JP7394531B2 - ウェハチャックの洗浄方法及び装置 - Google Patents
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Description
まず、ウェハチャック2に砥石3を接近させる。次に、ウェハチャック2及び砥石3をそれぞれ回転させた状態で、砥石3がウェハチャック2に押し当てられることにより、チャック表面21が研削される。
まず、ノズル4がウェハチャック2の上方に配置される。次に、ノズル4がチャック表面21に向かって洗浄流体を吐出する。チャック表面21の異物は、洗浄流体がチャック表面21に衝突した衝撃で除去される。また、洗浄流体は、チャック表面21に衝突した後に水平方向に向きを変えて、ウェハチャック2の外側に異物を洗い流す。なお、ノズル4は、洗浄流体をチャック表面21に対して略垂直に吐出する場合に限らず、例えば洗浄流体をチャック表面21に対して斜めに吐出するように構成しても構わない。
吐出流体:水及びエアー
吐出圧力:水 0.2MPa、エアー 0.5MPa
吐出量:水 0.5L/min以上、エアー 100L/min
吐出時間:3秒以上
チャック回転数:100rpm
2 ・・・ ウェハチャック
21・・・ チャック表面
3 ・・・ 砥石
4 ・・・ ノズル
5 ・・・ 制御装置
Claims (4)
- 表面に多孔質材料からなる吸着体が埋設されたウェハチャックの洗浄方法であって、
ウェハを研削した直後に前記ウェハチャックの表面を異物ごと砥石で研削して、前記表面の異物を除去するクリーニング工程と、
前記ウェハチャックを回転させながら、研削後の前記表面に水又は圧縮流体である洗浄流体を吐出して前記表面から除去された異物を洗い流すリンス工程と、
を含むウェハチャックの洗浄方法。 - 前記クリーニング工程において、前記表面が略面一に研削されることを特徴とする請求項1記載のウェハチャックの洗浄方法。
- 前記リンス工程において、前記洗浄流体の吐出位置を前記ウェハチャックの径方向に移動させることを特徴とする請求項1又は2記載のウェハチャックの洗浄方法。
- 表面に多孔質材料からなる吸着体が埋設されたウェハチャックの洗浄装置であって、
ウェハを研削した直後に前記ウェハチャックの表面を異物ごと研削して、前記表面の異物を除去する砥石と、
回転する前記ウェハチャックの研削後の前記表面に水又は圧縮流体である洗浄流体を吐出して前記表面から除去された異物を洗い流すノズルと、
を備えていることを特徴とするウェハチャックの洗浄装置。
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