JP7378247B2 - プリント配線板およびその製造方法 - Google Patents
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Description
前記第1のバンプは、前記第1の開口内に形成された第1のベースめっき層およびその上に第1のベースめっき層と同じ金属で一体に形成された第1のポストからなる第1のめっきポストと、該第1のめっきポスト上に形成された略半球状の第1のトップめっき層とを有し、
前記第2のバンプは、前記第2の開口内に形成された第2のベースめっき層およびその上に第2のベースめっき層と同じ金属で一体に形成された第2のポストからなる第2のめっきポストと、該第2のめっきポスト上に形成された略半球状の第2のトップめっき層とを有し、
前記第1のめっきポストと前記第1の導体パッドとの間、および前記第2のめっきポストと前記第2の導体パッドとの間に、順次積層されたニッケル層、パラジウム層および金層からなる下地層をそれぞれ有し、
前記第1のめっきポストと前記第2のめっきポストとは、上面が平坦で互いに高さが揃っており、かつ、
前記第1のバンプと前記第2のバンプとは、互いに高さが揃っている。
前記第1のバンプを形成することは、前記第1の開口内に第1のベースめっき層を形成するとともに前記第1のベースめっき層上に第1のベースめっき層と同じ金属で一体に第1のポストを形成して第1のめっきポストを形成することと、前記第1のめっきポスト上に第1のトップめっき層を形成することと、第1のトップめっき層をリフローして略半球状の第1のトップめっき層を形成することと、を含み、
前記第2のバンプを形成することは、前記第2の開口内に第2のベースめっき層を形成するとともに前記第2のベースめっき層上に第2のベースめっき層と同じ金属で一体に第2のポストを形成して第2のめっきポストを形成することと、前記第2のめっきポスト上に第2のトップめっき層を形成することと、第2のトップめっき層をリフローして略半球状の第2のトップめっき層を形成することと、を含み、
前記第1のめっきポストと前記第1の導体パッドとの間、および前記第2のめっきポストと前記第2の導体パッドとの間に、順次積層されたニッケル層、パラジウム層および金層からなる下地層をそれぞれ形成することを含み、
前記第1のめっきポストと前記第2のめっきポストとを形成することは、それら第1のめっきポストと第2のめっきポストとの高さを研磨によって互いに揃えることを含み、かつ、
前記第1のトップめっき層と前記第2のトップめっき層とを形成することは、それら第1のトップめっき層と第2のトップめっき層との高さを第1のトップめっき層と第2のトップめっき層を形成するにあたってのレジストの開口径を調整することによって互いに揃えることを含む。
本発明のプリント配線板の一実施形態が、図面を参照して説明される。図1には、実施形態のプリント配線板10の一部が拡大して示されている。プリント配線板10は、コア基板(図示せず)の片面または両面に所定の回路パターンを有する導体層と樹脂絶縁層とを交互に積層してなるコア付き基板であってよい。コア基板の両面に導体層を形成する場合には、コア基板を介して対向する導体層同士は、スルーホール導体(図示せず)を介して接続されていてもよい。あるいは、プリント配線板10は、コア基板の代わりに支持板(図示せず)上で導体層と樹脂絶縁層とを交互に積層した後、支持板を除去してなるコアレス基板であってもよい。いずれにせよ、プリント配線板10は、図1に示すように、少なくとも1層の樹脂絶縁層のうち最外に配置されたものである基部絶縁層12と、基部絶縁層12上に形成された、所定の回路パターンを有する導体層14と、基部絶縁層12および導体層14上に形成されたソルダーレジスト層16とを備えている。基部絶縁層12の下層には他の複数の導体層および樹脂絶縁層が交互に設けられている場合が多いが、図では省略されている。しかし、プリント配線板10は、1層の基部絶縁層12と1層の導体層14とからなるものでもよい。
以下、図1に示すプリント配線板10を製造するための、本発明の一実施形態に係るプリント配線板の製造方法を、図2A~図2Kを参照して説明する。
以下、図1に示すプリント配線板10を製造するための、本発明の他の一実施形態に係るプリント配線板の製造方法を、図3A~図3Dを参照して説明する。
12 基部絶縁層
14 導体層
14a 第1の導体パッド
14b 第2の導体パッド
16 ソルダーレジスト層
16a 第1の開口
16b 第2の開口
20 第1のバンプ
22 第2のバンプ
24 第1のめっきポスト
24a,30a 上端面
26 第1の中間層
28 第1のトップめっき層
30 第2のめっきポスト
32 第2の中間層
34 第2のトップめっき層
36 シード層
38,40 めっきレジスト
38a,38b,40a,40b 開口
Claims (13)
- プリント配線板であって、
基部絶縁層と、
前記基部絶縁層上に形成された導体層と、
前記基部絶縁層上および前記導体層上に形成され、かつ、前記導体層の一部を第1の導体パッドとして露出させる第1の開口、および該第1の開口よりも径が小さく前記導体層の他の一部を第2の導体パッドとして露出させる第2の開口を有するソルダーレジスト層と、
前記第1の導体パッド上に形成された第1のバンプと、
前記第2の導体パッド上に形成された、前記第1のバンプよりも小径の第2のバンプと、を備え、
前記第1のバンプは、前記第1の開口内に形成された第1のベースめっき層およびその上に第1のベースめっき層と同じ金属で一体に形成された第1のポストからなる第1のめっきポストと、該第1のめっきポスト上に形成された略半球状の第1のトップめっき層とを有し、
前記第2のバンプは、前記第2の開口内に形成された第2のベースめっき層およびその上に第2のベースめっき層と同じ金属で一体に形成された第2のポストからなる第2のめっきポストと、該第2のめっきポスト上に形成された略半球状の第2のトップめっき層とを有し、
前記第1のめっきポストと前記第1の導体パッドとの間、および前記第2のめっきポストと前記第2の導体パッドとの間に、順次積層されたニッケル層、パラジウム層および金層からなる下地層をそれぞれ有し、
前記第1のめっきポストと前記第2のめっきポストとは、上面が平坦で互いに高さが揃っており、かつ、
前記第1のバンプと前記第2のバンプとは、互いに高さが揃っている。 - 請求項1に記載のプリント配線板であって、前記第1のトップめっき層および前記第2のトップめっき層の厚みは、20μm~40μmである。
- 請求項1に記載のプリント配線板であって、前記第1のめっきポストおよび前記第2のめっきポストは、銅を主成分とする金属からそれぞれ形成されている。
- 請求項1に記載のプリント配線板であって、前記第1のトップめっき層は前記第1のめっきポスト上に第1の中間層を介して形成され、前記第2のトップめっき層は前記第2のめっきポスト上に第2の中間層を介して形成され、
前記第1の中間層および前記第2の中間層は、順次積層されたニッケル層、パラジウム層および金層からなる。 - 請求項1に記載のプリント配線板であって、前記第1のトップめっき層は前記第1のめっきポスト上に第1の中間層を介して形成され、前記第2のトップめっき層は前記第2のめっきポスト上に第2の中間層を介して形成され、
前記第1の中間層および前記第2の中間層は、ニッケルを主成分とする金属からそれぞれ形成されている。 - 請求項1に記載のプリント配線板であって、前記第1のトップめっき層および前記第2のトップめっき層は、スズを主成分とする金属からそれぞれ形成されている。
- プリント配線板の製造方法であって、
基部絶縁層を形成することと、
前記基部絶縁層上に導体層を形成することと、
前記基部絶縁層上および前記導体層上にソルダーレジスト層を形成することと、
前記ソルダーレジスト層に、前記導体層の一部を第1の導体パッドとして露出させる第1の開口を形成することと、
前記ソルダーレジスト層に、前記第1の開口よりも径が小さく前記導体層の他の一部を第2の導体パッドとして露出させる第2の開口を形成することと、
前記第1の導体パッド上に第1のバンプを形成することと、
前記第2の導体パッド上に、前記第1のバンプよりも小径の第2のバンプを形成することと、を含み、
前記第1のバンプを形成することは、前記第1の開口内に第1のベースめっき層を形成するとともに前記第1のベースめっき層上に第1のベースめっき層と同じ金属で一体に第1のポストを形成して第1のめっきポストを形成することと、前記第1のめっきポスト上に第1のトップめっき層を形成することと、第1のトップめっき層をリフローして略半球状の第1のトップめっき層を形成することと、を含み、
前記第2のバンプを形成することは、前記第2の開口内に第2のベースめっき層を形成するとともに前記第2のベースめっき層上に第2のベースめっき層と同じ金属で一体に第2のポストを形成して第2のめっきポストを形成することと、前記第2のめっきポスト上に第2のトップめっき層を形成することと、第2のトップめっき層をリフローして略半球状の第2のトップめっき層を形成することと、を含み、
前記第1のめっきポストと前記第1の導体パッドとの間、および前記第2のめっきポストと前記第2の導体パッドとの間に、順次積層されたニッケル層、パラジウム層および金層からなる下地層をそれぞれ形成することを含み、
前記第1のめっきポストと前記第2のめっきポストとを形成することは、それら第1のめっきポストと第2のめっきポストとの高さを研磨によって互いに揃えることを含み、かつ、
前記第1のトップめっき層と前記第2のトップめっき層とを形成することは、それら第1のトップめっき層と第2のトップめっき層との高さを第1のトップめっき層と第2のトップめっき層を形成するにあたってのレジストの開口径を調整することによって互いに揃えることを含む。 - 請求項7に記載のプリント配線板の製造方法であって、前記レジストの開口径を調整することは、前記第1のめっきポストの上面とレジストとの重なり部分の幅を前記第2のめっきポストの上面とレジストとの重なり部分の幅より大きくすることを含む。
- 請求項7に記載のプリント配線板の製造方法であって、前記リフロー後の前記略半球状の第1のトップめっき層および前記略半球状の第2のトップめっき層の厚みは、20μm~40μmである。
- 請求項7に記載のプリント配線板の製造方法であって、前記第1のめっきポストおよび前記第2のめっきポストは、銅を主成分とする金属からそれぞれ形成されている。
- 請求項7に記載のプリント配線板の製造方法であって、前記第1のめっきポスト上に第1の中間層を介して前記第1のトップめっき層を形成することと、前記第2のめっきポスト上に第2の中間層を介して前記第2のトップめっき層を形成することとを含み、
前記第1の中間層および前記第2の中間層は、順次積層されたニッケル層、パラジウム層および金層からなる。 - 請求項7に記載のプリント配線板の製造方法であって、前記第1のめっきポスト上に第1の中間層を介して前記第1のトップめっき層を形成することと、前記第2のめっきポスト上に第2の中間層を介して前記第2のトップめっき層を形成することとを含み、
前記第1の中間層および前記第2の中間層は、ニッケルを主成分とする金属からそれぞれ形成されている。 - 請求項7に記載のプリント配線板の製造方法であって、前記第1のトップめっき層および前記第2のトップめっき層は、スズを主成分とする金属からそれぞれ形成されている。
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