JP7390990B2 - 表示方法及び基板処理装置 - Google Patents

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Description

本開示は、表示方法及び基板処理装置に関する。
例えば、特許文献１は、データ収集部により収集されたデータをデータバッファに一時的に保存し、所定の周期でデータバッファからデータを呼び出してグラフを描くこと、及びその際の周期をＣＰＵの使用率に応じて設定することを提案する。
例えば、特許文献２は、外部接続してロジックアナライザを使用した場合、ＬＳＩ内部の状態値を記録した際のメモリ容量不足等を解消するために、連続する同一状態値を出力する場合、この同一状態値を圧縮処理し、同一データ繰り返し回数カウント値及び値の異なるデータ個数カウント値を重畳させて記録することを提案する。
特開２０１０－２２４９７４号公報 特開２００６－９０７２７号公報
本開示はグラフ化するための処理の負荷を軽減することができる技術を提供する。
本開示の一の態様によれば、基板処理に関する情報を示す複数のパラメータを表示する表示方法であって、予め設定された周期でサンプリングした複数の前記パラメータの測定値と、前記測定値のサンプリング時間に関する情報とを取得する工程と、前記測定値のサンプリング時間に関する情報に基づき、サンプリングした順序で複数の前記パラメータの測定値に時間変化が生じた測定値を抽出する、又は前記時間変化が生じた測定値及びその直前にサンプリングした測定値を抽出する工程と、抽出した複数の前記パラメータの測定値と前記測定値のサンプリング時間に関する情報とを紐づけてメモリ部に記憶する工程と、メモリ部に記憶した前記測定値のサンプリング時間に関する情報に基づき、複数の前記パラメータの測定値をグラフに描画する工程と、描画した前記グラフを表示する工程と、を有する表示方法が提供される。
一の側面によれば、グラフ化するための処理の負荷を軽減することができる。
一実施形態に係る基板処理装置の一例を示す断面模式図である。 一実施形態に係る制御部の機能構成の一例を示す図である。 一実施形態に係るデータファイル格納部の一例を示す図である。 一実施形態に係る制御部のハードウェア構成の一例を示す図である。 一実施形態に係る測定値の収集処理の流れの一例を示す図である。 従来の測定値のグラフ化処理の流れの一例を示す図である。 従来の測定値のグラフ化処理とグラフ表示を説明するための図である。 一実施形態に係る測定値のグラフ化処理の流れの一例を示す図である。 一実施形態に係る測定値のグラフ化処理とグラフ表示を説明するための図である。
以下、図面を参照して本開示を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
［基板処理装置］
最初に、一実施形態に係る基板処理装置１０について、図１を用いて説明する。図１は、一実施形態に係る基板処理装置１０の一例を示す断面模式図である。図１は、容量結合プラズマにより基板を処理する処理装置を示している。
基板処理装置１０は、チャンバ１を有し、チャンバ１内にエッチング処理や成膜処理が行われる処理空間を提供する。基板処理装置１０では、チャンバ１内の上部電極３と載置台ＳＴとの間の処理空間にプラズマを形成し、プラズマの作用により基板Ｇを処理する。載置台ＳＴは、下部電極４及び静電チャック５を有する。載置台ＳＴは、ヒータを有してもよい。下部電極４上に基板Ｇが保持される。ＲＦ電源６とＲＦ電源７は、下部電極４に結合され、異なるＲＦ周波数が用いられ得る。上部電極３は接地電位に接続される。他の例では、ＲＦ電源６とＲＦ電源７が異なる電極に結合されてもよい。チャンバ１には、ガス供給ライン１１を介してガス供給部８が接続され、処理空間に処理ガスを供給する。ガス供給ライン１１には、流量制御器ＭＦＣが接続されている。処理ガスは、流量制御器ＭＦＣにより流量制御され、チャンバ１に予め設定された流量で供給される。チャンバ１の底部には排気装置９が接続され、チャンバ１内部を排気する。
基板処理装置１０は、プロセッサ及び各種の記憶領域を含む制御部２０を有し、基板処理装置１０の各要素を制御して基板Ｇにエッチング等のプラズマ処理を施す。
チャンバ１には圧力計ＣＭが取り付けられている。圧力計ＣＭは、基板Ｇを処理している間、チャンバ１内の圧力を測定する。圧力計ＣＭが測定した圧力測定値は、制御部２０に送信される。
流量制御器ＭＦＣは、基板Ｇを処理している間、処理ガスに含まれる各ガスの流量を制御するとともに測定する。流量制御器ＭＦＣが測定したガス流量測定値は、制御部２０に送信される。
載置台ＳＴには温度計Ｔが取り付けられている。温度計Ｔは、基板Ｇを処理している間、載置台ＳＴの温度を測定する。温度計Ｔが測定した温度測定値は、制御部２０に送信される。
圧力計ＣＭ、温度計Ｔ、流量制御器ＭＦＣは、基板Ｇを処理している間の基板Ｇの状態、プロセスの状態又はチャンバ１の状態等の基板処理に関する情報を測定する機器の一例である。なお、圧力測定値、温度測定値、ガス流量測定値は、基板Ｇの状態、プロセスの状態又はチャンバ１の状態を示す複数のパラメータの一例であり、基板処理に関する情報を示す複数のパラメータの測定値はこれらに限られない。
制御部２０は、基板処理装置１０が実行した基板処理を示す複数のパラメータをグラフ化して、制御部２０が有するディスプレイ３６（図３参照）又は制御部２０と通信可能な他のコンピュータに表示する表示方法を実行する。
［制御部の機能構成］
次に、制御部２０の機能構成の一例について、図２を参照しながら説明する。図２は、一実施形態に係る制御部２０の機能構成の一例を示す図である。制御部２０は、取得部２１、記憶部２２、プロセス実行部２３、データ処理部２４、描画部２５、描画要求部２６及び表示部２７を有する。
取得部２１は、予め設定された周期でサンプリングした複数のパラメータの測定値と、前記測定値のサンプリング時間に関する情報とを取得する。測定値のサンプリング時間に関する情報は、測定値のサンプリング番号であってもよいし、サンプリング時間そのものであってもよい。本実施形態では、サンプリング番号を取得する場合を例に挙げて説明する。
サンプリング番号は、周期毎に昇順に番号が付与されている。これにより、周期毎に測定した測定値をサンプリング番号と紐づけて記憶部２２に記憶することで、測定値のサンプリング時間を算出することができる。たとえば、周期がＴ、サンプリング番号がｎ（ｎは１以上の整数）とすると、サンプリング開始の時点を起点とした各測定値のサンプリング時間ｔは式（１）により算出できる。
ｔ＝Ｔ×（ｎ－１）・・・（１）
例えば、周期Ｔが１００ｍｓｅｃであり、周期毎に全パラメータの全データをサンプリングする場合、各測定値のサンプリング時間は、ｔ＝１００（ｍｓｅｃ）×（ｎ－１）となり、サンプリング番号ｎに基づき、サンプリング時間ｔを算出できる。例えば、ｎ＝１１の場合、サンプリング開始から１秒（１００ｍｓｅｃ×１０）経過後にサンプリングされたデータということになる。
また、ｎを０以上の整数とし、サンプリングの開始の時点をｎ＝０とした場合には、サンプリング時間ｔは式（１'）により算出できる。
ｔ＝Ｔ×ｎ・・・（１'）
データ処理部２４は、式（１）若しくは式（１'）に基づき、各測定値のサンプリング時間を、サンプリング番号ｎに基づく整数と周期Ｔとの積により算出する。
なお、サンプリング間の相対時間のみに着目する場合には、ｎを１以上の整数とし、サンプリング開始の時点をｎ＝１とする場合であっても、上記の式（１'）を適用可能であるが、その場合、個々のｎに対応するサンプリング時間の数値そのものは単独では意味を持たなくなる。
取得した複数のパラメータの測定値は、パラメータ毎に測定値のサンプリング時間に関する情報と紐づけて記憶部２２のデータ格納部２８に格納される。データ格納部２８には、複数のモニタデータファイル１２８ａ、１２８ｂ・・・が記憶されている。
図３は、一実施形態に係るデータ格納部２８に記憶された測定値の一例を示す図である。例えば、データ格納部２８に格納されたモニタデータファイル１２８ａには、サンプリング番号１（ｎ＝１）の全パラメータ（圧力測定値、ガス流量測定値、温度測定値・・・）が記憶される。モニタデータファイル１２８ｂには、サンプリング番号２（ｎ＝２）の全パラメータが記憶される。モニタデータファイル１２８ｃには、サンプリング番号３（ｎ＝３）の全パラメータが記憶される。
このようにモニタデータファイル１２８ａ、１２８ｂ・・・は、サンプリング番号毎に設けられ、複数のパラメータについて、各パラメータの測定値をサンプリング番号に紐づけて記憶する。図３では、３つのパラメータのみ示すが、パラメータ数は３つに限られず、２以上であればよい。なお、モニタデータファイル１２８ａ、１２８ｂ・・・を総称してモニタデータファイル１２８ともいう。
プロセス実行部２３は、基板Ｇに所望の処理を実行する。データ処理部２４は、測定値毎に紐づけられたサンプリング番号に基づき、複数のパラメータの測定値のグラフ化のためのデータ処理（グラフ化処理の一部）を行う。具体的には、データ処理部２４は、複数のパラメータのパラメータ毎の測定値をサンプリング番号の順に探索し、時間変化が生じた測定値を抽出する。ただし、データ処理部２４は、複数のパラメータのパラメータ毎の測定値をサンプリング番号の順に探索し、時間変化が生じた測定値とその直前の測定値とを抽出してもよい。以上のように定められた所定のルールにより抽出した測定値は、記憶部２２の一時記憶領域であるメモリ部２９に記憶される。メモリ部２９には、抽出された測定値と紐づけて前記測定値のサンプリング時間に関する情報が記憶される。
描画部２５は、メモリ部２９に記憶したサンプリング番号から算出されるサンプリング時間に基づき、対応する測定値をパラメータ毎にグラフに描画する。表示部２７は、複数のパラメータの測定値の時間変化を描画したグラフを表示する。
本実施形態では、制御部２０は、サンプリングした測定値のすべてをまずモニタデータファイル１２８に蓄積する。そして、グラフの描画の際にモニタデータファイル１２８に格納された複数のパラメータの測定値から上記所定のルールに基づき抽出した複数のパラメータの測定値とその抽出した測定値のサンプリング時間に関する情報とを紐づけてメモリ部２９に記憶する。
しかしながら、測定値の記憶方法はこれに限られず、例えば、サンプリングした測定値からデータ処理部２４が抽出した測定値をダイレクトにメモリ部２９に記憶してもよい。この場合、サンプリングされた測定値のすべてをまずモニタデータファイル１２８に記憶する処理を省略できる。これにより、処理の負荷を軽減できるとともに、サンプリングした測定値を記憶するメモリの使用量を軽減できる。
データ処理部２４は、グラフの描画要求に応じて、サンプリングした測定値から上記所定のルールに基づき複数のパラメータの測定値の抽出を行い、描画部２５は、これに応じて抽出した複数のパラメータの測定値の時間変化をグラフに描画してもよい。描画要求部２６は、グラフの描画要求が可能な画面（描画要求画面）の表示に応じて、測定値を抽出する工程の開始を指示する指示信号を出力してもよい。描画要求部２６は、描画要求画面に対するグラフの描画要求の操作に応じて、描画処理（グラフ化処理の一部）の開始を指示する指示信号を出力してもよい。
［制御部のハードウェア構成］
次に、制御部２０のハードウェア構成の一例について、図４を参照しながら説明する。図４は、一実施形態に係る制御部２０のハードウェア構成の一例を示す図である。制御部２０は、インターフェース３１、補助記憶装置３２、主メモリ３３、ＣＰＵ３４、キーボード３５及びディスプレイ３６を有する。
インターフェース３１は、圧力計ＣＭ等の測定部とのインターフェースである。これにより、制御部２０は、インターフェース３１を介して予め設定された周期にサンプリングした複数のパラメータの測定値を取得できる。
補助記憶装置３２は、サンプリングした複数のパラメータの測定値を当該測定値のサンプリング番号と紐づけて格納する不揮発性の記憶装置である。主メモリ３３は、サンプリングした複数のパラメータの測定値から上記所定のルールに基づき抽出した測定値を当該測定値のサンプリング番号と紐づけて一時保持する揮発性の半導体メモリである。
ＣＰＵ３４は、補助記憶装置３２及び主メモリ３３に記憶された測定値及び当該測定値のサンプリング番号に基づきグラフ化処理（データ処理及び描画処理等）を実行する。
キーボード３５は、入力装置の一例であり、所定の操作を入力する。ディスプレイ３６は、表示装置の一例であり、グラフ化した複数のパラメータの測定値の時間変化を表示する。キーボード３５の代わりにタッチパネルを入力装置としてもよい。
図２は制御部２０の機能に着目したブロック図を描いており、例えば、プロセス実行部２３、データ処理部２４、描画部２５の機能は、ＣＰＵ３４に実行させる基板処理、データ処理、描画処理により実現され得る。
記憶部２２の機能は、補助記憶装置３２及び主メモリ３３により実現され得る。表示部２７の機能は、ディスプレイ３６により実現され得る。取得部２１の機能は、インターフェース３１により実現され得る。描画要求部２６の機能は、キーボード３５により実現され得る。
［測定値の収集処理］
次に、制御部２０が実行する測定値の収集処理について、図５を参照しながら説明する。図５は、一実施形態に係る測定値の収集処理の流れの一例を示す図である。
本収集処理は、プロセス実行部２３が基板処理を実行している間であって、例えば１００ｍｓｅｃ周期毎に複数のパラメータのすべての測定値を取得し、モニタデータファイル１２８に記憶する処理である。
基板処理が開始されると、取得部２１は、予め設定された周期で複数のパラメータの測定値をサンプリングし、複数のパラメータのサンプリング番号と測定値とを取得する（ステップＳ１）。次に、取得部２１は、取得したパラメータ毎のサンプリング番号と測定値とをデータ格納部２８のモニタデータファイル１２８に記憶する（ステップＳ２）。
次に、取得部２１は、プロセス（基板処理）が終了したかを判定する（ステップＳ３）。プロセスが終了するまで、ステップＳ１～Ｓ３が繰り返し実行され、サンプリングしたパラメータ毎のサンプリング番号と測定値とがモニタデータファイル１２８に蓄積される。プロセスが終了すると、次のプロセスが開始されたかを判定し（ステップＳ４）、次のプロセスが開始されるまで待つ。次のプロセスが開始されたとき、次のプロセスが実行される間、取得部２１は、再びサンプリングした複数のパラメータのサンプリング番号と測定値とを取得してモニタデータファイル１２８に蓄積する。
［従来のグラフ化］
次に、従来の測定値のグラフ化処理について、図６及び図７を参照しながら説明する。図６は、従来の測定値のグラフ化処理の流れの一例を示す図である。図７は、従来の測定値のグラフ化処理とグラフ表示を説明するための図である。なお、従来のグラフ化処理では、モニタデータファイル１２８には、サンプリングした順番に測定値が蓄積され、測定値のサンプリング時間がサンプリング番号を用いずに得られる場合、サンプリング番号を測定値に紐づけて記憶しなくてもよい。
図６の従来のグラフ化処理では、まず、描画要求画面に遷移したかを判定する（ステップＳ１１）。このように描画要求画面が表示されている場合、描画要求画面に遷移したと判定し、モニタデータファイル１２８に格納された複数のパラメータの測定値をメモリ部２９にそのままの形で記憶する（ステップＳ１２）。
例えば、図７に示すように、ディスプレイ３６に描画要求画面１３６が表示されると、図７（ａ）に示すモニタデータファイル１２８に格納された各パラメータ（Ａ：圧力測定値、Ｂ：ガス流量測定値、Ｃ：温度測定値）をメモリ部２９にそのままの形で記憶する。つまり、メモリ部２９に記憶されたデータは、モニタデータファイル１２８に格納された各パラメータの測定値と同一である。
次に、描画要求があるかを判定する（ステップＳ１３）。たとえばオペレータが図７に示す描画要求画面１３６の「Ｙｅｓ」のボタン１３６ａを押さずに（ステップＳ１３「Ｎｏ」）、予め設定された時間が経過した場合（ステップＳ１４）、本処理を終了する。所定時間が経過する前に描画要求画面１３６の「Ｙｅｓ」のボタン１３６ａが押されると、描画要求があったと判定される。なお、ステップＳ１４を設けず、ボタン１３６ａが押されるまで待ち状態が継続されるように、ステップＳ１３で「Ｎｏ」の場合はステップＳ１３の前に戻るようにしてもよい。
この場合、描画要求に応じて、メモリ部２９内に記憶された複数のパラメータの各パラメータの測定値を、記憶した順番にプロットし、グラフ化し（ステップＳ１５）、複数のパラメータのグラフを表示し（ステップＳ１６）、処理を終了する。これにより、図７（ｂ）に示すように、メモリ部２９に記憶された複数のパラメータの測定値の時間変化をグラフにして表示し、基板処理状態を確認することができる。
従来のグラフ化処理では、メモリ部２９に記憶された測定値は、モニタデータファイル１２８に格納された各パラメータの測定値と同一であり、サンプリングした測定値のすべてをグラフにプロットする。このため、サンプリングした順番にプロットし、グラフ化する処理の負荷が高く、グラフ化に時間がかかる。特に、近年、パラメータの数が膨大し、グラフ化処理の負荷がより高くなっている。
また、従来のグラフ化処理では、モニタデータファイル１２８内に蓄積された複数のパラメータの測定値をそのままメモリ部２９に記憶させるため、メモリの使用量が大きい。特に、近年、パラメータの数が膨大し、メモリの使用量がより大きくなっている。メモリは、グラフの描画だけでなく他の処理にも使用されるため、グラフ化処理によりメモリの使用量が大きくなると他の処理にも影響を及ぼすことになる。
以上のように、グラフ化のために使用するＣＰＵ３４及び主メモリ３３の消費が多くなる。また、グラフ化処理にＣＰＵ３４の負荷の高い状況が継続するため、画面にグラフを表示するまでにかかる時間も長くなり、サービスの低下を招く。
そこで、本実施形態のグラフ化処理では、複数のパラメータのグラフを表示するために使用するＣＰＵ３４及び主メモリ３３の消費を低減し、画面にグラフを表示するまでの時間を短縮する。なお、本実施形態に係る表示方法を示すグラフ化処理は、図５に示す収集処理と、図８に示すグラフ化処理（データ処理、描画処理等）とを含む。
［本実施形態のグラフ化］
次に、本実施形態に係る測定値のグラフ化処理について、図８及び図９を参照しながら説明する。図８は、一実施形態に係る測定値のグラフ化処理の流れの一例を示す図である。図９は、一実施形態に係る測定値のグラフ化処理とグラフ表示を説明するための図である。
本処理では、まず、描画要求部２６が描画要求画面に遷移したかを判定する（ステップＳ２１）。描画要求部２６が、描画要求画面に遷移したと判定した場合、データ処理部２４は、モニタデータファイル１２８に格納された複数のパラメータについてパラメータ毎に上記所定のルールに基づき測定値の変化点を抽出する。データ処理部２４は、抽出した変化点の測定値をサンプリング番号と紐づけてメモリ部２９に記憶する（ステップＳ２２）。ただし、データ処理部２４は、抽出した変化点の測定値及び前記測定値の直前にサンプリングした測定値をサンプリング番号と紐づけてメモリ部２９に記憶してもよい。
例えば、図９に示すように、ディスプレイ３６に描画要求画面１３６が表示されると、描画要求部２６は、測定値を抽出する処理の開始を指示する指示信号を出力する。データ処理部２４は、測定値を抽出する処理の開始を指示する指示信号を受け付けると、図９（ａ）に示すモニタデータファイル１２８に格納された各パラメータ（Ａ：圧力測定値、Ｂ：ガス流量測定値、Ｃ：温度測定値・・・）から測定値の変化点を抽出する。そして、データ処理部２４は、抽出した変化点の測定値をサンプリング番号と紐づけてメモリ部２９に記憶する。なお、複数の周期で構成されるサンプリング期間の最初の測定値と最後の測定値は無条件にメモリ部２９に記憶する。これにより、例えば、Ａの圧力測定値では、サンプリング番号が１、３、６の変化点が抽出される。そして、抽出した変化点の測定値「７」、「１０」、「１１」がサンプリング番号「１」、「３」、「６」と紐づけてメモリ部２９に記憶される。なお、本実施形態では、抽出した変化点の直前のサンプリング番号「２」、「５」の測定値「７」、「１０」についてもサンプリング番号「２」、「５」と紐づけてメモリ部２９に記憶される。Ｂのガス流量測定値及びＣの温度測定値についても同様に測定値の抽出を行う。
この結果、図９（ｂ）に示すように、サンプリング番号「４」の圧力測定値及び温度測定値が実質的に破棄され、メモリ部２９に記憶されないこととなる。よって、メモリ部２９に記憶されたデータは、モニタデータファイル１２８に格納された各パラメータの測定値よりも少なくなり、メモリ部２９の使用量を低減できる。
次に、描画要求部２６は、描画要求があるかを判定する（ステップＳ２３）。たとえばオペレータが図９に示す描画要求画面１３６の「Ｙｅｓ」のボタン１３６ａを押さずに（ステップＳ２３「Ｎｏ」）、予め設定された時間が経過した場合（ステップＳ２４）、本処理を終了する。所定時間が経過する前に描画要求画面１３６の「Ｙｅｓ」のボタン１３６ａが押されると、描画要求部２６は、描画要求があったと判定し、抽出した測定値の描画処理の開始を指示する指示信号を出力する。なお、ステップＳ２４を設けず、ボタン１３６ａが押されるまで待ち状態が継続されるように、ステップＳ２３で「Ｎｏ」の場合はステップＳ２３の前に戻るようにしてもよい。
描画部２５は、描画処理の開始を指示する指示信号を受け付けると、データ処理部２４が抽出した測定値を、式（１）若しくは式（１'）に基づきサンプリング番号から算出したサンプリング時間に応じてプロットし、グラフ化する（ステップＳ２５）。表示部２７は、複数のパラメータのグラフを表示し（ステップＳ２６）、処理を終了する。例えば図９（ｂ）のメモリ部２９内の測定値に紐づけられたサンプリング番号から算出したサンプリング時間に応じてパラメータ毎に測定値をプロットし、各パラメータの測定値の時間変化をグラフ化して表示する。これにより、図９（ｃ）に示すように、メモリ部２９に記憶された複数のパラメータの測定値をグラフにして表示し、基板処理等の状態を確認することができる。図９（ｃ）に示したグラフは、図７（ｃ）に示す従来例のグラフと同一の表示になっている。
以上に説明したように、本実施形態に係る測定値のグラフ化処理では、モニタデータファイル１２８に蓄積された各パラメータの測定値の変化点を抽出して、変化点の測定値をメモリ部２９に記憶する。または、モニタデータファイル１２８に蓄積された各パラメータの測定値の変化点を抽出して、変化点の測定値及びその直前にサンプリングした測定値をメモリ部２９に記憶する。
これにより、測定値が変化しない間、その間の測定値はグラフ化に不要なデータとしてメモリ部２９に記憶せず、破棄することができる。つまり、サンプリングした測定値が同じ値が続く間、グラフ上では水平な直線として表示されるため、変化点の測定値以外の測定値又は変化点の測定値及びその直前の測定値以外の測定値はグラフ化には不要なデータとなる。そこで、本実施形態では、不要なデータと判定された測定値をメモリ部２９に記憶しないことでグラフ化のための測定値を減らす。これにより、グラフ化のためのメモリ使用量を低減できる。
また、従来と比べてメモリ部２９に記憶した測定値が減ることにより、グラフに描画する測定値の点数が減り、グラフ化のための処理を行うＣＰＵ３４の負荷を低減でき、グラフを描画し、表示するまでの時間を短縮できる。また、測定値がサンプリングされた時間を算出するために、測定値に紐づけてサンプリング番号をメモリ部２９に記憶する。これにより、例えば、メモリ部２９に記憶した測定部のサンプリング時間を算出でき、測定値をサンプリング時間に応じてプロットし、測定値の時間変化をグラフ化することができる。
なお、変化点の測定値の直前の測定値は記憶してもよいし、記憶しなくてもよい。変化点の測定値とともにその直前の測定値をメモリ部２９に記憶する場合、プロットした隣接する測定値同士を直線で結ぶグラフ化ルールによりグラフ化してもよい。
変化点の測定値のみをメモリ部２９に記憶する場合、プロットした隣接する測定値同士を直線で結ばず、次の変化点の測定値まで直前の変化点の測定値から水平な直線を引き、次の変化点の測定値で段階的に測定値が増減するグラフ化ルールを用いてもよい。ただし、グラフ化ルールはこれに限られず、他のルールを用いることができる。
以上に説明した本実施形態に係る表示方法によれば、メモリ部２９に記憶する測定値を圧縮できる。これにより、測定値のグラフ化においてプロットする点数を少なくでき、グラフ化のための処理の負荷を軽減でき、グラフ化までの時間を短縮できる。
また、モニタデータファイル１２８内に蓄積された複数のパラメータの測定値を圧縮させてメモリ部２９に記憶させるため、メモリの使用量を少なくできる。
なお、本実施形態では、モニタデータファイル１２８には、全パラメータのサンプリングされた全測定値を記憶し、メモリ部２９に変化点抽出後の各パラメータの測定値を記憶した。ただし、変化点抽出後の各パラメータの測定値をモニタデータファイル１２８に記憶し、測定値を抽出する工程の開始を指示する指示信号を受け付けると、モニタデータファイル１２８に記憶した変化点抽出後の各パラメータの測定値をグラフ化して表示してもよい。または、メモリ部２９に記憶した測定値によりモニタデータファイル１２８のデータを更新してもよい。これにより、サンプリングした測定値を圧縮して記憶し、モニタデータファイル１２８を格納するデータ格納部２８の使用量を低減できる。
今回開示された実施形態に係る表示方法及び基板処理装置は、すべての点において例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。実施形態は、添付の請求の範囲及びその主旨を逸脱することなく、様々な形態で変形及び改良が可能である。上記複数の実施形態に記載された事項は、矛盾しない範囲で他の構成も取り得ることができ、また、矛盾しない範囲で組み合わせることができる。
本開示の基板処理装置は、Atomic Layer Deposition(ALD)装置、Capacitively Coupled Plasma(CCP)、Inductively Coupled Plasma(ICP)、Radial Line Slot Antenna(RLSA)、Electron Cyclotron Resonance Plasma(ECR)、Helicon Wave Plasma(HWP)のいずれのタイプの装置でも適用可能である。
また、基板処理装置の一例としてプラズマ処理装置を挙げて説明したが、基板処理装置は、基板に所定の処理（例えば、成膜処理、エッチング処理等）を施す装置であればよく、プラズマ処理装置に限定されるものではない。
１ チャンバ
２ プラズマ
３ 上部電極
４ 下部電極
５ 静電チャック
６ ＲＦ電源
７ ＲＦ電源
８ ガス供給部
９ 排気装置
１０ 基板処理装置
２０ 制御部
２１ 取得部
２２ 記憶部
２３ プロセス実行部
２４ データ処理部
２５ 描画部
２６ 描画要求部
２７ 表示部
ＳＴ 載置台
Ｇ 基板

Claims (6)

  1. 基板処理に関する情報を示す複数のパラメータを表示する表示方法であって、
    予め設定された周期でサンプリングした複数の前記パラメータの測定値と、前記測定値のサンプリング時間に関する情報とを取得する工程と、
    前記測定値のサンプリング時間に関する情報に基づき、サンプリングした順序で複数の前記パラメータの測定値に時間変化が生じた測定値を抽出する、又は前記時間変化が生じた測定値及びその直前にサンプリングした測定値を抽出する工程と、
    抽出した複数の前記パラメータの測定値と前記測定値のサンプリング時間に関する情報とを紐づけてメモリ部に記憶する工程と、
    メモリ部に記憶した前記測定値のサンプリング時間に関する情報に基づき、複数の前記パラメータの測定値をグラフに描画する工程と、
    描画した前記グラフを表示する工程と、
    を有する表示方法。
  2. 取得した前記測定値のサンプリング時間に関する情報は、取得した前記測定値のサンプリング番号であり、
    前記グラフに描画する工程は、前記測定値のサンプリング時間を、前記サンプリング番号に基づく整数と前記周期との積により算出し、前記測定値のサンプリング時間に対応して複数の前記パラメータの測定値をグラフに描画する、
    請求項１に記載の表示方法。
  3. 取得した複数の前記パラメータの測定値と、前記測定値のサンプリング時間に関する情報とを紐づけてデータファイルに格納する工程を有し、
    前記メモリ部に記憶する工程は、前記データファイルに格納した複数の前記パラメータの測定値から抽出した複数の前記パラメータの測定値と前記測定値のサンプリング時間に関する情報とを紐づけて前記メモリ部に記憶する、
    請求項１又は２に記載の表示方法。
  4. 前記測定値を取得する工程は、前記基板処理の間、前記周期で複数の前記パラメータの測定値をサンプリングし、前記サンプリングの順序を示すサンプリング番号を紐づけして前記データファイルに記憶する、
    請求項３に記載の表示方法。
  5. 前記グラフの描画要求が可能な画面を表示する工程と、
    前記グラフの描画要求が可能な画面の表示に応じて、前記測定値を抽出する工程の開始を指示する指示信号を出力する工程と、を有する、
    請求項１～４のいずれか一項に記載の表示方法。
  6. 基板処理を実行する基板処理装置であって、
    予め設定された周期でサンプリングした複数のパラメータの測定値と、前記測定値のサンプリング時間に関する情報とを取得する取得部と、
    前記測定値のサンプリング時間に関する情報に基づき、サンプリングした順序で複数の前記パラメータの測定値に時間変化が生じた測定値を抽出する、又は前記時間変化が生じた測定値及びその直前にサンプリングした測定値を抽出するデータ処理部と、
    抽出した複数の前記パラメータの測定値と前記測定値のサンプリング時間に関する情報とを紐づけてメモリ部に記憶する記憶部と、
    メモリ部に記憶した前記測定値のサンプリング時間に関する情報に基づき、複数の前記パラメータの測定値をグラフに描画する描画部と、
    描画した前記グラフを表示する表示部と、
    を有する基板処理装置。
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