JP7387749B2 - 電磁把持装置およびその動作方法 - Google Patents
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Description
上記説明は、ある素子、サイズ、および他の教示に関する特定の詳細を含んでいるが、本発明の実施形態、またはそれらの任意の組み合わせは、これらの特定の詳細を含まずに実施され得ることが理解される。具体的には、上記実施形態において、特定の材料および形状が規定されている場合でも、任意の好適な材料または形状が使用されてもよい。これらの詳細は、任意の実施形態の範囲に対する限定として解されるものではなく、現在の好ましい実施形態の単なる例示として解される必要がある。他の例では、本発明の細部を明確に説明するための、良く知られた構造、素子、および技術は示されていない。
Claims (16)
- 電磁把持装置であって、
導電性材料を有するソレノイドであって、電流が印加された際に電磁場を発生する、ソレノイドと、
変形可能な膜と、
前記変形可能な膜に取り付けられ、前記電磁場内に配置されたプランジャであって、さらに、前記電磁場と相互作用するように構成された、強磁性体、または磁性材料を有する、プランジャと、
を有し、
前記プランジャは、前記電磁場内の変化に従って移動し、
前記プランジャの移動により、前記変形可能な膜も移動し、前記変形可能な膜が物体に隣接して配置された際に、把持力または引き付け力が提供され、
前記物体が当該把持装置により保持された際、前記変形可能な膜は、前記物体と直接接触し、前記物体の形状と適合する、電磁把持装置。 - さらに、チャンバを有し、
前記変形可能な膜は、前記チャンバに隣接して配置され、前記チャンバは、当該電磁把持装置に構造的支持を提供するように構成される、請求項1に記載の電磁把持装置。 - 前記ソレノイドに印加される前記電流に対する変化により、前記電磁場の力および方向が変化し、該変化により、前記電磁場内の前記プランジャの動きおよび位置が操作される、請求項1に記載の電磁把持装置。
- 前記プランジャは、さらに、複数のプランジャを有し、前記複数のプランジャは、積層される、請求項1に記載の電磁把持装置。
- 前記膜は、前記プランジャとは独立に、前記電磁場と相互作用するように構成された、強磁性体、または磁性材料を有する、請求項1に記載の電磁把持装置。
- さらに、前記膜は、異なる厚さを有し、
前記膜は、さらに、複数の異なる材料を有する、請求項1に記載の電磁把持装置。 - さらに、前記ソレノイドと隣接して配置されたコネクタを有し、
前記膜は、前記コネクタに取り付けられ、
前記コネクタは、前記膜の変形を修正するように構成され、前記膜により提供される把持力または引き付け力が最大化される、請求項1に記載の電磁把持装置。 - さらに、前記チャンバ内に配置された複数のセンサを有し、
前記センサは、前記チャンバ内の圧力、前記ソレノイドの温度、および前記プランジャの位置を検出するように構成される、請求項2に記載の電磁把持装置。 - さらに、前記ソレノイドに隣接して配置され、前記ソレノイドの温度を低下するように構成された冷却システムを有する、請求項1に記載の電磁把持装置。
- 前記ソレノイドは、さらに、中空管を有し、
前記中空管を介して冷却体が流れ、前記ソレノイドの温度が低下する、請求項1に記載の電磁把持装置。 - さらに、前記ソレノイド内に配置されたガイドを有し、
前記ガイドは、さらに、前記プランジャを受容するように構成された開口を有し、
前記プランジャは、前記ガイドとの相互作用の間、移動の方向を維持するように構成される、請求項1に記載の電磁把持装置。 - 前記膜は、さらに、乾燥吸着を提供するように適合されたマイクロフィーチャ表面を有する、請求項1に記載の電磁把持装置。
- 前記膜は、さらに、静電吸着を提供するように適合された、少なくとも一つの導電性材料を有し、
前記膜を自己予備負荷させる引き付け力、前記膜を自己剥離させる抵抗力を提供するため、前記少なくとも一つの導電性材料に電圧が印加され、または前記膜を自己清浄化するため前記電圧が変更される、請求項1に記載の電磁把持装置。 - 物体を電磁的に把持する方法であって、
物体に隣接して、変形可能な膜を配置するステップであって、前記変形可能な膜は、さらに、電磁場と相互作用するように構成されたプランジャを有する、ステップと、
前記変形可能な膜およびプランジャの外側に隣接して配置されたソレノイドを介して、前記電磁場を発生するステップと、
電流の変化を介して、前記電磁場を操作するステップと、
を有し、
前記変形可能な膜の変形は、前記電磁場の操作を介して、前記プランジャの制御された位置を介して維持され、
前記変形により、前記物体に対して把持力または引き付け力が印加され、
前記物体が保持された際、前記変形可能な膜は、前記物体と直接接触し、前記物体の形状と適合する、方法。 - 前記膜は、前記プランジャとは独立に、前記電磁場と相互作用するように構成された、強磁性体、または磁性材料を有する、請求項14に記載の方法。
- さらに、前記ソレノイドに隣接して配置されたコネクタを有し、
前記膜は、前記コネクタに取り付けられ、
前記コネクタは、前記膜の変形を修正するように構成され、前記膜により提供される把持力または引き付け力が最大化される、請求項14に記載の方法。
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