JP7401219B2 - industrial robot - Google Patents

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Description

本発明は、半導体ウエハ等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。 The present invention relates to an industrial robot that transports objects such as semiconductor wafers.

従来、半導体ウエハを搬送する搬送装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の搬送装置は、門型フレームと、門型フレームに昇降可能に保持される移動体とを備えている。門型フレームは、左右方向に間隔をあけた状態で配置される２個の支柱と、２個の支柱の上下の両端部同士を繋ぐ２個の連結部とを備えている。移動体は、多関節アームである搬送アームと、搬送アームの先端側に回動可能に連結されるハンド（エンドエフェクタ）と、搬送アームの基端側が回動可能に連結される基台とを備えている。 2. Description of the Related Art Conveyance devices for conveying semiconductor wafers are conventionally known (for example, see Patent Document 1). The conveyance device described in Patent Document 1 includes a gate-shaped frame and a movable body that is movably held by the gate-shaped frame so as to be movable up and down. The gate-shaped frame includes two columns that are spaced apart from each other in the left-right direction, and two connecting portions that connect the upper and lower ends of the two columns. The moving body includes a transfer arm that is a multi-jointed arm, a hand (end effector) rotatably connected to the distal end of the transfer arm, and a base to which the proximal end of the transfer arm is rotatably connected. We are prepared.

特許文献１に記載の搬送装置では、搬送アームは、基端側が基台に回動可能に連結される第１アーム部と、第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部とから構成されている。ハンドは、第２アーム部の先端側に回動可能に連結されている。ハンドには、半導体ウエハが搭載される。基台は、２個の支柱に昇降可能に取り付けられている。移動体は、左右方向において２個の支柱の間に配置されている。特許文献１に記載の搬送装置では、半導体ウエハの搬送時に、ハンドの先端が前後方向の一方側を向いている一定の姿勢でハンドが前後方向に直線的に移動するようにアームが伸縮する。 In the transfer device described in Patent Document 1, the transfer arm includes a first arm portion whose proximal end is rotatably connected to the base, and a proximal end rotatably connected to the distal end side of the first arm portion. and a second arm portion. The hand is rotatably connected to the distal end side of the second arm section. A semiconductor wafer is mounted on the hand. The base is attached to two supports so that it can move up and down. The moving body is arranged between two pillars in the left-right direction. In the transfer device described in Patent Document 1, when a semiconductor wafer is transferred, the arm expands and contracts so that the hand moves linearly in the front-rear direction in a constant posture with the tip of the hand facing one side in the front-rear direction.

特開２０１３－１１８２２９号公報Japanese Patent Application Publication No. 2013-118229

特許文献１に記載された搬送装置のような搬送装置では、第１アーム部および第２アーム部の長さを長くすれば、搬送アームが伸びているときの搬送アームの前後方向の長さを長くすることができるため、ハンドに搭載される半導体ウエハを前後方向において門型フレームからより離れている位置まで搬送することが可能になる。一方で、この搬送装置の場合、第１アーム部および第２アーム部の長さを長くすると、伸びている搬送アームが縮まるときに、第１アーム部と第２アーム部との連結部分や第２アーム部とハンドとの連結部分が門型フレームの支柱に干渉するおそれが生じる。 In a conveyance device such as the conveyance device described in Patent Document 1, by increasing the lengths of the first arm portion and the second arm portion, the length of the conveyance arm in the front and back direction when the conveyance arm is extended can be increased. Since it can be made longer, it becomes possible to transport the semiconductor wafer mounted on the hand to a position further away from the portal frame in the front-rear direction. On the other hand, in the case of this transport device, if the lengths of the first arm part and the second arm part are lengthened, when the extending transport arm is contracted, the connecting part between the first arm part and the second arm part, and the length of the second arm part are increased. There is a risk that the connecting portion between the two arm portions and the hand may interfere with the support of the portal frame.

そこで、本発明の課題は、左右方向に間隔をあけた状態で配置される２本の支柱を有する門型の門型フレームを備える産業用ロボットにおいて、ハンドに搭載される搬送対象物を前後方向において門型フレームからより離れている位置まで搬送することが可能であっても、アームと支柱との干渉を防止することが可能な産業用ロボットを提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION Therefore, an object of the present invention is to provide an industrial robot equipped with a gate-shaped frame having two pillars spaced apart from each other in the left-right direction. An object of the present invention is to provide an industrial robot that can prevent interference between an arm and a support even when the robot can be transported to a position further away from a gate-shaped frame.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に伸縮するアームと、アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部と、アーム支持部を昇降可能に保持する門型の門型フレームとを備え、アームは、アーム支持部に基端側が回動可能に連結される第１アーム部と、第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結されるとともにハンドが先端側に回動可能に連結される第２アーム部とを備え、水平方向のうちの所定の方向を左右方向とし、上下方向と左右方向とに直交する方向を前後方向とすると、門型フレームは、左右方向に間隔をあけた状態で配置される２本の支柱を備え、ハンドおよびアームは、左右方向において２本の支柱の間に配置され、アーム支持部に対する第１アーム部の回動中心を第１回動中心とし、第１アーム部に対する第２アーム部の回動中心を第２回動中心とし、第２アーム部に対するハンドの回動中心を第３回動中心とし、左右方向における２本の支柱の間の中心位置を支柱間中心とすると、第１回動中心と第２回動中心との距離と、第２回動中心と第３回動中心との距離とは等しくなっており、アーム支持部に対して第１アーム部が回動して第２回動中心が前後方向において第１回動中心と同じ位置に配置されるときに、第２回動中心は、支柱間中心よりも左右方向の一方側に配置され、第１回動中心は、支柱間中心よりも左右方向の他方側に配置され、ハンドは、縮んでいる状態のアームが伸びるときにハンドの先端が前後方向の一方側を向いている一定の姿勢で前後方向の一方側に直線的に移動し、門型フレームの前後方向の中心位置をフレーム中心とすると、第１回動中心は、フレーム中心よりも前後方向の他方側に配置されていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the industrial robot of the present invention includes a hand on which an object to be transported is mounted, an arm to which the hand is rotatably connected to the tip side and extends and contracts in the horizontal direction, and a base of the arm. An arm support part whose end side is rotatably connected to the arm support part and a gate-shaped frame which holds the arm support part so as to be movable up and down, and the arm's proximal end side is rotatably connected to the arm support part. The second arm part has a first arm part, and a second arm part whose base end side is rotatably connected to the distal end side of the first arm part and whose hand is rotatably connected to the distal end side. Assuming that the predetermined direction is the left-right direction, and the direction perpendicular to the up-down direction and the left-right direction is the front-back direction, the gate-shaped frame is provided with two columns spaced apart from each other in the left-right direction. The arm is disposed between the two pillars in the left-right direction, with the first rotation center being the rotation center of the first arm part relative to the arm support part, and the rotation center of the second arm part relative to the first arm part being the first rotation center. If the second rotation center is the second rotation center, the third rotation center is the rotation center of the hand relative to the second arm, and the center position between the two columns in the left-right direction is the center between the columns, then the first rotation center and The distance to the second rotation center is equal to the distance between the second rotation center and the third rotation center, so that the first arm portion rotates relative to the arm support portion and the second rotation occurs. When the center is arranged at the same position as the first rotation center in the longitudinal direction, the second rotation center is arranged on one side in the left-right direction than the center between the columns, and the first rotation center is arranged at the same position as the first rotation center in the longitudinal direction. The hand is placed on the other side in the left-right direction from the center , and the hand is in a constant posture in which the tip of the hand is facing one side in the front-back direction when the arm is contracted and extended. , and if the center position of the gate-shaped frame in the front-rear direction is set as the frame center, the first rotation center is located on the other side in the front-rear direction than the frame center .

本発明の産業用ロボットでは、アーム支持部に対する第１アーム部の回動中心を第１回動中心とし、第１アーム部に対する第２アーム部の回動中心を第２回動中心とし、第２アーム部に対するハンドの回動中心を第３回動中心とすると、第１回動中心と第２回動中心との距離と、第２回動中心と第３回動中心との距離とは等しくなっている。また、本発明では、左右方向における２本の支柱の間の中心位置を支柱間中心とすると、アーム支持部に対して第１アーム部が回動して第２回動中心が前後方向において第１回動中心と同じ位置に配置されるときに、第２回動中心が支柱間中心よりも左右方向の一方側に配置されている一方で、第１回動中心は、支柱間中心よりも左右方向の他方側に配置されている。 In the industrial robot of the present invention, the rotation center of the first arm portion with respect to the arm support portion is the first rotation center, the rotation center of the second arm portion with respect to the first arm portion is the second rotation center, and the rotation center of the second arm portion with respect to the first arm portion is the second rotation center. If the center of rotation of the hand relative to the second arm is the third center of rotation, then what is the distance between the first center of rotation and the second center of rotation, and the distance between the center of second rotation and the third center of rotation? are equal. In addition, in the present invention, if the center position between the two columns in the left-right direction is the center between the columns, the first arm portion rotates with respect to the arm support portion, and the second rotation center becomes the second rotation center in the front-rear direction. When placed at the same position as the first rotation center, while the second rotation center is placed on one side in the left-right direction than the center between the columns, the first rotation center is located at the same position as the center between the columns. It is placed on the other side in the left and right direction.

そのため、本発明では、第１アーム部および第２アーム部の長さを長くして、アームが伸びているときのアームの前後方向の長さを長くしても、伸びているアームが縮まるときに、第１アーム部と第２アーム部との連結部分や第２アーム部とハンドとの連結部分が支柱に干渉するのを防止することが可能になる。したがって、本発明では、ハンドに搭載される搬送対象物を前後方向において門型フレームからより離れている位置まで搬送することが可能であっても、アームと支柱との干渉を防止することが可能になる。 Therefore, in the present invention, even if the lengths of the first arm part and the second arm part are lengthened to increase the length of the arm in the front-rear direction when the arm is extended, when the extended arm is contracted, In addition, it is possible to prevent the connecting portion between the first arm portion and the second arm portion and the connecting portion between the second arm portion and the hand from interfering with the support column. Therefore, in the present invention, even if it is possible to transport the object mounted on the hand to a position further away from the portal frame in the front-rear direction, it is possible to prevent interference between the arm and the support. become.

また、本発明では、ハンドは、縮んでいる状態のアームが伸びるときにハンドの先端が前後方向の一方側を向いている一定の姿勢で前後方向の一方側に直線的に移動し、門型フレームの前後方向の中心位置をフレーム中心とすると、第１回動中心は、フレーム中心よりも前後方向の他方側に配置されている。そのため、たとえば、産業用ロボットによって搬送対象物が搬送される所定の装置から、ハンドに搭載される搬送対象物およびハンドを前後方向においてより離れている位置まで退避させることが可能になる。 In addition, in the present invention, when the arm in the contracted state is extended, the hand moves linearly to one side in the front and back direction in a constant posture with the tip of the hand facing one side in the front and back direction, and the hand is shaped like a gate. If the center position of the frame in the front-rear direction is the frame center, the first rotation center is located on the other side in the front-rear direction than the frame center. Therefore , for example, it becomes possible to evacuate the object to be transported mounted on the hand and the hand to a position farther away in the front-rear direction from a predetermined device to which the object to be transported is transported by the industrial robot.

本発明において、ハンドの前後方向の長さは、第１アーム部の長さおよび第２アーム部の長さよりも長くなっていることが好ましい。このように構成すると、たとえば、産業用ロボットによって搬送対象物が搬送される所定の処理装置のカバーに、ハンドは出入りすることはできるが、アームは出入りすることはできない大きさの開口部が形成されている場合に、処理装置のカバーとアームとの干渉を防止しつつ、ハンドに搭載される搬送対象物を処理装置のより奥側まで搬送することが可能になる。 In the present invention, it is preferable that the length of the hand in the front-rear direction is longer than the length of the first arm part and the length of the second arm part. With this configuration, for example, an opening large enough to allow the hand to go in and out, but not the arm, is formed in the cover of a predetermined processing device where objects are transported by an industrial robot. In this case, it is possible to prevent interference between the cover of the processing device and the arm, and to transport the object to be carried on the hand to the inner side of the processing device.

本発明において、産業用ロボットは、上下方向を回動の軸方向とする門型フレームの回動が可能となるように門型フレームが載置されるベース部材を備え、ハンドは、アームの伸縮時にハンドの先端が前後方向の一方側を向いている一定の姿勢で前後方向に直線的に移動し、ベース部材に対する門型フレームの回動中心を第４回動中心とし、ハンドの左右方向の中心位置をハンド中心とすると、第１回動中心は、左右方向において第４回動中心とずれた位置に配置され、ハンド中心は、左右方向において第４回動中心と同じ位置に配置されていることが好ましい。 In the present invention, the industrial robot includes a base member on which the gate-shaped frame is placed so that the gate-shaped frame can rotate with the vertical direction as the axis of rotation, and the hand has an arm that extends and contracts. When the tip of the hand moves linearly in the front-back direction in a fixed posture facing one side in the front-back direction, the rotation center of the gate-shaped frame with respect to the base member is the fourth rotation center, and the hand moves in the left-right direction. If the center position is the hand center, the first rotation center is placed at a position shifted from the fourth rotation center in the left-right direction, and the hand center is placed at the same position as the fourth rotation center in the left-right direction. Preferably.

このように構成すると、ハンド中心が左右方向において第４回動中心と同じ位置に配置されているため、第１回動中心が左右方向において第４回動中心とずれた位置に配置されていても、たとえば、ハンド中心が左右方向において第１回動中心と同じ位置に配置されている場合と比較して、搬送対象物を搬送する際の産業用ロボットの制御が容易になる。 With this configuration, since the hand center is arranged at the same position as the fourth rotation center in the left-right direction, the first rotation center is arranged at a position shifted from the fourth rotation center in the left-right direction. Also, for example, the industrial robot can be more easily controlled when transporting the object compared to a case where the hand center is arranged at the same position as the first rotation center in the left-right direction.

以上のように、本発明では、左右方向に間隔をあけた状態で配置される２本の支柱を有する門型の門型フレームを備える産業用ロボットにおいて、ハンドに搭載される搬送対象物を前後方向において門型フレームからより離れている位置まで搬送することが可能であっても、アームと支柱との干渉を防止することが可能になる。 As described above, in the present invention, in an industrial robot equipped with a gate-shaped frame having two columns spaced apart from each other in the left-right direction, an object to be transported mounted on a hand can be moved forward and backward. Even if it is possible to transport the arm to a position further away from the portal frame in the direction, interference between the arm and the support can be prevented.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの斜視図である。1 is a perspective view of an industrial robot according to an embodiment of the present invention. 図１に示す産業用ロボットの平面図である。2 is a plan view of the industrial robot shown in FIG. 1. FIG. 図１に示す産業用ロボットのアームが縮んでいる状態の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the industrial robot shown in FIG. 1 in a state where the arm is retracted. 図１に示す産業用ロボットのアームの伸縮動作の途中の状態の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the arm of the industrial robot shown in FIG. 1 in a state in the middle of an extension/contraction operation.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の斜視図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の平面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１のアーム４が縮んでいる状態の平面図である。図４は、図１に示す産業用ロボット１のアーム４の伸縮動作の途中の状態の平面図である。 (Configuration of industrial robot)
FIG. 1 is a perspective view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view of the industrial robot 1 shown in FIG. 1. FIG. 3 is a plan view of the industrial robot 1 shown in FIG. 1 in a state where the arm 4 is contracted. FIG. 4 is a plan view of the industrial robot 1 shown in FIG. 1 in a state in which the arm 4 is in the process of extending and retracting.

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である半導体ウエハ２（以下、「ウエハ２」とする。）を搬送するための水平多関節型のロボットである。ロボット１は、たとえば、ウエハ２に対して所定の処理を行う処理装置（図示省略）からのウエハ２の搬出および処理装置へのウエハ２の搬入を行う。ウエハ２は、円板状に形成されている。 The industrial robot 1 (hereinafter referred to as "robot 1") of this embodiment is a horizontally articulated robot for transporting a semiconductor wafer 2 (hereinafter referred to as "wafer 2"), which is an object to be transported. It is. The robot 1 carries out, for example, unloading the wafer 2 from a processing device (not shown) that performs predetermined processing on the wafer 2, and loading the wafer 2 into the processing device. The wafer 2 is formed into a disk shape.

ロボット１は、ウエハ２が搭載されるハンド３と、ハンド３が先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に伸縮するアーム４と、アーム４の基端側が回動可能に連結されるアーム支持部５と、アーム支持部５を昇降可能に保持する門型の門型フレーム６と、上下方向（図１等のＺ方向）を回動の軸方向とする門型フレーム６の回動が可能となるように門型フレーム６が載置されるベース部材７とを備えている。また、ロボット１は、アーム支持部５に対してアーム４を伸縮させるとともにアーム４に対してハンド３を回動させる駆動機構（図示省略）と、門型フレーム６に対してアーム支持部５を昇降させる昇降機構（図示省略）と、ベース部材７に対して門型フレーム６を回動させる回動機構（図示省略）とを備えている。 The robot 1 includes a hand 3 on which a wafer 2 is mounted, an arm 4 to which the hand 3 is rotatably connected to the distal end and which extends and contracts in the horizontal direction, and a base end of the arm 4 to which the arm 4 is rotatably connected. The arm support part 5, the gate-shaped gate frame 6 that holds the arm support part 5 so as to be able to rise and fall, and the rotation of the gate-shaped frame 6 with the vertical direction (Z direction in FIG. 1, etc.) as the axis of rotation. A base member 7 on which a gate-shaped frame 6 is placed is provided. The robot 1 also includes a drive mechanism (not shown) that extends and contracts the arm 4 with respect to the arm support 5 and rotates the hand 3 with respect to the arm 4, and a drive mechanism (not shown) that extends and contracts the arm 4 with respect to the arm support 5 and rotates the arm support 5 with respect to the gate-shaped frame 6. It includes an elevating mechanism (not shown) for raising and lowering, and a rotating mechanism (not shown) for rotating the gate-shaped frame 6 with respect to the base member 7.

アーム４は、第１アーム部１０と第２アーム部１１とから構成されている。第１アーム部１０の基端側は、アーム支持部５に回動可能に連結されている。第２アーム部１１の基端側は、第１アーム部１０の先端側に回動可能に連結されている。第２アーム部１１の先端側には、ハンド３が回動可能に連結されている。ハンド３は、ウエハ２が搭載されるハンドフォーク部１２と、アーム４に連結されるハンド基部１３とから構成されている。 The arm 4 is composed of a first arm section 10 and a second arm section 11. The base end side of the first arm portion 10 is rotatably connected to the arm support portion 5. The base end side of the second arm section 11 is rotatably connected to the distal end side of the first arm section 10. The hand 3 is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 11. The hand 3 includes a hand fork portion 12 on which the wafer 2 is mounted, and a hand base portion 13 connected to the arm 4.

ハンドフォーク部１２は、二股状に形成されており、ハンド３は、全体として略Ｙ形状に形成されている。ハンドフォーク部１２の基端部は、ハンド基部１３の先端部に固定されている。ハンド基部１３の基端側は、第２アーム部１１の先端側に回動可能に連結されている。ハンド３、第２アーム部１１および第１アーム部１０は、上側からこの順番で配置されている。アーム支持部５は、中空のブロック状に形成されている。第１アーム部１０の基端側は、アーム支持部５の上面に回動可能に連結されている。 The hand fork portion 12 is formed into a bifurcated shape, and the hand 3 is formed into a generally Y shape as a whole. A base end portion of the hand fork portion 12 is fixed to a distal end portion of the hand base portion 13. The base end side of the hand base portion 13 is rotatably connected to the distal end side of the second arm portion 11. The hand 3, the second arm section 11, and the first arm section 10 are arranged in this order from above. The arm support portion 5 is formed into a hollow block shape. The base end side of the first arm section 10 is rotatably connected to the upper surface of the arm support section 5.

上述のように、ロボット１は、アーム支持部５に対してアーム４を伸縮させるとともにアーム４に対してハンド３を回動させる駆動機構を備えている。駆動機構は、アーム支持部５の内部に配置されるモータと、モータの動力をアーム４およびハンド３に伝達する動力伝達機構とを備えている。モータは、アーム支持部５と第１アーム部１０との連結部分の下側に配置されている。動力伝達機構は、たとえば、アーム支持部５の内部に配置される減速機と、アーム４の内部に配置されるベルトおよびプーリとを備えている。 As described above, the robot 1 includes a drive mechanism that extends and contracts the arm 4 with respect to the arm support portion 5 and rotates the hand 3 with respect to the arm 4. The drive mechanism includes a motor disposed inside the arm support section 5 and a power transmission mechanism that transmits the power of the motor to the arm 4 and hand 3. The motor is arranged below the connecting portion between the arm support section 5 and the first arm section 10. The power transmission mechanism includes, for example, a speed reducer disposed inside the arm support section 5, and a belt and a pulley disposed inside the arm 4.

駆動機構は、アーム支持部５に対して第１アーム部１０を回動させ、かつ、第１アーム部１０に対して第２アーム部１１を回動させるとともに、第２アーム部１１に対してハンド３を回動させる。また、駆動機構は、ハンド３が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム４を伸縮させる。 The drive mechanism rotates the first arm part 10 with respect to the arm support part 5, rotates the second arm part 11 with respect to the first arm part 10, and rotates the second arm part 11 with respect to the second arm part 11. Rotate hand 3. Further, the drive mechanism extends and contracts the arm 4 so that the hand 3 moves linearly while facing in a certain direction.

以下の説明では、水平方向のうちの、ハンド３の往復移動方向（図１等のＸ方向）を前後方向とし、前後方向と上下方向とに直交する図１等のＹ方向を左右方向とする。また、以下の説明では、前後方向の一方側である図１等のＸ１方向側を「前」側とし、前後方向の他方側である図１等のＸ２方向側を「後ろ」側とし、左右方向の一方側である図１等のＹ２方向側を「左」側とし、左右方向の他方側である図１等のＹ１方向側を「右」側とする。 In the following explanation, the reciprocating direction of the hand 3 in the horizontal direction (the X direction in FIG. 1, etc.) is referred to as the front-back direction, and the Y direction in FIG. . In addition, in the following explanation, one side in the front-rear direction, the X1 direction side in FIG. The Y2 direction side in FIG. 1, etc., which is one side in the left-right direction, is defined as the "left" side, and the Y1 direction side in FIG. 1, etc., which is the other side in the left-right direction, is defined as the "right" side.

本形態では、ハンド３は、アーム４の伸縮時にハンド３の先端（すなわち、ハンドフォーク部１２の先端）が前側を向いている一定の姿勢で前後方向に直線的に移動する。具体的には、ハンド３は、縮んでいる状態のアーム４（図３参照）が伸びるときにハンド３の先端が前側を向いている一定の姿勢で前側に直線的に移動し、伸びている状態のハンド３（図２参照）が縮むときにハンド３の先端が前側を向いている一定の姿勢で後ろ側に直線的に移動する。 In this embodiment, the hand 3 moves linearly in the front-rear direction in a constant posture with the tip of the hand 3 (that is, the tip of the hand fork portion 12) facing forward when the arm 4 extends and contracts. Specifically, when the arm 4 (see FIG. 3) which is in the contracted state is extended, the hand 3 moves linearly forward in a constant posture with the tip of the hand 3 facing forward, and is extended. When the hand 3 (see FIG. 2) in this state is retracted, the tip of the hand 3 moves linearly to the rear in a constant posture facing forward.

なお、図２では、アーム４が最も伸びてハンド３が最も前側まで移動している状態が図示されている。ウエハ２に対して所定の処理を行う処理装置は、ロボット１の前側に配置されており、図２に示す状態では、ハンド３は、処理装置の中に配置されている。また、図３では、アーム４が縮んでハンド３が最も後ろ側まで移動している状態が図示されている。本形態では、この状態で、ベース部材７に対して門型フレーム６が回動する。すなわち、この状態で、ロボット１が旋回する。また、この状態のときに、ロボット１の旋回半径が最も小さくなる。 Note that FIG. 2 shows a state in which the arm 4 is fully extended and the hand 3 is moved to the furthest forward side. A processing device that performs predetermined processing on the wafer 2 is placed in front of the robot 1, and in the state shown in FIG. 2, the hand 3 is placed inside the processing device. Further, FIG. 3 shows a state in which the arm 4 is retracted and the hand 3 is moved to the rearmost side. In this embodiment, the gate-shaped frame 6 rotates with respect to the base member 7 in this state. That is, the robot 1 turns in this state. Furthermore, in this state, the turning radius of the robot 1 is the smallest.

門型フレーム６は、左右方向に間隔をあけた状態で配置される２本の支柱１６を備えている。支柱１６は、上下方向を長手方向とする柱状に形成されている。ハンド３およびアーム４は、左右方向において２本の支柱１６の間に配置されている。また、門型フレーム６は、２本の支柱１６の上端部同士を繋ぐ連結部１７と、２本の支柱１６の下端部が固定されるとともに門型フレーム６の下端部を構成するフレーム下部１８とを備えている。ベース部材７は、ロボット１の下端部を構成している。ベース部材７は、平板状に形成されている。フレーム下部１８は、ベース部材７の上面に回動可能に連結されている。 The gate-shaped frame 6 includes two pillars 16 that are spaced apart from each other in the left-right direction. The support column 16 is formed into a columnar shape whose longitudinal direction is the vertical direction. Hand 3 and arm 4 are arranged between two pillars 16 in the left-right direction. The gate-shaped frame 6 also includes a connecting portion 17 that connects the upper ends of the two columns 16, and a frame lower part 18 to which the lower ends of the two columns 16 are fixed and which constitutes the lower end of the gate-shaped frame 6. It is equipped with The base member 7 constitutes the lower end portion of the robot 1. The base member 7 is formed into a flat plate shape. The lower frame 18 is rotatably connected to the upper surface of the base member 7.

上述のように、ロボット１は、門型フレーム６に対してアーム支持部５を昇降させる昇降機構を備えている。昇降機構は、モータと、モータの動力をアーム支持部５に伝達する動力伝達機構と、アーム支持部５を上下方向に案内するガイド機構とを備えている。昇降機構の動力伝達機構は、たとえば、支柱１６の内部に配置されるボールねじを備えている。あるいは、昇降機構の動力伝達機構は、支柱１６の内部に配置されるベルトおよびプーリを備えている。ガイド機構は、支柱１６に沿って配置されるガイドレールと、ガイドレールに係合するとともにアーム支持部５に固定されるガイドブロックとを備えている。 As described above, the robot 1 is equipped with an elevating mechanism that moves the arm support section 5 up and down with respect to the gate-shaped frame 6. The elevating mechanism includes a motor, a power transmission mechanism that transmits the power of the motor to the arm support 5, and a guide mechanism that guides the arm support 5 in the vertical direction. The power transmission mechanism of the elevating mechanism includes, for example, a ball screw disposed inside the support column 16. Alternatively, the power transmission mechanism of the lifting mechanism includes a belt and a pulley arranged inside the column 16. The guide mechanism includes a guide rail arranged along the support column 16 and a guide block that engages with the guide rail and is fixed to the arm support 5.

また、上述のように、ロボット１は、ベース部材７に対して門型フレーム６を回動させる回動機構を備えている。回動機構は、モータと、モータの動力をフレーム下部１８に伝達する動力伝達機構とを備えている。回動機構の動力伝達機構は、たとえば、フレーム下部１８の内部に配置されるベルトおよびプーリを備えている。 Further, as described above, the robot 1 includes a rotation mechanism that rotates the gate-shaped frame 6 with respect to the base member 7. The rotation mechanism includes a motor and a power transmission mechanism that transmits the power of the motor to the lower frame 18. The power transmission mechanism of the rotation mechanism includes, for example, a belt and a pulley arranged inside the frame lower part 18.

本形態では、アーム支持部５に対する第１アーム部１０の回動中心Ｃ１と第１アーム部１０に対する第２アーム部１１の回動中心Ｃ２との距離Ｌ１（図２参照）と、第２アーム部１１に対するハンド３の回動中心Ｃ３と回動中心Ｃ２との距離Ｌ２（図２参照）とが等しくなっている。本形態の回動中心Ｃ１は第１回動中心であり、回動中心Ｃ２は第２回動中心であり、回動中心Ｃ３は第３回動中心である。 In this embodiment, the distance L1 (see FIG. 2) between the rotation center C1 of the first arm part 10 with respect to the arm support part 5 and the rotation center C2 of the second arm part 11 with respect to the first arm part 10, and The distance L2 (see FIG. 2) between the center of rotation C3 of the hand 3 with respect to the portion 11 and the center of rotation C2 is equal. In this embodiment, the rotation center C1 is a first rotation center, the rotation center C2 is a second rotation center, and the rotation center C3 is a third rotation center.

また、本形態では、上述のように、ハンド３は、アーム４の伸縮時にハンド３の先端が前側を向いている一定の姿勢で前後方向に直線的に移動するため、回動中心Ｃ１と回動中心Ｃ３とは、左右方向において常に同じ位置に配置されている。また、本形態では、第１アーム部１０の長さと第２アーム部１１の長さとが等しくなっている。また、アーム４の伸縮時にハンド３の先端が前側を向いている一定の姿勢で前後方向に直線的に移動するハンド３の前後方向の長さは、第１アーム部１０の長さおよび第２アーム部１１の長さよりも長くなっている。 Furthermore, in this embodiment, as described above, the hand 3 moves linearly in the front-rear direction in a constant posture with the tip of the hand 3 facing forward when the arm 4 extends and contracts, so it rotates with respect to the rotation center C1. The center of motion C3 is always located at the same position in the left-right direction. Further, in this embodiment, the length of the first arm portion 10 and the length of the second arm portion 11 are equal. Furthermore, the length of the hand 3 in the front-back direction, which moves linearly in the front-back direction in a fixed posture with the tip of the hand 3 facing the front side when the arm 4 extends and contracts, is the length of the first arm part 10 and the length of the second arm part 10. It is longer than the length of the arm portion 11.

アーム支持部５に対して第１アーム部１０が回動すると、回動中心Ｃ２は、図４に示すように、上下方向から見たときに、回動中心Ｃ１を曲率中心にするとともに左側に向かって膨らむ半円弧状の仮想線ＶＬ上を通過する。左右方向における２本の支柱１６の間の中心位置を支柱間中心ＣＬ１とすると、図４に示すように、アーム支持部５に対して第１アーム部１０が回動して回動中心Ｃ２が前後方向において回動中心Ｃ１と同じ位置に配置されるときに、回動中心Ｃ２は、支柱間中心ＣＬ１よりも左側に配置されている。すなわち、回動中心Ｃ２が前後方向において回動中心Ｃ１と同じ位置に配置されるときには、第１アーム部１０と第２アーム部１１との連結部分が支柱間中心ＣＬ１よりも左側に配置されるようにアーム４が縮んでいる。なお、このときには、上下方向から見たときに、回動中心Ｃ１と回動中心Ｃ３とが重なっている。 When the first arm part 10 rotates with respect to the arm support part 5, the rotation center C2 becomes the center of curvature with the rotation center C1 as the center of curvature when viewed from above and below, as shown in FIG. It passes over a semicircular arc-shaped imaginary line VL that expands toward the target. Assuming that the center position between the two pillars 16 in the left-right direction is the center between the pillars CL1, the first arm part 10 rotates relative to the arm support part 5, and the rotation center C2 becomes the center of rotation, as shown in FIG. When placed at the same position as the rotation center C1 in the front-rear direction, the rotation center C2 is placed to the left of the inter-pillar center CL1. That is, when the rotation center C2 is arranged at the same position as the rotation center C1 in the front-rear direction, the connecting portion between the first arm part 10 and the second arm part 11 is arranged to the left of the inter-pillar center CL1. Arm 4 is contracted. Note that at this time, the rotation center C1 and the rotation center C3 overlap when viewed from the vertical direction.

また、回動中心Ｃ１は、支柱間中心ＣＬ１よりも右側に配置されている。すなわち、アーム支持部５と第１アーム部１０との連結部分は、支柱間中心ＣＬ１よりも右側に配置されている。また、図２に示すように、門型フレーム６の前後方向の中心位置をフレーム中心ＣＬ２とすると、回動中心Ｃ１は、フレーム中心ＣＬ２よりも後ろ側に配置されている。また、回動中心Ｃ１は、左右方向において、ベース部材７に対する門型フレーム６の回動中心Ｃ４とずれた位置に配置されている。具体的には、回動中心Ｃ１は、回動中心Ｃ４よりも右側に配置されている。また、回動中心Ｃ１は、回動中心Ｃ４よりも後ろ側に配置されている。回動中心Ｃ４は、支柱間中心ＣＬ１よりも右側に配置されるとともに、フレーム中心ＣＬ２よりも後ろ側に配置されている。本形態の回動中心Ｃ４は、第４回動中心である。 Further, the rotation center C1 is arranged on the right side of the inter-pillar center CL1. That is, the connecting portion between the arm support section 5 and the first arm section 10 is arranged on the right side of the inter-pillar center CL1. Further, as shown in FIG. 2, if the center position of the portal frame 6 in the front-rear direction is the frame center CL2, the rotation center C1 is arranged on the rear side of the frame center CL2. Moreover, the rotation center C1 is arranged at a position shifted from the rotation center C4 of the gate-shaped frame 6 with respect to the base member 7 in the left-right direction. Specifically, the rotation center C1 is located to the right of the rotation center C4. Further, the rotation center C1 is arranged on the rear side of the rotation center C4. The rotation center C4 is located on the right side of the inter-pillar center CL1, and is located on the rear side of the frame center CL2. The rotation center C4 in this embodiment is the fourth rotation center.

アーム４の伸縮時にハンド３の先端が前側を向いている一定の姿勢で前後方向に直線的に移動するハンド３の左右方向の中心位置をハンド中心ＣＬ３とすると、ハンド中心ＣＬ３は、左右方向において回動中心Ｃ４と同じ位置に配置されている。すなわち、アーム４の伸縮時に上下方向から見ると、ハンド中心ＣＬ３は、回動中心Ｃ４上を通過していく。 If the center position in the left-right direction of the hand 3 that moves linearly in the front-back direction in a constant posture with the tip of the hand 3 facing forward when the arm 4 extends and contracts is the hand center CL3, then the hand center CL3 is the center position in the left-right direction. It is arranged at the same position as the rotation center C4. That is, when the arm 4 is extended and retracted, when viewed from above and below, the hand center CL3 passes over the rotation center C4.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、回動中心Ｃ１と回動中心Ｃ２との距離Ｌ１と、回動中心Ｃ２と回動中心Ｃ３との距離Ｌ２とが等しくなっている。また、本形態では、アーム支持部５に対して第１アーム部１０が回動して回動中心Ｃ２が前後方向において回動中心Ｃ１と同じ位置に配置されるときに、回動中心Ｃ２は、支柱間中心ＣＬ１よりも左側に配置されている一方で、回動中心Ｃ１は、支柱間中心ＣＬ１よりも右側に配置されている。 (Main effects of this form)
As explained above, in this embodiment, the distance L1 between the rotation center C1 and the rotation center C2 is equal to the distance L2 between the rotation center C2 and the rotation center C3. Further, in this embodiment, when the first arm portion 10 rotates with respect to the arm support portion 5 and the rotation center C2 is arranged at the same position as the rotation center C1 in the front-rear direction, the rotation center C2 is , are arranged on the left side of the inter-pillar center CL1, while the rotation center C1 is arranged on the right side of the inter-pillar center CL1.

そのため、本形態では、第１アーム部１０および第２アーム部１１の長さを長くして、アーム４が伸びているときのアーム４の前後方向の長さを長くしても、伸びているアーム４が縮まるときに、第１アーム部１０と第２アーム部１１との連結部分や第２アーム部１１とハンド３との連結部分が２本の支柱１６に干渉するのを防止することが可能になる。したがって、本形態では、ハンド３に搭載されるウエハ２を前側に向かって門型フレーム６からより離れている位置まで搬送することが可能であっても、アーム４と支柱１６との干渉を防止することが可能になる。 Therefore, in this embodiment, even if the lengths of the first arm part 10 and the second arm part 11 are increased to increase the length of the arm 4 in the front-rear direction when the arm 4 is extended, When the arm 4 is retracted, the connecting portion between the first arm portion 10 and the second arm portion 11 and the connecting portion between the second arm portion 11 and the hand 3 can be prevented from interfering with the two pillars 16. It becomes possible. Therefore, in this embodiment, even if it is possible to transport the wafer 2 mounted on the hand 3 toward the front to a position further away from the portal frame 6, interference between the arm 4 and the support column 16 is prevented. It becomes possible to do so.

本形態では、回動中心Ｃ１は、フレーム中心ＣＬ２よりも後ろ側に配置されている。そのため、本形態では、図３に示す状態までアーム４を縮めたときに、ロボット１の前側に配置される処理装置から、ハンド３に搭載されるウエハ２およびハンド３を前後方向においてより離れている位置まで退避させることが可能になる。したがって、本形態では、ロボット１が旋回するときに、ウエハ２およびハンド３と、処理装置との干渉を防止しやすくなる。 In this embodiment, the rotation center C1 is arranged on the rear side of the frame center CL2. Therefore, in this embodiment, when the arm 4 is retracted to the state shown in FIG. It is possible to evacuate to the desired position. Therefore, in this embodiment, when the robot 1 turns, interference between the wafer 2 and the hand 3 and the processing apparatus can be easily prevented.

本形態では、ハンド３の前後方向の長さは、第１アーム部１０の長さおよび第２アーム部１１の長さよりも長くなっている。そのため、本形態では、たとえば、処理装置の後面を構成するカバーに、ハンド３は出入りすることはできるが、アーム４は出入りすることはできない大きさの開口部が形成されている場合に、処理装置のカバーとアーム４との干渉を防止しつつ、ハンド３に搭載されるウエハ２を処理装置のより奥側（前側）まで搬送することが可能になる。 In this embodiment, the length of the hand 3 in the front-rear direction is longer than the length of the first arm section 10 and the length of the second arm section 11. Therefore, in this embodiment, for example, when the cover forming the rear surface of the processing apparatus has an opening large enough to allow the hand 3 to enter and exit, but not to allow the arm 4 to enter and exit, the processing It becomes possible to transport the wafer 2 mounted on the hand 3 to the inner side (front side) of the processing apparatus while preventing interference between the cover of the apparatus and the arm 4.

本形態では、ハンド中心ＣＬ３は、左右方向において回動中心Ｃ４と同じ位置に配置されている。そのため、本形態では、回動中心Ｃ１が左右方向において回動中心Ｃ４とずれた位置に配置されていても、たとえば、ハンド中心ＣＬ３が左右方向において回動中心Ｃ１と同じ位置に配置されている場合と比較して、ウエハ２を搬送する際のロボット１の制御が容易になる。 In this embodiment, the hand center CL3 is arranged at the same position as the rotation center C4 in the left-right direction. Therefore, in this embodiment, even if the rotation center C1 is arranged at a position shifted from the rotation center C4 in the left-right direction, for example, the hand center CL3 is arranged at the same position as the rotation center C1 in the left-right direction. The control of the robot 1 when transporting the wafer 2 becomes easier than in the case where the robot 1 is transported.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 (Other embodiments)
Although the embodiment described above is an example of a preferred embodiment of the present invention, it is not limited thereto, and various modifications can be made without changing the gist of the present invention.

上述した形態において、回動中心Ｃ１は、前後方向においてフレーム中心ＣＬ２と同じ位置に配置されていても良いし、フレーム中心ＣＬ２より前側に配置されていても良い。また、上述した形態において、ハンド３の前後方向の長さは、第１アーム部１０、第２アーム部１１の長さと同じであっても良いし、第１アーム部１０、第２アーム部１１の長さより短くなっていても良い。 In the embodiment described above, the rotation center C1 may be located at the same position as the frame center CL2 in the front-rear direction, or may be located on the front side of the frame center CL2. Further, in the above-described embodiment, the length of the hand 3 in the front-rear direction may be the same as the length of the first arm section 10 and the second arm section 11, or It may be shorter than the length of .

上述した形態において、回動中心Ｃ１は、左右方向において回動中心Ｃ４と同じ位置に配置されていても良いし、回動中心Ｃ４より左側に配置されていても良い。また、回動中心Ｃ１は、前後方向において回動中心Ｃ４と同じ位置に配置されていても良いし、回動中心Ｃ４より前側に配置されていても良い。また、上述した形態において、ハンド中心ＣＬ３は、左右方向において回動中心Ｃ４とずれた位置に配置されていても良い。 In the embodiment described above, the rotation center C1 may be placed at the same position as the rotation center C4 in the left-right direction, or may be placed on the left side of the rotation center C4. Moreover, the rotation center C1 may be arranged at the same position as the rotation center C4 in the front-rear direction, or may be arranged on the front side of the rotation center C4. Further, in the above-described embodiment, the hand center CL3 may be disposed at a position shifted from the rotation center C4 in the left-right direction.

上述した形態において、回動中心Ｃ４は、左右方向において支柱間中心ＣＬ１と同じ位置に配置されていても良いし、前後方向においてフレーム中心ＣＬ２と同じ位置に配置されていても良い。また、上述した形態において、回動中心Ｃ４は、支柱間中心ＣＬ１より左側に配置されていても良いし、フレーム中心ＣＬ２より前側に配置されていても良い。また、上述した形態において、ウエハ２以外の搬送対象物がロボット１で搬送されても良い。たとえば、ガラス基板がロボット１で搬送されても良い。 In the embodiment described above, the rotation center C4 may be arranged at the same position as the inter-pillar center CL1 in the left-right direction, or may be arranged at the same position as the frame center CL2 in the front-rear direction. Further, in the above-described embodiment, the rotation center C4 may be placed on the left side of the inter-pillar center CL1, or may be placed on the front side of the frame center CL2. Further, in the above-described embodiment, objects to be transported other than the wafer 2 may be transported by the robot 1. For example, a glass substrate may be transported by the robot 1.

１ ロボット（産業用ロボット）
２ ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
３ ハンド
４ アーム
５ アーム支持部
６ 門型フレーム
７ ベース部材
１０ 第１アーム部
１１ 第２アーム部
１６ 支柱
Ｃ１ 回動中心（第１回動中心）
Ｃ２ 回動中心（第２回動中心）
Ｃ３ 回動中心（第３回動中心）
Ｃ４ 回動中心（第４回動中心）
ＣＬ１ 支柱間中心
ＣＬ２ フレーム中心
ＣＬ３ ハンド中心
Ｌ１ 第１回動中心と第２回動中心との距離
Ｌ２ 第２回動中心と第３回動中心との距離
Ｘ 前後方向
Ｙ 左右方向
Ｚ 上下方向 1 Robot (industrial robot)
2 Wafer (semiconductor wafer, object to be transported)
3 Hand 4 Arm 5 Arm support part 6 Gate-shaped frame 7 Base member 10 First arm part 11 Second arm part 16 Support column C1 Center of rotation (first center of rotation)
C2 Rotation center (second rotation center)
C3 Rotation center (3rd rotation center)
C4 Rotation center (4th rotation center)
CL1 Center between columns CL2 Center of frame CL3 Center of hand L1 Distance between first rotation center and second rotation center L2 Distance between second rotation center and third rotation center X Front-back direction Y Left-right direction Z Up-down direction

Claims (3)

搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に伸縮するアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部と、前記アーム支持部を昇降可能に保持する門型の門型フレームとを備え、
前記アームは、前記アーム支持部に基端側が回動可能に連結される第１アーム部と、前記第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結されるとともに前記ハンドが先端側に回動可能に連結される第２アーム部とを備え、
水平方向のうちの所定の方向を左右方向とし、上下方向と左右方向とに直交する方向を前後方向とすると、
前記門型フレームは、左右方向に間隔をあけた状態で配置される２本の支柱を備え、
前記ハンドおよび前記アームは、左右方向において２本の前記支柱の間に配置され、
前記アーム支持部に対する前記第１アーム部の回動中心を第１回動中心とし、前記第１アーム部に対する前記第２アーム部の回動中心を第２回動中心とし、前記第２アーム部に対する前記ハンドの回動中心を第３回動中心とし、左右方向における２本の前記支柱の間の中心位置を支柱間中心とすると、
前記第１回動中心と前記第２回動中心との距離と、前記第２回動中心と前記第３回動中心との距離とは等しくなっており、
前記アーム支持部に対して前記第１アーム部が回動して前記第２回動中心が前後方向において前記第１回動中心と同じ位置に配置されるときに、前記第２回動中心は、前記支柱間中心よりも左右方向の一方側に配置され、
前記第１回動中心は、前記支柱間中心よりも左右方向の他方側に配置され、
前記ハンドは、縮んでいる状態の前記アームが伸びるときに前記ハンドの先端が前後方向の一方側を向いている一定の姿勢で前後方向の一方側に直線的に移動し、
前記門型フレームの前後方向の中心位置をフレーム中心とすると、
前記第１回動中心は、前記フレーム中心よりも前後方向の他方側に配置されていることを特徴とする産業用ロボット。 a hand on which an object to be transported is mounted; an arm to which the hand is rotatably connected to the distal end and extends and contracts in the horizontal direction; and an arm support part to which the proximal end of the arm is rotatably connected; a gate-shaped frame that holds the arm support part in a movable manner;
The arm includes a first arm part whose proximal end is rotatably connected to the arm support part, and a proximal end rotatably connected to the distal end of the first arm part, and the hand is rotatably connected to the distal end of the first arm. a second arm portion rotatably connected to the second arm portion;
If a predetermined direction in the horizontal direction is the left-right direction, and a direction perpendicular to the up-down direction and the left-right direction is the front-back direction,
The gate-shaped frame includes two pillars spaced apart from each other in the left and right direction,
The hand and the arm are arranged between the two pillars in the left-right direction,
A rotation center of the first arm portion with respect to the arm support portion is a first rotation center, a rotation center of the second arm portion with respect to the first arm portion is a second rotation center, and the second arm portion If the rotation center of the hand relative to the third rotation center is the third rotation center, and the center position between the two pillars in the left-right direction is the center between the pillars,
The distance between the first rotation center and the second rotation center is equal to the distance between the second rotation center and the third rotation center,
When the first arm part rotates with respect to the arm support part and the second rotation center is arranged at the same position as the first rotation center in the front-rear direction, the second rotation center is , arranged on one side in the left-right direction from the center between the pillars,
The first rotation center is located on the other side in the left-right direction than the center between the pillars ,
The hand moves linearly to one side in the front-back direction in a constant posture with the tip of the hand facing one side in the front-back direction when the arm in a contracted state is extended;
If the center position of the gate-shaped frame in the front-rear direction is the frame center,
The industrial robot is characterized in that the first rotation center is located on the other side of the frame center in the front-rear direction . 前記ハンドの前後方向の長さは、前記第１アーム部の長さおよび前記第２アーム部の長さよりも長くなっていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。 The industrial robot according to claim 1 , wherein the length of the hand in the front-rear direction is longer than the length of the first arm section and the length of the second arm section. 上下方向を回動の軸方向とする前記門型フレームの回動が可能となるように前記門型フレームが載置されるベース部材を備え、
前記ハンドは、前記アームの伸縮時に前記ハンドの先端が前後方向の一方側を向いている一定の姿勢で前後方向に直線的に移動し、
前記ベース部材に対する前記門型フレームの回動中心を第４回動中心とし、前記ハンドの左右方向の中心位置をハンド中心とすると、
前記第１回動中心は、左右方向において前記第４回動中心とずれた位置に配置され、
前記ハンド中心は、左右方向において前記第４回動中心と同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。 comprising a base member on which the gate-shaped frame is placed so that the gate-shaped frame can rotate with the vertical direction as the axis of rotation;
The hand moves linearly in the front-back direction in a constant posture with the tip of the hand facing one side in the front-back direction when the arm extends and contracts;
When the rotation center of the portal frame with respect to the base member is a fourth rotation center, and the left-right center position of the hand is a hand center,
The first rotation center is arranged at a position shifted from the fourth rotation center in the left-right direction,
3. The industrial robot according to claim 1 , wherein the hand center is located at the same position as the fourth rotation center in the left-right direction.
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