JP7378174B1 - 搬送用ユニット及び搬送用テーブルユニット - Google Patents

Abstract

【課題】ワークを所望の位置に搬送し、ワークを所望の位置に静置することが可能な搬送用ユニットを提供する。
【解決手段】この発明に係る搬送用ユニット１００は、第１ピストン２０と、第２ピストン３０と、を備え、第２ピストン３０への流体の供給が停止されている状態で、第１ピストン２０に流体が供給されることにより第１ピストン２０によりワークＷを所望の位置に搬送可能な搬送可能状態と、搬送可能状態に引き続いて第１ピストン２０への流体の供給が継続されている状態で、所望の位置において位置決めされたワークＷを第２ピストン３０に流体が供給されることにより第２ピストン３０よって所望の位置に保持可能な位置保持状態と、位置保持状態に引き続いて第２ピストン３０への流体の供給が継続されている状態で、第１ピストン２０への流体の供給が停止されることにより、ワークＷを所望の位置に静置する静置状態と、を切り替え可能に構成されている。
【選択図】図７Ｃ

Description

この発明は、搬送用ユニット及び搬送用テーブルユニットに関する。

従来、テーブル上に載置された搬送対象物であるワークを搬送する搬送用ユニットが提案されている。特許文献１の搬送用ユニットはテーブルに組み込まれており、複数のボールと、複数のボールそれぞれを回転可能に収容する複数の回転ボール保持具と、を有している。各回転ボール保持具は上方に開口しており、この開口から突出した複数のボールの上部にワークが載置される。各ボールが各回転ボール保持具内において回転することによりワークを搬送することができる。

具体的に、搬送用ユニットは空気を用いたピストンの上下により回転ボール保持具を上下に移動可能に構成されている。搬送用ユニットに空気が送り込まれてピストンが回転ボール保持具を上昇させた場合、ボールの上端がテーブルの上面よりも上になる。この場合、複数のボールの上部に載置されたワークは、複数のボールの回転により所望の位置に搬送される。一方、搬送用ユニットに空気が送り込まれておらずピストンが回転ボール保持具を下降させた場合、ボールの上端がテーブルの上面に一致する。この場合、ワークは、ボールの上端と接しているに過ぎないため搬送されず、テーブルの上面の所望の位置に載置されている。このように特許文献１の搬送用ユニットによれば、空気によるピストンの上下によりワークの搬送及び載置を制御することができる。

特開２００３－２９２１２８号公報

しかしながら、特許文献１に記載の搬送用ユニットでは、搬送されたワークを所望の位置に保持した後に、ワークの自重により下降させてワークを前記所望の位置に静置しようとしても、ワークの重心位置によってはワークが所望の位置からずれてしまいワークを所望の位置に静置することができない。

それゆえに、この発明の主たる目的は、ワークを所望の位置に搬送することが可能であるとともに、ワークを所望の位置に静置することが可能な搬送用ユニット及び搬送用テーブルユニットを提供することである。

この発明にかかる搬送用ユニットは、搬送対象物であるワークを所望の搬送方向に搬送可能とするための少なくとも１つの第１ピストンと、所望の位置において位置決めされたワークを所望の位置に保持するための少なくとも１つの第２ピストンと、少なくとも１つの第１ピストンをスライド可能に収容する少なくとも１つの第１ピストン収容部、及び、少なくとも１つの第２ピストンをスライド可能に収容する少なくとも１つの第２ピストン収容部を有するとともに、ワークを支持するピストン収容躯体と、を備える搬送用ユニットであって、第２ピストンと第２ピストン収容部との間への流体の供給が停止されている状態で、第１ピストンと第１ピストン収容部との間に流体が供給されることにより第１ピストンによってワークを所望の位置に搬送可能な搬送可能状態と、搬送可能状態に引き続いて第１ピストンと第１ピストン収容部との間への流体の供給が継続されている状態で、所望の位置において位置決めされたワークを第２ピストンと第２ピストン収容部との間に流体が供給されることにより第２ピストンによって所望の位置に保持可能な位置保持状態と、位置保持状態に引き続いて第２ピストンと第２ピストン収容部との間への流体の供給が継続されている状態で、第１ピストンと第１ピストン収容部との間への流体の供給が停止されることにより、位置保持状態において所望の位置に保持されているワークを所望の位置に静置する静置状態と、を切り替え可能に構成されている。

上記構成によれば、搬送可能状態ではワークを所望の位置に搬送可能である一方、位置保持状態において所望の位置に位置保持されたワークを、静置状態において所望の位置に静置可能である。
具体的に説明すると、搬送可能状態では、ワークを搬送するための第１ピストンを作動させるために流体を供給するが、ワークを所望の位置に保持するための第２ピストンには流体を供給せず作動させない。これにより、搬送可能状態では、第２ピストンによるワークの位置保持動作を除外しつつ、第１ピストンによりワークを所望の位置にスムーズに搬送することができる。
また、位置保持状態では、第１ピストンを作動させたままとするとともに、第２ピストンを作動させるために流体を供給することにより第２ピストンによってワークを所望の位置に保持する。また、静置状態において第２ピストンを作動させたまま第１ピストンの作動を停止させることにより、所望の位置に位置保持されたワークを、所望の位置からの位置ずれを抑制しつつ静置することができる。

このように、上記搬送用ユニットにはワークを所望の位置に静置するための静置状態が備えられているため、たとえワークの重心位置の変動が生じても位置ずれを抑制して所望の位置にワークを静置することができる。例えば、ワークの重心位置はワーク内の重量が重いほうに偏る。この場合、搬送したワークを所望の位置に保持した後に載置面等に静置する際に、偏った重心位置の影響を受けてワークは所望の位置からずれて静置されてしまう可能性がある。このような場合でも、上記の構成によれば、位置保持状態において所望の位置に第２のピストンにより保持されたワークを、静置状態において当該所望の位置に静置することができる。つまり、位置保持状態から静置状態に移行する際に、所望の位置からの位置ずれを抑制しつつワークを静置することができる。

この発明によれば、ワークを所望の位置に搬送することが可能であるとともに、ワークを所望の位置に静置することが可能な搬送用ユニット及び搬送用テーブルユニットを得ることができる。

この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点は、図面を参照して行う以下の発明を実施するための形態の説明から一層明らかとなろう。

この発明の第１の実施の形態にかかる搬送用テーブルユニットの全体図である。 搬送用ユニットの全体断面図である。 （ａ）は第１ピストンの断面図であり、（ｂ）は第２ピストンの断面図である。 ピストン収容躯体を示す図であり、（ａ）はピストン収容躯体の側面図であり、（ｂ）はピストン収容躯体の平面図である。 第１蓋部及び第１ピストンの分解断面図である。 第２蓋部、第２ピストン、伸縮部材、第１支持部、第２支持部の分解断面図である。 搬送用テーブルユニットの初期状態を示すフロー図であり、（ａ）は搬送用テーブルユニット全体の側面図、（ｂ）は一部拡大模式図である。 搬送用テーブルユニットの搬送可能状態を示すフロー図であり、（ａ）は搬送用テーブルユニット全体の側面図、（ｂ）は一部拡大模式図である。 搬送用テーブルユニットの位置保持状態を示すフロー図であり、（ａ）は搬送用テーブルユニット全体の側面図、（ｂ）は一部拡大模式図である。 搬送用テーブルユニットの静置状態を示すフロー図であり、（ａ）は搬送用テーブルユニット全体の側面図、（ｂ）は一部拡大模式図である。 搬送用テーブルユニットの終了状態を示すフロー図であり、（ａ）は搬送用テーブルユニット全体の側面図、（ｂ）は一部拡大模式図である。 この発明の第２の実施の形態にかかる搬送用テーブルユニットの全体図である。 （ａ）は搬送用テーブルユニットの搬送可能状態を示すフロー図であり、（ｂ）は搬送用テーブルユニットの位置保持状態を示すフロー図であり、（ｃ）は搬送用テーブルユニットの静置状態を示すフロー図である。

＜第１の実施の形態＞
この発明の第１の実施の形態に係る搬送用テーブルユニットについて説明する。図１は、この発明の第１の実施の形態にかかる搬送用テーブルユニットの全体図である。

（１）搬送用テーブルユニット
搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔは、搬送用テーブルＴと、搬送対象物であるワークＷを搬送する搬送用ユニット１００と、を備える。搬送用ユニット１００は、搬送用テーブルＴに組み込まれている。本実施の形態では、搬送用ユニット１００を搬送及び所望の位置に静置することにより、搬送用テーブルＴとともに搬送用テーブルＴに載置されたワークＷを搬送し及び所望の位置に静置する。

搬送用テーブルＴは、例えば図１に示すように平板状の直方体状であり、互いに上下に対向する躯体嵌込面ＦＳとテーブル面ＴＳとを有する。本実施の形態では、搬送用テーブルＴは、躯体嵌込面ＦＳが下方である載置面ＰＳ側に向き、テーブル面ＴＳが上方に向くように配置される。テーブル面ＴＳにワークＷが載置される。躯体嵌込面ＦＳには搬送用ユニット１００を収容する凹部Ｔ１が形成されている。凹部Ｔ１は、躯体嵌込面ＦＳにおいて下方に開口するように形成されている。この凹部Ｔ１は、搬送用ユニット１００を嵌め込むことが可能な大きさに形成されており、直方体状である。また、凹部Ｔ１は、奥側に凹部底面Ｔ１ａを有している。図１では凹部底面Ｔ１ａは載置面ＰＳと対向している。

搬送用ユニット１００は、ワークＷを所望の搬送方向に搬送可能であるとともに、ワークＷを所望の位置に静置可能に構成されている。搬送用ユニット１００は、直方体状であり、第１面Ｓ１と、第１面Ｓ１と対向する第２面Ｓ２と、を有している。この搬送用ユニット１００は、第１ピストン２０及び第２ピストン３０を備えている（図２、図３）。第１ピストン２０及び第２ピストン３０は第２面Ｓ２からの突出長さを変化させるように上下動可能である。この第１ピストン２０及び第２ピストン３０の上下動によりワークＷを搬送可能とし、かつ、所望の位置に保持されたワークＷを所望の位置に静置することができる。

さらに説明すると、凹部Ｔ１は、搬送用ユニット１００が嵌め込まれた状態で、第１ピストン２０が躯体嵌込面ＦＳよりも外側に突出可能であり、第２ピストン３０が躯体嵌込面ＦＳよりも外側に突出可能な深さに形成されている。ワークＷを搬送可能にする場合（搬送可能状態）において、第１ピストン２０が躯体嵌込面ＦＳよりも外側に突出して載置面ＰＳと接触することにより、搬送用テーブルＴが所望の搬送方向（本実施の形態では水平方向）に搬送可能となる。これにより搬送用テーブルＴに載置されたワークＷが所望の搬送方向に搬送可能となる。また、搬送され所望の位置に位置決めされたワークＷを当該所望の位置に保持する場合（位置保持状態）において、第１ピストン２０が載置面ＰＳと接触した状態のまま、第２ピストン３０が躯体嵌込面ＦＳよりも外側に突出して載置面ＰＳと接触することにより、搬送用テーブルＴが所望の位置に保持される。これにより搬送用テーブルＴに載置されたワークＷが所望の位置に保持される。さらに、所望の位置に位置保持されたワークＷを当該所望の位置に静置する場合（静置状態）において、第１ピストン２０が躯体嵌込面ＦＳよりも内側に戻り、かつ第２ピストン３０が載置面ＰＳと接触した状態のままとなる。この場合、第１ピストン２０による支持がなくなり第２ピストン３０のみの支持となるため、搬送用テーブルＴが載置面ＰＳに対して下降し、所望の位置に静置される。よって、搬送用テーブルＴに載置されたワークＷが所望の位置に静置される。

次に、搬送用ユニット１００についてさらに説明する。図２は、搬送用ユニットの全体断面図である。図３は、（ａ）は第１ピストンの断面図であり、（ｂ）は第２ピストンの断面図である。図４は、ピストン収容躯体を示す図であり、（ａ）はピストン収容躯体の側面図であり、（ｂ）はピストン収容躯体の平面図である。図５は、第１蓋部及び第１ピストンの分解断面図である。図６は、第２蓋部、第２ピストン、伸縮部材、第１支持部、第２支持部の分解断面図である。

（２）全体構成
搬送用ユニット１００は、図２に示すように、ピストン収容躯体１０と、ワークＷを所望の搬送方向に沿って所望の位置に搬送可能するための複数の第１ピストン２０と、所望の位置に位置決めされたワークＷを当該所望の位置に保持させるための複数の第２ピストン３０と、を備える。ピストン収容躯体１０は、複数の第１ピストン２０及び複数の第２ピストン３０を収容するために、複数の第１ピストン収容部１１ａ及び複数の第２ピストン収容部１１ｂを有している。各第１ピストン収容部１１ａは、各第１ピストン２０をスライド可能に収容する。各第２ピストン収容部１１ｂは、各第２ピストン３０をスライド可能に収容する。

複数の第１ピストン２０及び複数の第２ピストン３０のピストン収容躯体１０から下方への突出長さを制御することにより、ピストン収容躯体１０とともにワークＷを搬送可能とするとともに（搬送可能状態）、また、ワークＷを所望の位置に保持可能とし（位置保持状態）、またワークＷを所望の位置に静置可能とする（静置状態）。

搬送用ユニット１００は、さらに、複数の第１ピストン収容部１１ａそれぞれを封止する複数の第１蓋部４０と、複数の第２ピストン収容部１１ｂそれぞれを封止する複数の第２蓋部５０とを備える。また、搬送用ユニット１００は、第２ピストン３０のスライドを補助する伸縮部材６０と、伸縮部材６０を支持する第１支持部７０及び第２支持部８０と、を備える。

（３）各部の構成
以下に、各部の構成についてさらに説明する。

図２等に示すように、ピストン収容躯体１０の延びる方向を左右方向とし、左右方向に直交して第１ピストン２０及び第２ピストン３０が進退する方向を上下方向とする。また、左右方向及び上下方向に直交する方向を前後方向とする。

（３－１）ピストン収容躯体
図２に示すように、ピストン収容躯体１０は左右方向に延びた直方体状であり、第１面Ｓ１が上側であり、第２面Ｓ２が下側である。ピストン収容躯体１０は、右側の第１端部１５ａと、左側の第２端部１５ｂとを有する。第１端部１５ａには第１供給口１２ａ及び第２供給口１２ｂが上下方向に並んで形成されている。第１供給口１２ａには第１ピストン２０を上下動させるための気体及び液体等の流体が供給される。第２供給口１２ｂには第２ピストン３０を上下動させるための流体が供給される。図１の場合、第１供給口１２ａは第１面Ｓ１側に形成されており、第２供給口１２ｂは第２面Ｓ２側に形成されており、第１供給口１２ａは第２供給口１２ｂよりも上側に形成されている。本実施の形態では、第１供給口１２ａの左側先端には後述の第１貫通路１４ａが連続している。また、第２供給口１２ｂの左側先端には後述の第２貫通路１４ｂが連続している。

また、ピストン収容躯体１０には複数の第１ピストン収容部１１ａ及び複数の第２ピストン収容部１１ｂが形成されている。各第１ピストン収容部１１ａ及び各第２ピストン収容部１１ｂは、これに限定されないが、円筒形状の開口としてピストン収容躯体１０に形成されている。各第１ピストン２０及び各第２ピストン３０は、各第１ピストン収容部１１ａ及び各第２ピストン収容部１１ｂの開口と同様に略円柱形状に形成されている。そして、各第１ピストン収容部１１ａは、各第１ピストン２０をスライド可能に収容する。具体的に、各第１ピストン収容部１１ａは、その内面が各第１ピストン２０の外面と当接しており、その内面を各第１ピストン２０が上下に摺動可能な状態で各第１ピストン２０を収容する。また、各第２ピストン収容部１１ｂは、各第２ピストン３０をスライド可能に収容する。具体的に、各第２ピストン収容部１１ｂは、その内面が各第２ピストン３０の外面と当接しており、その内面を各第２ピストン３０が上下に摺動可能な状態で各第２ピストン３０を収容する。なお、第１ピストン収容部１１ａの形状と第２ピストン収容部１１ｂの形状とは同一形状であることが好ましい。

ピストン収容躯体１０において、複数の第１ピストン収容部１１ａは、搬送方向（本実施の形態では水平方向）の面内において均一に分散して配置されていると好ましい。また、複数の第２ピストン収容部１１ｂもまた搬送方向の面内において均一に分散して配置されていると好ましい。この第１ピストン収容部１１ａに収容される複数の第１ピストン２０もまた水平方向の面内において概ね均一に分散して配置されるため、複数の第１ピストン２０によりワークＷが概ね均一に支持される。よって、第１ピストン２０によりワークＷを搬送する際に水平方向からの傾きを抑制することができる。

また、第２ピストン２０を収容する第２ピストン収容部１１ｂは、ピストン収容躯体１０の少なくともいずれか一方の端部に位置することが好ましい。

互いに隣接する第１ピストン収容部１１ａと第２ピストン収容部１１ｂとの間、互いに隣接する第１ピストン収容部１１ａどうしの間には、連結部１３が位置している。連結部１３は、互いに隣接する第１ピストン収容部１１ａと第２ピストン収容部１１ｂとを仕切る壁である。また、連結部１３は、互いに隣接する第１ピストン収容部１１ａどうしを仕切る壁でもある。２つの第２ピストン収容部１１ｂどうしが互いに隣接している場合には、それらの間にも連結部１３が位置している。

連結部１３には、連結部１３を左右方向に貫通する第１貫通路１４ａ及び第２貫通路１４ｂが形成されている。第１貫通路１４ａは上下方向において第１供給口１２ａに対応する位置に形成されており、第１供給口１２ａに供給された流体を第２端部１５ｂの方向へ通過させる。第２貫通路１４ｂは上下方向において第２供給口１２ｂに対応する位置に形成されており、第２供給口１２ｂに供給された流体を第２端部１５ｂの方向へ通過させる。

（３－２）第１ピストン及び第１蓋部
各第１ピストン２０は、第２面Ｓ２からの突出距離が変動可能なように第１ピストン収容部１１ａ内に収容されている。各第１蓋部４０は、各第１ピストン２０が収容された状態で各第１ピストン収容部１１ａの第１面Ｓ１側を封止する。第１供給口１２ａから各第１ピストン収容部１１ａ内に流体が供給されると、各第１ピストン２０は各第１蓋部４０から離れる方向に向かって押圧される。

図３の（ａ）、図５に示すように、各第１ピストン２０は、ボール保持具２１と、カバー部材２２と、メインボール２３と、複数のサポートボール２４と、を有する。第１ピストン２０は第１ピストン収容部１１ａの形状に合わせて円柱形状に形成されている。

ボール保持具２１は、第１蓋部４０とは反対側において、メインボール２３を回転可能に保持している。ボール保持具２１は、押圧部２１ａと、段差押圧部２１ｂと、鍔部２１ｃと、ボール収容部２１ｄと、を有する。

ボール収容部２１ｄは、ボール保持具２１の中央部に下方に開口する球面状凹部として形成されている。ボール収容部２１ｄは、球状のメインボール２３と、メインボール２３よりも直径が小さい複数の球状のサポートボール２４と、を収容する。具体的に、ボール収容部２１ｄの内面であるサポートボール回転面２１ｇには複数のサポートボール２４が並んで配置されている。ボール収容部２１ｄは、複数のサポートボール２４を介してメインボール２３を保持する。メインボール２３の外面であるメインボール外周面２３ａは、複数のサポートボール２４それぞれのサポートボール外周面２４ａと接する。ボール収容部２１ｄ内では、複数のサポートボール２４が回転するとともにメインボール２３が回転する。メインボール２３が載置面ＰＳと当接した状態で回転する場合、搬送用ユニット１００は所望の搬送方向に沿って所望の位置にスムーズに搬送される。

特に、メインボール２３が球状であるため、メインボール２３と載置面ＰＳとの接触面積が小さく抑えられるため、ボール収容部２１ｄ内においてメインボール２３が回転しやすく、結果として搬送用ユニット１００がスムーズに搬送される。さらに、メインボール外周面２３ａとサポートボール回転面２１ｇとの間に複数のサポートボール２４が配置されているため、メインボール２３に負荷される荷重は、メインボール２３と載置面ＰＳとの接触点だけでなく、メインボール２３と複数のサポートボール２４との接触点においても分散される。よって、ボール収容部２１ｄにおいてメインボール２３をスムーズに回転させることができるため、搬送用ユニット１００を所望の位置にスムーズに搬送することができる。

ボール収容部２１ｄの外周部には、第１カバー受け部２１ｅ及び第２カバー受け部２１ｆが形成されている。第１カバー受け部２１ｅ及び第２カバー受け部２１ｆは、カバー部材２２が外側から嵌め込まれて係止される部分である。第１カバー受け部２１ｅは、ボール収容部２１ｄの先端部である。第２カバー受け部２１ｆは、第１カバー受け部２１ｅよりも第１蓋部４０側の段差部である。ボール収容部２１ｄの外周面のうち第１カバー受け部２１ｅと第２カバー受け部２１ｆとの間には、リング状のリングバネＲＳを嵌めるためのバネ用溝ＳＧが形成されている。

押圧部２１ａは、第１供給口１２ａからの流体により押圧される。押圧部２１ａは、ボール保持具２１においてボール収容部２１ｄとは上下方向（第１ピストン２０が上下動する方向）の反対側に形成されている。押圧部２１ａは、上下方向視において円柱形状に形成されている。押圧部２１ａは第１蓋部４０の第１ピストン当接面４２ａと当接する押圧面２１ａ１を有している。押圧面２１ａ１は、押圧部２１ａが第１供給口１２ａからの流体により押圧されていない場合に、第１ピストン当接面４２ａと密着可能な形状であると好ましい。

段差押圧部２１ｂは、押圧部２１ａとともに第１供給口１２ａからの流体により押圧される。段差押圧部２１ｂは、押圧部２１ａに対してボール収容部２１ｄ側に連続しており、押圧部２１ａよりも直径が大きい円柱形状である。段差押圧部２１ｂは、押圧部２１ａに対してボール収容部２１ｄ側に凹んでいる。よって、押圧部２１ａと段差押圧部２１ｂとにより段差部２１ｈが形成されている。段差部２１ｈにより、押圧部２１ａが第１蓋部４０と当接している場合でも、第１供給口１２ａから供給される流体が導入される第１流体空間１０ａが形成されている。第１流体空間１０ａは第１貫通路１４ａと連通している。段差押圧部２１ｂには、外周面に第１ＯリングＯＲ１を嵌めるための第１Ｏリング収容溝ＨＯ１が形成されている。

鍔部２１ｃは、第１ピストン２０が第１ピストン収容部１１ａから抜け出るのを阻止する。鍔部２１ｃは、段差押圧部２１ｂの第１Ｏリング収容溝ＨＯ１に対してボール収容部２１ｄ側に連続しており、第１Ｏリング収容溝ＨＯ１よりも大きい直径を有して外方に突出するように形成されている。

カバー部材２２は、ボール保持具２１の先端に取り付けられ、メインボール２３及びサポートボール２４がボール保持具２１から抜け出るのを阻止する。カバー部材２２は、カバー篏合部２２ａと、ボール抜止部２２ｂと、を有する。

カバー篏合部２２ａは、ボール収容部２１ｄの外周部に嵌まり込むことが可能なように円筒形状に形成されている。カバー篏合部２２ａの内周面にはリングバネＲＳを嵌めるための対向バネ用溝ＦＳＧが形成されている。対向バネ用溝ＦＳＧは、カバー部材２２がボール保持具２１に取り付けられた場合にバネ用溝ＳＧと重なる位置に形成される。ボール抜止部２２ｂは、メインボール２３と当接可能なようにカバー篏合部２２ａから内径側に延びている。ボール保持具２１にメインボール２３及びサポートボール２４が収容された状態でボール抜止部２２ｂがボール保持具２１に嵌め込まれた場合、ボール抜止部２２ｂのカバー外面２２ｃから外側には、メインボール２３の半分未満の部分が露出している。

図３の（ａ）、図５に示すように、各第１蓋部４０は、第１リング取付部４１と、第１ピストン当接部４２と、外面部４３と、を有する。第１蓋部４０は第１ピストン収容部１１ａの形状に合わせて円形板状に形成されている。

外面部４３は、第１蓋部４０が第１ピストン収容部１１ａに収容された状態で、第１ピストン収容部１１ａに対して外側に向く部分である。外面部４３は円形板状に形成されている。第１リング取付部４１は、外面部４３に対してボール保持具２１側に連続しており、外面部４３よりも直径が大きい円形板状である。よって、外面部４３と第１リング取付部４１とは段差を形成している。この第１リング取付部４１に対応して、第１ピストン収容部１１ａの内周面には第１スナップリングＳＲ１が嵌め込まれる第１リング用溝ＲＧ１（図３の（ａ）、図４）が形成されている。また、第１ピストン当接部４２は、第１リング取付部４１に対してボール保持具２１側に連続しており、第１リング取付部４１よりも直径が小さい円形板状である。よって、第１ピストン当接部４２と第１リング取付部４１との段差により、第２ＯリングＯＲ２が嵌め込まれる第２Ｏリング収容溝ＨＯ２が形成されている。この第２Ｏリング収容溝ＨＯ２に対応して、第１ピストン収容部１１ａの内周面には段差からなる第１蓋部取付部１３ａ（図３の（ａ）、図４）が形成されている。

上記のカバー部材２２がボール保持具２１の外側先端に取り付けられることで第１ピストン２０が形成される。そして、第１ピストン２０が第１ピストン収容部１１ａに収容された状態で第１蓋部４０により第１ピストン収容部１１ａが封止される。

この場合、カバー篏合部２２ａは、ボール収容部２１ｄの外周を覆いつつ、第１カバー受け部２１ｅ及び第２カバー受け部２１ｆに係止している。バネ用溝ＳＧ及び対向バネ用溝ＦＳＧにはリングバネＲＳが嵌め込まれている。この状態で第１ピストン２０は、第１面Ｓ１側から第１ピストン収容部１１ａに収容されている。このとき、第１Ｏリング収容溝ＨＯ１には第１ＯリングＯＲ１が嵌め込まれている。さらに、第１ピストン収容部１１ａの内周面には第２貫通路１４ｂの上下それぞれに第７Ｏリング収容溝ＨＯ７及び第８Ｏリング収容溝ＨＯ８（図３の（ａ）、図４）が形成されている。第７Ｏリング収容溝ＨＯ７及び第８Ｏリング収容溝ＨＯ８それぞれには第７ＯリングＯＲ７及び第８ＯリングＯＲ８が嵌め込まれている。また、第１ピストン収容部１１ａの内周面には段差からなる第１ピストン抜止部１３ｃ（図３の（ａ）、図４）が形成されている。第１ピストン２０の上下動に応じて、鍔部２１ｃが第１ピストン抜止部１３ｃに係止又は第１ピストン抜止部１３ｃから離れる。鍔部２１ｃが第１ピストン抜止部１３ｃに係止することにより、第１ピストン２０が第１ピストン収容部１１ａから突出する程度が規制されるとともに、第１ピストン収容部１１ａから抜け出るのが阻止される。

また、第１蓋部４０は、第１面Ｓ１側に開口する第１ピストン収容部１１ａを覆うように第１ピストン収容部１１ａに取り付けられる。このとき、第１蓋部４０は、第１ピストン当接部４２が第１ピストン収容部１１ａ内に向くように第１ピストン収容部１１ａに取り付けられる。また、外面部４３とピストン収容躯体１０とは面一になっている。第１リング取付部４１及び第１リング用溝ＲＧ１には第１スナップリングＳＲ１が嵌め込まれており、かつ、第２Ｏリング収容溝ＨＯ２及び第１蓋部取付部１３ａには第２ＯリングＯＲ２が嵌め込まれている。これにより、第１蓋部４０は第１ピストン収容部１１ａ内に固定されている。

第１蓋部４０の第１ピストン当接面４２ａと第１ピストン２０の押圧面２１ａ１とは当接可能となっている。押圧面２１ａ１が第１ピストン当接面４２ａに当接している場合、第１ピストン２０は第１ピストン収容部１１ａ内に最も退避している。第１供給口１２ａから流体が供給されると、まず、第１貫通路１４ａを介して、第１流体空間１０ａのうち第１蓋部４０及び段差部２１ｈに囲まれる部分に流体が供給される。この流体の供給によって当該囲まれる部分の流体の圧力が高まり、段差押圧部２１ｂが第１蓋部４０とは反対側に押圧される。第１供給口１２ａからさらに流体が供給されると、押圧部２１ａが第１ピストン当接部４２から離れるに従って、第１流体空間１０ａが第１蓋部４０と段差部２１ｈとの間だけでなく第１蓋部４０と押圧部２１ａとの間にも拡大する。この第１流体空間１０ａの拡大により、第１ピストン２０は第２面Ｓ２側において第１ピストン収容部１１ａから外側に向かうように突出する。そして、鍔部２１ｃが第１ピストン抜止部１３ｃに係止されるまで、第１ピストン２０は第１ピストン収容部１１ａから外側に突出する。第１流体空間１０ａへの流体の供給が制御されることにより、第１ピストン２０の第２面Ｓ２からの突出の程度が制御される。

（３－３）第２ピストン、第２蓋部、第１支持部、第２支持部及び伸縮部材
各第２ピストン３０は、第２面Ｓ２からの突出距離が変動可能なように第２ピストン収容部１１ｂ内に収容されている。各第２蓋部５０は、各第２ピストン３０が収容された状態で各第２ピストン収容部１１ｂの第１面Ｓ１側を封止する。第１支持部７０及び第２支持部８０は、第２ピストン３０と第２蓋部５０とに伸縮部材６０を掛け渡す。第２供給口１２ｂから各第２ピストン収容部１１ｂ内に流体が供給されると、各第２ピストン３０は各第２蓋部５０から離れる方向に向かって押圧される。

図３の（ｂ）、図６に示すように、各第２ピストン３０は、位置保持部３１と、第２ピストン脚部３２と、第２支持部止め部３３と、第２支持部取付部３４と、第２蓋部対向部３５と、を有する。第２ピストン３０は第２ピストン収容部１１ｂの形状に合わせて円筒形状に形成されている。具体的に、位置保持部３１、第２支持部止め部３３、第２支持部取付部３４及び第２蓋部対向部３５は、この順で第２蓋部５０側に連続しており、これらの中央部に頭部篏合孔３０ａ、軸部貫通孔３０ｂ及び第２支持部用孔３０ｃが形成されることにより円筒形状に形成されている。さらに、第２ピストン脚部３２が第２蓋部対向部３５の第２蓋部５０側に連続しており、後述の第２流体空間１０ｂを形成するように円筒形状に形成されている。

位置保持部３１は、載置面ＰＳと当接して搬送用ユニット１００を所望の位置に保持するとともに静置する。位置保持部３１は、第２ピストン３０のうち最も先端部であり、載置面ＰＳと対向している。位置保持部３１は、載置面ＰＳと直接に当接可能な位置保持面３１ａを有する。位置保持面３１ａは載置面ＰＳに沿った平面である。これにより位置保持面３１ａと載置面ＰＳとの接触面積を大きく確保することができ、位置保持状態において位置保持面３１ａが載置面ＰＳと接触する場合には搬送用ユニット１００の移動が阻止されて所望の位置に保持される。また、静置状態では、位置保持面３１ａが載置面ＰＳと接触して搬送用ユニット１００が位置保持された状態で搬送用ユニット１００が下降することにより搬送用ユニット１００が所望の位置に静置される。位置保持部３１の中央部には後述の第２ネジ部８２の頭部８２ａが嵌め込まれる頭部篏合孔３０ａが形成されている。

第２支持部止め部３３は、後述の第２支持部８０を第２ピストン３０に支持止めする。第２支持部止め部３３の中央部には第２ネジ部８２の軸部８２ｂの一部が嵌め込まれる軸部貫通孔３０ｂが形成されている。第２支持部止め部３３の内径は位置保持部３１の内径よりも小径であり、第２支持部止め部３３は位置保持部３１よりも内径側に延びている。

第２支持部取付部３４は、後述の第２支持部８０の第２支持本体部８１が取り付けられる。第２蓋部対向部３５は、第２ピストン収容部１１ｂに第２ピストン３０及び第２蓋部５０が収容された状態で、第２蓋部５０に面して対向する部分である。第２支持部取付部３４及び第２蓋部対向部３５の中央部には、第２支持本体部８１を取り付けるための第２支持部用孔３０ｃが形成されている。第２支持部取付部３４及び第２蓋部対向部３５の内径は第２支持部止め部３３の内径よりも大径である。

第２ピストン脚部３２は、第２蓋部対向部３５から第２蓋部５０に向かって連続しており、第２蓋部５０に当接可能に延びている。第２ピストン脚部３２の内径は第２蓋部対向部３５の内径よりも大径である。そして、少なくとも第２ピストン脚部３２と第２蓋部５０と第２蓋部対向部３５とに囲まれる空間により、第２供給口１２ｂから供給される流体が導入される第２流体空間１０ｂが形成されている。また、第２ピストン脚部３２には左右方向に貫通する第２ピストン連通路３２ａが形成されている。第２ピストン連通路３２ａは、少なくとも一部において第２貫通路１４ｂと連通している。第２ピストン連通路３２ａ及び第２貫通路１４ｂにより、隣接する第２流体空間１０ｂを連通するための第２連通路９２が形成されている。第２ピストン連通路３２ａと第２貫通路１４ｂとは、第２ピストン３０が第２ピストン収容部１１ｂ内を上下動しても連通するように構成されている。本実施の形態では、第２貫通路１４ｂは、第２ピストン連通路３２ａと接する部分において、上下方向の長さが大きくなっている。また、第２ピストン脚部３２には、第２ピストン３０の上下動を規制するために外向きに折れ曲がった脚部先端部３２ｂが設けられている。

図３の（ｂ）、図６に示すように、各第２蓋部５０は、第２リング取付部５１と、第３リング取付部５２と、第２ピストン当接部５３と、第１支持部取付部５４と、を有する。第２蓋部５０は第２ピストン収容部１１ｂの形状に合わせて円筒形状に形成されている。

第２リング取付部５１及び第３リング取付部５２は、第２蓋部５０が第２ピストン収容部１１ｂに収容された状態で、第２ピストン収容部１１ｂの外側に面する部分である。第３リング取付部５２は、第２蓋部５０の中心部に円形状の凹部として形成されている。第２リング取付部５１は、第３リング取付部５２を取り囲むように同心円状の凹部として形成されている。第２リング取付部５１と第３リング取付部５２との間には取付壁５１ａが立設されている。第２リング取付部５１に対応して、第２ピストン収容部１１ｂの内周面には第２スナップリングＳＲ２が嵌め込まれる第２リング用溝ＲＧ２（図３の（ｂ）、図４）が形成されている。

第１支持部取付部５４は、第２リング取付部５１及び第３リング取付部５２に対して第２ピストン３０側に連続しており、後述の第１支持部７０を第２ピストン３０に支持止めする。第１支持部取付部５４には、中央部に第１支持部７０の一部が挿通される第１支持部用小径孔５０ｂが形成されている。第１支持部取付部５４の外面には、第４ＯリングＯＲ４が嵌め込まれる第４Ｏリング収容溝ＨＯ４が形成されている。この第４Ｏリング収容溝ＨＯ４に対応して、第２ピストン収容部１１ｂの内周面には段差からなる第２蓋部取付部１３ｂ（図３の（ｂ）、図４）が形成されている。さらに、第１支持部取付部５４の外面には、第４Ｏリング収容溝ＨＯ４に対して第２ピストン３０側に、蓋連通路５０ａが形成されている。蓋連通路５０ａは第１貫通路１４ａと連通している。蓋連通路５０ａ及び第１貫通路１４ａにより、隣接する第１流体空間１０ａを連通するための第１連通路９１が形成されている。

第２ピストン当接部５３は、第２ピストン３０の第２ピストン脚部３２が当接する部分である。第２ピストン当接部５３は、第１支持部取付部５４に対して第２ピストン３０側に連続している。第２ピストン当接部５３には、中央部に第１支持部７０の一部が挿通される第１支持部用大径孔５０ｃが形成されている。第１支持部用大径孔５０ｃの直径は第１支持部用小径孔５０ｂの直径より大きい。第２ピストン当接部５３の外周面には、第３ＯリングＯＲ３が嵌め込まれる第３Ｏリング収容溝ＨＯ３が形成されている。

第１支持部７０及び第２支持部８０は、伸縮部材６０を第２ピストン３０と第２蓋部５０との間で支持する。伸縮部材６０は、位置保持部３１を第２ピストン３０の第２蓋部５０の方向に引き込むための部材である。伸縮部材６０は、例えばゴム及びバネ等の弾性部材である。伸縮部材６０は、位置保持部３１が自重により搬送用ユニット１００の第２面Ｓ２側に下がることを防止する機能も有する。

第１支持部７０は、円筒形状の部材であり、第１後端部７０ａと、第１中段部７０ｂと、蓋側係止部７０ｃと、第１先端部７０ｄと、を有する。第１後端部７０ａ、第１中段部７０ｂ、蓋側係止部７０ｃ及び第１先端部７０ｄは、順に第２ピストン３０側に向かって連続している。第１後端部７０ａの外周面には、第３スナップリングＳＲ３が嵌め込まれる第３リング用溝ＲＧ３が形成されている。第１中段部７０ｂは、第１後端部７０ａと概ね同一の直径である。第１中段部７０ｂの外周面には、第５ＯリングＯＲ５が嵌め込まれる第５Ｏリング収容溝ＨＯ５が形成されている。蓋側係止部７０ｃは、第１中段部７０ｂよりも大径に形成されている。第１先端部７０ｄは、蓋側係止部７０ｃよりも小径に形成されており、外周面がねじ切りされている。

第２支持部８０は、伸縮部材６０が取り付けられる第２支持本体部８１と、第２支持本体部８１を第２ピストン３０に固定するための第２ネジ部８２と、を有する。

第２支持本体部８１は、円筒形状の部材であり、第２後端部８１ａと、第２先端段差部８１ｂと、第２先端部８１ｃと、を有する。第２後端部８１ａ、第２先端段差部８１ｂ及び第２先端部８１ｃは、順に第２蓋部５０側に向かって連続している。第２後端部８１ａの外周面には、第６ＯリングＯＲ６が嵌め込まれる第６Ｏリング収容溝ＨＯ６が形成されている。第２先端段差部８１ｂは、第２後端部８１ａよりも小径に形成されており、外周面がねじ切りされている。第２先端部８１ｃは、第２先端段差部８１ｂよりも小径に形成されている。第２後端部８１ａ及び第２先端段差部８１ｂの中央部には、第２後端部８１ａの後端において開口する第２ネジ孔８１ｄが形成されている。第２ネジ孔８１ｄの内周面はねじ切りされている。

第２ネジ部８２は、頭部８２ａと、頭部８２ａよりも小径であり頭部８２ａに連続する軸部８２ｂと、を有する。

上記の第１支持部７０の第１先端部７０ｄと第２支持部８０の第２支持本体部８１の第２先端部８１ｃとを対向させた状態で、第１先端部７０ｄのねじ切り部分に伸縮部材６０の一端６０ａを係止し、第２支持部８０の第２先端段差部８１ｂのねじ切り部分に伸縮部材６０の他端６０ｂを係止する。そして、第２支持本体部８１が第２ピストン３０の第２支持部用孔３０ｃに嵌め込まれる。このとき、第２後端部８１ａが第２支持部取付部３４に嵌め込まれており、第６Ｏリング収容溝ＨＯ６には第６ＯリングＯＲ６が嵌め込まれている。第２先端段差部８１ｂと第２蓋部対向部３５との間には隙間があることから、伸縮部材６０が係止された第２先端段差部８１ｂがスムーズに第２蓋部対向部３５内に挿入可能である。そして、第２ネジ部８２の軸部８２ｂが第２ピストン３０の軸部貫通孔３０ｂに挿通されるとともに、第２支持本体部８１の第２ネジ孔８１ｄにねじ込まれる。また、第２ネジ部８２の頭部８２ａが第２ピストン３０の頭部篏合孔３０ａ嵌め込まれる。これにより、第２支持部止め部３３を第２ネジ部８２の頭部８２ａと第２支持本体部８１の第２後端部８１ａとに挟み込み、第２支持部８０を第２ピストン３０に固定する。

前述のように組み立てた第２ピストン３０、第１支持部７０、第２支持部８０及び伸縮部材６０は、第１面Ｓ１側から第２ピストン収容部１１ｂに収容される。ここで、第２ピストン収容部１１ｂの内周面には第２貫通路１４ｂの下に第９Ｏリング収容溝ＨＯ９（図３の（ｂ）、図４）が形成されている。第９Ｏリング収容溝ＨＯ９には第９ＯリングＯＲ９が嵌め込まれている。また、第２ピストン収容部１１ｂの内周面には段差からなる第２ピストン抜止部１３ｄ（図３の（ｂ）、図４）が形成されている。第２ピストン３０の上下動に応じて、第２ピストン脚部３２の脚部先端部３２ｂが第２ピストン抜止部１３ｄに係止又は第２ピストン抜止部１３ｄから離れる。脚部先端部３２ｂが第２ピストン抜止部１３ｄに係止することにより、第２ピストン３０が第２ピストン収容部１１ｂから突出する程度が規制されるとともに、第２ピストン収容部１１ｂから抜け出るのが阻止される。このとき、第２支持本体部８１は第２ピストン３０に取り付けられているが、第１支持部７０は伸縮部材６０を介して第２支持本体部８１につながれているのみである。

次に、第２ピストン３０が第２ピストン収容部１１ｂに収容された状態で、第１面Ｓ１側に開口する第２ピストン収容部１１ｂを覆うように第２蓋部５０が取り付けられる。第２蓋部５０は、第２ピストン当接部５３が第２ピストン収容部１１ｂ側に向くように第２ピストン収容部１１ｂに取り付けられる。第２リング取付部５１及び第２リング用溝ＲＧ２には第２スナップリングＳＲ２が嵌め込まれており、かつ、第４Ｏリング収容溝ＨＯ４及び第２蓋部取付部１３ｂには第４ＯリングＯＲ４が嵌め込まれている。さらに、第３Ｏリング収容溝ＨＯ３には第３ＯリングＯＲ３が嵌め込まれている。これにより、第２蓋部５０は第２ピストン収容部１１ｂ内に固定されている。

さらに、伸縮部材６０の一端６０ａが第１先端部７０ｄに取り付けられた状態で、第１支持部７０を第１後端部７０ａ側から第２蓋部５０の第１支持部用大径孔５０ｃ及び第１支持部用小径孔５０ｂに挿入する。第１支持部７０の第１中段部７０ｂと第２蓋部５０の第１支持部取付部５４とが密接しつつ、第１支持部７０の蓋側係止部７０ｃが第２蓋部５０の第１支持部取付部５４に係止する。この状態で、第３リング取付部５２及び第３リング用溝ＲＧ３には第３スナップリングＳＲ３が嵌め込まれ、かつ、第５Ｏリング収容溝ＨＯ５には第５ＯリングＯＲ５が嵌め込まれる。これにより、伸縮部材６０が、第１支持部７０及び第２支持部８０により第２蓋部５０と第２ピストン３０との間に掛け渡される。

第２蓋部５０の第２ピストン当接部５３と第２ピストン脚部３２とは当接可能となっている。第２ピストン脚部３２が第２ピストン当接部５３に当接している場合、第２ピストン３０は第２ピストン収容部１１ｂ内に最も退避している。第２供給口１２ｂから流体が供給されると、第２貫通路１４ｂから第２ピストン連通路３２ａを介して、第２蓋部５０及び第２ピストン３０に囲まれる第２流体空間１０ｂに流体が供給される。この流体の供給により第２流体空間１０ｂの流体の圧力が高まり、第２ピストン３０が第２蓋部５０とは反対側に押圧される。このとき、伸縮部材６０は伸長するため、第２ピストン３０は第２蓋部５０に向かう付勢力を伸縮部材６０から受ける。第２供給口１２ｂからさらに流体が供給されると、第２流体空間１０ｂが拡大する。この第２流体空間１０ｂの拡大により、第２ピストン３０は第２面Ｓ２側において第２ピストン収容部１１ｂから外側に向かうように突出する。そして、脚部先端部３２ｂが第２ピストン抜止部１３ｄに係止されるまで、第２ピストン３０は第２ピストン収容部１１ｂから外側に突出する。

なお、第１流体空間１０ａへの流体の供給により第２ピストン３０がピストン収容躯体１０から突出する高さは、第１ピストン２０がピストン収容躯体１０から突出する高さよりも高いことが好ましい。

（４）搬送用テーブルユニットの動きのフロー
次に、本実施の形態にかかる搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔの動きのフローについて説明する。
本実施の形態にかかる搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔでは、図１、図７Ａに示すように、搬送用ユニット１００は、その第１面Ｓ１が凹部底面Ｔ１ａに当接した状態で搬送用テーブルＴに固定される。そして、躯体嵌込面ＦＳが載置面ＰＳに向くように搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔが配置され、テーブル面ＴＳ上にワークＷが載置される。この状態で、図７Ａに示すように、搬送用ユニット１００の第２面Ｓ２は、躯体嵌込面ＦＳよりも凹部底面Ｔ１ａ側に位置している。
搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔの動きは、（４－１）初期状態、（４－２）搬送可能状態、（４－３）位置保持状態、（４－４）静置状態、（４－５）終了状態が順に行われるものである。以下にそれぞれについて説明する。

（４－１）初期状態
図７Ａは、搬送用テーブルユニットの初期状態を示すフロー図であり、（ａ）は搬送用テーブルユニット全体の側面図、（ｂ）は一部拡大模式図である。
初期状態では、第１供給口１２ａ及び第２供給口１２ｂには流体が供給されておらず、第１ピストン２０及び第２ピストン３０は第１ピストン収容部１１ａ及び第２ピストン収容部１１ｂ内に最も退避している。このとき、搬送用テーブルＴは載置面ＰＳに載置されており、搬送用テーブルＴの躯体嵌込面ＦＳは載置面ＰＳと面一である。ワークＷは搬送用テーブルＴのテーブル面ＴＳ上において載置面ＰＳに対して静置されている。さらに説明すると次の通りである。

第１ピストン２０側については、第１供給口１２ａに流体が供給されないため、第１蓋部４０及び段差部２１ｈ（図３の（ａ））に囲まれる第１流体空間１０ａに流体が供給されていない。第１ピストン２０は第１蓋部４０に当接しており、押圧面２１ａ１（図５）が第１ピストン当接面４２ａ（図５）に当接している。そして、第１ピストン２０は第１ピストン収容部１１ａ内において最も上方に退避している。このとき、第１ピストン２０のメインボール２３の頂点２３ｂは躯体嵌込面ＦＳに対して上方に位置しており、当該頂点２３ｂの躯体嵌込面ＦＳからの上向きの高さはｈ１である。つまり、メインボール２３は躯体嵌込面ＦＳよりも下方に突出していない。

さらに、第２供給口１２ｂに流体が供給されないため、第２蓋部５０及び第２ピストン３０に囲まれる第２流体空間１０ｂに流体が供給されていない。第２ピストン３０の第２ピストン脚部３２が第２蓋部５０の第２ピストン当接部５３に当接しており、第２ピストン３０は第２ピストン収容部１１ｂ内において最も上方に退避している。このとき、第２ピストン３０の位置保持部３１の位置保持面３１ａは躯体嵌込面ＦＳに対して上方に位置しており、位置保持面３１ａの躯体嵌込面ＦＳからの上向きの高さはｈ１である。つまり、位置保持部３１は躯体嵌込面ＦＳよりも下方に突出していない。ここでは、メインボール２３の頂点２３ｂの躯体嵌込面ＦＳからの上向きの高さと位置保持面３１ａの躯体嵌込面ＦＳからの上向きの高さとを同一のｈ１としたが、これに限られない。

（４－２）搬送可能状態
図７Ｂは、搬送用テーブルユニットの搬送可能状態を示すフロー図であり、（ａ）は搬送用テーブルユニット全体の側面図、（ｂ）は一部拡大模式図である。
搬送可能状態では、第１供給口１２ａには流体が供給されており、第２供給口１２ｂには流体が供給されていない。このとき、第１ピストン２０によりワークＷは載置面ＰＳに対して搬送可能となる。さらに説明すると次の通りである。

第１ピストン２０側については、第１供給口１２ａに流体が供給されることにより、まず、第１貫通路１４ａを介して、第１流体空間１０ａのうち第１蓋部４０及び段差部２１ｈに囲まれる部分に流体が供給される（図３の（ａ））。第１供給口１２ａにさらに流体が供給されることにより、押圧部２１ａ及び段差押圧部２１ｂが第１蓋部４０とは反対側に押圧されて第１流体空間１０ａが拡大することにより、第１ピストン２０は載置面ＰＳ側に押圧される。最終的には、第１ピストン２０の鍔部２１ｃが第１ピストン抜止部１３ｃに係止されるまで、第１ピストン２０は載置面ＰＳ側に押圧される。これにより、第１ピストン２０のメインボール２３の頂点２３ｂが躯体嵌込面ＦＳから下方に突出する。よって、搬送用テーブルＴ等（搬送用テーブルＴ、ピストン収容躯体１０、搬送用ユニット１００、搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔ、あるいは、ワークＷが載置された搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔ等）がメインボール２３によって上方に向かって支持されて持ち上げられる。このとき、メインボール２３の頂点２３ｂは載置面ＰＳと当接しており、メインボール２３は載置面ＰＳに対して回転可能となっている。メインボール２３の頂点２３ｂが躯体嵌込面ＦＳから載置面ＰＳ側に（下側に）突出する高さ（搬送用テーブルＴの載置面ＰＳからの高さ）はｈ２である。つまり、搬送用テーブルＴ等が載置面ＰＳから持ち上げられる高さはｈ２である。

なお、第１供給口１２ａに供給された流体は、第１貫通路１４ａ及び第１連通路９１を介して互いに隣接する第１流体空間１０ａに供給される。これにより、複数の第１流体空間１０ａに流体が供給され、複数のメインボール２３の頂点２３ｂが載置面ＰＳと当接する。

一方、第２供給口１２ｂに流体が供給されないため、図７Ａと同様に第２ピストン３０は第２ピストン収容部１１ｂ内に最も退避している。このとき、第２ピストン３０の位置保持面３１ａの躯体嵌込面ＦＳからの上向きの高さは初期状態と同じｈ１である。なお、位置保持面３１ａの載置面ＰＳからの上向きの高さはｈ３であり、高さｈ２と高さｈ１との合計に概ね一致する。よって、位置保持部３１は躯体嵌込面ＦＳよりも下方に突出しておらず、位置保持面３１ａは載置面ＰＳと当接していない。

以上の通り、搬送可能状態では、第１ピストン２０の複数のメインボール２３が躯体嵌込面ＦＳから載置面ＰＳ側に突出して載置面ＰＳに対して回転可能となることにより、搬送用テーブルＴ等が持ち上げられた状態で搬送可能となる。さらに、第２ピストン３０の位置保持面３１ａが載置面ＰＳと当接してないことから、第２ピストン３０によるワークＷの位置保持動作を除外しつつ、第１ピストン２０によりワークＷを所望の位置にスムーズに搬送可能とすることができる。

また、搬送可能状態では、第１連通路９１を介して複数の第１流体空間１０ａに一度に流体を供給することができるため、複数の第１ピストン２０の協働によりワークＷを所望の位置にスムーズに搬送することができる。

なお、第１供給口１２ａには、複数の第１ピストン２０により搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔ及びワークＷの重量の合計を持ち上げる力Ｆ１を確保するために必要な圧力で流体が供給されている。力Ｆ１は搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔ及びワークＷの重量の合計より大きい（力Ｆ１＞搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔ＋ワークＷの重量の合計）。

（４－３）位置保持状態
図７Ｃは、搬送用テーブルユニットの位置保持状態を示すフロー図であり、（ａ）は搬送用テーブルユニット全体の側面図、（ｂ）は一部拡大模式図である。
位置保持状態では、搬送可能状態に引き続いて第１供給口１２ａに流体が供給されたまま、第２供給口１２ｂに流体が供給されることにより、所望の位置において位置決めされたワークＷを所望の位置に保持可能である。

第１ピストン２０側については、搬送可能状態と同様に第１ピストン２０が載置面ＰＳ側に押圧されている。これにより、搬送用テーブルＴ等が第１ピストン２０により持ち上げられたままである。このとき、メインボール２３の頂点２３ｂは載置面ＰＳと当接しており、メインボール２３の頂点２３ｂの載置面ＰＳ側に突出する高さは搬送可能状態と同様のｈ２のままである。

第２ピストン３０側については、第２供給口１２ｂに流体が供給されることにより、第２貫通路１４ｂから第２ピストン連通路３２ａを介して、第２蓋部５０及び第２ピストン３０に囲まれる第２流体空間１０ｂに流体が供給される。第２供給口１２ｂにさらに流体が供給されることにより第２流体空間１０ｂが拡大し、第２ピストン３０は載置面ＰＳ側に押圧される。このとき、伸縮部材６０が伸長するため（伸長状態）、第２ピストン３０は第２蓋部５０に向かう付勢力（載置面ＰＳとは反対側に向かう付勢力）を伸縮部材６０から受ける。そして、最終的には、第２ピストン３０の位置保持部３１の位置保持面３１ａは載置面ＰＳに当接する。

なお、第２供給口１２ｂに供給された流体は、第２貫通路１４ｂ及び第２連通路９２を介して互いに隣接する第２流体空間１０ｂに供給される。これにより、複数の第２流体空間１０ｂに流体が供給され、複数の第２ピストン３０の位置保持面３１ａが載置面ＰＳと当接する。

以上の通り、位置保持状態では、第２ピストン３０が第２流体空間１０ｂの流体に押圧され、位置保持面３１ａが載置面ＰＳに当接する。この当接により、所望の位置において位置決めされた搬送用テーブルＴ等を所望の位置に保持することができる。具体的に、第２ピストン３０と載置面ＰＳとの間の摩擦により、搬送用テーブルＴ等は載置面ＰＳに対して移動することを阻害される。そのため、搬送用テーブルＴ等を第２ピストン３０により位置ずれを抑制しつつ所望の位置に保持することができる。また、位置保持状態では、搬送可能状態に引き続いて複数のメインボール２３が躯体嵌込面ＦＳから載置面ＰＳ側に突出することにより搬送用テーブルＴ等が持ち上げられたままである。これにより、搬送可能状態から位置保持状態に亘って搬送用テーブルＴ等の載置面ＰＳからの高さの変動を抑制することができるため、高さの変動による搬送用テーブルＴ等の位置ずれも抑制することができる。

なお、本実施の形態では、複数の第２ピストン３０の位置保持面３１ａが載置面ＰＳに対して加える力Ｆ２は、搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔ及びワークＷの重量の合計より小さい。力関係は、力Ｆ１＞搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔ＋ワークＷの重量の合計＞力Ｆ２である。よって、主として複数の第１ピストン２０により搬送用テーブルＴ等が持ち上げられており、複数の第２ピストン３０のみにより搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔ及びワークＷを持ち上げることはできない。そのため、搬送可能状態から位置保持状態に移行しても躯体嵌込面ＦＳと載置面ＰＳとの間の高さはｈ２のままであり、搬送用テーブルＴの載置面ＰＳからの高さ位置は維持されている。このとき、第２ピストン３０の位置保持面３１ａが躯体嵌込面ＦＳから載置面ＰＳ側に突出する高さはｈ２である。

（４－４）静置状態
図７Ｄは、搬送用テーブルユニットの静置状態を示すフロー図であり、（ａ）は搬送用テーブルユニット全体の側面図、（ｂ）は一部拡大模式図である。
静置状態では、位置保持状態に引き続いて第２供給口１２ｂへの流体の供給は継続されたまま、第１供給口１２ａへの流体の供給が停止される。これにより、搬送用テーブルＴは載置面ＰＳに載置され、ワークＷは搬送用テーブルＴ上において載置面ＰＳに対して静置される。さらに説明すると次の通りである。

第１ピストン２０側については、第１供給口１２ａへの流体の供給が停止されるため、第１流体空間１０ａ内の流体による第１ピストン２０の載置面ＰＳ側への押圧がなくなる。
一方、第２ピストン３０側については、位置保持状態と同様に第２供給口１２ｂに流体が供給されているものの、第２流体空間１０ｂからの流体による載置面ＰＳ側への押圧によっては複数の第２ピストン３０は搬送用テーブルＴ等を持ち上げた状態を維持することができない。ただし、第２流体空間１０ｂに供給され続けている流体による圧力の範囲内において、つまり前述の力Ｆ２の範囲内において、第２ピストン３０は搬送用テーブルＴ等を支持している。

このような状態により、第１ピストン２０は、搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔ及びワークＷの重量の合計により、載置面ＰＳとは反対側に押し戻される。これにより、搬送用テーブルＴは載置面ＰＳに載置され、搬送用テーブルＴの躯体嵌込面ＦＳは載置面ＰＳと面一となる。このとき、第１ピストン２０のメインボール２３の頂点２３ｂは自重により載置面ＰＳと当接しているにすぎず、第１ピストン２０は、搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔ及びワークＷの重量の合計を支えつつ搬送用テーブルＴ等を搬送可能な状態とすることはできない。このように静置状態では、第１ピストン２０による搬送用テーブルＴ等の搬送を排除して搬送用テーブルＴ等を静置させることができる。

このとき、第２ピストン３０は、位置保持状態に引き続いて載置面ＰＳ側に押圧されており、位置保持面３１ａが載置面ＰＳに当接している。そして、第２ピストン３０は、搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔ及びワークＷの重量の合計により載置面ＰＳとは反対側に押し戻される。このように第２ピストン３０が載置面ＰＳとは反対側に向かうのは、第２ピストン３０が搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔ及びワークＷの重量の合計より小さい前述の力Ｆ２により支持しているためである。

（４－５）終了状態
図７Ｅは、搬送用テーブルユニットの終了状態を示すフロー図であり、（ａ）は搬送用テーブルユニット全体の側面図、（ｂ）は一部拡大模式図である。
終了状態では、静置状態に引き続いて第１供給口１２ａへの流体を停止したまま、第２供給口１２ｂへの流体の供給を停止する。これにより、静置状態と同様に搬送用テーブルＴは引き続いて載置面ＰＳに載置されており、搬送用テーブルＴの躯体嵌込面ＦＳは載置面ＰＳと面一となっている。

第２供給口１２ｂへの流体の供給が停止されることにより、第２流体空間１０ｂ内の流体による第２ピストン３０の載置面ＰＳ側への押圧がなくなる。このとき、第２ピストン３０は、第２蓋部５０に向かう付勢力（載置面ＰＳとは反対側に向かう付勢力）を伸縮部材６０から受けており、第２蓋部５０側に向かう。これにより、第２ピストン３０の第２ピストン脚部３２が第２蓋部５０の第２ピストン当接部５３に当接する。そして、伸縮部材６０は収縮状態となる。このとき、第２ピストン３０の位置保持面３１ａの躯体嵌込面ＦＳからの高さは、初期状態と概ね同一のｈ１であり、位置保持部３１は躯体嵌込面ＦＳよりも下方に突出していない。

前述の通り、終了状態では伸縮部材６０の付勢力により伸縮部材６０は第２ピストン収容部１１ｂ内において第２蓋部５０側に退避する。よって、第２ピストン３０によるワークＷの位置保持動作を即座に解除することができる。そのため、終了状態から搬送可能状態に移行した場合に、ワークＷの搬送が第２ピストン３０により妨害されず、即座に第１ピストン２０によりワークＷを所望の位置にスムーズに搬送可能とすることができる。

（４－５）終了状態の後、（４－１）初期状態に戻ってもよいし、あるいは（４－２）搬送可能状態に戻ってもよい。

以上の通り、搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔの動作には、ワークＷを所望の位置に静置するための静置状態が備えられているため、たとえワークＷの重心位置の変動が生じても位置ずれを抑制して所望の位置にワークＷを静置することができる。例えば、ワークＷの重心位置はワークＷ内の重量が重いほうに偏っている。この場合、搬送したワークＷを所望の位置に搬送し、位置決めした後に載置面ＰＳ等に静置する際に、偏った重心位置の影響を受けてワークＷは、搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔが移動することにより所望の位置からずれて静置されてしまう可能性がある。このような場合でも、上記の構成によれば、位置保持状態において所望の位置に第２ピストン３０により保持されていることにより、ワークＷを静置状態において当該所望の位置に静置することができる。

また、搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔでは、第１ピストン２０及び第２ピストン３０のピストン収容躯体１０からの突出高さの違いを利用するという構成により、ワークＷの搬送及び所望の位置における保持を実現することができる。つまり、搬送可能状態では、第１ピストン２０を第２ピストン３０よりもピストン収容躯体１０から突出させる。これにより、第２ピストン３０によるワークＷの位置保持動作を除外しつつ、第１ピストン２０によりワークＷを所望の位置にスムーズに搬送可能することができる。

＜第２の実施の形態＞
この発明の第２の実施の形態に係る搬送用テーブルユニットについて説明する。図８は、この発明の第２の実施の形態にかかる搬送用テーブルユニットの全体図である。第１の実施の形態と異なる点を中心に説明し、同一の構成について同一の符号を付し、説明を省略する。

（１）構成
第２の実施の形態は、第１の実施の形態とは次の点が異なる。
第１の実施の形態では、搬送用テーブルＴはテーブル面ＴＳが上を向き、躯体嵌込面ＦＳが下を向いて載置面ＰＳと対向しており、凹部Ｔ１は載置面ＰＳに向かって下向きに開口している。一方、第２の実施の形態では、搬送用テーブルＴはテーブル面ＴＳが下を向きに向いて載置面ＰＳと接しており、躯体嵌込面ＦＳが上を向いており、凹部Ｔ１は載置面ＰＳとは反対側に向かって上向きに開口している。

また、第１の実施の形態では、躯体嵌込面ＦＳにおいて下向きに開口した凹部Ｔ１に搬送用ユニット１００が嵌め込まれ、載置面ＰＳ側に向かって第１ピストン２０及び第２ピストン３０が突出するように構成されている。一方、第２の実施の形態では、躯体嵌込面ＦＳにおいて上向きに開口した凹部Ｔ１に搬送用ユニット１００が嵌め込まれ、載置面ＰＳとは反対側の上向きに第１ピストン２０及び第２ピストン３０が突出するように構成されている。

また、第１の実施の形態では、テーブル面ＴＳ上にワークＷが載置され、搬送用ユニット１００により搬送用テーブルＴを搬送及び所望の位置に静置することによりワークＷを搬送及び所望の位置に静置している。一方、第２の実施の形態では、テーブル面ＴＳが載置面ＰＳと接するように搬送用テーブルＴが配置され、躯体嵌込面ＦＳ上にワークＷが載置され、搬送用ユニット１００自体によりワークＷを搬送及び所望の位置に静置する。

（２）搬送用テーブルユニットの動きのフロー
次に、本実施の形態にかかる搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔの動きのフローについて説明する。搬送用テーブルユニットＴｕｎｉｔの動きは、（２－１）初期状態、（２－２）搬送可能状態、（２－３）位置保持状態、（２－４）静置状態、（２－５）終了状態が順に行われるものである。図９の（ａ）は搬送用テーブルユニットの搬送可能状態を示すフロー図であり、（ｂ）は搬送用テーブルユニットの位置保持状態を示すフロー図であり、（ｃ）は搬送用テーブルユニットの静置状態を示すフロー図である。

（２－１）初期状態
初期状態では、第１供給口１２ａ及び第２供給口１２ｂには流体が供給されていない。よって、第１ピストン２０は第１蓋部４０に当接しており、第１ピストン収容部１１ａ内において最も下方に退避している。また、第２ピストン３０の第２ピストン脚部３２が第２蓋部５０の第２ピストン当接部５３に当接しており、第２ピストン３０は第２ピストン収容部１１ｂ内において最も下方に退避している。このとき、躯体嵌込面ＦＳから第１ピストン２０及び第２ピストン３０は上方に突出しておらず、ワークＷは躯体嵌込面ＦＳ上に載置されている。

（２－２）搬送可能状態
搬送可能状態では、図９の（ａ）に示すように、第１供給口１２ａに流体が供給されており、第１ピストン２０が躯体嵌込面ＦＳよりも上に突出する。一方、第２供給口１２ｂには流体が供給されておらず、第２ピストン３０は第２ピストン収容部１１ｂ内において最も下方に退避したままである。このとき、第１ピストン２０のメインボール２３の回転により、ワークＷは搬送用テーブルＴに対して搬送可能となる。

（２－３）位置保持状態
位置保持状態では、図９の（ｂ）に示すように、搬送可能状態に引き続いて第１供給口１２ａに流体が供給されたまま、第２供給口１２ｂに流体が供給される。よって、第１ピストン２０が躯体嵌込面ＦＳよりも上に突出してワークＷを支持するとともに、第２ピストン３０がワークＷの底面に当接することにより、所望の位置において位置決めされたワークＷの位置ずれを抑制しつつ所望の位置に保持できる。

（２－４）静置状態
静置状態では、図９の（ｃ）に示すように、位置保持状態に引き続いて第２供給口１２ｂに流体が供給されたまま、第１供給口１２ａへの流体の供給が停止される。よって、第１ピストン２０は第１蓋部４０に当接し、第１ピストン収容部１１ａ内において最も下方に退避する。第２ピストン３０はワークＷの底面に当接しており、下方に押し戻される。このように下方に押し戻されるのは、第２ピストン３０がワークＷの重量より小さい力でワークＷを支持しているためである。さらに言えば、静置状態では、第１ピストン２０によるワークＷの支持がなくなっても、第２ピストン３０の位置保持部３１とワークＷとの摩擦力（μＦ２、μは摩擦係数）により保持されるため、ワークＷを静置することができる。

（２－５）終了状態
終了状態では、静置状態に引き続いて第１供給口１２ａへの流体の供給を停止したまま、第２供給口１２ｂへの流体の供給を停止する。よって、第１ピストン２０は第１ピストン収容部１１ａ内において最も下方に退避したままであり、第２ピストン３０は第２ピストン収容部１１ｂ内において最も下方に退避する。これにより、ワークＷは躯体嵌込面ＦＳ上に静置されたままとなる。

上述した実施の形態の説明において、組み合わせ可能な構成を相互に組み合わせてもよい。今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

なお、この発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨の範囲内で種々に変形される。

（Ａ）
上記実施の形態では、搬送用ユニット１００は、複数の第１ピストン２０及び複数の第２ピストン３０を備える。しかし、搬送用ユニットは、少なくとも１つの第１ピストンと少なくとも１つの第２ピストンとを備えていればよい。

（Ｂ）
第１ピストン２０はワークＷを搬送できる構成であればよく、球状のボールでなくてもよい。例えば、第１ピストンは搬送用のベルトであってもよい。

（Ｃ）
上記第１の実施の形態では、搬送用ユニット１００は搬送用テーブルＴの躯体嵌込面ＦＳ（ここで下面）側に嵌め込まれており、ピストン収容躯体１０の第１面Ｓ１（ここでは上面）の上方に搬送用テーブルＴを介して間接的にワークＷが載置されている。しかし、搬送用ユニットが搬送用テーブルに嵌め込まれることなく、搬送用ユニットの第１面（ここでは上面）に直接的にワークが載置されていてもよい。

（Ｄ）
上記第２の実施の形態では、搬送用ユニット１００は搬送用テーブルＴの躯体嵌込面ＦＳ（ここでは上面）側に嵌め込まれており、ピストン収容躯体１０の第１面Ｓ１（ここでは下面）は搬送用テーブルＴを介して間接的に載置面ＰＳと接触している。しかし、搬送用ユニット１００が搬送用テーブルＴに嵌め込まれることなく、搬送用ユニット１００の第１面Ｓ１（ここでは下面）が直接的に載置面ＰＳと接触していてもよい。

１０ ：ピストン収容躯体
１０ａ、１０ｂ：第１、第２流体空間
１１ａ、１１ｂ：第１、第２ピストン収容部
１２ａ、１２ｂ：第１、第２供給口
１３ ：連結部
１３ａ、１３ｂ：第１、第２蓋部取付部
１３ｃ、１３ｄ：第１、第２ピストン抜止部
１４ａ、１４ｂ：第１、第２貫通路
１５ａ ：第１、第２端部
２０ ：第１ピストン
２１ ：ボール保持具
２１ａ ：押圧部
２１ａ１ ：押圧面
２１ｂ ：段差押圧部
２１ｃ ：鍔部
２１ｄ ：ボール収容部
２１ｅ、２１ｆ：第１、第２カバー受け部
２１ｇ ：サポートボール回転面
２１ｈ ：段差部
２２ ：カバー部材
２２ａ ：カバー篏合部
２２ｂ ：ボール抜止部
２２ｃ ：カバー外面
２３ ：メインボール
２３ａ ：メインボール外周面
２３ｂ ：頂点
２４ ：サポートボール
２４ａ ：サポートボール外周面
３０ ：第２ピストン
３０ａ ：頭部篏合孔
３０ｂ ：軸部貫通孔
３０ｃ ：第２支持部用孔
３１ ：位置保持部
３１ａ ：位置保持面
３２ ：第２ピストン脚部
３２ａ ：第２ピストン連通路
３２ｂ ：脚部先端部
３３ ：第２支持部止め部
３４ ：第２支持部取付部
３４ｂ ：頂点
３５ ：第２蓋部対向部
４０ ：第１蓋部
４１ ：第１リング取付部
４２ ：第１ピストン当接部
４２ａ ：第１ピストン当接面
４３ ：外面部
５０ ：第２蓋部
５０ａ ：蓋連通路
５０ｂ ：第１支持部用小径孔
５０ｃ ：第１支持部用大径孔
５１ ：第２リング取付部
５１ａ ：取付壁
５２ ：第３リング取付部
５３ ：第２ピストン当接部
５４ ：第１支持部取付部
６０ ：伸縮部材
６０ａ ：一端
６０ｂ ：他端
７０ ：第１支持部
７０ａ ：第１後端部
７０ｂ ：第１中段部
７０ｃ ：蓋側係止部
７０ｄ ：第１先端部
８０ ：第２支持部
８１ ：第２支持本体部
８１ａ ：第２後端部
８１ｂ ：第２先端段差部
８１ｃ ：第２先端部
８１ｄ ：第２ネジ孔
８２ ：第２ネジ部
８２ａ ：頭部
８２ｂ ：軸部
９１ ：第１連通路
９２ ：第２連通路
１００ ：搬送用ユニット
ＦＳ ：躯体嵌込面
ＦＳＧ ：対向バネ用溝
ＨＯ１～ＨＯ９：第１～第９Ｏリング収容溝
ＯＲ１～ＯＲ９：第１～第９Ｏリング
ＰＳ ：載置面
ＲＧ１～ＲＧ３：第１～第３リング用溝
ＲＳ ：リングバネ
Ｓ１ ：第１面
Ｓ２ ：第２面
ＳＧ ：バネ用溝
ＳＲ１～ＳＲ３：第１～第３スナップリング
Ｔ ：搬送用テーブル
Ｔ１ ：凹部
Ｔ１ａ ：凹部底面
ＴＳ ：テーブル面
Ｔｕｎｉｔ ：搬送用テーブルユニット
Ｗ ：ワーク

Claims (12)

1. 搬送対象物であるワークを所望の搬送方向に搬送可能とするための少なくとも１つの第１ピストンと、
   所望の位置において位置決めされた前記ワークを前記所望の位置に保持するための少なくとも１つの第２ピストンと、
   少なくとも１つの前記第１ピストンをスライド可能に収容する少なくとも１つの第１ピストン収容部、及び、少なくとも１つの前記第２ピストンをスライド可能に収容する少なくとも１つの第２ピストン収容部を有するとともに、前記ワークを支持するピストン収容躯体と、
   を備える搬送用ユニットであって、
   前記第２ピストンと前記第２ピストン収容部との間への流体の供給が停止されている状態で、前記第１ピストンと前記第１ピストン収容部との間に流体が供給されることにより前記第１ピストンによって前記ワークを前記所望の位置に搬送可能な搬送可能状態と、前記搬送可能状態に引き続いて前記第１ピストンと前記第１ピストン収容部との間への流体の供給が継続されている状態で、前記所望の位置において位置決めされた前記ワークを前記第２ピストンと前記第２ピストン収容部との間に流体が供給されることにより前記第２ピストンによって前記所望の位置に保持可能な位置保持状態と、前記位置保持状態に引き続いて前記第２ピストンと前記第２ピストン収容部との間への流体の供給が継続されている状態で、前記第１ピストンと前記第１ピストン収容部との間への流体の供給が停止されることにより、前記位置保持状態において前記所望の位置に保持されている前記ワークを前記所望の位置に静置する静置状態と、を切り替え可能に構成されている、搬送用ユニット。
2. 前記搬送可能状態において、少なくとも１つの前記第１ピストン収容部に面する少なくとも１つの前記第１ピストンの対向面と少なくとも１つの前記第１ピストン収容部との間に、少なくとも１つの前記第１ピストンを少なくとも１つの前記第１ピストン収容部から突出する方向に押圧するように流体が供給されている少なくとも１つの第１流体空間が形成されており、
   前記位置保持状態において、少なくとも１つの前記第２ピストン収容部に面する少なくとも１つの前記第２ピストンの対向面と少なくとも１つの前記第２ピストン収容部との間に、少なくとも１つの前記第２ピストンを少なくとも１つの前記第２ピストン収容部から突出する方向に押圧するように流体が供給されている少なくとも１つの第２流体空間が形成されており、
   少なくとも１つの前記第１流体空間と少なくとも１つの前記第２流体空間とは分離されている、請求項１に記載の搬送用ユニット。
3. 前記第２流体空間への流体の供給により前記第２ピストンが前記ピストン収容躯体から突出する高さは、前記第１ピストンが前記ピストン収容躯体から突出する高さよりも高い、請求項２に記載の搬送用ユニット。
   
4. 少なくとも１つの前記第１ピストンは複数の前記第１ピストンであり、
   少なくとも１つの前記第２ピストンは複数の前記第２ピストンであり、
   少なくとも１つの前記第１流体空間は複数の前記第１流体空間であり、
   少なくとも１つの前記第２流体空間は複数の前記第２流体空間であり、
   複数の前記第１流体空間どうしを連通する少なくとも１つの第１連通路と、
   前記第１連通路とは分離されており、複数の前記第２流体空間どうしを連通する少なくとも１つの第２連通路と、
   をさらに備える、請求項２又は３に記載の搬送用ユニット。
5. 前記搬送方向は水平方向であり、
   少なくとも１つの前記第１ピストンは複数の前記第１ピストンであり、
   少なくとも１つの前記第２ピストンは複数の前記第２ピストンであり、
   前記ピストン収容躯体において、複数の前記第１ピストンが前記水平方向の面内において概ね均一に分散して配置されており、かつ、複数の前記第２ピストンが前記水平方向の面内において概ね均一に分散して配置されている、請求項１に記載の搬送用ユニット。
6. 前記第２ピストンは、前記ピストン収容躯体の少なくともいずれか一方の端部に位置する、請求項１に記載の搬送用ユニット。
7. 前記第２ピストンは、前記ピストン収容躯体が載置される載置面又は前記ワークに当接することにより前記ワークを前記所望の位置に保持する位置保持部を有する、請求項１に記載の搬送用ユニット。
8. 前記第２ピストン収容部内における前記第２ピストンを前記第２ピストン収容部内に引き込むための伸縮部材をさらに備える、請求項１に記載の搬送用ユニット。
9. 前記ピストン収容躯体はその第１面に対して上側に間接的又は直接的に前記ワークを載置可能であるとともに、前記第１面とは反対側の第２面が載置面に接触可能に構成されており、
   前記搬送可能状態では、前記第１ピストンが前記ピストン収容躯体の前記第２面から下方に突出することにより前記ピストン収容躯体を前記載置面に対して前記所望の位置に搬送可能であり、前記位置保持状態では、前記第２ピストンが前記ピストン収容躯体の前記第２面から下方に突出することにより前記ピストン収容躯体を前記所望の位置に保持可能である、請求項１に記載の搬送用ユニット。
10. 前記ピストン収容躯体はその第１面が間接的に又は直接的に載置面に接触可能であるとともに、前記第１面とは反対側の第２面に前記ワークが載置可能に構成されており、
    前記搬送可能状態では、前記第１ピストンが前記ピストン収容躯体の前記第２面から上方に突出することにより前記ワークを前記第１ピストンにより支持して前記所望の位置に搬送可能であり、前記位置保持状態では、前記第２ピストンが前記ピストン収容躯体の前記第２面から上方に突出することにより前記ワークを前記第２ピストンにより前記所望の位置に保持可能である、請求項１に記載の搬送用ユニット。
11. 請求項９に記載の搬送用ユニットと、
    前記搬送用ユニットを収容する凹部が形成されている搬送用テーブルと、を備える搬送用テーブルユニットであって、
    前記搬送用テーブルは前記凹部が下方に開口するように配置されており、
    前記第１ピストン及び前記第２ピストンが前記第２面から下方に突出可能となるように前記第１面が前記凹部の凹部底面に接する状態で、前記ピストン収容躯体が前記凹部に収容されている、搬送用テーブルユニット。
12. 請求項１０に記載の搬送用ユニットと、
    前記搬送用ユニットを収容する凹部が形成されている搬送用テーブルと、を備える搬送用テーブルユニットであって、
    前記搬送用テーブルは前記凹部が上方に開口するように配置されており、
    前記第１ピストン及び前記第２ピストンが前記第２面から上方に突出可能となるように前記第１面が前記凹部の凹部底面に接する状態で、前記ピストン収容躯体が前記凹部に収容されている、搬送用テーブルユニット。

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