KR101452650B1 - Industrial robot, method for controlling industrial robot, and method for teaching industrial robot - Google Patents

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KR101452650B1 KR1020137000963A KR20137000963A KR101452650B1 KR 101452650 B1 KR101452650 B1 KR 101452650B1 KR 1020137000963 A KR1020137000963 A KR 1020137000963A KR 20137000963 A KR20137000963 A KR 20137000963A KR 101452650 B1 KR101452650 B1 KR 101452650B1
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치카히로 다나카
히로카즈 와타나베
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니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤
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Abstract

반송대상물을 반출할 때의 핸드의 이동방향에 관계없이, 반입되는 반송대상물의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하는 것이 가능한 산업용 로보트를 제공한다.
산업용 로보트는, 핸드(3)와, 핸드(3)를 회동가능하게 지지하는 제2 암부(16)와, 제2 암부(16)를 회동가능하게 지지하는 제1 암부(15)를 가지는 암(4)과, 암(4)을 신축시키기 위한 제1 구동용 모터(21)와, 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 상대회동시키기 위한 제2 구동용 모터(22)와, 제1 구동용 모터(21)의 동력 및 제2 구동용 모터(22)의 동력을 전달하기 위한 동력전달기구(23)를 구비하고 있다.동력전달기구(23)는, 핸드(3)가 소정 방향을 향한 상태에서 대략 직선모양으로 움직이도록 제1 구동용 모터(21)의 동력을 암(4) 및 핸드(3)에 전달하고, 또한, 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)가 상대회동하도록 제2 구동용 모터(22)의 동력을 핸드(3)에 전달한다.
Provided is an industrial robot capable of correcting the inclination while suppressing the positional deviation of a carrying object to be carried, irrespective of the moving direction of the hand when carrying the carrying object.
The industrial robot includes a hand 3, a second arm 16 rotatably supporting the hand 3, and a first arm 15 rotatably supporting the second arm 16 A first driving motor 21 for extending and contracting the arm 4 and a second driving motor 22 for relatively rotating the hand 3 with respect to the second arm 16, 1 drive motor 21 and a power transmission mechanism 23 for transmitting the power of the second drive motor 22. The power transmission mechanism 23 is a mechanism in which the hand 3 is moved in a predetermined direction The power of the first drive motor 21 is transmitted to the arm 4 and the hand 3 so that the hand 3 moves relative to the second arm 16 in a substantially straight line with the hand 3 facing And transmits the power of the second drive motor 22 to the hand 3 so as to rotate.

Figure R1020137000963
Figure R1020137000963

Description

산업용 로보트, 산업용 로보트의 제어방법 및 산업용 로보트의 교시방법 {INDUSTRIAL ROBOT, METHOD FOR CONTROLLING INDUSTRIAL ROBOT, AND METHOD FOR TEACHING INDUSTRIAL ROBOT}Technical Field [0001] The present invention relates to an industrial robot, a control method for the industrial robot, and a teaching method for the industrial robot. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0002]

본 발명은, 소정의 반송대상물을 반송하는 산업용 로보트에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 이러한 산업용 로보트의 제어방법 및 교시(敎示)방법에 관한 것이다.The present invention relates to an industrial robot that carries a predetermined carrying object. The present invention also relates to a control method and a teaching method for such an industrial robot.

종래, 액정 디스플레이용의 유리기판을 반송하는 산업용 로보트가 알려져 있다(예를 들어, 특허 문헌 1 참조). 특허 문헌 1에 기재된 산업용 로보트는, 유리기판이 탑재되는 핸드와, 핸드가 회동가능하게 장착되는 암과, 암이 회동가능하게 장착되는 본체부를 구비하고 있다. 암은 제1의 암과 제2의 암으로 구성되어 있다. 본체부는 가대(架臺)의 위에 재치되어 있으며, 소정 방향으로 직선모양으로 이동가능하게 되어 있다. 이 산업용 로보트에서는, 핸드가 소정의 방향을 향한 상태에서 직선모양으로 움직이도록 암이 신축한다. 또한, 이 산업용 로보트는, 통상 가대에 대한 본체부의 이동방향에 직교하는 방향으로 핸드를 움직이고, 카셋트 내에 배치된 유리기판을 반출한다.Background Art Conventionally, an industrial robot for transporting a glass substrate for a liquid crystal display is known (see, for example, Patent Document 1). The industrial robot described in Patent Document 1 has a hand on which a glass substrate is mounted, an arm on which the hand is rotatably mounted, and a main body portion on which the arm is rotatably mounted. The arm is composed of a first arm and a second arm. The main body is placed on a pedestal, and is movable linearly in a predetermined direction. In this industrial robot, an arm is stretched and contracted so that the hand moves in a straight line with the hand facing a predetermined direction. In addition, the industrial robot moves the hand in a direction orthogonal to the moving direction of the main body portion with respect to the mount, and takes out the glass substrate placed in the cassette.

특허 문헌 1에 기재된 산업용 로보트에서는, 카셋트 내에 배치된 유리기판의 수평면 내에서의 기울기를 검출하기 위한 센서가 핸드에 장착되어 있다. 또한, 이 산업용 로보트는, 카셋트 내에 배치된 유리기판의 기울기가 센서에 의해서 검출되면, 카셋트로부터 반출되어 소정의 반입위치로 반입되는 유리기판의, 본체부의 이동방향에 있어서의 위치 어긋남이 억제되도록, 또한, 유리기판의 기울기가 보정되도록, 본체부를 가대에 대해서 소정 방향으로 이동시킴과 아울러, 본체부에 대해서 암을 소정량 선회시킨다. 이 상태에서, 암을 신축시켜 카셋트 내로부터 유리기판을 반출하고, 본체부를 역방향으로 이동시킴과 아울러 암을 역방향으로 선회시켜 기울기 및 위치 어긋남을 보정한 후에, 유리기판을 소정의 반입위치로 반입한다.In the industrial robot disclosed in Patent Document 1, a sensor for detecting the inclination of the glass substrate arranged in the cassette in the horizontal plane is mounted on the hand. When the inclination of the glass substrate arranged in the cassette is detected by the sensor, the industrial robot is controlled so that the positional deviation of the glass substrate taken out from the cassette to the predetermined carrying-in position in the moving direction of the main body is suppressed, Further, the main body portion is moved in a predetermined direction with respect to the mount so that the inclination of the glass substrate is corrected, and the arm is rotated with a predetermined amount with respect to the main body portion. In this state, the arm is extended and contracted to take out the glass substrate from the cassette, the body is moved in the opposite direction, and the arm is turned in the opposite direction to correct the inclination and positional deviation, and then the glass substrate is brought into the predetermined carry-in position .

특허 문헌 1 : 일본 공개특허공보 특개2003-117862호 공보Patent Document 1: JP-A-2003-117862

특허 문헌 1에 기재된 산업용 로보트에서는, 본체부를 가대에 대해서 이동시킬 수 있기 때문에, 가대에 대한 본체부의 이동방향에 있어서의 유리기판의 위치 어긋남을 억제하면서 유리기판의 기울기를 보정하는 것이 가능하다. 그렇지만, 이 산업용 로보트에서는, 예를 들면, 가대에 대한 본체부의 이동방향으로 핸드가 직선모양으로 움직여 카셋트 내의 유리기판을 반출하는 경우에는, 가대에 대한 본체부의 이동방향에 직교하는 방향에서의 유리기판의 위치 어긋남을 억제하면서 유리기판의 기울기를 보정하는 것이 곤란하다. 즉, 이 산업용 로보트에서는, 유리기판을 반출할 때의 핸드의 이동방향에 따라서는, 유리기판의 위치 어긋남을 억제하면서 유리기판의 기울기를 적절히 보정하는 것이 곤란하다.In the industrial robot described in Patent Document 1, since the body portion can be moved with respect to the mount, it is possible to correct the inclination of the glass substrate while suppressing the positional deviation of the glass substrate in the moving direction of the body portion with respect to the mount. However, in this industrial robot, for example, when the hand moves linearly in the moving direction of the main body with respect to the mount so that the glass substrate in the cassette is taken out, the glass substrate in the direction perpendicular to the moving direction of the main body with respect to the mount It is difficult to correct the inclination of the glass substrate while suppressing the positional deviation of the glass substrate. That is, in this industrial robot, it is difficult to appropriately correct the inclination of the glass substrate while suppressing the positional deviation of the glass substrate depending on the moving direction of the hand when the glass substrate is taken out.

이에, 본 발명의 과제는, 반송대상물을 반출할 때의 핸드의 이동방향에 관계없이, 반입되는 반송대상물의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하는 것이 가능한 산업용 로보트를 제공하는 것에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to provide an industrial robot capable of correcting the inclination while suppressing the positional shift of the carrying object to be carried, irrespective of the moving direction of the hand when carrying the carrying object.

상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 산업용 로보트는, 반송대상물이 탑재되는 핸드와, 핸드를 그 선단(先端)측에서 회동가능하게 지지하는 제2 암부와 제2 암부의 기단(基端)측을 그 선단측에서 회동가능하게 지지하는 제1 암부와의 적어도 2개의 암부를 가지는 암과, 암을 신축시키기 위한 제1 구동용 모터와, 제2 암부에 대해서 핸드를 상대회동시키기 위한 제2 구동용 모터와, 제1 구동용 모터의 동력 및 제2 구동용 모터의 동력을 전달하기 위한 동력전달기구를 구비하고, 동력전달기구는, 핸드가 소정 방향을 향한 상태에서 대략 직선모양으로 움직이도록 제1 구동용 모터의 동력을 암 및 핸드에 전달하고, 또한, 제2 암부에 대해서 핸드가 상대회동하도록 제2 구동용 모터의 동력을 핸드에 전달하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems, an industrial robot of the present invention comprises: a hand on which a carrying object is mounted; a second arm portion rotatably supporting the hand at a tip end thereof; A first driving motor for extending and contracting the arm, and a second driving motor for moving the second arm portion relative to the second arm portion, And a power transmitting mechanism for transmitting the power of the first driving motor and the power of the second driving motor so that the hand moves in a substantially linear shape in a state in which the hand is directed in a predetermined direction, The power of the first driving motor is transmitted to the arm and the hand, and the power of the second driving motor is transmitted to the hand such that the hand is relatively rotated with respect to the second arm.

본 발명의 산업용 로보트는, 제2 암부에 대해서 핸드를 상대회동시키기 위한 제2 구동용 모터와, 제1 구동용 모터의 동력 및 제2 구동용 모터의 동력을 전달하기 위한 동력전달기구를 구비하고, 동력전달기구는, 제2 암부에 대해서 핸드가 상대회동하도록 제2 구동용 모터의 동력을 핸드에 전달한다. 이 때문에, 본 발명에서는, 반송대상물을 반출할 때의 핸드의 이동방향에 관계없이, 제2 암부에 대해서 핸드를 자유롭게 상대회동시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에서는, 반송대상물을 반출할 때의 핸드의 이동방향에 관계없이, 반송대상물의 기울기가 검출되었을 때에는, 제2 암부에 대해서 핸드를 상대회동시킴과 아울러, 예를 들면, 산업용 로보트의 본체부를 회동시키면, 반입되는 반송대상물의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하는 것이 가능하게 된다.The industrial robot of the present invention includes a second driving motor for relatively rotating the hand with respect to the second arm portion and a power transmitting mechanism for transmitting the power of the first driving motor and the power of the second driving motor , The power transmission mechanism transmits the power of the second driving motor to the hand such that the hand rotates relative to the second arm portion. Therefore, in the present invention, the hand can be freely and relatively rotated with respect to the second arm portion regardless of the moving direction of the hand when carrying the carrying object. Therefore, in the present invention, when the inclination of the carrying object is detected regardless of the moving direction of the hand at the time of carrying the carrying object, the hand is relatively rotated with respect to the second arm portion, By rotating the main body portion, it is possible to correct the inclination while suppressing the positional deviation of the carrying object to be carried.

또한, 본 발명에서는, 산업용 로보트의 본체부를 소정 방향으로 이동시키기 위한 이동기구가 없어도 반입되는 반송대상물의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 발명에서는, 반입되는 반송대상물의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하는 것이 가능하면서도 산업용 로보트를 소형화하는 것이 가능하게 된다. 게다가 본 발명에서는, 종래와 같이, 반입되는 반송대상물의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정할 때에 산업용 로보트의 본체부를 소정 방향으로 이동시키는 경우와 비교하여 반송대상물의 기울기를 보정할 때의 택트 타임을 단축하는 것이 가능하게 된다.Further, according to the present invention, it is possible to correct the inclination while suppressing the positional shift of the carrying object to be carried, even when there is no moving mechanism for moving the body portion of the industrial robot in a predetermined direction. Therefore, in the present invention, it is possible to correct the inclination while suppressing the positional deviation of the carrying object to be carried, but it is possible to downsize the industrial robot. Further, in the present invention, as compared with the case where the body portion of the industrial robot is moved in a predetermined direction when the inclination is corrected while suppressing the positional deviation of the carrying object to be carried in the present invention, the tact time at the time of correcting the inclination of the carrying object Can be shortened.

또한, 본 발명에서는, 동력전달기구는 핸드가 소정 방향을 향한 상태에서 대략 직선모양으로 움직이도록 제1 구동용 모터의 동력을 암 및 핸드에 전달하기 때문에, 제2 구동용 모터를 정지상태로 해 두면, 동작중의 산업용 로보트를 비상정지시켰을 때에, 핸드는 소정 방향을 향한 상태에서 대략 직선모양으로 소정량 움직인 후에 정지한다. 즉, 제2 구동용 모터를 정지상태로 해 두면, 동작중의 산업용 로보트를 비상정지시켜도, 핸드가 일정 방향을 향하고 있는 상태가 유지되기 때문에, 비상정지시의 산업용 로보트의 자세의 흐트러짐을 억제하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 발명에서는, 산업용 로보트를 비상정지시켜도, 산업용 로보트의 주변기기의 예기치 못한 개소에 핸드가 충돌하는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다.Further, in the present invention, the power transmission mechanism transmits the power of the first driving motor to the arm and the hand so that the hand moves in a substantially straight line in a state in which the hand is directed in a predetermined direction. When an industrial robot is stopped in an emergency, the hand is stopped after moving a predetermined amount in a substantially straight line in a predetermined direction. In other words, if the second driving motor is stopped, the state in which the hand is directed in a certain direction is maintained even if the industrial robot in operation is stopped in an emergency, so that the disturbance of the posture of the industrial robot at the time of emergency stop is suppressed Lt; / RTI > Therefore, according to the present invention, even if the industrial robot is stopped emergency, it is possible to prevent the hand from colliding with an unexpected point of the peripheral device of the industrial robot.

본 발명에 있어서, 제2 구동용 모터는 제1 암부에 장착되고, 동력전달기구는, 제1 암부와 제2 암부와의 연결부에 배치되며 제1 구동용 모터의 동력이 전달되는 제2 감속기와, 제2 구동용 모터에 연결되는 제3 감속기와, 제2 암부의 기단측에 배치되며 제3 감속기의 출력부에 고정되는 제1 풀리와, 제2 암부의 선단측에 배치되며 핸드의 기단측에 고정되는 제2 풀리와, 제1 풀리와 제2 풀리에 걸쳐지는 벨트를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 동력전달기구의 구성을 비교적 간소화하는 것이 가능하게 된다.In the present invention, the second drive motor is mounted on the first arm portion, and the power transmission mechanism includes a second reducer disposed at a connection portion between the first arm portion and the second arm portion and transmitting the power of the first drive motor A third reduction gear connected to the second driving motor, a first pulley disposed on a base end side of the second arm portion and fixed to an output portion of the third reduction gear, and a second pulley disposed on a front end side of the second arm portion, A second pulley fixed to the first pulley, and a belt extending over the first pulley and the second pulley. With this configuration, the configuration of the power transmission mechanism can be relatively simplified.

본 발명에 있어서, 예를 들면, 제2 감속기의 출력부는 제1 암부의 선단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 제2 암부의 기단측에 고정되고, 제2 감속기의 입력부는 제2 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되며, 제3 감속기의 출력부는 제1 암부의 선단측에 회동가능하게 유지되고, 제3 감속기의 입력부는 제3 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되어 있다.In the present invention, for example, the output portion of the second reduction gear is rotatably held on the leading end side of the first arm portion and fixed to the base end side of the second arm portion, and the input portion of the second reduction gear is connected to the output portion The output portion of the third speed reducer is rotatably held on the leading end side of the first arm portion and the input portion of the third speed reducer is rotatably held on the output portion of the third speed reducer.

본 발명에 있어서, 제2 감속기의 입력부 및 출력부는 대략 통모양으로 형성되며, 제2 감속기의 출력부의 내주(內周)측에 제2 감속기의 입력부가 배치되고, 제2 감속기의 입력부의 내주측을 통과하도록 제3 감속기의 출력부가 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제3 감속기의 출력부가 제2 감속기의 외측에 배치되어 있는 경우와 비교하여, 제1 암부와 제2 암부와의 연결부를 소형화하는 것이 가능하게 된다.In the present invention, the input portion and the output portion of the second reducer are formed in a substantially cylindrical shape, and the input portion of the second reducer is disposed on the inner circumferential side of the output portion of the second reducer, It is preferable that the output portion of the third speed reducer is disposed. With this configuration, it is possible to downsize the connecting portion between the first arm portion and the second arm portion, as compared with the case where the output portion of the third speed reducer is disposed outside the second speed reducer.

본 발명에 있어서, 제2 구동용 모터는 제2 암부에 장착되며, 동력전달기구는, 제1 암부와 제2 암부와의 연결부에 배치되며 제1 구동용 모터의 동력이 전달되는 제2 감속기와, 태양치차와 유성치차 그리고 내부치차와 유성치차를 회전가능하게 유지하는 유성캐리어를 가지며 제2 구동용 모터에 연결되는 제3 감속기와, 제2 암부와 핸드와의 연결부에 배치되는 제4 감속기와, 제2 암부의 기단측에 배치되며 제2 감속기의 입력부에 고정되는 제1 풀리와, 제2 암부의 선단측에 배치되며 제4 감속기의 입력부에 고정되는 제2 풀리와, 태양치차에 고정되는 제3 풀리와, 유성캐리어에 고정되는 제4 풀리와, 내부치차에 고정되는 제5 풀리와, 제2 구동용 모터의 회전축에 고정되는 제6 풀리와, 제1 풀리와 제3 풀리에 걸쳐지는 제1 벨트와, 제2 풀리와 제4 풀리에 걸쳐지는 제2 벨트와, 제5 풀리와 제6 풀리에 걸쳐지는 제3 벨트를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제2 암부와 핸드와의 연결부에 제4 감속기가 배치되기 때문에, 제2 암부와 핸드와의 연결부의 강성을 높이는 것이 가능하게 된다. 따라서, 반송대상물의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하기 위해서 제2 구동용 모터의 동력으로 제2 암부에 대해서 핸드를 상대회동시키는 경우라도, 핸드를 적절히 회동시키는 것이 가능하게 된다.In the present invention, the second driving motor is mounted on the second arm portion, and the power transmission mechanism includes a second reducer disposed at a connecting portion between the first arm portion and the second arm portion and transmitting the power of the first driving motor, A third speed reducer connected to the second driving motor and having a planet carrier for rotatably retaining the sun gear, the planetary gear, and the internal gear and the planetary gear; a fourth reducer disposed at a connection portion between the second arm portion and the hand; A first pulley disposed on a proximal end side of the second arm portion and fixed to an input portion of the second reducer, a second pulley disposed on a distal end side of the second arm portion and fixed to an input portion of the fourth reducer, A fourth pulley fixed to the planetary carrier, a fifth pulley fixed to the inner gear, a sixth pulley fixed to the rotary shaft of the second driving motor, and a third pulley fixed to the first pulley and the third pulley, The first belt, the second pulley, and the fourth pulley 2 preferably includes a third belt which is across the belt and, the fifth pulley, the sixth pulley. With this configuration, since the fourth reducer is disposed at the connection portion between the second arm portion and the hand, it is possible to enhance the rigidity of the connection portion between the second arm portion and the hand. Therefore, even when the hand is relatively rotated with respect to the second arm portion by the power of the second drive motor in order to correct the inclination while suppressing the positional deviation of the carrying object, the hand can be appropriately rotated.

본 발명에 있어서, 예를 들면, 제2 감속기의 출력부는 제1 암부의 선단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 제2 암부의 기단측에 고정되고, 제2 감속기의 입력부는 제2 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되며, 제4 감속기의 출력부는 제2 암부의 선단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 핸드의 기단측에 고정되고, 제4 감속기의 입력부는 제4 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되며, 내부치차는 제2 암부에 회동가능하게 유지되어 있다.In the present invention, for example, the output portion of the second reduction gear is rotatably held on the leading end side of the first arm portion and fixed to the base end side of the second arm portion, and the input portion of the second reduction gear is connected to the output portion The output portion of the fourth reduction gear is rotatably held on the leading end side of the second arm portion and is fixed to the base end side of the hand and the input portion of the fourth reduction gear is rotatably held on the output portion of the fourth reduction gear And the internal gear is rotatably held by the second arm portion.

본 발명에 있어서, 제2 구동용 모터는 제2 암부에 장착되며, 동력전달기구는, 제1 암부와 제2 암부와의 연결부에 배치되며 제1 구동용 모터의 동력이 전달되는 제2 감속기와, 제1 베벨치차와 제1 베벨치차에 치합함과 아울러 서로 대향 배치되는 제2 베벨치차 및 제3 베벨치차와 제1 베벨치차를 회전가능하게 유지하는 유지부재를 가지며 제2 구동용 모터에 연결되는 제3 감속기와, 제2 암부와 핸드와의 연결부에 배치되는 제4 감속기와, 제2 암부의 기단측에 배치되며 제2 감속기의 입력부에 고정되는 제1 풀리와, 제2 암부의 선단측에 배치되며 제4 감속기의 입력부에 고정되는 제2 풀리와, 제2 베벨치차에 고정되는 제3 풀리와, 제3 베벨치차에 고정되는 제4 풀리와, 유지부재에 고정되는 제5 풀리와, 제2 구동용 모터의 회전축에 고정되는 제6 풀리를 구비하며, 제1 풀리와 제3 풀리에 걸쳐지는 제1 벨트와, 제2 풀리와 제4 풀리에 걸쳐지는 제2 벨트와, 제5 풀리와 제6 풀리에 걸쳐지는 제3 벨트를 구비하고 있어도 좋다. 이 경우에도, 제2 암부와 핸드와의 연결부에 제4 감속기가 배치되기 때문에, 제2 암부와 핸드와의 연결부의 강성을 높이는 것이 가능하게 된다. 따라서, 반송대상물의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하기 위해서 제2 구동용 모터의 동력으로 제2 암부에 대해서 핸드를 상대회동시키는 경우라도, 핸드를 적절히 회동시키는 것이 가능하게 된다.In the present invention, the second driving motor is mounted on the second arm portion, and the power transmission mechanism includes a second reducer disposed at a connecting portion between the first arm portion and the second arm portion and transmitting the power of the first driving motor, And a second bevel gear and a third bevel gear which engage with the first bevel gear and the first bevel gear and are disposed opposite to each other, and a holding member that rotatably holds the first bevel gear, A first pulley disposed at a base end side of the second arm portion and fixed to an input portion of the second reduction gear, and a second pulley disposed at a distal end side of the second arm portion, A third pulley fixed to the second bevel gear; a fourth pulley fixed to the third bevel gear; a fifth pulley fixed to the retaining member; And a sixth pulley fixed to a rotating shaft of the second driving motor, 1 may be provided with a third belt which is across the pulleys and the first belt and the second pulley and the second belt and the fourth, the fifth pulley, the sixth pulley which across a pulley which is over three pulleys. Also in this case, since the fourth reducer is disposed at the connection portion between the second arm portion and the hand, it is possible to enhance the rigidity of the connection portion between the second arm portion and the hand. Therefore, even when the hand is relatively rotated with respect to the second arm portion by the power of the second drive motor in order to correct the inclination while suppressing the positional deviation of the carrying object, the hand can be appropriately rotated.

본 발명에 있어서, 예를 들면, 제2 감속기의 출력부는 제1 암부의 선단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 제2 암부의 기단측에 고정되고, 제2 감속기의 입력부는 제2 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되며, 제4 감속기의 출력부는 제2 암부의 선단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 핸드의 기단측에 고정되고, 제4 감속기의 입력부는 제4 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되며, 유지부재는 제2 암부에 회동가능하게 유지되어 있다.In the present invention, for example, the output portion of the second reduction gear is rotatably held on the leading end side of the first arm portion and fixed to the base end side of the second arm portion, and the input portion of the second reduction gear is connected to the output portion The output portion of the fourth reduction gear is rotatably held on the leading end side of the second arm portion and is fixed to the base end side of the hand and the input portion of the fourth reduction gear is rotatably held on the output portion of the fourth reduction gear And the holding member is held rotatably on the second arm portion.

본 발명에 있어서, 예를 들면, 산업용 로보트는, 제1 암부의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재를 구비하며, 제1 구동용 모터는 제1 암부 또는 암 지지부재에 장착되고, 동력전달기구는 암 지지부재와 제1 암부와의 연결부에 배치되며 제1 구동용 모터에 연결되는 제1 감속기를 더 구비하고 있다.In the present invention, for example, the industrial robot includes an arm supporting member for rotatably supporting the base end side of the first arm portion, wherein the first driving motor is mounted on the first arm portion or the arm supporting member, The transmission mechanism further includes a first reducer disposed at a connection portion between the arm support member and the first arm portion and connected to the first drive motor.

본 발명에 있어서, 예를 들면, 제1 감속기의 출력부는 제1 암부의 기단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 암 지지부재에 고정되며, 제1 감속기의 입력부는 제1 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되어 있다.In the present invention, for example, the output portion of the first reduction gear is rotatably held on the base end side of the first arm portion and is fixed to the arm support member, and the input portion of the first reduction gear is rotatable .

본 발명에 있어서, 제2 구동용 모터는, 제2 구동용 모터의 회전축을 정지시키는 브레이크를 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 통상의 반송대상물의 반송시에, 제2 구동용 모터의 회전축을 확실히 정지시켜 두는 것이 가능하게 된다. 따라서, 동작중의 산업용 로보트를 비상정지시켰을 때에, 대략 직선모양으로 움직이는 핸드를 확실히 소정 방향을 향하게 두는 것이 가능하게 된다. 따라서, 산업용 로보트를 비상정지시켰을 때에, 산업용 로보트의 주변기기의 예기치 못한 개소에 핸드가 충돌하는 것을 확실히 방지하는 것이 가능하게 된다.In the present invention, it is preferable that the second drive motor includes a brake for stopping the rotation axis of the second drive motor. With this configuration, it is possible to reliably stop the rotation shaft of the second driving motor at the time of conveyance of a normal conveying object. Therefore, when the industrial robot in operation is stopped in an emergency, it is possible to reliably orient a hand moving in a substantially straight line in a predetermined direction. Therefore, when the industrial robot is stopped in an emergency, it is possible to reliably prevent the hand from colliding with an unexpected point in the peripheral part of the industrial robot.

본 발명에 있어서, 산업용 로보트는, 상하방향을 회동의 축방향으로 하여 제1 암부의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재와, 상하방향을 선회의 축방향으로 하여 암 지지부재를 선회시키기 위한 선회기구와, 산업용 로보트를 제어하는 제어부를 구비함과 아울러, 암이 늘어나면 반송대상물이 수용되는 수용부 안으로 핸드가 들어가고, 암이 줄어들면 수용부로부터 반송대상물이 반출되도록 구성되며, 반송대상물이 수용부 내에 수용되었을 때에 수용부의 안쪽에 배치되는 반송대상물의 단부를 안측단으로 하고, 반송대상물이 수용부 내에 수용되었을 때에 수용부의 앞쪽에 배치되는 반송대상물의 단부를 앞측단으로 하며, 반송대상물이 수용부 내에 수용되어 있을 때의 반송대상물의 안측단의 중심과 앞측단의 중심을 통과하는 선을 기준선으로 하면, 수용부 내에 수용되는 반송대상물을 핸드에 탑재 가능한 위치까지 암이 늘어나 있는 상태에서는, 상하방향에서 보았을 때에, 제2 암부와 핸드와의 연결부에 배치되는 핸드의 회동중심이 기준선상에 배치됨과 아울러, 핸드의 선단부의 중심이 기준선상에 배치되며, 선회기구에 의해서 선회할 때의 산업용 로보트의 선회반경이 최소가 되는 위치까지 암이 줄어들어 있는 상태(즉, 선회기구에 의해서 선회할 때의 산업용 로보트의 선회반경이 최소가 되는 위치에 핸드가 있는 상태)에서는, 상하방향에서 보았을 때에, 핸드의 회동중심과 핸드의 선단부의 중심을 잇는 핸드 중심선상에 암 지지부재의 선회중심이 배치됨과 아울러, 반출된 반송대상물의 안측단의 중심이 기준선상에 배치되고, 제어부는 선회기구에 의해서 암 지지부재를 선회시키고, 또한, 핸드를 회동시키면서 암을 신축시켜 반송대상물을 반송하는 것이 바람직하다.In the present invention, the industrial robot includes: an arm support member rotatably supporting the base end side of the first arm portion in the vertical direction of the rotation axis; and an arm support member rotatably supporting the arm support member in the axial direction of the rotation And a control unit for controlling the industrial robot. When the arm is extended, the hand is inserted into the receiving portion in which the carrying object is accommodated. When the arm is reduced, the carrying object is carried out from the accommodating portion. An end portion of a conveying object disposed inside the accommodating portion when the conveying object is accommodated in the accommodating portion is defined as an inner side end and an end portion of the conveying object disposed in front of the accommodating portion when the conveying object is accommodated in the accommodating portion is defined as a front side end, A line passing through the center of the inner side end and the center of the front side end of the object to be carried, The turning center of the hand arranged at the connecting portion between the second arm portion and the hand is arranged on the reference line in a state in which the arm extends to a position where the carrying object accommodated in the accommodating portion is mountable on the hand, The center of the tip of the hand is disposed on the reference line and the arm is reduced to the position where the turning radius of the industrial robot when turning by the turning mechanism is the minimum (that is, And the turning center of the arm supporting member is arranged on the hand center line connecting the turning center of the hand and the front end of the hand when viewed from the top and bottom, , The center of the inner side end of the transported transported object is arranged on the reference line, and the control unit turns the arm supporting member by the turning mechanism , It is preferable that the arm is stretched and shrunk while the hand is rotated to carry the object to be carried.

이와 같이 구성하면, 예를 들면, 수평방향으로 이동가능한 산업용 로보트의 핸드가 산업용 로보트의 이동방향으로 움직여 반송대상물을 반송하는 경우로서, 수용부에 수용되는 반송대상물의 중심과 암 지지부재의 선회중심이 산업용 로보트의 이동방향에 직교하는 방향에 있어서 어긋나 있는 경우라도, 수용부로부터 반송대상물을 적절히 반출하는 것이 가능하게 된다. 또한, 예를 들면, 산업용 로보트가 수평방향으로 이동할 수 없는 경우로서, 수용부에 수용되는 반송대상물의 중심과 암 지지부재의 선회중심이, 수용부를 향하여 핸드가 움직여 가는 방향에 직교하는 방향에 있어서 어긋나 있는 경우라도, 수용부로부터 반송대상물을 적절히 반출하는 것이 가능하게 된다.With this configuration, for example, when the hand of the industrial robot movable in the horizontal direction moves in the moving direction of the industrial robot and carries the carrying object, the center of the carrying object accommodated in the accommodating portion and the turning center of the arm supporting member It is possible to properly carry out the object to be transported from the accommodating portion even if it deviates in the direction orthogonal to the moving direction of the industrial robot. Further, for example, when the industrial robot can not move in the horizontal direction, the center of the carrying object accommodated in the accommodating portion and the turning center of the arm supporting member are arranged in a direction orthogonal to the moving direction of the hand toward the accommodating portion It is possible to appropriately carry the object to be transported from the accommodating portion even if it is misaligned.

본 발명에 있어서, 산업용 로보트는, 상하방향을 회동의 축방향으로 하여 제1 암부의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재와, 상하방향을 선회의 축방향으로 하여 암 지지부재를 선회시키기 위한 선회기구와, 산업용 로보트를 제어하는 제어부를 구비함과 아울러, 암이 늘어나면 반송대상물이 수용되는 수용부 안으로 핸드가 들어가고, 암이 줄어들면 수용부로부터 반송대상물이 반출되도록 구성되며, 반송대상물이 수용부 내에 수용되었을 때에 수용부의 안쪽에 배치되는 반송대상물의 단부를 안측단으로 하고, 반송대상물이 수용부 내에 수용되었을 때에 수용부의 앞쪽에 배치되는 반송대상물의 단부를 앞측단으로 하며, 반송대상물이 수용부 내에 수용되어 있을 때의 반송대상물의 안측단의 중심과 앞측단의 중심을 통과하는 선을 기준선으로 하면, 제어부는 산업용 로보트의 교시를 행하고 있는 경우에, 수용부 내에 수용되는 반송대상물을 핸드에 탑재 가능한 위치까지 암이 늘어나 있는 상태에서, 상하방향에서 보았을 때에, 제2 암부와 핸드와의 연결부에 배치되는 핸드의 회동중심 및 핸드의 선단부의 중심이 기준선상에 배치되어 있으며 또한, 핸드의 회동중심과 핸드의 선단부의 중심을 잇는 핸드 중심선상에 선회기구에 의해서 선회하는 암 지지부재의 선회중심이 배치되어 있지 않으면, 핸드의 회동중심 및 핸드의 선단부의 중심이 기준선상에 배치된 상태를 유지하면서, 암 지지부재의 선회중심이 핸드 중심선상에 배치되도록, 산업용 로보트를 동작시키는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제2 암부에 대해서 핸드를 자유롭게 상대회동시키는 것이 가능하면서도, 산업용 로보트의 교시작업을 용이하게 실시하는 것이 가능하게 된다.In the present invention, the industrial robot includes: an arm support member rotatably supporting the base end side of the first arm portion in the vertical direction of the rotation axis; and an arm support member rotatably supporting the arm support member in the axial direction of the rotation And a control unit for controlling the industrial robot. When the arm is extended, the hand is inserted into the receiving portion in which the carrying object is accommodated. When the arm is reduced, the carrying object is carried out from the accommodating portion. An end portion of a conveying object disposed inside the accommodating portion when the conveying object is accommodated in the accommodating portion is defined as an inner side end and an end portion of the conveying object disposed in front of the accommodating portion when the conveying object is accommodated in the accommodating portion is defined as a front side end, A line passing through the center of the inner side end and the center of the front side end of the object to be carried, When the arm is extended up to a position where the object to be carried in the accommodating portion can be mounted on the hand, when viewed from the up and down direction, the control portion controls the connection between the second arm portion and the hand And the center of the front end of the hand is disposed on the reference line and on the hand center line connecting the center of rotation of the hand and the center of the tip of the hand, It is preferable to operate the industrial robot so that the turning center of the arm supporting member is disposed on the hand center line while maintaining the state in which the center of the rotation center of the hand and the center of the distal end of the hand are arranged on the reference line. With this configuration, it is possible to freely and relatively rotate the hand with respect to the second arm portion, and it is possible to easily carry out the teaching operation of the industrial robot.

본 발명의 산업용 로보트로서, 상하방향을 회동의 축방향으로 하여 제1 암부의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재와, 상하방향을 선회의 축방향으로 하여 암 지지부재를 선회시키기 위한 선회기구를 구비하는 산업용 로보트는, 반송대상물이 수용되는 수용부 내에 반송대상물이 수용되었을 때에 수용부의 안쪽에 배치되는 반송대상물의 단부를 안측단으로 하고, 반송대상물이 수용부 내에 수용되었을 때에 수용부의 앞쪽에 배치되는 반송대상물의 단부를 앞측단으로 하며, 반송대상물이 수용부 내에 수용되어 있을 때의 반송대상물의 안측단의 중심과 앞측단의 중심을 통과하는 선을 기준선으로 하면, 상하방향에서 보았을 때에, 제2 암부와 핸드와의 연결부에 배치되는 핸드의 회동중심이 기준선상에 배치됨과 아울러, 핸드의 선단부의 중심이 기준선상에 배치되도록, 수용부에 수용되는 반송대상물을 핸드에 탑재 가능한 위치까지 암이 늘어나며, 상하방향에서 보았을 때에, 핸드의 회동중심과 핸드의 선단부의 중심을 잇는 핸드 중심선상에 선회기구에 의해서 선회하는 암 지지부재의 선회중심이 배치됨과 아울러, 반출된 반송대상물의 안측단의 중심이 기준선상에 배치되도록, 선회기구에 의해서 선회할 때의 산업용 로보트의 선회반경이 최소가 되는 위치까지 암이 줄어들며(즉, 선회기구에 의해서 선회할 때의 산업용 로보트의 선회반경이 최소가 되는 위치까지 핸드가 이동하며), 선회기구에 의해서 암 지지부재를 선회시키고, 또한, 핸드를 회동시키면서, 암을 신축시켜 반송대상물을 반송하는 제어방법에 의해서 제어되는 것이 바람직하다.An industrial robot according to the present invention includes: an arm support member rotatably supporting a proximal end side of a first arm portion in an up-and-down direction in an axial direction of rotation; An industrial robot equipped with a mechanism is characterized in that an end portion of a conveying object disposed inside the accommodating portion when the conveying object is accommodated in the accommodating portion in which the conveying object is accommodated is defined as an inner side end and when the conveying object is accommodated in the accommodating portion, When a line passing through the center of the inside end of the carrying object and the center of the front end of the carrying object when the carrying object is accommodated in the accommodating portion is taken as a reference line, , The turning center of the hand arranged at the connecting portion between the second arm portion and the hand is arranged on the reference line, The arm extends to a position where the carrying object accommodated in the accommodating portion can be mounted on the hand so that the arm is disposed on the reference line. When viewed from the top and bottom directions, on the hand center line connecting the center of rotation of the hand and the distal end of the hand, To the position at which the turning radius of the industrial robot when turning by the turning mechanism is minimized so that the center of the inner side end of the carried conveyed object is arranged on the reference line, (I.e., the hand moves to a position at which the turning radius of the industrial robot when turning by the swivel mechanism is minimized), the swivel mechanism pivots the arm support member, and while rotating the hand, And is controlled by a control method of retracting and transporting the object to be transported.

이와 같이 구성하면, 예를 들면, 수평방향으로 이동가능한 산업용 로보트의 핸드가 산업용 로보트의 이동방향으로 움직여 반송대상물을 반송하는 경우로서, 수용부에 수용되는 반송대상물의 중심과 암 지지부재의 선회중심이, 산업용 로보트의 이동방향에 직교하는 방향에 있어서 어긋나 있는 경우라도, 수용부로부터 반송대상물을 적절히 반출하는 것이 가능하게 된다. 또한, 예를 들면, 산업용 로보트가 수평방향으로 이동할 수 없는 경우로서, 수용부에 수용되는 반송대상물의 중심과 암 지지부재의 선회중심이 수용부를 향하여 핸드가 움직여 가는 방향에 직교하는 방향에 있어서 어긋나 있는 경우라도, 수용부로부터 반송대상물을 적절히 반출하는 것이 가능하게 된다.With this configuration, for example, when the hand of the industrial robot movable in the horizontal direction moves in the moving direction of the industrial robot and carries the carrying object, the center of the carrying object accommodated in the accommodating portion and the turning center of the arm supporting member Can be properly carried out from the accommodating portion even when the transfer robot is displaced in the direction orthogonal to the moving direction of the industrial robot. Further, for example, when the industrial robot can not move in the horizontal direction, the center of the carrying object accommodated in the accommodating portion and the turning center of the arm supporting member are shifted in the direction orthogonal to the moving direction of the hand toward the accommodating portion It is possible to properly carry the object to be transported from the accommodating portion.

본 발명의 산업용 로보트로서, 상하방향을 회동의 축방향으로 하여 제1 암부의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재와, 상하방향을 선회의 축방향으로 하여 암 지지부재를 선회시키기 위한 선회기구를 구비하는 산업용 로보트는, 반송대상물이 수용되는 수용부 내에 반송대상물이 수용되었을 때에 수용부의 안쪽에 배치되는 반송대상물의 단부를 안측단으로 하고, 반송대상물이 수용부 내에 수용되었을 때에 수용부의 앞쪽에 배치되는 반송대상물의 단부를 앞측단으로 하며, 반송대상물이 수용부 내에 수용되어 있을 때의 반송대상물의 안측단의 중심과 앞측단의 중심을 통과하는 선을 기준선으로 하면, 수용부 내에 수용된 반송대상물을 핸드에 탑재 가능한 위치까지 암이 늘어나 있는 상태에서, 상하방향에서 보았을 때에, 제2 암부와 핸드와의 연결부에 배치되는 핸드의 회동중심 및 핸드의 선단부의 중심이 기준선상에 배치되어 있으며, 또한, 핸드의 회동중심과 핸드의 선단부의 중심을 잇는 핸드 중심선상에 선회기구에 의해서 선회하는 암 지지부재의 선회중심이 배치되어 있지 않으면, 핸드의 회동중심 및 핸드의 선단부의 중심이 기준선상에 배치된 상태를 유지하면서, 암 지지부재의 선회중심이 핸드 중심선상에 배치되도록, 산업용 로보트를 동작시키는 교시방법으로 교시되는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 제2 암부에 대해서 핸드를 자유롭게 상대회동시키는 것이 가능하면서도, 산업용 로보트의 교시작업을 용이하게 실시하는 것이 가능하게 된다.An industrial robot according to the present invention includes: an arm support member rotatably supporting a proximal end side of a first arm portion in an up-and-down direction in an axial direction of rotation; An industrial robot equipped with a mechanism is characterized in that an end portion of a conveying object disposed inside the accommodating portion when the conveying object is accommodated in the accommodating portion in which the conveying object is accommodated is defined as an inner side end and when the conveying object is accommodated in the accommodating portion, And a line passing through the center of the inside end of the carrying object and the center of the front end of the carrying object when the carrying object is accommodated in the accommodating portion is set as a reference line, In a state in which the arm is extended to a position where the object can be mounted on the hand, when viewed from the up and down direction, And an arm support member which is pivotally moved by a pivot mechanism on a hand center line connecting the pivot center of the hand and the center of the distal end of the hand, In which the center of rotation of the hand and the center of the distal end of the hand are arranged on the reference line while the turning center of the arm supporting member is arranged on the hand center line, It is preferable to teach it. With this configuration, it is possible to freely and relatively rotate the hand with respect to the second arm portion, and it is possible to easily carry out the teaching operation of the industrial robot.

본 발명의 산업용 로보트의 교시방법에서는, 수용부 내에 수용된 반송대상물을 핸드에 탑재 가능한 위치까지 암이 늘어나 있는 상태에서, 핸드를 회동시키면서, 반송대상물과 핸드와의 방향을 맞추는 것이 바람직하다. 이와 같이 구성하면, 선회기구 등을 이용하여 반송대상물과 핸드와의 방향을 맞추는 경우와 비교하여 반송대상물과 핸드와의 방향맞춤이 용이하게 된다.In the teaching method of an industrial robot of the present invention, it is preferable that the direction of the carrying object and the hand be aligned while rotating the hand while the arm extends to a position where the carrying object accommodated in the accommodating portion can be mounted on the hand. With this configuration, it is easy to align the carrying object with the hand in comparison with the case where the carrying object and the hand are aligned using a turning mechanism or the like.

이상과 같이, 본 발명의 산업용 로보트에서는, 반송대상물을 반출할 때의 핸드의 이동방향에 관계없이, 반입되는 반송대상물의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하는 것이 가능하게 된다.INDUSTRIAL APPLICABILITY As described above, in the industrial robot of the present invention, the inclination can be corrected while suppressing the positional shift of the carrying object to be carried, irrespective of the moving direction of the hand when carrying the carrying object.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 산업용 로보트의 평면도이다.
도 2는 도 1의 E-E방향에서 본 산업용 로보트를 나타내는 측면도이다.
도 3은 도 1에 나타낸 산업용 로보트의 제어부 및 제어부에 접속되는 각종 모터를 나타내는 블럭도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태에 관한 동력전달기구의 구성을 설명하기 위한 개략도이다.
도 5는 도 4의 F부의 확대도이다.
도 6은 도 1에 나타낸 산업용 로보트에 있어서의 기판의 기울기와 기판을 탑재할 때의 핸드와의 관계를 설명하기 위한 평면도이다.
도 7은 도 1에 나타낸 산업용 로보트의 교시방법을 설명하기 위한 평면도이다.
도 8은 도 1에 나타낸 산업용 로보트의 효과를 설명하기 위한 평면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시형태에 관한 동력전달기구의 구성을 설명하기 위한 개략도이다.
도 10은 도 9의 G부의 확대도이다.
도 11은 도 10에 나타낸 감속기 및 그 주변부의 구성을 설명하기 위한 개략도이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시형태에 관한 감속기 및 그 주변부의 구성을 설명하기 위한 개략도이다.
도 13은 본 발명의 다른 실시형태에 관한 산업용 로보트의 제어방법을 설명하기 위한 평면도이다.
1 is a plan view of an industrial robot according to an embodiment of the present invention.
2 is a side view showing an industrial robot seen in the direction of E-E in Fig.
3 is a block diagram showing various motors connected to the control unit and the control unit of the industrial robot shown in Fig.
4 is a schematic view for explaining a configuration of a power transmission mechanism according to an embodiment of the present invention.
5 is an enlarged view of the portion F in Fig.
Fig. 6 is a plan view for explaining the relationship between the inclination of the substrate in the industrial robot shown in Fig. 1 and the hand when mounting the substrate. Fig.
7 is a plan view for explaining the teaching method of the industrial robot shown in Fig.
8 is a plan view for explaining the effect of the industrial robot shown in Fig.
9 is a schematic view for explaining a configuration of a power transmitting mechanism according to another embodiment of the present invention.
10 is an enlarged view of a portion G in FIG.
Fig. 11 is a schematic view for explaining the configuration of the speed reducer shown in Fig. 10 and the peripheral portion thereof; Fig.
12 is a schematic view for explaining a configuration of a speed reducer and its peripheral portion according to another embodiment of the present invention.
13 is a plan view for explaining a control method of an industrial robot according to another embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시형태를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

(산업용 로보트의 개략 구성)(Outline of industrial robot)

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 산업용 로보트(1)의 평면도이다. 도 2는 도 1의 E-E방향에서 본 산업용 로보트(1)를 나타내는 측면도이다. 도 3은 도 1에 나타낸 산업용 로보트(1)의 제어부(20) 및 제어부(20)에 접속되는 각종 모터를 나타내는 블럭도이다. 또한, 이하의 설명에서는, 서로 직교하는 3방향의 각각을 X방향, Y방향 및 Z방향으로 한다. 본 실시형태에서는 Z방향이 상하방향과 일치한다. 또한. 이하의 설명에서는, X방향을 전후방향, Y방향을 좌우방향으로 한다.1 is a plan view of an industrial robot 1 according to an embodiment of the present invention. 2 is a side view showing the industrial robot 1 viewed in the direction of E-E in Fig. 3 is a block diagram showing various motors connected to the control unit 20 and the control unit 20 of the industrial robot 1 shown in Fig. In the following description, the three directions perpendicular to each other are X direction, Y direction and Z direction. In the present embodiment, the Z direction coincides with the vertical direction. Also. In the following description, the X direction is the forward and backward direction, and the Y direction is the left and right direction.

본 실시형태의 산업용 로보트(1)(이하, '로보트(1)'라고 한다)는, 반송대상물인 액정 디스플레이용의 유리기판(2)(이하, '기판(2)'이라고 한다.)을 반송하기 위한 반송용의 다관절형 로보트이다. 도 1, 도 2에 나타내는 바와 같이, 로보트(1)는, 기판(2)이 탑재되는 2개의 핸드(3)와, 2개의 핸드(3) 각각이 선단측에 연결되는 2개의 암(4)과, 2개의 암(4)을 지지하는 본체부(5)와, 본체부(5)를 수평방향(구체적으로는, 좌우방향)으로 이동가능하게 지지하는 베이스부재(6)를 구비하고 있다. 본체부(5)는, 2개의 암(4)의 기단측을 지지하는 암 지지부재(7)와, 암 지지부재(7)가 고정됨과 아울러 상하이동 가능한 승강부재(8)와, 승강부재(8)를 상하방향으로 이동가능하게 지지하는 기둥모양부재(9)와, 본체부(5)의 하단부분을 구성함과 아울러 베이스부재(6)에 대해서 수평이동가능한 기대(10)와, 기둥모양부재(9)의 하단이 고정됨과 아울러 기대(10)에 대해서 선회가능한 선회부재(11)를 구비하고 있다.The industrial robot 1 of the present embodiment (hereinafter referred to as robot 1) transports a glass substrate 2 (hereinafter, referred to as a substrate 2) for liquid crystal display And is a multi-joint type robot for transportation. 1 and 2, the robot 1 includes two hands 3 on which a substrate 2 is mounted, two arms 4 each having two hands 3 connected to the distal end, A body portion 5 for supporting the two arms 4 and a base member 6 for supporting the body portion 5 so as to be movable in a horizontal direction (specifically, left and right direction). The main body part 5 includes an arm supporting member 7 for supporting the base end sides of the two arms 4 and an elevating member 8 to which the arm supporting member 7 is fixed and which can be moved up and down, A base 10 capable of horizontally moving with respect to the base member 6 and constituting a lower end portion of the main body portion 5; And a swivel member (11) to which the lower end of the member (9) is fixed and which is pivotable with respect to the base (10).

본체부(5)는, 베이스부재(6)에 대해서 좌우방향으로 이동가능하게 되어 있으며, 로보트(1)는, 본체부(5)를 좌우방향으로 이동시키는 수평이동기구를 구비하고 있다. 이 수평이동기구는 본체부(5)를 좌우방향으로 이동시키기 위한 수평 구동용 모터(12)(도 3 참조)를 구비하고 있다. 승강부재(8)는, 기둥모양부재(9)에 대해서 상하방향으로 이동가능하게 되어 있으며, 로보트(1)는 승강부재(8)를 승강시키는 승강기구를 구비하고 있다. 이 승강기구는, 승강부재(8)를 승강시키기 위한 승강 구동용 모터(13)(도 3 참조)를 구비하고 있다. 선회부재(11)는, 기대(10)에 대해서 상하방향을 축방향으로 하여 선회가능하게 되어 있으며, 로보트(1)는 핸드(3), 암(4), 암 지지부재(7), 승강부재(8) 및 기둥모양부재(9)와 함께, 선회부재(11)를 선회시키는 선회기구를 구비하고 있다. 이 선회기구는, 선회부재(11)를 선회시키기 위한 선회 구동용 모터(14)(도 3 참조)를 구비하고 있다.The main body 5 is movable in the left and right directions with respect to the base member 6. The robot 1 is provided with a horizontal moving mechanism for moving the main body 5 in the left and right directions. This horizontal moving mechanism is provided with a horizontal driving motor 12 (see Fig. 3) for moving the main body 5 in the left-right direction. The elevating member 8 is movable up and down with respect to the columnar member 9 and the robot 1 is provided with an elevating mechanism for elevating the elevating member 8. The elevating mechanism is provided with a lifting and lowering driving motor 13 (see FIG. 3) for lifting the lifting and lowering member 8. The swiveling member 11 is capable of pivoting in the vertical direction with respect to the base 10 in the axial direction and the robot 1 is provided with the hand 3, the arm 4, the arm supporting member 7, And a pivoting mechanism for pivoting the pivoting member 11 together with the pivot member 8 and the columnar member 9. [ This swivel mechanism is provided with a swivel drive motor 14 (see Fig. 3) for swiveling the swivel member 11.

핸드(3)의 기단측은, 상하방향을 회동의 축방향으로 하여 암(4)의 선단측에 회동가능하게 연결되어 있다. 이 핸드(3)에는, 상술의 특허 문헌 1에 기재된 산업용 로보트와 마찬가지로, 기판(2)이 수용되는 수용부(예를 들면, 카셋트)에 수용된 기판(2)의 기울기(구체적으로는, 전후방향 등의 기판(2)의 반출방향에 대한 기판(2)의 기울기)를 검출하기 위한 센서(도시 생략)가 장착되어 있다.The proximal end side of the hand 3 is rotatably connected to the distal end side of the arm 4 with the up and down direction being the axial direction of rotation. The hand 3 is provided with an inclination of the substrate 2 accommodated in the accommodating portion (for example, a cassette) in which the substrate 2 is accommodated (specifically, the inclination of the substrate 2 in the forward and backward directions And a sensor (not shown) for detecting the inclination of the substrate 2 with respect to the carrying-out direction of the substrate 2, for example.

암(4)은 제1 암부(15)와 제2 암부(16)와의 2개의 암부를 구비하고 있으며, 본체부(5)에 대해서 신축하도록 구성되어 있다. 제1 암부(15)의 기단측은, 상하방향을 회동의 축방향으로 하여 암 지지부재(7)의 선단측에 회동가능하게 지지되어 있다. 제2 암부(16)의 기단측은, 상하방향을 회동의 축방향으로 하여 제1 암부(15)의 선단측에 회동가능하게 지지되어 있다. 제2 암부(16)의 선단측에는, 핸드(3)의 기단측이 회동가능하게 지지되어 있다. 제1 암부(15) 및 제2 암부(16)는, 중공형상으로 형성되어 있다.The arm 4 is provided with two arm portions, that is, a first arm portion 15 and a second arm portion 16, and is configured to expand and contract with respect to the main body portion 5. The proximal end side of the first arm portion 15 is rotatably supported on the distal end side of the arm supporting member 7 with the up and down direction being the axial direction of rotation. The base end side of the second arm portion 16 is rotatably supported on the tip end side of the first arm portion 15 with the up and down direction being the axial direction of rotation. The proximal end side of the hand 3 is rotatably supported on the distal end side of the second arm 16. The first arm portion 15 and the second arm portion 16 are formed in a hollow shape.

암 지지부재(7)의 기단측은, 승강부재(8)에 고정되어 있다. 본 실시형태에서는, 2개의 핸드(3), 2개의 암(4) 및 2개의 암 지지부재(7)가 상하방향으로 겹쳐지도록 배치되어 있다. 즉, 본 실시형태의 로보트(1)는, 더블 암형의 로보트이다.The proximal end side of the arm support member 7 is fixed to the elevation member 8. In the present embodiment, two hands 3, two arms 4, and two arm support members 7 are arranged so as to overlap each other in the vertical direction. That is, the robot 1 of the present embodiment is a double-arm type robot.

로보트(1)에서는, 기둥모양부재(9)에 대해서 승강부재(8)가 핸드(3) 및 암(4) 등과 함께 상하이동한다. 또한, 본체부(5)에 대해서 암(4)이 신축한다. 구체적으로는, 핸드(3)가 소정 방향을 향한 상태에서 직선모양으로 움직이도록 암(4)이 신축한다. 게다가 베이스부재(6)에 대해서 기대(10)가 수평이동한다. 또한, 기대(10)에 대해서 선회부재(11)가 선회한다. 이들 동작의 조합에 의해서, 로보트(1)는, 기판(2)이 수용되는 수용부로부터 기판(2)에 소정의 작업이 행하여지는 작업위치로 기판(2)을 반송한다. 본 실시형태에서는, 암(4)이 늘어나면 수용부 안으로 핸드(3)가 들어가고, 암(4)이 줄어들면 핸드(3)에 탑재된 기판(2)이 수용부로부터 반출된다.In the robot 1, the elevation member 8 moves up and down together with the hand 3, the arm 4, and the like with respect to the columnar member 9. Further, the arm 4 expands and contracts with respect to the main body portion 5. [ More specifically, the arm 4 expands and contracts so that the hand 3 moves in a straight line with the hand 3 facing a predetermined direction. Furthermore, the base 10 moves horizontally with respect to the base member 6. [ Further, the turning member 11 is pivoted relative to the base 10. By the combination of these operations, the robot 1 carries the substrate 2 to the working position where the predetermined operation is performed on the substrate 2 from the accommodating portion in which the substrate 2 is accommodated. In the present embodiment, when the arm 4 is extended, the hand 3 enters the receiving portion, and when the arm 4 is shrunk, the board 2 mounted on the hand 3 is carried out of the receiving portion.

본 실시형태의 로보트(1)는, 도 3, 도 4에 나타내는 바와 같이, 암(4)을 신축시키기 위한 제1 구동용 모터(21)와, 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 상대회동시키기 위한 제2 구동용 모터(22)와, 제1 구동용 모터(21) 및 제2 구동용 모터(22)의 동력을 전달하기 위한 동력전달기구(23)를 구비하고 있다. 제1 구동용 모터(21) 및 제2 구동용 모터(22)는, 도 3에 나타내는 바와 같이, 로보트(1)를 제어하는 제어부(20)에 접속되어 있다. 또한, 수평 구동용 모터(12), 승강 구동용 모터(13) 및 선회 구동용 모터(14)도 제어부(20)에 접속되어 있다.3 and 4, the robot 1 according to the present embodiment includes a first driving motor 21 for extending and contracting the arm 4 and a second driving motor 21 for moving the hand 3 relative to the second arm 16. [ And a power transmission mechanism 23 for transmitting the power of the first drive motor 21 and the second drive motor 22. The first drive motor 21 and the second drive motor 22 are connected to each other by a second drive motor 22, The first drive motor 21 and the second drive motor 22 are connected to a control unit 20 for controlling the robot 1 as shown in Fig. The horizontal drive motor 12, the elevation drive motor 13 and the swivel drive motor 14 are also connected to the control unit 20. [

(동력전달기구 및 그 주변부의 구성)(Configuration of the power transmission mechanism and the peripheral portion thereof)

도 4는, 본 발명의 실시형태에 관한 동력전달기구(23)의 구성을 설명하기 위한 개략도이다. 도 5는 도 4의 F부의 확대도이다.4 is a schematic view for explaining the configuration of the power transmission mechanism 23 according to the embodiment of the present invention. 5 is an enlarged view of the portion F in Fig.

제1 구동용 모터(21)는, 제1 암부(15)에 장착되어 있다. 구체적으로는, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)와의 연결부에 비교적 가까운 위치에서, 제1 구동용 모터(21)는 제1 암부(15)에 장착되어 있다. 제1 구동용 모터(21)의 회전축에는 풀리(24)가 고정되어 있다.The first driving motor 21 is mounted on the first arm 15. Specifically, the first driving motor 21 is attached to the first arm 15 at a position relatively close to the connecting portion between the first arm 15 and the second arm 16. A pulley 24 is fixed to the rotating shaft of the first driving motor 21. [

제2 구동용 모터(22)도, 제1 암부(15)에 장착되어 있다. 구체적으로는, 제1 구동용 모터(21)보다 제1 암부(15)와 제2 암부(16)와의 연결부에 가까운 위치에서, 제2 구동용 모터(22)는 제1 암부(15)에 장착되어 있다. 이 제2 구동용 모터(22)는, 브레이크가 부착된 모터이다. 즉, 제2 구동용 모터(22)는, 그 회전축을 정지시키는 브레이크를 구비하고 있다. 제2 구동용 모터(22)의 회전축에는 풀리(25)가 고정되어 있다.The second driving motor 22 is also mounted on the first arm 15. More specifically, the second driving motor 22 is attached to the first arm 15 at a position closer to the connecting portion between the first arm 15 and the second arm 16 than the first driving motor 21 . The second drive motor 22 is a motor having a brake. That is, the second drive motor 22 has a brake for stopping the rotation shaft. A pulley 25 is fixed to the rotating shaft of the second driving motor 22. [

동력전달기구(23)는, 암 지지부재(7)와 제1 암부(15)와의 연결부에 배치되며 제1 구동용 모터(21)에 연결되는 제1 감속기로서의 감속기(26)와, 제1 암부(15)와 제2 암부(16)와의 연결부에 배치되며 제1 구동용 모터(21)에 연결되는 제2 감속기로서의 감속기(27)와, 제2 구동용 모터(22)에 연결되는 제3 감속기로서의 감속기(28)를 구비하고 있다.The power transmission mechanism 23 includes a speed reducer 26 as a first reducer disposed at a connection portion between the arm support member 7 and the first arm 15 and connected to the first drive motor 21, A speed reducer 27 as a second speed reducer disposed at a connection portion between the first driving motor 15 and the second arm portion 16 and connected to the first driving motor 21, And a speed reducer 28 as shown in Fig.

감속기(26)는, 입력부(30)와, 출력부(31)와, 출력부(31)를 회전가능하게 유지하는 고정용 플랜지(32)를 구비하고 있다. 고정용 플랜지(32)는, 제1 암부(15)의 기단측에 고정되어 있다. 출력부(31)는, 고정용 플랜지(32)를 통하여 제1 암부(15)의 기단측에 회동가능하게 유지되어 있다. 또한, 출력부(31)는, 암 지지부재(7)의 선단측에 고정되어 있다. 입력부(30)는, 통모양으로 형성되는 출력부(31)의 내주(內周)측에 회전가능하게 유지되어 있다. 입력부(30)의 일단(도 4에 나타내는 예에서는 상단)에는, 풀리(33)가 고정되어 있다. 풀리(33)는, 제1 암부(15)의 기단측의 내부에 배치되어 있다. 제1 구동용 모터(21)의 회전축에 고정되는 풀리(24)와 풀리(33)에는 벨트(34)가 걸쳐져 있다. 벨트(34) 및 풀리(33) 등을 통하여 입력부(30)에 전달되는 제1 구동용 모터(21)의 동력은, 감속되어 출력부(31)에 전달된다. 또한, 풀리(33)는 입력부(30)와 일체로 형성되어도 좋다.The speed reducer 26 is provided with an input section 30, an output section 31 and a fixing flange 32 for rotatably holding the output section 31. The fixing flange 32 is fixed to the base end side of the first arm portion 15. The output section 31 is rotatably held on the base end side of the first arm section 15 through the fixing flange 32. [ Further, the output section 31 is fixed to the tip end side of the arm support member 7. The input section 30 is rotatably held on the inner circumferential side of the output section 31 formed in a tubular shape. A pulley 33 is fixed to one end of the input section 30 (upper end in the example shown in Fig. 4). The pulley 33 is disposed inside the base end side of the first arm portion 15. A belt 34 is wound around the pulley 24 and the pulley 33 fixed to the rotating shaft of the first driving motor 21. [ The power of the first drive motor 21 transmitted to the input unit 30 through the belt 34 and the pulley 33 is reduced and transmitted to the output unit 31. [ In addition, the pulley 33 may be integrally formed with the input section 30. [

감속기(27)는, 입력부(35)와, 출력부(36)와, 출력부(36)를 회전가능하게 유지하는 고정용 플랜지(37)를 구비하고 있다. 고정용 플랜지(37)는, 제1 암부(15)의 선단측에 고정되어 있다. 도 4, 도 5에 나타내는 예에서는, 고정용 플랜지(37)는, 제1 암부(15)의 선단측의 상면측에 고정되어 있다. 출력부(36)는, 고정용 플랜지(37)를 통하여, 제1 암부(15)의 선단측에 회동가능하게 유지되어 있다. 또한, 출력부(36)는, 제2 암부(16)의 기단측에 고정되어 있다. 입력부(35)는, 통모양으로 형성되는 출력부(36)의 내주측에 회전가능하게 유지되어 있다. 입력부(35)의 일단에는, 풀리(38)가 고정되어 있다. 풀리(38)는, 제1 암부(15)의 선단측의 내부에 배치되어 있다. 제1 구동용 모터(21)의 회전축에 고정되는 풀리(24)와 풀리(38)에는, 벨트(39)가 걸쳐져 있다. 벨트(39) 및 풀리(38) 등을 통하여 입력부(35)에 전달되는 제1 구동용 모터(21)의 동력은, 감속되어 출력부(36)에 전달된다. 또한, 풀리(38)는, 입력부(35)와 일체로 형성되어도 좋다.The speed reducer 27 is provided with an input section 35, an output section 36 and a fixing flange 37 for rotatably holding the output section 36. The fixing flange 37 is fixed to the tip end side of the first arm portion 15. In the example shown in Figs. 4 and 5, the fixing flange 37 is fixed to the upper surface side of the tip end side of the first arm portion 15. The output section 36 is rotatably held on the tip end side of the first arm section 15 via the fixing flange 37. [ The output section 36 is fixed to the base end side of the second arm section 16. The input section 35 is rotatably held on the inner circumferential side of the output section 36 formed in a tubular shape. At one end of the input section 35, a pulley 38 is fixed. The pulley 38 is disposed inside the tip end side of the first arm portion 15. A belt 39 is wound around the pulley 24 and the pulley 38 fixed to the rotating shaft of the first driving motor 21. [ The power of the first drive motor 21 that is transmitted to the input unit 35 through the belt 39 and the pulleys 38 is decelerated and transmitted to the output unit 36. [ In addition, the pulley 38 may be integrally formed with the input section 35.

감속기(28)는, 입력부(40)와, 출력부(41)와, 출력부(41)를 회전가능하게 유지하는 고정용 플랜지(42)를 구비하고 있다. 고정용 플랜지(42)는, 제1 암부(15)의 선단측에 고정되어 있다. 도 4, 도 5에 나타내는 예에서는, 고정용 플랜지(42)는, 제1 암부(15)의 선단측의 하면측에 고정되어 있다. 출력부(41)는, 고정용 플랜지(42)를 통하여, 제1 암부(15)의 선단측에 회동가능하게 유지되어 있다. 출력부(41)의 일단(도 4, 도 5에 나타내는 예에서는 상단)에는, 제1 풀리로서의 풀리(43)가 고정되어 있다. 풀리(43)는, 제2 암부(16)의 기단측의 내부에 배치되어 있다. 또한, 출력부(41)는, 통모양으로 형성되는 감속기(27)의 입력부(35)의 내주측을 통과하도록 배치되어 있다. 입력부(40)는, 출력부(41)의 타단측에 회전가능하게 유지되어 있다. 입력부(40)에는, 풀리(44)가 고정되어 있다. 제2 구동용 모터(22)의 회전축에 고정되는 풀리(25)와 풀리(44)에는, 벨트(45)가 걸쳐져 있다. 벨트(45) 및 풀리(44) 등을 통하여 입력부(40)에 전달되는 제2 구동용 모터(22)의 동력은, 감속되어 출력부(41)에 전달된다. 또한, 풀리(44)는, 입력부(40)와 일체로 형성되어도 좋다.The speed reducer 28 is provided with an input section 40, an output section 41 and a fixing flange 42 for rotatably holding the output section 41. The fixing flange 42 is fixed to the tip end side of the first arm portion 15. In the example shown in Figs. 4 and 5, the fixing flange 42 is fixed to the bottom surface side of the tip end side of the first arm portion 15. The output section 41 is rotatably held on the distal end side of the first arm section 15 via the fixing flange 42. [ A pulley 43 as a first pulley is fixed to one end of the output section 41 (upper end in the example shown in Figs. 4 and 5). The pulley 43 is disposed inside the base end side of the second arm portion 16. The output section 41 is disposed so as to pass through the inner peripheral side of the input section 35 of the speed reducer 27 formed in a tubular shape. The input section 40 is rotatably held on the other end side of the output section 41. A pulley 44 is fixed to the input unit 40. [ A belt 45 is wound around the pulley 25 and the pulley 44 fixed to the rotating shaft of the second driving motor 22. [ The power of the second drive motor 22 transmitted to the input unit 40 through the belt 45 and the pulley 44 is decelerated and transmitted to the output unit 41. [ In addition, the pulley 44 may be integrally formed with the input section 40.

제2 암부(16)의 선단측의 내부에는, 제2 풀리로서의 풀리(46)가 배치되어 있다. 즉, 제2 암부(16)와 핸드(3)와의 연결부에는, 풀리(46)가 배치되어 있다. 풀리(46)는, 핸드(3)의 기단측에 고정되어 있다. 풀리(43)와 풀리(46)에는, 벨트(47)가 걸쳐져 있다.A pulley 46 as a second pulley is disposed inside the tip end side of the second arm portion 16. That is, the pulley 46 is disposed at the connection portion between the second arm 16 and the hand 3. The pulley 46 is fixed to the base end side of the hand 3. A belt 47 is provided on the pulley 43 and the pulley 46.

본 실시형태에서는, 제1 구동용 모터(21)가 구동하면, 암(4)이 신축한다. 또한, 본 실시형태에서는, 제1 구동용 모터(21)의 동력에 의해서, 핸드(3)가 소정 방향을 향한 상태에서 직선모양으로 움직이도록, 제1 암부(15)의 길이, 제2 암부(16)의 길이, 감속기(26, 27)의 감속비 및 풀리(24, 33, 38, 43, 46)의 지름이 설정되어 있다. 예를 들면, 제1 구동용 모터(21)의 동력에 의해서, 핸드(3)가 전후방향을 향한 상태에서 전후방향으로 직선모양으로 움직이도록, 혹은, 핸드(3)가 좌우방향을 향한 상태에서 좌우방향으로 직선모양으로 움직이도록, 제1 암부(15)의 길이, 제2 암부(16)의 길이, 감속기(26, 27)의 감속비 및 풀리(24, 33, 38, 43, 46)의 지름이 설정되어 있다.In the present embodiment, when the first drive motor 21 is driven, the arm 4 expands and contracts. In the present embodiment, the length of the first arm portion 15 and the length of the second arm portion 15 are set such that the hand 3 moves in a straight line with the hand 3 oriented in a predetermined direction by the power of the first drive motor 21. [ 16, the reduction ratio of the speed reducers 26, 27, and the diameter of the pulleys 24, 33, 38, 43, 46 are set. For example, the power of the first driving motor 21 causes the hand 3 to move linearly in the forward and backward directions with the front and rear direction facing, or with the hand 3 in the left and right directions The length of the first arm 15, the length of the second arm 16, the speed reduction ratio of the speed reducers 26 and 27 and the diameter of the pulleys 24, 33, 38, 43 and 46 are set so as to move linearly in the left- Is set.

또한, 본 실시형태에서는, 제2 구동용 모터(22)가 구동하면, 제1 구동용 모터(21)가 정지하고 있어도, 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)가 상대회동한다.In this embodiment, when the second driving motor 22 is driven, the hand 3 relatively rotates with respect to the second arm 16 even if the first driving motor 21 is stopped.

(산업용 로보트의 제어방법)(Control method of industrial robot)

도 6은, 도 1에 나타낸 산업용 로보트(1)에 있어서의 기판(2)의 기울기와 기판(2)을 탑재할 때의 핸드(3)와의 관계를 설명하기 위한 평면도이다.Fig. 6 is a plan view for explaining the relationship between the inclination of the substrate 2 in the industrial robot 1 shown in Fig. 1 and the hand 3 when the substrate 2 is mounted.

이상과 같이 구성된 로보트(1)에서는, 수용부에 수용된 기판(2)을 반출할 때에, 제어부(20)는, 먼저, 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜 암(4)을 신축시키고, 핸드(3)에 설치된 센서에 의해서, 기판(2)의 반출방향에 대한 기판(2)의 기울기를 검출한다. 이때, 제2 구동용 모터(22)에는, 브레이크가 걸려져 있으며, 제2 구동용 모터(22)의 회전축은 정지하고 있다.In the robot 1 structured as described above, when the substrate 2 accommodated in the accommodating portion is taken out, the control unit 20 first drives the first driving motor 21 to expand and contract the arm 4, The inclination of the substrate 2 with respect to the carrying-out direction of the substrate 2 is detected by the sensor provided on the hand 3. At this time, a brake is applied to the second drive motor 22, and the rotation axis of the second drive motor 22 is stopped.

이 기판(2)의 기울기 검출동작으로, 기판(2)의 기울기가 검출되지 않으면(혹은, 기판(2)의 기울기가 규정치 이하이면), 제어부(20)는, 다시, 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜 암(4)을 신축시켜서, 수용부로부터 기판(2)을 반출하고, 반출한 기판(2)을 소정의 작업위치로 반입한다. 암(4)이 신축할 때에는, 핸드(3)는 전후방향을 향한 상태에서 전후방향으로 직선모양으로 움직이거나, 혹은, 좌우방향을 향한 상태에서 좌우방향으로 직선모양으로 움직인다. 또한, 이때, 수용부에서 기판(2)을 탑재할 때의 핸드(3)의 상태는, 도 6의 2점쇄선으로 나타내는 상태가 된다. 즉, 이때에는, 핸드(3)는, 기판(2)의 반출방향과 대략 평행이 되어 있다. 또한, 이때, 제2 구동용 모터(22)에는, 브레이크가 걸려져 있으며, 제2 구동용 모터(22)의 회전축은 정지하고 있다.If the tilt of the substrate 2 is not detected by the tilt detection operation of the substrate 2 (or if the tilt of the substrate 2 is less than the specified value), the control unit 20 controls the first driving motor 21 are driven to extend and contract the arm 4 to carry the substrate 2 out of the accommodating portion and carry the carried-out substrate 2 to a predetermined working position. When the arm 4 expands and contracts, the hand 3 moves linearly in the front-rear direction in the front-rear direction or linearly in the left-right direction in the lateral direction. At this time, the state of the hand 3 at the time of mounting the board 2 in the accommodating portion becomes a state shown by the two-dot chain line in Fig. That is, at this time, the hand 3 is substantially parallel to the carrying-out direction of the substrate 2. [ At this time, a brake is applied to the second drive motor 22, and the rotation axis of the second drive motor 22 is stopped.

한편, 기판(2)의 기울기 검출동작으로, 기판(2)의 기울기가 검출되면(혹은, 검출된 기판(2)의 기울기가 규정치를 넘고 있으면), 기판(2)의 반출방향에 대략 직교하는 방향에서의 기판(2)의 위치 어긋남을 억제하면서 기판(2)의 기울기를 보정하기 위해, 제어부(20)는 제2 구동용 모터(22)를 구동시켜 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 소정량 회동시킴과 아울러, 선회 구동용 모터(14)를 구동시켜 기대(10)에 대해서 선회부재(11)를 소정량 회동시킨다.On the other hand, when the inclination of the substrate 2 is detected (or the inclination of the detected substrate 2 exceeds the specified value) by the inclination detecting operation of the substrate 2, The control unit 20 drives the second driving motor 22 to move the second arm 16 in the direction of the hand 2 in order to correct the inclination of the substrate 2 while suppressing the positional deviation of the substrate 2 in the direction 3 by a predetermined amount and drives the swing drive motor 14 to rotate the swing member 11 by a predetermined amount with respect to the base 10. [

이 동작은, 암(4)이 줄어든 상태에서 행하여도 좋고, 암(4)이 늘어난 상태에서 행하여도 좋다. 암(4)이 줄어든 상태에서 이 동작을 행하는 경우에는, 이 동작을 행한 후, 제어부(20)는 브레이크를 걸어 제2 구동용 모터(22)를 정지시킴과 아울러 선회 구동용 모터(14)를 정지시킨 상태에서 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜암(4)을 늘리고, 그 후, 승강 구동용 모터(13)를 구동시켜 수용부 내에서 핸드(3)에 기판(2)을 탑재한다. 이때, 수용부에서 기판(2)을 탑재할 때의 핸드(3)의 상태는, 도 6의 실선으로 나타내는 상태가 된다. 즉, 이때에는, 핸드(3)는 기판(2)의 반출방향에 대해서 기판(2)의 기울기와 동일한 정도 기울어져 있다.This operation may be performed in a state in which the arm 4 is reduced, or in a state in which the arm 4 is stretched. In the case where this operation is performed in a state in which the arm 4 is reduced, after this operation is performed, the control section 20 applies a brake to stop the second drive motor 22 and drives the swing drive motor 14 The first driving motor 21 is driven to increase the arm 4 and then the elevation driving motor 13 is driven to mount the substrate 2 on the hand 3 in the accommodating portion do. At this time, the state of the hand 3 at the time of mounting the board 2 in the accommodating portion becomes the state shown by the solid line in Fig. That is, at this time, the hand 3 is inclined to the same direction as the inclination of the substrate 2 with respect to the carrying-out direction of the substrate 2.

또한, 기판(2)의 기울기를 보정하기 위해, 핸드(3)를 소정량 회동시킴과 아울러 선회부재(11)를 소정량 회동시키는 동작을 암(4)이 늘어난 상태에서 행하는 경우에는, 제어부(20)는 제2 구동용 모터(22) 및 선회 구동용 모터(14)를 정지시킨 상태에서 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜 암(4)을 늘리고, 그 후, 제2 구동용 모터(22)를 구동시켜 핸드(3)를 소정량 회동시킴과 아울러, 선회 구동용 모터(14)를 구동시켜 선회부재(11)를 소정량 회동시키고 나서, 승강 구동용 모터(13)를 구동시켜 수용부 내에서 핸드(3)에 기판(2)을 탑재한다. 이때, 수용부에서 기판(2)을 탑재할 때의 핸드(3)의 상태는, 도 6의 실선으로 나타내는 상태가 된다.In the case where the arm 3 is rotated a predetermined amount and the rotating member 11 is rotated a predetermined amount in a state in which the arm 4 is stretched in order to correct the inclination of the substrate 2, 20 extend the arm 4 by driving the first drive motor 21 in a state in which the second drive motor 22 and the swivel drive motor 14 are stopped, The motor 3 is driven to rotate the hand 3 by a predetermined amount and the swivel drive motor 14 is driven to rotate the swivel member 11 by a predetermined amount and then the elevation drive motor 13 is driven The board 2 is mounted on the hand 3 in the accommodating portion. At this time, the state of the hand 3 at the time of mounting the board 2 in the accommodating portion becomes the state shown by the solid line in Fig.

수용부 내에서 핸드(3)에 기판(2)을 탑재하면, 제어부(20)는 제2 구동용 모터(22)를 구동시켜 조금 전의 회동방향과 역방향으로 핸드(3)를 소정량 회동시킴과 아울러, 선회 구동용 모터(14)를 구동시켜 조금 전의 회동방향과 역방향으로 선회부재(11)를 소정량 회동시킨다. 그러면, 수용부에서 기판(2)이 탑재된 핸드(3)의 상태는, 도 6의 2점쇄선으로 나타내는 상태가 되며, 수용부에 수용된 기판(2)의 기울기는 기판(2)의 반출방향에 직교하는 방향에 있어서의 기판(2)의 위치 어긋남이 억제된 상태에서 보정된다.The control unit 20 drives the second driving motor 22 to rotate the hand 3 by a predetermined amount in a direction opposite to the rotating direction of the hand 3 In addition, the swing drive motor 14 is driven to rotate the swing member 11 by a predetermined amount in the direction opposite to the rotation direction of the swing arm. The state of the hand 3 on which the substrate 2 is mounted in the receiving portion becomes the state shown by the two-dot chain line in Fig. 6, and the inclination of the substrate 2 housed in the receiving portion is the direction The positional deviation of the substrate 2 in the direction orthogonal to the substrate 2 is suppressed.

그 후, 제어부(20)는, 제2 구동용 모터(22) 및 선회 구동용 모터(14)를 정지시킨 상태에서, 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜 핸드(3)를 줄여서 수용부로부터 기판(2)을 반출한다. 암(4)이 줄어들 때에는, 핸드(3)는, 전후방향을 향한 상태에서 전후방향으로 직선모양으로 움직이거나, 혹은, 좌우방향을 향한 상태에서 좌우방향으로 직선모양으로 움직인다. 또한, 그 후, 제어부(20)는, 선회 구동용 모터(14) 등을 구동시켜 로보트(1)에 소정의 동작을 행하게 한 후에, 제2 구동용 모터(22) 및 선회 구동용 모터(14)를 정지시킨 상태에서, 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜 암(4)을 신축시켜서, 기판(2)을 작업위치로 반입한다. 이때에는, 핸드(3)는, 전후방향을 향한 상태에서 전후방향으로 직선모양으로 움직이거나, 혹은, 좌우방향을 향한 상태에서 좌우방향으로 직선모양으로 움직인다.The control unit 20 drives the first drive motor 21 while the second drive motor 22 and the swivel drive motor 14 are stopped to shorten the hand 3, The substrate 2 is removed. When the arm 4 is reduced, the hand 3 moves linearly in the front-rear direction in the front-rear direction or linearly in the left-right direction in the left-right direction. The control unit 20 then drives the swivel drive motor 14 and the like to perform a predetermined operation on the robot 1 and then drives the second drive motor 22 and the swivel drive motor 14 The first driving motor 21 is driven to extend and contract the arm 4 to bring the substrate 2 into the working position. At this time, the hand 3 moves linearly in the front-rear direction in the front-rear direction, or linearly in the left-right direction in the left-right direction.

또한, 기판(2)의 기울기 검출동작에 의해서, 기판(2)의 기울기가 검출되었을 경우에, 기판(2)의 기울기에 따라 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 소정량 회동시킴과 아울러 기대(10)에 대해서 선회부재(11)를 소정량 회동시킨 상태인 채로, 수용부로부터 기판(2)을 반출하고, 그 후, 핸드(3)를 역방향으로 소정량 회동시킴과 아울러 선회부재(11)를 역방향으로 소정량 회동시키고 나서, 기판(2)을 작업위치로 반입해도 좋다. 이 경우에는, 수용부에 수용된 기판(2)의 기울기는, 기판(2)의 반출방향에 직교하는 방향에 있어서의 기판(2)의 위치 어긋남이 억제된 상태에서 작업위치로 반입될 때에 보정된다. 또한, 기판(2)의 기울기 검출동작에 의해서, 기판(2)의 기울기가 검출되었을 경우에, 기판(2)의 기울기에 따라 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 소정량 회동시킴과 아울러, 기대(10)에 대해서 선회부재(11)를 소정량 회동시키면서, 암(4)을 신축시키는 것도 가능하다.When the inclination of the substrate 2 is detected by the inclination detecting operation of the substrate 2, the hand 3 is rotated a predetermined amount with respect to the second arm 16 in accordance with the inclination of the substrate 2 The substrate 2 is taken out from the accommodating portion while the swivel member 11 is rotated by a predetermined amount with respect to the base 10 and thereafter the hand 3 is rotated in a predetermined amount in the reverse direction, The substrate 2 may be brought into the working position after the member 11 is rotated by a predetermined amount in the reverse direction. In this case, the inclination of the substrate 2 housed in the accommodating portion is corrected when the substrate 2 is brought into the working position in a state where the positional deviation of the substrate 2 in the direction orthogonal to the carrying-out direction of the substrate 2 is suppressed . When the inclination of the substrate 2 is detected by the inclination detecting operation of the substrate 2, the hand 3 is rotated a predetermined amount with respect to the second arm 16 in accordance with the inclination of the substrate 2 It is also possible to extend and contract the arm 4 while rotating the turning member 11 by a predetermined amount with respect to the base 10. [

(산업용 로보트의 교시방법)(Teaching method of industrial robot)

도 7은, 도 1에 나타내는 산업용 로보트(1)의 교시방법을 설명하기 위한 평면도이다. 이하에서는, 전후방향(X방향)으로 핸드(3)가 직선모양으로 움직여 기판(2)을 반송하는 경우의 수용부 내에서의(즉, 암(4)이 늘어나 있는 상태에서의) 로보트(1)의 교시방법을 설명한다. 로보트(1)의 교시는, 제어부(20)에 접속되는 교시조작단말(티칭 팬던트(teaching pendant))을 이용하여 오퍼레이터가 행한다.Fig. 7 is a plan view for explaining the teaching method of the industrial robot 1 shown in Fig. 1. Fig. The robot 1 (in the state in which the arm 4 is stretched) in the accommodating portion when the hand 3 is linearly moved in the forward and backward directions (X direction) ) Will be described. The teaching of the robot 1 is performed by the operator using a teaching operation terminal (teaching pendant) connected to the control unit 20. [

또한, 기판(2)은, 장방형의 판 모양으로 형성되어 있으며, 이하의 설명에서는, 기판(2)이 수용부에 수용되었을 때에 수용부의 안쪽에 배치되는 기판(2)의 단부를 안측단(2a)으로 하고, 기판(2)이 수용부에 수용되었을 때에 수용부의 앞쪽에 배치되는 기판(2)의 단부를 앞측단(2b)으로 한다. 또한, 기판(2)이 수용부 내에 수용되어 있을 때의 안측단(2a)의 중심(C10)과 앞측단(2b)의 중심(C20)을 통과하는 선을 기준선(LB)으로 한다. 로보트(1)의 교시작업시에 있어서는, 기판(2)은, 전후방향에 대해서 기울어져 있지 않은 상태에서 수용부에 수용되어 있으며, 기준선(LB)은 전후방향과 대략 평행으로 되어 있다.The substrate 2 is formed in the shape of a rectangular plate and the end portion of the substrate 2 disposed inside the accommodating portion when the substrate 2 is accommodated in the accommodating portion is referred to as an inner side end 2a And the end portion of the substrate 2 disposed at the front of the accommodating portion when the substrate 2 is accommodated in the accommodating portion is referred to as a front side end 2b. A line passing through the center C10 of the inner side end 2a and the center C20 of the front side end 2b when the substrate 2 is accommodated in the accommodating portion is referred to as a reference line LB. At the time of teaching the robot 1, the substrate 2 is accommodated in the accommodating portion in a state in which it is not tilted with respect to the longitudinal direction, and the reference line LB is substantially parallel to the longitudinal direction.

전후방향을 향한 상태의 핸드(3)가 전후방향으로 직선모양으로 움직여 기판(2)을 반송하는 경우의 수용부 내에서의 로보트(1)의 교시를 행할 때에는, 먼저, 도 7의 (A)에 나타내는 바와 같이, 수용부 내에 수용된 기판(2)을 핸드(3)에 탑재 가능한 위치까지, 암(4)을 늘려 핸드(3)를 수용부 내에 넣는다. 그 후, 상하방향에서 보았을 때에, 제2 암부(16)와 핸드(3)와의 연결부에 배치되는 핸드(3)의 회동중심(C1)과 핸드(3)의 선단부의 중심(보다 구체적으로는, 핸드 포크가 늘어나 있는 방향에 직교하는 방향에 있어서의 핸드(3)의 선단부의 중심)(C2)를 잇는 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 대략 평행이 되도록(즉, 핸드 중심선(LH)이 전후방향과 대략 평행이 되도록), 제2 구동용 모터(22)를 구동시켜 핸드(3)를 회동시킨다. 즉, 핸드(3)를 회동시키면서, 기판(2)과 핸드(3)와의 방향을 맞춘다.When teaching the robot 1 in the accommodating portion in the case where the hand 3 in the front-back direction is moved linearly in the front-rear direction to carry the substrate 2, first, as shown in Fig. 7 (A) The arm 4 is inserted into the receiving portion by extending the arm 4 to a position where the board 2 housed in the receiving portion can be mounted on the hand 3 as shown in Fig. Thereafter, the center of rotation (C1) of the hand 3 disposed at the connecting portion between the second arm 16 and the hand 3 and the center of the distal end of the hand 3 (more concretely, The hand center line LH connecting the center of the front end of the hand 3 in the direction orthogonal to the direction in which the hand fork extends is substantially parallel to the reference line LB And the second driving motor 22 is driven to rotate the hand 3. That is, the direction of the substrate 2 and the hand 3 are aligned while the hand 3 is rotated.

그 후, 도 7의 (B), (C)에 나타내는 바와 같이, 상하방향에서 보았을 때에, 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 대략 평행이 되어 있는 상태를 유지하면서, 좌우방향에 있어서의 기판(2)의 일단면과 핸드(3)의 일단과의 거리(L1)와, 좌우방향에 있어서의 기판(2)의 타단면과 핸드(3)의 타단과의 거리(L2)가 동일해지도록(즉, 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 겹치도록), 수평 구동용 모터(12), 선회 구동용 모터(14) 및/또는 제1 구동용 모터(21)를 구동시키고, 좌우방향으로 핸드(3)를 이동시킨다. 또한, 전후방향에 있어서의 기판(2)과 핸드(3)와의 상대위치가 소정 위치가 되도록, 전후방향으로 핸드(3)를 이동시킨다. 즉, 상하방향에서 보았을 때에, 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 겹치도록 조그(jog) 동작을 행하여, 기판(2)과 핸드(3)와의 위치 맞춤을 행한다.Thereafter, as shown in Figs. 7 (B) and 7 (C), when viewed in the up-and-down direction, the hand central line LH is maintained substantially parallel to the reference line LB, The distance L1 between one end surface of the substrate 2 and one end of the hand 3 and the distance L2 between the other end surface of the substrate 2 in the left and right direction and the other end of the hand 3 are equal (I.e., the hand center line LH overlaps with the reference line LB), and drives the horizontal drive motor 12, the swivel drive motor 14, and / or the first drive motor 21, And moves the hand 3 in the direction of the arrow. Further, the hand 3 is moved in the front-rear direction so that the relative position between the board 2 and the hand 3 in the front-rear direction becomes a predetermined position. That is, when viewed in the vertical direction, a jog operation is performed so that the hand center line LH overlaps with the reference line LB, thereby aligning the substrate 2 and the hand 3.

이때, 도 7의 (B)에 나타내는 바와 같이, 선회기구에 의해서 선회하는 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되어 있지 않은 상황과, 도 7의 (C)에 나타내는 바와 같이, 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되어 있는 상황이 생길 수 있다. 본 실시형태에서는, 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되어 있는 경우에는, 수용부 내에서의 로보트(1)의 교시작업을 종료한다.7 (B), the turning center C3 of the turning member 11 pivoted by the turning mechanism is not disposed on the hand center line LH, and Fig. 7 There may be a situation where the turning center C3 of the turning member 11 is disposed on the hand center line LH as shown in Fig. In the present embodiment, when the turning center C3 of the revolving member 11 is disposed on the hand center line LH, the teaching operation of the robot 1 in the receiving portion is terminated.

한편, 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되어 있지 않은 경우에는, 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 겹쳐져 있는 상태를 유지하면서, 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되도록, 수평 구동용 모터(12), 선회 구동용 모터(14) 및/또는 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜, 로보트(1)를 동작시키고 나서, 수용부 내에서의 로보트(1)의 교시작업을 종료한다. 이와 같은 교시작업을 행함으로써, 핸드(3)가 전후방향을 향한 상태에서 전후방향으로 직선모양으로 움직여 기판(2)을 적절히 반송하는 것이 가능하게 된다.On the other hand, when the turning center line C3 of the turning member 11 is not disposed on the hand center line LH, the hand center line LH overlaps with the reference line LB while the turning member 11 The swivel drive motor 14 and / or the first drive motor 21 are driven so that the swivel center C3 of the swivel arm 12 is positioned on the hand center line LH, 1) and then ends the teaching operation of the robot 1 in the accommodation portion. By carrying out such teaching work, it becomes possible to carry the substrate 2 properly by moving the hand 3 in a straight line in the forward and backward directions with the hand 3 facing in the front-rear direction.

또한, 본 실시형태에서는, 상하방향에서 보았을 때에, 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 겹치도록 조그 동작을 행하여, 기판(2)과 핸드(3)와의 위치 맞춤을 행한 후에, 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되어 있지 않은 경우에는, 제어부(20)가, 자동적으로 수평 구동용 모터(12), 선회 구동용 모터(14) 및/또는 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 겹쳐져 있는 상태를 유지하면서, 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되도록 로보트(1)를 동작시킨다. 또한, 본 실시형태에서는, 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되면, 도 7의 (C)에 나타내는 바와 같이, 암 지지부재(7)와 제1 암부(15)와의 연결부에 배치되는 제1 암부(15)의 회동중심(C4)도 핸드 중심선(LH)상에 배치된다.In the present embodiment, a jog operation is performed so that the hand center line LH overlaps with the reference line LB when viewed in the up-and-down direction to align the substrate 2 and the hand 3, The control unit 20 automatically controls the horizontal drive motor 12, the swivel drive motor 14, and / or the drive motor 12, if the center of rotation C3 of the drive motor 11 is not disposed on the hand center line LH 1 driving motor 21 so that the turning center C3 of the revolving member 11 is arranged on the hand center line LH while the hand center line LH overlaps with the reference line LB, (1). 7 (C), when the pivotal center C3 of the revolving member 11 is disposed on the hand center line LH, the arm supporting member 7 and the first arm portion 7 The turning center C4 of the first arm portion 15 disposed at the connection portion with the hand side center line 15 is also disposed on the hand center line LH.

(본 실시형태의 주된 효과)(Main effect of the present embodiment)

이상 설명한 것과 같이, 본 실시형태에서는, 제2 구동용 모터(22)가 구동하면, 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)가 상대회동한다. 이 때문에, 본 실시형태에서는, 수용부로부터 기판(2)을 반출할 때의 핸드(3)의 이동방향에 관계없이, 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 자유롭게 상대회동시킬 수 있다. 즉, 수용부로부터 기판(2)을 반출할 때의 핸드(3)의 이동방향이, 예를 들면, 전후방향이어도 좌우방향이어도 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 자유롭게 상대회동시킬 수 있다. 따라서, 본 실시형태에서는, 기판(2)의 기울기가 검출되었을 때에는, 기판(2)을 반출할 때의 핸드(3)의 이동방향에 관계없이, 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 상대회동시킴과 아울러 기대(10)에 대해서 선회부재(11)를 상대회동시키고, 기판(2)의 위치 어긋남을 억제하면서 기판(2)의 기울기를 보정하는 것이 가능하게 된다.As described above, in the present embodiment, when the second driving motor 22 is driven, the hand 3 relatively rotates with respect to the second arm 16. [ Therefore, in the present embodiment, the hand 3 can be freely and relatively rotated relative to the second arm 16 regardless of the moving direction of the hand 3 when the board 2 is taken out from the accommodating portion . That is, even if the movement direction of the hand 3 when the board 2 is taken out from the accommodating portion is, for example, the front-rear direction or the left-right direction, the hand 3 can be freely and relatively rotated with respect to the second arm 16 . Therefore, in the present embodiment, when the inclination of the substrate 2 is detected, regardless of the moving direction of the hand 3 when the substrate 2 is carried out, the hand 3 is moved relative to the second arm 16, It is possible to correct the inclination of the substrate 2 while restricting the positional deviation of the substrate 2 by relatively rotating the turning member 11 with respect to the base 10. [

또한, 본 실시형태에서는, 기판(2)의 위치 어긋남을 억제하면서 기판(2)의 기울기를 보정할 때에 로보트(1)의 본체부(5)를 좌우방향으로 이동시킬 필요가 없기 때문에, 종래와 같이, 기판(2)의 기울기를 보정할 때에 로보트(1)의 본체부(5)를 좌우방향으로 이동시키는 경우와 비교하여, 기판(2)의 기울기를 보정할 때의 택트 타임을 단축하는 것이 가능하게 된다. 즉, 기판(2)의 위치 어긋남을 억제하면서 기판(2)의 기울기를 보정할 때에 로보트(1)의 본체부(5)를 좌우방향으로 이동시키는 경우에는, 도 8의 2점쇄선으로 나타내는 상태로부터 실선으로 나타내는 상태까지, 로보트(1)의 본체부(5)를 크게 이동시킬 필요가 있지만, 본 실시형태에서는, 본체부(5)를 이동시킬 필요가 없기 때문에, 그 만큼, 택트 타임을 단축하는 것이 가능하게 된다.It is not necessary to move the main body portion 5 of the robot 1 in the lateral direction when the inclination of the substrate 2 is corrected while suppressing the positional deviation of the substrate 2 in the present embodiment, It is also possible to shorten the tact time at the time of correcting the inclination of the substrate 2 as compared with the case of moving the main body portion 5 of the robot 1 in the lateral direction when correcting the inclination of the substrate 2 . That is, when the main body portion 5 of the robot 1 is moved in the lateral direction when the inclination of the substrate 2 is corrected while suppressing the positional deviation of the substrate 2, the state shown by the two- It is necessary to largely move the main body portion 5 of the robot 1 from the state shown by the solid line to the state shown by the solid line in the figure. In this embodiment, since the body portion 5 does not need to be moved, .

본 실시형태에서는, 수용부로부터 작업위치로 기판(2)을 반송할 때에, 제2 구동용 모터(22)에 브레이크가 걸려져 있으며, 제1 구동용 모터(21)의 동력으로, 핸드(3)가 소정 방향을 향한 상태에서 직선모양으로 움직이도록, 암(4)이 신축한다. 이 때문에, 기판(2)의 반송시에 로보트(1)를 비상정지시키면, 핸드(3)는 소정 방향을 향한 상태에서 대략 직선모양으로 소정량 움직인 후에 정지한다. 즉, 동작중의 로보트(1)를 비상정지시켜도, 핸드(3)가 일정 방향을 향하고 있는 상태가 유지되기 때문에, 비상정지시의 로보트(1)의 자세의 흐트러짐을 억제하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 본 실시형태에서는, 로보트(1)를 비상정지시켜도, 로보트(1)의 주변기기의 예기치 못한 개소에 핸드(3)가 충돌하는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다.In this embodiment, when the substrate 2 is transferred from the accommodating portion to the working position, the second driving motor 22 is braked, and the power of the first driving motor 21 causes the hand 3 The arm 4 extends and contracts so as to move in a straight line in a state in which it is oriented in a predetermined direction. Therefore, when the robot 1 is stopped at the time of the transportation of the substrate 2, the hand 3 stops moving after moving a predetermined amount in a substantially straight line in a predetermined direction. In other words, even if the robot 1 is stopped during operation, the state in which the hand 3 is directed in a certain direction is maintained, thereby making it possible to suppress disturbance of the posture of the robot 1 at the time of emergency stop. Therefore, in the present embodiment, it is possible to prevent the hand 3 from colliding with an unexpected point in the peripheral device of the robot 1 even if the robot 1 is stopped in an emergency.

본 실시형태에서는, 제2 구동용 모터(22)에 연결되는 감속기(28)의 출력부(41)에 풀리(43)가 고정되며, 핸드(3)의 기단측에 풀리(46)가 고정되어 있고, 풀리(43)와 풀리(46)에는 벨트(47)가 걸쳐져 있다. 이 때문에, 동력전달기구(23)의 구성을 비교적 간소화하는 것이 가능하게 된다. 또한, 본 실시형태에서는, 출력부(41)가, 통모양으로 형성되는 감속기(27)의 입력부(35)의 내주측을 통과하도록 배치되어 있기 때문에, 출력부(41)가 감속기(27)의 외측에 배치되어 있는 경우와 비교하여 제1 암부(15)와 제2 암부(16)와의 연결부를 소형화하는 것이 가능하게 된다.The pulley 43 is fixed to the output portion 41 of the speed reducer 28 connected to the second drive motor 22 and the pulley 46 is fixed to the base end side of the hand 3 And a belt 47 is wound around the pulley 43 and the pulley 46. [ Therefore, the configuration of the power transmission mechanism 23 can be relatively simplified. Since the output section 41 is disposed so as to pass through the inner circumferential side of the input section 35 of the reducer 27 formed in a tubular form, It is possible to downsize the connecting portion between the first arm 15 and the second arm 16 as compared with the case where the first arm 15 and the second arm 16 are disposed.

본 실시형태에서는, 전후방향으로 핸드(3)가 직선모양으로 움직여 기판(2)을 반송하는 경우의 수용부 내에서의 로보트(1)의 교시를 행할 때에, 수용부 내에 수용된 기판(2)을 핸드(3)에 탑재 가능한 위치까지 암(4)이 늘어나 있는 상태에서, 상하방향에서 보았을 때에, 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 대략 평행이 되도록, 제2 구동용 모터(22)를 구동시켜 기판(2)과 핸드(3)와의 방향을 맞추고 있다. 이 때문에, 본 실시형태에서는, 기판(2)과 핸드(3)와의 방향 맞춤이 용이하게 된다.In the present embodiment, when teaching the robot 1 in the accommodating portion when the hand 3 moves linearly in the front-rear direction to transport the substrate 2, the substrate 2 housed in the accommodating portion The second driving motor 22 is moved so that the hand center line LH is substantially parallel to the reference line LB when the arm 4 is stretched to a position where it can be mounted on the hand 3, And the direction of the substrate 2 and the hand 3 are aligned. For this reason, in the present embodiment, alignment between the substrate 2 and the hand 3 is facilitated.

즉, 예를 들면, 선회 구동용 모터(14)를 구동시켜, 기판(2)과 핸드(3)와의 방향 맞춤을 행하는 경우에는, 선회중심(C3)과 핸드(3)의 선단과의 거리가 길어지기 때문에, 선회 구동용 모터(14)의 회전량에 대한 핸드(3)의 선단의 이동량이 커지게 되어 기판(2)과 핸드(3)와의 방향 맞춤이 곤란하게 된다. 이것에 대해서, 본 실시형태에서는, 제2 구동용 모터(22)를 구동시켜 기판(2)과 핸드(3)와의 방향을 맞추고 있어 핸드(3)의 회동중심(C1)과 핸드(3)의 선단과의 거리가 짧아지기 때문에, 제2 구동용 모터(22)의 회전량에 대한 핸드(3)의 선단의 이동량을 억제할 수 있어 기판(2)과 핸드(3)와의 방향 맞춤이 용이하게 된다.That is, for example, when the swivel drive motor 14 is driven to align the substrate 2 and the hand 3, the distance between the swivel center C3 and the tip of the hand 3 is The amount of movement of the distal end of the hand 3 relative to the amount of rotation of the swivel drive motor 14 becomes large and it becomes difficult to orient the board 2 and the hand 3. On the other hand, in the present embodiment, the second driving motor 22 is driven so that the direction of the board 2 and the hand 3 are aligned with each other so that the rotation center C1 of the hand 3 and the rotation center C1 of the hand 3 The amount of movement of the distal end of the hand 3 with respect to the amount of rotation of the second driving motor 22 can be suppressed and the alignment of the substrate 2 and the hand 3 can be easily performed do.

본 실시형태에서는, 전후방향으로 핸드(3)가 직선모양으로 움직여 기판(2)을 반송하는 경우의 수용부 내에서의 로보트(1)의 교시를 행할 때, 상하방향에서 보았을 때에 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 겹치도록 조그 동작을 행하여 기판(2)과 핸드(3)와의 위치 맞춤을 행한 후에, 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되어 있지 않은 경우에는, 수평 구동용 모터(12), 선회 구동용 모터(14) 및/또는 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 겹쳐져 있는 상태를 유지하면서, 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되도록 로보트(1)를 동작시키고 있다. 이 때문에, 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 자유롭게 상대회동시키는 것이 가능하면서도, 로보트(1)의 복잡한 교시작업이 불필요하게 되어, 교시작업을 용이하게 실시하는 것이 가능하게 된다.In the present embodiment, when the robot 1 is taught in the accommodating portion when the hand 3 is linearly moved in the forward and backward direction to carry the substrate 2, the hand center line LH Is aligned with the reference line LB so as to align the substrate 2 and the hand 3 and then the turning center C3 of the turning member 11 is disposed on the hand center line LH The hand center line LH is kept in a state of overlapping with the reference line LB by driving the horizontal drive motor 12, the swivel drive motor 14 and / or the first drive motor 21 , The robot 1 is operated so that the turning center C3 is disposed on the hand center line LH. This makes it possible to freely and relatively turn the hand 3 with respect to the second arm portion 16, but it is also possible to make the teaching work of the robot 1 unnecessary because of complicated teaching.

또한, 본 실시형태에서는, 제어부(20)가, 자동적으로, 수평 구동용 모터(12), 선회 구동용 모터(14) 및/또는 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜, 핸드 중심선(LH)이 기준선(LB)과 겹치져 있는 상태를 유지하면서, 선회중심(C3)이 핸드 중심선(LH)상에 배치되도록 로보트(1)를 동작시키기 때문에, 오퍼레이터의 교시작업이 보다 용이하게 된다.In this embodiment, the control unit 20 automatically drives the horizontal drive motor 12, the swivel drive motor 14 and / or the first drive motor 21 so as to move the hand center line LH The robot 1 is operated so that the turning center C3 is disposed on the hand center line LH while maintaining the state in which the robot 1 is overlapped with the reference line LB.

(동력전달기구의 변형예 1)(Modified Example 1 of the power transmission mechanism)

도 9는, 본 발명의 다른 실시형태에 관한 동력전달기구(53)의 구성을 설명하기 위한 개략도이다. 도 10은, 도 9의 G부의 확대도이다. 도 11은, 도 10에 나타내는 감속기(58) 및 그 주변부의 구성을 설명하기 위한 개략도이다.9 is a schematic view for explaining the configuration of the power transmission mechanism 53 according to another embodiment of the present invention. 10 is an enlarged view of a portion G in Fig. Fig. 11 is a schematic view for explaining the configuration of the speed reducer 58 shown in Fig. 10 and the peripheral portion thereof.

앞서 설명한 실시형태에서는, 제2 암부(16)와 핸드(3)와의 연결부에, 풀리(46)가 배치되어 있다. 이 밖에도 예를 들면, 도 9에 나타내는 바와 같이, 제2 암부(16)와 핸드(3)와의 연결부에, 제4 감속기로서의 감속기(50)가 배치되어도 좋다. 이 경우에는, 제2 암부(16)와 핸드(3)와의 연결부의 강성을 높이는 것이 가능하게 된다. 따라서, 기판(2)의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하기 위해서, 제2 구동용 모터(22)의 동력으로 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 상대회동시키는 경우라도, 핸드(3)를 적절히 회동시키는 것이 가능하게 된다.In the embodiment described above, the pulley 46 is disposed at the connecting portion between the second arm 16 and the hand 3. In addition, for example, as shown in Fig. 9, a speed reducer 50 as a fourth speed reducer may be disposed at a connecting portion between the second arm 16 and the hand 3. In this case, the rigidity of the connecting portion between the second arm 16 and the hand 3 can be increased. Therefore, even when the hand 3 is relatively rotated with respect to the second arm 16 by the power of the second driving motor 22 in order to correct the inclination while suppressing the positional deviation of the substrate 2, (3) can be properly rotated.

도 9~도 11에 나타내는 변형예 1에서는, 상술의 동력전달기구(23)에 대신하여, 동력전달기구(53)가 설치되어 있다. 이하, 동력전달기구(53)의 구성에 대해서 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는, 동력전달기구(23)의 구성과 공통되는 동력전달기구(53)의 구성에 대해서는, 동일한 부호를 부여함과 아울러, 그 설명을 생략 또는 간략화한다.In the modified example 1 shown in Figs. 9 to 11, a power transmission mechanism 53 is provided in place of the power transmission mechanism 23 described above. Hereinafter, the configuration of the power transmission mechanism 53 will be described. In the following description, the same components as those of the power transmitting mechanism 23 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted or simplified.

동력전달기구(53)는, 감속기(50)에 더하여 상술의 감속기(26) 및 감속기(27)를 구비하고 있다. 또한, 동력전달기구(53)는, 제2 구동용 모터(22)에 연결되는 제3 감속기로서의 감속기(58)를 구비하고 있다. 변형예 1에서는, 제1 구동용 모터(21)는, 앞서 설명한 실시형태와 마찬가지로 제1 암부(15)에 장착되어 있다. 또한, 이 변형예 1에서는, 제2 구동용 모터(22)는 제2 암부(16)에 장착되어 있다. 이 제2 구동용 모터(22)는 제2 암부(16)의 기단측의 내부에 배치되어 있다.The power transmission mechanism 53 includes the above-described speed reducer 26 and speed reducer 27 in addition to the speed reducer 50. [ The power transmission mechanism 53 further includes a speed reducer 58 as a third speed reducer connected to the second driving motor 22. [ In Modification 1, the first drive motor 21 is mounted on the first arm 15 in the same manner as in the above-described embodiment. In the first modified example, the second driving motor 22 is mounted on the second arm 16. The second driving motor 22 is disposed inside the base end of the second arm 16.

감속기(27)는, 위에서 설명한 바와 같이, 입력부(35)와, 출력부(36)와, 고정용 플랜지(37)를 구비하고 있다. 앞서 설명한 실시형태에서는, 입력부(35)의 타단에 풀리는 고정되어 있지 않지만, 이 변형예 1에서는, 입력부(35)의 타단에 제1 풀리로서의 풀리(60)가 고정되어 있다.As described above, the speed reducer 27 is provided with an input section 35, an output section 36, and a fixing flange 37. In the above-described embodiment, the pulley 60 as the first pulley is fixed to the other end of the input section 35 in the modified example 1 although the pulley is not fixed to the other end of the input section 35. [

감속기(58)는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 태양치차(62)와, 복수의 유성치차(63)와, 내부치차(64)와, 유성치차(63)를 회전가능하게 유지하는 유성캐리어(65)를 가지는 유성치차 감속기이다. 감속기(58)는, 제2 암부(16)의 내부에 배치되어 있다. 태양치차(62)에는 제3 풀리로서의 풀리(66)가 고정되어 있다. 유성캐리어(65)에는, 제4 풀리로서의 풀리(67)가 고정되어 있다. 내부치차(64)는 베어링(68)을 통하여 제2 암부(16)에 장착되어 있으며, 제2 암부(16)에 대해서 회동가능하게 되어 있다. 즉, 내부치차(64)는, 제2 암부(16)에 회동가능하게 유지되어 있다. 내부치차(64)에는, 제5 풀리로서의 풀리(69)가 고정되어 있다. 또한, 풀리(69)는, 내부치차(64)와 일체로 형성되어도 좋다.11, the speed reducer 58 includes a sun gear 62, a plurality of planetary gears 63, an internal gear 64, and a planetary carrier (not shown) that rotatably holds the planetary gear 63 65). The speed reducer 58 is disposed inside the second arm portion 16. A pulley 66 as a third pulley is fixed to the sun gear 62. To the planetary carrier 65, a pulley 67 as a fourth pulley is fixed. The internal gear 64 is mounted on the second arm portion 16 via a bearing 68 and is rotatable with respect to the second arm portion 16. [ That is, the internal gear 64 is rotatably held by the second arm 16. A pulley 69 as a fifth pulley is fixed to the internal gear 64. The pulley 69 may be integrally formed with the internal gear 64.

감속기(50)는, 입력부(70)와, 출력부(71)와, 출력부(71)를 회전가능하게 유지하는 고정용 플랜지(72)를 구비하고 있다. 고정용 플랜지(72)는, 제2 암부(16)의 선단측에 고정되어 있다. 출력부(71)는 고정용 플랜지(72)를 통하여 제2 암부(16)의 선단측에 회동가능하게 유지되어 있다. 출력부(71)의 일단은 핸드(3)의 기단측에 고정되어 있다. 입력부(70)는 출력부(71)의 타단측에 회전가능하게 유지되어 있다. 입력부(70)에는, 제2 풀리로서의 풀리(73)가 고정되어 있다. 풀리(73)는, 제2 암부(16)의 선단측의 내부에 배치되어 있다. 또한, 풀리(73)는, 입력부(70)와 일체로 형성되어도 좋다.The speed reducer 50 is provided with an input section 70, an output section 71 and a fixing flange 72 for rotatably holding the output section 71. The fixing flange 72 is fixed to the tip end side of the second arm portion 16. The output portion 71 is rotatably held on the distal end side of the second arm portion 16 through the fixing flange 72. [ One end of the output section 71 is fixed to the base end side of the hand 3. The input section 70 is rotatably held on the other end side of the output section 71. A pulley 73 as a second pulley is fixed to the input section 70. [ The pulley (73) is disposed inside the tip end side of the second arm portion (16). In addition, the pulley 73 may be integrally formed with the input section 70.

감속기(27)의 입력부(35)에 고정되는 풀리(60)와, 감속기(58)의 태양치차(62)에 고정되는 풀리(66)에는, 제1 벨트로서의 벨트(74)가 걸쳐져 있다. 감속기(50)의 입력부(70)에 고정되는 풀리(73)와 감속기(58)의 유성캐리어(65)에 고정되는 풀리(67)에는, 제2 벨트로서의 벨트(75)가 걸쳐져 있다. 제2 구동용 모터(22)의 회전축에 고정되는 제6 풀리로서의 풀리(76)와 감속기(58)의 내부치차(64)에 고정되는 풀리(69)에는, 제3 벨트로서의 벨트(77)가 걸쳐져 있다.A pulley 60 fixed to the input section 35 of the speed reducer 27 and a belt 74 serving as a first belt are wound on the pulley 66 fixed to the sun gear 62 of the reducer 58. A pulley 73 fixed to the input section 70 of the speed reducer 50 and a belt 75 fixed to the planetary carrier 65 of the speed reducer 58 are wound on the pulley 67 as the second belt. A pulley 76 as a sixth pulley fixed to the rotation shaft of the second drive motor 22 and a pulley 69 fixed to the internal gear 64 of the reducer 58 are provided with a belt 77 as a third belt It is spread.

이 변형예 1에서는, 제1 구동용 모터(21)의 동력에 의해서, 핸드(3)가 소정 방향을 향한 상태에서 직선모양으로 움직이도록, 제1 암부(15)의 길이, 제2 암부(16)의 길이, 감속기(26, 27, 50, 58)의 감속비 및 풀리(24, 33, 38, 60, 66, 67, 73)의 지름 등이 설정되어 있다. 또한, 이 변형예 1에서는, 제2 구동용 모터(22)가 구동하면, 내부치차(64)가 회전하여 유성치차(63)가 회전하기 때문에, 유성캐리어(65), 풀리(67, 73), 벨트(75) 및 감속기(50)를 통하여 제2 구동용 모터(22)의 동력이 핸드(3)에 전달되고, 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)가 상대회동한다. 또한, 이 변형예 1에서도, 앞서 설명한 실시형태와 마찬가지로, 기판(2)의 기울기 검출동작에 의해서, 기판(2)의 기울기가 검출되면, 기판(2)의 위치 어긋남을 억제하면서 기판(2)의 기울기를 보정하기 때문에, 로보트(1)는 제2 구동용 모터(22)를 구동시켜 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 소정량 회동시킴과 아울러 기대(10)에 대해서 선회부재(11)를 소정량 회동시킨다.The length of the first arm portion 15 and the length of the second arm portion 16 so that the hand 3 moves in a straight line with the hand 3 oriented in a predetermined direction by the power of the first drive motor 21. [ And the diameter of the pulleys 24, 33, 38, 60, 66, 67, 73, and the like are set. When the second drive motor 22 is driven, the planetary carrier 65, the pulleys 67 and 73, and the pulleys 67 and 73 are rotated by the internal gear 64 and the planetary gear 63 rotates, The power of the second drive motor 22 is transmitted to the hand 3 via the belt 75 and the speed reducer 50 and the hand 3 is relatively rotated with respect to the second arm 16. Also in this modification 1, similarly to the above-described embodiment, when the inclination of the substrate 2 is detected by the inclination detecting operation of the substrate 2, the substrate 2 is prevented from being displaced, The robot 1 drives the second driving motor 22 to rotate the hand 3 by a predetermined amount with respect to the second arm portion 16 and at the same time, (11) by a predetermined amount.

(동력전달기구의 변형예 2)(Variation 2 of the power transmission mechanism)

도 12는, 본 발명의 다른 실시형태에 관한 감속기(88) 및 그 주변부의 구성을 설명하기 위한 개략도이다.12 is a schematic view for explaining the configuration of the speed reducer 88 and the peripheral portion thereof according to another embodiment of the present invention.

변형예 1에서는, 제2 구동용 모터(22)에 유성치차 감속기인 감속기(58)가 벨트(77)를 통하여 연결되어 있다. 이 밖에도 예를 들면, 도 12에 나타내는 바와 같이, 제1 베벨치차(81)와, 제1 베벨치차(81)에 서로 맞물리는 제2 베벨치차(82) 및 제3 베벨치차(83)와, 제1 베벨치차(81)를 회전가능하게 유지하는 유지부재(84)를 구비하는 감속기(88)가, 벨트(77)를 통하여 제2 구동용 모터(22)에 연결되어도 좋다.In the modified example 1, a speed reducer 58, which is a planetary gear reducer, is connected to the second drive motor 22 via a belt 77. [ 12, a first bevel gear 81, a second bevel gear 82 and a third bevel gear 83 which mesh with each other on the first bevel gear 81, The speed reducer 88 having the holding member 84 for rotatably holding the first bevel gear 81 may be connected to the second driving motor 22 through the belt 77. [

감속기(88)에서는, 제2 베벨치차(82)와 제3 베벨치차(83)가 상하방향으로 대향하도록 배치되어 있다. 또한, 상술의 풀리(66)가 축(85)을 통하여 제2 베벨치차(82)에 고정되며, 상술의 풀리(67)가 축(85)을 통하여 제3 베벨치차(83)에 고정되어 있다. 제1 베벨치차(81)는, 수평방향을 축방향으로 하여 배치되는 축(86)에 고정되어 있으며, 축(86)은 유지부재(84)에 회전가능하게 유지되어 있다. 유지부재(84)는 베어링(87)을 통하여 제2 암부(16)에 장착되어 있으며, 제2 암부(16)에 대해서 회동가능하게 되어 있다. 즉, 유지부재(84)는 제2 암부(16)에 회동가능하게 유지되어 있다. 유지부재(84)에는, 제5 풀리로서의 풀리(89)가 고정되어 있다. 제2 구동용 모터(22)의 회전축에 고정되는 풀리(76)와 풀리(89)에는, 벨트(77)가 걸쳐져 있다. 또한, 풀리(89)는 유지부재(84)와 일체로 형성되어도 좋다.In the speed reducer 88, the second bevel gear 82 and the third bevel gear 83 are disposed so as to face each other in the vertical direction. The pulley 66 described above is fixed to the second bevel gear 82 via the shaft 85 and the pulley 67 described above is fixed to the third bevel gear 83 through the shaft 85 . The first bevel gear 81 is fixed to a shaft 86 arranged in the horizontal direction in the axial direction and the shaft 86 is rotatably held in the holding member 84. [ The holding member 84 is attached to the second arm portion 16 through the bearing 87 and is rotatable with respect to the second arm portion 16. [ That is, the holding member 84 is rotatably held by the second arm 16. To the holding member 84, a pulley 89 as a fifth pulley is fixed. A belt 77 is wound around the pulley 76 and the pulley 89 fixed to the rotating shaft of the second driving motor 22. [ In addition, the pulley 89 may be integrally formed with the holding member 84.

이 변형예 2에서는, 제1 구동용 모터(21)의 동력에 의해서, 핸드(3)가 소정 방향을 향한 상태에서 직선모양으로 움직이도록, 제1 암부(15)의 길이, 제2 암부(16)의 길이, 감속기(26, 27, 50)의 감속비 및 풀리(24, 33, 38, 60, 66, 67, 73)의 지름 등이 설정되어 있다. 또한, 이 변형예 2에서는, 제2 구동용 모터(22)가 구동하면 유지부재(84)가 회전하여 제1 베벨치차(81)가 회전하기 때문에, 제3 베벨치차(83), 풀리(67, 73), 벨트(75) 및 감속기(50)를 통하여 제2 구동용 모터(22)의 동력이 핸드(3)에 전달되어 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)가 상대회동한다.In this modified example 2, the length of the first arm 15 and the length of the second arm 16 (i.e., the first arm 15 and the second arm 16) are adjusted by the power of the first drive motor 21 so that the hand 3 moves in a straight line in a predetermined direction. And the diameter of the pulleys 24, 33, 38, 60, 66, 67, 73, and the like are set. In this modified example 2, when the second driving motor 22 is driven, the holding member 84 rotates and the first bevel gear 81 rotates. Therefore, the third bevel gear 83, the pulley 67 The power of the second driving motor 22 is transmitted to the hand 3 via the belt 73 and the belt 75 and the speed reducer 50 so that the hand 3 relatively rotates with respect to the second arm 16.

(산업용 로보트의 제어방법의 변형예)(Variation of Control Method of Industrial Robot)

도 13은, 본 발명의 다른 실시형태에 관한 산업용 로보트(1)의 제어방법을 설명하기 위한 평면도이다.13 is a plan view for explaining a control method of the industrial robot 1 according to another embodiment of the present invention.

앞서 설명한 실시형태에서는, 제어부(20)는, 제2 구동용 모터(22) 및 선회 구동용 모터(14)를 정지시킨 상태에서, 제1 구동용 모터(21)를 구동시키고, 암(4)을 신축시켜 기판(2)을 반송하고 있다. 이 밖에도 예를 들면, 좌우방향(Y방향)으로 핸드(3)가 움직여 기판(2)을 반송하는 경우로서, 또한, 전후방향에 있어서 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 수용부의 중심으로부터 어긋나 있는 경우(즉, 도 13에 나타내는 바와 같이, 수용부에 수용됨과 아울러 좌우방향에 대해서 기울어져 있지 않은 기판(2)의 기준선(LB)상에 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 배치되어 있지 않은 경우)에는, 제어부(20)는, 제2 구동용 모터(22) 및 선회 구동용 모터(14)를 구동시키면서, 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜 암(4)을 신축시켜서, 기판(2)을 반송해도 좋다.The control unit 20 drives the first drive motor 21 while the second drive motor 22 and the swivel drive motor 14 are stopped, And the substrate 2 is transported. In addition, for example, when the hand 3 is moved in the left-right direction (Y direction) to transport the substrate 2, the turning center C3 of the turning member 11 in the front- The pivotal center C3 of the revolving member 11 is placed on the reference line LB of the substrate 2 which is accommodated in the accommodating portion and not tilted with respect to the left and right direction as shown in Fig. The control unit 20 drives the first drive motor 21 to drive the arm 4 while driving the second drive motor 22 and the swivel drive motor 14, And the substrate 2 may be transported.

이 경우에는, 도 13의 (A)에 나타내는 바와 같이, 수용부 내에 수용되는 기판(2)을 핸드(3)에 탑재 가능한 위치까지 암(4)이 늘어나 있는 상태에서는, 상하방향에서 보았을 때에, 핸드(3)의 회동중심(C1)이 기준선(LB)상에 배치됨과 아울러, 핸드(3)의 선단부의 중심(C2)이 기준선(LB)상에 배치된다. 또한, 도 13의 (B)에 나타내는 바와 같이, 선회부재(11)의 선회중심(C3)을 중심으로 하여 선회할 때의 로보트(1)의 선회반경이 최소가 되는 위치까지 암(4)이 줄어들어 있는 상태(선회중심(C3)을 중심으로 하여 선회할 때의 로보트(1)의 선회반경이 최소가 되는 위치에 핸드(3)가 있는 상태)에서는, 상하방향에서 보았을 때에, 핸드 중심선(LH)상에 선회중심(C3)이 배치됨과 아울러, 반출된 기판(2)의 안측단(2a)의 중심(C10)이 기준선(LB)상에 배치되어 있다. 또한, 제어부(20)는, 선회부재(11)를 선회시키고, 또한, 핸드(3)를 회동시키면서, 암(4)을 신축시켜서 기판(2)을 반송한다.In this case, as shown in Fig. 13 (A), in a state in which the arm 4 is extended to a position where the board 2 accommodated in the accommodating portion can be mounted on the hand 3, The turning center C1 of the hand 3 is arranged on the reference line LB and the center C2 of the front end of the hand 3 is arranged on the reference line LB. 13 (B), when the arm 4 is rotated to the position where the turning radius of the robot 1 is minimized when the turning member 11 is turned around the turning center C3, (In a state in which the hand 3 is at a position where the turning radius of the robot 1 is the minimum when turning around the turning center C3), the hand center line LH And the center C10 of the inner side end 2a of the removed substrate 2 is disposed on the reference line LB. The control unit 20 also conveys the substrate 2 by pivoting the pivoting member 11 and extending and contracting the arm 4 while rotating the hand 3.

이 경우에는, 좌우방향에 핸드(3)가 움직여 기판(2)을 반송하는 경우로서, 또한, 전후방향에 있어서 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 수용부의 중심으로부터 어긋나 있는 경우라도, 수용부로부터 기판(2)을 적절히 반출하는 것이 가능하게 된다. 또한, 이 경우에는, 암(4)이 늘어나 있는 상태와 암(4)이 줄어들어 있는 상태와의 사이에서 로보트(1)를 동작시킬 때, PTP 동작에 의해서, 로보트(1)를 동작시키는 것이 바람직하다. PTP 동작에 의해서 로보트(1)를 동작시키는 경우, 보간 동작에 의해서 로보트(1)를 동작시키는 경우와 비교하여 핸드(3)의 진동을 억제하는 것이 가능하게 된다. 다만, 기판(2)의 안측단(2a)의 중심(C10)이 기준선(LB)상을 통과하도록 보간 동작에 의해서 로보트(1)를 동작시켜도 좋다.In this case, when the hand 3 is moved in the left-right direction to transport the substrate 2, and even if the turning center C3 of the revolving member 11 is shifted from the center of the receiving portion in the front- It becomes possible to appropriately take out the substrate 2 from the accommodating portion. In this case, it is preferable to operate the robot 1 by the PTP operation when the robot 1 is operated between the state in which the arm 4 is extended and the state in which the arm 4 is reduced Do. When the robot 1 is operated by the PTP operation, the vibration of the hand 3 can be suppressed as compared with the case where the robot 1 is operated by the interpolation operation. However, the robot 1 may be operated by an interpolation operation so that the center C10 of the inner side end 2a of the substrate 2 passes over the reference line LB.

(다른 실시형태)(Other Embodiments)

앞서 설명한 실시형태는, 본 발명의 바람직한 형태의 일례이지만, 이것에 한정되는 것은 아니고 본 발명의 요지를 변경하지 않는 범위에 대해 여러 가지 변형 실시가 가능하다.The above-described embodiments are examples of preferred embodiments of the present invention, but the present invention is not limited thereto, and various modifications can be made to the scope of the present invention without changing the gist of the present invention.

앞서 설명한 실시형태에서는, 로보트(1)는 본체부(5)를 지지하는 베이스부재(6)를 구비하고 있지만, 로보트(1)는 베이스부재(6)를 갖추지 않아도 좋다. 즉, 본체부(5)는 좌우방향으로 이동가능하게 되어 있지 않아도 좋다. 이 경우라도, 기판(2)의 기울기에 따라 제2 암부(16)에 대해서 핸드(3)를 소정량 회동시킴과 아울러 기대(10)에 대해서 선회부재(11)를 소정량 회동시킴으로써, 기판(2)의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 이 경우에는, 기판(2)의 위치 어긋남을 억제하면서 그 기울기를 보정하는 것이 가능하면서도 로보트(1)를 소형화하는 것이 가능하게 된다.In the embodiment described above, the robot 1 is provided with the base member 6 for supporting the body portion 5, but the robot 1 may not be provided with the base member 6. [ That is, the body portion 5 may not be movable in the left and right direction. Even in this case, by rotating the hand 3 by a predetermined amount with respect to the second arm 16 in accordance with the inclination of the substrate 2 and rotating the swivel member 11 by a predetermined amount with respect to the base 10, It is possible to correct the inclination while suppressing the positional deviation of the second lens group 2. Therefore, in this case, it is possible to correct the inclination while suppressing the positional deviation of the substrate 2, but it is possible to downsize the robot 1.

또한, 본체부(5)가 좌우방향으로 이동가능하게 되어 있지 않고, 또한, 핸드(3)의 이동방향에 직교하는 방향에 있어서 선회부재(11)의 선회중심(C3)이 수용부의 중심으로부터 어긋나 있는 경우라도, 도 13에 나타내는 바와 같이, 제2 구동용 모터(22) 및 선회 구동용 모터(14)를 구동시키면서, 제1 구동용 모터(21)를 구동시켜 암(4)을 신축시킴으로써, 수용부로부터 기판(2)을 적절히 반출하는 것이 가능하게 된다.The turning center C3 of the turning member 11 is shifted from the center of the receiving portion in the direction orthogonal to the moving direction of the hand 3 without the body portion 5 being movable in the left and right direction The first drive motor 21 is driven to extend and contract the arm 4 while driving the second drive motor 22 and the swivel drive motor 14 as shown in Fig. It becomes possible to appropriately take out the substrate 2 from the accommodating portion.

앞서 설명한 실시형태에서는, 제1 구동용 모터(21)는 제1 암부(15)에 장착되어 있다. 이 밖에도 예를 들면, 제1 구동용 모터(21)는 암 지지부재(7)에 장착되어도 좋다. 이 경우에는, 감속기(26)의 입력부(30)의 타단(도 4에 나타내는 예에서는 하단)에 풀리가 고정되고, 이 풀리와 제1 구동용 모터(21)의 회전축에 장착되는 풀리에 벨트가 걸쳐진다. 또한, 감속기(26)의 입력부(30)에 고정되는 풀리(33)와, 감속기(27)의 입력부(35)에 고정되는 풀리(38)에 벨트가 걸쳐진다.In the above-described embodiment, the first driving motor 21 is mounted on the first arm 15. In addition, for example, the first drive motor 21 may be mounted on the arm support member 7. In this case, the pulley is fixed to the other end (lower end in the example shown in Fig. 4) of the input section 30 of the speed reducer 26, and a belt is attached to the pulley mounted on the rotary shaft of the first drive motor It straddles. A belt is wound around the pulley 33 fixed to the input section 30 of the speed reducer 26 and the pulley 38 fixed to the input section 35 of the speed reducer 27.

앞서 설명한 실시형태에서는, 암(4)의 기단측은 암 지지부재(7)의 선단측에 회동가능하게 지지되어 있다. 이 밖에도 예를 들면, 암(4)의 기단측은, 선회부재(11)에 회동가능하게 지지되어도 좋다. 이 경우의 선회부재(11)는 암(4)의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재이다.In the embodiment described above, the proximal end side of the arm 4 is rotatably supported on the distal end side of the arm supporting member 7. In addition, for example, the base end side of the arm 4 may be rotatably supported by the revolving member 11. In this case, the revolving member 11 is an arm supporting member for rotatably supporting the base end side of the arm 4.

앞서 설명한 실시형태에서는, 암(4)은 제1 암부(15)와 제2 암부(16)와의 2개의 암부에 의해서 구성되어 있지만, 암(4)은, 3개 이상의 암부에 의해서 구성되어도 좋다. 또한, 앞서 설명한 실시형태에서는, 로보트(1)는 2개의 핸드(3)와 2개의 암(4)을 구비하는 이른바 더블 암형의 로보트이지만, 로보트(1)는 1개의 핸드(3)와 1개의 암(4)을 구비하는 싱글 암형의 로보트라도 좋다. 또한, 앞서 설명한 실시형태에서는, 로보트(1)에 의해서 반송되는 반송대상물은 기판(2)이지만, 로보트(1)에 의해서 반송되는 반송대상물은, 기판(2) 이외의 반도체 웨이퍼 등이어도 좋다.In the embodiment described above, the arm 4 is constituted by two arm portions, that is, the first arm portion 15 and the second arm portion 16, but the arm 4 may be constituted by three or more arm portions. In the embodiment described above, the robot 1 is a so-called double-arm type robot having two hands 3 and two arms 4, but the robot 1 has one hand 3 and one A single-arm type robot having an arm 4 may be used. In the above-described embodiment, the object to be transported by the robot 1 is the substrate 2, but the object to be transported by the robot 1 may be a semiconductor wafer other than the substrate 2 or the like.

1 : 로보트(산업용 로보트) 2 : 기판(유리기판, 반송대상물)
2a : 안측단 2b : 앞측단
3 : 핸드 4 : 암
7 : 암 지지부재 15 : 제 1 암부
16 : 제 2 암부 20 : 제어부
21 : 제 1 구동용 모터 22 : 제 2 구동용 모터
23, 53 : 동력전달기구 26 : 감속기(제1 감속기)
27 : 감속기(제2 감속기) 28 : 감속기(제3 감속기)
30 : 입력부(제1 감속기의 입력부) 31 : 출력부(제1 감속기의 출력부)
35 : 입력부(제2 감속기의 입력부) 36 : 출력부(제2 감속기의 출력부)
40 : 입력부(제3 감속기의 입력부) 41 : 출력부(제3 감속기의 출력부)
43 : 풀리(제1 풀리) 46 : 풀리(제2 풀리)
47 : 벨트 50 : 감속기(제4 감속기)
58 : 감속기(제3 감속기) 60 : 풀리(제1 풀리)
62 : 태양치차 63 : 유성치차
64 : 내부치차 65 : 유성캐리어
66 : 풀리(제3 풀리) 67 : 풀리(제4 풀리)
69 : 풀리(제5 풀리) 70 : 입력부(제4 감속기의 입력부)
71 : 출력부(제4 감속기의 출력부) 73 : 풀리(제2 풀리)
74 : 벨트(제1 벨트) 75 : 벨트(제2 벨트)
76 : 풀리(제6 풀리) 77 : 벨트(제3 벨트)
81 : 제1 베벨치차 82 : 제2 베벨치차
83 : 제3 베벨치차 84 : 유지부재
88 : 감속기(제3 감속기) 89 : 풀리(제5 풀리)
C1 : 핸드의 회동중심 C2: 핸드의 선단부의 중심
C3 : 선회중심
C10 : 안측단의 중심(반송대상물의 안측단의 중심)
C20 : 앞측단의 중심(반송대상물의 앞측단의 중심)
LB : 기준선 LH : 핸드 중심선
1: robot (industrial robot) 2: substrate (glass substrate, carrying object)
2a: inner side 2b: front side
3: Hand 4: Cancer
7: arm supporting member 15: first arm portion
16: second arm part 20:
21: first drive motor 22: second drive motor
23, 53: power transmission mechanism 26: speed reducer (first speed reducer)
27: Reducer (2nd Reducer) 28: Reducer (3rd Reducer)
30: input part (input part of first reduction gear) 31: output part (output part of first reduction gear)
35: input portion (input portion of the second reduction gear) 36: output portion (output portion of the second reduction gear)
40: input part (input part of the third speed reducer) 41: output part (output part of the third speed reducer)
43: pulley (first pulley) 46: pulley (second pulley)
47: belt 50: speed reducer (fourth speed reducer)
58: Reduction gear (third reduction gear) 60: Pulley (first pulley)
62: sun gear 63: planetary gear
64: internal gear 65: planetary carrier
66: pulley (third pulley) 67: pulley (fourth pulley)
69: pulley (fifth pulley) 70: input part (input part of the fourth reduction gear)
71: output portion (output portion of the fourth reduction gear) 73: pulley (second pulley)
74: belt (first belt) 75: belt (second belt)
76: pulley (sixth pulley) 77: belt (third belt)
81: first bevel gear 82: second bevel gear
83: third bevel gear 84: retaining member
88: Reduction gear (third reduction gear) 89: Pulley (fifth pulley)
C1: center of rotation of the hand C2: center of the tip of the hand
C3: turning center
C10: center of inner side (center of inner side of carrying object)
C20: center of front end (center of front end of conveying object)
LB: Reference line LH: Hand center line

Claims (16)

삭제delete 반송대상물이 탑재되는 핸드와, 상기 핸드를 그 선단측에서 회동가능하게 지지하는 제2 암부와 상기 제2 암부의 기단측을 그 선단측에서 회동가능하게 지지하는 제1 암부와의 적어도 2개의 암부를 가지는 암과, 상기 암을 신축시키기 위한 제1 구동용 모터와, 상기 제2 암부에 대해서 상기 핸드를 상대회동시키기 위한 제2 구동용 모터와, 상기 제1 구동용 모터의 동력 및 상기 제2 구동용 모터의 동력을 전달하기 위한 동력전달기구를 구비하고,
상기 동력전달기구는 상기 핸드가 상기 반송대상물의 반송방향을 향한 상태에서 직선모양으로 움직이도록 상기 제1 구동용 모터의 동력을 상기 암 및 상기 핸드에 전달하며, 또한, 상기 제2 암부에 대해서 상기 핸드가 상대회동하도록 상기 제2 구동용 모터의 동력을 상기 핸드에 전달하며,
상기 제2 구동용 모터는 상기 제1 암부에 장착되고,
상기 동력전달기구는, 상기 제1 암부와 상기 제2 암부와의 연결부에 배치되며 상기 제1 구동용 모터의 동력이 전달되는 제2 감속기와, 상기 제2 구동용 모터에 연결되는 제3 감속기와, 상기 제2 암부의 기단측에 배치되며 상기 제3 감속기의 출력부에 고정되는 제1 풀리와, 상기 제2 암부의 선단측에 배치되며 상기 핸드의 기단측에 고정되는 제2 풀리와, 상기 제1 풀리와 상기 제2 풀리에 걸쳐지는 벨트를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
A second arm portion rotatably supporting the hand at the distal end side thereof and a first arm portion rotatably supporting a proximal end side of the second arm portion at a distal end thereof, A second driving motor for relatively rotating the hand with respect to the second arm portion, and a second driving motor for driving the first driving motor and the second driving motor, And a power transmitting mechanism for transmitting the power of the driving motor,
The power transmission mechanism transmits the power of the first driving motor to the arm and the hand so that the hand moves in a linear shape with the hand facing the carrying direction of the carrying object, The power of the second driving motor is transmitted to the hand so that the hand rotates relative to the hand,
The second driving motor is mounted on the first arm portion,
The power transmission mechanism includes a second reducer disposed at a connection portion between the first arm portion and the second arm portion and through which the power of the first drive motor is transmitted, a third reducer connected to the second drive motor, A first pulley disposed on a base end side of the second arm portion and fixed to an output portion of the third reducer; a second pulley disposed on a front end side of the second arm portion and fixed to a base end side of the hand; And a belt extending over the first pulley and the second pulley.
청구항 2에 있어서,
상기 제2 감속기의 출력부는 상기 제1 암부의 선단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 상기 제2 암부의 기단측에 고정되고,
상기 제2 감속기의 입력부는 상기 제2 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되며,
상기 제3 감속기의 출력부는 상기 제1 암부의 선단측에 회동가능하게 유지되고,
상기 제3 감속기의 입력부는 상기 제3 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
The method of claim 2,
The output portion of the second reducer is rotatably held on the tip end side of the first arm portion and fixed to the base end side of the second arm portion,
Wherein the input of the second reducer is rotatably held in the output of the second reducer,
The output portion of the third speed reducer is rotatably held on the leading end side of the first arm portion,
And the input portion of the third speed reducer is rotatably held in the output portion of the third speed reducer.
청구항 2에 있어서,
상기 제2 감속기의 입력부 및 출력부는 통모양으로 형성되고,
상기 제2 감속기의 출력부의 내주측에 상기 제2 감속기의 입력부가 배치되며,
상기 제2 감속기의 입력부의 내주측을 통과하도록 상기 제3 감속기의 출력부가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
The method of claim 2,
The input portion and the output portion of the second reducer are formed into a tubular shape,
An input portion of the second reduction gear is disposed on an inner peripheral side of an output portion of the second reduction gear,
And an output portion of the third speed reducer is arranged so as to pass through an inner peripheral side of the input portion of the second speed reducer.
반송대상물이 탑재되는 핸드와, 상기 핸드를 그 선단측에서 회동가능하게 지지하는 제2 암부와 상기 제2 암부의 기단측을 그 선단측에서 회동가능하게 지지하는 제1 암부와의 적어도 2개의 암부를 가지는 암과, 상기 암을 신축시키기 위한 제1 구동용 모터와, 상기 제2 암부에 대해서 상기 핸드를 상대회동시키기 위한 제2 구동용 모터와, 상기 제1 구동용 모터의 동력 및 상기 제2 구동용 모터의 동력을 전달하기 위한 동력전달기구를 구비하고,
상기 동력전달기구는 상기 핸드가 상기 반송대상물의 반송방향을 향한 상태에서 직선모양으로 움직이도록 상기 제1 구동용 모터의 동력을 상기 암 및 상기 핸드에 전달하며, 또한, 상기 제2 암부에 대해서 상기 핸드가 상대회동하도록 상기 제2 구동용 모터의 동력을 상기 핸드에 전달하며,
상기 제2 구동용 모터는 상기 제2 암부에 장착되고,
상기 동력전달기구는, 상기 제1 암부와 상기 제2 암부와의 연결부에 배치되며 상기 제1 구동용 모터의 동력이 전달되는 제2 감속기와, 태양치차와 유성치차와 내부치차와 상기 유성치차를 회전가능하게 유지하는 유성캐리어를 가지며 상기 제2 구동용 모터에 연결되는 제3 감속기와, 상기 제2 암부와 상기 핸드와의 연결부에 배치되는 제4 감속기와, 상기 제2 암부의 기단측에 배치되며 상기 제2 감속기의 입력부에 고정되는 제1 풀리와, 상기 제2 암부의 선단측에 배치되며 상기 제4 감속기의 입력부에 고정되는 제2 풀리와, 상기 태양치차에 고정되는 제3 풀리와, 상기 유성캐리어에 고정되는 제4 풀리와, 상기 내부치차에 고정되는 제5 풀리와, 상기 제2 구동용 모터의 회전축에 고정되는 제6 풀리와, 상기 제1 풀리와 상기 제3 풀리에 걸쳐지는 제1 벨트와, 상기 제2 풀리와 상기 제4 풀리에 걸쳐지는 제2 벨트와, 상기 제5 풀리와 상기 제6 풀리에 걸쳐지는 제3 벨트를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
A second arm portion rotatably supporting the hand at the distal end side thereof and a first arm portion rotatably supporting a proximal end side of the second arm portion at a distal end thereof, A second driving motor for relatively rotating the hand with respect to the second arm portion, and a second driving motor for driving the first driving motor and the second driving motor, And a power transmitting mechanism for transmitting the power of the driving motor,
The power transmission mechanism transmits the power of the first driving motor to the arm and the hand so that the hand moves in a linear shape with the hand facing the carrying direction of the carrying object, The power of the second driving motor is transmitted to the hand so that the hand rotates relative to the hand,
The second driving motor is mounted on the second arm portion,
Wherein the power transmission mechanism includes a second reducer disposed at a connection portion between the first arm portion and the second arm portion and through which the power of the first drive motor is transmitted, a sun gear, a planetary gear, an internal gear, A third reduction gear connected to the second driving motor and having a planet carrier for rotatably holding the fourth reduction gear; a fourth reduction gear disposed at a connection portion between the second arm and the hand; A second pulley fixed to an input portion of the second reduction gear; a second pulley disposed on a front end side of the second arm portion and fixed to an input portion of the fourth reduction gear; a third pulley fixed to the sun gear; A fourth pulley fixed to the planetary carrier, a fifth pulley fixed to the internal gear, a sixth pulley fixed to a rotation shaft of the second driving motor, and a second pulley fixed to the first pulley and the third pulley, A first belt, The second pulley and the second belt and the industrial robot characterized in that a third belt which is across the sixth pulley and the second pulley 5 which is over four pulleys.
청구항 5에 있어서,
상기 제2 감속기의 출력부는 상기 제1 암부의 선단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 상기 제2 암부의 기단측에 고정되고,
상기 제2 감속기의 입력부는 상기 제2 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되며,
상기 제4 감속기의 출력부는 상기 제2 암부의 선단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 상기 핸드의 기단측에 고정되고,
상기 제4 감속기의 입력부는 상기 제4 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되며,
상기 내부치차는 상기 제2 암부에 회동가능하게 유지되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
The method of claim 5,
The output portion of the second reducer is rotatably held on the tip end side of the first arm portion and fixed to the base end side of the second arm portion,
Wherein the input of the second reducer is rotatably held in the output of the second reducer,
Wherein an output portion of the fourth reducer is rotatably held on a distal end side of the second arm portion and is fixed to a base end side of the hand,
The input portion of the fourth speed reducer is rotatably held in the output portion of the fourth speed reducer,
And the internal gear is rotatably held by the second arm portion.
반송대상물이 탑재되는 핸드와, 상기 핸드를 그 선단측에서 회동가능하게 지지하는 제2 암부와 상기 제2 암부의 기단측을 그 선단측에서 회동가능하게 지지하는 제1 암부와의 적어도 2개의 암부를 가지는 암과, 상기 암을 신축시키기 위한 제1 구동용 모터와, 상기 제2 암부에 대해서 상기 핸드를 상대회동시키기 위한 제2 구동용 모터와, 상기 제1 구동용 모터의 동력 및 상기 제2 구동용 모터의 동력을 전달하기 위한 동력전달기구를 구비하고,
상기 동력전달기구는 상기 핸드가 상기 반송대상물의 반송방향을 향한 상태에서 직선모양으로 움직이도록 상기 제1 구동용 모터의 동력을 상기 암 및 상기 핸드에 전달하며, 또한, 상기 제2 암부에 대해서 상기 핸드가 상대회동하도록 상기 제2 구동용 모터의 동력을 상기 핸드에 전달하며,
상기 제2 구동용 모터는 상기 제2 암부에 장착되고,
상기 동력전달기구는, 상기 제1 암부와 상기 제2 암부와의 연결부에 배치되며 상기 제1 구동용 모터의 동력이 전달되는 제2 감속기와, 제1 베벨치차와 상기 제1 베벨치차에 치합(齒合)함과 아울러 서로 대향 배치되는 제2 베벨치차 및 제3 베벨치차와 상기 제1 베벨치차를 회전가능하게 유지하는 유지부재를 가지며 상기 제2 구동용 모터에 연결되는 제3 감속기와, 상기 제2 암부와 상기 핸드와의 연결부에 배치되는 제4 감속기와, 상기 제2 암부의 기단측에 배치되며 상기 제2 감속기의 입력부에 고정되는 제1 풀리와, 상기 제2 암부의 선단측에 배치되며 상기 제4 감속기의 입력부에 고정되는 제2 풀리와, 상기 제2 베벨치차에 고정되는 제3 풀리와, 상기 제3 베벨치차에 고정되는 제4 풀리와, 상기 유지부재에 고정되는 제5 풀리와, 상기 제2 구동용 모터의 회전축에 고정되는 제6 풀리를 구비하며, 상기 제1 풀리와 상기 제3 풀리에 걸쳐지는 제1 벨트와, 상기 제2 풀리와 상기 제4 풀리에 걸쳐지는 제2 벨트와, 상기 제5 풀리와 상기 제6 풀리에 걸쳐지는 제3 벨트를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
A second arm portion rotatably supporting the hand at the distal end side thereof and a first arm portion rotatably supporting a proximal end side of the second arm portion at a distal end thereof, A second driving motor for relatively rotating the hand with respect to the second arm portion, and a second driving motor for driving the first driving motor and the second driving motor, And a power transmitting mechanism for transmitting the power of the driving motor,
The power transmission mechanism transmits the power of the first driving motor to the arm and the hand so that the hand moves in a linear shape with the hand facing the carrying direction of the carrying object, The power of the second driving motor is transmitted to the hand so that the hand rotates relative to the hand,
The second driving motor is mounted on the second arm portion,
The power transmission mechanism includes a second reduction gear disposed at a connection portion between the first arm portion and the second arm portion and through which power of the first drive motor is transmitted, and a second bevel gear that engages the first bevel gear and the first bevel gear A third reduction gear connected to the second driving motor and having a second bevel gear and a third bevel gear disposed opposite to each other and a holding member for rotatably holding the first bevel gear, A first pulley disposed at a base end side of the second arm portion and fixed to an input portion of the second reducer; and a second pulley disposed at a distal end side of the second arm portion, A third pulley fixed to the second bevel gear; a fourth pulley fixed to the third bevel gear; and a fourth pulley fixed to the second pulley, , A rotation of the second driving motor A first belt wound on the first pulley and the third pulley, a second belt wound on the second pulley and the fourth pulley, and a second belt wound on the second pulley and the fourth pulley, And a third belt wound over the sixth pulley.
청구항 7에 있어서,
상기 제2 감속기의 출력부는 상기 제1 암부의 선단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 상기 제2 암부의 기단측에 고정되고,
상기 제2 감속기의 입력부는 상기 제2 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되며,
상기 제4 감속기의 출력부는 상기 제2 암부의 선단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 상기 핸드의 기단측에 고정되고,
상기 제4 감속기의 입력부는 상기 제4 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되며,
상기 유지부재는 상기 제2 암부에 회동가능하게 유지되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
The method of claim 7,
The output portion of the second reducer is rotatably held on the tip end side of the first arm portion and fixed to the base end side of the second arm portion,
Wherein the input of the second reducer is rotatably held in the output of the second reducer,
Wherein an output portion of the fourth reducer is rotatably held on a distal end side of the second arm portion and is fixed to a base end side of the hand,
The input portion of the fourth speed reducer is rotatably held in the output portion of the fourth speed reducer,
Wherein the holding member is rotatably held by the second arm portion.
청구항 2에 있어서,
상기 제1 암부의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재를 구비하고,
상기 제1 구동용 모터는 상기 제1 암부 또는 상기 암 지지부재에 장착되며,
상기 동력전달기구는 상기 암 지지부재와 상기 제1 암부와의 연결부에 배치되며 상기 제1 구동용 모터에 연결되는 제1 감속기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
The method of claim 2,
And an arm supporting member for rotatably supporting a base end side of the first arm portion,
Wherein the first driving motor is mounted on the first arm portion or the arm supporting member,
Wherein the power transmission mechanism further comprises a first reducer disposed at a connection portion between the arm support member and the first arm portion and connected to the first drive motor.
청구항 9에 있어서,
상기 제1 감속기의 출력부는 상기 제1 암부의 기단측에 회동가능하게 유지됨과 아울러 상기 암 지지부재에 고정되고,
상기 제1 감속기의 입력부는 상기 제1 감속기의 출력부에 회전가능하게 유지되어 있는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
The method of claim 9,
Wherein the output portion of the first reduction gear is rotatably held on the base end side of the first arm portion and is fixed to the arm support member,
Wherein an input portion of the first reduction gear is rotatably held in an output portion of the first reduction gear.
청구항 2에 있어서,
상기 제2 구동용 모터는 상기 제2 구동용 모터의 회전축을 정지시키는 브레이크를 구비하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
The method of claim 2,
And the second drive motor includes a brake for stopping the rotation axis of the second drive motor.
청구항 2에 있어서,
상하방향을 회동의 축방향으로 하여 상기 제1 암부의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재와, 상하방향을 선회의 축방향으로 하여 상기 암 지지부재를 선회시키기 위한 선회기구와, 상기 산업용 로보트를 제어하는 제어부를 구비함과 아울러,
상기 암이 늘어나면 상기 반송대상물이 수용되는 수용부 안에 상기 핸드가 들어가고, 상기 암이 줄어들면 상기 수용부로부터 상기 반송대상물이 반출되도록 구성되며,
상기 반송대상물이 상기 수용부 내에 수용되었을 때에 상기 수용부의 안쪽에 배치되는 상기 반송대상물의 단부를 안측단으로 하고, 상기 반송대상물이 상기 수용부 내에 수용되었을 때에 상기 수용부의 앞쪽에 배치되는 상기 반송대상물의 단부를 앞측단으로 하며, 상기 반송대상물이 상기 수용부 내에 수용되어 있을 때의 상기 안측단의 중심과 상기 앞측단의 중심을 통과하는 선을 기준선으로 하면,
상기 수용부 내에 수용되는 상기 반송대상물을 상기 핸드에 탑재 가능한 위치까지 상기 암이 늘어나 있는 상태에서는, 상하방향에서 보았을 때에, 상기 제2 암부와 상기 핸드와의 연결부에 배치되는 상기 핸드의 회동중심이 상기 기준선상에 배치됨과 아울러, 상기 핸드의 선단부의 중심이 상기 기준선상에 배치되고,
상기 선회기구에 의해서 선회할 때의 상기 산업용 로보트의 선회반경이 최소가 되는 위치까지 상기 암이 줄어들어 있는 상태에서는, 상하방향에서 보았을 때에, 상기 핸드의 회동중심과 상기 핸드의 선단부의 중심을 잇는 핸드 중심선상에 상기 암 지지부재의 선회중심이 배치됨과 아울러, 반출된 상기 반송대상물의 상기 안측단의 중심이 상기 기준선상에 배치되며,
상기 제어부는 상기 선회기구에 의해서 상기 암 지지부재를 선회시키고, 또한, 상기 핸드를 회동시키면서, 상기 암을 신축시켜, 상기 반송대상물을 반송하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
The method of claim 2,
An arm supporting member rotatably supporting a base end side of the first arm portion in an up and down direction of an axis of rotation; a turning mechanism for turning the arm supporting member in the vertical direction in the axial direction of the turning; And a controller for controlling the robot,
Wherein when the arm is extended, the hand enters the receiving portion in which the carrying object is accommodated and the carrying object is carried out from the accommodating portion when the arm is reduced,
An end portion of the conveying object disposed inside the accommodating portion when the conveying object is accommodated in the accommodating portion is set as an inner side end, and when the conveying object is accommodated in the accommodating portion, And a line passing through the center of the inner side end and the center of the front side end when the carrying object is accommodated in the accommodating portion is taken as a reference line,
And a rotation center of the hand arranged at a connection portion between the second arm portion and the hand is located at a position where the arm is extended to a position where the carrying object accommodated in the accommodating portion can be mounted on the hand, The center of the distal end of the hand is disposed on the reference line,
And a hand which connects the center of rotation of the hand and the center of the distal end of the hand when the arm is reduced to a position at which the turning radius of the industrial robot when turning by the pivoting mechanism is minimized, The center of rotation of the arm supporting member is disposed on the center line, and the center of the inner side end of the transported article is disposed on the reference line,
Wherein the control unit is configured to pivot the arm support member by the pivoting mechanism and further to retract the arm while rotating the hand to transport the object to be conveyed.
청구항 2에 있어서,
상하방향을 회동의 축방향으로 하여 상기 제1 암부의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재와, 상하방향을 선회의 축방향으로 하여 상기 암 지지부재를 선회시키기 위한 선회기구와, 상기 산업용 로보트를 제어하는 제어부를 구비함과 아울러,
상기 암이 늘어나면 상기 반송대상물이 수용되는 수용부 안에 상기 핸드가 들어가고, 상기 암이 줄어들면 상기 수용부로부터 상기 반송대상물이 반출되도록 구성되며,
상기 반송대상물이 상기 수용부 내에 수용되었을 때에 상기 수용부의 안쪽에 배치되는 상기 반송대상물의 단부를 안측단으로 하고, 상기 반송대상물이 상기 수용부 내에 수용되었을 때에 상기 수용부의 앞쪽에 배치되는 상기 반송대상물의 단부를 앞측단으로 하며, 상기 반송대상물이 상기 수용부 내에 수용되어 있을 때의 상기 안측단의 중심과 상기 앞측단의 중심을 통과하는 선을 기준선으로 하면,
상기 제어부는 상기 산업용 로보트의 교시(敎示)를 행하고 있는 경우에, 상기 수용부 내에 수용되는 상기 반송대상물을 상기 핸드에 탑재 가능한 위치까지 상기 암이 늘어나 있는 상태에서, 상하방향에서 보았을 때에, 상기 제2 암부와 상기 핸드와의 연결부에 배치되는 상기 핸드의 회동중심 및 상기 핸드의 선단부의 중심이 상기 기준선상에 배치되어 있으며, 또한, 상기 핸드의 회동중심과 상기 핸드의 선단부의 중심을 잇는 핸드 중심선상에 상기 선회기구에 의해서 선회하는 상기 암 지지부재의 선회중심이 배치되지 않으면, 상기 핸드의 회동중심 및 상기 핸드의 선단부의 중심이 상기 기준선상에 배치된 상태를 유지하면서, 상기 암 지지부재의 선회중심이 상기 핸드 중심선상에 배치되도록, 상기 산업용 로보트를 동작시키는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트.
The method of claim 2,
An arm supporting member rotatably supporting a base end side of the first arm portion in an up and down direction of an axis of rotation; a turning mechanism for turning the arm supporting member in the vertical direction in the axial direction of the turning; And a controller for controlling the robot,
Wherein when the arm is extended, the hand enters the receiving portion in which the carrying object is accommodated and the carrying object is carried out from the accommodating portion when the arm is reduced,
An end portion of the conveying object disposed inside the accommodating portion when the conveying object is accommodated in the accommodating portion is set as an inner side end, and when the conveying object is accommodated in the accommodating portion, And a line passing through the center of the inner side end and the center of the front side end when the carrying object is accommodated in the accommodating portion is taken as a reference line,
When the arm is extended to a position where the carrying object accommodated in the accommodating portion can be mounted on the hand in a case where the robot is instructed by the industrial robot, The center of the rotation center of the hand and the distal end of the hand disposed at the connection portion between the second arm and the hand are disposed on the reference line and the hand connecting the center of rotation of the hand and the center of the distal end of the hand, When the pivot center of the arm support member pivoting by the pivot mechanism is not disposed on the center line, the pivot center of the hand and the center of the distal end of the hand are arranged on the reference line, Wherein the industrial robot is operated such that the turning center of the industrial robot is disposed on the hand center line Office robots.
상하방향을 회동의 축방향으로 하여 상기 제1 암부의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재와, 상하방향을 선회의 축방향으로 하여 상기 암 지지부재를 선회시키기 위한 선회기구를 구비하는 청구항 2에 기재한 산업용 로보트의 제어방법으로서,
상기 반송대상물이 수용되는 수용부 내에 상기 반송대상물이 수용되었을 때에 상기 수용부의 안쪽에 배치되는 상기 반송대상물의 단부를 안측단으로 하고, 상기 반송대상물이 상기 수용부 내에 수용되었을 때에 상기 수용부의 앞쪽에 배치되는 상기 반송대상물의 단부를 앞측단으로 하며, 상기 반송대상물이 상기 수용부 내에 수용되어 있을 때의 상기 안측단의 중심과 상기 앞측단의 중심을 통과하는 선을 기준선으로 하면,
상하방향에서 보았을 때에, 상기 제2 암부와 상기 핸드와의 연결부에 배치되는 상기 핸드의 회동중심이 상기 기준선상에 배치됨과 아울러, 상기 핸드의 선단부의 중심이 상기 기준선상에 배치되도록, 상기 수용부에 수용되는 상기 반송대상물을 상기 핸드에 탑재 가능한 위치까지 상기 암이 늘어나고,
상하방향에서 보았을 때에, 상기 핸드의 회동중심과 상기 핸드의 선단부의 중심을 잇는 핸드 중심선상에 상기 선회기구에 의해서 선회하는 상기 암 지지부재의 선회중심이 배치됨과 아울러, 반출된 상기 반송대상물의 상기 안측단의 중심이 상기 기준선상에 배치되도록, 상기 선회기구에 의해서 선회할 때의 상기 산업용 로보트의 선회반경이 최소가 되는 위치까지 상기 암이 줄어들며,
상기 선회기구에 의해서 상기 암 지지부재를 선회시키고, 또한, 상기 핸드를 회동시키면서, 상기 암을 신축시켜, 상기 반송대상물을 반송하는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트의 제어방법.
And a swing mechanism for swinging the arm supporting member in the axial direction of the swivel in the up-and-down direction. A control method for an industrial robot as set forth in 2,
An end portion of the conveying object disposed inside the accommodating portion when the conveying object is accommodated in the accommodating portion in which the conveying object is accommodated is set as the inner side end and the end portion of the conveying object is placed in front of the accommodating portion when the conveying object is accommodated in the accommodating portion When a line passing through the center of the inner side end and the center of the front side end when the carrying object is accommodated in the accommodating portion is set as a reference line,
Wherein a center of rotation of the hand disposed at a connection portion between the second arm portion and the hand is disposed on the reference line and a center of a distal end portion of the hand is disposed on the reference line when viewed in a vertical direction, The arm extends to a position where the carrying object accommodated in the hand can be mounted on the hand,
The pivot center of the arm support member pivoting by the pivot mechanism is disposed on a hand center line connecting the pivot center of the hand and the center of the distal end of the hand when viewed in the up and down direction, The arm is reduced to a position at which the turning radius of the industrial robot is minimized so that the center of the inner side end is located on the reference line when the robot is turned by the turning mechanism,
The arm supporting member is pivoted by the pivoting mechanism and the arm is expanded and contracted while rotating the hand to carry the carrying object.
상하방향을 회동의 축방향으로 하여 상기 제1 암부의 기단측을 회동가능하게 지지하는 암 지지부재와, 상하방향을 선회의 축방향으로 하여 상기 암 지지부재를 선회시키기 위한 선회기구를 구비하는 청구항 2에 기재한 산업용 로보트의 교시방법으로서,
상기 반송대상물이 수용되는 수용부 내에 상기 반송대상물이 수용되었을 때에 상기 수용부의 안쪽에 배치되는 상기 반송대상물의 단부를 안측단으로 하고, 상기 반송대상물이 상기 수용부 내에 수용되었을 때에 상기 수용부의 앞쪽에 배치되는 상기 반송대상물의 단부를 앞측단으로 하며, 상기 반송대상물이 상기 수용부 내에 수용되어 있을 때의 상기 안측단의 중심과 상기 앞측단의 중심을 통과하는 선을 기준선으로 하면,
상기 수용부 내에 수용된 상기 반송대상물을 상기 핸드에 탑재 가능한 위치까지 상기 암이 늘어나 있는 상태에서, 상하방향에서 보았을 때에, 상기 제2 암부와 상기 핸드와의 연결부에 배치되는 상기 핸드의 회동중심 및 상기 핸드의 선단부의 중심이 상기 기준선상에 배치되어 있고, 또한, 상기 핸드의 회동중심과 상기 핸드의 선단부의 중심을 잇는 핸드 중심선상에 상기 선회기구에 의해서 선회하는 상기 암 지지부재의 선회중심이 배치되어 있지 않으면, 상기 핸드의 회동중심 및 상기 핸드의 선단부의 중심이 상기 기준선상에 배치된 상태를 유지하면서, 상기 암 지지부재의 선회중심이 상기 핸드 중심선상에 배치되도록, 상기 산업용 로보트를 동작시키는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트의 교시방법.
And a swing mechanism for swinging the arm supporting member in the axial direction of the swivel in the up-and-down direction. As an instruction method of an industrial robot according to Item 2,
An end portion of the conveying object disposed inside the accommodating portion when the conveying object is accommodated in the accommodating portion in which the conveying object is accommodated is set as the inner side end and the end portion of the conveying object is placed in front of the accommodating portion when the conveying object is accommodated in the accommodating portion When a line passing through the center of the inner side end and the center of the front side end when the carrying object is accommodated in the accommodating portion is set as a reference line,
The rotation center of the hand disposed at the connection portion between the second arm portion and the hand and the rotation center of the hand disposed in the connection portion between the second arm portion and the hand when the arm is extended up to a position where the carrying object accommodated in the accommodating portion can be mounted on the hand, Wherein the center of the tip of the hand is disposed on the reference line and the turning center of the arm supporting member pivoting by the turning mechanism is disposed on the hand center line connecting the center of rotation of the hand and the center of the tip of the hand The operation center of the industrial robot is operated so that the turning center of the arm supporting member is disposed on the hand center line while the rotation center of the hand and the center of the distal end of the hand are arranged on the reference line Wherein the robot is a robot.
청구항 15에 있어서,
상기 수용부 내에 수용된 상기 반송대상물을 상기 핸드에 탑재 가능한 위치까지 상기 암이 늘어나 있는 상태에서, 상기 핸드를 회동시키면서, 상기 반송대상물과 상기 핸드와의 방향을 맞추는 것을 특징으로 하는 산업용 로보트의 교시방법.
16. The method of claim 15,
And the direction of the carrying object is aligned with the hand while rotating the hand in a state in which the arm extends to a position where the carrying object accommodated in the accommodating portion can be mounted on the hand .
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Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6035063B2 (en) * 2012-06-29 2016-11-30 株式会社ダイヘン Substrate transfer device
WO2014024690A1 (en) * 2012-08-09 2014-02-13 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
JP6173678B2 (en) 2012-08-09 2017-08-02 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot and control method for industrial robot
JP5927724B2 (en) * 2012-09-06 2016-06-01 本田技研工業株式会社 Mobile device
KR20140133894A (en) * 2013-01-07 2014-11-20 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 Industrial robot
KR101458697B1 (en) * 2013-04-19 2014-11-05 현대중공업 주식회사 Apparatus and Method for Transferring Substrate
KR101597776B1 (en) * 2014-01-13 2016-02-25 주식회사 에스에프에이 Substrate transfer robot
JP2015178161A (en) * 2014-03-19 2015-10-08 株式会社安川電機 Transfer robot and transfer system
JP6786291B2 (en) * 2016-07-28 2020-11-18 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
KR102158254B1 (en) * 2016-07-28 2020-09-21 니혼 덴산 산쿄 가부시키가이샤 Industrial robot
CN106956290B (en) 2017-04-17 2019-09-10 京东方科技集团股份有限公司 Mechanical arm and its operating method, robot arm device and display panel production equipment
JP6495405B1 (en) * 2017-09-29 2019-04-03 株式会社バンダイ Robot equipment
US10995237B2 (en) 2017-12-29 2021-05-04 Industrial Technology Research Institute Polyimide hybrid material, precursor solution and manufacture method thereof
TWI703188B (en) * 2017-12-29 2020-09-01 財團法人工業技術研究院 Polyimide hybrid material, precursor solution and manufacture method thereof

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01240288A (en) * 1988-03-18 1989-09-25 Mitsubishi Electric Corp Robot for industry
JPH09162257A (en) * 1995-12-05 1997-06-20 Metsukusu:Kk Thin-type substrate transfer device
JP2003291081A (en) * 2002-03-29 2003-10-14 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd Arm driving device
JP2007229906A (en) * 2006-03-03 2007-09-13 Kawasaki Heavy Ind Ltd Clean space robot

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62144186U (en) * 1986-03-06 1987-09-11
JPH04315593A (en) * 1991-04-12 1992-11-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd Industrial robot
US6485250B2 (en) * 1998-12-30 2002-11-26 Brooks Automation Inc. Substrate transport apparatus with multiple arms on a common axis of rotation
JP3955499B2 (en) * 2001-08-07 2007-08-08 日本電産サンキョー株式会社 Hand positioning method and apparatus
JP2005005608A (en) * 2003-06-13 2005-01-06 Ebara Corp Teaching apparatus for substrate transfer robot and teaching method
JP4731267B2 (en) * 2005-09-29 2011-07-20 日本電産サンキョー株式会社 Robot hand and workpiece transfer robot using the same
JP4605560B2 (en) * 2005-12-05 2011-01-05 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
JP5016302B2 (en) * 2006-12-01 2012-09-05 日本電産サンキョー株式会社 Arm drive device and industrial robot
JP4970128B2 (en) * 2007-04-27 2012-07-04 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot and collective processing device
JP5280132B2 (en) * 2008-08-26 2013-09-04 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot
JP5178432B2 (en) * 2008-09-26 2013-04-10 日本電産サンキョー株式会社 Industrial robot

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01240288A (en) * 1988-03-18 1989-09-25 Mitsubishi Electric Corp Robot for industry
JPH09162257A (en) * 1995-12-05 1997-06-20 Metsukusu:Kk Thin-type substrate transfer device
JP2003291081A (en) * 2002-03-29 2003-10-14 Sankyo Seiki Mfg Co Ltd Arm driving device
JP2007229906A (en) * 2006-03-03 2007-09-13 Kawasaki Heavy Ind Ltd Clean space robot

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Publication number Publication date
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