そのような構造は、200で示すような薄膜トランジスタ(TFT)構造であり得る。いくつかの非限定的な例では、TFT構造200は、有機および/または無機材料を使用して製作されて、様々な層210、220、230、240、250、270、270、280、および/またはベース基板112の上方にある、基板110のバックプレーン層20の一部を形成し得る。図2では、示すTFT構造200は、トップゲートTFTである。いくつかの非限定的な例では、層210、220、230、240、250、270、270、280のうちの1つ以上を含むがこれらに限定されない、TFT技術および/または構造を採用して、抵抗器および/またはコンデンサを含むがこれらに限定されない非トランジスタ構成要素を実装してもよい。
いくつかの非限定的な例では、バックプレーン20は、TFT構造200の構成要素を支持するために、ベース基板112の露出層表面111上に堆積されたバッファ層210を含み得る。いくつかの非限定的な例では、TFT構造200は、半導電性活性領域220、ゲート絶縁層230、TFTゲート電極240、層間絶縁層250、TFTソース電極260、TFTドレイン電極270、および/またはTFT絶縁層280を含み得る。いくつかの非限定的な例では、半導電性活性領域220は、バッファ層210の一部上に形成され、ゲート絶縁層230は、半導電性活性領域220を実質的に被覆するように堆積される。いくつかの非限定的な例では、ゲート電極240は、ゲート絶縁層230の上面に形成され、層間絶縁層250がその上に堆積される。TFTソース電極270およびTFTドレイン電極270は、それらが半導体活性面積220に電気的に結合されるように、それらが層間絶縁層250およびゲート絶縁層230の両方を通して形成された開口部を通って延在するように形成される。次いで、TFT絶縁層280がTFT構造200上に形成される。
いくつかの非限定的な例では、バックプレーン20の層210、220、230、240、250、270、270、280のうちの1つ以上は、基部デバイス層を被覆するフォトレジストの選択一部をUV光に曝露するためのフォトマスクを使用する、フォトリソグラフィを使用してパターン化することができる。次いで、使用されるフォトレジストのタイプに依存して、フォトマスクの露出一部または非露出一部を除去して、その下にあるデバイス層の所望の部分を露出させることができる。いくつかの例では、フォトレジストはポジ型フォトレジストであり、UV光に露出されたその選択一部はその後実質的に除去することはできないが、そのように露出されていない残りの一部はその後実質的に除去可能である。いくつかの非限定的な例では、フォトレジストはネガ型フォトレジストであり、UV光に露出されたその選択一部はその後実質的に除去可能であるが、そのように露出されていない残りの一部はその後実質的に除去することができない。したがって、パターン化された表面は、化学的および/もしくは物理的を含むがこれらに限定されないエッチングされる、ならびに/または洗い落とすおよび/もしくは洗い流されて、そのような層210、220、230、240、250、260、270、280の露出一部を効果的に除去することができる。
さらに、トップゲートTFT構造200を図2に示しているが、当業者は、ボトムゲートTFT構造を含むがこれに限定されない他のTFT構造が、本開示の範囲から逸脱することなく、バックプレーン20内に形成され得ることを理解するであろう。
いくつかの非限定的な例では、TFT構造200は、n型TFTおよび/またはp型TFTであり得る。いくつかの非限定的な例では、TFT構造200は、アモルファスSi(a-Si)、インジウムガリウム亜鉛(Zn)酸化物(IGZO)、および/または低温多結晶Si(LTPS)のうちのいずれか1つ以上を組み込み得る。
第1の電極
第1の電極120は、基板110上に堆積されている。いくつかの非限定的な例では、第1の電極120は、電源15の端子および/または接地に電気的に結合される。いくつかの非限定的な例では、第1の電極120は、いくつかの非限定的な例では、基板110のバックプレーン20内の少なくとも1つのTFT構造200を組み込むことができる少なくとも1つの駆動回路300(図3)を通してそのように結合される。
いくつかの非限定的な例では、第1の電極120は、アノード341(図3)および/またはカソード342(図3)を含み得る。いくつかの非限定的な例では、第1の電極120は、アノード341である。
いくつかの非限定的な例では、第1の電極120は、基板110(の一部)上に少なくとも1つの導電性薄膜を堆積させることによって形成することができる。いくつかの非限定的な例では、基板110の横側面上に空間配置で配設された複数の第1の電極120があってもよい。いくつかの非限定的な例では、そのような少なくとも1つの第1の電極120のうちの1つ以上は、空間配置で横側面に配設されたTFT絶縁層280(の一部分)上に堆積され得る。そうである場合、いくつかの非限定的な例では、そのような少なくとも1つの第1の電極120のうちの少なくとも1つは、図4に示すように、対応するTFT絶縁層280の開口部を通って延在して、バックプレーン20内のTFT構造200の電極240、260、270に電気的に結合され得る。図4では、少なくとも1つの第1の電極120の一部がTFTドレイン電極270に結合されて示されている。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの第1の電極120および/またはその少なくとも1つの薄膜は、Mg、アルミニウム(Al)、カルシウム(Ca)、Zn、Ag、カドミウム(Cd)、バリウム(Ba)、および/またはYbを含むがこれらに限定されない、1つ以上の金属材料を含むがこれらに限定されない様々な材料、ならびに/もしくはそのような材料のいずれかを含有する合金を含むがこれらに限定されない、それらの任意の2つ以上の組み合わせ、フッ素スズ酸化物(FTO)、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、および/またはインジウムスズ酸化物(ITO)などの三成分系組成物を含むがこれらに限定されない、透明伝導性酸化物(TCO)を含むがこれに限定されない、1つ以上の酸化物、ならびに/またはそれらの任意の2つ以上の組み合わせおよび/または様々な比で、かつ/あるいは少なくとも1つの層内のそれらの任意の2つ以上の組み合わせ、限定されないが、薄膜であり得るもののいずれか1つ以上を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、第1の電極120を含む導電性薄膜は、蒸発(熱蒸発および/または電子ビーム蒸発を含むがこれらに限定されない)、フォトリソグラフィ、印刷(インクジェットおよび/または蒸発ジェット印刷、リールツーリール印刷、ならびに/もしくはミクロ接触転写印刷を含むがこれらに限定されない)、PVD(スパッタリングを含むがこれに限定されない)、CVD(PECVDおよび/またはOVPDを含むがこれらに限定されない)、レーザーアニーリング、LITIパターニング、ALD、コーティング(スピンコーティング、ディップコーティング、ラインコーティング、および/またはスプレーコーティングを含むがこれらに限定されない)、および/またはそれらの任意の2つ以上の組み合わせを含むがこれらに限定されない、様々な技法を使用して選択的に堆積、堆積、ならびに/もしくは加工され得る。
第2の電極
第2の電極140は、少なくとも1つの半導電性層130上に堆積されている。いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、電源15の端子および/または接地に電気的に結合される。いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、いくつかの非限定的な例では、基板110のバックプレーン20内の少なくとも1つのTFT構造200を組み込むことができる少なくとも1つの駆動回路300を通してそのように結合される。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、アノード341および/またはカソード342を含み得る。いくつかの非限定的な例では、第2の電極130は、カソード342である。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、いくつかの非限定的な例では少なくとも1つの半導電性層130(の一部)上に少なくとも1つの薄膜として、導電性コーティング830を堆積させることによって形成することができる。いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの半導電性層130の横側面上に空間配置で配設された複数の第2の電極140があってもよい。
いくつかの非限定的な例では、シート抵抗は、そのような構成要素、層、および/または部品を通過する電流の特徴を変更し得る構成要素、層、および/または部品の特性である。いくつかの非限定的な例では、第2の電極140のシート抵抗R1は、一般に、デバイス100の他の構成要素、層、および/または部品とは別に測定された第2の電極140のシート抵抗に対応し得る。いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、薄膜として形成され得る。したがって、いくつかの非限定的な例では、第2の電極140についてのシート抵抗R1は、そのような薄膜の組成、厚さ、および/または形態に基づいて決定および/または計算され得る。いくつかの非限定的な例では、シート抵抗R1は、約0.1~1,000Ω/sqr、約1~100Ω/sqr、約2~50Ω/sqr、約3~30Ω/sqr、約4~20Ω/sqr、約5~15Ω/sqr、および/または約10~12Ω/sqrであり得る。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、第2の電極材料で構成され得る。
いくつかの非限定的な例では、金属の結合解離エネルギーは、金属の2つの同一原子によって形成された二原子分子の結合の切断からの298Kで測定された標準状態のエンタルピー変化に対応し得る。結合解離エネルギーは、非限定的な例として、Luo,Yu-ran,“Bond dissociation energies”(2010)を含むがこれらに限定されない、既知の文献に基づいて決定することができる。いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、少なくとも10kJ/モル、少なくとも50kJ/モル、少なくとも100kJ/モル、少なくとも150kJ/モル、少なくとも180kJ/モル、および/または少なくとも200kJ/モルの結合解離エネルギーを有する金属を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、約1.4未満、約1.3、および/または約1.2である電気陰性度を有する金属を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、カリウム(K)、ナトリウム(Na)、リチウム(Li)、バリウム(Ba)、セシウム(Cs)、イッテルビウム(Yb)、銀(Ag)、金(Au)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、マグネシウム(Mg)、亜鉛(Zn)、カドミウム(Cd)、スズ(Sn)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)、パラジウム(Pd)、クロム(Cr)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ジルコニウム(Zr)、白金(Pt)、バナジウム(V)、ニオブ(Nb)、イリジウム(Ir)、オスミウム(Os)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)、および/またはタングステン(W)から選択される元素を含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Cu、Ag、および/またはAuを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Cuであり得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Alであり得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Zn、Cd、および/またはYbを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Sn、Ni、Ti、Pd、Cr、Fe、および/またはCoを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Zr、Pt、V、Nb、Ir、および/またはOsを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Ta、Mo、および/またはWを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Ag、Al、Yb、および/またはLiを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Ag、および/またはYbを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mgおよび/またはAgを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Agであり得る。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、純粋な金属を含み得る。いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、純粋な金属である。いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、純粋なAgまたは実質的に純粋なAgである。いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、純粋なMgまたは実質的に純粋なMgである。いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、純粋なAlまたは実質的に純粋なAlである。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、合金を含み得る。いくつかの非限定的な例では、合金は、Ag含有合金、および/またはAgMg含有合金であり得る。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、Agの代用としておよび/またはそれと組み合わせて他の金属を含み得る。いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、Agの少なくとも1つの他の金属との合金を含み得る。いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、AgのMgおよび/またはYbとの合金を含み得る。いくつかの非限定的な例では、そのような合金は、約5体積%のAg~約95体積%のAgの組成を有し、残りは他の金属である二元合金であり得る。いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、AgおよびMgを含む。いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、体積で約1:10~約10:1の組成を有するMg:Ag合金を含む。いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、AgおよびYbを含む。いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、体積で約1:20~約1~10:1の組成を有するYb:Ag合金を含む。いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、MgおよびYbを含む。いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、Mg:Yb合金を含む。いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、Ag、Mg、およびYbを含む。いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、Ag:Mg:Yb合金を含む。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、酸素(O)を含み得る。いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、少なくとも1つの金属およびOを含み得る。いくつかの非限定的な例では、第2の電極材料は、金属酸化物を含み得る。いくつかの非限定的な例では、金属酸化物は、Zn、インジウム(I)、スズ(Sn)、アンチモン(Sb)、および/またはガリウム(Ga)を含む。いくつかの非限定的な例では、金属酸化物は、透明導電性酸化物(TCO)であり得る。いくつかの非限定的な例では、TCOは、酸化インジウム、酸化スズ、酸化アンチモン、および/または酸化ガリウムを含み得る。いくつかの非限定的な例では、TCOは、インジウムチタン酸化物(ITO)、ZnO、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、および/またはインジウムガリウム亜鉛酸化物(IGZO)を含み得る。いくつかの非限定的な例では、TCOは、他の元素で電気的にドープされ得る。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、金属および/または金属合金によって形成され得る。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、少なくとも1つの金属または金属合金、および少なくとも1つの金属酸化物を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、第2の電極材料の複数の層を含み得る。いくつかの非限定的な例では、複数の層のうちの第1の層の第2の電極材料は、複数の層のうちの第2の層の第2の電極材料とは異なり得る。いくつかの非限定的な例では、複数の層のうちの第1の層の第2の電極材料は金属を含み得、複数の層のうちの第2の層の第2の電極材料は金属酸化物を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、複数の層のうちの少なくとも1つの第2の電極材料は、Ybを含み得る。いくつかの非限定的な例では、複数の層のうちの1つの第2の電極材料は、Ag含有合金および/またはAgMg含有合金、ならびに/もしくは純粋なAg、実質的に純粋なAg、純粋なMg、および/または実質的に純粋なMgを含み得る。いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、二分子層Yb/AgMgコーティングである。
いくつかの非限定的な例では、NIC810(最上部)の近位にある複数の層のうちの第1の層は、Ag、Au、Cu、Al、Sn、Ni、Ti、Pd、Cr、Fe、Co、Zr、Pt、V、Nb、Ir、Os、Ta、Mo、および/またはWから選択される元素を含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Cu、Ag、および/またはAuを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Cuであり得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Alであり得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Sn、Ti、Pd、Cr、Fe、および/またはCoを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Ni、Zr、Pt、V、Nb、Ir、および/またはOsを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Ta、Mo、および/またはWを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Ag、および/またはAlを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mgおよび/またはAgを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Agであり得る。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、少なくとも1つの追加の元素を含み得る。いくつかの非限定的な例では、そのような追加の元素は、非金属元素であり得る。いくつかの非限定的な例では、非金属材料は、酸素(O)、硫黄(S)、窒素(N)、および/または炭素Cであり得る。いくつかの非限定的な例では、そのような追加の元素が、源材料、堆積のために使用される機器、および/または真空チャンバ環境中にそのような追加の元素が存在することによって、汚染物質として第2の電極140に組み込まれ得ることが当業者に理解されよう。いくつかの非限定的な例では、そのような追加の元素の濃度は、閾値濃度を下回るように制限され得る。いくつかの非限定的な例では、そのような追加の元素は、第2の電極140の他の元素と一緒に化合物を形成し得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料中の非金属元素の濃度は、約1%未満、約0.1%、約0.001%、約0.0001%、約0.00001%、約0.000001%、および/または約0.0000001%であり得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、その中のOおよびCの合計量が約10%未満、約5%、約1%、約0.1%、約0.001%、約0.0001%、約0.00001%、約0.000001%、および/または約0.0000001%である組成を有する。いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、閉じたコーティング4530を含み得る。いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、不連続コーティング1050を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、第1の部分115内の第1の層表面上の第2の電極140の閉じたコーティング4530が実質的にない、その中の少なくとも1つの領域によって画定され得るパターンで配設され得る。いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの領域には、その上に金属パターニングNIC810が配設されている。いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの領域は、第2の電極140をその複数の個別のフラグメントに分離することができる。いくつかの非限定的な例では、第2の電極140のそのような複数の個別のフラグメントのうちの少なくとも2つは、電気的に結合され得る。いくつかの非限定的な例では、第2の電極140のそのような複数の個別のフラグメントのうちの少なくとも2つは、各々、それらの間の電流の流れを可能にするために、導電性コーティング830を含むがこれに限定されない、共通の導電性層またはコーティングに電気的に結合され得る。いくつかの非限定的な例では、第2の電極140のそのような複数の個別のフラグメントのうちの少なくとも2つは、互いに電気的に絶縁され得る。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極140を含む導電性薄膜は、蒸発(熱蒸発および/または電子ビーム蒸発を含むがこれらに限定されない)、フォトリソグラフィ、印刷(インクジェットおよび/または蒸発ジェット印刷、リールツーリール印刷、ならびに/もしくはミクロ接触転写印刷を含むがこれらに限定されない)、PVD(スパッタリングを含むがこれに限定されない)、CVD(PECVDおよび/またはOVPDを含むがこれらに限定されない)、レーザーアニーリング、LITIパターニング、ALD、コーティング(スピンコーティング、ディップコーティング、ラインコーティング、および/またはスプレーコーティングを含むがこれらに限定されない)、および/またはそれらの任意の2つ以上の組み合わせを含むがこれらに限定されない、様々な技法を使用して選択的に塗布、堆積、ならびに/もしくは加工され得る。
説明を簡単にする目的で、本開示では、単一層内の複数の要素の組み合わせは、コロン「:」によって2つのそのような要素を分離することによって示され、一方、多層コーティング内の複数の層を備える複数の要素(の組み合わせ)は、そのような2つの層をスラッシュ「/」で区切ることによって示される。いくつかの非限定的な例では、スラッシュの後の層は、スラッシュの前の層上に堆積され得る。
いくつかの非限定的な例では、Mg:Ag合金について、そのような合金の組成は、体積で約1:10~約10:1の範囲であってもよい。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極140の堆積は、オープンマスクおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して実行され得る。
駆動回路
本開示では、サブピクセル2641~2643(図26)の概念は、説明を簡単にするためだけに、サブピクセル264xとして本明細書で参照され得る。同様に、本開示では、ピクセル340(図3)の概念は、その少なくとも1つのサブピクセル264xの概念と併せて考察され得る。説明を簡単にするためだけに、そのような複合概念は、本明細書では「(サブ)ピクセル340/264x」として参照され、そのような用語は、文脈上別段の指示がない限り、ピクセル340および/またはその少なくとも1つのサブピクセル264xのいずれかまたは両方を示唆すると理解される。
図3は、バックプレーン20に示すTFT構造200のうちの1つ以上によって提供され得るような駆動回路の例についての回路図である。示している例では、概して300で示す回路は、第1の電極120および第2の電極140に電流を供給するためのであり、デバイス100(および/または(サブ)ピクセル340/264x)からの光子の放出を制御するアクティブマトリックスOLED(AMOLED)デバイス100(および/またはその(サブ)ピクセル340/264x)用の駆動回路の例についてである。示している回路300は、複数のp型トップゲート薄膜TFT構造200を組み込んでいることを示しているが、1つまたは複数の薄膜層として形成されているかどうかにかかわらず、回路300は、1つ以上のp型ボトムゲートTFT構造200、1つ以上のn型トップゲートTFT構造200、1つ以上のn型ボトムゲートTFT構造200、1つ以上の他のTFT構造200、および/またはそれらの任意の組み合わせを等しく組み込むことができる。回路300は、いくつかの非限定的な例では、スイッチングTFT310、駆動TFT320、および蓄電コンデンサ330を含む。
OLEDディスプレイ100の(サブ)ピクセル340/264xは、ダイオード340によって表される。スイッチングTFT310のソース311は、データ(または、いくつかの非限定的な例では、列選択)ライン30に結合される。スイッチングTFT310のゲート312は、ゲート(または、いくつかの非限定的な例では、行選択)ライン31に結合される。スイッチングTFT310のドレイン313は、駆動TFT320のゲート322に結合される。
駆動TFT320のソース321は、電源15の正(または負)端子に結合される。電源15の(正)端子は、電気供給ライン(VDD)32によって表される。
駆動TFT320のドレイン323は、駆動TFT320およびダイオード340(および/またはOLEDディスプレイ100の(サブ)ピクセル340/264x)が電気供給ライン(VDD)32と接地との間で直列に結合されるように、ダイオード340(OLEDディスプレイ100の(サブ)ピクセル340/264xを表す)のアノード341(いくつかの非限定的な例では、第1の電極120であり得る)に結合される。
ダイオード340(OLEDディスプレイ100の(サブ)ピクセル340/264xを表す)のカソード342(いくつかの非限定的な例では、第2の電極140であり得る)は、回路300内の抵抗器350として表されている。
蓄電コンデンサ330は、そのそれぞれの端部で、駆動TFT320のソース321およびゲート322に結合される。駆動TFT320は、ダイオード340が所望の輝度を出力するように、蓄電コンデンサ330内に蓄えられた電荷の電圧に従って、ダイオード340(OLEDディスプレイ100の(サブ)ピクセル340/264xを表す)を通過する電流を制限する。蓄電コンデンサ330の電圧は、スイッチングTFT310によって設定され、それをデータライン30に結合する。
いくつかの非限定的な例では、補償回路370は、製造プロセス中の変動からのトランジスタ特性における任意のずれ、ならびに/もしくは経時的なスイッチングTFT310および/または駆動TFT320の劣化を補償するために提供される。
半導電性層
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの半導電性層130は、複数の層131、133、135、137、139を備え得、これらのいずれも、いくつかの非限定的な例では、正孔注入層(HIL)131、正孔輸送層(HTL)133、放出層(EML)135、電子輸送層(ETL)137、および/または電子注入層(EIL)139のうちのいずれか1つ以上を含み得るがこれらに限定されない積層構成で、薄膜内に配設することができる。本開示では、「半導電性層」という用語は、OLEDデバイス100内の層131、133、135、137、139が、いくつかの非限定的な例では有機半導電性材料を含み得ることができるため、「有機層」と互換的に使用することができる。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの半導電性層130は、複数のEML135を含む「タンデム」構造を形成し得る。いくつかの非限定的な例では、そのようなタンデム構造はまた、少なくとも1つの電荷生成層(CGL)を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの半導電性層130を構成する積層体内に層131、133、135、137、139を含む薄膜は、蒸発(熱蒸発および/または電子ビーム蒸発を含むがこれらに限定されない)、フォトリソグラフィ、印刷(インクジェットおよび/または蒸発ジェット印刷、リールツーリール印刷、ならびに/もしくはミクロ接触転写印刷を含むがこれらに限定されない)、PVD(スパッタリングを含むがこれに限定されない)、CVD(PECVDおよび/またはOVPDを含むがこれらに限定されない)、レーザーアニーリング、LITIパターニング、ALD、コーティング(スピンコーティング、ディップコーティング、ラインコーティング、および/またはスプレーコーティングを含むがこれらに限定されない)、ならびに/もしくはそれらの任意の2つ以上の組み合わせを含むがこれらに限定されない、様々な技法を使用して選択的に塗布、堆積、および/または加工され得る。
当業者は、デバイス100の構造が半導電性層131、133、135、137、139のうちの1つ以上を省略および/または組み合わせることによって変更することができることを容易に理解するであろう。
さらに、少なくとも1つの半導電性層130の層131、133、135、137、139のいずれも、任意の数の副層を含み得る。またさらに、そのような層131、133、135、137、139、および/またはその副層のいずれかは、様々な混合物および/または組成勾配を含み得る。加えて、当業者は、デバイス100が、無機および/または有機金属材料を含有する1つ以上の層を含み得、必ずしも有機材料単独で構成されたデバイスに限定されないことを理解するであろう。非限定的な例として、デバイス100は、1つ以上の量子ドットを含み得る。
いくつかの非限定的な例では、HIL131は、アノード341による正孔の注入を容易にすることができる正孔注入材料を使用して形成することができる。
いくつかの非限定的な例では、HTL133は、いくつかの非限定的な例では、高い正孔移動度を示し得る正孔輸送材料を使用して形成することができる。
いくつかの非限定的な例では、ETL137は、いくつかの非限定的な例では、高い電子移動度を示し得る電子輸送材料を使用して形成することができる。
いくつかの非限定的な例では、EIL139は、カソード342による電子の注入を容易にすることができる電子注入材料を使用して形成することができる。
いくつかの非限定的な例では、EML135は、非限定的な例として、ホスト材料を少なくとも1つのエミッタ材料でドープすることによって形成することができる。いくつかの非限定的な例では、エミッタ材料は、蛍光エミッタ、リン光エミッタ、熱活性化遅延蛍光(TADF)エミッタ、および/またはこれらの複数の任意の組み合わせであり得る。
いくつかの非限定的な例では、デバイス100は、少なくとも1つの半導電性層130が、導電性薄膜電極120、140の間に挟入された少なくともEML135を含み、それにより、それらにわたって電位差が印加されると、正孔は、アノード341を通して少なくとも1つの半導電性層130に注入され、電子は、カソード342を通して少なくとも1つの半導電性層130に注入されるOLEDであり得る。
注入された正孔および電子は、互いに到達して出会うまで、様々な層131、133、135、137、139を通って移動する傾向がある。正孔と電子とが極めて近位にあるとき、それらはクーロン力によって互いに引き付けられる傾向があり、いくつかの例では、結合して励起子と称される束縛状態の電子正孔対を形成する場合がある。特に励起子がEML135内で形成される場合、励起子は、光子が放出される輻射再結合プロセスを通して減衰し得る。輻射再結合プロセスのタイプは、励起子のスピン状態に依存し得る。いくつかの例では、励起子は、一重項または三重項スピン状態を有するものとして特徴付けられ得る。いくつかの非限定的な例では、一重項励起子の輻射減衰は、蛍光をもたらし得る。いくつかの非限定的な例では、三重項励起子の輻射減衰は、リン光をもたらし得る。
より最近では、OLED用の他の光子放出メカニズムが提案かつ調査され、それらはTADFを含んでいるがこれに限定されない。いくつかの非限定的な例では、TADF発光は、熱エネルギーの支援下での逆項間交差プロセスを介して三重項励起子を一重項励起子へ変換し、続いて一重項励起子が輻射減衰することで発生する。
いくつかの非限定的な例では、励起子は、特に励起子がEML135内で形成されない場合、光子が解放されない非輻射プロセスを通して減衰し得る。
本開示では、OLEDデバイス100の「内部量子効率」(IQE)という用語は、輻射再結合プロセスを通して減衰し、光子を放出する、デバイス100内で生じたすべての電子正孔対の割合を指す。
本開示では、OLEDデバイス100の「外部量子効率」(EQE)という用語は、デバイス100によって放出される光子の数に対する、デバイス100に送達される電荷キャリアの割合を指す。いくつかの非限定的な例では、EQEが100%の場合、デバイス100に注入される電子ごとに1つの光子が放出されることを示す。
当業者は、デバイス100のEQEが、いくつかの非限定的な例では、同じデバイス100のIQEよりも実質的に低い場合があることを理解するであろう。所与のデバイス100のEQEとIQEとの間の差は、いくつかの非限定的な例では、デバイス100の様々な構成要素によって引き起こされる光子の吸着および反射を含むがこれらに限定されない、多くの要因に起因し得る。
いくつかの非限定的な例では、デバイス100は、少なくとも1つの半導電性層130が少なくとも1つの量子ドットを含む活性層を含むエレクトロルミネセント量子ドットデバイスであり得る。電流が電源15によって第1の電極120および第2の電極140に提供されるとき、光子は、それらの間の少なくとも1つの半導電性層130を含む活性層から放出される。
当業者は、デバイス100の構造が、正孔遮断層(図示せず)、電子遮断層(図示せず)、追加の電荷輸送層(図示せず)、および/または追加の電荷注入層(図示せず)を含むがこれらに限定されない、少なくとも1つの半導電性層130積層体内の適切な位置に1つ以上の追加の層(図示せず)を導入することによって変えることができることを容易に理解するであろう。
バリアコーティング
いくつかの非限定的な例では、バリアコーティング1650を提供して、第1の電極120、第2の電極140、および少なくとも1つの半導電性層130の様々な層、ならびに/またはデバイス100のそれらの上に配設された基板110を取り囲むかつ/あるいはカプセル化することができる。
いくつかの非限定的な例では、これらの層120、130、140は酸化する傾向があるため、バリアコーティング1650は、少なくとも1つの半導電性層130および/またはカソード342を含むデバイス100の様々な層120、130、140が湿気および/または周囲空気に曝露されるのを抑制するために提供され得る。
いくつかの非限定的な例では、非常に不均一な表面へのバリアコーティング1650の塗布は、そのような表面へのバリアコーティング1650の不十分な接着の可能性を高める場合がある。
いくつかの非限定的な例では、バリアコーティング1650の欠如および/または不十分に塗布されたバリアコーティング1650は、デバイス100での欠陥、ならびに/もしくは部分的および/または全体的な故障を引き起こすかつ/あるいはそれらに寄与する場合がある。いくつかの非限定的な例では、不十分に塗布されたバリアコーティング1650は、デバイス100へのバリアコーティング1650の接着を低下させる場合がある。いくつかの非限定的な例では、バリアコーティング1650の不十分な接着は、特にデバイス100が屈曲および/または曲げられた場合、バリアコーティング1650がデバイス100の全体または一部から剥離する可能性を高める場合がある。いくつかの非限定的な例では、不十分に塗布されたバリアコーティング1650は、バリアコーティング1650の塗布中に、バリアコーティング1650とバリアコーティング1650が塗布されたデバイス100の基部表面との間にエアポケットを封じ込める場合がある。
いくつかの非限定的な例では、バリアコーティング1650は、薄膜カプセル化(TFE)層2050(図20B)であり得、蒸発(熱蒸発および/または電子ビーム蒸発を含むがこれらに限定されない)、フォトリソグラフィ、印刷(インクジェットおよび/または蒸発ジェット印刷、リールツーリール印刷、ならびに/もしくはミクロ接触転写印刷を含むがこれらに限定されない)、PVD(スパッタリングを含むがこれに限定されない)、CVD(PECVDおよび/またはOVPDを含むがこれらに限定されない)、レーザーアニーリング、LITIパターニング、ALD、コーティング(スピンコーティング、ディップコーティング、ラインコーティング、および/またはスプレーコーティングを含むがこれらに限定されない)、および/またはそれらの任意の2以上の組み合わせを含むがこれらに限定されない、様々な技法を使用して選択的に塗布、堆積、ならびに/もしくは加工され得る。
いくつかの非限定的な例では、バリアコーティング1650は、予め形成されたバリア膜をデバイス100上に積層することによって提供され得る。いくつかの非限定的な例では、バリアコーティング1650は、有機材料、無機材料、および/またはそれらの任意の組み合わせのうちの少なくとも1つを含む多層コーティングを含み得る。いくつかの非限定的な例では、バリアコーティング1550は、ゲッター材料および/または乾燥剤をさらに含み得る。
横側面
OLEDデバイス100が照明パネルを含む場合を含むいくつかの非限定的な例では、デバイス100の横側面全体が単一の照明要素に対応し得る。したがって、図1に示す実質的に平面の断面プロファイルは、光子が実質的にその横範囲の全体に沿ってデバイス100から放出されるように、実質的にデバイス100の横側面全体に沿って延在し得る。いくつかの非限定的な例では、そのような単一の照明要素は、デバイス100の単一の駆動回路300によって駆動され得る。
OLEDデバイス100がディスプレイモジュールを含む場合を含むいくつかの非限定的な例では、デバイス100の横側面は、デバイス100の複数の発光領域1910に細分され得、ここで、図1に示すがこれに限定されない、発光領域1910の各々内のデバイス構造100の断面側面は、エネルギーを与えられるときに、そこから光子を放出させる。
放出領域
いくつかの非限定的な例では、デバイス100の個々の放出領域1910は、横パターンで並べられてもよい。いくつかの非限定的な例では、パターンは、第1の横方向に沿って延在し得る。いくつかの非限定的な例では、パターンはまた、第2の横方向に沿って延在してもよく、これは、いくつかの非限定的な例では、第1の横方向に実質的に垂直であり得る。いくつかの非限定的な例では、パターンは、そのようなパターン内に多くの要素を有し得、各要素は、その発光領域1910によって放出された光の波長、そのような発光領域1910の形状、寸法(第1および/または第2の横方向のいずれかまたは両方に沿って)、向き(第1および/または第2の横方向のいずれかならびに/もしくは両方に対して)、および/またはパターン内の前の要素からの間隔(第1および/または第2の横方向のいずれかまたは両方に対して)を含むがこれらに限定されない、その1つ以上の特徴によって特徴付けられる。いくつかの非限定的な例では、パターンは、第1および/または第2の横方向のいずれかまたは両方で繰り返され得る。
いくつかの非限定的な例では、デバイス100の各個々の発光領域1910は、デバイス100のバックプレーン20内の対応する駆動回路300に関連付けられ、それによって駆動され、ここで、ダイオード340は、関連付けられた発光領域1910用のOLED構造に対応する。発光領域1910が第1(行)の横方向および第2(列)の横方向の両方に延在する規則的なパターンで並べられる場合を含むがこれに限定されないいくつかの非限定的な例では、第1の横方向に延在する発光領域1910の各行に対応するゲートライン(または行選択)ライン31であり得るバックプレーン20内の信号ライン30、31、および第2の横方向に延在する発光領域1910の各列に対応する、いくつかの非限定的な例ではデータ(または列選択)ライン30であり得る信号ライン30、31があり得る。そのような非限定的な構成では、行選択ライン31/データライン30の対上の信号が、電源15の正端子(電気供給ラインVDD32によって表される)、そこから光子の放出を引き起こすそのような対に関連付けられた発光領域1910のOLED構造のアノード341、電源15の負端子に電気的に結合されているそのカソード342によって電気的に結合され、エネルギーを与えるように、行選択ライン31上の信号は、それに電気的に結合されたスイッチングTFT310のそれぞれのゲート312にエネルギーを与えることができ、データライン30上の信号は、それに電気的に結合されたスイッチングTFT310のそれぞれのソースにエネルギーを与えることができる。
いくつかの非限定的な例では、デバイス100の各発光領域1910は、単一のディスプレイピクセル340に対応する。いくつかの非限定的な例では、各ピクセル340は、所与の波長スペクトルで光を放出する。いくつかの非限定的な例では、波長スペクトルは、可視光スペクトルの色に対応するがこれらに限定されない。
いくつかの非限定的な例では、デバイス100の各発光領域1910は、ディスプレイピクセル340のサブピクセル264xに対応する。いくつかの非限定的な例では、複数のサブピクセル264xが組み合わされて、単一のディスプレイピクセル340を形成するか、または表すことができる。
いくつかの非限定的な例では、単一のディスプレイピクセル340は、3つのサブピクセル2641~2643によって表すことができる。いくつかの非限定的な例では、3つのサブピクセル2641~2643は、それぞれ、R(赤)サブピクセル2641、G(緑)サブピクセル2642、および/またはB(青)サブピクセル2643として表示することができる。いくつかの非限定的な例では、単一のディスプレイピクセル340は、4つのサブピクセル264xによって表すことができ、ここで、そのようなサブピクセル264xのうちの3つは、R、G、およびBサブピクセル2641~2643として表示することができ、第4のサブピクセル264xは、W(白)サブピクセル264xとして表示することができる。いくつかの非限定的な例では、所与のサブピクセル264xによって放出される光の発光スペクトルは、サブピクセル264xが表示される色に対応する。いくつかの非限定的な例では、光の波長はそのような色に対応しないが、さらなる加工が実行されて、当業者に明らかな様態で、波長をそのように対応する波長に換える。
異なる色のサブピクセル264xの波長は異なる場合があるため、そのようなサブピクセル264xの光学特性は、特に実質的に均一な厚さプロファイルを有する共通電極120、140が異なる色のサブピクセル264xに採用される場合、異なり得る。
実質的に均一な厚さを有する共通電極120、140がデバイス100の第2の電極140として提供される場合、デバイス100の光学性能は、各(サブ)ピクセル340/264xに関連付けられた発光スペクトルに従って微調整することは容易にはできない。そのようなOLEDデバイス100において使用される第2の電極140は、いくつかの非限定的な例では、複数の(サブ)ピクセル340/264xを被覆している共通電極120、140であり得る。非限定的な例として、そのような共通電極120、140は、デバイス100全体にわたって実質的に均一な厚さを有する比較的薄い導電層であってもよい。異なる(サブ)ピクセル340/264x内に配設された有機層の厚さを変化させることにより、各(サブ)ピクセル340/264xの色に関連付けられた光学的マイクロキャビティ効果を調整する努力がいくつかの非限定的な例においてなされてきたが、そのような方式は、いくつかの非限定的な例では、少なくともいくつかの場合には、光学的マイクロキャビティ効果の調整の有意な度合いを提供することができる。加えて、いくつかの非限定的な例では、そのような方式は、OLEDディスプレイの製造環境において実施することが難しい場合がある。
結果として、いくつかの非限定的な例では、OLEDデバイス100を含むがこれに限定されない光電子デバイスを構築するために使用され得るような、異なる屈折率を有する多数の薄膜層およびコーティングによって作成された光学界面の存在は、異なる色のサブピクセル264xのための異なる光学マイクロキャビティ効果を作成する場合がある。
デバイス100において、観察されるマイクロキャビティ効果に影響を及ぼし得るいくつかの要因には、限定されないが、総経路長(これは、いくつかの非限定的な例では、そこから放出された光子が取り出される前に通り過ぎるデバイス100の総厚に対応し得る)、ならびに様々な層およびコーティングの屈折率が含まれるがこれらに限定されない。
いくつかの非限定的な例では、(サブ)ピクセル340/264xの発光領域1910の横側面410内およびそれにわたる電極120、140の厚さを調整することにより、観察可能なマイクロキャビティ効果に影響を及ぼす場合がある。いくつかの非限定的な例では、そのような影響は、総光路長の変化に起因する場合がある。
いくつかの非限定的な例では、これは、特に、電極120、140が少なくとも1つの導電性コーティング830で形成されている場合であり得る。いくつかの非限定的な例では、総光路長、および付随して、観察可能な光学マイクロキャビティ効果はまた、所与の発光領域1910内に配設された、NIC810、NPC1120、および/またはキャッピング層(CPL)3610(図36A)を含むがこれらに限定されない、任意の層の厚さの変化によって調整され得る。
いくつかの非限定的な例では、デバイス100の、および/またはいくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの光学マイクロキャビティ効果を調整することによって変えることができる(サブ)ピクセル340/264xの発光領域1910の横側面410にわたる光学特性には、発光スペクトル、強度(光度を含むがこれに限定されない)、ならびに/もしくは放出された光の輝度および/またはカラーシフトの角度依存性を含むがこれらに限定されない、放出された光の角度分布が含まれるが、これらに限定されない。
いくつかの非限定的な例では、サブピクセル264xは、第1のディスプレイピクセル340を表すために他のサブピクセル264xの第1の組に関連付けられ、また、第2のディスプレイピクセル340を表すために他のサブピクセル264xの第2の組に関連付けられるため、第1および第2のディスプレイピクセル340は、同じサブピクセル264xをそれらに関連付けることができる。
サブピクセル264xのディスプレイピクセル340へのパターンおよび/または組織は進化し続けている。現在および将来のすべてのパターンおよび/または組織は、本開示の範囲内に収まっているとみなされる。
非放出領域
いくつかの非限定的な例では、デバイス100の様々な発光領域1910は、少なくとも1つの横方向において、1つ以上の非発光領域1920によって実質的に取り囲まれ、分離され、ここで、図1に示すがこれに限定されない、デバイス構造100の断面側面に沿った構造および/または構成は、そこから放出される光子を実質的に抑制するように変わる。いくつかの非限定的な例では、非放出領域1920は、放出領域1910が実質的にない横側面内のこれらの領域を含む。
したがって、図4の断面図に示すように、少なくとも1つの半導電性層130の様々な層の横形状(topology)を変えて、少なくとも1つの非発光領域1920によって(少なくとも、1つの横方向に)取り囲まれた少なくとも1つの発光領域1910を画定することができる。
いくつかの非限定的な例では、単一のディスプレイ(サブ)ピクセル340/264xに対応する発光領域1910は、横側面420を有する少なくとも1つの非発光領域1920で少なくとも1つの横方向に取り囲まれた横側面410を有すると理解され得る。
OLEDディスプレイ100の単一のディスプレイ(サブ)ピクセル340/264xに対応する発光領域1910に適用されるようなデバイス100の断面側面の実装の非限定的な例について、ここで説明する。そのような実装の特徴部は、放出領域1910に特有であることが示されているが、当業者は、いくつかの非限定的な例では、2つ以上の放出領域1910が共通の特徴部を包含し得ることを理解するであろう。
いくつかの非限定的な例では、第1の電極120は、いくつかの非限定的な例では放出領域1910の横側面410の少なくとも一部内で、デバイス100の露出層表面111上に配設され得る。いくつかの非限定的な例では、少なくとも、(サブ)ピクセル340/264xの発光領域1910の横側面410内で、露出層表面111は、第1の電極120の堆積時に、単一のディスプレイ(サブ)ピクセル340/264xに対応する発光領域1910用の駆動回路300を構成する様々なTFT構造200のTFT絶縁層280を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、TFT絶縁層280は、それを通って延在する開口部430が形成されて、図4に示すように、第1の電極120がTFTドレイン電極270を含むがこれに限定されない、TFT電極240、260、270のうちの1つに電気的に結合されることを可能にすることができる。
当業者は、駆動回路300が、スイッチングTFT310、駆動TFT320、および/または蓄電コンデンサ330を含むがこれらに限定されない、複数のTFT構造200を含むことを理解するであろう。図4では、例示を簡単にするために、1つのTFT構造200のみが示されているが、そのようなTFT構造200が、駆動回路300を構成する複数のそのようなTFT構造を表すものであることが当業者に理解されよう。
断面側面では、各放出領域1910の構成は、いくつかの非限定的な例では、取り囲む非放出領域1920の横側面420全体に実質的に少なくとも1つのピクセル画定層(PDL)440を導入することによって画定することができる。いくつかの非限定的な例では、PDL440は、絶縁有機材料および/または絶縁無機材料を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、PDL440は、実質的にTFT絶縁層280上に堆積されるが、示すように、いくつかの非限定的な例では、PDL440はまた、堆積された第1の電極120および/またはその外縁部の少なくとも一部にわたって延在していてもよい。
いくつかの非限定的な例では、図4に示すように、PDL440の断面厚さおよび/またはプロファイルは、(サブ)ピクセル340/264xに対応する、取り囲む非発光領域1920の横側面420と取り囲まれた発光領域1910の横側面410との境界に沿って、増加した厚さの領域によって、各(サブ)ピクセル340/264xの発光領域1910に実質的に谷形状の構成を付与することができる。
いくつかの非限定的な例では、PDL440のプロファイルは、いくつかの非限定的な例では、そのような非放出領域1920の横側面420内で実質的に良好な、取り囲む非放出領域1920の横側面420と取り囲まれた放出領域1910の横側面410との間の境界から離れることを含むがこれに限定されない、そのような谷形状の構成を越える低減した厚さを有し得る。
PDL440は、それによって取り囲まれた発光領域1910を画定する谷形状の構成を形成するために直線的に傾斜した表面を有するものとして一般に示されているが、当業者は、いくつかの非限定的な例では、そのようなPDL440の形状、アスペクト比、厚さ、幅、および/または構成のうちの少なくとも1つを変えることができることを理解するであろう。非限定的な例として、PDL440は、より急な、またはより緩やかに傾斜した一部で形成され得る。いくつかの非限定的な例では、そのようなPDL440は、第1の電極120の1つ以上の縁部を被覆する、それが堆積された表面から離れて実質的に法線方向に延在するように構成され得る。いくつかの非限定的な例では、そのようなPDL440は、インクジェット印刷を含むがこれに限定されない印刷によるものを含むがこれに限定されない溶液処理技術によって、その上に少なくとも1つの半導電性層130を堆積させるように構成され得る。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの半導電性層130は、(サブ)ピクセル340/264xのそのような発光領域1910の横側面410の少なくとも一部を含む、デバイス100の露出層表面111上に堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、少なくとも、(サブ)ピクセル340/264xの発光領域1910の横側面410内で、そのような露出層表面111は、少なくとも1つの半導電性層130(および/またはその層131、133、135、137、139)の堆積時に、第1の電極120を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの半導電性層130はまた、(サブ)ピクセル340/264xの発光領域1910の横側面410を越えて、および少なくとも部分的に、取り囲む非発光領域1920の横側面420内に延在し得る。いくつかの非限定的な例では、そのような取り囲む非発光領域1920のそのような露出層表面111は、少なくとも1つの半導電性層130の堆積時に、PDL440を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、(サブ)ピクセル340/264xの発光領域1910の横側面410の少なくとも一部を含む、デバイス100の露出層表面111上に配設され得る。いくつかの非限定的な例では、少なくとも、(サブ)ピクセル340/264xの発光領域1910の横側面410内で、そのような露出層表面111は、第2の電極130の堆積時に、少なくとも1つの半導電性層130を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極140はまた、(サブ)ピクセル340/264xの発光領域1910の横側面410を越えて、および少なくとも部分的に、取り囲む非発光領域1920の横側面420内に延在し得る。いくつかの非限定的な例では、そのような取り囲む非放出領域1920のそのような露出層表面111は、第2の電極140の堆積時に、PDL440を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、取り囲む非放出領域1920の横側面420の実質的にすべてまたは実質的な一部全体に延在することができる。
透過性
OLEDデバイス100は、第1の電極120(下面発光および/または両面発光デバイスの場合に)、ならびに基板110および/または第2の電極140(上面発光および/または両面発光デバイスの場合に)のいずれかまたは両方を通して光子を放出するため、いくつかの非限定的な例では、少なくとも、デバイス100の発光領域1910の横側面410の実質的な一部にわたる、第1の電極120および/または第2の電極140のいずれかまたは両方を実質的に光子(または光)透過性(「透過性」)にすることが望ましい場合がある。本開示では、電極120、140、そのような要素を形成する材料、および/またはその特性を含むがこれらに限定されない、そのような透過性要素は、少なくとも1つの波長帯において、いくつかの非限定的な例では実質的に透過性(「透明」)、および/またはいくつかの非限定的な例では部分的に透過性(「半透明」)である要素、材料、および/またはその特性を含み得る。
少なくとも、その発光領域1910の横側面410の実質的な一部にわたって、デバイス100に透過性特性を付与するために、様々なメカニズムが適合されてきた。
デバイス100が下面発光デバイスおよび/または両面発光デバイスである場合を含むがこれらに限定されないいくつかの非限定的な例では、取り囲む基板110の透過性を少なくとも部分的に低減することができる(サブ)ピクセル340/264xの発光領域1910に関連付けられた駆動回路300のTFT構造200は、取り囲む非発光領域1920の横側面420内に位置付けられて、発光領域1910の横側面410内の基板110の透過性特性に影響を及ぼすことを回避する。
デバイス100が両面発光デバイスであるいくつかの非限定的な例では、(サブ)ピクセル340/264xの発光領域1910の横側面410に関して、電極120、140のうちの一方は、本明細書に開示するメカニズムのうちの少なくとも1つによることを含むがこれに限定されない、実質的に透過性にされてもよく、近接および/または隣接する(サブ)ピクセル340/264xの横側面410に関して、電極120、140のうちのもう一方は、本明細書に開示するメカニズムのうちの少なくとも1つによることを含むがこれに限定されない、実質的に透過性にされてもよい。したがって、交互の(サブ)ピクセル340/264x配列において、(サブ)ピクセル340/264xのサブセットが実質的に上面発光であり、(サブ)ピクセル340/264xのサブセットが実質的に下面発光であるように、(サブ)ピクセル340/264xの第1の発光領域1910の横側面410は実質的に上面発光にすることができるが、近接する(サブ)ピクセル340/264xの第2の発光領域1910の横側面410は実質的に下面発光にすることができ、一方、各(サブ)ピクセル340/264xの単一の電極120、140のみが実質的に透過性にされる。
いくつかの非限定的な例では、電極120、140(下面発光デバイスおよび/または両面発光デバイスの場合には第1の電極120、ならびに/もしくは上面発光デバイスおよび/または両面発光デバイスの場合には第2の電極140)を透過性にするためのメカニズムは、透過性薄膜のそのような電極120、140を形成することである。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830のシート抵抗R2は、一般に、デバイス100の他の構成要素、層、および/または部品とは別に測定された導電性コーティング380のシート抵抗に対応し得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、薄膜として形成され得る。したがって、いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830についてのシート抵抗R3は、そのような薄膜の組成、厚さ、および/または形態に基づいて決定および/または計算され得る。いくつかの非限定的な例では、シート抵抗R3は、約10Ω/sqr未満、約5Ω/sqr未満、約1Ω/sqr未満、約0.5Ω/sqr未満、0.2Ω/sqr、および/または約0.1Ω/sqr未満であり得る。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、導電性コーティング材料831を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831は、300kJ/モル未満、200kJ/モル未満、165kJ/モル未満、150kJ/モル未満、100kJ/モル未満、50kJ/モル未満、および/または20kJ/モル未満の導電性コーティング材料831の結合解離エネルギーを有する金属を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831は、K、Na、Li、Ba、Cs、Yb、Ag、Au、Cu、Al、Mg、Zn、Cd、Sn、および/またはイットリウム(Y)から選択される元素を含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、K、Na、Li、Ba、Cs、Tb、Ag、Au、Cu、Al、および/またはMgを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Cu、Ag、および/またはAuを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Cuであり得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Alであり得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Zn、Cd、および/またはYbを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Ag、Al、Yb、および/またはLiを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Ag、および/またはYbを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mgおよび/またはAgを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Agであり得る。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831は、純粋な金属を含み得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、純粋な金属である。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、純粋なAgまたは実質的に純粋なAgである。いくつかの非限定的な例では、実質的に純粋なAgは、少なくとも約95%、少なくとも約99%、少なくとも約99.9%、少なくとも約99.99%、少なくとも約99.999%、および/または少なくとも約99.9995%の純度を有し得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、純粋なMgまたは実質的に純粋なMgである。いくつかの非限定的な例では、実質的に純粋なMgは、少なくとも約95%、少なくとも約99%、少なくとも約99.9%、少なくとも約99.99%、少なくとも約99.999%、および/または少なくとも約99.9995%の純度を有し得る。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、合金を含み得る。いくつかの非限定的な例では、合金は、Ag含有合金、Mg含有合金、および/またはAgMg含有合金であり得る。いくつかの非限定的な例では、AgMg含有合金は、体積で1:10(Ag:Mg)~約10:1の範囲であり得る合金組成を有し得る。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831は、Agの代用としておよび/またはそれと組み合わせて他の金属を含み得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831は、Agの少なくとも1つの他の金属との合金を含み得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831は、AgのMgおよび/またはYbとの合金を含み得る。いくつかの非限定的な例では、そのような合金は、約5体積%のAg~約95体積%のAgの組成を有し、残りは他の金属である二元合金であり得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831は、AgおよびMgを含む。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831は、体積で約1:10~約10:1の組成を有するMg:Ag合金を含む。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831は、AgおよびYbを含む。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831は、体積で約1:20~約1~10:1の組成を有するYb:Ag合金を含む。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831は、MgおよびYbを含む。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831は、Mg:Yb合金を含む。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831は、Ag、Mg、およびYbを含む。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831は、Ag:Mg:Yb合金を含む。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、少なくとも1つの追加の元素を含み得る。いくつかの非限定的な例では、そのような追加の元素は、非金属元素であり得る。いくつかの非限定的な例では、非金属材料は、酸素(O)、硫黄(S)、窒素(N)、および/または炭素(C)であり得る。いくつかの非限定的な例では、そのような追加の元素が、源材料、堆積のために使用される機器、および/または真空チャンバ環境中にそのような追加の元素が存在することによって、汚染物質として導電性コーティング830に組み込まれ得ることが当業者に理解されよう。いくつかの非限定的な例では、そのような追加の元素の濃度は、閾値濃度を下回るように制限され得る。いくつかの非限定的な例では、そのような追加の元素は、導電性コーティング830の他の元素と一緒に化合物を形成し得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831中の非金属元素の濃度は、約1%未満、約0.1%、約0.001%、約0.0001%、約0.00001%、約0.000001%、および/または約0.0000001%であり得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、その中のOおよびCの合計量が約10%未満、約5%、約1%、約0.1%、約0.001%、約0.0001%、約0.00001%、約0.000001%、および/または約0.0000001%である組成を有する。
ここで、やや意外なことに、導電性コーティング830中のある特定の非金属元素の濃度を低減すると、導電性コーティング830の選択された堆積を容易にすることができることが見出された。任意の特定の理論に拘束されることを望まずに、非限定的な例として、Oおよび/またはCなどのある特定の非金属元素は、導電性コーティング830の蒸気フラックス中、ならびに/もしくは堆積チャンバおよび/または環境中に存在するとき、導電性コーティング830の金属元素のための核生成部位として作用するように、NIC810の表面上に堆積させることができると想定され得る。核生成部位として作用し得るそのような非金属元素の濃度を低減すると、NIC810の露出層表面111上に堆積した導電性コーティング材料831の量を低減することを容易にすることができると想定され得る。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830および金属コーティング138は、共通の金属を含み得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831および金属コーティング材料は、同じ組成を有する。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、導電性コーティング材料831の複数の層を含み得る。いくつかの非限定的な例では、複数の層のうちの第1の層の導電性コーティング材料831は、複数の層のうちの第2の層の導電性コーティング材料831とは異なり得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、多層コーティングを含み得る。いくつかの非限定的な例では、そのような多層コーティングは、Yb/Ag、Yb/Mg、Yb/Mg:Ag、Yb/Yb:Ag、Yb/Ag/Mg、および/またはYb/Mg/Agを含み得る。
いくつかの非限定的な例では、特にそのような導電性薄膜の場合に、比較的薄い層厚さは、OLEDデバイス100で使用するための強化された透過性品質であるが、好ましい光学特性(低減したマイクロキャビティ効果を含むがこれに限定されない)にも寄与するように、最大で実質的に数十nmであり得る。
いくつかの非限定的な例では、そのような薄い導電性膜は、中間段階の薄膜を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、透過性品質を促進するための電極120、140の厚さを低減すると、電極120、140のシート抵抗の増加を伴う場合がある。
いくつかの非限定的な例では、高いシート抵抗を有する少なくとも1つの電極120、140を有するデバイス100は、動作時に電源15に結合されたときに大きい電流抵抗(IR)降下を生み出す。いくつかの非限定的な例では、そのようなIR降下は、電源15のレベル(VDD)を上昇させることによって、ある程度補償され得る。しかしながら、いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの(サブ)ピクセル340/264xについて、電源15のレベルを増加させて、高いシート抵抗によるIR降下を補償することにより、他の構成要素に供給される電圧のレベルを上昇させて、デバイス100の効果的な動作を維持することを必要とする場合がある。
いくつかの非限定的な例では、電極120、140を実質的に透過性にする能力に大きい影響を及ぼすことなく、デバイス100の電気供給需要を低減するために(TCO、金属薄膜、および/または金属合金薄膜の任意の組み合わせの少なくとも1つの薄膜層を採用することによって)、補助電極1750および/またはバスバー構造4150をデバイス100上に形成して、デバイス100の様々な放出領域に電流をより効果的に運搬することを可能にすることができ、同時に、透過性電極120、140のシート抵抗およびその関連するIR降下を低減する。
いくつかの非限定的な例では、AMOLEDディスプレイデバイス100の共通電極120、140のシート抵抗の仕様は、デバイス100の(パネル)サイズおよび/またはデバイス100にわたる電圧変動の許容範囲を含むがこれら限定されない、多くのパラメータに従って変わり得る。いくつかの非限定的な例では、パネルサイズが大きくなるにつれて、シート抵抗の仕様が大きくなり得る(つまり、より低いシート抵抗が指定される)。いくつかの非限定的な例では、電圧変動に対する許容範囲が減少するにつれて、シート抵抗の仕様が大きくなり得る。
いくつかの非限定的な例では、シート抵抗の仕様を使用して、様々なパネルサイズについてそのような仕様に準拠するための補助電極1750および/またはバスバー4150の厚さの例を導き出すことができる。1つの非限定的な例では、すべてのディスプレイパネルサイズについて0.64のアパーチャ比が推測され、様々なパネルサイズの例についての補助電極1750の厚さが、例えば、下記の表1の0.1Vおよび0.2Vの電圧許容範囲について計算された。
非限定的な例として、上面発光デバイスについては、第2の電極140は、透過性にされ得る。他方では、いくつかの非限定的な例では、そのような補助電極1750および/またはバスバー4150は、実質的に透過性ではない場合があるが、それらの間に導電性コーティング830を堆積させることによることを含むがこれに限定されない、第2の電極140に電気的に結合されて、第2の電極140の実効シート抵抗を低減することができる。
いくつかの非限定的な例では、そのような補助電極1750は、(サブ)ピクセル340/264xの発光領域1910の横側面410からの光子の放出に干渉しないように、横側面および/または断面側面のいずれかまたは両方に位置決めおよび/または成形され得る。
いくつかの非限定的な例では、第1の電極120および/または第2の電極140を作製するためのメカニズムは、その放出領域1910の横側面410の少なくとも一部にわたる、および/またはいくつかの非限定的な例では、それらを取り囲む非放出領域1920の横側面420の少なくとも一部にわたるパターンで、そのような電極120、140を形成することである。いくつかの非限定的な例では、そのようなメカニズムを採用して、上記で考察したように、(サブ)ピクセル340/264xの発光領域1910の横側面410からの光子の放出に干渉しないように、横側面および/または断面側面のいずれかまたは両方の位置および/または形状で補助電極1750および/またはバスバー4150を形成することができる。
いくつかの非限定的な例では、デバイス100は、デバイス100によって放出される光子の光路において導電性酸化物材料が実質的にないように構成され得る。非限定的な例として、(サブ)ピクセル340/264xに対応する少なくとも1つの発光領域1910の横側面410において、第2の電極140、NIC810、および/またはその上に堆積された任意の他の層および/またはコーティングを含むがこれらに限定されない、少なくとも1つの半導電性層130の後に堆積された層および/またはコーティングの少なくとも1つに、導電性酸化物材料が実質的にない場合がある。いくつかの非限定的な例では、導電性酸化物材料が実質的にないことは、デバイス100によって放出される光の吸収および/または反射を低減し得る。非限定的な例として、ITOおよび/またはIZOを含むがこれらに限定されない導電性酸化物材料は、可視スペクトルの少なくともB(青)領域の光を吸収することができ、これは、一般に、デバイス100の効率および/または性能を低下させ得る。
いくつかの非限定的な例では、これらおよび/または他のメカニズムの組み合わせを採用することができる。
追加的に、いくつかの非限定的な例では、第1の電極120、第2の電極140、補助電極1750、および/またはバスバー4150のうちの1つ以上を、少なくとも、デバイス100の(サブ)ピクセル340/264xに対応する発光領域1910の横側面410の実質的な一部にわたって、実質的に透過性にすることに加えて、光子がその横側面410にわたって実質的に放出されることを可能にするために、本明細書で開示するように、デバイス100内で内部的に生じた光子の放出(上面放出、下面放出、および/または両面放出で)に加えて、そのような外部入射光のかなりの一部がデバイス100を透過することができるように、デバイス100を、その外部表面に入射する光に対して実質的に透過性にするために、デバイス100の取り囲む非発光領域1920の横側面420のうちの少なくとも1つを、下面方向および上面方向の両方に実質的に透過性にすることが望ましい場合がある。
導電性コーティング
本開示では、「導電性コーティング」および「電極コーティング」という用語は、NIC810および/またはNPC1120の選択的堆積によってパターン化されるという文脈において、本明細書における導電性コーティング830の同様の概念および参照を指すために互換的に使用され得、いくつかの非限定的な例では、パターニングコーティング810、1120の選択的堆積によってパターン化されるという文脈において、電極コーティング830に適用可能であり得る。いくつかの非限定的な例では、電極コーティング830への言及は、本明細書で説明されるような特定の組成を有するコーティングを意味し得る。同様に、本開示では、「導電性コーティング材料」および「電極コーティング材料」という用語は、本明細書における導電性コーティング材料831への同様の概念および参照を指すために互換的に使用され得る。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830を基部材料の露出層表面111上に堆積させるために使用される導電性コーティング材料831(図9)は、実質的に純粋な元素であり得る。いくつかのさらなる非限定的な例では、導電性コーティング830は、実質的に純元素を含む。いくつかの他の非限定的な例では、導電性コーティング830は、2つ以上の元素を含み、これらは、例えば、合金または混合物として提供され得る。
いくつかの非限定的な例では、そのような混合物の少なくとも1つの成分は、そのような表面上に堆積されない、堆積中にそのような露出層表面111上に堆積されない場合があり、ならびに/もしくはそのような露出層表面111に堆積されるそのような混合物の残りの成分の量に対して少量で堆積され得る。
いくつかの非限定的な例では、そのような混合物のそのような少なくとも1つの成分は、実質的に残りの成分のみを選択的に堆積させるための残りの成分に対する特性を有し得る。いくつかの非限定的な例では、この特性は、蒸気圧であり得る。
いくつかの非限定的な例では、そのような混合物のそのような少なくとも1つの成分は、残りの成分に対してより低い蒸気圧を有し得る。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831は、銅(Cu)-マグネシウム(Cu-Mg)混合物であり得、ここで、Cuは、Mgよりも低い蒸気圧を有する。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料830を露出層表面111上に堆積させるために使用される導電性コーティング材料831は、実質的に純粋であり得る。
いくつかの非限定的な例では、Mgを堆積するために使用される導電性コーティング材料831は、いくつかの非限定的な例では、実質的に純粋なMgを含む。いくつかの非限定的な例では、実質的に純粋なMgは、純粋なMgに対して実質的に同様の特性を示し得る。いくつかの非限定的な例では、Mgの純度は、約95%以上、約98%以上、約99%以上、約99.9%以上、および99.99%以上であってもよい。
いくつかの非限定的な例では、様々な例による光電子デバイスの導電性コーティング830は、Mgを含む。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、実質的に純粋なMgを含む。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、Mgの代用としておよび/またはそれと組み合わせて他の金属を含む。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、1つ以上の他の金属とのMgの合金を含む。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、MgとYb、Cd、Zn、および/またはAgとの合金を含む。いくつかの非限定的な例では、そのような合金は、約5体積%のMg~約95体積%のMgの範囲の組成を有し、残りは他の金属である二元合金であり得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、体積で約1:10~約10:1の範囲の組成を有するMg:Ag合金を含む。
いくつかの非限定的な例では、様々な例による光電子デバイス内の導電性コーティング830および/または導電性コーティング材料831は、Agを含む。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830および/または導電性コーティング材料831は、実質的に純粋なAgを含む。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830および/または導電性コーティング材料831は、Agの代用としておよび/またはそれと組み合わせて他の金属を含む。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830および/または導電性コーティング材料831は、Agの1つ以上の他の金属との合金を含む。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830および/または導電性コーティング材料831は、AgのMg、Yb、および/またはZnとの合金を含む。いくつかの非限定的な例では、そのような合金は、約5体積%のAg~約95体積%のAgの組成を有し、残りは他の金属である二元合金であり得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830および/または導電性コーティング材料831は、AgおよびMgを含む。そのような導電性コーティング830および/または導電性コーティング材料831の非限定的な例には、体積で約1:10~約10:1の組成を有するMg:Ag合金が含まれる。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830および/または導電性コーティング材料831は、AgおよびYbを含む。そのような導電性コーティング830の非限定的な例には、体積で約1:20~約10:1の組成を有するYb:Ag合金が含まれる。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、例えば、Mg:Yb合金として、Mgと、Ybと、を含む。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830および/または導電性コーティング材料831は、例えばAg:Mg:Yb合金として、Ag、Mg、およびYbを含む。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、互いに異なる組成を有する2つ以上の層を含む。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830の2つ以上の層は、互いに異なる元素を含む。そのような導電性コーティング830の非限定的な例には、Yb/Ag、Yb/Mg、Yb/Mg:Ag、Mg/Ag、Yb/Yb:Ag、Yb/Ag/Mg、および/またはYb/Mg/Agによって形成される多層コーティングが含まれる。
パターニング
前述の結果として、(サブ)ピクセル340/264xの発光領域1910の横側面410、および/または発光領域1910を取り囲む非発光領域1920の横側面420にわたって、第1の電極120、第2の電極140、補助電極1750、および/またはバスバー4150、ならびに/もしくはそれらに電気的に結合された導電性要素のうちの少なくとも1つを含むがこれらに限定されない、デバイス特徴部を、デバイス100のフロントプレーン10層の露出層表面111上にパターンで選択的に堆積させることが望ましい場合がある。いくつかの非限定的な例では、第1の電極120、第2の電極140、補助電極1750、および/またはバスバー4150は、複数の導電性コーティング830のうちの少なくとも1つに堆積され得る。
しかしながら、導電性コーティング830のそのようなパターニングを達成するために、いくつかの非限定的な例では、数十ミクロン程度以下の特徴部サイズを有する比較的小さな特徴部を形成するために使用され得るFMMなどのシャドウマスクを採用することは、いくつかの非限定的な例では、以下の理由で実行可能ではない場合がある:
・FMMは、薄い導電性膜の堆積のために採用され得るような、特に高温での堆積プロセス中に変形する場合がある、
・特に高温堆積プロセスにおける、FMMの機械的強度(引張強度を含むがこれに限定されない)および/またはシャドウイング効果の制限は、そのようなFMMを使用して達成可能であり得る特徴部のアスペクト比に制約を付与する場合がある、
・非限定的な例として、FMMの各一部が、いくつかの非限定的な例では、パターンが孤立した特徴部を指定する場合を非限定的な例として含む単一の処理段階でいくつかのパターンが達成可能ではない場合があるように物理的に支持されるため、そのようなFMMを使用して達成可能であり得るパターンのタイプおよび数が制約される場合がある、
・FMMは、高温堆積プロセス中に反る傾向を示し得、これにより、いくつかの非限定的な例では、FMMの中のアパーチャの形状および位置が歪む場合があり、これにより、選択的堆積パターンが変わり、性能および/または収率が低下する場合がある、
・デバイス100の表面全体にわたって広がる繰り返し構造を生成するために使用することができるFMMは、FMM中に多数のアパーチャが形成されることを必要とする場合があり、これにより、FMMの構造的完全性が損なわれる場合がある、
・特に金属堆積プロセスにおいて、連続堆積でFMMを繰り返し使用すると、堆積材料がそれに接着する場合があり、これにより、FMMの特徴部が不明瞭になり得、これにより、選択的堆積パターンが変わり、性能および/または収率が低下する場合がある、
・FMMは、接着した非金属材料を除去するために定期的に洗浄され得るが、そのような洗浄手順は、接着した金属での使用に好適ではない場合があり、そうであっても、いくつかの非限定的な例では、時間および/または費用がかかる場合がある、ならびに
・任意のそのような洗浄プロセスに関係なく、特に高温堆積プロセスにおいて、そのようなFMMを継続して使用すると、所望のパターニングを生成する際に無駄になる場合があり、複雑かつ費用がかかるプロセスにおいて、それらが廃棄および/または交換される場合がある。
図5は、デバイス100と実質的に同様であるが、(サブ)ピクセル340/264xに対応する発光領域1910の横側面410を取り囲む非発光領域1920の横側面420にわたる複数の隆起したPDL440をさらに含むデバイス500の断面図の例を示す。
導電性コーティング830が、いくつかの非限定的な例では、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積されるとき、導電性コーティング830は、その上に(図では)第2の電極140を形成するための(サブ)ピクセル340/264xに対応する発光領域1910の横側面410にわたって、ならびにPDL440の上面に導電性コーティング830の領域を形成するためのそれらを取り囲む非発光領域1920の横側面420にわたって堆積される。第2の電極140の各々(セグメント)が少なくとも1つの導電性領域830のいずれにも電気的に結合されないことを確実にするために、PDL440の厚さは、第2の電極140の厚さよりも厚い。いくつかの非限定的な例では、図に示すように、PDL440にアンダーカットプロファイルを提供して、第2の電極140のいずれか(セグメント)が少なくとも1つの導電性領域830のいずれかに電気的に結合される可能性をさらに減少させることができる。
いくつかの非限定的な例では、デバイス500上にバリアコーティング1650を塗布すると、デバイス500の非常に不均一な表面形態を考慮して、バリアコーティング1650のデバイス500への接着が不十分になる場合がある。
いくつかの非限定的な例では、別の色のサブピクセル264xに対応する発光領域1910の横側面410に対する1つの色のサブピクセル264xに対応する発光領域1910の横側面410にわたって少なくとも1つの半導電性130(および/またはその層)の厚さを変えることによって、異なる色(および/または波長)のサブピクセル264xに関連する光学マイクロキャビティ効果を調整させることが望ましい場合がある。いくつかの非限定的な例では、パターニングを実行するためのFMMの使用は、少なくともいくつかの場合では、および/またはいくつかの非限定的な例では、OLEDディスプレイ100についての生成環境において、そのような光学マイクロキャビティ変調効果を提供するために必要とされる精度を提供しない場合がある。
核生成抑制および/または核生成促進材料特性
いくつかの非限定的な例では、第1の電極120、第1の電極140、補助電極1750、および/またはバスバー4150、ならびに/もしくはそれらに電気的に結合された導電性要素のうちの少なくとも1つを含むがこれらに限定されないデバイス特徴部を形成するために、導電性薄膜の複数の層の少なくとも1つとして、または少なくとも1つとして採用され得る導電性コーティング830は、基部材料の露出層表面111上に堆積されることに関して比較的低い親和性を示し得るため、導電性コーティング830の堆積が抑制される。
その上に堆積された導電性コーティング830を有することに対する材料および/またはその特性の相対的な親和性またはその欠如は、それぞれ「核生成促進」または「核生成抑制」であると称され得る。
本開示では、「核生成抑制」は、表面上への導電性コーティング830(の堆積)に関して比較的低い親和性を示す表面を有し、その結果そのような表面への導電性コーティング830の堆積が抑制されるコーティング、材料、および/またはその層を指す。
本開示では、「核生成促進」は、表面上への導電性コーティング830の堆積に関して比較的高い親和性を示す表面を有し、その結果そのような表面への導電性コーティング830の堆積を容易にするコーティング、材料、および/またはその層を指す。
これらの用語における「核生成」という用語は、気相中のモニマーが表面上で凝縮して核を形成する、薄膜形成プロセスの核生成段階について言及する。
特定の理論に拘束されることを望まずに、そのような核の形状およびサイズ、ならびにそのような核の島へのおよびその後の薄膜へのその後の成長は、蒸気、表面、および/または凝縮した膜核の間の界面張力を含むがこれらに限定されない、多くの要因に依存し得ると想定される。
本開示では、そのような親和性は、多くの様式で測定することができる。
表面の核生成抑制および/または核生成促進特性の1つの尺度は、Mgを含むがこれに限定されない、所与の導電性材料についての表面の初期付着確率Sである。本開示では、「付着確率」および「付着係数」という用語は、互換的に使用され得る。
いくつかの非限定的な例では、付着確率Sは、以下によって与えられ得る。
式中、Nadsは、露出層表面111上に留まる(つまり、膜に組み込まれる)吸着されたモノマー(「吸着原子」)の数であり、Ntotalは、表面上に衝突するモノマーの総数である。付着確率Sが1に等しいとは、表面上に衝突するすべてのモノマーが吸着され、その後成長する膜に組み込まれることを示す。付着確率Sが0に等しいとは、表面上に衝突するすべてのモノマーが吸着され、その後膜が表面上に形成されることを示す。Walker et al.,J.Phys.Chem.C 2007,111,765(2006)で説明されている二重水晶振動子マイクロバランス(QCM)技法を含むがこれに限定されない、付着確率Sを測定する様々な技法を使用して、様々な表面上の金属の付着確率Sを評価することができる。
島の密度が増加する(例えば、平均膜厚さが増加する)につれて、付着確率Sが変化する場合がある。非限定的な例として、低い初期付着確率Sは、平均膜厚さが増加するにつれて増加する場合がある。これは、島のない表面の面積、非限定的な例としてベア基板110と島の密度が高い面積との間の付着確率Sの違いに基づいて理解することができる。非限定的な例として、島の表面上に衝突するモノマーは、1に近い付着確率Sを有し得る。
したがって、初期付着確率Sは、任意の有意な数の臨界核が形成される前の表面の付着確率Sとして指定され得る。初期付着確率Sの1つの尺度は、表面全体の堆積材料の平均厚さが閾値にあるか、またはそれを下回る、材料の堆積の初期段階中の材料についての表面の付着確率Sを伴うことができる。いくつかの非限定的な例の説明では、初期付着確率Sについての閾値は、非限定的な例として、1nmとして指定することができる。次いで、平均付着確率
は、以下のように与えられ得る。
式中、Snucは島で被覆された面積の付着確率Sであり、Anucは島で被覆された基板表面の面積の割合である。
図6に示すエネルギープロファイル610、620、630に基づいて、脱着のための比較的低い活性化エネルギー(Edes631)、および/または表面拡散のための比較的高い活性化エネルギー(E631)を示すNIC810材料が、様々な用途での使用に特に有利であり得ると想定することができる。
表面の核生成抑制特性または核生成促進特性の1つの尺度は、基準表面上の同じ導電性材料の初期堆積速度に対する、表面上のMgを含むがこれに限定されない、所与の導電性材料の初期堆積速度であり、両方の表面は、導電性材料の蒸発フラックスに曝す、および/または曝露される。
核生成抑制および/または核生成促進材料特性に影響を及ぼすための選択的コーティング
いくつかの非限定的な例では、1つ以上の選択的コーティング710(図7)を、その上に薄膜導電性コーティング830を堆積させるために提示される基部材料の露出層表面111の少なくとも第1の部分701(図7)上に選択的に堆積させ得る。そのような選択的コーティング710は、基部材料の露出層表面111のそれとは異なる導電性コーティング830に関して、核生成抑制特性(および/または逆に核生成促進特性)を有する。いくつかの非限定的な例では、そのような選択的コーティング710が堆積されていない基部材料の露出層表面111の第2の部分702(図7)が存在する場合がある。
そのような選択的コーティング710は、NIC810、および/または核生成促進コーティング(NPC1120(図11))であり得る。
いくつかの非限定的な例では、NIC810は、図35に非限定的な例として示されているような、下にある金属コーティング138の露出層表面111上に配設され得る。そのような導電性コーティング138は、デバイス100の複数の層のうちの(少なくとも)1つであり得ることが当業者に理解されよう。金属コーティング138は、金属コーティング材料で構成され得る。当業者は、金属コーティング138およびそれを構成する金属コーティング材料が、特に、フィルムとして、ならびに第2の電極140を堆積させる際に採用されるものと実質的に同様の条件下で、および/またはそれと実質的に同様のメカニズムによって配設されるとき、ほぼ同様の光学特性および/または他の特性を示し得ることを理解するであろう。
いくつかの非限定的な例では、シート抵抗は、そのような構成要素、層、および/または部品を通過する電流の特徴を変更し得る構成要素、層、および/または部品の特性である。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング138のシート抵抗R1は、一般に、デバイス100の他の構成要素、層、および/または部品とは別に測定された金属コーティング138のシート抵抗に対応し得る。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング138は、薄膜として形成され得る。したがって、いくつかの非限定的な例では、金属コーティング138についてのシート抵抗R1は、そのような薄膜の組成、厚さ、および/または形態に基づいて決定および/または計算され得る。いくつかの非限定的な例では、シート抵抗R1は、約0.1~1,000Ω/sqr、約1~100Ω/sqr、約2~50Ω/sqr、約3~30Ω/sqr、約4~20Ω/sqr、約5~15Ω/sqr、および/または約10~12Ω/sqrであり得る。
いくつかの非限定的な例では、金属の結合解離エネルギーは、金属の2つの同一原子によって形成された二原子分子の結合の切断からの298Kで測定された標準状態のエンタルピー変化に対応し得る。結合解離エネルギーは、非限定的な例として、Luo,Yu-ran,“Bond dissociation energies”(2010)を含むがこれらに限定されない、既知の文献に基づいて決定することができる。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、少なくとも10kJ/モル、少なくとも50kJ/モル、少なくとも100kJ/モル、少なくとも150kJ/モル、少なくとも180kJ/モル、および/または少なくとも200kJ/モルの結合解離エネルギーを有する金属を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、約1.4未満、約1.3、および/または約1.2である電気陰性度を有する金属を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、カリウム(K)、ナトリウム(Na)、リチウム(Li)、バリウム(Ba)、セシウム(Cs)、イッテルビウム(Yb)、銀(Ag)、金(Au)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、マグネシウム(Mg)、亜鉛(Zn)、カドミウム(Cd)、スズ(Sn)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)、パラジウム(Pd)、クロム(Cr)、鉄(Fe)、コバルト(Co)、ジルコニウム(Zr)、白金(Pt)、バナジウム(V)、ニオブ(Nb)、イリジウム(Ir)、オスミウム(Os)、タンタル(Ta)、モリブデン(Mo)、および/またはタングステン(W)から選択される元素を含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Cu、Ag、および/またはAuを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Cuであり得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Alであり得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Zn、Cd、および/またはYbを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Sn、Ni、Ti、Pd、Cr、Fe、および/またはCoを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Zr、Pt、V、Nb、Ir、および/またはOsを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Ta、Mo、および/またはWを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Ag、Al、Yb、および/またはLiを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Ag、および/またはYbを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mgおよび/またはAgを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Agであり得る。
いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、純粋な金属を含み得る。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、純粋な金属である。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、純粋なAgまたは実質的に純粋なAgである。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、純粋なMgまたは実質的に純粋なMgである。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、純粋なAlまたは実質的に純粋なAlである。
いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、合金を含み得る。いくつかの非限定的な例では、合金は、Ag含有合金、および/またはAgMg含有合金であり得る。
いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、Agの代用としておよび/またはそれと組み合わせて他の金属を含み得る。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、Agの少なくとも1つの他の金属との合金を含み得る。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、AgのMgおよび/またはYbとの合金を含み得る。いくつかの非限定的な例では、そのような合金は、約5体積%のAg~約95体積%のAgの組成を有し、残りは他の金属である二元合金であり得る。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、AgおよびMgを含む。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、体積で約1:10~約10:1の組成を有するMg:Ag合金を含む。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、AgおよびYbを含む。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、体積で約1:20~約1~10:1の組成を有するYb:Ag合金を含む。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、MgおよびYbを含む。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、Mg:Yb合金を含む。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、Ag、Mg、およびYbを含む。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、Ag:Mg:Yb合金を含む。
いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、酸素(O)を含み得る。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、少なくとも1つの金属およびOを含み得る。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング材料は、金属酸化物を含み得る。いくつかの非限定的な例では、金属酸化物は、Zn、インジウム(I)、スズ(Sn)、アンチモン(Sb)、および/またはガリウム(Ga)を含む。いくつかの非限定的な例では、金属酸化物は、透明導電性酸化物(TCO)であり得る。いくつかの非限定的な例では、TCOは、酸化インジウム、酸化スズ、酸化アンチモン、および/または酸化ガリウムを含み得る。いくつかの非限定的な例では、TCOは、インジウムチタン酸化物(ITO)、ZnO、インジウム亜鉛酸化物(IZO)、および/またはインジウムガリウム亜鉛酸化物(IGZO)を含み得る。いくつかの非限定的な例では、TCOは、他の元素で電気的にドープされ得る。
いくつかの非限定的な例では、金属コーティング138は、金属および/または金属合金によって形成され得る。
いくつかの非限定的な例では、金属コーティング138は、少なくとも1つの金属または金属合金、および少なくとも1つの金属酸化物を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、金属コーティング138は、金属コーティング材料の複数の層を含み得る。いくつかの非限定的な例では、複数の層のうちの第1の層の金属コーティング材料は、複数の層のうちの第2の層の金属コーティング材料とは異なり得る。いくつかの非限定的な例では、複数の層のうちの第1の層の金属コーティング材料は金属を含み得、複数の層のうちの第2の層の金属コーティング材料は金属酸化物を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、複数の層のうちの少なくとも1つの金属コーティング材料は、Ybを含み得る。いくつかの非限定的な例では、複数の層のうちの1つの金属コーティング材料は、Ag含有合金および/またはAgMg含有合金、ならびに/もしくは純粋なAg、実質的に純粋なAg、純粋なMg、および/または実質的に純粋なMgを含み得る。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング138は、二分子層Yb/AgMgコーティングである。
いくつかの非限定的な例では、NIC810(最上部)の近位にある複数の層のうちの第1の層は、Ag、Au、Cu、Al、Sn、Ni、Ti、Pd、Cr、Fe、Co、Zr、Pt、V、Nb、Ir、Os、Ta、Mo、および/またはWから選択される元素を含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Cu、Ag、および/またはAuを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Cuであり得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Alであり得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Sn、Ti、Pd、Cr、Fe、および/またはCoを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Ni、Zr、Pt、V、Nb、Ir、および/またはOsを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Ta、Mo、および/またはWを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mg、Ag、および/またはAlを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Mgおよび/またはAgを含み得る。いくつかの非限定的な例では、元素は、Agであり得る。
いくつかの非限定的な例では、金属コーティング138は、少なくとも1つの追加の元素を含み得る。いくつかの非限定的な例では、そのような追加の元素は、非金属元素であり得る。いくつかの非限定的な例では、非金属材料は、酸素(O)、硫黄(S)、窒素(N)、および/または炭素Cであり得る。いくつかの非限定的な例では、そのような追加の元素が、源材料、堆積のために使用される機器、および/または真空チャンバ環境中にそのような追加の元素が存在することによって、汚染物質として金属コーティング138に組み込まれ得ることが当業者に理解されよう。いくつかの非限定的な例では、そのような追加の元素の濃度は、閾値濃度を下回るように制限され得る。いくつかの非限定的な例では、そのような追加の元素は、金属コーティング138の他の元素と一緒に化合物を形成し得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料中の非金属元素の濃度は、約1%未満、約0.1%、約0.001%、約0.0001%、約0.00001%、約0.000001%、および/または約0.0000001%であり得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、その中のOおよびCの合計量が約10%未満、約5%、約1%、約0.1%、約0.001%、約0.0001%、約0.00001%、約0.000001%、および/または約0.0000001%である組成を有する。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング138は、閉じたコーティング4530を含み得る。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング138は、不連続コーティング1050を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、金属コーティング138は、第1の部分115内の第1の層表面上の金属コーティング138の閉じたコーティング4530が実質的にない、その中の少なくとも1つの領域によって画定され得るパターンで配設され得る。いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの領域には、その上に金属パターニングNIC810が配設されている。いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの領域は、金属コーティング138をその複数の個別のフラグメントに分離することができる。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング138のそのような複数の個別のフラグメントのうちの少なくとも2つは、電気的に結合され得る。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング138のそのような複数の個別のフラグメントのうちの少なくとも2つは、各々、それらの間の電流の流れを可能にするために、導電性コーティング830を含むがこれに限定されない、共通の導電性層またはコーティングに電気的に結合され得る。いくつかの非限定的な例では、金属コーティング138のそのような複数の個別のフラグメントのうちの少なくとも2つは、互いに電気的に絶縁され得る。
本開示では、いくつかの非限定的な例では、文脈上指示されるとき、「NIC」および「パターニングコーティング」という用語は、同様の概念を指すために互換的に使用され得、導電性コーティング830をパターン化するために選択的に堆積されるという文脈において、本明細書におけるNIC810への言及は、いくつかの非限定的な例では、電極コーティング830をパターン化するためのその選択的堆積の文脈におけるパターニングコーティング810に適用可能であり得る。
同様に、いくつかの非限定的な例では、文脈上指示されるとき、「NPC」および「パターニングコーティング」という用語は、同様の概念を指すために互換的に使用され得、導電性コーティング830をパターン化するために選択的に堆積されるという文脈において、本明細書におけるNPC1120への言及は、いくつかの非限定的な例では、電極コーティング830をパターン化するためのその選択的堆積の文脈におけるパターニングコーティング1120に適用可能であり得る。
いくつかの非限定的な例では、パターニングコーティング810、1120への言及は、本明細書で説明されるような特定の組成を有するコーティングを意味し得る。
そのような選択的コーティング710の使用は、いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830を堆積する段階においてFMMを採用することなく、導電性コーティング830の選択的堆積を容易にするおよび/または許容することができることが当業者に理解されよう。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830のそのような選択的堆積は、パターンであり得る。いくつかの非限定的な例では、そのようなパターンは、(サブ)ピクセル340/264xの1つ以上の発光領域1910の横側面410内で、および/またはいくつかの非限定的な例では、そのような発光領域1910を取り囲み得る1つ以上の非発光領域1920の横側面420内で、デバイス100の上面および/または下面のうちの少なくとも1つの透過性を提供ならびに/もしくは増大させることを容易にすることができる。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830を導電性構造上に堆積させて、および/またはいくつかの非限定的な例では、デバイス100の、その層を形成することができ、これは、いくつかの非限定的な例では、アノード341および/またはカソード342のうちの1つとして作用する第1の電極120ならびに/もしくは第2の電極140、かつ/あるいはその導電性を支持するためのならびに/もしくはいくつかの非限定的な例では、それらに電気的に結合される補助電極1750および/またはバスバー4150であり得る。
いくつかの非限定的な例では、Mgを含むがこれに限定されない、所与の導電性コーティング830のNIC810は、露出層表面111への導電性コーティング830(例では、Mg)の堆積が抑制されるように、蒸気形態の導電性コーティング830(例では、Mg)について比較的低い初期付着確率Sを示す表面を有するコーティングを指す場合がある。したがって、いくつかの非限定的な例では、NIC810の選択的堆積により、露出層表面111の上に導電性コーティング830を堆積するために提示される(NIC810の)露出層表面111の初期付着確率Sが低減され得る。
いくつかの非限定的な例では、Mgを含むがこれに限定されない、所与の導電性コーティング830のNPC1120は、露出層表面111への導電性コーティング830の堆積を容易にするように、蒸気形態の導電性コーティング830について比較的高い初期付着確率Sを示す露出層表面111を有するコーティングを指す場合がある。したがって、いくつかの非限定的な例では、NPC1120の選択的堆積により、露出層表面111の上に導電性コーティング830を堆積するために提示される(NPC1120の)露出層表面111の初期付着確率Sが増加され得る。
選択的コーティング710がNIC810であるとき、NIC810が堆積される基部材料の露出層表面111の第1の部分701は、その後、NIC810が堆積された基部材料の露出層表面111の親和性に対して、その上への導電性コーティング830の堆積について低減した親和性を有するように、核生成抑制特性が増加した、または代替的に核生成促進特性が低減した(NIC810の)処理表面(いずれの場合にも、第1の部分701上に堆積されたNIC810の表面)を提示するであろう。対照的に、そのようなNIC810が堆積されていない第2の部分702は、核生成抑制特性、または代替的に核生成促進特性が、実質的に変更されていないその上の導電性コーティング830の堆積についての親和性を有する(基部基板110の)露出層表面111(いずれの場合にも、選択的コーティング710が実質的にない基部基板110の露出層表面111)を提示し続けるであろう。
選択的コーティング710がNPC1120であるとき、NPC1120が堆積される基部材料の露出層表面111の第1の部分701は、その後、NPC1120が堆積された基部材料の露出層表面111の親和性に対して、その上への導電性コーティング830の堆積について増加した親和性を有するように、核生成抑制特性が低減した、または代替的に核生成促進特性が増加した(NPC1120の)処理表面(いずれの場合にも、第1の部分701上に堆積されたNPC1120の表面)を提示するであろう。対照的に、そのようなNPC1120が堆積されていない第2の部分702は、核生成抑制特性、または代替的に核生成促進特性が、実質的に変更されていないその上の導電性コーティング830の堆積についての親和性を有する(基部基板110の)露出層表面111(いずれの場合にも、NPC1120が実質的にない基部基板110の露出層表面111)を提示し続けるであろう。
いくつかの非限定的な例では、NIC810およびNPC1120の両方を、基部材料の露出層表面111のそれぞれの第1の部分701およびNPC部分1103(図11A)上に選択的に堆積させて、その上に導電性コーティング830を堆積させるために提示されるように露出層表面111の核生成抑制特性(および/または逆に、核生成促進特性)をそれぞれ変更することができる。いくつかの非限定的な例では、選択的コーティング710が堆積されておらず、その結果、その上に導電性コーティング830を堆積させるために提示されるように核生成抑制特性(および/または逆に、その核生成促進特性)が実質的に変更されない、基部材料の露出層表面111の第2の部分702が存在する場合がある。
いくつかの非限定的な例では、NIC810および/またはNPC1120の第1のコーティングが、そのような重なる領域において基部材料の露出層表面111上に選択的に堆積されることができるように、第1の部分701およびNPC部分1103は重なっていてもよく、NIC810および/またはNPC1120の第2のコーティングは、第1のコーティングの処理された露出層表面111上に選択的に堆積されることができる。いくつかの非限定的な例では、第1のコーティングは、NIC810である。いくつかの非限定的な例では、第1のコーティングは、NPC1120である。
いくつかの非限定的な例では、選択的コーティング710が堆積された第1の部分701(および/またはNPC部分1103)は、堆積された選択的コーティング710が除去された除去領域を含み、その上に導電性コーティング830を堆積させるために提示されるように核生成抑制特性(および/または逆に、その核生成促進特性)が実質的に変更されないように、その上に導電性コーティング830を堆積させるための基部材料の被覆されていない表面を提示することができる。
いくつかの非限定的な例では、基部材料は、基板110から選択される少なくとも1つの層、ならびに/もしくは第1の電極120、第2の電極140、少なくとも1つの半導電性層130(および/またはその層のうちの少なくとも1つ)を含むがこれらに限定されない、フロントプレーン10層のうちの少なくとも1つ、かつ/あるいはこれらのいずれかの任意の組み合わせであり得る。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、特定の材料特性を有し得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、単独であっても化合物および/または合金中であっても、Mgを含み得る。
非限定的な例として、純粋および/または実質的に純粋なMgは、いくつかの有機表面上のMgの低付着確率Sにより、いくつかの有機表面上に容易に堆積されない場合がある。
選択的コーティングの堆積
いくつかの非限定的な例では、選択的コーティング710を含む薄膜は、蒸発(熱蒸発および/または電子ビーム蒸発を(含むがこれらに限定されない)、フォトリソグラフィ、印刷(インクジェットおよび/または蒸発ジェット印刷、リールツーリール印刷、ならびに/もしくはミクロ接触転写印刷を含むがこれらに限定されない)、PVD(スパッタリングを含むがこれに限定されない)、CVD(PECVDおよび/またはOVPDを含むがこれらに限定されない)、レーザーアニーリング、LITIパターニング、ALD、コーティング(スピンコーティング、ディップコーティング、ラインコーティング、および/またはスプレーコーティングを含むがこれらに限定されない)、および/またはそれらの任意の2つ以上の組み合わせを含むがこれらに限定されない、様々な技法を使用して選択的に堆積ならびに/もしくは加工され得る。
図7は、基部材料(図では、例示を簡単にするために、基板110のみ)の露出層表面111の第1の部分701上に選択的コーティング710を選択的に堆積させるための、チャンバ70内での、概して700で示す蒸発プロセスの非限定的な例を示す概略図の例である。
プロセス700では、ある量の選択的コーティング材料711が真空下で加熱されて、選択的コーティング材料711を蒸発および/または昇華させる712。いくつかの非限定的な例では、選択的コーティング材料711は、選択的コーティング710を形成するために使用される材料を、完全に、および/または実質的に含む。蒸発した選択的コーティング材料712は、矢印71で示す方向を含めて、露出層表面111に向かって、チャンバ70を通して方向付けられる。蒸発した選択的コーティング材料712が露出層表面111に入射するとき、つまり、第1の部分701内で、選択的コーティング710がその上に形成される。
いくつかの非限定的な例では、プロセス700について図に示すように、選択的コーティング710は、いくつかの非限定的な例ではFMMであり得るシャドウマスク715を、選択的コーティング材料711と露出層表面111との間に挿入することによって、露出層表面111の一部分、示す例では第1の部分701上にのみ選択的に堆積され得る。シャドウマスク715は、蒸発した選択的コーティング材料712の一部がアパーチャ716を通過し、露出層表面111に入射して、選択的コーティング710を形成するように、シャドウマスク715を通って延在する少なくとも1つのアパーチャ716を有する。蒸発した選択的コーティング材料712がアパーチャ716を通過せず、シャドウマスク715の表面717に入射する場合、第2の部分703内に選択的コーティング710を形成するために露出層表面111上に配設されることが妨げられる。したがって、露出層表面111の第2の部分702には、選択的コーティング710が実質的にない。いくつかの非限定的な例(図示せず)では、シャドウマスク715に入射する選択的コーティング材料711は、その表面717上に堆積され得る。
したがって、パターニング表面は、選択的コーティング710の堆積の完了時に生成される。
いくつかの非限定的な例では、例示を簡単にするために、図7で採用された選択的コーティング710は、NIC810であり得る。いくつかの非限定的な例では、例示を簡単にするために、図7で採用された選択的コーティング710は、NPC1120であり得る。
図8は、図7の蒸発プロセス700によることを含むがこれに限定されない、第1の部分701上に選択的に堆積されるNIC810が実質的にない基部材料(図では、例示を簡単にするために、基板110のみ)の露出層表面111の第2の部分702上に導電性コーティング830を選択的に堆積するための、チャンバ70内での、概して800で示す蒸発プロセスの結果の非限定的な例を示す概略図の例である。いくつかの非限定的な例では、第2の部分702は、第1の部分701を越えて位置する露出層表面111のその一部を含む。
NIC810が基部材料(図では、基板110)の露出層表面111の第1の部分701上に堆積されると、導電性コーティング830が、NIC810が実質的にない露出層表面111の第2の部分702上に堆積され得る。
プロセス800では、ある量の導電性コーティング材料831が真空下で加熱されて、導電性コーティング831を蒸発および/または昇華させる832。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831は、導電性コーティング830を形成するために使用される材料を、完全に、および/または実質的に含む。蒸発した導電性コーティング材料832は、矢印81で示す方向を含めて、第1の部分701および第2の部分702の露出層表面111に向かって、チャンバ70の内側に方向付けられる。蒸発した導電性コーティング材料832が露出層表面111の第2の部分702に入射するとき、導電性コーティング830がその上に形成される。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831の堆積は、導電性コーティング830が基部材料(図では、基板110)の露出層表面111全体にわたって実質的に形成されて、(導電性コーティング830の)処理された表面を生成するように、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して実行することができる。
FMMのサイズとは反対に、オープンマスクの特徴部のサイズは、概して、製造されているデバイス100のサイズと同等であることが、当業者には理解されよう。いくつかの非限定的な例では、そのようなオープンマスクは、概してデバイス100のサイズに対応し得る開口部を有し得、これは、いくつかの非限定的な例では、製造中にそのようなデバイス100の縁部をマスクするために、マイクロディスプレイについては約1インチ、モバイルディスプレイについては約4~6インチ、および/またはラップトップおよび/またはタブレットディスプレイについては約8~17インチに対応し得るがこれらに限定されない。いくつかの非限定的な例では、オープンマスクの特徴部のサイズは、約1cm程度以上であってもよい。いくつかの非限定的な例では、オープンマスク内に形成されたアパーチャは、いくつかの非限定的な例では、(サブ)ピクセル340/264xに各々対応する複数の発光領域1910の横側面410、かつ/あるいは取り囲むおよび/または介在する非発光領域1920の取り囲む側面ならびに/もしくは横側面420を包含するようにサイズ決定され得る。
いくつかの非限定的な例では、所望する場合、オープンマスクの使用を省略してもよいことが当業者には理解されよう。いくつかの非限定的な例では、本明細書で説明するオープンマスク堆積プロセスは、代替的に、オープンマスクを使用せずに実施することができ、その結果、ターゲット露出層表面111全体が露出され得る。
いくつかの非限定的な例では、プロセス800について図に示すように、導電性コーティング830の堆積は、導電性コーティング830が基部材料の(図では、基板110の)露出層表面111全体にわたって実質的に形成されて、(導電性コーティング830の)処理された表面を生成するように、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して実行することができる。
実際、図8に示すように、蒸発した導電性コーティング材料832は、第1の部分701にわたるNIC810の露出層表面111、および実質的にNIC810がない第2の部分702にわたる基板110の露出層表面111の両方に入射する。
第1の部分701内のNIC810の露出層表面111は、第2の部分702内の基板110の露出層表面111と比較して、導電性コーティング830について比較的低い初期付着確率Sを示すため、導電性コーティング830は、実質的にNIC810がない第2の部分702内の基板110の露出層表面111上にのみ実質的に選択的に堆積される。対照的に、第1の部分701にわたるNIC810の露出層表面111に入射する蒸発した導電性コーティング材料832は、示すように堆積されない傾向があり(833)、第1の部分701にわたるNIC810の露出層表面111には導電性コーティング830が実質的にない。図8には示されていないが、いくつかの非限定的な例では、第1の部分701にわたるNIC810の露出層表面111には、導電性コーティング830の材料が実質的にないが、この露出層表面111は導電性コーティング830のコーティングフィルムにはならない。むしろ、後に以下で詳細に考察されるように、NIC810の露出層表面111は、その上に堆積された導電性コーティング830の材料の不連続コーティングおよび/または中間段階の導電性薄膜を有し得る。
いくつかの非限定的な例では、第2の部分702内の基板110の露出層表面111上の蒸発した導電性コーティング材料832の初期堆積速度は、第1の部分701内のNIC810の露出層表面111上の蒸発した導電性コーティング材料832の初期堆積速度の少なくとも約200倍および/またはそれを超える、少なくとも約550倍および/またはそれを超える、少なくとも約900倍および/またはそれを超える、少なくとも約1,000倍および/またはそれを超える、少なくとも約1,500倍および/またはそれを超える、少なくとも約1,900倍および/またはそれを超える、ならびに/もしくは約2,000倍および/またはそれを超える場合がある。
少なくとも1つの導電性コーティング830の選択的堆積をもたらして、導電性コーティング830堆積プロセス内でFMMを採用することなく、パターン化された電極120、140、1750、4150、および/またはそれらに電気的に結合された導電性要素を含むがこれらに限定されないデバイス特徴部を形成するために、前述のものを組み合わせることができる。いくつかの非限定的な例では、そのようなパターニングは、デバイス100の透過性を許容および/または強化することができる。
いくつかの非限定的な例では、NIC810および/またはNPC1120であり得る選択的コーティング710は、複数の電極120、140、1750、4150、および/またはそれらの様々な層、ならびに/もしくはそれに電気的に結合された導電性コーティング830を含むデバイス特徴部をパターン化するために、デバイス100の製造プロセス中に複数回塗布され得る。
図9A~9Dは、オープンマスクの非限定的な例を示す。
図9Aは、その中に形成されたアパーチャ910を有するおよび/またはそれを画定するオープンマスク900の非限定的な例を示す。示すようないくつかの非限定的な例では、オープンマスク900のアパーチャ910は、デバイス100のサイズよりも小さく、その結果、マスク900がデバイス100上に重ねられるとき、マスク900は、デバイス100の縁部を被覆する。いくつかの非限定的な例では、示すように、デバイス100の(サブ)ピクセル340/264xのすべておよび/または実質的にすべてに対応する発光領域1910の横側面410は、アパーチャ910を通して露出され、一方、非露出領域920は、デバイス100の外縁部91とアパーチャ910との間に形成される。いくつかの非限定的な例では、デバイス100の電気接点および/または他の構成要素(図示せず)は、そのような非露出領域920に位置付けることができ、その結果、これらの構成要素は、オープンマスク堆積プロセス全体に実質的に影響されないままであることが当業者には理解されよう。
図9Bは、マスク901がデバイス100上に重ねられるとき、マスク901が少なくともいくつかの(サブ)ピクセル340/264xに対応する発光領域1910の少なくとも横側面410aを被覆するように、図9Aのアパーチャ910よりも小さい、その中に形成されたアパーチャ911を有するおよび/または画定するオープンマスク901の非限定的な例を示す。示すように、いくつかの非限定的な例では、最も外側の(サブ)ピクセル340/264xに対応する発光領域1910の横側面410aは、デバイス100の外縁部91とアパーチャ911との間に形成されたデバイス100の非露出領域913内に位置付けられ、蒸発した導電性コーティング材料832が非露出領域913に入射するのを抑制するために、オープンマスク堆積プロセス中にマスクされる。
図9Cは、オープンマスク902の中に形成されたアパーチャ912を有するおよび/または画定するオープンマスク902の非限定的な例が、少なくともいくつかの(サブ)ピクセル340/264xに対応する発光領域1910の横側面410aを被覆し、同時に、少なくともいくつかの(サブ)ピクセル340/264xに対応する発光領域1910の横側面410bを露出するパターンを画定することを示す。示すように、いくつかの非限定的な例では、デバイス100の非露出領域914内に位置付けられた少なくともいくつかの(サブ)ピクセル340/264xに対応する発光領域1910の横側面410aは、蒸発した導電性コーティング材料830が非露出領域914に入射するのを抑制するために、オープンマスク堆積プロセス中にマスクされる。
図9B~9Cでは、例示するように、最も外側の(サブ)ピクセル340/264xのうちの少なくともいくつかに対応する発光領域1910の横側面410aがマスクされているが、当業者は、いくつかの非限定的な例では、オープンマスク900~902のアパーチャが、デバイス100の他の発光領域1910の横側面410および/または非発光領域1920の横側面420をマスクするように成形され得ることを理解するであろう。
さらに、図9A~9Cは、単一のアパーチャ910~912を有するオープンマスク900~902を示しているが、当業者は、そのようなオープンマスク900~902が、いくつかの非限定的な例(図示せず)では、デバイス100の基部材料の露出層表面111の多数の領域を露出するための追加のアパーチャ(図示せず)であり得ることを理解するであろう。
図9Dは、複数のアパーチャ917a~917dを有するおよび/または画定するオープンマスク903の非限定的な例を示す。アパーチャ917a~917dは、いくつかの非限定的な例では、他の領域922をマスクしながら、それらがデバイス100のある特定の領域921を選択的に露出することができるように位置決めされる。いくつかの非限定的な例では、少なくともいくつかの(サブ)ピクセル340/264xに対応するある特定の発光領域1910の横側面410bは、領域921内のアパーチャ917a~917dを通して露出され、同時に、少なくとも1つのいくつかの(サブ)ピクセル340/264xに対応する他の発光領域1910の横側面410aは、領域922内に位置し、したがってマスクされる。
ここで、図10Aを参照すると、図1に示されるが、本明細書で説明される多くの追加の堆積ステップを有するデバイス100のバージョン1000の例を示している。
デバイス1000は、基部材料の露出層表面111の横側面を示している。横側面は、第1の部分1001および第2の部分1002を含む。第1の部分1001では、NIC810が露出層表面111上に配設されている。しかしながら、第2の部分1002では、露出層表面111にはNIC810が実質的にない。
いくつかの非限定的な例では、第1の部分1001および第2の部分1002は、横側面で互いに実質的に隣接している。
いくつかの非限定的な例では、第1の部分1001の露出層表面1001および第2の部分1002の露出層表面111は、断面側面で実質的に互いの近位にある。換言すると、第1の部分1001の露出層表面111と第2の部分1002の露出層表面111との間に1つ以上の介在層があり得るが、それによって引き起こされるそれらの間の差は、いくつかの非限定的な例では、第1の部分1001および第2の部分1002のうちの少なくとも1つの横範囲のほんのわずかである。
第1の部分1001にわたるNIC810の選択的堆積後、導電性コーティング830は、いくつかの非限定的な例では、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用してデバイス1000上に堆積される。
NIC810は、第1の部分1001内に、第2の部分1002内のデバイス1000の下部材料の露出層表面111の導電性コーティング830についての初期付着確率Sよりも実質的に低い、導電性コーティング830についての比較的低い初期付着確率Sを有する表面を提供する。
したがって、導電性コーティング830は、第2の部分1002内に閉じたフィルムとして形成され、一方、第1の部分1001には、導電性コーティング830が実質的にない。
このようにして、NIC810は、シャドウマスクを使用することを含めて選択的に堆積され得、第1の電極120、第2の電極140、補助電極1750、バスバー4150、および/またはそのうちの少なくとも1つの層、ならびに/もしくはそれらに電気的に結合された導電性要素のうちの少なくとも1つを含むがこれらに限定されないデバイス特徴部を形成するように、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用することを含むがこれらに限定されない、導電性コーティング830が堆積されることを可能にする。
ここで、図10Bを参照すると、デバイス1000のバージョンの例の例1010を示している。
第1の部分1001に導電性コーティング830が実質的にないことが示されている図10Aのデバイス1000とは対照的に、デバイス1010は、導電性コーティング830の閉じたフィルム4530が実質的にない第1の部分1001を示している。図10Bでは、第1の部分1001内にNIC810が存在することによって、導電性コーティング材料831は、第1の部分1001内のNIC810の露出層表面1011上に不連続コーティング1050として堆積される。いくつかの非限定的な例では、不連続コーティング1050は、複数の個別の島を含む。いくつかの非限定的な例では、島の少なくともいくつかは、互いに切り離されている。言い換えれば、いくつかの非限定的な例では、不連続コーティング1050は、不連続コーティング1050が連続層を形成しないように、互いに物理的に分離された特徴部を含み得る。
このようにして、NIC810は、シャドウマスクを使用することを含めて選択的に堆積され得、第1の電極120、第2の電極140、補助電極1750、バスバー4150、および/またはそのうちの少なくとも1つの層、ならびに/もしくはそれらに電気的に結合された導電性要素のうちの少なくとも1つを含むがこれらに限定されないデバイス特徴部を形成するように、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用することを含むがこれらに限定されない、導電性コーティング830が堆積されることを可能にする。
任意の特定の理論に限定されることを望まずに、導電性コーティング830の堆積中、NIC810の露出層表面1011に衝突する導電性コーティング材料831のいくつかの蒸気モノマーが凝縮して、小さなクラスタおよび/またはその上の島を形成し得ると想定されている。しかしながら、そのようなクラスタまたは島の実質的な成長は、妨げられないままにされる場合、NIC810の露出層表面1011上での導電性コーティング材料831の実質的に閉じたフィルム4530の起こり得る形成につながる場合があり、NIC810の1つ以上の特性および/または特徴によって抑制される。したがって、いくつかの非限定的な例では、不連続コーティング1050は、導電性コーティング830を形成するための導電性コーティング材料831を含む。いくつかの非限定的な例では、不連続コーティング1050のピーク吸収波長は、デバイス1020によって放出および/または透過された光子のピーク波長よりも小さくてもよい。非限定的な例として、不連続コーティング1050は、約470nm未満、約460nm未満、約455nm未満、約450nm未満、約445nm未満、約440nm未満、約430nm未満、約420nm未満、および/または約400nm未満の波長でのピーク吸収を示し得る。
いくつかの非限定的な例では、クラスタおよび/または島を含有する不連続コーティング1050は、NIC810上に、および/またはそれと物理的に接触して、および/またはその近位にあるように配置され得る。
図10Cは、図10Bの非限定的な例による、デバイス1010の第1の部分1001の簡略化された平面図の例である。
ここで、図10Dを参照すると、図10Bに示されるデバイス1020の簡略化されたバージョン1020の例が示されており、デバイス1020の横側面における第1の部分1001と第2の部分1002との間に配置された第3の部分1003を示している。そのように示されていないが、いくつかの非限定的な例では、第3の部分1003は、その先端および/または第2の部分1002との界面を表す第1の部分1001の一部であるとみなされ得る。いくつかの非限定的な例では、第3の部分1003は、基部材料の露出層表面1011の少なくとも一部分を被覆する導電性コーティング830を含み、これは、いくつかの非限定的な例では、第3の部分1003および第1の部分1001内にNIC810を含み得る。いくつかの非限定的な例では、第3の部分1003の導電性コーティング830の厚さは、第2の部分1002内の導電性コーティング830の厚さよりも小さくてもよい。図10Cには具体的に示されていないが、第3の部分1003内のNIC810の厚さは、第1の部分1001内のNIC810の厚さよりも小さくてもよい。
いくつかの非限定的な例では、第3の部分1003内の導電性コーティング830は、デバイス1020の横側面内に少なくとも1つの突起および/または少なくとも1つの窪みを含む。いくつかの非限定的な例では、第3の部分1003内の導電性コーティング830は、いくつかの非限定的な例では、ピンホール、裂け目、および/または亀裂を含むがこれらに限定されない、複数のアパーチャを有する中間段階コーティングを含み得る。
図10Eは、(第1の部分1001の一部と第2の部分1002の一部との)間に配置された第3の部分1003を示す、デバイス1020の一部の簡略化された平面図の例である。いくつかの非限定的な例では、第3の部分1003内、およびいくつかの非限定的な例では、第1の部分1001 導電性コーティング830に侵入する導電性コーティング830は、いくつかの非限定的な例では、隣接する第1の部分1001に向かって横に延在する、および/またはそれに少なくとも部分的に侵入する場合がある少なくとも1つの樹状突起1021を含み得る。少なくとも1つの樹状突起1021は、基部材料の露出層表面1011をコーティングし、これは、いくつかの非限定的な例では、NIC810であり得る。いくつかの非限定的な例では、いくつかの非限定的な例ではNIC810であり得る基部材料の露出層表面1011の少なくとも一部は、第3の部分1003内、およびいくつかの非限定的な例では第2の部分1002の中に延在する導電性コーティング830によって被覆されていない場合があり、いくつかの非限定的な例では、隣接する第2の部分1002に向かって横方向に延在し、および/またはそこに少なくとも部分的に延在し得る、少なくとも1つの樹状窪み1022を含み得る。
任意の特定の理論に拘束されることを望まずに、少なくとも1つの樹状突起1021を含むがこれに限定されない、少なくとも1つの突起、および/または少なくとも1つの樹状窪みを含むがこれに限定されない、少なくとも1つの窪み1022は、NIC810および/またはその近傍で、ならびに/もしくはNIC810少なくとも1つの特性および/または特徴における少なくとも1つの局所化された不均一性のために形成され得ると想定され得る。非限定的な例として、NIC810の少なくとも1つの局所化された面積は、その薄膜コーティングの臨界表面張力、その中の物理的不連続性、および/またはそのドメイン境界の変動を示し得る。いくつかの非限定的な例では、そのような変動は、隣接する結晶子間に形成され得、導電性コーティング材料831を選択的に堆積させ、したがって、少なくとも1つの突起および/または少なくとも1つの窪みをもたらし得る。いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの樹状突起1021は、不連続コーティング1050の少なくとも1つの島および/またはクラスタの、不連続コーティング1050の別の少なくとも1つの島および/またはクラスタとのならびに/もしくは導電性コーティング830との合体によって形成された少なくとも1つの特徴部を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、第3の部分1003は、不連続コーティング1050中のギャップ、少なくとも1つの樹状突起1021の少なくとも1つの特徴部および/または少なくとも1つの樹状窪み1022の少なくとも1つの特徴部の間のギャップを含むがこれらに限定されない、導電性コーティング材料831が実質的ない少なくとも1つの面積を含み得る。いくつかの非限定的な例では、第3の部分1003内の導電性コーティング材料831の表面被覆率は、いくつかの非限定的な例では、約30%~約90%、および/または約40%~約80%であり得る。
したがって、第1の部分1001には、導電性コーティング830が実質的にない。
このようにして、NIC810は、シャドウマスクを使用することを含めて選択的に堆積され得、第1の電極120、第2の電極140、補助電極1750、バスバー4150、および/またはそのうちの少なくとも1つの層、ならびに/もしくはそれらに電気的に結合された導電性要素のうちの少なくとも1つを含むがこれらに限定されないデバイス特徴部を形成するように、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用することを含むがこれらに限定されない、導電性コーティング830が堆積されることを可能にする。
図11A~11Bは、図7の蒸発プロセス700によることを含むがこれに限定されない、第1の部分701上に選択的に堆積されたNIC810が実質的にない基部材料(図では、例示を簡単にするために、基板110のみ)の露出層表面111の第2の部分702上、およびNIC810が堆積された第1の部分701のNPC部分1103上に導電性コーティング830を選択的に堆積するための、チャンバ70内での、概して1100で示す蒸発プロセスの非限定的な例を示す。
図11Aは、プロセス1100の段階1101を説明し、ここで、NIC810が基部材料(図では、基板110)の露出層表面111の第1の部分701上に堆積されると、NPC1120が、第1の部分701内の基板110上に堆積されたNIC810の露出層表面111のNPC部分1103上に堆積され得る。図では、非限定的な例として、NPC部分1103は、第1の部分701内に完全に延在する。
段階1101では、ある量のNPC材料1121が真空下で加熱されて、NPC材料1121を蒸発および/または昇華させる1122。いくつかの非限定的な例では、NPC材料1121は、NPC1120を形成するために使用される材料を、完全に、および/または実質的に含む。蒸発したNPC材料1122は、矢印1110で示す方向を含めて、第1の部分701およびNPC部分1103の露出層表面111に向かって、チャンバ70を通して方向付けられる。蒸発したNPC材料1122が露出層表面111のNPC部分1103に入射するとき、NPC1120がその上に形成される。
いくつかの非限定的な例では、NPC材料1121の堆積は、オープンマスク堆積技法および/またはマスクフリー堆積技法を使用して実行することができ、その結果、NPC1120は、基部材料(図では、第1の部分701全体のNIC810、および/または第2の部分702を通る基板110であり得る)の露出層表面111全体にわたって実質的に形成されて、(NPC1120の)処理された表面を生成する。
いくつかの非限定的な例では、段階1101について図に示すように、NPC1120は、いくつかの非限定的な例ではFMMであり得るシャドウマスク1125を、NPC材料1121と露出層表面111との間に挿入することによって、一部分、示す例では、(図では、NIC810の)露出層表面111のNPC部分1103上にのみ選択的に堆積され得る。シャドウマスク1125は、蒸発したNPC材料1122の一部がアパーチャ1126を通過し、露出層表面111(図では、非限定的な例として、NPC部分1103内のNIC810のみの)に入射して、NPC1120を形成するように、シャドウマスク1125を通って延在する少なくとも1つのアパーチャ1126を有する。蒸発したNPC材料1122がアパーチャ1126を通過せず、シャドウマスク1125の表面1127に入射する場合、NPC1120を形成するために露出層表面111上に配設されることが妨げられる。したがって、NPC部分1103を越えて位置する露出層表面111の部分1102には、NPC1120が実質的にない。いくつかの非限定的な例(図示せず)では、シャドウマスク1125に入射する蒸発したNPC材料1122は、その表面1127上に堆積され得る。
第1の部分701内のNIC810の露出層表面111は、導電性コーティング830について比較的低い初期付着確率Sを示すが、いくつかの非限定的な例では、これは、NPCコーティング1120がNPC部分1103内の(図では、NIC810の)露出層表面上に依然として選択的に堆積されているように、NPCコーティング1120についての場合に必ずしも当てはまらない場合がある。
したがって、パターニング表面は、NPC1120の堆積の完了時に生成される。
図11Bは、プロセス1100の段階1104を説明し、ここで、NIC810が基部材料(図では、基板110)の露出層表面111の第1の部分701上に堆積され、NPC1120が(図では、NIC810の)露出層表面111のNPC部分1103上に堆積されると、導電性コーティング830が、露出層表面111(図では、基板110)のNPC部分1103および第2の部分702上に堆積され得る。
段階1104では、ある量の導電性コーティング材料831が真空下で加熱されて、導電性コーティング831を蒸発および/または昇華させる832。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831は、導電性コーティング830を形成するために使用される材料を、完全に、および/または実質的に含む。蒸発した導電性コーティング材料832は、矢印1120で示す方向を含めて、NPC部分1103の第1の部分701および第2の部分702の露出層表面111に向かって、チャンバ70を通して方向付けられる。蒸発した導電性コーティング材料832が(NPC1120の)露出層表面111のNPC部分1103および(基板110の)露出層表面111の第2の部分702、つまりNIC810の露出層表面111以外に入射するとき、導電性コーティング830は、それらの上に形成される。
いくつかの非限定的な例では、段階1104について図に示すように、導電性コーティング830の堆積は、導電性コーティング830が基部材料(基部材料がNIC810である場合以外)の露出層表面111全体にわたって実質的に形成されて、(導電性コーティング830の)処理された表面を生成するように、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して実行することができる。
実際、図11Bに示すように、蒸発した導電性コーティング材料832は、NPC部分1103を越えて位置する第1の部分701にわたるNIC810の露出層表面111、ならびにNPC部分1103にわたるNPC1120の露出層表面111およびNIC810が実質的にない第2の部分702にわたる基板110の露出層表面111の両方に入射する。
NPC部分1103を越えて位置する第1の部分701内のNIC810の露出層表面111は、第2の部分702内の基板110の露出層表面111と比較して、導電性コーティング830について比較的低い初期付着確率Sを示すため、ならびに/もしくはNPC部分1103内のNPC1120の露出層表面111は、NPC部分1103を越えて位置する第1の部分701内のNIC810の露出層表面111、および第2の部分702内の基板110の露出層表面111の両方と比較して、導電性コーティング830について比較的高い初期付着確率Sを示すため、導電性コーティング830は、NIC810が実質的にない、NPC部分1103および第2の部分702内の基板110の露出層表面111上にのみ実質的に選択的に堆積される。対照的に、NPC部分1103を越えて位置する第1の部分701にわたるNIC810の露出層表面111に入射する蒸発した導電性コーティング材料832は、示すように堆積されない傾向があり(1123)、NPC部分1103を越えて位置する第1の部分701にわたるNIC810の露出層表面111には導電性コーティング830が実質的にない。
したがって、パターニング表面は、導電性コーティング830の堆積の完了時に生成される。
図12A~12Cは、基部材料の露出層表面111の第2の部分1202(図12C)上に導電性コーティング830を選択的に堆積させるための、チャンバ70内での、概して1200で示す蒸発プロセスの非限定的な例を示す。
図12Aは、プロセス1200の段階1201を説明し、ここで、ある量のNPC材料1121が真空下で加熱されて、NPC材料1121を蒸発および/または昇華させる1122。いくつかの非限定的な例では、NPC材料1121は、NPC1120を形成するために使用される材料を、完全に、および/または実質的に含む。蒸発したNPC材料1122は、矢印1210で示す方向を含めて、露出層表面111(図では、基板110)に向かって、チャンバ70を通して方向付けられる。
いくつかの非限定的な例では、NPC材料1121の堆積は、NPC1120が基部材料(図では、基板110)の露出層表面111全体にわたって実質的に形成されて、(NPC1120の)処理された表面を生成するように、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して実行することができる。
いくつかの非限定的な例では、段階1201について図に示すように、NPC1120は、いくつかの非限定的な例ではFMMであり得るシャドウマスク1125を、NPC材料1121と露出層表面111との間に挿入することによって、一部分、示す例では、露出層表面111のNPC部分1103上にのみ選択的に堆積され得る。シャドウマスク1125は、蒸発したNPC材料1122の一部がアパーチャ1126を通過し、露出層表面111に入射して、NPC部分1103にNPC1120を形成するように、シャドウマスク1125を通って延在する少なくとも1つのアパーチャ1126を有する。蒸発したNPC材料1122がアパーチャ1126を通過せず、シャドウマスク1125の表面1127に入射する場合、NPC部分1103を越えて位置する露出層表面111の部分1102内にNPC1120を形成するために露出層表面111上に配設されることが妨げられる。したがって、部分1102には、NPC1120が実質的にない。いくつかの非限定的な例(図示せず)では、シャドウマスク1125に入射するNPC材料1121は、その表面1127上に堆積され得る。
蒸発したNPC材料1122が露出層表面111に入射するとき、つまり、NPC部分1103内で、NPC1120がその上に形成される。
したがって、パターニング表面は、NPC1120の堆積の完了時に生成される。
図12Bは、プロセス1200の段階1202を説明し、ここで、NPC1120が基部材料(図では、基板110)の露出層表面111のNPC部分1103上に堆積されると、NIC810が、露出層表面111の第1の部分701上に堆積され得る。図では、非限定的な例として、第1の部分701は、NPC部分1103内に完全に延在する。結果として、図では、非限定的な例として、部分1102は、第1の部分701を越えて位置する露出層表面111のその部分を含む。
段階1202では、ある量のNIC材料1211が真空下で加熱されて、NIC材料1211を蒸発および/または昇華させる1212。いくつかの非限定的な例では、NIC材料1121は、NIC810を形成するために使用される材料を、完全に、および/または実質的に含む。蒸発したNIC材料1212は、矢印1220で示す方向を含めて、第1の部分701を越えて延在するNPC部分1103の第1の部分701、および部分1102の露出層表面111に向かって、チャンバ70を通して方向付けられる。蒸発したNIC材料1212が露出層表面111の第1の部分701に入射するとき、NIC810がその上に形成される。
いくつかの非限定的な例では、NIC材料1211の堆積は、NIC810が基部材料の露出層表面111全体にわたって実質的に形成されて、(NIC810の)処理された表面を生成するように、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して実行することができる。
いくつかの非限定的な例では、段階1202について図に示すように、NIC810は、いくつかの非限定的な例ではFMMであり得るシャドウマスク1215を、NIC材料1211と露出層表面111との間に挿入することによって、一部分、示す例では、(図では、NPC1120の)露出層表面111の第1の部分701上にのみ選択的に堆積され得る。シャドウマスク1215は、蒸発したNIC材料1212の一部がアパーチャ1216を通過し、露出層表面111(図では、非限定的な例として、NPC1120)に入射して、NIC810を形成するように、シャドウマスク1215を通って延在する少なくとも1つのアパーチャ1216を有する。蒸発したNIC材料1212がアパーチャ1216を通過せず、シャドウマスク1215の表面1217に入射する場合、第1の部分701を越える第2の部分702内にNIC810を形成するために露出層表面111上に配設されることが妨げられる。したがって、第1の部分701を越えて位置する露出層表面111の第2の部分702には、NIC810が実質的にない。いくつかの非限定的な例(図示せず)では、シャドウマスク1215に入射する蒸発したNIC材料1212は、その表面1217上に堆積され得る。
NPC部分1103内のNPC1120の露出層表面111は、導電性コーティング830について比較的高い初期付着確率Sを示すが、いくつかの非限定的な例では、これは、NICコーティング810についての場合に必ずしも当てはまらない場合がある。そうであっても、いくつかの非限定的な例では、NICコーティング810についてのそのような親和性は、NICコーティング810が依然として第1の部分701内の(図ではNPC1120の)露出層表面111上に選択的に堆積されるようにすることができる。
したがって、パターニング表面は、NIC810の堆積の完了時に生成される。
図12Cは、プロセス1200の段階1204を説明し、ここで、NIC810が基部材料(図では、NPC1120)の露出層表面111の第1の部分701上に堆積されると、導電性コーティング830が、(図では、NPC部分1103を越える部分1102にわたる基板110の、および第1の部分701を越えるNPC部分1103にわたるNPC1120の)露出層表面111の第2の部分702上に堆積され得る。
段階1204では、ある量の導電性コーティング材料831が真空下で加熱されて、導電性コーティング831を蒸発および/または昇華させる832。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング材料831は、導電性コーティング830を形成するために使用される材料を、完全に、および/または実質的に含む。蒸発した導電性コーティング材料832は、矢印1230で示す方向を含めて、NPC部分1103の第1の部分701、およびNPC部分1103を越える部分1102の露出層表面111に向かって、チャンバ70を通して方向付けられる。蒸発した導電性コーティング材料832が第1の部分701を越える(NPC1120の)露出層表面111のNPC部分1103、および(基板110の)露出層表面111のNPC部分1103を越える部分1102、つまりNIC810の露出層表面111以外の第2の部分702に入射するとき、導電性コーティング830は、それらの上に形成される。
いくつかの非限定的な例では、段階1204について図に示すように、導電性コーティング830の堆積は、導電性コーティング830が基部材料(基部材料がNIC810である場合以外)の露出層表面111全体にわたって実質的に形成されて、(導電性コーティング830の)処理された表面を生成するように、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して実行することができる。
実際、図12Cに示すように、蒸発した導電性コーティング材料832は、NPC部分1103内に位置する第1の部分701にわたるNIC810の露出層表面111、ならびに第1の部分701を越えて位置するNPC部分1103にわたるNPC1120の露出層表面111およびNPC部分1103を越えて位置する部分1102にわたる基板110の露出層表面111の両方に入射する。
第1の部分701内のNIC810の露出層表面111は、NPC部分1103を越えて位置する第2の部分702内の基板110の露出層表面111と比較して、導電性コーティング830について比較的低い初期付着確率Sを示すため、ならびに/もしくは第1の部分701を越えて位置するNPC部分1103内のNPC1120の露出層表面111は、第1の部分701内のNIC810の露出層表面111、およびNPC部分1103を越えて位置する部分1102内の基板110の露出層表面111の両方と比較して、導電性コーティング830について比較的高い初期付着確率Sを示すため、導電性コーティング830は、NIC810が実質的にない、第1の部分701を越えて位置するNPC部分1103内、およびNPC部分1103を越えて位置する部分1102上の基板110の露出層表面111上にのみ実質的に選択的に堆積される。対照的に、第1の部分701にわたるNIC810の露出層表面111に入射する蒸発した導電性コーティング材料832は、示すように堆積されない傾向があり(1233)、第1の部分701にわたるNIC810の露出層表面111には導電性コーティング830が実質的にない。
したがって、パターニング表面は、導電性コーティング830の堆積の完了時に生成される。
いくつかの非限定的な例では、第2の部分702内の露出層表面111上の蒸発した導電性コーティング材料832の初期堆積速度は、第1の部分701内のNIC810の露出層表面111上の蒸発した導電性コーティング材料832の初期堆積速度の少なくとも約200倍および/またはそれを超える、少なくとも約550倍および/またはそれを超える、少なくとも約900倍および/またはそれを超える、少なくとも約1,000倍および/またはそれを超える、少なくとも約1,500倍および/またはそれを超える、少なくとも約1,900倍および/またはそれを超える、ならびに/もしくは約2,000倍および/またはそれを超える場合がある。
図13A~13Cは、基部材料(図では、例示を簡単にするために、基板110のみ)の露出層表面111上に、いくつかの非限定的な例ではNIC810および/またはNPC1120であり得る選択的コーティング710を選択的に堆積させるための、概して1300で示す、印刷プロセスの非限定的な例を示す。
図13Aはプロセス1300の段階を説明し、ここで、その上に突起1311を有するスタンプ1310は、突起1311の露出層表面1312上に選択的コーティング710が設けられる。当業者は、選択的コーティング710が、様々な好適なメカニズムを使用して、突起表面1312上に堆積および/または堆積され得ることを理解するであろう。
図13Bはプロセス1300の段階を説明し、ここで、選択的コーティング710は、露出層表面111と接触し、露出層表面111に接着するように、スタンプ1310が露出層表面111との近位1301へと運ばれる。
図13Cはプロセス1300の段階を説明し、ここで、スタンプ1310は、露出層表面111上に堆積された選択的コーティング710を残して、露出層表面111から離れて移動される1303。
パターン化された電極の選択的堆積
少なくとも1つの導電性コーティング830の選択的堆積をもたらして、高温導電性コーティング830堆積プロセス内でFMMを採用することなく、いくつかの非限定的な例では第2の電極140および/または補助電極1750であり得得るパターン化された電極120、140、1750、4150を形成するために、前述のものを組み合わせることができる。いくつかの非限定的な例では、そのようなパターニングは、デバイス100の透過性を許容および/または強化することができる。
図14は、平面図でパターン化された電極1400の例、図では、デバイス100のバージョン1500の例(図15)での使用に好適な第2の電極140を示している。電極1400は、パターン化された複数のアパーチャ1420をその中に有するか、または画定する単一の連続構造を含むパターン1410で形成され、ここで、アパーチャ1420は、カソード342がないデバイス100の領域に対応する。
図では、非限定的な例として、パターン1410は、(サブ)ピクセル340/264xに対応する発光領域1910の横側面410、およびそのような発光領域1910を取り囲む非発光領域1920の横側面420を区別することなく、デバイス1500の横範囲全体にわたって配設される。したがって、示す例は、本明細書に開示するように、デバイス1500の外部表面に入射する光に対して実質的に透過性であり、その結果、デバイス1500内で内部的に生じた光子の放出(上面発光、下面発光、および/または両面発光で)に加えて、かなりの一部のそのような外部入射光がデバイス1500を透過することができるデバイス1500に対応することができる。
デバイス1500の透過性は、アパーチャ1420の平均サイズ、ならびに/もしくはアパーチャ1420の間隔および/または密度を含むがこれらに限定されない、採用されるパターン1410を変更することによって調節および/または調整され得る。
ここで、図15を参照すると、図14の線15-15に沿って取られた、デバイス1500の断面図を示している。図では、デバイス1500を、基板110、第1の電極120、および少なくとも1つの半導電性層130を含むものとして示す。いくつかの非限定的な例では、NPC1120が、少なくとも1つの半導電性層130の露出層表面111の実質的にすべてに配設される。いくつかの非限定的な例では、NPC1120は省略することができる。
NIC810は、図に示すように、NPC1120である(が、いくつかの非限定的な例では、NPC1120が省略されている場合、少なくとも1つの半導電性層130であり得る)、基部材料の露出層表面111上のパターン1410に実質的に対応するパターンで選択的に配設される。
図では、第2の電極140である、パターン化された電極1400を形成するのに好適な導電性コーティング830は、高温導電性コーティング堆積プロセス中に任意のFMMをいずれも採用しない、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して、基部材料の露出層表面111の実質的にすべてに配設される。基部材料は、パターン1410で配設されたNIC810の領域、およびNIC810が堆積されていない、パターン1410でのNPC1120の領域の両方を含む。いくつかの非限定的な例では、NIC810の領域は、パターン1410に示すアパーチャ1420を含む第1の部分に実質的に対応し得る。
NIC810が配設されたパターン1410のそれらの領域(アパーチャ1420に対応する)の核生成抑制特性のために、そのような領域上に配設された導電性コーティング830は残らない傾向があり、その結果、導電性コーティング830が実質的にないアパーチャ1420に対応するパターン1410の第1の部分のそれらの領域を残しつつ、パターン1410の残りに実質的に対応する導電性コーティング830の選択的堆積のパターンが得られる。
換言すれば、カソード342を形成する導電性コーティング830は、パターン1410内のアパーチャ1420を取り囲むが占領しないNPC1120のこれらの領域を含む第2の部分上にのみ実質的に選択的に堆積される。
図16Aは、電極120、140、1750の複数のパターン1620、1640を示す概略図を平面図で示す。
いくつかの非限定的な例では、第1のパターン1620は、第1の横方向に延在する複数の細長い離間領域を含む。いくつかの非限定的な例では、第1のパターン1620は、複数の第1の電極120を含み得る。いくつかの非限定的な例では、第1のパターン1620を構成する複数の領域は、電気的に結合され得る。
いくつかの非限定的な例では、第2のパターン1640は、第2の横方向に延在する複数の細長い離間領域を含む。いくつかの非限定的な例では、第2の横方向は、第1の横方向に実質的に垂直であり得る。いくつかの非限定的な例では、第2のパターン1640は、複数の第2の電極140を含み得る。いくつかの非限定的な例では、第2のパターン1640を構成する複数の領域は、電気的に結合され得る。
いくつかの非限定的な例では、第1のパターン1620および第2のパターン1640は、複数のPMOLED要素を含み得る、概して1600(図16C)で示す、デバイス100のバージョンの例の一部を形成し得る。
いくつかの非限定的な例では、(サブ)ピクセル340/264xに対応する発光領域1910の横側面410は、第1のパターン1620が第2のパターン1640と重なって形成される。いくつかの非限定的な例では、非発光領域1920の横側面420は、横側面410以外の任意の横側面に対応する。
いくつかの非限定的な例では、いくつかの非限定的な例では電源15の正端子であり得る第1の端子は、第1のパターン1620の少なくとも1つの電極120、140、1750に電気的に結合される。いくつかの非限定的な例では、第1の端子は、少なくとも1つの駆動回路300を通して第1のパターン1620の少なくとも1つの電極120、140、1750に結合される。いくつかの非限定的な例では、いくつかの非限定的な例では電源15の負端子であり得る第2の端子は、第2のパターン1640の少なくとも1つの電極120、140、1750に電気的に結合される。いくつかの非限定的な例では、第2の端子は、少なくとも1つの駆動回路300を通して第2のパターン1740の少なくとも1つの電極120、140、1750に結合される。
ここで、図16Bを参照すると、図16Aの線16B-16Bに沿って取られた、堆積段階1600bでの、デバイス1600の断面図を示している。図では、段階1600bにあるデバイス1600を、基板110を含むものとして示す。いくつかの非限定的な例では、NPC1120が、基板110の露出層表面111に配設される。いくつかの非限定的な例では、NPC1120は省略することができる。
NIC810は、図に示すように、NPC1120である基部材料の露出層表面111上の第1のパターン1620の逆に実質的に対応するパターンで選択的に配設される。
図では、第1の電極120である、電極120、140、1750の第1のパターン1620を形成するのに好適な導電性コーティング830は、高温導電性コーティング堆積プロセス中に任意のFMMをいずれも採用しない、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して、基部材料の露出層表面111の実質的にすべてに配設される。基部材料は、第1のパターン1620の逆で配設されたNIC810の領域、およびNIC810が堆積されていない、第1のパターン1620で配設されたNPC1120の領域の両方を含む。いくつかの非限定的な例では、NPC1120の領域は、第1のパターン1620の細長い離間領域に実質的に対応することができ、一方、NIC810の領域は、それらの間にギャップを含む第1の部分に実質的に対応することができる。
NIC810が配設された第1のパターン1620のそれらの領域(それらの間のギャップに対応する)の核生成抑制特性のために、そのような領域上に配設された導電性コーティング830は残らない傾向があり、導電性コーティング830が実質的にないそれらの間のギャップを含む第1の部分を残しつつ、第1のパターン1620の細長い離間領域に実質的に対応する導電性コーティング830の選択的堆積のパターンが得られる。
換言すれば、電極120、140、1750の第1のパターン1620を形成する導電性コーティング830は、第1のパターン1620の細長い離間領域を画定するNPC1120(または、いくつかの非限定的な例では、NPC1120が省略されている場合、基板110)のこれらの領域を含む第2の部分上にのみ実質的に選択的に堆積される。
ここで、図16Cを参照すると、図16Aの線16C-16Cに沿って取られた、デバイス1600の断面図を示している。図では、デバイス1600を、基板110、図16Bに示すように堆積された電極120の第1のパターン1620、および少なくとも1つの半導電性層130を含むものとして示す。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの半導電性層130は、デバイス1600の横側面の実質的にすべてにわたる共通の層として提供され得る。
いくつかの非限定的な例では、NPC1120が、少なくとも1つの半導電性層130の露出層表面111の実質的にすべてに配設される。いくつかの非限定的な例では、NPC1120は省略することができる。
NIC810は、図に示すように、NPC1120である(が、いくつかの非限定的な例では、NPC1120が省略されている場合、少なくとも1つの半導電性層130であり得る)、基部材料の露出層表面111上の第2のパターン1640に実質的に対応するパターンで選択的に配設される。
図では、第2の電極140である、電極120、140、1750の第2のパターン1640を形成するのに好適な導電性コーティング830は、高温導電性コーティング堆積プロセス中に任意のFMMをいずれも採用しない、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して、基部材料の露出層表面111の実質的にすべてに配設される。基部材料は、第2のパターン1640の逆で配設されたNIC810の領域、およびNIC810が堆積されていない、第2のパターン1640でのNPC1120の領域の両方を含む。いくつかの非限定的な例では、NPC1120の領域は、第2のパターン1640の細長い離間領域を含む第1の部分に実質的に対応することができ、一方、NIC810の領域は、それらの間のギャップに実質的に対応することができる。
NIC810が配設された第2のパターン1640のそれらの領域(それらの間のギャップに対応する)の核生成抑制特性のために、そのような領域上に配設された導電性コーティング830は残らない傾向があり、導電性コーティング830が実質的にないそれらの間のギャップを含む第1の部分を残しつつ、第2のパターン1640の細長い離間領域に実質的に対応する導電性コーティング830の選択的堆積のパターンが得られる。
換言すれば、電極120、140、1750の第2のパターン1640を形成する導電性コーティング830は、第2のパターン1640の細長い離間領域を画定するNPC1120のこれらの領域を含む第2の部分上にのみ実質的に選択的に堆積される。
いくつかの非限定的な例では、電極120、140、1750の第1のパターン1620および/または第2のパターン1640のいずれかまたは両方を形成するためにその後に堆積されるNIC810ならびに導電性コーティング830の厚さは、所望の用途および所望の性能特徴を含むがこれらに限定されない、様々なパラメータに従って変わり得る。いくつかの非限定的な例では、NIC810の厚さは、その後に堆積される導電性コーティング830の厚さと同等、および/または実質的にそれよりも小さくてもよい。その後に堆積される導電性コーティングの選択的パターニングを達成するための比較的薄いNIC810の使用は、PMOLEDデバイスを含むがこれに限定されない、可撓性デバイス1600を提供するのに好適であり得る。いくつかの非限定的な例では、比較的薄いNIC810は、バリアコーティング1650または他の薄膜カプセル化(TFE)層を堆積させることができる比較的平坦な表面を提供し得る。いくつかの非限定的な例では、バリアコーティング1650の塗布のためにそのような比較的平坦な表面を提供することは、そのような表面へのバリアコーティング1650の接着を高めることができる。
電極120、140、1750の第1のパターン1620のうちの少なくとも1つおよび電極120、140、1750の第2のパターン1640のうちの少なくとも1つは、直接か、および/またはいくつかの非限定的な例では、(サブ)ピクセル340/264xに対応する発光領域1910の横側面410からの光子放出を制御するためのそれらのそれぞれの駆動回路300を通すかにかかわらず、電源15に電気的に結合され得る。
当業者は、図16A~16Cに示す第2のパターン1640で第2の電極140を形成するプロセスが、いくつかの非限定的な例では、デバイス1600用の補助電極1750を形成するために同様の様式で使用され得ることを理解するであろう。いくつかの非限定的な例では、その第2の電極140は、共通電極を含むことができ、補助電極1750は、いくつかの非限定的な例では、第2の電極140の上方またはいくつかの非限定的な例ではその下方に第2のパターン1640で堆積されて、第2の電極140に電気的に結合することができる。いくつかの非限定的な例では、そのような補助電極1750用の第2のパターン1640は、第2のパターン1640の細長い離間領域が(サブ)ピクセル340/264xに対応する発光領域1910の横側面410を取り囲む非発光領域1920の横側面420内に実質的に位置するようにすることができる。いくつかの非限定的な例では、そのような補助電極1750用の第2のパターン1640は、第2のパターン1640の細長い離間領域が(サブ)ピクセル340/264xに対応する発光領域1910の横側面410、ならびに/もしくはそれらを取り囲む非発光領域1920の横側面420内に実質的に位置するようにすることができる。
図17は、デバイス100と実質的に同様であるが、上記のパターンで配設され、第2の電極140と電気的に結合された(図示せず)少なくとも1つの補助電極1750をさらに含む、デバイス100のバージョン1700の例の断面図の例を示す。
補助電極1750は導電性である。いくつかの非限定的な例では、補助電極1750は、少なくとも1つの金属および/または金属酸化物によって形成され得る。そのような金属の非限定的な例には、Cu、Al、モリブデン(Mo)および/またはAgが含まれる。非限定的な例として、補助電極1750は、Mo/Al/Moによって形成されたものを含むがこれに限定されない多層金属構造を含み得る。そのような金属酸化物の非限定的な例には、ITO、ZnO、IZO、ならびに/またはInおよび/もしくはZnを含有する他の酸化物が含まれる。いくつかの非限定的な例では、補助電極1750は、Ag/ITO、Mo/ITO、ITO/Ag/ITOおよび/またはITO/Mo/ITOを含むがこれらに限定されない、少なくとも1つの金属および少なくとも1つの金属酸化物の組み合わせによって形成される多層構造を含み得る。いくつかの非限定的な例では、補助電極1750は、複数のそのような導電性材料を含む。
デバイス1700を、基板110、第1の電極120、および少なくとも1つの半導電性層130を含むものとして示す。
いくつかの非限定的な例では、NPC1120が、少なくとも1つの半導電性層130の露出層表面111の実質的にすべてに配設される。いくつかの非限定的な例では、NPC1120は省略することができる。
第2の電極140は、NPC1120(または、NPC1120が省略されている場合は、少なくとも1つの半導電性層130)の露出層表面111の実質的にすべてに配置される。
いくつかの非限定的な例では、特に上面発光デバイス1700では、第2の電極140は、非限定的な例として、第2の電極140の存在に関係する光学干渉(減衰、反射、および/または拡散を含むがこれらに限定されない)を低減するために、比較的薄い導電性膜層(図示せず)を堆積させることによって形成され得る。いくつかの非限定的な例では、他の箇所で考察されるように、第2の電極140の厚さを低減することにより、概して、第2の電極140のシート抵抗が増加する場合があり、これにより、いくつかの非限定的な例では、デバイス1700の性能および/または効率が低下する場合がある。第2の電極140に電気的に結合される補助電極1750を提供することによって、シート抵抗、およびしたがって第2の電極140に関連するIR降下が、いくつかの非限定的な例では減少し得る。
いくつかの非限定的な例では、デバイス1700は、下面発光および/または両面発光デバイス1700であり得る。そのような例では、第2の電極140は、そのようなデバイス1700の光学特徴に実質的に影響することなく、比較的厚い導電性層として形成され得る。それにもかかわらず、そのような状況においてさえ、第2の電極140は、それにもかかわらず、非限定的な例として、比較的薄い導電性膜層(図示せず)として形成することができるため、デバイス1700は、本明細書に開示するように、デバイス1700内で内部的に生じた光子の放出に加えて、そのような外部入射光のかなりの一部がデバイス1700を通って透過することができるように、その外部表面に入射する光に対して実質的に透過性であり得る。
NIC810は、図に示すように、NPC1120である基部材料の露出層表面111上のパターンで選択的に配設される。いくつかの非限定的な例では、図に示すように、NIC810は、一連の平行な列1720としてのパターンの第1の部分で配設され得る。
パターン化された補助電極1750を形成するのに好適な導電性コーティング830は、高温導電性コーティング堆積プロセス中に任意のFMMをいずれも採用しない、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して、基部材料の露出層表面111の実質的にすべてに配設される。基部材料は、行1720のパターンで配設されたNIC810の領域、およびNIC810が堆積されていない、NPC1120の領域の両方を含む。
NIC810が配設されたそれらの行1720の核生成抑制特性のために、そのような行1720上に配設された導電性コーティング830は残らない傾向があり、導電性コーティング830が実質的にない行1720を含む第1の部分を残しつつ、パターンの少なくとも1つの第2の部分に実質的に対応する導電性コーティング830の選択的堆積のパターンが得られる。
換言すれば、補助電極1750を形成する導電性コーティング830は、行1720を取り囲むが占領しないNPC1120のこれらの領域を含む第2の部分上にのみ実質的に選択的に堆積される。
いくつかの非限定的な例では、デバイス1700の横側面のある特定の行1720のみを被覆し、一方、それらの他の領域は被覆されないままであるように補助電極1750を選択的に堆積することにより、補助電極1750の存在に関係する光学干渉を制御および/または低減することができる。
いくつかの非限定的な例では、補助電極1750は、通常の視距離から肉眼で容易に検出することができないパターンで選択的に堆積され得る。
いくつかの非限定的な例では、補助電極1750は、そのようなデバイスの電極の実効抵抗を減少させる場合を含めて、OLEDデバイス以外のデバイス内で形成され得る。
補助電極
図17に図示するプロセスを含むがこれに限定されない、選択的コーティング710を採用することにより、高温導電性コーティング830堆積プロセス中にFMMを採用することなく、第2の電極140および/または補助電極1750を含むがこれらに限定されない電極120、140、1750、4150をパターン化する能力は、補助電極1750の多数の構成を展開することができる。
図18Aは、複数の発光領域1910a~1910j、およびそれらを取り囲む少なくとも1つの非発光領域1820を有する、デバイス100のバージョン1800の例の一部を平面図で示す。いくつかの非限定的な例では、デバイス1800は、発光領域1910a~1910jの各々が(サブ)ピクセル340/264xに対応するAMOLEDデバイスであり得る。
図18B~18Dは、近接する発光領域1910aおよびその1910bの上に重なり合う補助電極1750の異なる構成1750b~1750dと併せて、その近接する発光領域1910aおよび1910bに対応するデバイス1800の一部、ならびにそれらの間の少なくとも1つの非発光領域1820の一部の例を示す。いくつかの非限定的な例では、図18B~18Dには明示的に示していないが、デバイス1800の第2の電極140は、その発光領域1910aおよび1910b、ならびにそれらの間の少なくとも1つの非発光領域1820の一部の少なくとも両方を実質的に被覆すると理解される。
図18Bでは、補助電極構成1750bは、2つの近接する発光領域1910aと1910bとの間に配設され、第2の電極140に電気的に結合される。この例では、補助電極構成1750bの幅αは、近接する発光領域1910aと1910bとの間の分離距離δよりも小さい。結果として、補助電極構成1750bの各側部上の少なくとも1つの非発光領域1820内にギャップが存在する。いくつかの非限定的な例では、そのような配置は、補助電極構成1750bが、いくつかの非限定的な例では発光領域1910aおよび1910bのうちの少なくとも1つからのデバイス1800の光学出力に干渉する可能性を低減することができる。いくつかの非限定的な例では、そのような配置は、補助電極構成1750bが比較的厚い場合(いくつかの非限定的な例では、厚さにおいて、数百nmを超えるおよび/または数ミクロン程度)に適切であり得る。いくつかの非限定的な例では、その幅に対する補助電極構成1750b高さ(厚さ)の比(「アスペクト比」)は、約0.05よりも大きい、例えば、約0.1以上、約0.2以上、約0.5以上、約0.8以上、約1以上、または約2以上であってもよい。非限定的な例として、補助電極構成1750bの高さ(厚さ)は、約50nmより大きく、例えば、約80nm以上、約100nm以上、約200nm以上、約500nm以上、約700nm以上、約1000nm以上、約1500nm以上、約1700nm以上、または約2000nm以上であってもよい。
図18Cでは、補助電極構成1750cは、2つの近接する発光領域1910aと1910bとの間に配設され、第2の電極140に電気的に結合される。この例では、補助電極構成1750cの幅αは、近接する発光領域1910aと1910bとの間の分離距離δと実質的に同じである。結果として、補助電極構成1750cのいずれの側にも少なくとも1つの非発光領域1820内にギャップは存在しない。いくつかの非限定的な例では、そのような配置は、近接する発光領域1910aと1910bとの間の分離距離δが、非限定的な例として、高ピクセル密度デバイス1800内で、比較的小さい場合に適切であり得る。
図18Dでは、補助電極1750dは、2つの近接する発光領域1910aと1910bとの間に配設され、第2の電極140に電気的に結合される。この例では、補助電極構成1750dの幅αは、近接する発光領域1910aと1910bとの間の分離距離δよりも大きい。結果として、補助電極構成1750dの一部は、近接する発光領域1910aおよび/または1910bのうちの少なくとも1つの一部と重なる。この図は、補助電極構成1750dと近接する発光領域1910aおよび1910bの各々との重なりの程度を示しているが、いくつかの非限定的な例では、重なりの程度、および/またはいくつかの非限定的な例では、補助電極構成1750dと近接する発光領域1910aおよび1910bのうちの少なくとも1つとの間の重なりのプロファイルは、変えるおよび/または調整することができる。
図19は、デバイス100のバージョン1900の例の(サブ)ピクセル340/264xに対応し得る発光領域1910の横側面410、ならびに発光領域1910を取り囲む非発光領域1920の横側面420の両方に重ね合わせられるグリッドとして形成された補助電極1750のパターン1950の例を示す概略図を平面図で示す。
いくつかの非限定的な例では、補助電極パターン1950は、発光領域1910の横側面410のいずれも実質的に被覆しないように、非発光領域1920の横側面420のすべてではなくいくつかの上にのみ実質的に延在する。
当業者は、図では、そのすべての要素が物理的に接続され、互いに電気的に結合され、少なくとも1つの電極に電気的に結合され、いくつかの非限定的な例では第1の電極120および/または第2の電極140であり得る少なくとも1つの電極120、140、1750、4150と電気的に結合するように、補助電極パターン1950が連続構造として形成されているものとして示され、一方、いくつかの非限定的な例では、補助電極パターン1950は、互いに電気的に結合されたままであるが、互いに物理的に結合されていない補助電極パターン1950の複数の個別の要素として提供され得ることを理解するであろう。そうであっても、補助電極パターン1950のそのような個別の要素は、それらの光学特徴に実質的に干渉することなく、デバイス1900の効率を高めるように、それらが電気的に結合される少なくとも1つの電極120、140、1750、4150の、結果的に、デバイス1900のシート抵抗を依然として実質的に下げることができる。
いくつかの非限定的な例では、補助電極1750は、(サブ)ピクセル340/264xの様々な配置を有するデバイス100で採用され得る。いくつかの非限定的な例では、(サブ)ピクセル340/264x配置は、実質的にダイヤモンド形状であり得る。
非限定的な例として、図20Aは、デバイス100のバージョン2000の例では、ダイヤモンド構成のPDL440を含む複数の非発光領域1920の横側面に取り囲まれた、サブピクセル264xに各々対応する発光領域1910の複数の群2041~2043の複数の群を平面図で示す。いくつかの非限定的な例では、この構成は、第1の行と第2の行の交互のパターンで発光領域1910のパターン2041~2043およびPDL440のパターンによって画定される。
いくつかの非限定的な例では、PDL440を含む非発光領域1920の横側面420は、実質的に楕円形状であり得る。いくつかの非限定的な例では、第1の行内の非発光領域1920の横側面420の主軸は、整列され、第2の行内の非発光領域1920の横側面420の主軸に実質的に垂直である。いくつかの非限定的な例では、第1の行内の非発光領域1920の横側面420の主軸は、第1の行の軸に実質的に平行である。
いくつかの非限定的な例では、発光領域1910の第1の群2041は、第1の波長で光を放出するサブピクセル264xに対応し、いくつかの非限定的な例では、第1の群2041のサブピクセル264xは、赤(R)サブピクセル2641に対応し得る。いくつかの非限定的な例では、第1の群2041の発光領域1910の横側面410は、実質的にダイヤモンド形状構成を有し得る。いくつかの非限定的な例では、第1の群2041の発光領域1910は、PDL440の前後の第1の行のパターンに位置する。いくつかの非限定的な例では、第1の群2041の発光領域1910の横側面410は、同じ行内のPDL440を含む前後の非発光領域1920の横側面420、および第2の行の前後のパターン内のPDL440を含む隣接する非発光領域1920の横側面420とわずかに重なる。
いくつかの非限定的な例では、発光領域1910の第2の群2042は、第2の波長で光を放出するサブピクセル264xに対応し、いくつかの非限定的な例では、第2の群2042のサブピクセル264xは、緑(G)サブピクセル2642に対応し得る。いくつかの非限定的な例では、第2の群2041の発光領域1910の横側面410は、実質的に楕円形状構成を有し得る。いくつかの非限定的な例では、第2の群2041の発光領域1910は、PDL440の前後の第2の行のパターン内に位置する。いくつかの非限定的な例では、第2の群2041の発光領域1910の横側面410のうちのいくつかの主軸は、いくつかの非限定的な例では、第2の行の軸に対して45°であり得る第1の角度にあってもよい。いくつかの非限定的な例では、第2の群2041の発光領域1910の横側面410の他の主軸は、いくつかの非限定的な例では、第1の角度に実質的に垂直であり得る第2の角度にあってもよい。いくつかの非限定的な例では、横側面410が第1の角度に主軸を有する第1の群2041の発光領域1910は、横側面410が第2の角度に主軸を有する第1の群2041の発光領域1910と交互になっている。
いくつかの非限定的な例では、発光領域1910の第3の群2043は、第3の波長で光を放出するサブピクセル264xに対応し、いくつかの非限定的な例では、第3の群2043のサブピクセル264xは、青(B)サブピクセル2643に対応し得る。いくつかの非限定的な例では、第3の群2043の発光領域1910の横側面410は、実質的にダイヤモンド形状構成を有し得る。いくつかの非限定的な例では、第3の群2043の発光領域1910は、PDL440の前後の第1の行のパターン内にある。いくつかの非限定的な例では、第3の群2043の発光領域1910の横側面410は、同じ行内のPDL440を含む前後の非発光領域1920の横側面410、および第2の行の前後のパターン内のPDL440を含む隣接する非発光領域1920の横側面420とわずかに重なる。いくつかの非限定的な例では、第2の行のパターンは、第1の群2041の発光領域1910、第3の群2043の交互の発光領域1910を含み、各々がPDL440の前後にある。
ここで、図20Bを参照すると、図20Aの線20B-20Bに沿って取られた、デバイス2000の断面図の例を示している。図では、デバイス2000は、基板110、およびその露出層表面111上に形成された第1の電極120の複数の要素を含むものとして示す。基板110は、ベース基板112(例示を簡単にする目的で、図示せず)、および/または各サブピクセル264xに対応する、およびそれを駆動するための少なくとも1つのTFT構造200を含み得る。PDL440は、第1の電極120の要素間の基板110にわたって形成されて、PDL440を含む非発光領域1920によって分離された、第1の電極120の各要素上の発光領域1910を画定する。図では、発光領域1910はすべて、第2の群2042に対応する。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの半導電性層130は、取り囲むPDL440間の第1の電極120の各要素上に堆積される。
いくつかの非限定的な例では、いくつかの非限定的な例では共通のカソードであり得る第2の電極140は、そのG(緑)サブピクセル2642を形成するための第2の群2042の発光領域1910上に、および取り囲むPDL440上に堆積され得る。
いくつかの非限定的な例では、NIC810は、G(緑)サブピクセル2642の第2の群2042の発光領域1910の横側面410にわたる第2の電極140上に選択的に堆積されて、NIC810が実質的にない第2の電極140の一部上の、すなわちPDL440を含む非発光領域1920の横側面420にわたる、導電性コーティング830の選択的堆積を可能にする。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、PDL440の傾斜した一部上に留まらない傾向があり得るが、NIC810でコーティングされるそのような傾斜した一部のベースへと下降する傾向があるため、導電性コーティング830は、PDL440の実質的に平坦な一部に沿って蓄積する傾向があり得る。いくつかの非限定的な例では、PDL440の実質的に平坦な一部上の導電性コーティング830は、第2の電極140に電気的に結合され得る少なくとも1つの補助電極1750を形成し得る。
いくつかの非限定的な例では、デバイス2000は、CPL3610および/またはアウトカップリング層を含み得る。非限定的な例として、そのようなCPL3610および/またはアウトカップリング層は、第2の電極140の表面および/またはNIC810の表面上に直接提供され得る。いくつかの非限定的な例では、そのようなCPL3610および/またはアウトカップリング層は、(サブ)ピクセル340/264xに対応する少なくとも1つの発光領域1910の横側面410にわたって提供され得る。
いくつかの非限定的な例では、NIC810はまた、屈折率整合コーティングとして作用し得る。いくつかの非限定的な例では、NIC810はまた、アウトカップリング層として作用し得る。
いくつかの非限定的な例では、デバイス2000は、カプセル化層を含む。そのようなカプセル化層の非限定的な例には、デバイス2000をカプセル化するために提供される、図に破線のアウトラインで示されるようなガラスキャップ、バリア膜、バリア接着剤および/またはTFE層2050が含まれる。いくつかの非限定的な例では、TFE層2050は、バリアコーティング1650のタイプとみなされ得る。
いくつかの非限定的な例では、カプセル化層は、第2の電極140および/またはNIC810のうちの少なくとも1つの上に配置され得る。いくつかの非限定的な例では、デバイス2000は、偏光板、カラーフィルタ、反射防止コーティング、防眩コーティング、カバークラスおよび/または光学的透明接着剤(OCA)を含むがこれらに限定されない、追加の光学層および/または構造層、コーティング、ならびに構成要素を含む。
ここで、図20Cを参照すると、図20Aの線20C-20Cに沿って取られた、デバイス2000の断面図の例を示している。図では、デバイス2000は、基板110、およびその露出層表面111上に形成された第1の電極120の複数の要素を含むものとして示す。PDL440は、第1の電極120の要素間の基板110にわたって形成されて、PDL440を含む非発光領域1920によって分離された、第1の電極120の各要素上の発光領域1910を画定する。図では、発光領域1910は、第1の群2041および第3の群2043に交互に対応している。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの半導電性層130は、取り囲むPDL440間の第1の電極120の各要素上に堆積される。
いくつかの非限定的な例では、いくつかの非限定的な例では共通のカソードであり得る第2の電極140は、そのR(赤)サブピクセル2641を形成するための第1の群2041の発光領域1910上に、そのB(青)サブピクセル2643を形成するための第3の群2043の発光領域1910上に、および取り囲むPDL440上に堆積され得る。
いくつかの非限定的な例では、NIC810は、R(赤)サブピクセル2641の第1の群2041、およびB(青)サブピクセル2643の第3の群の発光領域1910の横側面410にわたる第2の電極140上に選択的に堆積されて、NIC810が実質的にない第2の電極140の一部上の、すなわちPDL440を含む非発光領域1920の横側面420にわたる、導電性コーティング830の選択的堆積を可能にする。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、PDL440の傾斜した一部上に留まらない傾向があり得るが、NIC810でコーティングされるそのような傾斜した一部のベースへと下降する傾向があるため、導電性コーティング830は、PDL440の実質的に平坦な一部に沿って蓄積する傾向があり得る。いくつかの非限定的な例では、PDL440の実質的に平坦な一部上の導電性コーティング830は、第2の電極140に電気的に結合され得る少なくとも1つの補助電極1750を形成し得る。
ここで、図21を参照すると、図4の断面図に示しているが、本明細書で説明する多くの追加の堆積ステップを有するデバイス100を包含するデバイス100のバージョン2100の例を示している。
デバイス2100は、(サブ)ピクセル340/264xに対応する発光領域1910の横側面410に実質的に対応するデバイス2100の第1の部分内であるが、第1の部分を取り囲む非発光領域1920の横側面420に実質的に対応するデバイス2100の第2の部分内ではない、基部材料、図では、第2の電極140の露出層表面111上に選択的に堆積されたNIC810を示す。
いくつかの非限定的な例では、NIC810は、シャドウマスクを使用して選択的に堆積され得る。
NIC810は、導電性コーティング830についての比較的低い初期付着確率Sを有する表面を第1の部分内に提供して、補助電極1750を形成するためにその後堆積される。
NIC810の選択的堆積後、導電性コーティング830は、デバイス2100にわたって堆積されるが、NIC810が実質的にない第2の部分内にのみ実質的に留まって、補助電極1750を形成する。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。
補助電極1750は、示すように、NIC810が実質的にない第2の部分にわたる第2の電極140の上方に位置し、それと物理的に接触することによるものを含めて、第2の電極140のシート抵抗を低減するように、第2の電極140に電気的に結合される。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、第2の部分内の導電性コーティング830についての高い初期付着確率Sを確実にするように、第2の電極140と実質的に同じ材料を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、純粋なMgおよび/またはMgと、Agを含むがこれに限定されない別の金属との合金を実質的に含み得る。いくつかの非限定的な例では、Mg:Ag合金組成は、体積で約1:9~約9:1の範囲であってもよい。いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、限定されないがITOおよび/またはIZOなどの三元金属酸化物、ならびに/もしくは金属および/または金属酸化物の組み合わせを含むがこれらに限定されない金属酸化物を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、補助電極1750を形成するために使用される導電性コーティング830は、実質的に純粋なMgを含み得る。
ここで、図22を参照すると、図4の断面図に示しているが、本明細書で説明する多くの追加の堆積ステップを有するデバイス100を包含するデバイス100のバージョン2200の例を示している。
デバイス2200は、(サブ)ピクセル340/264xに対応する発光領域1910の横側面410の一部に実質的に対応するデバイス2200の第1の部分内であるが、第2の部分内ではない、基部材料、図では、第2の電極140の露出層表面111上に選択的に堆積されたNIC810を示す。図では、第1の部分は、発光領域1910を画定するPDL440の傾斜した一部の範囲に沿って部分的に延在する。
いくつかの非限定的な例では、NIC810は、シャドウマスクを使用して選択的に堆積され得る。
NIC810は、導電性コーティング830についての比較的低い初期付着確率Sを有する表面を第1の部分内に提供して、補助電極1750を形成するためにその後堆積される。
NIC810の選択的堆積後、導電性コーティング830は、デバイス2200にわたって堆積されるが、NIC810が実質的にない第2の部分内にのみ実質的に留まって、補助電極1750を形成する。したがって、デバイス2200では、補助電極1750は、発光領域1910を画定するPDL440の傾斜した一部にわたって部分的に延在する。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。
補助電極1750は、示すように、NIC810が実質的にない第2の部分にわたる第2の電極140の上方に位置し、それと物理的に接触することによるものを含めて、第2の電極140のシート抵抗を低減するように、第2の電極140に電気的に結合される。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極140が含まれ得る材料は、導電性コーティング830について高い初期付着確率Sを有しない場合がある。
図23は、図4の断面図に示しているが、本明細書で説明する多くの追加の堆積ステップを有するデバイス100を包含するデバイス100のバージョン2300の例が示すそのような状況を示している。
デバイス2300は、基部材料、図では、第2の電極140の露出層表面111上に堆積されたNPC1120を示す。
いくつかの非限定的な例では、NPC1120は、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。
その後、NIC810は、(サブ)ピクセル340/264xに対応する発光領域1910の横側面410の一部に実質的に対応するデバイス2300の第1の部分内であるが、第1の部分を取り囲む非発光領域1920の横側面420に実質的に対応するデバイス2300の第2の部分内ではない、基部材料、図では、NPC1120の露出層表面111上に選択的に堆積される。
いくつかの非限定的な例では、NIC810は、シャドウマスクを使用して選択的に堆積され得る。
NIC810は、導電性コーティング830についての比較的低い初期付着確率Sを有する表面を第1の部分内に提供して、補助電極1750を形成するためにその後堆積される。
NIC810の選択的堆積後、導電性コーティング830は、デバイス2300にわたって堆積されるが、NIC810が実質的にない第2の部分内にのみ実質的に留まって、補助電極1750を形成する。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。
補助電極1750は、シート抵抗を低減するように、第2の電極140に電気的に結合される。示すように、補助電極1750は、第2の電極140の上方には位置せず、それと物理的に接触していないが、それにもかかわらず、当業者は、補助電極1750が、多くのよく理解されたメカニズムによって第2の電極140に電気的に結合され得ることを理解するであろう。非限定的な例として、NIC810および/またはNPC1120の比較的薄い膜(いくつかの非限定的な例では、最大約50nm)の存在は、依然として、電流がその膜を通過することを可能にし、したがって第2の電極140のシート抵抗を低減することを可能にすることができる。
ここで、図24を参照すると、図4の断面図に示しているが、本明細書で説明する多くの追加の堆積ステップを有するデバイス100を包含するデバイス100のバージョン2400の例を示している。
デバイス2400は、基部材料、図では、第2の電極140の露出層表面111上に堆積されたNIC810を示す。
いくつかの非限定的な例では、NIC810は、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。
NIC810は、導電性コーティング830についての比較的低い初期付着確率Sを有する表面を提供して、補助電極1750を形成するためにその後堆積される。
NIC810の堆積後、NPC1120は、(サブ)ピクセル340/264xに対応する発光領域1910の横側面410に実質的に対応するデバイス2400の第2の部分を取り囲む非発光領域1920の横側面420の一部に実質的に対応する、デバイス2400のNPC部分内に、基部材料、図では、NIC810の露出層表面111上に選択的に堆積される。
いくつかの非限定的な例では、NPC1120は、シャドウマスクを使用して選択的に堆積され得る。
NPC1120は、導電性コーティング830についての比較的高い初期付着確率Sを有する表面を第1の部分内に提供して、補助電極1750を形成するためにその後堆積される。
NPC1120の選択的堆積後、導電性コーティング830は、デバイス2400上に堆積されるが、NIC810がNPC1120と重なり合っているNPC部分内にのみ実質的に留まって、補助電極1750を形成する。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。
補助電極1750は、第2の電極140のシート抵抗を低減するように、第2の電極140に電気的に結合される。
選択的コーティングの除去
いくつかの非限定的な例では、NIC810は、NIC810によって被覆された基部材料の予め露出された層表面111の少なくとも一部が再び露出され得るように、導電性コーティング830の堆積の後に除去され得る。いくつかの非限定的な例では、NIC810は、NIC810をエッチングならびに/または溶解することによって、かつ/あるいは導電性コーティング830に実質的に影響しないか、もしくは損耗しないプラズマならびに/または溶媒加工技法を採用することによって選択的に除去され得る。
ここで、図25Aを参照すると、NIC810が基部材料の露出層表面111の第1の部分上に選択的に堆積された、堆積段階2500aでのデバイス100のバージョン2500の例の断面図の例を示している。図では、基部材料は、基板110であり得る。
図25Bでは、デバイス2500を、堆積段階2500bで示し、ここで、導電性コーティング830は、基部材料の露出層表面111上、つまり段階2500a中にNIC810が堆積されたNIC810の露出層表面111、およびそのNIC810が段階2500a中に堆積されなかった基板110の露出層表面111の両方の上に堆積される。NIC810が配設された第1の部分の核生成抑制特性のために、その上に配設された導電性コーティング830は残らない傾向があり、導電性コーティングが実質的にない第1の部分を残しつつ、第2の部分に対応する導電性コーティング830の選択的堆積のパターンが得られる。
図25Cでは、デバイス2500を、堆積段階2500cに示し、ここで、NIC810は、段階2500b中に堆積された導電性コーティング830が基板110上に留まり、段階2500a中にNIC810が堆積された基板110の領域がここで露出または被覆されていないように、基板110の露出層表面111の第1の部分から除去されている。
いくつかの非限定的な例では、段階2500c内のNIC810の除去は、導電性コーティング830に実質的に影響を及ぼすことなく、NIC810と反応および/またはエッチング除去する溶媒および/またはプラズマにデバイス2500を曝露することによって実現することができる。
透明OLED
ここで、図26Aを参照すると、デバイス100の、概して2600で示す、透過性(透明)バージョンの平面図の例を示している。いくつかの非限定的な例では、デバイス2600は、複数のピクセル領域2610および複数の透過性領域2620を有するAMOLEDデバイスである。いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの補助電極1750は、ピクセル領域2610および/または透過性領域2620の間の基部材料の露出層表面111上に堆積され得る。
いくつかの非限定的な例では、各ピクセル領域2610は、サブピクセル264xに各々対応する複数の発光領域1910を含み得る。いくつかの非限定的な例では、サブピクセル264xは、それぞれ、R(赤)サブピクセル2641、G(緑)サブピクセル2642、および/またはB(青)サブピクセル2643に対応し得る。
いくつかの非限定的な例では、各透過性領域2620は、実質的に透明であり、光がその断面側面の全体を通過することを可能にする。
ここで、図26Bを参照すると、図26Aの線26B-26Bに沿って取られた、デバイス2600の断面図の例を示している。図では、デバイス2600は、基板110、TFT絶縁層280、およびTFT絶縁層280の表面上に形成された第1の電極120を含むものとして示されている。基板110は、ベース基板112(例示を簡単にするために、図示せず)、および/または実質的に少なくとも1つ1つのTFT構造200の下に位置決めされ、その第1の電極120に電気的に結合された各サブピクセル264xに対応し、およびそれを駆動するための少なくとも1つ1つのTFT構造200を含み得る。PDL440は、基板110上に非発光領域1920内に形成されて、それに対応する第1の電極120上に各サブピクセル264xにも対応する発光領域1910を画定する。PDL440は、第1の電極120の縁部を被覆する。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの半導電性層130は、第1の電極120の露出領域、およびいくつかの非限定的な例では取り囲むPDL440の少なくとも一部にわたって堆積される。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、そのサブピクセル264xを形成するためのピクセル領域2610上を含む少なくとも1つの半導電性層130上、およびいくつかの非限定的な例では、透過性領域2620内の取り囲むPDL440上に少なくとも部分的に堆積され得る。
いくつかの非限定的な例では、NIC810は、ピクセル領域2610および透過性領域2620の両方を含むが、補助電極1750に対応する第2の電極140の領域を含まない、デバイス2600の第1の部分上に選択的に堆積される。
次いで、いくつかの非限定的な例では、デバイス2600の表面全体は、いくつかの非限定的な例ではMgであり得る導電性コーティング830の蒸気フラックスに曝露される。導電性コーティング830は、NIC810が実質的にない第2の電極140の第2の部分上に選択的に堆積されて、第2の電極140のコーティングされていない一部に電気的に結合され、いくつかの非限定的な例ではそれと物理的に接触する補助電極1750を形成する。
同時に、デバイス2600の透過性領域2620には、それを通る光の透過に実質的に影響し得る任意の材料が実質的にないままである。特に、図に示すように、TFT構造200および第1の電極120は、それらに対応するサブピクセル264xの下方の断面側面内に位置決めされ、補助電極1750と一緒に、透過性領域2620を越えて位置する。結果として、これらの構成要素は、光が透過性領域2620を透過することを減衰または妨害しない。いくつかの非限定的な例では、そのような配置により、いくつかの非限定的な例では(サブ)ピクセル340/264xのすべてが発光しておらず、したがって透明なAMOLEDデバイス2600を作成しているとき、通常の視距離からデバイス2600を見る者がデバイス2600を通して見ることが可能になる。
図には示していないが、いくつかの非限定的な例では、デバイス2600は、補助電極1750と第2の電極140との間に配設されたNPC1120をさらに含み得る。いくつかの非限定的な例では、NPC1120はまた、NIC810と第2の電極140との間に配設され得る。
いくつかの非限定的な例では、NIC810は、少なくとも1つの半導電性層130と同時に形成され得る。非限定的な例として、NIC810を形成するために使用される少なくとも1つの材料はまた、少なくとも1つの半導電性層130を形成するために使用され得る。そのような非限定的な例では、デバイス2600を製作するための多くの段階を削減することができる。
当業者は、いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの半導電性層130および/または第2の電極140を形成するものを含むがこれらに限定されない、様々な他の層ならびに/もしくはコーティングが、特にそのような層および/またはコーティングが実質的に透明である場合、透過性領域2620の一部を被覆し得ることを理解するであろう。いくつかの非限定的な例では、PDL440は、いくつかの非限定的な例では発光領域1910のために画定されたウェルとそれほど異ならないウェルをその中に形成して、透過性領域2620を通る光透過をさらに容易にすることを含むがこれに限定されない、低減した厚さを有し得る。
当業者は、図26Aおよび26Bに示す配置以外の(サブ)ピクセル340/264x配置が、いくつかの非限定的な例では採用され得ることを理解するであろう。
当業者は、図26Aおよび26Bに示す配置以外の補助電極1750の配置が、いくつかの非限定的な例では採用され得ることを理解するであろう。非限定的な例として、補助電極1750は、ピクセル領域2610と透過性領域2620との間に配設され得る。非限定的な例として、補助電極1750は、ピクセル領域2610内のサブピクセル264x間に配設され得る。
ここで、図27Aを参照すると、デバイス100の、概して2700で示す、透明バージョンの平面図の例を示している。いくつかの非限定的な例では、デバイス2700は、複数のピクセル領域2610および複数の透過性領域2620を有するAMOLEDデバイスである。デバイス2700は、補助電極1750がピクセル領域2610および/または透過性領域2620の間に位置しないという点で、デバイス2600とは異なる。
いくつかの非限定的な例では、各ピクセル領域2610は、サブピクセル264xに各々対応する複数の発光領域1910を含み得る。いくつかの非限定的な例では、サブピクセル264xは、それぞれ、R(赤)サブピクセル2641、G(緑)サブピクセル2642および/またはB(青)サブピクセル2643に対応し得る。
いくつかの非限定的な例では、各透過性領域2620は、実質的に透明であり、光がその断面側面の全体を通過することを可能にする。
ここで、図27Bを参照すると、図27Aの線27B-27Bに沿って取られた、デバイス2700の断面図の例を示している。図では、デバイス2700は、基板110、TFT絶縁層280、およびTFT絶縁層280の表面上に形成された第1の電極120を含むものとして示されている。基板110は、ベース基板112(例示を簡単にするために、図示せず)、および/または実質的に少なくとも1つのTFT構造200の下に位置決めされ、その第1の電極120に電気的に結合された各サブピクセル264xに対応し、およびそれを駆動するための少なくとも1つのTFT構造200を含み得る。PDL440は、基板110上に非発光領域1920内に形成されて、それに対応する第1の電極120上に各サブピクセル264xにも対応する発光領域1910を画定する。PDL440は、第1の電極120の縁部を被覆する。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの半導電性層130は、第1の電極120の露出領域、およびいくつかの非限定的な例では取り囲むPDL440の少なくとも一部にわたって堆積される。
いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830は、そのサブピクセル264xを形成するためのピクセル領域2610上、および透過性領域2620内の取り囲むPDL440上を含む、少なくとも1つの半導電性層130上に堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830の厚さは、透過性領域2620にわたる初期の導電性コーティング830の存在が透過性領域2620を通る光の透過を実質的に減衰させないように比較的薄くてもよい。いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830は、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。
いくつかの非限定的な例では、NIC810は、透過性領域2620を含む、デバイス2700の第1の部分上に選択的に堆積される。
次いで、いくつかの非限定的な例では、デバイス2700の表面全体は、第1の導電性コーティング830aが初期の導電性コーティング830のコーティングされていない一部に電気的に結合され、いくつかの非限定的な例では、それと物理的に接触して、第2の電極140を形成するように、いくつかの非限定的な例ではMgであり得る導電性コーティング材料831の蒸気フラックスに曝露されて、NIC810が実質的にない初期の導電性コーティング830の第2の部分(いくつかの例では、ピクセル領域2610)上に第1の導電性コーティング830aを選択的に堆積させる。
いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830の厚さは、第1の導電性コーティング830aの厚さよりも小さくてもよい。このようにして、初期の導電性コーティング830のみが延在する透過性領域2620内で比較的高い透過率を維持することができる。いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830の厚さは、約30nm未満、約25nm未満、約20nm未満、約15nm未満、約10nm未満、約8nm未満、および/または約5nm未満であり得る。いくつかの非限定的な例では、第1の導電性コーティング830aの厚さは、約30nm未満、約25nm未満、約20nm未満、約15nm未満、約10nm未満、および/または約8nm未満であり得る。
したがって、いくつかの非限定的な例では、第2の電極140の厚さは、約40nm未満、ならびに/もしくはいくつかの非限定的な例では、約5nm~30nm、約10nm~約25nm、および/または約15nm~約25nmであり得る。
いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830の厚さは、第1の導電性コーティング830aの厚さよりも大きくてもよい。いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830の厚さおよび第1の導電性コーティング830aの厚さは、実質的に同じであり得る。
いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830を形成するために使用される少なくとも1つの材料は、第1の導電性コーティング830aを形成するために使用される少なくとも1つの材料と実質的に同じであり得る。いくつかの非限定的な例では、そのような少なくとも1つの材料は、実質的に、第1の電極120、第2の電極140、補助電極1750、および/またはそれらの導電性コーティング830に関して本明細書で説明するとおりであってもよい。
いくつかの非限定的な例では、デバイス2700の透過性領域2620には、それを通る光の透過に実質的に影響し得る任意の材料が実質的にないままである。特に、図に示すように、TFT構造200および/または第1の電極120は、それらに対応するサブピクセル264xの下方の断面側面内に、および透過性領域2620を越えて位置決めされる。結果として、これらの構成要素は、光が透過性領域2620を透過することを減衰または妨害しない。いくつかの非限定的な例では、そのような配置により、いくつかの非限定的な例では(サブ)ピクセル340/264xのすべてが発光しておらず、したがって透明なAMOLEDデバイス2700を作成しているとき、通常の視距離からデバイス2700を見る者がデバイス2700を通して見ることが可能になる。
図には示していないが、いくつかの非限定的な例では、デバイス2700は、第1の導電性コーティング830aと初期の導電性コーティング830との間に配設されたNPC1120をさらに含み得る。いくつかの非限定的な例では、NPC1120はまた、NIC810と初期の導電性コーティング830との間に配設され得る。
いくつかの非限定的な例では、NIC810は、少なくとも1つの半導電性層130と同時に形成され得る。非限定的な例として、NIC810を形成するために使用される少なくとも1つの材料はまた、少なくとも1つの半導電性層130を形成するために使用され得る。そのような非限定的な例では、デバイス2700を製作するための多くの段階を削減することができる。
当業者は、いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの半導電性層130および/または初期の導電性コーティング830を形成するものを含むがこれらに限定されない、様々な他の層ならびに/もしくはコーティングが、特に、そのような層および/またはコーティングが実質的に透明である場合、透過性領域2620の一部を被覆し得ることを理解するであろう。いくつかの非限定的な例では、PDL440は、いくつかの非限定的な例では発光領域1910のために画定されたウェルとそれほど異ならないウェルをその中に形成して、透過性領域2620を通る光透過をさらに容易にすることを含むがこれに限定されない、低減した厚さを有し得る。
当業者は、図27Aおよび27Bに示す配置以外の(サブ)ピクセル340/264x配置が、いくつかの非限定的な例では採用され得ることを理解するであろう。
ここで、図27Cを参照すると、図27Aの同じ直線27B-27Bに沿って取られた、デバイス2710として示すデバイス100の異なるバージョンの断面図の例を示している。図では、デバイス2710は、基板110、TFT絶縁層280、およびTFT絶縁層280の表面上に形成された第1の電極120を含むものとして示されている。基板110は、ベース基板112(例示を簡単にするために、図示せず)、および/または実質的に少なくとも1つのTFT構造200の下に位置決めされ、その第1の電極120に電気的に結合された各サブピクセル264xに対応し、およびそれを駆動するための少なくとも1つのTFT構造200を含み得る。PDL440は、基板110上に非発光領域1920内に形成されて、それに対応する第1の電極120上に各サブピクセル264xにも対応する発光領域1910を画定する。PDL440は、第1の電極120の縁部を被覆する。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの半導電性層130は、第1の電極120の露出領域、およびいくつかの非限定的な例では取り囲むPDL440の少なくとも一部にわたって堆積される。
いくつかの非限定的な例では、NIC810は、透過性領域2620を含む、デバイス2710の第1の部分上に選択的に堆積される。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、そのサブピクセル264xを形成するためのピクセル領域2610上を含むが、透過性領域2620内の取り囲むPDL440にわたることを含まない、少なくとも1つの半導電性層130上に堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830は、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、そのような堆積は、導電性コーティング830が少なくとも1つの半導電性層130上に堆積されて、第2の電極140を形成するように、デバイス2710の表面全体を、いくつかの非限定的な例ではMgであり得る導電性コーティング材料831の蒸気フラックスに曝露して、NIC810が実質的にない少なくとも1つの半導電性層130の第2の部分(いくつかの例では、ピクセル領域2610)上に導電性コーティング830を選択的に堆積させることによって実現することができる。
いくつかの非限定的な例では、デバイス2710の透過性領域2620には、それを通る光の透過に実質的に影響し得る任意の材料が実質的にないままである。特に、図に示すように、TFT構造200および/または第1の電極120は、それらに対応するサブピクセル264xの下方の断面側面内に、および透過性領域2620を越えて位置決めされる。結果として、これらの構成要素は、光が透過性領域2620を透過することを減衰または妨害しない。いくつかの非限定的な例では、そのような配置により、いくつかの非限定的な例では(サブ)ピクセル340/264xのすべてが発光しておらず、したがって透明なAMOLEDデバイス2710を作成しているとき、通常の視距離からデバイス2710を見る者がデバイス2700を通して見ることが可能になる。
導電性コーティング830を含まない、および/またはそれが実質的にない透過性領域2620を提供することにより、そのような領域内の透過率を、いくつかの非限定的な例では、非限定的な例として図27Bのデバイス2700と比較することによって、好ましく強化することができる。
図には示していないが、いくつかの非限定的な例では、デバイス2710は、導電性コーティング830と少なくとも1つの半導電性層130との間に配設されたNPC1120をさらに含み得る。いくつかの非限定的な例では、NPC1120はまた、NIC810とPDL440との間に配設され得る。
いくつかの非限定的な例では、NIC810は、少なくとも1つの半導電性層130と同時に形成され得る。非限定的な例として、NIC810を形成するために使用される少なくとも1つの材料はまた、少なくとも1つの半導電性層130を形成するために使用され得る。そのような非限定的な例では、デバイス2710を製作するための多くの段階を削減することができる。
当業者は、いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの半導電性層130および/または導電性コーティング830を形成するものを含むがこれらに限定されない、様々な他の層ならびに/もしくはコーティングが、特にそのような層および/またはコーティングが実質的に透明である場合、過性領域2620の一部を被覆し得ることを理解するであろう。いくつかの非限定的な例では、PDL440は、いくつかの非限定的な例では発光領域1910のために画定されたウェルとそれほど異ならないウェルをその中に形成して、透過性領域2620を通る光透過をさらに容易にすることを含むがこれに限定されない、低減した厚さを有し得る。
当業者は、図27Aおよび27Cに示す配置以外の(サブ)ピクセル340/264x配置が、いくつかの非限定的な例では採用され得ることを理解するであろう。
発光領域への導電性コーティングの選択的堆積
上記で考察されるように、(サブ)ピクセル340/264xの発光領域1910の横側面410内およびそれにわたる電極120、140、1750、4150の厚さを調整することにより、観察可能なマイクロキャビティ効果に影響を及ぼす場合がある。いくつかの非限定的な例では、ピクセル領域2610内の異なるサブピクセル264xに対応する発光領域1910の横側面410内への、NIC810および/またはNPC1120などの少なくとも1つの選択的コーティング710の堆積を通した少なくとも1つの導電性コーティング830の選択的堆積は、各発光領域1910内の光学マイクロキャビティ効果を制御および/または調整して、発光スペクトル、光度、ならびに/もしくは放出光の輝度および/またはカラーシフトの角度依存性を含むがこれらに限定されない、サブピクセル264xベースでの所望の光学マイクロキャビティ効果を最適化する。
そのような効果は、サブピクセル264xの各発光領域1910内に互いに独立して配設された、NIC810および/またはNPC1120などの選択的コーティング710の厚さを変調することによって制御することができる。非限定的な例として、青のサブピクセル2643上に配設されたNIC810の厚さは、緑のサブピクセル2642上に配設されたNIC810の厚さよりも薄くてもよく、緑のサブピクセル2642上に配設されたNICの厚さは、赤のサブピクセル2641に上に配設されたNIC810の厚さよりも薄くてもよい。
いくつかの非限定的な例では、そのような効果は、選択的コーティング710だけでなく、サブピクセル264xの各発光領域1910の一部内に堆積される導電性コーティング830の厚さを独立して調整することによって、さらに大きい範囲まで制御することができる。
そのようなメカニズムは、図28A~28Dの概略図に示す。これらの図は、デバイス100の、概して2800で示す、バージョンの例を製造する様々な段階を示している。
図28Aは、デバイス2800を製造する段階2810を示す。段階2810では、基板110が提供される。基板110は、第1の発光領域1910aおよび第2の発光領域1910bを含む。いくつかの非限定的な例では、第1の発光領域1910aおよび/または第2の発光領域1910bは、少なくとも1つの非発光領域1920a~1920cによって取り囲まれるおよび/または離間され得る。いくつかの非限定的な例では、第1の発光領域1910aおよび/または第2の発光領域1910bは各々、(サブ)ピクセル340/264xに対応し得る。
図28Bは、デバイス2800を製造する段階2820を示す。段階2820では、初期の導電性コーティング830は、基部材料、この場合は基板110の露出層表面111上に堆積される。初期の導電性コーティング830は、第1の発光領域1910aおよび第2の発光領域1910bにわたって堆積される。いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830は、非発光領域1920a~1920cのうちの少なくとも1つにわたって堆積される。
いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830は、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。
図28Cは、デバイス2800を製造する段階2830を示す。段階2830では、NIC810は、初期の導電性コーティング830の第1の部分上に選択的に堆積される。図に示すように、いくつかの非限定的な例では、NIC810は、第1の発光領域1910aにわたって堆積されるが、いくつかの非限定的な例では、第2の発光領域1910bおよび/またはいくつかの非限定的な例では、非発光領域1920a~1920cのうちの少なくとも1つには、NIC810が実質的にない。
図28Dは、デバイス2800を製造する段階2840を示す。段階2840では、第1の導電性コーティング830aは、NIC810が実質的にないデバイス2800のこれらの第2の部分にわたって堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、第1の導電性コーティング830aは、第2の発光領域1910b、および/またはいくつかの非限定的な例では、非発光領域1920a~1920cのうちの少なくとも1つにわたって堆積され得る。
当業者は、図28Dに示し、図7~8、11A~11B、および/または12A~12Cのうちのいずれか1つ以上に関連して詳細に説明する蒸発プロセスが、例示を簡単にするために、図示されていないが、図28A~28Cで説明する先行する段階のうちのいずれか1つ以上に等しく堆積され得ることを理解するであろう。
当業者は、デバイス2800の製造が、いくつかの非限定的な例では、例示を簡単にするために示されていない追加の段階を包含し得ることを理解するであろう。そのような追加の段階は、1つ以上のNIC810を堆積すること、1つ以上のNPC1120を堆積すること、1つ以上の追加の導電性コーティング830を堆積すること、アウトカップリングコーティングを堆積すること、および/またはデバイス2800のカプセル化を含むがこれらに限定されなくてもよい。
当業者は、デバイス2800の製造が、第1の発光領域1910aおよび第2の発光領域1910bに関連して説明および例示されているが、いくつかの非限定的な例では、そこから導き出された原理は、3つ以上の発光領域1910を有するデバイスの製造に等しく堆積され得ることを理解するであろう。
いくつかの非限定的な例では、そのような原理は、いくつかの非限定的な例では、異なる発光スペクトルを有するOLEDディスプレイデバイス100において、サブピクセル264xに対応する発光領域1910について様々な厚さの導電性コーティングを堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、第1の発光領域1910aは、第1の波長および/または発光スペクトルの光を放出するように構成されたサブピクセル264xに対応し得、ならびに/もしくはいくつかの非限定的な例では、第2の発光領域1910bは、第2の波長および/または発光スペクトルの光を放出するように構成されたサブピクセル264xに対応し得る。いくつかの非限定的な例では、デバイス2800は、第3の波長および/または発光スペクトルの光を放出するように構成されたサブピクセル264xに対応し得る第3の発光領域1910c(図29A)を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、第1の波長は、第2の波長および/または第3の波長のうちの少なくとも1つよりも小さい、それよりも大きい、ならびに/もしくはそれに等しい場合がある。いくつかの非限定的な例では、第2の波長は、第1の波長および/または第3の波長のうちの少なくとも1つよりも小さい、それよりも大きい、ならびに/もしくはそれに等しい場合がある。いくつかの非限定的な例では、第3の波長は、第1の波長および/または第2の波長のうちの少なくとも1つよりも小さい、それよりも大きい、ならびに/もしくはそれに等しい場合がある。
いくつかの非限定的な例では、デバイス2800はまた、いくつかの非限定的な例では、第1の発光領域1910a、第2の発光領域1910b、および/または第3の発光領域1910cのうちの少なくとも1つと実質的に同一である波長ならびに/もしくは発光スペクトルを有する光を放出するように構成され得る少なくとも1つの追加の発光領域1910(図示せず)を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、NIC810は、第1の発光領域1910aの少なくとも1つの半導電性層130を堆積させるためにも使用され得るシャドウマスクを使用して選択的に堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、シャドウマスクのそのような共有使用は、費用効果の高い様態で各サブピクセル264xについての光学マイクロキャビティ効果を変調させることができる。
調整されたマイクロキャビティ効果を有する所与のピクセル340のサブピクセル264xを有するデバイス100のバージョン2900の例を作成するためのそのようなメカニズムの使用は、図29A~29Dで説明する。
図29Aでは、デバイス2900の製造の段階2810は、基板110、TFT絶縁層280、およびTFT絶縁層280の表面上に形成された複数の第1の電極120a~120cを含むものとして示す。
基板110は、ベース基板112(例示を簡単にするために、図示せず)、および/または実質的に少なくとも1つのTFT構造200a~200cの下に位置決めされ、その関連する第1の電極120a~120cに電気的に結合された対応するサブピクセル264xを各々有する発光領域1910a~1910cに対応し、およびそれを駆動するための少なくとも1つのTFT構造200a~200cを含み得る。PDL440a~440dは、基板110上に形成されて、発光領域1910a~1910cを画定する。PDL440a~440dは、それぞれの第1の電極120a~120cの縁部を被覆する。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの半導電性層130a~130cは、それぞれの第1の電極120a~120cの露出領域、およびいくつかの非限定的な例では取り囲むPDL440a~440dの少なくとも一部にわたって堆積される。
いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830は、少なくとも1つの半導電性層130a~130c上に堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830は、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、そのような堆積は、デバイス2900の露出層表面111全体を、いくつかの非限定的な例ではMgであり得る初期の導電性コーティング830の蒸気フラックスに曝露して、少なくとも1つの半導電性層130a~130c上に初期の導電性コーティング830を堆積させて、いくつかの非限定的な例では、少なくとも、第1の発光領域1910a用の共通電極であり得る第2の電極140a(図示せず)の第1の層を形成することによって実現することができる。そのような共通電極は、第1の発光領域1910a内に第1の厚さtc1を有する。第1の厚さtc1は、初期の導電性コーティング830の厚さに対応し得る。
いくつかの非限定的な例では、第1のNIC810aは、第1の発光領域1910aを含むデバイス2810の第1の部分上に選択的に堆積される。
いくつかの非限定的な例では、第1の導電性コーティング830aは、デバイス2900上に堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、第1の導電性コーティング830aは、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、そのような堆積は、第1の導電性コーティング830aが第1のNIC810aが実質的にない初期の導電性コーティング830の第2の部分上に堆積されて、いくつかの非限定的な例では、少なくとも、第2の発光領域1910b用の共通電極であり得る第2の電極140b(図示せず)の第2の層を形成するように、デバイス2810の露出層表面111全体を、いくつかの非限定的な例ではMgであり得る第1の導電性コーティング830aの蒸気フラックスに曝露して、第1のNIC810aが実質的にない初期の導電性コーティング830、いくつかの例では、第2および第3の発光領域1910b、1910c、および/またはPDL440a~440dが位置する非発光領域1920の少なくとも一部上に第1の導電性コーティング830aを堆積させることによって実現することができる。そのような共通電極は、第2の発光領域1910b内に第2の厚さtc2を有する。第2の厚さtc2は、初期の導電性コーティング830と第1の導電性コーティング830aの合計厚さに対応することができ、いくつかの非限定的な例では、第1の厚さtc1よりも大きくてもよい。
図29Bでは、デバイス2900の製造の段階2920を示している。
いくつかの非限定的な例では、第2のNIC810bは、第2の発光領域1910bを含むデバイス2900のさらなる第1の部分上に選択的に堆積される。
いくつかの非限定的な例では、第2の導電性コーティング830bは、デバイス2900上に堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、第2の導電性コーティング830bは、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、そのような堆積は、第2の導電性コーティング830bが第2のNIC810bが実質的にない第1の導電性コーティング830aのさらなる第2の部分上に堆積されて、いくつかの非限定的な例では、少なくとも、第3の発光領域1910c用の共通電極であり得る第2の電極140c(図示せず)の第3の層を形成するように、デバイス2900の露出層表面111全体を、いくつかの非限定的な例ではMgであり得る第2の導電性コーティング830bの蒸気フラックスに曝露して、第1のNIC810aもしくは第2のNIC810bのいずれかが実質的にない第1の導電性コーティング830a、いくつかの例では、第3の発光領域1910c、および/またはPDL440a~440dが位置する非発光領域1920の少なくとも一部上に第2の導電性コーティング830bを堆積することによって実現することができる。そのような共通電極は、第3の発光領域1910c内に第3の厚さtc3を有する。第3の厚さtc3は、初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、および第2の導電性コーティング830bの合計厚さに対応することができ、いくつかの非限定的な例では、第1の厚さtc1および第2の厚さtc2のいずれかまたは両方よりも大きくてもよい。
図29Cでは、デバイス2900の製造の段階2930を示している。
いくつかの非限定的な例では、第3のNIC810cは、第3の発光領域1910bを含むデバイス2900の追加の第1の部分上に選択的に堆積される。
図29Dでは、デバイス2900の製造の段階2940を示している。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの補助電極1750は、その近接する発光領域1910a~1910cの間のデバイス2900の非発光領域1920内、およびいくつかの非限定的な例ではPDL440a~440d上に配設される。いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの補助電極1750を堆積するために使用される導電性コーティング830は、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、そのような堆積は、導電性コーティング830が第1のNIC810a、第2のNIC810b、および/または第3のNIC810cのいずれも実質的ない初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、ならびに/もしくは第2の導電性コーティング830bの露出一部を含む追加の第2の部分上に堆積されて、少なくとも1つの補助電極1750を形成するように、デバイス2900の露出層表面111全体を、いくつかの非限定的な例ではMgであり得る導電性コーティング材料831の蒸気フラックスに曝露して、第1のNIC810a、第2のNIC810b、および/または第3のNIC810cのいずれも実質的にない初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、ならびに第2の導電性コーティング830bの露出一部上に導電性コーティング830を堆積させることによって実現することができる。少なくとも1つの補助電極1750の各々は、第2の電極140a~140cのうちのそれぞれの1つに電気的に結合される。いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの補助電極1750の各々は、そのような第2の電極140a~140cと物理的に接触している。
いくつかの非限定的な例では、第1の発光領域1910a、第2の発光領域1910b、および第3の発光領域1910cは、少なくとも1つの補助電極1750を形成するために使用される材料が実質的になくてもよい。
いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、および/または第2の導電性コーティング830bのうちの少なくとも1つは、電磁スペクトルの可視波長範囲の少なくとも一部において透過性および/または実質的に透明であり得る。したがって、第1の導電性コーティング830aならびに/もしくは第2の導電性コーティング830b(および/または任意の追加の導電性コーティング830)が初期の導電性コーティング830の上部に配設されて、電磁スペクトルの可視波長範囲の少なくとも一部において透過性および/または実質的に透明でもあり得るマルチコーティング電極120、140、1750を形成する場合。いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、第2の導電性コーティング830b、任意の追加の導電性コーティング830、および/またはマルチコーティング電極120、140、1750のうちのいずれか1つ以上の透過率は、電磁スペクトルの可視波長範囲の少なくとも一部において、約30%を超える、約40%を超える、約45%を超える、約50%を超える、約60%を超える、70%を超える、約75%を超える、および/または約80%を超えてもよい。
いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、および/または第2の導電性コーティング830bの厚さを比較的薄くして、比較的高い透過率を維持することができる。いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830の厚さは、約5~30nm、約8~25nm、および/または約10~20nmであってもよい。いくつかの非限定的な例では、第1の導電性コーティング830aの厚さは、約1~25nm、約1~20nm、約1~15nm、約1~10nm、および/または約3~6nmであってもよい。いくつかの非限定的な例では、第2の導電性コーティング830bの厚さは、約1~25nm、約1~20nm、約1~15nm、約1~10nm、および/または約3~6nmであってもよい。いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、第2の導電性コーティング830b、および/または任意の追加の導電性コーティング830の組み合わせによって形成されたマルチコーティング電極の厚さは、約6~35nm、約10~30nm、または約10~25nm、および/または約12~18nmであってもよい。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの補助電極1750の厚さは、初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、第2の導電性コーティング830b、および/または共通電極の厚さよりも大きくてもよい。いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの補助電極1750の厚さは、約50nmを超える、約80nmを超える、約100nmを超える、約150nmを超える、約200nmを超える、約300nmを超える、約400nmを超える、約500nmを超える、約700nmを超える、約800nmを超える、約1μmを超える、約1.2μmを超える、約1.5μmを超える、約2μmを超える、約2.5μmを超える、および/または約3μmを超えてもよい。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの補助電極1750は、実質的に透明ではない、および/または不透明であり得る。しかしながら、少なくとも1つの補助電極1750は、いくつかの非限定的な例では、デバイス2900の非発光領域1920に提供され得るため、少なくとも1つの補助電極1750は、重大な光学干渉を引き起こさないか、またはそれに寄与しない場合がある。いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの補助電極1750の透過率は、電磁スペクトルの可視波長範囲の少なくとも一部の約50%未満、約70%未満、約80%未満、約85%未満、約90%未満、および/または約95%未満であってもよい。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの補助電極1750は、電磁スペクトルの可視波長範囲の少なくとも一部の光を吸収することができる。
いくつかの非限定的な例では、それぞれ第1の発光領域1910a、第2の発光領域1910b、および/または第3の発光領域1910c内に配設された第1のNIC810a、第2のNIC810b、ならびに/もしくは第3のNIC810cの厚さは、各発光領域1910a~1910cによって放出された光の色および/または発光スペクトルに従って変えることができる。図29C~29Dに示すように、第1のNIC810aは、第1のNIC厚さtn1を有し得る、第2のNIC810bは、第2のNIC厚さtn2を有し得る、および/または第3のNIC810cは、第3のNIC厚さtn3を有し得る。いくつかの非限定的な例では、第1のNIC厚さtn1、第2のNIC厚さtn2、および/または第3のNIC厚さtn3は、互いに実質的に同じであり得る。いくつかの非限定的な例では、第1のNIC厚さtn1、第2のNIC厚さtn2、および/または第3のNIC厚さtn3は、互いに異なる場合がある。
いくつかの非限定的な例では、デバイス2900はまた、任意の数の発光領域1910a~1910c、および/またはその(サブ)ピクセル340/264xを含み得る。いくつかの非限定的な例では、デバイスは、複数のピクセル340を含むことができ、各ピクセル340は、2、3、またはそれ以上のサブピクセル264xを含むことができる。
当業者は、(サブ)ピクセル340/264xの特定の配置がデバイス設計に依存して変わり得ることを理解するであろう。いくつかの非限定的な例では、サブピクセル264xは、RGBサイドバイサイド、ダイヤモンド、および/またはPenTile(登録商標)を含むがこれらに限定されない、既知の配置スキームに従って配置することができる。
電極を補助電極に電気的に結合するための導電性コーティング
図30を参照すると、デバイス100のバージョン3000の例の断面図を示している。デバイス3000は、発光領域1910および隣接する非発光領域1920を横側面内に含む。
いくつかの非限定的な例では、発光領域1910は、デバイス3000のサブピクセル264xに対応する。発光領域1910は、基板110、第1の電極120、第2の電極140、およびそれらの間に配置された少なくとも1つの半導電性層130を有する。
第1の電極120は、基板110の露出層表面111上に配設されている。基板110は、第1の電極120に電気的に結合されるTFT構造200を含む。第1の電極120の縁部および/または外周は、概して少なくとも1つのPDL440によって被覆されている。
非発光領域1920は、補助電極1750を有し、非発光領域1920の第1の一部は、補助電極1750の横側面上に突出し、重なるように配置された突出構造3060を有する。突出構造3060は、保護された領域3065を提供するように側方に延在する。非限定的な例として、突出構造3060は、保護された領域3065を提供するために、少なくとも一方の側の補助電極1750でおよび/またはその近傍で陥凹していてもよい。示すように、保護された領域3065は、いくつかの非限定的な例では、突出構造3060の横突出と重なるPDL440の表面の領域に対応することができる。非発光領域1920は、保護された領域3065内に配設された導電性コーティング830をさらに含む。導電性コーティング830は、補助電極1750を第2の電極140と電気的に結合する。
NIC810aは、第2の電極140の露出層表面111上の発光領域1910内に配設される。いくつかの非限定的な例では、突出構造3060の露出層表面111は、導電性薄膜の堆積からの残りの導電薄膜3040でコーティングされて、第2の電極140を形成する。いくつかの非限定的な例では、残りの導電性薄膜3040の表面は、NIC810の堆積からの残りのNIC810bでコーティングされる。
しかしながら、保護された領域3065上の突出構造3060の横突出のために、保護された領域3065には、NIC810が実質的にない。したがって、導電性コーティング830がNIC810の堆積後にデバイス3000に堆積されるとき、導電性コーティング830は、保護された領域3065に堆積されるおよび/または移動して、補助電極1750を第2の電極140に結合する。
当業者は、非限定的な例が図30に示されていること、および様々な修正が明らかであり得ることを理解するであろう。非限定的な例として、突出構造3060は、その側部のうちの少なくとも2つに沿って保護された領域3065を提供し得る。いくつかの非限定的な例では、突出構造3060は省略されてもよく、補助電極1750は、保護された領域3065を画定する陥凹した部分を含み得る。いくつかの非限定的な例では、補助電極1750および導電性コーティング830は、PDL440の代わりに、基板110の表面上に直接配設されてもよい。
光学コーティングの選択的堆積
いくつかの非限定的な例では、いくつかの非限定的な例では光電子デバイスであり得るデバイス100(図示せず)は、基板110、NIC810、および光学コーティングを含む。NIC810は、基板110の第1の横部分を被覆する。光学コーティングは、基板の第2の横部分を被覆する。NIC810の少なくとも一部には、光学コーティングが実質的にない。
いくつかの非限定的な例では、光学コーティングを使用して、プラズモンモードを含むがこれに限定されないデバイス100によって透過、放出、および/または吸収される光の光学特性を調整することができる。非限定的な例として、光学コーティングは、光学フィルタ、屈折率整合コーティング、光学取り出しコーティング、散乱層、回折格子、またはそれらの一部として使用されてもよい。
いくつかの非限定的な例では、光学コーティングを使用して、総光路長および/またはその屈折率を変調することによるがこれらに限定されない、デバイス100内の少なくとも1つの光学マイクロキャビティ効果を調整することができる。デバイス100の少なくとも1つの光学特性は、輝度および/またはそのカラーシフトの角度依存性を含むがこれらに限定されない、出力光を含むがこれに限定されない、少なくとも1つの光学マイクロキャビティ効果を調整することによって影響され得る。いくつかの非限定的な例では、光学コーティングは、非電気的構成要素であってもよい、つまり、光学コーティングは、平常のデバイス動作中に電流を伝導および/または伝達するように構成されていない場合がある。
いくつかの非限定的な例では、光学コーティングは、導電性コーティング830として使用される任意の材料、および/または本明細書で説明する導電性コーティング830を堆積する任意のメカニズムを採用することで形成することができる。
NICおよび導電性コーティングのエッジ効果
図31A~31Iは、導電性コーティング830との堆積界面でのNIC810の様々な潜在的挙動を説明する。
図31Aを参照すると、NIC堆積境界にあるデバイス100のバージョン3100の例の一部の第1の例を示している。デバイス3100は、層表面111を有する基板110を含む。NIC810は、層表面111の第1の部分3110上に堆積される。導電性コーティング830は、層表面111の第2の部分3120上に堆積される。示すように、非限定的な例として、第1の部分3110および第2の部分3120は、層表面111の別個のおよび重なっていない部分である。
導電性コーティング830は、第1の一部830および残りの一部830を含む。示すように、非限定的な例として、導電性コーティング830の第1の一部830は、実質的に第2の領域3120を被覆し、導電性コーティング830の第2の一部830は、NIC810の第1の一部上に部分的に突出するおよび/または重なる。
いくつかの非限定的な例では、NIC810は、その表面3111が導電性コーティング830を形成するために使用される材料について比較的低い親和性または初期付着確率Sを示すように形成されるため、導電性コーティング830の突出するおよび/または重なる第2の一部830とNIC810の表面3111との間に形成されたギャップ3129がある。結果として、第2の一部830は、NIC810と物理的に接触していないが、断面側面内のギャップ3129によってNIC810から離間される。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830の第1の一部830は、第1の部分3110と第2の部分3120との間の界面および/または境界でNIC810と物理的に接触していてもよい。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830の突出するおよび/または重なる第2の一部830は、導電性コーティング830の厚さtと同等の範囲まで、NIC810上に横に延在することができる。非限定的な例として、示すように、第2の一部830の幅wは、厚さtと同等であってもよい。いくつかの非限定的な例では、w:tの比は、約1:1~約1:3、約1:1~約1:1.5、および/または約1:1~約1:2の範囲であってもよい。厚さtは、いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830にわたって比較的均一であり得るが、いくつかの非限定的な例では、第2の一部830が突出するおよび/またはNIC810と重なる範囲(すなわち、w)は、層表面111の異なる一部にわたってある程度変わってもよい。
ここで、図31Bを参照すると、導電性コーティング830は、第2の一部830とNIC810との間に配設された第3の部分830を含むように示されている。示すように、導電性コーティング830の第2の一部830は、導電性コーティング830の第3の一部830上に横に延在し、そこから離間され、第3の一部830は、NIC810の表面3111と物理的に接触してもよい。導電性コーティング830の第3の一部830の厚さtは、導電性コーティング830の第1の一部830の厚さtよりも小さくてもよく、いくつかの非限定的な例ではそれよりも実質的に小さくてもよい。いくつかの非限定的な例では、第3の一部830の幅wは、第2の一部830の幅wよりも大きくてもよい。いくつかの非限定的な例では、第3の一部830は、第2の一部830よりも大きい程度までNIC810と重なるように横に延在することができる。いくつかの非限定的な例では、w:tの比は、約1:2~約3:1および/または約1:1.2~約2.5:1の範囲であってもよい。厚さtは、いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830にわたって比較的均一であり得るが、いくつかの非限定的な例では、第3の一部830が突出するおよび/またはNIC810と重なる範囲(すなわち、w)は、層表面111の異なる一部にわたってある程度変わってもよい。
第3の一部830の厚さtは、第1の一部830の厚さtの約5%以下および/または約5%未満であり得る。非限定的な例として、tは、tの約4%以下および/またはそれ未満、約3%以下および/またはそれ未満、約2%以下および/またはそれ未満、約1%以下および/またはそれ未満、ならびに/もしくは約0.5%以下および/またはそれ未満であり得る。示すように、薄膜として形成される第3の一部830の代わりに、および/またはそれに加えて、導電性コーティング830の材料は、NIC810の一部に島および/または切り離されたクラスタとして形成することができる。非限定的な例として、そのような島および/または切り離されたクラスタは、島および/またはクラスタが連続層を形成しないように、互いに物理的に分離された特徴部を含み得る。
ここで、図31Cを参照すると、NPC1120は、基板110と導電性コーティング830との間に配設されている。NPC1120は、導電性コーティング830の第1の一部830と基板110の第2の部分3120との間に配設される。NPC1120を、NIC810が堆積された第1の部分3110ではなく、第2の部分3120に配設されているように示している。NPC1120は、NPC1120と導電性コーティング830との間の界面および/または境界において、NPC1120の表面が導電性コーティング830の材料について比較的高い親和性または初期付着確率Sを示すように形成され得る。したがって、NPC1120の存在は、堆積中の導電性コーティング830の形成および/または成長を促進することができる。
ここで、図31Dを参照すると、NPC1120は、基板110の第1の部分3110および第2の部分3120の両方に配設され、NIC810は、第1の部分3110に配設されたNPC1120の一部を被覆する。NPC1120の別の一部には、NIC810が実質的になく、導電性コーティング830がNPC1120のそのような一部を被覆する。
ここで、図31Eを参照すると、導電性コーティング830が基板110の第3の部分3130内でNIC810の一部と部分的に重なっていることを示している。いくつかの非限定的な例では、第1の一部830および第2の一部830に加えて、導電性コーティング830は、第4の一部830をさらに含む。示すように、導電性コーティング830の第4の一部830は、導電性コーティング830の第1の一部830と第2の一部830との間に配設され、第4の一部830は、NIC810の層表面3111と物理的に接触していてもよい。いくつかの非限定的な例では、第3の部分3130における重なりは、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセス中の導電性コーティング830の横成長の結果として形成され得る。いくつかの非限定的な例では、NIC810の層表面3111は、導電性コーティング830の材料について比較的低い初期付着確率Sを示し得、これにより、導電性コーティング830の厚さが成長するにつれて、材料が層表面3111で核生成する確率は低くなるが、導電性コーティング830も横に成長し得、示すようにNIC810のサブセットを被覆し得る。
ここで、図31Fを参照すると、基板110の第1の部分3110はNIC810でコーティングされ、第1の部分3110に隣接する第2の部分3120は導電性コーティング830でコーティングされている。いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830のオープンマスク堆積および/またはマスクフリー堆積を実施することにより、導電性コーティング830とNIC810との間の界面および/またはその近傍の先細り断面プロファイルを示す導電性コーティング830を得ることができることが観察された。
いくつかの非限定的な例では、界面でおよび/またはその近傍での導電性コーティング830の厚さは、導電性コーティング830の平均厚さより薄くてもよい。そのような先細りプロファイルは、湾曲および/またはアーチ状であるように示しているが、いくつかの非限定的な例では、このプロファイルは、いくつかの非限定的な例では、実質的に線形および/または非線形であってもよい。非限定的な例として、導電性コーティング830の厚さは、界面に近位の領域において実質的に線形、指数関数的、および/または二次的であるがこれらに限定されない、様式で減少し得る。
導電性コーティング830とNIC810との間の界面のおよび/またはその近傍の導電性コーティング830の接触角θは、相対的な親和性および/または初期付着確率SなどのNIC810の特性に依存して変わり得ることが観察されている。さらに、核の接触角θは、いくつかの非限定的な例では、堆積によって形成された導電性コーティング830の薄膜接触角を決定づけ得ると想定されている。非限定的な例として図31Fを参照すると、接触角θは、導電性コーティング830とNIC810との間の界面のまたはその近傍の導電性コーティング830の接線の勾配を測定することによって決定され得る。導電性コーティング830の断面テーパプロファイルが実質的に線形であるいくつかの非限定的な例では、接触角θは、界面および/またはその近傍の導電性コーティング830の勾配を測定することによって決定され得る。当業者によって理解されるように、接触角θは、概して基部表面の角度に対して測定され得る。本開示では、例示を簡単にするために、コーティング810、830は、平面に堆積されて示している。しかしながら、当業者は、そのようなコーティング810、830が非平面表面上に堆積されてもよいことを理解するであろう。
いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830の接触角θは、約90°を超えてもよい。ここで、図31Gを参照すると、非限定的な例として、導電性コーティング830は、NIC810と導電性コーティング830との間の界面を過ぎて延在する一部を含むものとして示しており、ギャップ3129によってNICから離間されている。そのような非限定的な状況では、接触角θは、いくつかの非限定的な実施例では、約90°を超えてもよい。
いくつかの非限定的な例では、比較的高い接触角θを示す導電性コーティング830を形成することが有利であり得る。非限定的な例として、接触角θは、約10°を超える、約15°を超える、約20°を超える、約25°を超える、約30°を超える、約35°を超える、約40°を超える、約50°を超える、約70°を超える、約70°を超える、約75°を超える、および/または約80°を超えてもよい。非限定的な例として、比較的高い接触角θを有する導電性コーティング830は、比較的高いアスペクト比を維持しながら、微細にパターン化された特徴部の作成を可能にすることができる。非限定的な例として、約90°を超える接触角θを示す導電性コーティング830を形成することが望ましい場合がある。非限定的な例として、接触角θは、約90°を超える、約95°を超える、約100°を超える、約105°を超える、約110°を超える 約120°を超える、約130°を超える、約135°を超える、約140°を超える、約145°を超える、約150°を超える、および/または約170°を超えてもよい。
ここで、図31H~31Iを参照すると、導電性コーティング830は、基板100の第1の部分3110と第2の部分3120との間に配設される、基板100の第3の部分3130内のNIC810の一部と部分的に重なっている。示すように、NIC810のサブセットと部分的に重なる導電性コーティング830のサブセットは、その表面3111と物理的に接触していてもよい。いくつかの非限定的な例では、第3の領域3130における重なりは、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセス中の導電性コーティング830の横成長の結果として形成され得る。いくつかの非限定的な例では、NIC810の表面3111は、導電性コーティング830の材料について比較的低い親和性または初期付着確率Sを示し得、これにより、導電性コーティング830の厚さが成長するにつれて、材料が層表面3111で核生成する確率は低くなるが、導電性コーティング830も横に成長し得、NIC810のサブセットを被覆し得る。
図31H~31Iの場合には、導電性コーティング830の接触角θは、示すように、導電性コーティング830とNIC810との界面の近傍にあるその縁部で測定されてもよい。図31Iでは、接触角θは、約90°を超えてもよく、これにより、いくつかの非限定的な例では、ギャップ3129によってNIC810から離間されている導電性コーティング830のサブセットを得ることができる。
個々の発光領域に合わせて変調されたキャッピング層
いくつかの非限定的な例では、光電子デバイス100は、デバイス100によって放出された光のアウトカップリングを促進するためのCPL3610を含み得、したがって、これは、発光を強化することおよび/または角スペクトル分布を調節することによることを含むがこれらに限定されない、そのEQEを強化することができる。典型的には、そのようなCPL3610は、デバイス100内のすべての発光領域1910にわたることを含むがこれに限定されない、デバイス100の横側面の実質的にすべてにわたって延在する層を含む。
いくつかの非限定的な例では、そのようなCPL3610は、典型的には、共通のCPL材料で形成され、いくつかの非限定的な例では、実質的に共通の厚さを有するため、個々の発光領域1910の光学特徴を変調する、およびそれに関連付けられた発光波長スペクトルに合わせて変調するためのそのようなCPL3610の使用は、実質的に制限され得る。
そのようなCPL3610は、デバイス100の複数の層のうちの(少なくとも)1つであり得ることが当業者に理解されよう。当業者は、CPL3610およびそれを構成するCPL材料が、特に、フィルムとして、ならびにCPL3610を堆積させる際に採用されるものと実質的に同様の条件下で、および/またはそれと実質的に同様のメカニズムによって配設されるとき、ほぼ同様の光学特性および/または他の特性を示し得ることを理解するであろう。
説明を簡単にする目的で、本開示では、CPL3610およびそれを構成するCPL材料は、総称してCPL(m)と称される場合があり、そのような用語には、その特定の事例を示す文字がそれに添付され得る。
ここで、図28Cにほぼ対応する図36Aを参照すると、デバイス2800のバージョン3600の例を製造する段階3630を示している。
いくつかの非限定的な例では、デバイス3600は、各々が、対応する波長範囲のそれぞれの発光スペクトルを有する光を放出するように構成された第1の発光領域1910aおよび第2の発光領域1910bを含む、複数の発光領域1910を含み、この発光スペクトルは、関連付けられた開始波長λonsetおよび/または関連付けられたピーク波長λmaxを特徴とし得る。
いくつかの非限定的な例では、可視光スペクトルのR(赤)部分に位置する発光スペクトルは、600nm~約640nmの波長範囲に位置し得るピーク波長λmaxを特徴とし得、非限定的な例では、実質的に約620nmであり得る。
いくつかの非限定的な例では、可視光スペクトルのG(緑)部分に位置する発光スペクトルは、510nm~約540nmの波長範囲に位置し得るピーク波長λmaxを特徴とし得、非限定的な例では、実質的に約530nmであり得る。
いくつかの非限定的な例では、可視光スペクトルのB(青)部分に位置する発光スペクトルは、450nm~約460nmの波長範囲に位置し得るピーク波長λmaxを特徴とし得、非限定的な例では、実質的に約455nmであり得る。
当業者は、いくつかの非限定的な例では、第1の発光領域1910aおよび/または第2の発光領域1910bが可視光スペクトルのR(赤)部分に位置する発光スペクトルを有する光子を放出するR(赤)サブピクセル2641、可視光スペクトルのG(緑)部分に位置する発光スペクトルを有する光子を放出するG(緑)サブピクセル2642、または可視光スペクトルのB(青)部分に位置する発光スペクトルを有する光子を放出するB(青)サブピクセル2643のいずれか1つに対応し得ると理解するであろう。
段階3630では、第1のCPL3610aは、基部材料の露出層表面111の第1の部分上に選択的に堆積される。いくつかの非限定的な例では、基部材料は、初期の導電性コーティング830であり得る。図に示すように、いくつかの非限定的な例では、第1のCPL3610aを堆積するためのCPL材料は第1の発光領域1910aにわたって堆積され、一方、いくつかの非限定的な例では、第2の発光領域1910bおよび/またはいくつかの非限定的な例では、非発光領域1920a~1920cのうちの少なくとも1つには、第1のCPL3610aが実質的にない。いくつかの非限定的な例では、第1のCPL3610aは、非発光領域1920a~1920cのうちの少なくとも1つ上に堆積され得る。
いくつかの非限定的な例では、第1のCPL3610aは、第1の発光スペクトルに合わせて変調された光学特徴を有する。いくつかの非限定的な例では、第1のCPL3610aの厚さ、形態、および/または材料組成は、第1の開始波長λonset aおよび/または第1のピーク波長λmax aのうちの少なくとも1つを含むがこれらに限定されない、第1の発光スペクトルの少なくとも一部分にわたって高い屈折率を提供するように変調される。
いくつかの非限定的な例では、第1のCPL3610aは、いくつかの非限定的な例では、第1のピーク波長λmax aを含み得る第1の発光スペクトルの少なくとも一部において、約1.9以上、約1.95以上、約2.0以上、約2.05以上、約2.1以上、約2.2以上、約2.3以上、および/または約2.5以上である屈折率を有する。
いくつかの非限定的な例では、吸収端もしくはその近位では、屈折率と透過率との間に一般に正の相関関係、または言い換えれば、屈折率と吸収端もしくはその近傍での吸収との間に一般に負の相関関係があり得る。結果として、いくつかの非限定的な例では、第1のCPL3610aの光学特徴は、第1のCPL3610aの吸収端が第1の開始波長λonset aよりもわずかに低くなるように変調される。
いくつかの非限定的な例では、物質の吸収端は、吸光係数kが減少し、0に近い閾値に近づく波長に対応し得る。結果として、いくつかの非限定的な例では、本明細書に開示されるような第1のCPL3610aの吸収端を参照して第1のCPL3610aの光学特徴を変調すると、本明細書に開示されるような第1の発光スペクトルの少なくとも一部分にわたって高屈折率を提供するための近似メカニズムとして働く場合がある。
結果として、いくつかの非限定的な例では、第1のCPL3610aは、第1の開始波長λonset aよりも短い波長で高い第1の吸光係数kを有し得る。いくつかの非限定的な例では、第1のCPL3610aは、第1の開始波長λonset aを下回る波長で、約0.1以上、0.3以上、約0.5以上、約0.75以上、約0.8以上、および/または約0.9以上である第1の吸光係数kを有し得る。
いくつかの非限定的な例では、第1のCPL3610aは、初期の導電性コーティング830を含むがこれに限定されない、基部材料の露出層表面111と比較して、導電性コーティング材料831について比較的低い初期付着係数を示すという点で、パターニングコーティング810として追加で作用し、第1の導電性コーティング830aのその上への堆積を抑制するために、第1の発光領域1910aを含む、デバイス2800の例における初期の導電性コーティング830の第1の部分上に選択的に堆積され得る。
図36Bは、デバイス3600を製造する段階3640を示す。段階3620では、第1の導電性コーティング830aは、デバイス3600の表面全体を導電性コーティング材料831の蒸気フラックスに曝露して、第1のCPL3610aが実質的にないデバイス3600のこれらの第2の部分上に第1の導電性コーティング830aとしてそれを選択的に堆積させることによって堆積することができる。
いくつかの非限定的な例では、第1の導電性コーティング830aは、第2の発光領域1910b、および/またはいくつかの非限定的な例では、非発光領域1920a~1920cのうちの少なくとも1つにわたって堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、第1の導電性コーティング830aは、非発光領域1920a~1920cのうちの少なくとも1つ上に堆積され得る。
いくつかの非限定的な例では、第1の導電性コーティング830aは、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。
当業者は、第1のCPL3610aがパターニングコーティング810として作用しない場合のいくつかの非限定的な例では、さらなるパターニングコーティング810(図示せず)は、FMMが欠如していても、適切な場所および適切なときに配設されて、所望の位置に堆積されるように第1の導電性コーティング830aのパターン化を可能にすることができることを理解するであろう。
いくつかの非限定的な例では、第1の導電性コーティング830aを形成するために使用される導電性コーティング材料831は、TCO(ITO、FTOを含むがこれらに限定されない)を含むがこれらに限定されない、光透過性導電層および/またはコーティング、非金属薄膜、体積で約1:10~約10:1の範囲の合金組成物中のMg:Ag、Mg:Yb、および/またはそれらの組み合わせを含むがこれらに限定されない、これらのいずれかを含有する合金を含むがこれらに限定されない、Mg、Al、Yb、Ag、Zn、および/またはCd、ならびに/もしくはそれらの組み合わせを含むがこれらに限定されない、金属薄膜、かつ/あるいはそれらの組み合わせを形成するために使用される様々な材料を含み得る。第1の導電性コーティング830aは、多層コーティング内の複数の層および/またはコーティングを含み得る。
いくつかの非限定的な例では、第1の導電性コーティング830aを形成するために使用される導電性コーティング材料831は、もしあれば、初期の導電性コーティング830を形成するために使用される導電性コーティング材料831と同じおよび/または異なり得る。
当業者は、図36Bに示し、図7~8、11A~11B、および/または12A~12Cのうちのいずれか1つ以上に関連して詳細に説明する蒸発プロセスが、例示を簡単にするために、図示されていないが、図28A~28B、および/または36Aで説明する先行する段階のうちのいずれか1つ以上に等しく堆積され得ることを理解するであろう。
当業者は、デバイス3600の製造が、いくつかの非限定的な例では、例示を簡単にするために図示されていない追加の段階を包含し得ることを理解するであろう。そのような追加の段階は、1つ以上のパターニングコーティング810、1120を堆積すること、1つ以上のCPL3610を堆積すること、1つ以上の追加の導電性コーティング830を堆積すること、アウトカップリングコーティングを堆積すること、および/またはデバイス2800のカプセル化を含むがこれらに限定されなくてもよい。
当業者は、いくつかの非限定的な例では、複数の発光領域1910は、デバイス3600に示されるように、第1の発光領域1910aおよび第2の発光領域1910b以外のものを含み得ることを理解するであろう。いくつかの非限定的な例では、各々が、対応する波長範囲のそれぞれの発光スペクトルを有する光を放出するように構成された3つ以上の発光領域1910があり得、この発光スペクトルは、関連付けられた開始波長λonsetおよび/または関連付けられたピーク波長λmaxを特徴とし得る。いくつかの非限定的な例では、可視光スペクトルのR(赤)部分に位置する発光スペクトルを有する光子を放出するR(赤)サブピクセル2641、可視光スペクトルのG(緑)部分に位置する発光スペクトルを有する光子を放出するG(緑)サブピクセル2642、または可視光スペクトルのB(青)部分に位置する発光スペクトルを有する光子を放出するB(青)サブピクセル2643のそれぞれの1つ(特定の順序はなしに)に対応する3つの発光領域1910a、1910b、1910cがあり得る。
ここで、図37Aを参照すると、図36Bにほぼ対応するが、非発光領域1920a、1920b、1920c、1920dによって取り囲まれた3つの発光領域1910a、1910b、1910cを備えたデバイス3600のバージョン3700の例を製造する段階3710を示している。
図に示されるように、第1の導電性コーティング830aは、デバイス3700の表面全体を導電性コーティング材料831の蒸気フラックスに曝露して、第1のCPL3610aが実質的にないデバイス3700のこれらの第2の部分上に第1の導電性コーティング830aとしてそれを選択的に堆積させることによって堆積することができる。いくつかの非限定的な例では、第1の導電性コーティング830aは、第2の発光領域1910bおよび/または第3の発光領域1910c、ならびに/もしくはいくつかの非限定的な例では、非発光領域1920a~1920dのうちの少なくとも1つにわたって堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、第1の導電性コーティング830aは、非発光領域1920a~1920dのうちの少なくとも1つ上に堆積され得る。
図37Bは、デバイス3700を製造する段階3720を示す。段階3720では、第2のCPL3610bは、第1の導電性コーティング830aの第1の部分上に選択的に堆積される。図に示すように、いくつかの非限定的な例では、第2のCPL3610bを堆積するためのCPL材料は第2の発光領域1910bにわたって堆積され、一方、いくつかの非限定的な例では、第3の発光領域1910cおよび/またはいくつかの非限定的な例では、非発光領域1920a~1920dのうちの少なくとも1つには、第2のCPL3610bが実質的にない。いくつかの非限定的な例では、第2のCPL3610bは、非発光領域1920a~1920dのうちの少なくとも1つ上に堆積され得る。
いくつかの非限定的な例では、第2のCPL3610bの厚さ、形態、および/または材料組成は、第2の開始波長λonset bおよび/または第2のピーク波長λmax bのうちの少なくとも1つを含むがこれらに限定されない、第2の発光スペクトルの少なくとも一部分にわたって高い屈折率を提供するように変調される。
いくつかの非限定的な例では、第2のCPL3610bは、いくつかの非限定的な例では、第2のピーク波長λmax bを含み得る第2の発光スペクトルの少なくとも一部において、約1.9以上、約1.95以上、約2.0以上、約2.05以上、約2.1以上、約2.2以上、約2.3以上、および/または約2.5以上である屈折率を有する。
いくつかの非限定的な例では、第2のCPL3610bの光学特徴は、第2のCPL3610bの吸収端が第2の開始波長λonset bよりもわずかに低くなるように変調される。
いくつかの非限定的な例では、物質の吸収端は、吸光係数kが0に近い閾値に近づく波長に対応し得る。結果として、いくつかの非限定的な例では、本明細書に開示されるような第2のCPL3610bの吸収端を参照して第2のCPL3610bの光学特徴を変調すると、本明細書に開示されるような第2の発光スペクトルの少なくとも一部分にわたって高屈折率を提供するための近似メカニズムとして働く場合がある。
結果として、いくつかの非限定的な例では、第2のCPL3610bは、第2の開始波長λonset bを下回る波長で低い第2の吸光係数kを有し得る。いくつかの非限定的な例では、第2のCPL3610bは、第2の開始波長λonset bを下回る波長で、約0.1以上、0.3以上、約0.5以上、約0.75以上、約0.8以上、および/または約0.9以上である第2の吸光係数kを有し得る。
いくつかの非限定的な例では、第2のCPL3610bは、第1の導電性コーティング830aの露出層表面111と比較して、導電性コーティング材料831について比較的低い初期付着係数を示すという点で、パターニングコーティング810として追加で作用し、第2の導電性コーティング830bのその上への堆積を抑制するために、第2の発光領域1910bを含む、デバイス3700の例における第1の導電性コーティング830aの第1の部分上に選択的に堆積され得る。
いくつかの非限定的な例では、第2のCPL3610bを堆積するためのCPL材料は、第1のCPL3610aを堆積するためのCPL材料と同じおよび/または異なり得る。
図37Cは、デバイス3700を製造する段階3730を示す。段階3730では、第2の導電性コーティング830bは、デバイス3700の表面全体を導電性コーティング材料831の蒸気フラックスに曝露して、第1のCPL3610aおよび第2のCPL3610bのうちの1つが実質的にないデバイス3700のこれらの第2の部分上に第2の導電性コーティング830bとしてそれを選択的に堆積させることによって堆積することができる。いくつかの非限定的な例では、第2の導電性コーティング830bは、第3の発光領域1910c、および/またはいくつかの非限定的な例では、非発光領域1920a~1920dのうちの少なくとも1つにわたって堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、第2の導電性コーティング830bは、非発光領域1920a~1920dのうちの少なくとも1つ上に堆積され得る。
いくつかの非限定的な例では、第2の導電性コーティング830bは、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。
当業者は、第2のCPL3610bがパターニングコーティング810として作用しない場合のいくつかの非限定的な例では、パターニングコーティング810(図示せず)は、FMMが欠如していても、適切な場所および適切なときに配設されて、所望の位置に堆積されるように第2の導電性コーティング830bのパターン化を可能にすることができることを理解するであろう。
いくつかの非限定的な例では、第2の導電性コーティング830bを形成するために使用される導電性コーティング材料831は、もしあれば、初期の導電性コーティング830を形成するために使用される導電性コーティング材料831と同じおよび/または異なり得、ならびに/もしくは第1の導電性コーティング830aを形成するために使用される導電性コーティング材料831と同じおよび/または異なり得る。
図37Dは、デバイス3700を製造する段階3740を示す。段階3740では、第3のCPL3610cは、第2の導電性コーティング830bの第1の部分上に選択的に堆積される。図に示すように、いくつかの非限定的な例では、第3のCPL3610cを堆積するためのCPL材料は第3の発光領域1910cにわたって堆積され、一方、いくつかの非限定的な例では、非発光領域1920a~1920dのうちの少なくとも1つには、第2のCPL3610bが実質的にない。いくつかの非限定的な例では、第3のCPL3610cは、非発光領域1920a~1920dのうちの少なくとも1つ上に堆積され得る。
いくつかの非限定的な例では、第3のCPL3610cの厚さ、形態、および/または材料組成は、第3の開始波長λonset cおよび/または第3のピーク波長λmax cのうちの少なくとも1つを含むがこれらに限定されない、第3の発光スペクトルの少なくとも一部分にわたって高い屈折率を提供するように変調される。
いくつかの非限定的な例では、第3のCPL3610cは、いくつかの非限定的な例では、第3のピーク波長λmax cを含み得る第3の発光スペクトルの少なくとも一部において、約1.9以上、約1.95以上、約2.0以上、約2.05以上、約2.1以上、約2.2以上、約2.3以上、および/または約2.5以上である屈折率を有する。
いくつかの非限定的な例では、第3のCPL3610cの光学特徴は、第3のCPL3610cの吸収端が第3の開始波長λonset cよりもわずかに低くなるように変調される。
いくつかの非限定的な例では、物質の吸収端は、吸光係数kが0に近い閾値に近づく波長に対応し得る。結果として、いくつかの非限定的な例では、本明細書に開示されるような第3のCPL3610cの吸収端を参照して第3のCPL3610cの光学特徴を変調すると、本明細書に開示されるような第3の発光スペクトルの少なくとも一部分にわたって高屈折率を提供するための近似メカニズムとして働く場合がある。
結果として、いくつかの非限定的な例では、第3のCPL3610cは、第3の開始波長λonset cを下回る波長で低い第3の吸光係数kを有し得る。いくつかの非限定的な例では、第3のCPL3610cは、第3の開始波長λonset cを下回る波長で、約0.1以上、0.3以上、約0.5以上、約0.75以上、約0.8以上、および/または約0.9以上である第3の吸光係数kを有し得る。
いくつかの非限定的な例では、第3のCPL3610cは、第2の導電性コーティング830bの露出層表面111と比較して、導電性コーティング材料831について比較的低い初期付着係数を示すという点で、パターニングコーティング810として追加で作用し、補助電極1750を形成するための導電性コーティング材料831のその上への堆積を抑制するために、第3の発光領域1910cを含む、デバイス3700の例における第2の導電性コーティング830bの第1の部分上に選択的に堆積され得る。
いくつかの非限定的な例では、第3のCPL3610cを形成するためのCPL材料は、第1のCPL3610aを形成するためのCPL材料および/または第2のCPL3610bを形成するためのCPL材料と同じならびに/もしくは異なり得る。
図37Eは、デバイス3700を製造する段階3750を示す。段階3750では、導電性コーティング材料831は、デバイス3700の表面全体をその蒸気フラックスに曝露して、第3のCPL3610cが実質的にないデバイス3700のこれらの第2の部分上に少なくとも1つの補助電極1750としてそれを選択的に堆積させることによって堆積することができる。いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの補助電極1750は、非発光領域1920a~1920dのうちの少なくとも1つにわたって堆積され得る。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの補助電極1750は、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。
当業者は、第3のCPL3610cがパターニングコーティング810として作用しない場合のいくつかの非限定的な例では、パターニングコーティング810(図示せず)は、FMMが欠如していても、適切な場所および適切なときに配設されて、所望の位置に堆積されるように少なくとも1つの補助電極1750のパターン化を可能にすることができることを理解するであろう。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの補助電極1750を形成するために使用される導電性コーティング材料831は、もしあれば、初期の導電性コーティング830を形成するために使用される導電性コーティング材料831、第1の導電性コーティング830aを形成するために使用される導電性コーティング材料831、および/または第2の導電性コーティング830bを形成するために使用される導電性コーティング831と同じならびに/もしくは異なり得る。
図29A~29Dに関連して前に考察されるように、そのようなメカニズムは、図38A~38fで説明されるような調整されたマイクロキャビティ効果を有する所与のピクセル340のサブピクセル264xを有するデバイス100のバージョン3800の例を作成することができる。
図38Aでは、デバイス3800の製造の段階3805は、基板110、TFT絶縁層280、およびTFT絶縁層280の表面上に形成された複数の第1の電極120a~120cを含むものとして示す。
基板110は、ベース基板112(例示を簡単にする目的で、図示せず)、各々が、実質的にTFT構造200a~200cの下に位置決めされ、その関連付けられた第1の電極120a~120cに電気的に結合された対応するサブピクセル264xを有する発光領域1910a~1910cに対応し、およびそれを駆動するための少なくとも1つのTFT構造200a~200c、それらのそれぞれの第1の電極120a~120cの縁部を被覆する発光領域1910a~1910cを画定するために、基板110上に形成されたPDL440a~440d、それらのそれぞれの第1の電極120a~120cの露出領域上に堆積された少なくとも1つの半導電性層130a~130c、ならびにいくつかの非限定的な例では、取り囲むPDL440a~440dの少なくとも一部を含み得る。
図38Aの段階3805の例では、発光領域1910a、1910b、1910cは、一緒に電気的に結合されていない別個の構造を含み得る。これは、少なくとも1つのPDLパターニングコーティングを堆積することによって達成することができ、いくつかの非限定的な例では、このPDLパターニングコーティングは、いくつかの非限定的な例では、対応するPDL440a、440b、440c、440dの隆起部分を含むがこれらに限定されない、非発光領域1920a、1920b、1920c、1920cの横側面420の少なくとも一部にわたってパターニングコーティング810として作用するPDL CPL3810a、3810b、3810c、3810dを含み得る。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つのPDL CPL3810a、3810b、3810c、および/または3810dを堆積するためのCPL材料は、第1のCPL3610aを堆積するためのCPL材料、第2のCPL3610bを堆積するためのCPL材料、および/または第3のCPL3610cを堆積するためのCPL材料と同じならびに/もしくは異なり得る。
デバイス3800の代替的な段階3810は、図38Bに示されている。段階3810では、いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つのPDL CPL3810a、3810b、3810c、3810dを含み得るパターニングコーティング810を堆積するステップは、省略されている。これに関連して、図38Bは、図29Aにほぼ対応する。
いずれかの段階3805、3810では、いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830は、少なくとも1つの半導電性層130a~130c上に堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830は、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、そのような堆積は、デバイス2900の露出層表面111全体を、初期の導電性コーティング材料831の蒸気フラックスに曝露して、少なくとも1つの半導電性層130a~130c上に初期の導電性コーティング830を堆積させて、少なくとも1つの第2の電極140の第1の層を形成することによって実現することができる。
図38Aの段階3805では、第1の発光領域1910a内の少なくとも1つの第2の電極140は、いくつかの非限定的な例では、第1の発光領域1910a内の共通の厚さtc1であり得る第1の厚さを有する。第1の厚さtc1は、初期の導電性コーティング830の厚さに対応し得る。
図38Bの段階3810では、少なくとも1つの第2の電極140は、共通電極であり得る。第2の電極140aは、第1の発光領域1910a内に第1の厚さtc1を有する。第1の厚さtc1は、初期の導電性コーティング830の厚さに対応し得る。
いずれかの段階3805、3810では、いくつかの非限定的な例では、第1のCPL3610aは、第1の発光領域1910aを含むデバイス3800の第1の部分上に選択的に堆積される。
いずれかの段階3805、3810では、いくつかの非限定的な例では、第1の導電性コーティング830aは、デバイス3800上に堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、第1の導電性コーティング830aは、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、そのような堆積は、デバイス3800の露出層表面111全体を、第1の導電性コーティング材料831の蒸気フラックスに曝露して、第1のCPL3610aが実質的にない、および図38Aのステージ3805の場合には、いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つのPDL CPL3810a、3810b、3810c、3810dを含む少なくとも1つのPDLパターニングコーティング810が実質的にない初期の導電性コーティング830上に第1の導電性コーティング830aを堆積させることによって実現することができる。
いずれかの段階3805、3810では、いくつかの例では、第1の導電性コーティング830aは、第1の導電性コーティング830aが第2の電極140b、140cの第2の層を形成するように、第2および第3の発光領域1910b、1910cの横側面410を被覆する。加えて、段階3810では、第1の導電性コーティング830aは、いくつかの非限定的な例では、PDL440a~440dが位置する非発光領域1920の少なくとも一部も被覆して、少なくとも、第2の発光領域1910b用の共通電極を形成し得る。そのような第2の電極140bは、第2の発光領域1910b内に第2の厚さtc2を有する。第2の厚さtc2は、初期の導電性コーティング830と第1の導電性コーティング830aの合計厚さに対応することができ、いくつかの非限定的な例では、第1の厚さtc1よりも大きくてもよい。
当業者は、第1のCPL3610aおよび/または少なくとも1つのPDL CPL3810a、3810b、3810c、3810dがパターニングコーティング810として作用しない場合のいくつかの非限定的な例では、パターニングコーティング810(図示せず)は、FMMが欠如していても、適切な場所および適切なときに配設されて、所望の位置に堆積されるように第1の導電性コーティング830aのパターン化を可能にすることができることを理解するであろう。
図38Cでは、デバイス3800の製造の段階3820は、図29Bにほぼ対応し、段階3805ではなく段階3810が発生したと推測していることが示されているが、当業者は、対応する段階が段階3810ではなく段階3805に基づいて説明され得ることを理解するであろう。
いくつかの非限定的な例では、第2のCPL3610bは、第2の発光領域1910bを含むデバイス3800のさらなる第1の部分上に選択的に堆積される。
いくつかの非限定的な例では、第2の導電性コーティング830bは、デバイス3800上に堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、第2の導電性コーティング830bは、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、そのような堆積は、第2の導電性コーティング830bが第2のCPL3610b(および/またはいくつかの非限定的な例では、少なくとも1つのPDL CPL3810a、3810b、3810c、3810dを含み得る少なくとも1つのパターニングコーティング810)が実質的にない第1の導電性コーティング830aのさらなる第2の部分上に堆積されて、第2の電極140cの第3の層を形成するように、デバイス3800の露出層表面111全体を導電性コーティング材料831の蒸気フラックスに曝露して、第1のCPL3610aまたは第2のCPL3610b(および/またはいくつかの非限定的な例では、少なくとも1つのPDL CPL3810a、3810b、3810c、3810dを含み得る少なくとも1つのパターニングコーティング810)のいずれかが実質的にない第1の導電性コーティング830a、いくつかの例では、第3の発光領域1910c、および/またはいくつかの非限定的な例では、PDL440a~440dが位置する非発光領域1920の少なくとも一部上に第2の導電性コーティング830bを堆積させることによって実現することができる。
そのような第2の電極140cは、第3の発光領域1910c内に第3の厚さtc3を有する。第3の厚さtc3は、初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、および第2の導電性コーティング830bの合計厚さに対応することができ、いくつかの非限定的な例では、第1の厚さtc1および第2の厚さtc2のいずれかまたは両方よりも大きくてもよい。
当業者は、第1のCPL3610a、第2のCPL3610b、および/または少なくとも1つのPDL CPL3810a、3810b、3810c、3810dがパターニングコーティング810として作用しない場合のいくつかの非限定的な例では、パターニングコーティング810(図示せず)は、FMMが欠如していても、適切な場所および適切なときに配設されて、所望の位置に堆積されるように第3の導電性コーティング830cのパターン化を可能にすることができることを理解するであろう。
図38Dでは、デバイス3800の製造の段階3830は、図29Cにほぼ対応し、段階3805ではなく段階3810が発生したと推測していることが示されているが、当業者は、対応する段階が段階3810ではなく段階3805に基づいて説明され得ることを理解するであろう。
いくつかの非限定的な例では、第3のCPL3810cは、第3の発光領域1910bを含むデバイス3800の追加の第1の部分上に選択的に堆積される。
図38Eでは、デバイス3800の製造の段階3840は、図29Dにほぼ対応し、3805ではなく段階3810が発生したと推測していることが示されているが、当業者は、対応する段階が段階3810ではなく段階3805に基づいて説明され得ることを理解するであろう。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの補助電極1750は、その近接する発光領域1910a、1910b、1910c間のデバイス3800の非発光領域1920a、1920b、1920c、1920d内、およびいくつかの非限定的な例ではPDL440a、440b、440c、440d上に配設される。いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの補助電極1750を堆積するために使用される導電性コーティング材料831は、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、そのような堆積は、導電性コーティング材料831が第1のCPL3610a、第2のCPL3610b、および/または第3のCPL3610c(および/またはいくつかの非限定的な例では、少なくとも1つのPDL CPL3810a、3810b、3810c、3810dを含み得る少なくとも1つのパターニングコーティング810)のいずれも実質的ない初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、ならびに/もしくは第2の導電性コーティング830bの露出一部を含む追加の第2の部分上に堆積されて、少なくとも1つの補助電極1750を形成するように、デバイス3800の露出層表面111全体を、導電性コーティング材料831の蒸気フラックスに曝露して、第1のCPL3610a、第2のCPL3610b、および/または第3のCPL3610c(および/またはいくつかの非限定的な例では、少なくとも1つのPDL CPL3810a、3810b、3810c、3810dを含み得る少なくとも1つのパターニングコーティング810)のいずれも実質的にない初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、ならびに第2の導電性コーティング830bの露出一部上に導電性コーティング材料831を堆積させることによって実現することができる。少なくとも1つの補助電極1750の各々は、第2の電極140a~140cのそれぞれの1つに電気的に結合される。いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの補助電極1750の各々は、そのような第2の電極140a~140cと物理的に接触している。
いくつかの非限定的な例では、第1の発光領域1910a、第2の発光領域1910b、および第3の発光領域1910cは、少なくとも1つの補助電極1750を形成するために使用される導電性コーティング材料831が実質的になくてもよい。
いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、および/または第2の導電性コーティング830bのうちの少なくとも1つは、電磁スペクトルの可視波長範囲の少なくとも一部において透過性および/または実質的に透明であり得る。第1の導電性コーティング830aならびに/もしくは第2の導電性コーティング830b(および/または任意の追加の導電性コーティング830)が初期の導電性コーティング830の上部に配設されて、電磁スペクトルの可視波長範囲の少なくとも一部において透過性および/または実質的に透明でもあり得るマルチコーティング電極120、140、1750を形成する。いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、第2の導電性コーティング830b、任意の追加の導電性コーティング830、および/またはマルチコーティング電極120、140、1750のうちのいずれか1つ以上の透過率は、電磁スペクトルの可視波長範囲の少なくとも一部において、約30%を超える、約40%を超える、約45%を超える、約50%を超える、約60%を超える、70%を超える、約75%を超える、および/または約80%を超えてもよい。
いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、および/または第2の導電性コーティング830bの厚さを比較的薄くして、比較的高い透過率を維持することができる。いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830の厚さは、約5~30nm、約8~25nm、および/または約10~20nmであってもよい。いくつかの非限定的な例では、第1の導電性コーティング830aの厚さは、約1~25nm、約1~20nm、約1~15nm、約1~10nm、および/または約3~6nmであってもよい。いくつかの非限定的な例では、第2の導電性コーティング830bの厚さは、約1~25nm、約1~20nm、約1~15nm、約1~10nm、および/または約3~6nmであってもよい。いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、第2の導電性コーティング830b、および/または任意の追加の導電性コーティング830の組み合わせによって形成されたマルチコーティング電極の厚さは、約6~35nm、約10~30nm、または約10~25nm、および/または約12~18nmであってもよい。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの補助電極1750の厚さは、初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、第2の導電性コーティング830b、および/または共通電極の厚さよりも大きくてもよい。いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの補助電極1750の厚さは、約50nmを超える、約80nmを超える、約100nmを超える、約150nmを超える、約200nmを超える、約300nmを超える、約400nmを超える、約500nmを超える、約700nmを超える、約800nmを超える、約1μmを超える、約1.2μmを超える、約1.5μmを超える、約2μmを超える、約2.5μmを超える、および/または約3μmを超えてもよい。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの補助電極1750は、実質的に透明ではない、および/または不透明であり得る。しかしながら、少なくとも1つの補助電極1750は、いくつかの非限定的な例では、デバイス2900の非発光領域1920に提供され得るため、少なくとも1つの補助電極1750は、重大な光学干渉を引き起こさないか、またはそれに寄与しない場合がある。いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの補助電極1750の透過率は、電磁スペクトルの可視波長範囲の少なくとも一部の約50%未満、約70%未満、約80%未満、約85%未満、約90%未満、および/または約95%未満であってもよい。
いくつかの非限定的な例では、少なくとも1つの補助電極1750は、電磁スペクトルの可視波長範囲の少なくとも一部の光を吸収することができる。
いくつかの非限定的な例では、第1の発光領域1910a、第2の発光領域1910b、および/または第3の発光領域1910c内にそれぞれ配設された第1のCPL3610a、第2のCPL3610b、ならびに/もしくは第3のCPL3610c(および/またはいくつかの非限定的な例では、非発光領域1920a、1920b、1920c、1920d内に配設された少なくとも1つのPDL CPL3810a、3810b、3810c、3810dを含み得る少なくとも1つのパターニングコーティング810)の厚さ、組成、総光路長、かつ/あるいは屈折率を含むがこれらに限定されない、少なくとも1つの光学特性は、各発光領域1910a~1910cによって放出された光の色および/または放出スペクトルに従って変わり得る。図38D~38Eに示すように、第1のCPL3610aは、第1のCPL厚さtn1を有し得る、第2のCPL3610bは、第2のCPL厚さtn2を有し得る、および/または第3のCPL3610cは、第3のCPL厚さtn3を有し得る。いくつかの非限定的な例では、第1のCPL厚さtn1は、第2のCPL厚さtn2と同じである、それよりも大きい、および/またはそれよりも小さくてもよい。いくつかの非限定的な例では、第1のCPLの厚さtn1は、第3のCPL厚さtn3と同じである、それよりも大きい、および/またはそれよりも小さくてもよい。いくつかの非限定的な例では、第2のCPLの厚さtn2は、第3のCPL厚さtn3と同じである、それよりも大きい、および/またはそれよりも小さくてもよい。
いくつかの非限定的な例では、特に、第1のCPL3610a、第2のCPL3610b、および/または第3のCPL3610cがパターニングコーティング810として作用する場合、第1の発光領域1910a、第2の発光領域1910b、および/または第3の発光領域1910c上にそれぞれ堆積された第1のCPL厚さtn1、第2のCPL厚さtn2、および/または第3のCPL厚さtn3を変えることが有利であり得る。
第1の発光領域1910a、第2の発光領域1910b、および/または第3の発光領域1910c上にそれぞれ堆積された第1のCPL厚さtn1、第2のCPL厚さtn2、および/または第3のCPL厚さtn3を調節することによって、第1の発光領域1910a内の第2の電極140a、第2の発光領域1910b内の第2の電極140b、および/または第3の発光領域1910c内の第2の電極140cの、それぞれの第1の厚さtc1、第2の厚さtc2、および/または第3の厚さtc3に加えて、第1の発光領域1910a、第2の発光領域1910b、および/または第3の発光領域1910cの、それぞれの光マイクロキャビティ効果は、サブピクセルごとの基準で調整され得る。非限定的な例として、B(青)サブピクセル2643上に配設されたCPL3610a、3610b、3610cの厚さは、G(緑)サブピクセル2642上に配設されたCPL3610a、3610b、3610cの厚さよりも小さくてもよい。非限定的な例として、G(緑)サブピクセル2642上に配設されたCPL3610a、3610b、3610cの厚さは、R(赤)サブピクセル2641上に配設されたCPL3610a、3610b、3610cの厚さよりも小さくてもよい。
当業者は、他のサブピクセル264xの他の発光領域1910a、1910b、1910cのCPL3610a、3610b、3610cの厚さ、組成、総光路長、および/または屈折率を含むがこれらに限定されない、少なくとも1つの光学特性と比較して、所与のサブピクセル264xの1つの発光領域1910a、1910b、1910cのCPL3610a、3610b、3610cの厚さ、組成、総光路長、および/または屈折率を含むがこれらに限定されない、少なくとも1つの光学特性を調整することに加えて、別のサブピクセル264xの別の発光領域1910a、1910b、1910cの第2の電極140a、140b、140cの厚さ、組成、総光路長、および/または屈折率を含むがこれらに限定されない、少なくとも1つの光学特性と比較して、所与のサブピクセル264xの1つの発光領域1910a、1910b、1910cの第2の電極140a、140b、140cのa厚さ、組成、総光路長、および/または屈折率を含むがこれらに限定されない、少なくとも1つの光学特性を調整するために、第1の発光領域1910a、第2の発光領域1910b、および/または第3の発光領域1910cの、それぞれの光学的マイクロキャビティ効果が、初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、および/または第2の導電性コーティング830bの厚さ、組成、総光路長、および/または屈折率を含むがこれらに限定されない、少なくとも1つの光学特性を調整することによってさらに大きい程度で制御され得ることを理解するであろう。
いくつかの非限定的な例では、デバイス3800はまた、任意の数の発光領域1910a~1910c、および/またはその(サブ)ピクセル340/264xを含み得る。いくつかの非限定的な例では、デバイスは、複数のピクセル340を含むことができ、各ピクセル340は、2、3、またはそれ以上のサブピクセル264xを含むことができる。
当業者は、(サブ)ピクセル340/264xの特定の配置がデバイス設計に依存して変わり得ることを理解するであろう。いくつかの非限定的な例では、サブピクセル264xは、RGBサイドバイサイド、ダイヤモンド、および/またはPenTile(登録商標)を含むがこれらに限定されない、既知の配置スキームに従って配置することができる。
ここで、図38Fを参照すると、デバイス3800の製造の段階3835は、段階3830がちょうどこの時に発生したと推測していることが示されている。
段階3835の後、さらなるCPL3850、TFE、および/またはガラスキャップを含むがこれらに限定されない、さらなる層が、デバイス3800上に堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、CPL3850は、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積され得る。いくつかの非限定的な例では、そのような堆積は、デバイス3800の露出層表面111全体を、CPL材料の蒸気フラックスに曝露して、デバイス3800の露出層表面111の実質的にすべてにわたってCPL3850を堆積させることによって実現することができる。
いくつかの非限定的な例では、CPL3850は、通常、共通CPL材料で形成され、いくつかの非限定的な例では、デバイス100内のすべての発光領域1910にわたること含むがこれに限定されない、デバイス100の横側面の実質的にすべてに延在する実質的に共通の厚さを有する層を含む従来のCPLに類似している。
いくつかの非限定的な例では、CPL3850を堆積するためのCPL材料は、第1のCPL3810aを堆積するためのCPL材料、第2のCPL3810bを堆積するためのCPL材料、第3のCPL3810cを堆積するためのCPL材料、ならびに/もしくは少なくとも1つのPDL CPL3810a、3810b、3810c、および/または3810dを堆積するためのCPL材料と同じならびに/もしくは異なり得る。
いくつかの非限定的な例では、CPL3850は、基部表面の露出層表面111と比較して、さらなる導電性コーティング材料831(図示せず)について比較的低い初期付着係数を示すという点で、パターニングコーティング810として追加で作用し、さらなる導電性コーティング材料831のその上への堆積を抑制するために、デバイス3800の例におけるそのような基部表面の露出層表面111の第1の部分上に選択的に堆積され得る。
いくつかの非限定的な例では、特定の材料特性を有する導電性コーティング830を、そのような導電性コーティング830が容易に堆積されない基板110の露出層表面111上に堆積させることが企図される状況があり得る。非限定的な例として、純粋および/または実質的に純粋なMgは、通常、様々な有機表面上のMgの低付着係数があるため、有機表面上に容易に堆積されない。したがって、いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、第2の導電性コーティング830b、および/または少なくとも1つの補助電極1750が堆積されるべき露出層表面111は、導電性コーティング材料831を堆積する前に処理されて、いくつかの非限定的な例では、NPC1120であり得るパターニングコーティング1120を堆積することにより、初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、第2の導電性コーティング830b、および/または少なくとも1つの補助電極1750を形成することができる。
いくつかの非限定的な例では、初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、第2の導電性コーティング830b、および/または少なくとも1つの補助電極1750のうちの少なくとも1つを含むがこれらに限定されない、導電性コーティング830のための導電性コーティング材料831の堆積を容易にするためのパターニングコーティング1120の堆積は、それぞれ、少なくとも1つのPDL CPL3810a、3810b、3810c、3810d、第1のCPL3610a、第2のCPL3610b、および/または第3のCPL3610cを含むがこれらに限定されない、PDL3610の先行する堆積の前ならびに/もしくは後に発生し得る。
いくつかの非限定的な例では、そのようなパターニングコーティング1120は、少なくとも1つのPDL CPL3810a、3810b、3810c、3810d、第1のCPL3610a、第2のCPL3610b、および/または第3のCPL3610cを含むがこれらに限定されない、CPL3610が実質的にない、限定されないが、基板110、少なくとも1つの半導電性層130、少なくとも1つのPDL440a、440b、440c、440d、初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、および/または第2の導電性コーティング830bの下にある露出層表面111の部分上に堆積され得る。
いくつかの非限定的な例では、そのようなパターニングコーティング1120は、第1のCPL3610a、第2のCPL3610b、および/または第3のCPL3610cを含むがこれらに限定されない、CPL3610と、第1の導電性コーティング830a、第2の導電性コーティング830b、および/または第3の導電性コーティング830cを含むがこれらに限定されない、下にある導電性コーティング830との間の界面に堆積され得る。
図38A~38Fでは、CPL3610は、1つの発光領域1910の横範囲410のみにわたって実質的に延在するように示されている。そのような構成により、堆積時に、CPL3610が実質的にない領域内に1つ以上の導電性コーティング830が堆積されることを可能にし、FMMを採用せずに、導電性コーティング830のパターン化された堆積をもたらす。いくつかの非限定的な例では、再び図38A~38Fに示されるように、後続のCPL3610の堆積は、次に、CPL3610層が重ならないように、前のCPL3610の発光領域とは異なる発光領域1910の横範囲410にわたって堆積される。
そのような構成は、図39Aの簡略化された図の例に示されている。
第1のCPL3610aは、基部材料の露出層表面111上に堆積され、これは、いくつかの非限定的な例では、第1の発光領域1910aの横範囲410にわたる(実質的にのみ)初期の導電性コーティング830であり得る。
第1のCPL3610aの堆積に続いて、第1の導電性コーティング830aが堆積され、それによって、初期の導電性コーティング830の露出層表面111の残部上にパターン化される。
第2のCPL3610bは、第2の発光領域1910bの横範囲410にわたって、第1の導電性コーティング830a(実質的にのみ)の露出層表面111上に堆積される。
第2のCPL3610bの堆積に続いて、第2の導電性コーティング830bが堆積され、それによって、第1の導電性コーティング830aの露出層表面111の残部上にパターン化される。
第3のCPL3610cは、第3の発光領域1910cの横範囲410にわたって、第2の導電性コーティング830b(実質的にのみ)の露出層表面111上に堆積される。
第3のCPL3610cの堆積に続いて、第3の導電性コーティング830cが堆積され、それによって、第2の導電性コーティング830bの露出層表面111上にパターン化される。
第4のCPL3610dは、第4の発光領域1910dの横範囲410にわたって、第3の導電性コーティング830c(実質的にのみ)の露出層表面111上に堆積される。
第4のCPL3610dの堆積に続いて、第4の導電性コーティング830dが堆積され、それによって、第3の導電性コーティング830cの露出層表面111上にパターン化される。
したがって、それぞれ、第1の発光領域1910aと第2の発光領域1910bとの間、第2の発光領域1910bと第3の発光領域1910cとの間、第3の発光領域1910cと第4の発光領域1910dとの間に延在する非発光領域1920a、1920b、1930cの各々は、初期の導電性コーティング830、第1の導電性コーティング830a、第2の導電性コーティング830b、第3の導電性コーティング830c、および第4の導電性コーティング830dを含む、その上の5層の導電性コーティング830とともに示され、一方、第4の発光領域1910d、第3の発光領域1910c、第2の発光領域1910b、および第1の発光領域1910aの各々は、各々、導電性コーティング830の次第に少なくなる層を有し、その最上部は単一のCPL3610によって被覆される。
当業者は、CPL3610の堆積を伴う他の構成も採用することができることを理解するであろう。非限定的な例として、いくつかの非限定的な例では、後続のCPL3610は、対応する発光領域の横範囲410にわたって、および後続の発光領域1910の横範囲410にわたって、前のCPL3610上に、ならびにいくつかの非限定的な例では、それらの間に延在する非発光領域1920の横範囲420の少なくとも一部上に堆積され、完全に重なり得る。
そのような構成は、図39Bの簡略化された図の例に示されている。
第1のCPL3610aは、基部材料の露出層表面111上に堆積され、これは、いくつかの非限定的な例では、第1の発光領域1910aの横範囲410にわたる(実質的にのみ)初期の導電性コーティング830であり得る。
第1のCPL3610aの堆積に続いて、第1の導電性コーティング830aが堆積され、それによって、第1の導電性コーティング830aの露出層表面111の残部上にパターン化される。
第2のCPL3610bは、第2の発光領域1910bの横範囲410にわたって、第1の導電性コーティング830aの露出層表面111上に堆積される。しかしながら、加えて、第2のCPL3610bは、第1の発光領域1910aと第2の発光領域1910bとの間に延在する第1の非発光領域1920aの横範囲420(の少なくとも一部)にわたる第1の導電性コーティング830aの露出層表面111上、ならびに第1のCPL3610aの露出層表面111上に堆積される。
第2のCPL3610bの堆積に続いて、第2の導電性コーティング830bが堆積され、それによって、第1の導電性コーティング830aの露出層表面111の残部上にパターン化される。
第3のCPL3610cは、第3の発光領域1910cの横範囲にわたって、第2の導電性コーティング830bの露出層表面111上に堆積される。しかしながら、加えて、第3のCPL3610cは、第2の発光領域1910bと第3の発光領域1910cとの間に延在する第2の非発光領域1920bの横範囲420(の少なくとも一部)にわたる第2の導電性コーティング830bの露出層表面111上、ならびに第1の発光領域1910aの横範囲410、第2の発光領域1910b、およびそれらの間の第1の非発光領域1920aの横範囲420にわたって延在する第2のCPL3610bの露出層表面111上に堆積される。
第3のCPL3910cの堆積に続いて、第3の導電性コーティング830cが堆積され、それによって、第2の導電性コーティング830bの露出層表面111の残部上にパターン化される。
第4のCPL3610dは、第4の発光領域1910dの横範囲にわたって、第3の導電性コーティング830cの露出層表面111上に堆積される。しかしながら、加えて、第4のCPL3610dは、第3の発光領域1910cと第4の発光領域1910dとの間に延在する第3の非発光領域1920cの横範囲420(の少なくとも一部)にわたる第3の導電性コーティング830cの露出層表面111上、ならびに第1の発光領域1910の横範囲410、第2の発光領域1910b、および第1の発光領域1910aと第2の発光領域1910bとの間の第1の非発光領域1920a、および第2の発光領域1910bと第3の発光領域19との間の第2の非発光領域1920bの横範囲420にわたって延在する第3のCPL3610cの露出層表面111上に堆積される
したがって、第4の発光領域1910d、第3の発光領域1910c、第2の発光領域、および第1の発光領域1910aの各々、ならびに第3の非発光領域1920c、第2の非発光領域1920b、および第1の非発光領域1920aは、導電性コーティング830の層が次第に少なくなり、その最上部は、CPL3610の次第に数が多くなる層によって被覆されるため、導電性コーティング830またはCPL3610のいずれであろうと、各領域はその上に同じ数の層を有する。
いくつかの非限定的な例では、後続のCPL3610は、前のCPL3610上に堆積され得るが、部分的にのみ重なり得る。いくつかの非限定的な例では、各CPL3610は、複数の発光領域1910の横範囲410、およびそれらの間の少なくとも1つの非発光領域1920の横側面420にわたって延在し得る。
そのような構成は、図39Cの簡略化された図の例に示されている。
第1のCPL3610aは、基部材料の露出層表面111上に堆積され、これは、いくつかの非限定的な例では、第1の発光領域1910aの横範囲410にわたって、およびいくつかの非限定的な例では、それを越えて延在する初期の導電性コーティング830であり得る。示している例では、第1のCPL3610aは、第1の発光領域1910aおよび第2の発光領域1910bの両方の横範囲410、ならびにそれらの間の第1の非発光領域1920aの横範囲420にわたって延在する。
第1のCPL3610aの堆積に続いて、第1の導電性コーティング830aが堆積され、それによって、初期の導電性コーティング830の露出層表面111の残部上にパターン化される。
第2のCPL3610bは、第2の発光領域1910bの横範囲410にわたって、およびいくつかの非限定的な例では、それを越えて延在する、第1の導電性コーティング830aおよび第1のCPL3610aの両方の一部の露出層表面111上に堆積される。示している例では、第2のCPL3610bは、第2の発光領域1910bおよび第3の発光領域1910cの両方の横範囲410、ならびにそれらの間の第2の非発光領域1920bの横範囲420にわたって延在する。
第2のCPL3610bの堆積に続いて、第2の導電性コーティング830cが堆積され、それによって、第1の導電性コーティング830aの露出層表面111の残部上にパターン化される。
第3のCPL3610cは、第3の発光領域1910cの横範囲410にわたって、およびいくつかの非限定的な例では、それを越えて延在する、第2の導電性コーティング830bおよび第2のCPL3610bの両方の一部の露出層表面111上に堆積される。示している例では、第3のCPL3610cは、第3の発光領域1910cおよび第4の発光領域1910dの両方の横範囲410、ならびにそれらの間の第3の非発光領域1920cの横範囲420にわたって延在する。
したがって、第2の発光領域1910bおよび第3の発光領域1910cを含むがこれらに限定されない、発光領域1910のいくつかは、各々、導電性コーティング830の次第に数が多くなる層を被覆するCPL3610の複数の層を有する。
NPC
特定の理論に拘束されることを望まずに、NPC1120を設けることが、特定の表面への導電性コーティング830の堆積を容易にする場合があると想定される。
NPC1120を形成するための好適な材料の非限定的な例には、アルカリ金属、アルカリ土類金属、遷移金属および/またはポスト遷移金属、金属フッ化物、金属酸化物および/またはフラーレンを含むがこれらに限定されない金属のうちの少なくとも1つが含まれるが、これに限定されない。
本開示では、「フラーレン」という用語は、概して炭素分子を含む材料を指し得る。フラーレン分子の非限定的な例には、閉殻を形成し、球形状および/または半球形状であり得るがこれらに限定されない、多数の炭素原子を含む3次元骨格を含むがこれらに限定されない、炭素ケージ分子が含まれる。いくつかの非限定的な例では、フラーレン分子はCとして指示することができ、ここで、nはフラーレン分子の炭素骨格内に含まれた炭素原子の数に対応している整数である。フラーレン分子の非限定的な例には、Cが含まれ、ここで、nは、C70、C70、C72、C74、C76、C78、C80、C82、およびC84などであるがこれらに限定されない、50~250の範囲である。フラーレン分子のさらなる非限定的な例には、単層カーボンナノチューブおよび/または多層カーボンナノチューブを含むがこれらに限定されない、管形状および/または円筒形状の炭素分子が含まれる。
このような材料の非限定的な例には、Ca、Ag、Mg、Yb、ITO、IZO、ZnO、フッ化イッテルビウム(YbF)、フッ化マグネシウム(MgF)、およびフッ化セシウム(CsF)が含まれる。
成果および実験的観察に基づいて、本明細書でさらに考察されるようなフラーレン、Agおよび/またはYbを含むがこれらに限定されない金属、ならびに/もしくはITOおよび/またはIZOを含むがこれらに限定されない金属酸化物を含むがこれらに限定されない核生成促進材料は、Mgを含むがこれに限定されない導電性コーティング830の堆積のための核生成部位として作用し得る。
いくつかの非限定的な例では、NPC1120は、少なくとも1つの半導電性層130の一部によって提供され得る。非限定的な例として、EIL139を形成するための材料は、オープンマスク堆積プロセスおよび/またはマスクフリー堆積プロセスを使用して堆積されて、デバイス100の発光領域1910および/または非発光領域1920の両方にそのような材料の堆積をもたらすことができる。いくつかの非限定的な例では、EIL139を含むがこれに限定されない少なくとも1つの半導電性層130の一部を堆積させて、保護された領域3065内の1つ以上の表面をコーティングすることができる。EIL139を形成するためのそのような材料の非限定的な例には、Li、アルカリ土類金属、MgF、フラーレン、Yb、YbFおよび/またはCsFを含むがこれらに限定されないアルカリ土類金属のフッ化物を含むがこれらに限定されないアルカリ金属のうちの少なくとも1つ以上が含まれる。
いくつかの非限定的な例では、NPC1120は、第2の電極140ならびに/もしくはその一部分、層、および/または材料によって提供され得る。いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、保護された領域3065に配置された層表面3111を被覆するように横方向に延在し得る。いくつかの非限定的な例では、第2の電極140は、その下層およびその第2の層を含み得、その第2の層は、その下層上に堆積される。いくつかの非限定的な例では、第2の電極140の下層は、限定されないが、ITO、IZoおよび/またはZnOなどの酸化物を含み得る。いくつかの非限定的な例では、第2の電極140の上層は、限定されないが、Ag、Mg、Mg:Ag、Yb/Ag、他のアルカリ金属および/または他のアルカリ土類金属のうちの少なくとも1つなどの金属を含み得る。
いくつかの非限定的な例では、第2の電極140の下層は、それがNPC1120を形成するように、保護された領域3065の表面を被覆するように横方向に延在し得る。いくつかの非限定的な例では、保護された領域3065を画定する1つ以上の表面を処理して、NPC1120を形成することができる。いくつかの非限定的な例では、そのようなNPC1120は、保護された領域3065の表面をプラズマ、UVおよび/またはUVオゾン処理にかけることを含むがこれらに限定されない、化学的および/または物理的処理によって形成され得る。
特定の理論に拘束されることを望まずに、そのような処理は、そのような表面を化学的にかつ/あるいは物理的に変更して、その少なくとも1つの特性を修正すると想定される。非限定的な例として、表面のそのような処理は、そのような表面上のC-Oおよび/またはC-OH結合の濃度を増加させ、そのような表面の粗さを増加させ、および/またはハロゲン、窒素含有官能基、および/または酸素含有官能基を含むがこれらに限定されない、特定の種および/または官能基の濃度を増加させ、その後、NPC1120として作用させ得る。
いくつかの非限定的な例では、仕切り3221は、NPC1120を含み、および/またはNPC1120によって形成される場合。非限定的な例として、補助電極1750は、NPC1120として作用することができる。
いくつかの非限定的な例では、NPC1120を形成するために使用するのに好適な材料には、少なくとも約0.4(または40%)、少なくとも約0.5、少なくとも約0.6、少なくとも約0.7、少なくとも約0.75、少なくとも約0.8、少なくとも約0.9、少なくとも約0.93、少なくとも約0.95、少なくとも約0.98、および/または少なくとも約0.99の導電性コーティング830の材料についての初期付着確率Sを示すか、またはそれを有するように特徴付けられるものが含まれる。
非限定的な例として、限定されないが、フラーレン処理表面での蒸発プロセスを使用してMgが堆積される状況では、いくつかの非限定的な例では、フラーレン分子は、Mg堆積のための安定した核の形成を促進することができる核生成部位として作用し得る。
いくつかの非限定的な例では、フラーレンを含むがこれに限定されない、NPC1120の単分子層未満は、Mgの堆積のための核生成部位として作用するように処理された表面上に提供され得る。
いくつかの非限定的な例では、NPC1120のいくつかの単分子層をその上に堆積することによって表面を処理すると、核生成部位の数が多くなり、したがって、初期付着確率Sが高くなり得る。
当業者は、表面上に堆積された、フラーレンを含むがこれに限定されない材料の量が、1つの単分子層よりも多い、または少なくてもよいことを理解するであろう。非限定的な例として、そのような表面は、0.1単分子層、1単分子層、10単分子層、またはそれ以上の核生成促進材料および/または核生成抑制材料を堆積させることによって処理されてもよい。
いくつかの非限定的な例では、基部材料の露出層表面111上に堆積されたNPC1120の厚さは、約1nm~約5nmおよび/または約1nm~約3nmであり得る。
本開示は、蒸着に関して、少なくとも1つの層および/またはコーティングを参照して、薄膜形成について考察されているが、当業者は、いくつかの非限定的な例では、エレクトロルミネセントデバイス100の様々な構成要素が、蒸発(熱蒸発および/または電子ビーム蒸発を含むがこれらに限定されない)、フォトリソグラフィ、印刷(インクジェットおよび/または蒸気ジェット印刷、リールツーリール印刷、ならびに/もしくはミクロ接触転写印刷を含むがこれらに限定されない)、PVD(スパッタリングを含むがこれに限定されない)、CVD(PECVDおよび/またはOVPDを含むがこれに限定されない)、レーザーアニーリング、LITIパターニング、ALD、コーティング(スピンコーティング、ディップコーティング、ラインコーティング、および/またはスプレーコーティングを含むがこれに限定されない)、および/またはそれらの任意の2つ以上の組み合わせを含むがこれらに限定されない、多種多様な技法を使用して堆積され得ることを理解するであろう。そのようなプロセスは、シャドウマスクと組み合わせて使用して、様々なパターンを達成することができる。
NIC
特定の理論に拘束されることを望まずに、基板110の露出表面111とNIC810との間の界面および/またはその近傍での薄膜の核生成および成長中、NIC810による薄膜の固体表面の「ディウェッティング」のために、膜の縁部と基板110との間の比較的高い接触角θが観察されると想定されている。そのようなディウェッティング特性は、基板110、薄膜、蒸気7、およびNIC810層の間の表面エネルギーの最小化によって推進され得る。したがって、NIC810の存在およびその特性は、いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830の縁部の核生成および成長モードへの影響を有し得ると想定されている。
特定の理論に拘束されることを望まずに、いくつかの非限定的な例では、導電性コーティング830の接触角θは、導電性コーティング830が形成される面積に隣接して配設されたNIC810の特性(初期付着確率Sを含むがこれに限定されない)に少なくとも部分的に基づいて決定され得る。したがって、比較的高い接触角θを示す導電性コーティング830の選択的堆積を可能にするNIC810材料は、いくつかの利点を提供することができる。
特定の理論に拘束されることを望まずに、いくつかの非限定的な例では、核生成および成長中に存在する様々な界面張力間の関係は、毛細管理論におけるヤングの式に従って決定され得ると想定されている。
γsv=γfs+γvf cosθ
式中、γsvは基板110と蒸気との間の界面張力に対応し、γfsは薄膜と基板110との間の界面張力に対応し、γvfは蒸気と膜との間の界面張力に対応し、θは膜核の接触角である。図40は、この等式で表される様々なパラメータ間の関係を示している。
ヤングの式に基づいて、島の成長の場合、膜核の接触角θはゼロよりも大きく、したがってγsv<γfs+γvfであると導出することができる。
堆積膜が基板110を「濡らす」層成長の場合、核接触角θ=0、およびしたがって、γsv=γfs+γvfである。
Stranski-Krastanov(S-K)成長の場合、膜の異常成長の単位面積当たりのひずみエネルギーは、蒸気と膜との間の界面張力に対して大きく、γsv>γfs+γvfである。
NIC810と基板110の露出層表面111との間の界面での導電性コーティング830の核生成および成長モードは、θ>0である島成長モデルに従うことができると想定され得る。特に、NIC810が、導電性コーティング830を形成するために使用される材料に対して比較的低い親和性および/または低い初期付着確率S(すなわち、ディウェッティング)を示し、導電性コーティング830の比較的高い薄膜接触角をもたらす場合である。反対に、非限定的な例として、シャドウマスクを採用することにより、NIC810を使用せずに導電性コーティング830を表面上に選択的に堆積させるとき、導電性コーティング830の核生成および成長モードが異なる場合がある。特に、シャドウマスクパターニングプロセスを使用して形成された導電性コーティング830は、少なくとも、いくつかの非限定的な例では、約10°未満の比較的低い薄膜接触角を示し得ることが観察されている。
当業者は、明示的に示していないが、NIC810を形成するために使用される材料はまた、導電性コーティング830と基部表面(NPC1120層および/または基板110の表面を含むが、これらに限定されない)との間の界面に、ある程度存在し得ることを理解するであろう。そのような材料は、シャドウイング効果の結果として堆積される場合があり、その場合、堆積したパターンはマスクのパターンと同一ではなく、いくつかの非限定的な例では、いくらかの蒸発した材料がターゲット表面111のマスクされた一部に堆積される場合がある。非限定的な例として、そのような材料は、島および/または切り離されたクラスタとして、ならびに/もしくはNIC810の平均厚さよりも実質的に薄い場合がある厚さを有する薄膜として形成することができる。
非限定的な例として、脱離のための活性化エネルギー(Edes631)が熱エネルギー(kT)の約2倍未満、熱エネルギー(kT)の約1.5倍未満、熱エネルギー(kT)の約1.3倍未満、熱エネルギー(kT)の約1.2倍未満、熱エネルギー(kT)未満、熱エネルギー(kT)の約0.8倍未満、および/または熱エネルギー(kT)の約0.5倍未満であることが望ましくあり得る。いくつかの非限定的な例では、表面拡散(E621)についての活性化エネルギーが、熱エネルギー(kT)よりも大きく、熱エネルギー(kT)の約1.5倍を超える、熱エネルギー(kT)の約1.8倍を超える、熱エネルギー(kT)の約2倍を超える、熱エネルギー(kT)の約3倍を超える、熱エネルギー(kT)の約5倍を超える、熱エネルギー(kT)の約7倍を超える、および/または熱エネルギー(kT)の約10倍を超えることが望ましい。
いくつかの非限定的な例では、NIC810を形成するために使用するのに好適な材料には、約0.3(または30%)以下および/またはそれ未満、約0.2以下および/またはそれ未満、約0.1以下および/またはそれ未満、約0.05以下および/またはそれ未満、0.03以下および/またはそれ未満、0.02以下および/またはそれ未満、0.01以下および/またはそれ未満、約0.08以下および/またはそれ未満、約0.005以下および/またはそれ未満、約0.003以下および/またはより小さいその未満、約0.001以下および/または約それ未満、約0.0008以下および/またはそれ未満、約0.0005以下および/またはそれ未満、ならびに/もしくは約0.0001以下および/またはそれ未満の導電性コーティング830の材料についての初期付着確率Sを示す、かつ/あるいはそれを有するように特徴付けられるものが含まれ得る。
いくつかの非限定的な例では、NIC810を形成するために使用するのに好適な材料には、約0.03~約0.0001、約0.03~約0.0003、約0.03~約0.0005、約0.03~約0.0008、約0.03~約0.001、約0.03~約0.005、約0.03~約0.008、約0.03~約0.01、約0.02~約0.0001、約0.02~約0.0003、約0.02~約0.0005、約0.02~約0.0008、約0.02~約0.0005、約0.02~約0.0008、約0.02~約0.001、約0.02~約0.005、約0.02~約0.008、約0.02~約0.01、約0.01~約0.0001、約0.01~約0.0003、約0.01~約0.0005、約0.01~約0.0008、約0.01~約0.001、約0.01~約0.005、約0.01~約0.008、約0.008~約0.0001、約0.008~約0.0003、約0.008~約0.0005、約0.008~約0.0008、約0.008~約0.001、約0.008~約0.005、約0.005~約0.0001、約0.005~約0.0003、約0.005~約0.0005、約0.005~約0.0008、および/または約0.005~約0.001の導電性コーティング830の材料についての初期付着確率Sを示す、かつ/あるいはそれを有するように特徴付けられるものが含まれ得る。
いくつかの非限定的な例では、NIC810を形成するために使用するのに好適な材料には、小分子有機材料および/または有機ポリマーなどの有機材料が含まれ得る。好適な有機材料の非限定的な例には、窒素(N)、硫黄(S)、酸素(O)、リン(P)、および/またはAlを含むがこれらに限定されない、任意に1つ以上のヘテロ原子を含むがこれらに限定されない、有機分子を含むがこれらに限定されない、多環式芳香族化合物が含まれるがこれらに限定されない。いくつかの実施形態では、多環式芳香族化合物には、コア部分およびコア部分に化学結合した少なくとも1つの末端部分を各々が含む有機分子が含まれるがこれらに限定されない。末端部分の非限定的な数は、1以上、2以上、3以上、および/または4以上であってもよい。上記の一般性を限定することなく、2つ以上の末端部分の場合に、末端部分は同じであっても異なっていてもよく、および/または末端部分のサブセットは同じでも少なくとも1つの残りの部分と異なっていてもよい。
好適な核生成抑制材料には、小分子有機材料および有機ポリマーなどの有機材料が含まれる。
いくつかの非限定的な例では、核生成抑制コーティングを形成するために使用され得る材料は、ポリマー材料を含む。ポリマー材料は、フルオロポリマーを含むがこれに限定されない。フルオロポリマーは、パーフルオロ化ポリマーおよびポリテトラフルオロエチレン;ポリビニルビフェニル;ポリビニルカルバゾール(PVK)、上述した複数の多環芳香族化合物を重合することによって形成されるポリマーを含むが、これらに限定されない。
いくつかの非限定的な例では、核生成抑制コーティングを形成するために使用され得る材料は、TAZ、BAlq、これらの混合物を含むが、これらには限定されない。
NIC810を形成するために使用するのに好適な材料の非限定的な例には、米国特許第10,270,033号、PCT国際出願番号第PCT/IB2018/052881号、PCT国際出願番号第PCT/IB2019/053706号および/またはPCT国際出願番号第PCT/IB2019/050839号のうちの少なくとも1つで説明されている少なくとも1つの材料が含まれる。
いくつかの非限定的な例では、NIC810は、光学コーティングとして作用し得る。いくつかの非限定的な例では、NIC810は、デバイス100の少なくとも1つの発光領域1910から放出される光の少なくとも特性および/または特徴を修正することができる。いくつかの非限定的な例では、NIC810は、ある程度のヘイズを示し、放出された光を散乱させる可能性がある。いくつかの非限定的な例では、NIC810は、それを透過した光を散乱させるための結晶性材料を含み得る。いくつかの非限定的な例では、そのような光の散乱は、デバイスからの光のアウトカップリングの強化を容易にし得る。いくつかの非限定的な例では、NIC810は、実質的にアモルファスを含むがこれに限定されない実質的に非結晶のコーティングとして最初に堆積され得、その後、その堆積後、NIC810は結晶化され、その後、光結合として機能することができる。
前に考察されたように、いくつかの非限定的な例では、CPL3610のうちの1つ以上は、NIC810として作用することができ、いくつかの非限定的な例では、本明細書で説明される挙動を示し得る。
本開示の特徴または態様がマーカッシュグループに関して説明する場合、本開示がまた、それにより、そのようなマーカッシュグループの要素のサブグループの任意の個々の要素に関して説明していることが当業者に理解されよう。
専門用語
特に明記されていない限り、単数形の参照には複数形が含まれ、その逆も同様である。
本明細書で使用される場合、「第1の」および「第2の」などの関係用語、および「a」、「b」などのような、番号を付したデバイスは、そのような対象物または要素間の物理的または論理的関係もしくは順序を必ずしも必要あるいは暗示することなく、1つの対象物または要素を別の対象物または要素と区別するためにのみ使用され得る。
「含む(including)」および「備える(comprising)」という用語は、広範かつオープンエンド様式で使用され、したがって、「含むが、~に限定されない」を意味すると解釈されるべきである。「例」および「例示的な」という用語は、単に例示の目的で事例を識別するために使用され、本発明の範囲を記述された事例に限定するものとして解釈されるべきではない。特に、「例示的な」という用語は、デザイン、性能、またはその他の観点から、それが使用される表現に賞賛、有益、または他の品質を示すまたは授けると解釈されるべきではない。
任意の形態の「結合する」および「通信する」という用語は、光学的、電気的、機械的、化学的、または別の方法であるかに関わらず、いくつかのインターフェース、デバイス、中間構成要素、または接続を通した直接接続もしくは間接接続のいずれかを意味することを意図する。
別の構成要素に対する最初の構成要素に関して使用されるときの「上(on)」または「上(over)」、ならびに/もしくは「被覆する(covering)」または別の構成要素を「被覆する(covers)」という用語は、最初の構成要素が他の構成要素上に直接ある(それと物理的に接触していることを含むがこれに限定されない)場面、ならびに1つ以上の介在する構成要素が最初の構成要素と他の構成要素との間に位置決めされている場合を包含し得る。
量、比、および他の数値は、本明細書において範囲形式で提示される場合がある。そのような範囲形式は、便宜上、例示、および簡潔さのために使用され、範囲の制限として明示的に指定された数値だけでなく、その範囲内に包含されるすべての個々の数値および/または部分範囲を、各数値および/または部分範囲が明示的に指定されるのと同等に含むように柔軟に理解されるべきである。
「上向き」、「下向き」、「左」および「右」などの方向用語は、特記しない限り、参照される図面内の方向を指すために使用される。同様に、「内向き」および「外向き」などの単語は、それぞれ、デバイスの幾何中心、面積または体積、もしくはそれらの指示された一部に向かう方向、かつ離れる方向を指すために使用される。さらに、本明細書で説明するすべての寸法は、ある特定の実施形態を示す目的の例としてのみ意図されており、本開示の範囲を、指定され得るようなそのような寸法から逸脱し得る任意の実施形態に限定することを意図しない。
本明細書で使用する場合、「実質的に」、「実質的な」、「約(approximately)」、および/または「約(about)」という用語は、小さい変動を示し、考慮するために使用される。事象または状況と組み合わせて使用する場合、そのような用語は、事象または状況が正確に発生する場合だけでなく、事象または状況が近似的に発生する場合も指す場合がある。非限定的な例として、数値と併せて使用されるとき、そのような用語は、±5%以下、±4%以下、±3%以下、±2%以下、±1%以下、±0.5%以下、±0.1%以下、および/または±0.05%以下などの、そのような数値の±10%以下の変動の範囲を指すことができる。
本明細書で使用される場合、「から実質的になる」という語句は、具体的に列挙されたこれらの要素、および説明する技術の基本的かつ新規の特徴に著しく影響を与えない任意の追加の要素を含むと理解されるが、任意の修飾語句を使用していない「からなる」という句は、具体的に説明していない任意の要素を除外する。
当業者によって理解されるように、特に書面による説明を提供するという観点から、ありとあらゆる目的のために、本明細書に開示されるすべての範囲は、ありとあらゆる可能な部分範囲およびその部分範囲の組み合わせも包含する。任意に列挙された範囲は、2分の1、3分の1、4分の1、5分の1、10分の1などを含むがこれらに限定されない、同じ範囲を少なくともその等しい分数に分割することを十分に説明し、可能にするものとして簡単に認識することができる。非限定的な例として、本明細書で考察される各範囲は、下3分の1、中3分の1、および/または上3分の1などに容易に分割することができる。
また、当業者によって理解されるように、「最大」、「少なくとも」、「より大きい」、「未満」などのすべての言語および/または専門用語は、列挙された範囲を含む、および/またはそれ(それら)を指す場合があり、本明細書で考察されるように、その後部分範囲に分割することができる範囲も指す場合がある。
当業者によって理解されるように、範囲は、列挙された範囲の各個々の要素を含む。
概要
要約書の目的は、関連する特許庁または一般利用者、かつ具体的には特許または法的な用語もしくは言い回しに精通していない当業者が、大まかな検査、技術開示の性質から迅速に決定することを可能にするためである。要約は、本開示の範囲を画定することを意図するものでも、決して本開示の範囲を限定することを意図するものでもない。
現在開示されている実施例の構造、製造、および使用は、上記で考察されている。考察された特定の実施例は、本明細書に開示された概念を作製および使用するための特定の方法の単なる例示であり、本開示の範囲を限定するものではない。むしろ、本明細書に記述された一般原則は、本開示の範囲の単なる例示であるとみなされる。
提供される実装形態の詳細ではなく特許請求の範囲によって説明し、変更、省略、追加、または置換することによって、かつ/あるいは代替物および/または均等物の機能的要素を有する任意の要素および/または限定の欠如によって修正することができる本開示は、本明細書に具体的に開示されているかどうかにかかわらず、当業者には明らかであり、本明細書に開示された実施例に対して行われ得、本開示から外れることなく、多種多様な具体的な文脈で具体化され得る多くの適用可能な発明の概念を提供し得ることを理解されたい。
特に、上記の実施例のうちの1つ以上に説明および例示する特徴、技法、システム、サブシステム、および方法は、個別または別個のものとして説明しており、例示されているかどうかにかかわらず、本開示の範囲から逸脱することなく、別のシステムと組み合わせる、またはそれと一体化して、明示的に上述されていない場合がある特徴部の組み合わせまたは部分組み合わせ、もしくは特定の機能が省略されている、または実装されていないある特定の特徴部から成る代替実施例を作成することができる。そのような組み合わせおよび部分組み合わせに好適な特徴部は、本出願全体を見直すと、当業者には容易に明らかになるであろう。変化、置換、および変更の他の例は、簡単に確認可能であり、本明細書に開示された趣旨および範囲から逸脱することなく行うことができる。
本開示の原理、態様、および実施例、ならびにそれらの具体例を列挙する本明細書のすべての記述は、それらの構造的均等物および機能的均等物の両方を包含し、技術におけるすべての好適な変化を網羅および包含することを意図している。追加的に、そのような均等物には、現在知られている均等物および将来開発される均等物の両方、すなわち、構造に関係なく同じ機能を実行する開発された任意の要素が含まれることが意図されている。
したがって、本明細書およびそこに開示された実施例は、例示のみであるとみなされるべきであり、本開示の真の範囲は、以下の番号が付された特許請求の範囲によって開示されている。

Claims (59)

  1. 複数の層を有する光電子デバイスであって、前記光電子デバイスは、
    第1のキャッピング層(CPL)であって、前記第1のCPLは、第1のCPL材料を含み、かつ、第1の発光領域内に配置されており、前記第1の発光領域は、第1の開始波長を特徴とする第1の波長スペクトルを有する光子を前記第1のCPLを通して放出するように構成されている、第1のCPLと、
    第2のCPLであって、前記第2のCPLは、第2のCPL材料を含み、かつ、第2の発光領域内に配置されており、前記第2の発光領域は、第2の開始波長を特徴とする第2の波長スペクトルを有する光子を前記第2のCPLを通して放出するように構成されており、前記第2の開始波長は、前記第1の開始波長とは異なる、第2のCPLと
    を含み、
    前記第1のCPLは、前記第1の開始波長よりも短い第1の吸収端波長での第1の吸収端を示し
    前記第2のCPLは、前記第2の開始波長よりも短い第2の吸収端波長での第2の吸収端を示し
    前記第1のCPLの光学特性は、前記第2のCPLの光学特性とは異なり、
    前記第1のCPLおよび前記第2のCPLのうちの少なくとも一方は、導電性コーティングをパターニングするための核生成抑制コーティング(NIC)であり、前記第1のCPLおよび前記第2のCPLのうちの前記少なくとも一方の露出層表面は、前記導電性コーティングの閉じたフィルムを欠いている、光電子デバイス。
  2. 前記第1の開始波長は、前記第2の開始波長よりも短い、請求項1に記載の光電子デバイス。
  3. 前記第1の吸収端波長は、前記第2の吸収端波長よりも短い、請求項1または請求項2に記載の光電子デバイス。
  4. 前記第1の吸収端は、前記第1のCPLの吸光係数が閾値に等しい第1の吸光波長を特徴とし、前記第2の吸収端は、前記第2のCPLの吸光係数が前記閾値に等しい第2の吸光波長を特徴とする、請求項1~3のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  5. 前記第1の開始波長は、50nm、40nm、35nm、30nm、25nm、20nm、15nm、10nm、nm、nmのうちの少なくとも1つ未満だけ前記第1の吸収端波長よりも長い、請求項4に記載の光電子デバイス。
  6. 前記第1の吸光波長は、前記第1のCPLの前記吸光係数が前記閾値に等しい少なくとも1つの波長のうちの最も長い波長である、請求項4または請求項5に記載の光電子デバイス。
  7. 波長の関数としての前記第1のCPLの前記吸光係数の一次導関数は、前記第1の吸光波長で負である、請求項4~6のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  8. 前記第1の吸光波長よりも長い波長での前記第1のCPLの前記吸光係数は、前記閾値よりも小さい、請求項4~7のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  9. 前記第1の吸光波長よりも長いすべての波長での前記第1のCPLの前記吸光係数は、前記閾値よりも小さい、請求項4~8のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  10. 前記第1の開始波長よりも長い任意の波長での前記第1のCPLの前記吸光係数は、0.10.090.080.060.050.030.010.0050.0001のうちの少なくとも1つよりも小さい、請求項4~9のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  11. 前記第1の吸収端波長よりも短い波長での前記第1のCPLの前記吸光係数は、0.10.120.130.150.180.20.250.30.50.70.750.80.91.0のうちの少なくとも1つを超える、請求項4~10のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  12. 前記第1の吸収端波長よりも長い少なくとも1つの波長についての前記第1のCPLの屈折率は、前記第1の吸収端波長よりも短い少なくとも1つの波長についての前記第1のCPLの屈折率を超える、請求項4~11のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  13. 前記第1の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長での前記第1のCPLの屈折率は、1.81.91.952.052.12.22.32.5のうちの少なくとも1つを超える、請求項4~12のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  14. 前記第2の開始波長は、200nm、150nm、130nm、100nm、80nm、70nm、60nm、50nm、40nm、35nm、25nm、20nm、15nm、10nmのうちの少なくとも1つ未満だけ前記第2の吸収端波長よりも長い、請求項4~13のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  15. 前記第2の吸光波長は、前記第2のCPLの前記吸光係数が前記閾値に等しい少なくとも1つの波長のうちの最も長い波長である、請求項4~14のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  16. 波長の関数としての前記第2のCPLの前記吸光係数の一次導関数は、前記第2の吸光波長で負である、請求項4~15のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  17. 前記第2の吸光波長よりも長い波長での前記第2のCPLの前記吸光係数は、前記閾値よりも小さい、請求項4~16のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  18. 前記第2の吸光波長よりも長いすべての波長での前記第2のCPLの前記吸光係数は、前記閾値よりも小さい、請求項4~17のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  19. 前記第2の開始波長よりも長い任意の波長での前記第2のCPLの前記吸光係数は、0.10.090.080.060.050.030.010.0050.0001のうちの少なくとも1つよりも小さい、請求項4~18のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  20. 前記第2の吸収端波長よりも短い波長での前記第2のCPLの前記吸光係数は、0.10.120.130.150.180.20.250.30.50.70.750.80.91.0のうちの少なくとも1つを超える、請求項4~19のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  21. 前記第2の吸収端波長よりも長い少なくとも1つの波長についての前記第2のCPLの屈折率は、前記第2の吸収端波長よりも短い少なくとも1つの波長についての前記第1のCPLの屈折率を超える、請求項4~20のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  22. 前記第2の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長での前記第2のCPLの屈折率は、1.81.91.952.052.12.22.32.5のうちの少なくとも1つを超える、請求項4~21のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  23. 前記第1のCPLの前記吸光係数は、前記第2の開始波長で前記閾値よりも小さい、請求項4~22のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  24. 前記第1のCPLの前記吸光係数は、前記第2の波長スペクトルにおけるすべての波長で前記閾値よりも小さい、請求項4~23のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  25. 前記第2の波長スペクトルにおける任意の波長での前記第1のCPLの前記吸光係数は、0.10.090.080.060.050.030.010.0050.001のうちの少なくとも1つよりも小さい、請求項4~24のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  26. 前記第1の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長についての前記第1のCPLの屈折率は、前記第2の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長についての前記第1のCPLの屈折率を超える、請求項4~25のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  27. 前記第2の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長についての前記第2のCPLの屈折率は、前記第1の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長についての前記第2のCPLの屈折率を超える、請求項4~26のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  28. 前記第2の波長スペクトルの少なくとも1つの波長についての前記第1のCPLの屈折率は、1.81.71.651.61.51.451.41.3のうちの少なくとも1つよりも小さい、請求項4~27のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  29. 前記第1の波長スペクトルの少なくとも1つの波長での前記第2のCPLの屈折率は、1.81.71.651.61.51.451.41.3のうちの少なくとも1つよりも小さい、請求項4~28のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  30. 前記第2のCPLの前記吸光係数は、前記第1の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長についての前記第1のCPLの前記吸光係数を超える、請求項4~29のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  31. 前記第2のCPLの前記吸光係数は、前記第1の波長スペクトルにおけるあらゆる波長についての前記第1のCPLの前記吸光係数を超える、請求項4~30のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  32. 前記閾値は、0.1、0.09、0.08、0.06、0.05、0.03、0.01、0.005、0.001のうちの1つである、請求項4~31のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  33. 前記第1の波長スペクトルおよび前記第2の波長範囲は、可視スペクトルに位置する、請求項1~32のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  34. 前記第1の波長スペクトルは、第1のピーク波長を有し、前記第2の波長スペクトルは、前記第1のピーク波長よりも長い第2のピーク波長を有する、請求項1~33のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  35. 前記第1の開始波長は、前記第1の波長スペクトルの強度が前記第1のピーク波長での強度の20%、15%、10%、%、%、%、0.1%のうち少なくとも1つである少なくとも1つの波長のうちの最も短い波長である、請求項34に記載の光電子デバイス。
  36. 前記第2の開始波長は、前記第2の波長スペクトルの強度が前記第2のピーク波長での強度の20%、15%、10%、%、%、%、0.1%のうち少なくとも1つである少なくとも1つの波長のうちの最も短い波長である、請求項34または請求項35に記載の光電子デバイス。
  37. 前記第1の波長スペクトルは、B(青)およびG(緑)のうちの少なくとも1つである色に対応している、請求項1~36のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  38. 前記第2の波長スペクトルは、R(赤)およびG(緑)のうちの少なくとも1つである色に対応している、請求項1~37のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  39. 前記第1の波長スペクトルは、B(青)である色に対応し、前記第2の波長スペクトルは、G(緑)およびR(赤)のうちの少なくとも1つである色に対応している、請求項1~38のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  40. 前記第1の波長スペクトルは、G(緑)である色に対応し、前記第2の波長スペクトルは、R(赤)である色に対応している、請求項1~38のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  41. 前記第1のCPL材料は、前記第2のCPL材料とは異なる組成を有する、請求項1~40のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  42. 前記光電子デバイスは、前記第1の発光領域および前記第2の発光領域内に少なくとも1つの電極コーティングをさらに含む、請求項1~41のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  43. 前記第1のCPLは、前記少なくとも1つの電極コーティングの露出層表面上に配置されている、請求項1~42のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  44. 前記少なくとも1つの電極コーティングは、金属コーティングと、前記金属コーティングの露出層表面上に配置されている前記導電性コーティングとを含む、請求項43に記載の光電子デバイス。
  45. 前記光電子デバイスは、半導電性層をさらに含み、前記少なくとも1つの電極コーティングは、前記半導電性層と前記第1の発光領域内の前記第1のCPLとの間に延在し、かつ、前記半導電性層と前記第2の発光領域内の前記第2のCPLとの間に延在する、請求項44に記載の光電子デバイス。
  46. 前記光電子デバイスは、第3のキャッピング層(CPL)をさらに含み、前記第3のCPLは、第3のCPL材料を含み、かつ、第3の発光領域内に配置されており、前記第3の発光領域は、第3の開始波長を特徴とする第3の波長スペクトルを有する光子を前記第3のCPLを通して放出するように構成されており、前記第3の開始波長は、前記第1の開始波長および前記第2の開始波長のうちの少なくとも一方と異なり、前記第3のCPLの光学特性は、前記第1のCPLおよび前記第2のCPLのうちの少なくとも一方の光学特性と異なる、請求項1~45のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  47. 前記第3の波長スペクトルは、第3のピーク波長を有し、前記第3のピークは、前記第2の波長スペクトルの第2のピーク波長よりも短く、かつ、前記第1の波長スペクトルの第1のピーク波長よりも長い、請求項46に記載の光電子デバイス。
  48. 前記第1の波長スペクトルは、B(青)である色に対応し、前記第2の波長スペクトルは、G(緑)である色に対応し、前記第3の波長スペクトルは、R(赤)である色に対応する、請求項46または請求項47に記載の光電子デバイス。
  49. 前記第3のCPLは、前記第3の開始波長よりも短い第3の吸収端波長での第3の吸収端を示し前記第3のCPLは、導電性コーティングをパターニングするための核生成抑制コーティング(NIC)であり、前記第3のCPLの露出層表面は、前記導電性コーティングの閉じたフィルムを欠いている、請求項46~48のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  50. 前記第3の吸収端は、前記第3のCPLの吸光係数が閾値に等しい第3の吸光波長を特徴とする、請求項49に記載の光電子デバイス。
  51. 前記第3の開始波長は、200nm、150nm、130nm、100nm、80nm、70nm、60nm、50nm、40nm、35nm、25nm、20nm、15nm、10nmのうちの少なくとも1つ未満だけ前記第3の吸収端波長よりも長い、請求項49または請求項50に記載の光電子デバイス。
  52. 前記第3の吸光波長は、前記第3のCPLの前記吸光係数が前記閾値に等しい少なくとも1つの波長のうちの最も長い波長である、請求項50または請求項51に記載の光電子デバイス。
  53. 波長の関数としての前記第3のCPLの前記吸光係数の一次導関数は、前記第3の吸光波長で負である、請求項50~52のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  54. 前記第3の吸光波長よりも長い波長での前記第3のCPLの前記吸光係数は、前記閾値よりも小さい、請求項50~53のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  55. 前記第3の吸光波長よりも長いすべての波長での前記第3のCPLの前記吸光係数は、前記閾値よりも小さい、請求項50~54のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  56. 前記第3の開始波長よりも長い任意の波長での前記第3のCPLの前記吸光係数は、0.10.090.080.060.050.030.010.0050.0001のうちの少なくとも1つよりも小さい、請求項50~55のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  57. 前記第1の吸収端波長よりも短い波長での前記第3のCPLの前記吸光係数は、0.10.120.130.150.180.20.250.30.50.70.750.80.91.0のうちの少なくとも1つを超える、請求項49~56のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  58. 前記第3の吸収端波長よりも長い少なくとも1つの波長についての前記第3のCPLの屈折率は、前記第1の吸収端波長よりも短い少なくとも1つの波長についての前記第3のCPLの屈折率を超える、請求項49~57のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
  59. 前記第3の波長スペクトルにおける少なくとも1つの波長での前記第3のCPLの屈折率は、1.81.91.952.052.12.22.32.5のうちの少なくとも1つを超える、請求項49~58のいずれか一項に記載の光電子デバイス。
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