JP7387106B2 - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
また最近では、高濃度n型層を積層することでトンネル効果を用いるコンタクト形成法が開発されている。この場合には、コンタクト電極として同じ金属を用いることができるが、金属層をマスク合わせによってパターニングする必要があるため、マスク合わせのマージン部が抵抗削減の障害になるばかりでなく、工程が複雑化する問題が生じる。
III族窒化物層上に第1の無機膜及び第2の無機膜をこの順に形成する第1の工程と、
前記第2の無機膜をパターニングする第2の工程と、
パターニングされた前記第2の無機膜をマスクに前記第1の無機膜を選択的に等方的にエッチングする第3の工程と、
PLD(Pulse Laser Deposition)法によりn型GaNを成膜する第4の工程と、
PLD法又は真空蒸着法により導電性膜を成膜する第5の工程と、
前記第1の無機膜及び第2の無機膜を除去する第6の工程とを含むことを特徴とする。
前記第1の無機膜が、酸化シリコンから構成され、
前記導電性膜がフッ酸耐性を有し、
前記第6の工程において前記第1の無機膜をフッ酸によりウェットエッチングすることを特徴とする。
前記第2の無機膜が、Si、Ge又はこれらの混合から構成されていることを特徴とする。
前記第2の無機膜が、Ru、Re又はWN(窒化タングステン)から構成されていることを特徴とする。
前記導電性膜が、TiN、WN又はTaNから構成されていることを特徴とする。
前記III族窒化物層は、前記n型GaNと接触するp型III族窒化物層を少なくとも含み、
前記n型GaNのキャリア濃度が、前記p型III族窒化物層のアクセプタ活性化エネルギーをEAとして、以下の計算式
ne=2×1020EA 0.9 [/cm3]
で決定されるne以上であることを特徴とする。
前記III族窒化物層が、ダイオードのカソード及びアノードであることを特徴とする。
前記III族窒化物層が、FETのソース及びドレインであることを特徴とする。
前記III族窒化物層が、LEDのn型の導電型を有する第1のクラッド層及びp型の導電型を有する第2のクラッド層であることを特徴とする。
前記LEDが紫外光LEDであり、
前記第4の工程で成膜される前記n型GaNの光学的バンドギャップがバースタインモスシフト効果によって増大していることを特徴とする。
前記第4の工程で成膜される前記n型GaNのキャリア濃度が、
前記LEDが放射する波長をλとして、以下の計算式
ne=2×1020(1240/λ-3.4)0.9 [/cm3]
で決定されるne以上であることを特徴とする。
p型III族窒化物層上にEpi-n型GaN層と導電性膜との積層膜からなるパターンが形成された電極構造を具備する半導体装置であって、
前記積層膜の界面の断面において、前記Epi-n型GaN層の上面に対して前記導電性膜の下面が左右対称であることを特徴とする。
前記導電性膜はフッ酸耐性を有する金属又は金属化合物であることを特徴とする。
前記Epi-n型GaNのキャリア濃度が、前記p型III族窒化物のアクセプタ活性化エネルギーをEAとして、以下の計算式
ne=2×1020EA 0.9 [/cm3]
で決定されるne以上であることを特徴とする。
前記Epi-n型GaN層は、バースタインモスシフト効果によって光学的バンドギャップが増大していることを特徴とする。
図1は、自己整合コンタクト電極の主要な製造工程を示す断面図である。
図1(a)に示すように、基板100(例えば、GaNのエピ層1上にp+GaN層2を形成したエピ基板)を準備する。
なお、上記のように無機膜を使用することで、以後のPLD法や真空蒸着法による成膜工程で、有機成分が不要に蒸発することを防止できる。
従って、第2の無機4aと第1の無機膜3aとは、上面から見て、同一のパターン形状を有することとなる。
なお、ウェットエッチングはバッチ方式でも枚葉方式でもよい。
また、GaN系半導体及び第2の無機膜4(Si、Ge)は、フッ酸耐性を有するため本工程においてエッチングされない。
なお、等方エッチングであればよく、等方性ドライエッチングを用いてもよい。
また、基板100上に形成された第2の無機膜4aがSi又はGeにより構成されているため、PLD法によりn型GaNを形成する際に、第2の無機膜4aから蒸発したSi又はGeがn型GaNにドーピングされる。その結果、GaN中のn型不純物濃度を増大させることができる。
なお、GeはSiと比較して低い温度での蒸気圧が高いため、n型のGaN成膜時のドーピング材としては、より好適に使用できる。
なお、TiN、WN、TaNのような金属窒化物は、窒素ラジカルを照射しながらPLD法により金属(Ti、W、Ta)を蒸発させ、窒素ラジカルと金属(Ti、W、Ta)とを反応させることで成膜することができる。TiN、WN、TaNは窒素ラジカルを中断することなく成膜が可能であるため、GaN層からの窒素抜けが防止できる。さらに、フッ酸耐性のある金属は、一般にEpi-n++GaN層51との付着力が弱い傾向があるが、TiN、WN、TaNのような金属窒化物は、付着強度が極めて高いという特長を有し、Epi-n++GaN層51直上に好適に形成することができる。
なお、指向性が高いとは、ターゲット表面から放出される粒子の角度分布が急峻であり、成膜対象物の表面に対して垂直に入射する粒子成分が多い(入射角が垂直に近い)ことを意味する。
なお、導電性膜6は真空蒸着法により形成してもよいが、PLD法による形成は、Epi-n++GaN層51との界面を清浄に維持でき、また指向性が高く、製造工程において特に好適に使用できる。
以下、Epi-n++GaN層51及び導電性膜6の積層は、下層の半導体層との間で電気的接続を行うために使用されるため、積層電極と称することがある。
その結果、実質的なコンタクト面積の低下を防止でき、幾何学的原因によるコンタクト抵抗の増大を防止できる。さらに、リソグラフィー工程を削減できるため、工期の短縮も可能である。
このように本発明によれば、III族窒化物、又はN(窒素)極性面又はIII族(例えばGa)極性面または非極性面であるm面、即ち(11-20)面とa面、即ち(11-0-0)面などや半極性面である(10-11)面と(10-12)面、(11-22)面を表面に有するIII族窒化物との接触抵抗を低減するという効果を提供することができる。
本実施形態では、第1の無機膜3上に形成する膜として、Ru等の触媒作用のある金属膜を使用するものである。
以下、詳細に説明する。
なお、PLD法により第3の無機膜7を形成してもよい。
その後、図1(d)の工程と同様に、第3の無機膜7aをマスクに、等方性エッチング(例えばフッ酸を用いたウェットエッチング等)により、第1の無機膜3を等方性エッチングし、パターニングされた第1の無機膜3aを得る。その結果、第3の無機膜7aの断面は、第1の無機膜3aの側面に対して庇状に突出したオーバーハング形状となる。
導電性膜6は、Epi-n++GaN層51及び第3の無機膜7a上に形成されるが、指向性の高いPLD法により成膜を行うため、これらの膜上に形成された導電性膜6が互いに接することはない。
特に厚膜のGaNを形成する場合、図2(c)に示す工程と異なり、poly-GaNが無いため、ウェットエッチング工程において、poly-GaNの再付着による歩留まり低下リスクを防止できる。
本発明により形成できる自己整合的なGaN半導体膜と導電性膜の積層は、PNダイオードに対して、好適に適用可能である。
従来、p型GaNにはNi/Au積層膜、n型GaNにはTi/Au積層膜がオーミック電極として使用されてきた。しかし、本発明の自己整合型のEpi-n++GaN層と導電性膜6との積層の電極を使用することで、両導電型のGaN層に対して同時にオーミックコンタクトを実現できる。ダイオード特性が改善(例えば、順方向の電流値の増大)される。
周期積層24の一部はエッチング除去され、最下層のi-GaN層23が露出している。
GaNやAlGaNのドーパントとしてMgが用いられた場合のアクセプタイオン化エネルギーはGaN層の場合150[meV]であるが、Al0.4Ga0.6Nの場合450[meV]と、Al混晶比が高くなるほど大きくなる(図10参照)。この結果、Al混晶比が高いものほど、電気的なコンタクトを取ることが困難になる。
しかし、p+AlGaN層25とEpi-n++GaN層51との間においては、以下に説明するようにトンネル接合により、オーミック接触が可能となる。
図9は、フェルミレベルが伝導帯の底からどの位高くなるかを上記計算で求めた結果に、カーブフィッティングされた経験式を重畳したものである。図9において、フルバンド計算により求めたキャリア濃度の理論値は図中◎で示し、その理論値をフィッティングした経験式を図中実線で示す。
経験式(フィッティング曲線)は、キャリア濃度をneとし、エネルギーシフトをΔEgとすると以下の式1で表せる。
ne=2×1020(ΔEg)0.9 [/cm3] ・・・(式1)
ΔEg≧EA ・・・(式2)
従って、p+AlGaNとn++GaNとがトンネル接合となるため、Epi-n++GaN層51のキャリア(不純物)濃度は式3で定まるne以上となる。
ne=2×1020(EA)0.9 [/cm3] ・・・(式3)
なお、キャリア濃度は固溶限以下であることは言うまでもない。
従来は、それぞれの導電型に合わせて異なる材料からなる電極を、それぞれ別々の工程により形成する必要があった。
しかし、本実施形態によれば、異なる導電型のGaN半導体上に、同時にEpi-n++GaN層51と導電性膜6との積層からなるコンタクト電極を形成できる。
そのため、リソグラフィー工程数を削減でき、製造工程の簡略化に寄与することができる。
GaN半導体を用いたFET(電界効果トランジスタ)のソース、ドレイン電極として使用可能である。
図5(a)に示すように、例えば基板であるi-GaN31上に、チャネル領域を構成するi-AlGaN32が形成され、ゲート絶縁膜33(例えばSiN、Al酸化物、Al窒化物、Al窒化酸化物等)を介して、ゲート電極34(例えばRu、WN、Ni/Au等)が形成されている。
例えば、ゲート電極34を形成(パターニング)後に、図1(b)、(c)、(d)に示される工程と同様に、第1の無機膜3及び第2の無機膜7をパターニングした後、図2(a)、(b)、(c)に示される工程と同様に、n++GaN層51と導電性膜6を成膜することで、ソース、ドレイン電極を形成する。なお、Ru等のゲート材料はフッ酸に対する耐性があるので、上記工程時に溶解することはない。
この場合、図5(c)に示されるように、第1の無機膜3aは、ゲート絶縁膜33及びゲート電極34を露出させるように形成すればよい。続いて、図5(d)及び図5(e)に示されるように、実施形態1又は実施形態2に記載されたプロセスにより、ゲート電極とソース、ドレイン領域が自己整合的に形成されるFETを製造することができる。
特に、ゲート電極34として、少なくとも最上層にRu、Re又はWN等の触媒作用のある金属(又は金属窒化膜)を用いることで、ゲート電極34上にpoly-GaNが形成されることなく導電性膜6が形成される。そのため、ゲート電極34の抵抗の増大を防止できる。
なお、フッ酸によるリフトオフ法によりEpi-n++GaN層51と導電性膜6との積層を形成するため、ゲート絶縁膜33及びゲート電極34は、上記のようにフッ酸耐性のある材料を選択する。
また、自己整合的にコンタクト電極を形成するため、従来のようにアライメントエラーを考慮した距離だけ導電性膜6をEpi-n++GaN層51より小さく設計する必要がない。その結果、従来よりソース・ドレイン電極の間隔が短縮され、オン抵抗を低減できる。
なお、この場合、ゲート絶縁膜33がエッチング液に晒されることがなく、ゲート絶縁膜33にフッ酸耐性がない材料を用いることを許容し、使用できる材料の選択肢を拡げることもできる。例えば、ゲート絶縁膜33としてシリコン酸化膜を用いることも可能となる。
p型のソース、ドレイン領域上においては、Epi-n++GaN層51とp型のGaN系半導体との間は、トンネル接合によってオーミックコンタクトを実現することができる。
従って、1つの基板上にp型FET及びn型FETを形成する場合においても、Epi-n++GaN層51と導電性膜6との積層を、両導電型のFETのソース、ドレイン電極として同時に形成することができ、製造工程の簡略化が可能となる。
本実施形態によれば、自己整合的なGaN半導体膜と導電性膜の積層は、LEDデバイスにも好適に使用できる。
図6(a)に示すように、LEDデバイスは、発光層である活性層41(例えばAlGaN及びInGaNの多重量子井戸)を、n型GaN層からなる第1のクラッド層42及びp型GaN層からなる第2のクラッド層43で挟み込む構成を用いている。
第1のクラッド層42は、サファイヤ等の基板44上に、GaNのバッファー層45を介して形成されている。
しかし、本発明のGaN半導体と導電性膜の積層により、それぞれのクラッド層に同一工程でオーミック電極を形成することができ、製造コストの削減又は工期の短縮に寄与できる。
その後、実施形態1又は実施形態2に説明したように、第1の無機膜3及び第2の無機膜4を形成し、図1(c)以降の工程又は図3(b)以降の工程により、第1のクラッド層42及び第2のクラッド層43上に、Epi-n++GaN層51及び導電性膜6の積層を形成する(図6(b))。
しかし、指向性の高いPLD法によりEpi-n++GaN層51及び導電性膜6を形成するため、第1のクラッド層42及び第2のクラッド層43上でのEpi-n++GaN層51及び導電性膜6の成膜特性の違いは、他のPVD法と比較し小さくなる。そのため、第1のクラッド層42及び第2のクラッド層43上に形成されたEpi-n++GaN層51及び導電性膜6の構成は、実質的に(形状、結晶性及び電気特性的に)差異はない。
また、第1の無機膜3及び第2の無機膜4は、上記成膜方法以外に、第1のクラッド層42、活性層41及び第2のクラッド層43の露出した側壁面を覆うことが出来れば他の成膜方法で形成してもよい。
なお、第1のクラッド層42上のEpi-n++GaN層51及び導電性膜6に対してオーミック接触が可能であることは言うまでもない。
実施形態5のLEDデバイスの適用においては、さらに、紫外線LEDに対して本発明の自己整合型コンタクトは特別の効果を奏する。
紫外線LEDの場合、例えば活性層41はAlGaNの量子井戸(例えばAl0.6Ga0.4NとAl0.5Ga0.5Nとの5層量子井戸)により構成され、第1のクラッド層42はn型のAlGaN(例えばn+-Al0.6Ga0.4N)により構成され、第2のクラッド層43はp型のAlGaN(例えばp+-Al0.6Ga0.4N)により構成されている。
なお、基板44は、例えばサファイヤ又はAl基板から構成でき、バッファー層45例えばAlN層から構成できる。
そのため、従来、第1のクラッド層42及び第2のクラッド層43上には、それぞれの導電型に対応した電極を形成するが、p型半導体である第2のクラッド層43上で低抵抗なオーミック接触を実現することが特に困難となる。
コンタクト抵抗の増大によりオン電圧が大きくなることで発熱し、発光が低下するという問題が生じることになる。
さらに、導電性膜6は、Epi-n++GaN層51とノンアロイコンタクトを実現し、p型領域である第2のクラッド層43とのコンタクト抵抗を従来より低減できる。
なお、ノンアロイコンタクトを実現できるため、合金化処理のための熱処理が不要、又は熱負荷の低減が可能となる。
上述のように不純物濃度を増大させることにより、フェルミレベルが伝導帯側へと移動し、図7(a)に示す状態から図7(b)に示す状態へと変化し、トンネル電流が流れ始める。このようにn++GaN領域の伝導帯の電子とp+AlGaN(クラッド)層の価電子帯のホールが同じエネルギーを持つことがトンネル効果を生じる必要条件である。
すなわち、GaNの紫外光吸収特性を、バースタインモスシフト効果を利用して制御し、紫外光吸収を低減することが可能となる。
ne=2×1020(1240/λ-3.4)0.9 ・・・(式4)
例えば、
UV-A(350[nm])では、キャリア濃度3.5×1019[cm-3]
UV-B(300[nm])では、キャリア濃度1.5×1020[cm-3]
UV-C(250[nm])では、キャリア濃度3.0×1020[cm-3]
となる。
1 GaNのエピ層
2 p+GaN層
3 第1の無機膜
4 第2の無機膜
3a パターニングされた第1の無機膜
4a パターニングされた第2の無機膜
51 Epi-n++GaN層
52 poly-n++GaN層
6 導電性膜
7 第3の無機膜
7a パターニングされた第3の無機膜
21 基板
22 バッファ層
231 i-GaN層
232 i-AlGaN層
24 周期積層
25 p+AlGaN層
31 i-GaN
32 i-AlGaN
33 ゲート絶縁膜
34 ゲート電極
41 活性層
42 第1のクラッド層
43 第2のクラッド層
44 基板
45 バッファー層
Claims (15)
- III族窒化物層上に第1の無機膜及び第2の無機膜をこの順に形成する第1の工程と、
前記第2の無機膜をパターニングする第2の工程と、
パターニングされた前記第2の無機膜をマスクに前記第1の無機膜を選択的に等方的にエッチングする第3の工程と、
PLD法によりn型GaNを成膜する第4の工程と、
PLD法又は真空蒸着法により導電性膜を成膜する第5の工程と、
前記第1の無機膜及び第2の無機膜を除去する第6の工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1の無機膜が、酸化シリコンから構成され、
前記導電性膜がフッ酸耐性を有し、
前記第6の工程において前記第1の無機膜をフッ酸によりウェットエッチングすることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第2の無機膜が、Si、Ge又はこれらの混合から構成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の無機膜が、Ru、Re又はWNから構成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の半導体装置の製造方法。
- 前記導電性膜が、TiN、WN又はTaNから構成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項記載の半導体装置の製造方法。
- 前記III族窒化物層は、前記n型GaNと接触するp型III族窒化物層を少なくとも含み、
前記n型GaNのキャリア濃度が、前記p型III族窒化物層のアクセプタ活性化エネルギーをEAとして、以下の計算式
ne=2×1020EA 0.9 [/cm3]
で決定されるne以上であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項記載の半導体装置の製造方法。 - 前記III族窒化物層が、ダイオードのカソード及びアノードであることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項記載の半導体装置の製造方法。
- 前記III族窒化物層が、FETのソース及びドレインであることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項記載の半導体装置の製造方法。
- 前記III族窒化物層が、LEDのn型の導電型を有する第1のクラッド層及びp型の導電型を有する第2のクラッド層であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項記載の半導体装置の製造方法。
- 前記LEDが紫外光LEDであり、
前記第4の工程で成膜される前記n型GaNの光学的バンドギャップがバースタインモスシフト効果によって増大していることを特徴とする請求項9記載の半導体装置の製造方法。 - 前記第4の工程で成膜される前記n型GaNのキャリア濃度が、
前記LEDが放射する波長をλとして、以下の計算式
ne=2×1020(1240/λ-3.4)0.9 [/cm3]
で決定されるne以上であることを特徴とする請求項10記載の半導体装置の製造方法。 - p型III族窒化物層上にEpi-n型GaN層と導電性膜との積層膜からなるパターンが形成された電極構造を具備する半導体装置であって、前記積層膜の界面の断面において、前記Epi-n型GaN層の上面に対して前記導電性膜の下面が左右対称であることを特徴とする半導体装置。
- 前記導電性膜はフッ酸耐性を有する金属又は金属化合物であることを特徴とする請求項12記載の半導体装置。
- 前記Epi-n型GaN層のキャリア濃度が、前記p型III族窒化物層のアクセプタ活性化エネルギーをEAとして、以下の計算式
ne=2×1020EA 0.9 [/cm3]
で決定されるne以上であることを特徴とする請求項12又は13記載の半導体装置。 - 前記Epi-n型GaN層は、バースタインモスシフト効果によって光学的バンドギャップが増大していることを特徴とする請求項12乃至14のいずれか1項記載の半導体装置。
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