JP7386121B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
以下に図1~図4を用いて、実施の形態1における半導体装置SD1について説明する。
以下に図5~図11を用いて、実施の形態2における半導体装置SD1を説明する。なお、以下では、主に実施の形態1との相違点について説明する。
2、2a、2b 入力端子
3 出力端子
4 高電圧側の電源ライン
5 低電圧側の電源ライン
6 検出回路
7 調整回路
8 電流調整器
9 差動回路
10 出力段
11 電流制御回路
101 半導体基板
102 エピタキシャル層
103 ウェル領域
104、105 高濃度不純物領域
106 ゲート絶縁膜
107 ゲート電極
108 層間絶縁膜
109、110 配線
111 チャネル領域
201 共通ソース電位
IA アイドリング電流
M1~M10 トランジスタ
R0~R3 抵抗素子
SD1、SD2 半導体装置
Claims (13)
- 第1入力端子および第2入力端子と、
前記第1入力端子および前記第2入力端子の各々からの入力電圧の差を増幅するための差動回路と、
前記差動回路において増幅された出力電圧を出力するための出力端子と、
前記差動回路へ出力する電流量を制御するための電流制御回路と、
γ線を検出するための検出回路と、
前記検出回路に接続され、且つ、前記電流制御回路の一部を構成する調整回路と、
を備え、
前記検出回路および前記差動回路は、それぞれ、炭化珪素からなる半導体基板に形成された複数の半導体素子のうちの一部を含んで構成され、
前記電流制御回路は、前記検出回路において検出されたγ線の積算線量に基づいて、前記差動回路へ出力する電流量を制御可能である、半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
γ線の積算線量が増加した場合、前記電流制御回路から前記差動回路へ出力される電流量も増加する、半導体装置。 - 請求項2に記載の半導体装置において、
前記差動回路は、前記複数の半導体素子の一部である第1トランジスタおよび第2トランジスタを含み、
前記第1トランジスタは、前記半導体基板上に形成された第1ゲート絶縁膜と、前記第1ゲート絶縁膜上に形成され、且つ、前記第1入力端子に接続された第1ゲート電極とを有し、
前記第2トランジスタは、前記半導体基板上に形成された第2ゲート絶縁膜と、前記第2ゲート絶縁膜上に形成され、且つ、前記第2入力端子に接続された第2ゲート電極とを有し、
前記電流制御回路から前記差動回路へ出力される電流量は、前記半導体基板と前記第1ゲート絶縁膜との界面付近、および、前記半導体基板と前記第2ゲート絶縁膜との界面付近において、γ線によって増加したリーク電流の量よりも大きい、半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記調整回路は、互いに並列接続された複数の抵抗素子を含み、
前記複数の抵抗素子の一部または全部は、前記検出回路を構成する前記複数の半導体素子と直列接続されている、半導体装置。 - 請求項4に記載の半導体装置において、
前記検出回路は、前記複数の半導体素子の一部であり、且つ、それぞれ前記複数の抵抗素子のうちの1つと直列接続された第3トランジスタおよび第4トランジスタを含み、
前記第3トランジスタは、前記半導体基板上に形成された第3ゲート絶縁膜と、前記第3ゲート絶縁膜上に形成された第3ゲート電極と、前記第3ゲート電極下の前記半導体基板内に位置する第1チャネル領域とを有し、
前記第4トランジスタは、前記半導体基板上に形成された第4ゲート絶縁膜と、前記第4ゲート絶縁膜上に形成された第4ゲート電極と、前記第4ゲート電極下の前記半導体基板内に位置する第2チャネル領域とを有し、
前記第3トランジスタおよび前記第4トランジスタの各々は、γ線の積算線量が所定の量に到達した場合、オン状態に切り替わる、半導体装置。 - 請求項5に記載の半導体装置において、
前記第3トランジスタがオン状態に切り替わるタイミングは、前記第4トランジスタがオン状態に切り替わるタイミングと異なっている、半導体装置。 - 請求項6に記載の半導体装置において、
前記第3ゲート絶縁膜の厚さは、前記第4ゲート絶縁膜の厚さと異なっている、半導体装置。 - 請求項6に記載の半導体装置において、
前記第1チャネル領域の不純物濃度は、前記第2チャネル領域の不純物濃度と異なっている、半導体装置。 - 請求項5に記載の半導体装置において、
前記第3トランジスタおよび前記第4トランジスタの各々は、nチャネル型MOSトランジスタである、半導体装置。 - 請求項4に記載の半導体装置において、
前記半導体装置は、第1半導体チップによって構成され、
前記第1半導体チップは、前記調整回路、前記検出回路、前記差動回路および前記電流制御回路を含む、半導体装置。 - 請求項4に記載の半導体装置において、
前記半導体装置は、第1半導体チップおよび第2半導体チップを搭載する半導体モジュールによって構成され、
前記第1半導体チップは、前記差動回路および前記電流制御回路を含み、
前記第2半導体チップは、前記調整回路および前記検出回路を含む、半導体装置。 - 請求項4に記載の半導体装置において、
前記半導体装置は、第1半導体チップ、第2半導体チップおよび外部機器を搭載する半導体モジュールによって構成され、
前記第1半導体チップは、前記差動回路および前記電流制御回路を含み、
前記第2半導体チップは、前記検出回路を含み、
前記外部機器は、前記調整回路を含む、半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記差動回路と前記出力端子との間に、出力段を更に備え、
前記検出回路において検出されたγ線の積算線量に基づいて、前記電流制御回路は、前記出力段へ出力する電流量も制御可能である、半導体装置。
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