JP2021027075A - Industrial robot - Google Patents

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Abstract

To provide an industrial robot capable of preventing interference of an arm and a support post even in the case where a conveyance object placed on a hand can be conveyed to a position farther from a gate-shaped frame in a gate shape in a longitudinal direction, the industrial robot comprising the gate-shaped frame including two support posts which are disposed while being spaced from each other in a lateral direction.SOLUTION: In an industrial robot 1, a rotation center of a first arm part 10 with respect to an arm support part 5 is defined as a rotation center C1, a rotation center of a second arm part 11 with respect to the first arm part 10 is defined as a rotation center C2, and a central position between two support posts 16 in a lateral direction is defined as a center CL1 between the support posts. When rotating the first arm part 10 with respect to the arm support part 5 and disposing the rotation center C2 at the same position as the rotation center C1 in a longitudinal direction, the rotation center C2 is disposed closer to one side than the center CL1 between the support posts in the lateral direction and, on the other hand, the rotation center C1 is disposed closer to the other side than the center CL1 between the support posts in the lateral direction.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、半導体ウエハ等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。 The present invention relates to an industrial robot that conveys an object to be conveyed such as a semiconductor wafer.

従来、半導体ウエハを搬送する搬送装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の搬送装置は、門型フレームと、門型フレームに昇降可能に保持される移動体とを備えている。門型フレームは、左右方向に間隔をあけた状態で配置される２個の支柱と、２個の支柱の上下の両端部同士を繋ぐ２個の連結部とを備えている。移動体は、多関節アームである搬送アームと、搬送アームの先端側に回動可能に連結されるハンド（エンドエフェクタ）と、搬送アームの基端側が回動可能に連結される基台とを備えている。 Conventionally, a transfer device for transporting a semiconductor wafer is known (see, for example, Patent Document 1). The transport device described in Patent Document 1 includes a gantry frame and a moving body that is held up and down by the gantry frame. The gate-shaped frame includes two columns arranged at intervals in the left-right direction, and two connecting portions that connect the upper and lower ends of the two columns. The moving body includes a transport arm that is an articulated arm, a hand (end effector) that is rotatably connected to the tip end side of the transport arm, and a base that is rotatably connected to the base end side of the transport arm. I have.

特許文献１に記載の搬送装置では、搬送アームは、基端側が基台に回動可能に連結される第１アーム部と、第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結される第２アーム部とから構成されている。ハンドは、第２アーム部の先端側に回動可能に連結されている。ハンドには、半導体ウエハが搭載される。基台は、２個の支柱に昇降可能に取り付けられている。移動体は、左右方向において２個の支柱の間に配置されている。特許文献１に記載の搬送装置では、半導体ウエハの搬送時に、ハンドの先端が前後方向の一方側を向いている一定の姿勢でハンドが前後方向に直線的に移動するようにアームが伸縮する。 In the transport device described in Patent Document 1, the transport arm is rotatably connected to the first arm portion whose base end side is rotatably connected to the base and to the tip end side of the first arm portion. It is composed of a second arm portion. The hand is rotatably connected to the tip end side of the second arm portion. A semiconductor wafer is mounted on the hand. The base is attached to two columns so as to be able to move up and down. The moving body is arranged between the two columns in the left-right direction. In the transport device described in Patent Document 1, when transporting a semiconductor wafer, the arm expands and contracts so that the hand moves linearly in the front-rear direction in a constant posture in which the tip of the hand faces one side in the front-rear direction.

特開２０１３−１１８２２９号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2013-118229

特許文献１に記載された搬送装置のような搬送装置では、第１アーム部および第２アーム部の長さを長くすれば、搬送アームが伸びているときの搬送アームの前後方向の長さを長くすることができるため、ハンドに搭載される半導体ウエハを前後方向において門型フレームからより離れている位置まで搬送することが可能になる。一方で、この搬送装置の場合、第１アーム部および第２アーム部の長さを長くすると、伸びている搬送アームが縮まるときに、第１アーム部と第２アーム部との連結部分や第２アーム部とハンドとの連結部分が門型フレームの支柱に干渉するおそれが生じる。 In a transport device such as the transport device described in Patent Document 1, if the lengths of the first arm portion and the second arm portion are increased, the length of the transport arm in the front-rear direction when the transport arm is extended can be increased. Since the length can be increased, the semiconductor wafer mounted on the hand can be transported to a position farther from the portal frame in the front-rear direction. On the other hand, in the case of this transfer device, if the lengths of the first arm portion and the second arm portion are increased, when the extending transport arm contracts, the connecting portion between the first arm portion and the second arm portion and the second arm portion 2 There is a possibility that the connecting portion between the arm portion and the hand interferes with the support column of the portal frame.

そこで、本発明の課題は、左右方向に間隔をあけた状態で配置される２本の支柱を有する門型の門型フレームを備える産業用ロボットにおいて、ハンドに搭載される搬送対象物を前後方向において門型フレームからより離れている位置まで搬送することが可能であっても、アームと支柱との干渉を防止することが可能な産業用ロボットを提供することにある。 Therefore, an object of the present invention is to move an object to be transported mounted on a hand in the front-rear direction in an industrial robot having a gantry-shaped gantry frame having two struts arranged at intervals in the left-right direction. It is an object of the present invention to provide an industrial robot capable of preventing interference between an arm and a support column even if the robot can be transported to a position farther from the portal frame.

上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、搬送対象物が搭載されるハンドと、ハンドが先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に伸縮するアームと、アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部と、アーム支持部を昇降可能に保持する門型の門型フレームとを備え、アームは、アーム支持部に基端側が回動可能に連結される第１アーム部と、第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結されるとともにハンドが先端側に回動可能に連結される第２アーム部とを備え、水平方向のうちの所定の方向を左右方向とし、上下方向と左右方向とに直交する方向を前後方向とすると、門型フレームは、左右方向に間隔をあけた状態で配置される２本の支柱を備え、ハンドおよびアームは、左右方向において２本の支柱の間に配置され、アーム支持部に対する第１アーム部の回動中心を第１回動中心とし、第１アーム部に対する第２アーム部の回動中心を第２回動中心とし、第２アーム部に対するハンドの回動中心を第３回動中心とし、左右方向における２本の支柱の間の中心位置を支柱間中心とすると、第１回動中心と第２回動中心との距離と、第２回動中心と第３回動中心との距離とは等しくなっており、アーム支持部に対して第１アーム部が回動して第２回動中心が前後方向において第１回動中心と同じ位置に配置されるときに、第２回動中心は、支柱間中心よりも左右方向の一方側に配置され、第１回動中心は、支柱間中心よりも左右方向の他方側に配置されていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, the industrial robot of the present invention includes a hand on which an object to be transported is mounted, an arm in which the hand is rotatably connected to the tip side and expands and contracts in the horizontal direction, and a base of the arm. An arm support portion whose end side is rotatably connected and a gate-shaped gate-shaped frame that holds the arm support portion rotatably up and down are provided, and the arm is rotatably connected to the arm support portion at its base end side. It is provided with a first arm portion and a second arm portion in which the base end side is rotatably connected to the tip end side of the first arm portion and the hand is rotatably connected to the tip end side. Assuming that the predetermined direction is the left-right direction and the direction orthogonal to the up-down direction and the left-right direction is the front-back direction, the portal frame is provided with two columns arranged at intervals in the left-right direction, and includes a hand and a hand. The arm is arranged between two columns in the left-right direction, and the rotation center of the first arm portion with respect to the arm support portion is the first rotation center, and the rotation center of the second arm portion with respect to the first arm portion is set as the first rotation center. Assuming that the center of rotation of the hand with respect to the second arm portion is the center of rotation of the second arm, the center of rotation between the two columns in the left-right direction is the center between the columns, and the center of rotation of the first arm. The distance to the second rotation center is equal to the distance between the second rotation center and the third rotation center, and the first arm portion rotates with respect to the arm support portion to perform the second rotation. When the center is arranged at the same position as the first rotation center in the front-rear direction, the second rotation center is arranged on one side in the left-right direction from the center between the columns, and the first rotation center is between the columns. It is characterized in that it is arranged on the other side in the left-right direction from the center.

本発明の産業用ロボットでは、アーム支持部に対する第１アーム部の回動中心を第１回動中心とし、第１アーム部に対する第２アーム部の回動中心を第２回動中心とし、第２アーム部に対するハンドの回動中心を第３回動中心とすると、第１回動中心と第２回動中心との距離と、第２回動中心と第３回動中心との距離とは等しくなっている。また、本発明では、左右方向における２本の支柱の間の中心位置を支柱間中心とすると、アーム支持部に対して第１アーム部が回動して第２回動中心が前後方向において第１回動中心と同じ位置に配置されるときに、第２回動中心が支柱間中心よりも左右方向の一方側に配置されている一方で、第１回動中心は、支柱間中心よりも左右方向の他方側に配置されている。 In the industrial robot of the present invention, the rotation center of the first arm portion with respect to the arm support portion is the first rotation center, and the rotation center of the second arm portion with respect to the first arm portion is the second rotation center. Assuming that the rotation center of the hand with respect to the two arm portions is the third rotation center, the distance between the first rotation center and the second rotation center and the distance between the second rotation center and the third rotation center are Are equal. Further, in the present invention, assuming that the center position between the two columns in the left-right direction is the center between the columns, the first arm portion rotates with respect to the arm support portion and the second rotation center becomes the second in the front-rear direction. When arranged at the same position as the 1 rotation center, the 2nd rotation center is arranged on one side in the left-right direction from the center between columns, while the 1st rotation center is located on one side of the center between columns. It is located on the other side in the left-right direction.

そのため、本発明では、第１アーム部および第２アーム部の長さを長くして、アームが伸びているときのアームの前後方向の長さを長くしても、伸びているアームが縮まるときに、第１アーム部と第２アーム部との連結部分や第２アーム部とハンドとの連結部分が支柱に干渉するのを防止することが可能になる。したがって、本発明では、ハンドに搭載される搬送対象物を前後方向において門型フレームからより離れている位置まで搬送することが可能であっても、アームと支柱との干渉を防止することが可能になる。 Therefore, in the present invention, even if the lengths of the first arm portion and the second arm portion are increased to increase the length of the arm in the front-rear direction when the arm is extended, the extended arm contracts. In addition, it is possible to prevent the connecting portion between the first arm portion and the second arm portion and the connecting portion between the second arm portion and the hand from interfering with the support column. Therefore, in the present invention, it is possible to prevent the arm and the support column from interfering with each other even if the object to be transported mounted on the hand can be transported to a position farther from the portal frame in the front-rear direction. become.

本発明において、ハンドは、縮んでいる状態のアームが伸びるときにハンドの先端が前後方向の一方側を向いている一定の姿勢で前後方向の一方側に直線的に移動し、門型フレームの前後方向の中心位置をフレーム中心とすると、第１回動中心は、フレーム中心よりも前後方向の他方側に配置されていることが好ましい。このように構成すると、たとえば、産業用ロボットによって搬送対象物が搬送される所定の装置から、ハンドに搭載される搬送対象物およびハンドを前後方向においてより離れている位置まで退避させることが可能になる。 In the present invention, the hand moves linearly to one side in the front-rear direction in a constant posture in which the tip of the hand faces one side in the front-rear direction when the arm in the contracted state extends, and the gate-shaped frame. Assuming that the center position in the front-rear direction is the center of the frame, it is preferable that the first rotation center is arranged on the other side in the front-rear direction from the center of the frame. With this configuration, for example, it is possible to retract the object to be transported and the hand mounted on the hand to a position farther away in the front-rear direction from a predetermined device to which the object to be transported is transported by an industrial robot. Become.

本発明において、ハンドの前後方向の長さは、第１アーム部の長さおよび第２アーム部の長さよりも長くなっていることが好ましい。このように構成すると、たとえば、産業用ロボットによって搬送対象物が搬送される所定の処理装置のカバーに、ハンドは出入りすることはできるが、アームは出入りすることはできない大きさの開口部が形成されている場合に、処理装置のカバーとアームとの干渉を防止しつつ、ハンドに搭載される搬送対象物を処理装置のより奥側まで搬送することが可能になる。 In the present invention, the length of the hand in the front-rear direction is preferably longer than the length of the first arm portion and the length of the second arm portion. With this configuration, for example, an opening having a size that allows the hand to enter and exit but the arm cannot enter and exit is formed in the cover of a predetermined processing device to which the object to be conveyed is conveyed by the industrial robot. When this is done, it is possible to transport the object to be transported mounted on the hand to the deeper side of the processing device while preventing interference between the cover of the processing device and the arm.

本発明において、産業用ロボットは、上下方向を回動の軸方向とする門型フレームの回動が可能となるように門型フレームが載置されるベース部材を備え、ハンドは、アームの伸縮時にハンドの先端が前後方向の一方側を向いている一定の姿勢で前後方向に直線的に移動し、ベース部材に対する門型フレームの回動中心を第４回動中心とし、ハンドの左右方向の中心位置をハンド中心とすると、第１回動中心は、左右方向において第４回動中心とずれた位置に配置され、ハンド中心は、左右方向において第４回動中心と同じ位置に配置されていることが好ましい。 In the present invention, the industrial robot includes a base member on which the portal frame is mounted so that the portal frame can be rotated with the vertical direction as the axial direction of rotation, and the hand can expand and contract the arm. Sometimes the tip of the hand moves linearly in the front-back direction in a constant posture facing one side in the front-back direction, and the center of rotation of the portal frame with respect to the base member is the fourth center of rotation, and the left-right direction of the hand When the center position is the center of the hand, the center of the first rotation is arranged at a position deviated from the center of the fourth rotation in the left-right direction, and the center of the hand is arranged at the same position as the center of the fourth rotation in the left-right direction. It is preferable to have.

このように構成すると、ハンド中心が左右方向において第４回動中心と同じ位置に配置されているため、第１回動中心が左右方向において第４回動中心とずれた位置に配置されていても、たとえば、ハンド中心が左右方向において第１回動中心と同じ位置に配置されている場合と比較して、搬送対象物を搬送する際の産業用ロボットの制御が容易になる。 With this configuration, since the hand center is arranged at the same position as the fourth rotation center in the left-right direction, the first rotation center is arranged at a position deviated from the fourth rotation center in the left-right direction. However, for example, as compared with the case where the center of the hand is arranged at the same position as the center of rotation in the left-right direction, it becomes easier to control the industrial robot when transporting the object to be transported.

以上のように、本発明では、左右方向に間隔をあけた状態で配置される２本の支柱を有する門型の門型フレームを備える産業用ロボットにおいて、ハンドに搭載される搬送対象物を前後方向において門型フレームからより離れている位置まで搬送することが可能であっても、アームと支柱との干渉を防止することが可能になる。 As described above, in the present invention, in the industrial robot provided with a gantry-shaped gantry frame having two struts arranged at intervals in the left-right direction, the object to be transported mounted on the hand is moved back and forth. Even if it is possible to transport the robot to a position farther from the portal frame in the direction, it is possible to prevent interference between the arm and the support column.

本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの斜視図である。It is a perspective view of the industrial robot which concerns on embodiment of this invention. 図１に示す産業用ロボットの平面図である。It is a top view of the industrial robot shown in FIG. 図１に示す産業用ロボットのアームが縮んでいる状態の平面図である。It is a top view of the state in which the arm of the industrial robot shown in FIG. 1 is contracted. 図１に示す産業用ロボットのアームの伸縮動作の途中の状態の平面図である。It is a top view of the state in the middle of the expansion and contraction operation of the arm of the industrial robot shown in FIG.

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

（産業用ロボットの構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の斜視図である。図２は、図１に示す産業用ロボット１の平面図である。図３は、図１に示す産業用ロボット１のアーム４が縮んでいる状態の平面図である。図４は、図１に示す産業用ロボット１のアーム４の伸縮動作の途中の状態の平面図である。 (Structure of industrial robot)
FIG. 1 is a perspective view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a plan view of the industrial robot 1 shown in FIG. FIG. 3 is a plan view of the state in which the arm 4 of the industrial robot 1 shown in FIG. 1 is contracted. FIG. 4 is a plan view of the state of the arm 4 of the industrial robot 1 shown in FIG. 1 during the expansion / contraction operation.

本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である半導体ウエハ２（以下、「ウエハ２」とする。）を搬送するための水平多関節型のロボットである。ロボット１は、たとえば、ウエハ２に対して所定の処理を行う処理装置（図示省略）からのウエハ２の搬出および処理装置へのウエハ２の搬入を行う。ウエハ２は、円板状に形成されている。 The industrial robot 1 (hereinafter referred to as “robot 1”) of the present embodiment is a horizontal articulated robot for transporting a semiconductor wafer 2 (hereinafter referred to as “wafer 2”) which is an object to be transported. Is. For example, the robot 1 carries out the wafer 2 from a processing device (not shown) that performs a predetermined process on the wafer 2, and carries the wafer 2 into the processing device. The wafer 2 is formed in a disk shape.

ロボット１は、ウエハ２が搭載されるハンド３と、ハンド３が先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に伸縮するアーム４と、アーム４の基端側が回動可能に連結されるアーム支持部５と、アーム支持部５を昇降可能に保持する門型の門型フレーム６と、上下方向（図１等のＺ方向）を回動の軸方向とする門型フレーム６の回動が可能となるように門型フレーム６が載置されるベース部材７とを備えている。また、ロボット１は、アーム支持部５に対してアーム４を伸縮させるとともにアーム４に対してハンド３を回動させる駆動機構（図示省略）と、門型フレーム６に対してアーム支持部５を昇降させる昇降機構（図示省略）と、ベース部材７に対して門型フレーム６を回動させる回動機構（図示省略）とを備えている。 In the robot 1, the hand 3 on which the wafer 2 is mounted, the arm 4 to which the hand 3 is rotatably connected to the tip side and expand and contract in the horizontal direction, and the base end side of the arm 4 are rotatably connected to each other. Rotation of the arm support portion 5, the gate-shaped gate-shaped frame 6 that holds the arm support portion 5 so as to be able to move up and down, and the gate-shaped frame 6 whose axial direction is the vertical direction (Z direction in FIG. 1 and the like). It is provided with a base member 7 on which the portal frame 6 is placed so as to enable the above. Further, the robot 1 has a drive mechanism (not shown) that expands and contracts the arm 4 with respect to the arm support portion 5 and rotates the hand 3 with respect to the arm 4, and the arm support portion 5 with respect to the portal frame 6. It includes an elevating mechanism (not shown) for elevating and lowering, and a rotating mechanism (not shown) for rotating the portal frame 6 with respect to the base member 7.

アーム４は、第１アーム部１０と第２アーム部１１とから構成されている。第１アーム部１０の基端側は、アーム支持部５に回動可能に連結されている。第２アーム部１１の基端側は、第１アーム部１０の先端側に回動可能に連結されている。第２アーム部１１の先端側には、ハンド３が回動可能に連結されている。ハンド３は、ウエハ２が搭載されるハンドフォーク部１２と、アーム４に連結されるハンド基部１３とから構成されている。 The arm 4 is composed of a first arm portion 10 and a second arm portion 11. The base end side of the first arm portion 10 is rotatably connected to the arm support portion 5. The base end side of the second arm portion 11 is rotatably connected to the tip end side of the first arm portion 10. A hand 3 is rotatably connected to the tip end side of the second arm portion 11. The hand 3 is composed of a hand fork portion 12 on which the wafer 2 is mounted and a hand base portion 13 connected to the arm 4.

ハンドフォーク部１２は、二股状に形成されており、ハンド３は、全体として略Ｙ形状に形成されている。ハンドフォーク部１２の基端部は、ハンド基部１３の先端部に固定されている。ハンド基部１３の基端側は、第２アーム部１１の先端側に回動可能に連結されている。ハンド３、第２アーム部１１および第１アーム部１０は、上側からこの順番で配置されている。アーム支持部５は、中空のブロック状に形成されている。第１アーム部１０の基端側は、アーム支持部５の上面に回動可能に連結されている。 The hand fork portion 12 is formed in a bifurcated shape, and the hand 3 is formed in a substantially Y shape as a whole. The base end portion of the hand fork portion 12 is fixed to the tip end portion of the hand base portion 13. The base end side of the hand base portion 13 is rotatably connected to the tip end side of the second arm portion 11. The hand 3, the second arm portion 11, and the first arm portion 10 are arranged in this order from the upper side. The arm support portion 5 is formed in a hollow block shape. The base end side of the first arm portion 10 is rotatably connected to the upper surface of the arm support portion 5.

上述のように、ロボット１は、アーム支持部５に対してアーム４を伸縮させるとともにアーム４に対してハンド３を回動させる駆動機構を備えている。駆動機構は、アーム支持部５の内部に配置されるモータと、モータの動力をアーム４およびハンド３に伝達する動力伝達機構とを備えている。モータは、アーム支持部５と第１アーム部１０との連結部分の下側に配置されている。動力伝達機構は、たとえば、アーム支持部５の内部に配置される減速機と、アーム４の内部に配置されるベルトおよびプーリとを備えている。 As described above, the robot 1 includes a drive mechanism that expands and contracts the arm 4 with respect to the arm support portion 5 and rotates the hand 3 with respect to the arm 4. The drive mechanism includes a motor arranged inside the arm support portion 5 and a power transmission mechanism that transmits the power of the motor to the arm 4 and the hand 3. The motor is arranged below the connecting portion between the arm support portion 5 and the first arm portion 10. The power transmission mechanism includes, for example, a speed reducer arranged inside the arm support portion 5, and a belt and a pulley arranged inside the arm 4.

駆動機構は、アーム支持部５に対して第１アーム部１０を回動させ、かつ、第１アーム部１０に対して第２アーム部１１を回動させるとともに、第２アーム部１１に対してハンド３を回動させる。また、駆動機構は、ハンド３が一定方向を向いた状態で直線的に移動するようにアーム４を伸縮させる。 The drive mechanism rotates the first arm portion 10 with respect to the arm support portion 5, the second arm portion 11 with respect to the first arm portion 10, and the second arm portion 11 with respect to the second arm portion 11. Rotate the hand 3. Further, the drive mechanism expands and contracts the arm 4 so that the hand 3 moves linearly while facing a certain direction.

以下の説明では、水平方向のうちの、ハンド３の往復移動方向（図１等のＸ方向）を前後方向とし、前後方向と上下方向とに直交する図１等のＹ方向を左右方向とする。また、以下の説明では、前後方向の一方側である図１等のＸ１方向側を「前」側とし、前後方向の他方側である図１等のＸ２方向側を「後ろ」側とし、左右方向の一方側である図１等のＹ２方向側を「左」側とし、左右方向の他方側である図１等のＹ１方向側を「右」側とする。 In the following description, the reciprocating movement direction of the hand 3 (X direction in FIG. 1 and the like) is defined as the front-rear direction, and the Y direction in FIG. 1 and the like orthogonal to the front-back direction and the vertical direction is defined as the left-right direction. .. Further, in the following description, the X1 direction side of FIG. 1, which is one side in the front-rear direction, is referred to as the "front" side, and the X2 direction side of FIG. 1, which is the other side in the front-rear direction, is referred to as the "rear" side. The Y2 direction side of FIG. 1, which is one side of the direction, is the "left" side, and the Y1 direction side of FIG. 1, which is the other side of the left-right direction, is the "right" side.

本形態では、ハンド３は、アーム４の伸縮時にハンド３の先端（すなわち、ハンドフォーク部１２の先端）が前側を向いている一定の姿勢で前後方向に直線的に移動する。具体的には、ハンド３は、縮んでいる状態のアーム４（図３参照）が伸びるときにハンド３の先端が前側を向いている一定の姿勢で前側に直線的に移動し、伸びている状態のハンド３（図２参照）が縮むときにハンド３の先端が前側を向いている一定の姿勢で後ろ側に直線的に移動する。 In this embodiment, the hand 3 moves linearly in the front-rear direction in a constant posture in which the tip of the hand 3 (that is, the tip of the hand fork portion 12) faces the front side when the arm 4 expands and contracts. Specifically, the hand 3 moves linearly to the front side in a constant posture in which the tip of the hand 3 faces the front side when the arm 4 (see FIG. 3) in the contracted state is extended, and is extended. When the hand 3 in the state (see FIG. 2) contracts, the tip of the hand 3 moves linearly to the rear side in a constant posture facing the front side.

なお、図２では、アーム４が最も伸びてハンド３が最も前側まで移動している状態が図示されている。ウエハ２に対して所定の処理を行う処理装置は、ロボット１の前側に配置されており、図２に示す状態では、ハンド３は、処理装置の中に配置されている。また、図３では、アーム４が縮んでハンド３が最も後ろ側まで移動している状態が図示されている。本形態では、この状態で、ベース部材７に対して門型フレーム６が回動する。すなわち、この状態で、ロボット１が旋回する。また、この状態のときに、ロボット１の旋回半径が最も小さくなる。 Note that FIG. 2 shows a state in which the arm 4 is most extended and the hand 3 is moved to the frontmost side. A processing device that performs a predetermined process on the wafer 2 is arranged on the front side of the robot 1, and in the state shown in FIG. 2, the hand 3 is arranged in the processing device. Further, in FIG. 3, a state in which the arm 4 is contracted and the hand 3 is moved to the rearmost side is shown. In this embodiment, the portal frame 6 rotates with respect to the base member 7 in this state. That is, in this state, the robot 1 turns. Further, in this state, the turning radius of the robot 1 becomes the smallest.

門型フレーム６は、左右方向に間隔をあけた状態で配置される２本の支柱１６を備えている。支柱１６は、上下方向を長手方向とする柱状に形成されている。ハンド３およびアーム４は、左右方向において２本の支柱１６の間に配置されている。また、門型フレーム６は、２本の支柱１６の上端部同士を繋ぐ連結部１７と、２本の支柱１６の下端部が固定されるとともに門型フレーム６の下端部を構成するフレーム下部１８とを備えている。ベース部材７は、ロボット１の下端部を構成している。ベース部材７は、平板状に形成されている。フレーム下部１８は、ベース部材７の上面に回動可能に連結されている。 The gate-shaped frame 6 includes two columns 16 that are arranged at intervals in the left-right direction. The columns 16 are formed in a columnar shape with the vertical direction as the longitudinal direction. The hand 3 and the arm 4 are arranged between the two columns 16 in the left-right direction. Further, in the gate-shaped frame 6, the connecting portion 17 connecting the upper ends of the two columns 16 and the lower end of the two columns 16 are fixed, and the lower end of the frame 18 constituting the lower end of the portal frame 6 is fixed. And have. The base member 7 constitutes the lower end portion of the robot 1. The base member 7 is formed in a flat plate shape. The lower part 18 of the frame is rotatably connected to the upper surface of the base member 7.

上述のように、ロボット１は、門型フレーム６に対してアーム支持部５を昇降させる昇降機構を備えている。昇降機構は、モータと、モータの動力をアーム支持部５に伝達する動力伝達機構と、アーム支持部５を上下方向に案内するガイド機構とを備えている。昇降機構の動力伝達機構は、たとえば、支柱１６の内部に配置されるボールねじを備えている。あるいは、昇降機構の動力伝達機構は、支柱１６の内部に配置されるベルトおよびプーリを備えている。ガイド機構は、支柱１６に沿って配置されるガイドレールと、ガイドレールに係合するとともにアーム支持部５に固定されるガイドブロックとを備えている。 As described above, the robot 1 is provided with an elevating mechanism for elevating and lowering the arm support portion 5 with respect to the portal frame 6. The elevating mechanism includes a motor, a power transmission mechanism that transmits the power of the motor to the arm support portion 5, and a guide mechanism that guides the arm support portion 5 in the vertical direction. The power transmission mechanism of the elevating mechanism includes, for example, a ball screw arranged inside the support column 16. Alternatively, the power transmission mechanism of the elevating mechanism includes a belt and a pulley arranged inside the column 16. The guide mechanism includes a guide rail arranged along the support column 16 and a guide block that engages with the guide rail and is fixed to the arm support portion 5.

また、上述のように、ロボット１は、ベース部材７に対して門型フレーム６を回動させる回動機構を備えている。回動機構は、モータと、モータの動力をフレーム下部１８に伝達する動力伝達機構とを備えている。回動機構の動力伝達機構は、たとえば、フレーム下部１８の内部に配置されるベルトおよびプーリを備えている。 Further, as described above, the robot 1 is provided with a rotation mechanism for rotating the portal frame 6 with respect to the base member 7. The rotating mechanism includes a motor and a power transmission mechanism that transmits the power of the motor to the lower part 18 of the frame. The power transmission mechanism of the rotating mechanism includes, for example, a belt and a pulley arranged inside the frame lower portion 18.

本形態では、アーム支持部５に対する第１アーム部１０の回動中心Ｃ１と第１アーム部１０に対する第２アーム部１１の回動中心Ｃ２との距離Ｌ１（図２参照）と、第２アーム部１１に対するハンド３の回動中心Ｃ３と回動中心Ｃ２との距離Ｌ２（図２参照）とが等しくなっている。本形態の回動中心Ｃ１は第１回動中心であり、回動中心Ｃ２は第２回動中心であり、回動中心Ｃ３は第３回動中心である。 In this embodiment, the distance L1 (see FIG. 2) between the rotation center C1 of the first arm portion 10 with respect to the arm support portion 5 and the rotation center C2 of the second arm portion 11 with respect to the first arm portion 10 and the second arm. The distance L2 (see FIG. 2) between the rotation center C3 and the rotation center C2 of the hand 3 with respect to the portion 11 is equal. The rotation center C1 of the present embodiment is the first rotation center, the rotation center C2 is the second rotation center, and the rotation center C3 is the third rotation center.

また、本形態では、上述のように、ハンド３は、アーム４の伸縮時にハンド３の先端が前側を向いている一定の姿勢で前後方向に直線的に移動するため、回動中心Ｃ１と回動中心Ｃ３とは、左右方向において常に同じ位置に配置されている。また、本形態では、第１アーム部１０の長さと第２アーム部１１の長さとが等しくなっている。また、アーム４の伸縮時にハンド３の先端が前側を向いている一定の姿勢で前後方向に直線的に移動するハンド３の前後方向の長さは、第１アーム部１０の長さおよび第２アーム部１１の長さよりも長くなっている。 Further, in the present embodiment, as described above, the hand 3 moves linearly in the front-rear direction in a constant posture in which the tip of the hand 3 faces the front side when the arm 4 expands and contracts, so that the hand 3 rotates with the rotation center C1. The moving center C3 is always arranged at the same position in the left-right direction. Further, in the present embodiment, the length of the first arm portion 10 and the length of the second arm portion 11 are equal to each other. Further, the length in the front-rear direction of the hand 3 which moves linearly in the front-rear direction in a constant posture in which the tip of the hand 3 faces the front side when the arm 4 expands and contracts is the length of the first arm portion 10 and the second. It is longer than the length of the arm portion 11.

アーム支持部５に対して第１アーム部１０が回動すると、回動中心Ｃ２は、図４に示すように、上下方向から見たときに、回動中心Ｃ１を曲率中心にするとともに左側に向かって膨らむ半円弧状の仮想線ＶＬ上を通過する。左右方向における２本の支柱１６の間の中心位置を支柱間中心ＣＬ１とすると、図４に示すように、アーム支持部５に対して第１アーム部１０が回動して回動中心Ｃ２が前後方向において回動中心Ｃ１と同じ位置に配置されるときに、回動中心Ｃ２は、支柱間中心ＣＬ１よりも左側に配置されている。すなわち、回動中心Ｃ２が前後方向において回動中心Ｃ１と同じ位置に配置されるときには、第１アーム部１０と第２アーム部１１との連結部分が支柱間中心ＣＬ１よりも左側に配置されるようにアーム４が縮んでいる。なお、このときには、上下方向から見たときに、回動中心Ｃ１と回動中心Ｃ３とが重なっている。 When the first arm portion 10 rotates with respect to the arm support portion 5, the rotation center C2 has the rotation center C1 as the center of curvature and the left side when viewed from the vertical direction, as shown in FIG. It passes on a semicircular virtual line VL that swells toward it. Assuming that the center position between the two columns 16 in the left-right direction is the center between the columns CL1, the first arm portion 10 rotates with respect to the arm support portion 5 and the rotation center C2 becomes the center of rotation C2, as shown in FIG. When arranged at the same position as the rotation center C1 in the front-rear direction, the rotation center C2 is arranged on the left side of the center between columns CL1. That is, when the rotation center C2 is arranged at the same position as the rotation center C1 in the front-rear direction, the connecting portion between the first arm portion 10 and the second arm portion 11 is arranged on the left side of the center between columns CL1. The arm 4 is contracted like this. At this time, the rotation center C1 and the rotation center C3 overlap when viewed from the vertical direction.

また、回動中心Ｃ１は、支柱間中心ＣＬ１よりも右側に配置されている。すなわち、アーム支持部５と第１アーム部１０との連結部分は、支柱間中心ＣＬ１よりも右側に配置されている。また、図２に示すように、門型フレーム６の前後方向の中心位置をフレーム中心ＣＬ２とすると、回動中心Ｃ１は、フレーム中心ＣＬ２よりも後ろ側に配置されている。また、回動中心Ｃ１は、左右方向において、ベース部材７に対する門型フレーム６の回動中心Ｃ４とずれた位置に配置されている。具体的には、回動中心Ｃ１は、回動中心Ｃ４よりも右側に配置されている。また、回動中心Ｃ１は、回動中心Ｃ４よりも後ろ側に配置されている。回動中心Ｃ４は、支柱間中心ＣＬ１よりも右側に配置されるとともに、フレーム中心ＣＬ２よりも後ろ側に配置されている。本形態の回動中心Ｃ４は、第４回動中心である。 Further, the rotation center C1 is arranged on the right side of the center between columns CL1. That is, the connecting portion between the arm support portion 5 and the first arm portion 10 is arranged on the right side of the center between columns CL1. Further, as shown in FIG. 2, assuming that the center position of the portal frame 6 in the front-rear direction is the frame center CL2, the rotation center C1 is arranged behind the frame center CL2. Further, the rotation center C1 is arranged at a position deviated from the rotation center C4 of the portal frame 6 with respect to the base member 7 in the left-right direction. Specifically, the rotation center C1 is arranged on the right side of the rotation center C4. Further, the rotation center C1 is arranged behind the rotation center C4. The rotation center C4 is arranged on the right side of the center between columns CL1 and on the rear side of the frame center CL2. The rotation center C4 of this embodiment is the fourth rotation center.

アーム４の伸縮時にハンド３の先端が前側を向いている一定の姿勢で前後方向に直線的に移動するハンド３の左右方向の中心位置をハンド中心ＣＬ３とすると、ハンド中心ＣＬ３は、左右方向において回動中心Ｃ４と同じ位置に配置されている。すなわち、アーム４の伸縮時に上下方向から見ると、ハンド中心ＣＬ３は、回動中心Ｃ４上を通過していく。 Assuming that the center position of the hand 3 in the left-right direction, which moves linearly in the front-rear direction in a constant posture with the tip of the hand 3 facing forward when the arm 4 expands and contracts, is the hand center CL3, the hand center CL3 is in the left-right direction. It is arranged at the same position as the rotation center C4. That is, when the arm 4 is expanded and contracted, the hand center CL3 passes over the rotation center C4 when viewed from above and below.

（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、回動中心Ｃ１と回動中心Ｃ２との距離Ｌ１と、回動中心Ｃ２と回動中心Ｃ３との距離Ｌ２とが等しくなっている。また、本形態では、アーム支持部５に対して第１アーム部１０が回動して回動中心Ｃ２が前後方向において回動中心Ｃ１と同じ位置に配置されるときに、回動中心Ｃ２は、支柱間中心ＣＬ１よりも左側に配置されている一方で、回動中心Ｃ１は、支柱間中心ＣＬ１よりも右側に配置されている。 (Main effect of this form)
As described above, in the present embodiment, the distance L1 between the rotation center C1 and the rotation center C2 and the distance L2 between the rotation center C2 and the rotation center C3 are equal. Further, in the present embodiment, when the first arm portion 10 rotates with respect to the arm support portion 5 and the rotation center C2 is arranged at the same position as the rotation center C1 in the front-rear direction, the rotation center C2 is The rotation center C1 is arranged on the right side of the strut center CL1 while it is arranged on the left side of the strut center CL1.

そのため、本形態では、第１アーム部１０および第２アーム部１１の長さを長くして、アーム４が伸びているときのアーム４の前後方向の長さを長くしても、伸びているアーム４が縮まるときに、第１アーム部１０と第２アーム部１１との連結部分や第２アーム部１１とハンド３との連結部分が２本の支柱１６に干渉するのを防止することが可能になる。したがって、本形態では、ハンド３に搭載されるウエハ２を前側に向かって門型フレーム６からより離れている位置まで搬送することが可能であっても、アーム４と支柱１６との干渉を防止することが可能になる。 Therefore, in the present embodiment, even if the lengths of the first arm portion 10 and the second arm portion 11 are increased and the length of the arm 4 in the front-rear direction when the arm 4 is extended is increased, the arm 4 is extended. It is possible to prevent the connecting portion between the first arm portion 10 and the second arm portion 11 and the connecting portion between the second arm portion 11 and the hand 3 from interfering with the two columns 16 when the arm 4 contracts. It will be possible. Therefore, in the present embodiment, even if the wafer 2 mounted on the hand 3 can be conveyed to a position farther from the portal frame 6 toward the front side, interference between the arm 4 and the support column 16 is prevented. It becomes possible to do.

本形態では、回動中心Ｃ１は、フレーム中心ＣＬ２よりも後ろ側に配置されている。そのため、本形態では、図３に示す状態までアーム４を縮めたときに、ロボット１の前側に配置される処理装置から、ハンド３に搭載されるウエハ２およびハンド３を前後方向においてより離れている位置まで退避させることが可能になる。したがって、本形態では、ロボット１が旋回するときに、ウエハ２およびハンド３と、処理装置との干渉を防止しやすくなる。 In this embodiment, the rotation center C1 is arranged behind the frame center CL2. Therefore, in the present embodiment, when the arm 4 is retracted to the state shown in FIG. 3, the wafer 2 and the hand 3 mounted on the hand 3 are separated from the processing device arranged on the front side of the robot 1 in the front-rear direction. It is possible to evacuate to the desired position. Therefore, in the present embodiment, it becomes easy to prevent the wafer 2 and the hand 3 from interfering with the processing device when the robot 1 turns.

本形態では、ハンド３の前後方向の長さは、第１アーム部１０の長さおよび第２アーム部１１の長さよりも長くなっている。そのため、本形態では、たとえば、処理装置の後面を構成するカバーに、ハンド３は出入りすることはできるが、アーム４は出入りすることはできない大きさの開口部が形成されている場合に、処理装置のカバーとアーム４との干渉を防止しつつ、ハンド３に搭載されるウエハ２を処理装置のより奥側（前側）まで搬送することが可能になる。 In this embodiment, the length of the hand 3 in the front-rear direction is longer than the length of the first arm portion 10 and the length of the second arm portion 11. Therefore, in the present embodiment, for example, when the cover constituting the rear surface of the processing device is formed with an opening having a size that allows the hand 3 to enter and exit but the arm 4 cannot enter and exit. The wafer 2 mounted on the hand 3 can be conveyed to the deeper side (front side) of the processing device while preventing the cover of the device from interfering with the arm 4.

本形態では、ハンド中心ＣＬ３は、左右方向において回動中心Ｃ４と同じ位置に配置されている。そのため、本形態では、回動中心Ｃ１が左右方向において回動中心Ｃ４とずれた位置に配置されていても、たとえば、ハンド中心ＣＬ３が左右方向において回動中心Ｃ１と同じ位置に配置されている場合と比較して、ウエハ２を搬送する際のロボット１の制御が容易になる。 In this embodiment, the hand center CL3 is arranged at the same position as the rotation center C4 in the left-right direction. Therefore, in the present embodiment, even if the rotation center C1 is arranged at a position deviated from the rotation center C4 in the left-right direction, for example, the hand center CL3 is arranged at the same position as the rotation center C1 in the left-right direction. Compared with the case, it becomes easier to control the robot 1 when transporting the wafer 2.

（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。 (Other embodiments)
The above-described embodiment is an example of a preferred embodiment of the present invention, but the present invention is not limited to this, and various modifications can be carried out without changing the gist of the present invention.

上述した形態において、回動中心Ｃ１は、前後方向においてフレーム中心ＣＬ２と同じ位置に配置されていても良いし、フレーム中心ＣＬ２より前側に配置されていても良い。また、上述した形態において、ハンド３の前後方向の長さは、第１アーム部１０、第２アーム部１１の長さと同じであっても良いし、第１アーム部１０、第２アーム部１１の長さより短くなっていても良い。 In the above-described embodiment, the rotation center C1 may be arranged at the same position as the frame center CL2 in the front-rear direction, or may be arranged in front of the frame center CL2. Further, in the above-described embodiment, the length of the hand 3 in the front-rear direction may be the same as the length of the first arm portion 10 and the second arm portion 11, or the first arm portion 10 and the second arm portion 11 It may be shorter than the length of.

上述した形態において、回動中心Ｃ１は、左右方向において回動中心Ｃ４と同じ位置に配置されていても良いし、回動中心Ｃ４より左側に配置されていても良い。また、回動中心Ｃ１は、前後方向において回動中心Ｃ４と同じ位置に配置されていても良いし、回動中心Ｃ４より前側に配置されていても良い。また、上述した形態において、ハンド中心ＣＬ３は、左右方向において回動中心Ｃ４とずれた位置に配置されていても良い。 In the above-described embodiment, the rotation center C1 may be arranged at the same position as the rotation center C4 in the left-right direction, or may be arranged on the left side of the rotation center C4. Further, the rotation center C1 may be arranged at the same position as the rotation center C4 in the front-rear direction, or may be arranged in front of the rotation center C4. Further, in the above-described embodiment, the hand center CL3 may be arranged at a position deviated from the rotation center C4 in the left-right direction.

上述した形態において、回動中心Ｃ４は、左右方向において支柱間中心ＣＬ１と同じ位置に配置されていても良いし、前後方向においてフレーム中心ＣＬ２と同じ位置に配置されていても良い。また、上述した形態において、回動中心Ｃ４は、支柱間中心ＣＬ１より左側に配置されていても良いし、フレーム中心ＣＬ２より前側に配置されていても良い。また、上述した形態において、ウエハ２以外の搬送対象物がロボット１で搬送されても良い。たとえば、ガラス基板がロボット１で搬送されても良い。 In the above-described embodiment, the rotation center C4 may be arranged at the same position as the center between columns CL1 in the left-right direction, or may be arranged at the same position as the frame center CL2 in the front-rear direction. Further, in the above-described embodiment, the rotation center C4 may be arranged on the left side of the center between columns CL1 or may be arranged on the front side of the frame center CL2. Further, in the above-described form, the object to be conveyed other than the wafer 2 may be conveyed by the robot 1. For example, the glass substrate may be conveyed by the robot 1.

１ ロボット（産業用ロボット）
２ ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
３ ハンド
４ アーム
５ アーム支持部
６ 門型フレーム
７ ベース部材
１０ 第１アーム部
１１ 第２アーム部
１６ 支柱
Ｃ１ 回動中心（第１回動中心）
Ｃ２ 回動中心（第２回動中心）
Ｃ３ 回動中心（第３回動中心）
Ｃ４ 回動中心（第４回動中心）
ＣＬ１ 支柱間中心
ＣＬ２ フレーム中心
ＣＬ３ ハンド中心
Ｌ１ 第１回動中心と第２回動中心との距離
Ｌ２ 第２回動中心と第３回動中心との距離
Ｘ 前後方向
Ｙ 左右方向
Ｚ 上下方向 1 Robot (industrial robot)
2 Wafers (semiconductor wafers, objects to be transported)
3 Hand 4 Arm 5 Arm support 6 Gate type frame 7 Base member 10 1st arm 11 2nd arm 16 Strut C1 Rotation center (1st rotation center)
C2 center of rotation (center of second rotation)
C3 rotation center (third rotation center)
C4 rotation center (4th rotation center)
CL1 Center between columns CL2 Center center CL3 Hand center L1 Distance between 1st rotation center and 2nd rotation center L2 Distance between 2nd rotation center and 3rd rotation center X Front-back direction Y Left-right direction Z Up-down direction

Claims (4)

搬送対象物が搭載されるハンドと、前記ハンドが先端側に回動可能に連結されるとともに水平方向に伸縮するアームと、前記アームの基端側が回動可能に連結されるアーム支持部と、前記アーム支持部を昇降可能に保持する門型の門型フレームとを備え、
前記アームは、前記アーム支持部に基端側が回動可能に連結される第１アーム部と、前記第１アーム部の先端側に基端側が回動可能に連結されるとともに前記ハンドが先端側に回動可能に連結される第２アーム部とを備え、
水平方向のうちの所定の方向を左右方向とし、上下方向と左右方向とに直交する方向を前後方向とすると、
前記門型フレームは、左右方向に間隔をあけた状態で配置される２本の支柱を備え、
前記ハンドおよび前記アームは、左右方向において２本の前記支柱の間に配置され、
前記アーム支持部に対する前記第１アーム部の回動中心を第１回動中心とし、前記第１アーム部に対する前記第２アーム部の回動中心を第２回動中心とし、前記第２アーム部に対する前記ハンドの回動中心を第３回動中心とし、左右方向における２本の前記支柱の間の中心位置を支柱間中心とすると、
前記第１回動中心と前記第２回動中心との距離と、前記第２回動中心と前記第３回動中心との距離とは等しくなっており、
前記アーム支持部に対して前記第１アーム部が回動して前記第２回動中心が前後方向において前記第１回動中心と同じ位置に配置されるときに、前記第２回動中心は、前記支柱間中心よりも左右方向の一方側に配置され、
前記第１回動中心は、前記支柱間中心よりも左右方向の他方側に配置されていることを特徴とする産業用ロボット。 A hand on which the object to be transported is mounted, an arm that is rotatably connected to the tip side and expands and contracts in the horizontal direction, and an arm support portion that is rotatably connected to the base end side of the arm. It is provided with a gate-shaped gate-shaped frame that holds the arm support portion up and down.
The arm is rotatably connected to a first arm portion whose base end side is rotatably connected to the arm support portion and to the tip end side of the first arm portion, and the hand is rotatably connected to the tip end side. Equipped with a second arm that is rotatably connected to
Assuming that a predetermined direction in the horizontal direction is the left-right direction and the direction orthogonal to the up-down direction and the left-right direction is the front-back direction,
The gate-shaped frame includes two columns arranged at intervals in the left-right direction.
The hand and the arm are arranged between the two columns in the left-right direction.
The rotation center of the first arm portion with respect to the arm support portion is the first rotation center, the rotation center of the second arm portion with respect to the first arm portion is the second rotation center, and the second arm portion is Assuming that the center of rotation of the hand is the third center of rotation and the center position between the two columns in the left-right direction is the center between the columns.
The distance between the first rotation center and the second rotation center is equal to the distance between the second rotation center and the third rotation center.
When the first arm portion rotates with respect to the arm support portion and the second rotation center is arranged at the same position as the first rotation center in the front-rear direction, the second rotation center becomes , Arranged on one side in the left-right direction from the center between the columns,
An industrial robot characterized in that the first rotation center is arranged on the other side in the left-right direction from the center between columns. 前記ハンドは、縮んでいる状態の前記アームが伸びるときに前記ハンドの先端が前後方向の一方側を向いている一定の姿勢で前後方向の一方側に直線的に移動し、
前記門型フレームの前後方向の中心位置をフレーム中心とすると、
前記第１回動中心は、前記フレーム中心よりも前後方向の他方側に配置されていることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。 The hand moves linearly to one side in the front-rear direction in a constant posture in which the tip of the hand faces one side in the front-rear direction when the arm in the contracted state extends.
Assuming that the center position of the gate-shaped frame in the front-rear direction is the center of the frame,
The industrial robot according to claim 1, wherein the first rotation center is arranged on the other side in the front-rear direction with respect to the frame center. 前記ハンドの前後方向の長さは、前記第１アーム部の長さおよび前記第２アーム部の長さよりも長くなっていることを特徴とする請求項１または２記載の産業用ロボット。 The industrial robot according to claim 1 or 2, wherein the length of the hand in the front-rear direction is longer than the length of the first arm portion and the length of the second arm portion. 上下方向を回動の軸方向とする前記門型フレームの回動が可能となるように前記門型フレームが載置されるベース部材を備え、
前記ハンドは、前記アームの伸縮時に前記ハンドの先端が前後方向の一方側を向いている一定の姿勢で前後方向に直線的に移動し、
前記ベース部材に対する前記門型フレームの回動中心を第４回動中心とし、前記ハンドの左右方向の中心位置をハンド中心とすると、
前記第１回動中心は、左右方向において前記第４回動中心とずれた位置に配置され、
前記ハンド中心は、左右方向において前記第４回動中心と同じ位置に配置されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。 A base member on which the gantry frame is placed so that the gantry frame can be rotated with the vertical direction as the axial direction of rotation is provided.
The hand moves linearly in the front-rear direction in a constant posture in which the tip of the hand faces one side in the front-rear direction when the arm expands and contracts.
When the rotation center of the portal frame with respect to the base member is the fourth rotation center and the center position of the hand in the left-right direction is the hand center.
The first rotation center is arranged at a position deviated from the fourth rotation center in the left-right direction.
The industrial robot according to any one of claims 1 to 3, wherein the hand center is arranged at the same position as the fourth rotation center in the left-right direction.
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