JP7398097B2 - 太陽電池の検査装置および検査方法 - Google Patents
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Description
解析部F13は導通測定情報から第1種端子対TAの間および第2種端子対TBの間が導通していることが確認され、絶縁測定情報から第3種端子対TCの間が絶縁されていないことが確認される場合、第1分割溝P1に溝欠陥が存在すると判定する。
第1工程では、プローブユニット200が待機状態にセットされる。一例では、第1工程は次のように実行される。移送部110は各プローブユニット210、220の端子Tが被検査物Wに接触するようにプローブユニット200を被検査物Wに対して相対移動させる。第1プローブユニット210の各端子Tは各セル裏電極層61の第1端部S1に接触する。第2プローブユニット220の各端子Tは各セル裏電極層61の第2端部S2に接触する。第1工程が完了した状態では、全数のセル裏電極層61の各々について、第1端部S1に1本の端子Tが接触し、第2端部S2に1本の端子Tが接触する。
100:検査装置
F11:測定部
F13:解析部
F15:除去部
TA :第1種端子対
TB :第2種端子対
TC :第3種端子対
P :分割溝
P11:第1側部
P12:第2側部
E1 :第1セル裏電極層
E2 :第2セル裏電極層
S1 :第1端部
S2 :第2端部
Claims (10)
- 分割溝の第1側部に隣接する第1セル裏電極層に接触する第1種端子対の間の導通状態、および、前記分割溝の第2側部に隣接する第2セル裏電極層に接触する第2種端子対の間の導通状態と、前記第1種端子対の一方の端子と前記第2種端子対の一方の端子とを含む第3種端子対の間の絶縁状態とを測定する測定部を備える
太陽電池の検査装置。 - 前記測定部により測定される導通状態および絶縁状態を参照して、前記分割溝の欠陥について判定する解析部をさらに備える
請求項1に記載の太陽電池の検査装置。 - 前記解析部は前記第1種端子対の間および前記第2種端子対の間が導通していることが確認され、前記第3種端子対の間が絶縁されていないことが確認される場合、前記分割溝に欠陥が存在すると判定する
請求項2に記載の太陽電池の検査装置。 - 前記解析部は前記第1種端子対の間および前記第2種端子対の間が導通していることが確認され、前記第3種端子対の間が絶縁されていることが確認される場合、前記分割溝に欠陥が存在しないと判定する
請求項2または3に記載の太陽電池の検査装置。 - 前記解析部は前記第1種端子対の間および前記第2種端子対の間の少なくとも一方が導通していないことが確認される場合、前記分割溝の欠陥に関する判定を保留する
請求項2~4のいずれか一項に記載の太陽電池の検査装置。 - 前記分割溝に残存する裏電極層の一部である残存部が除去されるように前記第3種端子対の間に電流を流す除去部をさらに備える
請求項1~5のいずれか一項に記載の太陽電池の検査装置。 - 前記第1種端子対、前記第2種端子対、および、前記第3種端子対をさらに備え、
前記第1種端子対は前記第1セル裏電極層の各端部に接触するように構成され、
前記第2種端子対は前記第2セル裏電極層の各端部に接触するように構成され、
前記第3種端子対は前記第1種端子対の一方の端子、および、前記第2種端子対の一方の端子を含み、
前記分割溝の長手方向に関する前記第3種端子対の各端子間の距離は前記分割溝の長手方向に関する前記第1種端子対の各端子間の距離または前記第2種端子対の各端子間の距離に等しい
請求項1~6のいずれか一項に記載の太陽電池の検査装置。 - 裏電極層を複数のセル裏電極層に分割する分割溝の欠陥を検出する検査方法であって、
前記分割溝の第1側部に隣接する第1セル裏電極層に接触する第1種端子対の間の導通状態、および、前記分割溝の第2側部に隣接する第2セル裏電極層に接触する第2種端子対の導通状態を測定する導通判定処理工程と、
前記第1種端子対の一方の端子と前記第2種端子対の一方の端子とを含む第3種端子対の間の絶縁状態を測定する第1の絶縁判定処理工程とを含む
太陽電池の検査方法。 - 前記第1の絶縁判定処理工程の実行後に前記第3種端子対の間に電流を流す通電処理工程をさらに含む
請求項8に記載の太陽電池の検査方法。 - 前記通電処理工程の実行後に前記第3種端子対の間の絶縁状態を測定する第2の絶縁判定処理工程をさらに含む
請求項9に記載の太陽電池の検査方法。
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