JP7370947B2 - パルス信号検出器、パルス信号発生器、レーザ装置及びパルス信号の検出方法 - Google Patents

Description

本発明は、パルス信号検出器、パルス信号発生器、レーザ装置及びパルス信号の検出方法に関する。

パルス光源の出力の低下を監視する装置として、例えば特許文献１に開示された光パワー監視装置がある。この光パワー監視装置は、制御部と、パルス光を検出する光検出器を有している。光検出器は、パルス光をフォトダイオードで検出し、パルス光の光パワーに応じた電圧の光検出信号を出力する。制御部は、光検出信号に基づいて、レーザ発生装置における励起光の光量を演算し、光量の低下を監視する。

国際公開第２０１４／１４８５１１号

制御部において光検出信号の電圧から励起光の光量を演算する際には、アナログの電気信号である光検出信号を、アナログデジタルコンバータでデジタル信号に変換する必要がある。ここで、アナログデジタルコンバータのサンプリングの周期がパルス光に応じた電気信号のピークのタイミングに合致していない場合、パルス光が出力されていないときの電気信号で演算を行うこととなり、光量を正しく演算することができず、光量の低下を監視できなくなる。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、アナログ信号からデジタル信号への変換のタイミングがパルスの出力に合致していなくても、出力の低下を判定可能とする技術を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るパルス信号検出器は、入力されたパルス信号を検出する検出部と、前記検出部で検出された前記パルス信号のパルス幅を広げて出力する第１のパルス出力部と、前記第１のパルス出力部から出力されたパルス信号を第１デジタル信号に変換する第１変換部と、前記第１デジタル信号が示す値が予め定められた警報閾値より小さい場合、警報信号を出力する警報部と、を備える。

本発明の一態様に係るパルス信号検出器は、入力されたパルス信号を検出する検出部と、前記検出部で検出された前記パルス信号のパルス幅を広げて出力する第１のパルス出力部と、前記検出部で検出された前記パルス信号のパルス幅を、前記パルス幅以上で且つ前記第１のパルス出力部から出力されるパルス信号のパルス幅とは異なるパルス幅にして出力する第２のパルス出力部と、前記第１のパルス出力部から出力されたパルス信号を第１デジタル信号に変換する第１変換部と、前記第２のパルス出力部から出力されたパルス信号を第２デジタル信号に変換する第２変換部と、前記第１デジタル信号と前記第２デジタル信号の一方を選択する選択部と、前記選択部で選択された信号が示す値が予め定められた警報閾値より小さい場合、警報信号を出力する警報部と、を備える。

本発明の一態様に係るパルス信号検出器は、前記第２のパルス出力部は、前記検出部で検出された前記パルス信号のパルス幅を前記パルス幅より広く、且つ第１のパルス出力部から出力されるパルス信号のパルス幅未満に広げて出力することを特徴とする。

本発明の一態様に係るパルス信号検出器は、前記第１デジタル信号と前記第２デジタル信号のうち、値の小さい信号を前記検出部に入力されるパルス信号の出力値とすることを特徴とする。

本発明の一態様に係るパルス信号検出器は、前記選択部は、前記第１デジタル信号と前記第２デジタル信号のうち、値の大きい信号を選択することを特徴とする。

本発明の一態様に係るパルス信号検出器は、前記選択部は、予め定められた選択閾値より値の大きい信号を選択することを特徴とする。

本発明の一態様に係るパルス信号検出器は、前記第１のパルス出力部から出力されるパルス信号は、立ち上がりのときの方が立下りのときより急峻に変化する信号であることを特徴とする。

本発明の一態様に係るパルス信号検出器は、前記第１のパルス出力部から出力されるパルス信号の値は、次のパルス信号の立ち上がりの時点でピーク値の半分以下であることを特徴とする。

本発明の一態様に係るパルス信号検出器は、前記第１のパルス出力部から出力されるパルス信号の値は、次のパルス信号の立ち上がりの時点でピーク値の３割以上の値であることを特徴とする。

本発明の一態様に係るパルス信号発生器は、上記のいずれかに記載のパルス信号検出器と、前記パルス信号検出器に入力されるパルス信号を出力するパルス信号出力部と、を備えることを特徴とする。

本発明の一態様に係るレーザ装置は、上記のいずれかに記載のパルス信号検出器と、前記パルス信号検出器に入力されるレーザ光のパルス信号を出力するレーザ光出力部と、を備えることを特徴とする。

本発明の一態様に係るパルス信号の検出方法は、入力されたパルス信号を検出する検出ステップと、前記検出ステップで検出された前記パルス信号のパルス幅を広げて出力する第１のパルス出力ステップと、前記第１のパルス出力ステップで出力されたパルス信号を第１デジタル信号に変換する第１変換ステップと、前記第１デジタル信号が示す値が予め定められた警報閾値より小さい場合、警報信号を出力する出力ステップと、を備える。

本発明の一態様に係るパルス信号の検出方法は、入力されたパルス信号を検出する検出ステップと、前記検出ステップで検出された前記パルス信号のパルス幅を広げて出力する第１のパルス出力ステップと、前記検出ステップで検出された前記パルス信号のパルス幅を、前記パルス幅以上で且つ前記第１のパルス出力ステップで出力されるパルス信号のパルス幅とは異なるパルス幅にして出力する第２のパルス出力ステップと、前記第１のパルス出力ステップで出力されたパルス信号を第１デジタル信号に変換する第１変換ステップと、前記第２のパルス出力ステップで出力されたパルス信号を第２デジタル信号に変換する第２変換ステップと、前記第１デジタル信号と前記第２デジタル信号の一方を選択する選択ステップと、前記選択ステップで選択された信号が示す値が予め定められた警報閾値より小さい場合、警報信号を出力する出力ステップと、を備える。

本発明によれば、アナログ信号からデジタル信号への変換のタイミングがパルスの出力に合致していなくても、出力の低下を判定可能となる、という効果を奏する。

図１は、第１実施形態に係るファイバレーザ装置の構成を示すブロック図である。 図２は、ピークホールド回路の一例を示す回路図である。 図３は、増幅部から出力される電気信号の波形とパルス出力部から出力される電気信号の波形の一例を示す図である。 図４は、第１実施形態に係るパルス信号検出器が行う処理の流れを示すフローチャートである。 図５は、第２実施形態に係るファイバレーザ装置の構成を示すブロック図である。 図６は、第２実施形態に係るパルス信号検出器が行う処理の流れを示すフローチャートである。 図７は、第３実施形態に係るパルス信号検出器が行う処理の流れを示すフローチャートである。 図８は、第４実施形態に係るファイバレーザ装置の構成を示すブロック図である。 図９は、第１パルス出力部から出力される電気信号の波形と、第２パルス出力部から出力される電気信号の波形の一例を示す図である。

以下に、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態により本発明が限定されるものではない。また、図面の記載において、同一または対応する要素については適宜同一の符号を付している。

［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態に係るファイバレーザ装置の構成の一例を示すブロック図である。ファイバレーザ装置１０００は、パルス信号検出器１Ａ、駆動部２、励起レーザ光源３、励起光合波器４、第１ファイバブラッググレーティング５、増幅用光ファイバ６、第２ファイバブラッググレーティング７及びカプラ８を備えている。なお、パルス信号検出器１Ａ及び駆動部２は、パルス信号発生器５００Ａを構成している。また、駆動部２、励起レーザ光源３、励起光合波器４、第１ファイバブラッググレーティング５、増幅用光ファイバ６、第２ファイバブラッググレーティング７及びカプラ８は、パルス信号を出力するパルス信号出力部を構成し、レーザ光のパルス信号を出力するレーザ光出力部を構成している。

駆動部２は、外部装置からの制御に応じて励起レーザ光源３を駆動するものである。駆動部２は、例えば、励起レーザ光源３を駆動するパルス信号を出力し、このパルス信号による直接変調方式で励起レーザ光源３を駆動する。駆動部２は、パルス信号については、外部装置からの制御に応じてパルス幅や周波数を制御する。また、駆動部２は、例えば、ＡＣＣ（Auto Current Control）回路を備えており、出力するパルス信号の電流を外部装置からの制御に応じて制御する。本実施形態においては、外部装置は、パルス信号検出器１Ａであるが、パルス信号検出器１Ａとは異なる装置であってもよい。

励起レーザ光源３は、増幅用光ファイバ６に供給する励起光を出力するものである。励起レーザ光源３は、例えば、複数のマルチモードレーザダイオードによって構成されている。励起レーザ光源３から出力される励起光は、例えば、波長が９１５ｎｍで、数Ｗ以上の光強度を有する。励起レーザ光源３は、駆動部２から供給されるパルス信号に応じてパルス光であるレーザ光を出力する。

励起光合波器４は、励起レーザ光源３から出力される複数のレーザ光を合波し、第１ファイバブラッググレーティング５を介して増幅用光ファイバ６に励起光として導入する。

増幅用光ファイバ６は、例えば、増幅媒体としてのＥｒ（Erbium）、Ｙｂ（Ytterbium）等の希土類のイオンがシングルモードのコアに添加されたＤＣＦ（Double Clad Fiber）によって構成されている。なお、ＤＣＦは、クラッドが内側クラッドと外側クラッドとの２層構造になっている。

第１ファイバブラッググレーティング５と、第２ファイバブラッググレーティング７は、増幅用光ファイバ１０５の両端のそれぞれに対して設けられた反射手段であり、光共振器を構成している。第１ファイバブラッググレーティング５は、ＤＣＦによって構成されているＨＲ－ＦＢＧ（High Reflectivity Fiber Bragg Grating）と呼ばれる高反射率のファイバグレーティングである。第１ファイバブラッググレーティング５においては、光ファイバの屈折率を長手方向に周期的に変化させることによりグレーティングが形成されており、ファイバレーザ装置１０００で発振させるレーザ光の波長において９９％以上の反射率を有する。

第２ファイバブラッググレーティング７は、ＯＣ－ＦＢＧ（Output Coupler Fiber Bragg Grating）と呼ばれるものである。第２ファイバブラッググレーティング７においては、第１ファイバブラッググレーティング５と同様に、光ファイバの屈折率を長手方向に周期的に変化させることによりグレーティングが形成されており、ファイバレーザ装置１０００で発振させるレーザ光の波長の光の一部（例えば、９０％）を通過させるとともに、残り（例えば、１０％）を反射する。本実施形態においては、第２ファイバブラッググレーティング７は、ＤＣＦによって構成されているが、シングルクラッドの光ファイバで構成してもよい。

励起光が増幅用光ファイバ６に供給されると、励起光は増幅用光ファイバ６のコアおよび内側クラッドを伝搬しつつ、コアに添加された希土類イオンを光励起する。希土類イオンは所定の発光帯域で発光する。発光した光のうち、ファイバレーザ装置１０００で発振させるレーザ光の波長として選択された波長の成分は、第１ファイバブラッググレーティング５と第２ファイバブラッググレーティング７の光共振器としての作用と、増幅用光ファイバ６の光増幅作用とによってレーザ発振し、第２ファイバブラッググレーティング７側からパルス光であるレーザ出力光Ｌとして出力される。希土類イオンがＹｂの場合、レーザ出力光Ｌの波長は例えば１０８０ｎｍである。

カプラ８は、第２ファイバブラッググレーティング７を通過したレーザ光を２系統に分岐するものである。カプラ８で分岐されたレーザ出力光Ｌの一方は、光ファイバを介してファイバレーザ装置１０００から出力され、他方は、パルス信号検出器１Ａへ供給される。

パルス信号検出器１Ａは、第２ファイバブラッググレーティング７を通過したレーザ光を検出する装置である。パルス信号検出器１Ａは、制御部１０Ａ、検出部１１、増幅部１２、パルス出力部１３、ＡＤ変換部１４Ａ、１４Ｂ及び表示部１５で構成されている。

検出部１１は、カプラ８から供給されるレーザ光を検出するものであり、レーザ光を検出する素子として、例えばＰＤ（Photo Diode）を備えている。カプラ８から供給されたパルス光であるレーザ出力光Ｌは、ＰＤに入射する。ＰＤは、入射したレーザ光の強度に対応した電圧の電気信号を出力する。ＰＤが出力した電気信号は、増幅部１２とパルス出力部１３へ供給される。パルス光であるレーザ出力光Ｌは、パルス信号の一例である。

増幅部１２は、供給される電気信号を予め定められた利得で増幅する増幅回路を備えている。増幅部１２は、検出部１１から供給される電気信号を増幅し、増幅された電気信号をＡＤ変換部１４Ｂへ供給する。増幅部１２は、第２のパルス出力部の一例である。

パルス出力部１３は、供給される電気信号を増幅する増幅回路と、供給される電気信号のパルス幅を変更する回路を備えている。本実施形態においては、パルス出力部１３は、電気信号のパルス幅を変更する回路として、例えば、図２に示すピークホールド回路を備えている。パルス出力部１３は、第１のパルス出力部の一例である。ピークホールド回路は、ダイオードＤ１、コンデンサＣ１及び抵抗Ｒ１で構成されている。ダイオードＤ１のアノードには、検出部１１から出力された電気信号が供給される。ダイオードＤ１のカソードは、コンデンサＣ１と抵抗Ｒ１に接続されている。また、ダイオードＤ１のカソードは、ＡＤ変換部１４Ａに接続されている。コンデンサＣ１は、一端がダイオードＤ１のカソードに接続され、他端がグランドＧＮＤに接続されている。抵抗Ｒ１は、一端がダイオードＤ１のカソードに接続され、他端がグランドＧＮＤに接続されている。尚、パルス出力部１３は、供給される電気信号を増幅する増幅回路を有しない構成としてもよい。

図３は、増幅部１２から出力される電気信号の波形と、パルス出力部１３から出力される電気信号の波形の一例を示す図である。図３の（ａ）は、増幅部１２から出力される電気信号の波形であり、図３の（ｂ）は、パルス出力部１３から出力される電気信号の波形である。

パルス出力部１３においては、検出部１１から電気信号が供給されると、供給される電気信号の立ち上がりで電気信号の電圧からダイオードＤ１の順方向電圧を引いた電圧がコンデンサＣ１に印加され、コンデンサＣ１がチャージされる。また、パルス出力部１３においては、検出部１１からダイオードＤ１に供給される電気信号の電圧が下がると、ダイオードＤ１が逆バイアスになり、コンデンサＣ１が抵抗Ｒ１へ放電を行う。これにより、コンデンサＣ１が保持した電圧が徐々に低下し、パルス出力部１３からＡＤ変換部１４Ａへ供給される電気信号の電圧は低下する。なお、パルス出力部１３においては、出力する電気信号について、立ち上がりの時定数が立下りの時定数より小さいものとなり、立ち上がりのときの方が立下りのときより急峻に変化する。

図１に戻り、ＡＤ変換部１４Ａ、１４Ｂは、供給されるアナログの電気信号をデジタル信号に変換するアナログデジタルコンバータである。ＡＤ変換部１４Ａは、第１変換部の一例であり、ＡＤ変換部１４Ｂは、第２変換部の一例である。ＡＤ変換部１４Ｂは、増幅部１２から供給される電気信号の電圧をサンプリングし、サンプリングで得た電圧を示すデジタル信号ＳＤ２を制御部１０Ａへ供給する。ＡＤ変換部１４Ａは、パルス出力部１３から供給される電気信号の電圧をサンプリングし、サンプリングで得た電圧を示すデジタル信号ＳＤ１を制御部１０Ａへ供給する。ＡＤ変換部１４Ａ、１４Ｂへ供給される電気信号は、レーザ出力光Ｌの光強度に対応したものであるため、デジタル信号ＳＤ１、ＳＤ２が示す電圧は、換言するとレーザ出力光Ｌの光強度を表すものである。デジタル信号ＳＤ１は、第１デジタル信号の一例であり、デジタル信号ＳＤ２は、第２デジタル信号の一例である。

制御部１０Ａは、レーザ出力光Ｌの光強度が目標値に近づくように励起レーザ光源３を制御する機能や、検出部１１におけるレーザ出力光Ｌの検出結果に応じてレーザ出力光Ｌの光強度の低下を報知する機能を有する。

制御部１０Ａは、演算部と記憶部とを備えている。演算部は、パルス信号検出器１Ａの機能の実現のための各種演算処理を行うものであり、例えばＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＦＰＧＡ（field-programmable gate array）、又はＣＰＵとＦＰＧＡとの両方で構成される。記憶部は、例えば、ＲＯＭ（Read Only Memory）とＲＡＭ（Random Access Memory）を備えている。このＲＯＭは、演算部が演算処理を行うために使用する各種プログラムやデータなどを格納している。また、このＲＡＭは、演算部が演算処理を行う際の作業スペースや演算部の演算処理の結果を格納するスペースとして使用される。ＲＯＭに記憶されているプログラムを演算部が実行することにより、図１に示すモニタ部１０１、警報部１０２、出力光制御部１０３が実現する。

モニタ部１０１は、ＡＤ変換部１４Ｂから供給されるデジタル信号ＳＤ２から、レーザ出力光Ｌの光強度を演算する。モニタ部１０１は、演算した光強度を出力光制御部１０３へ供給する。出力光制御部１０３は、モニタ部１０１から供給される光強度に応じて、レーザ出力光Ｌの光強度が目標値に近づくように駆動部２を制御する。

警報部１０２は、ＡＤ変換部１４Ａから供給されるデジタル信号ＳＤ１から、レーザ出力光Ｌの光強度を演算する。警報部１０２は、演算した光強度と、予め記憶部に記憶されている警報閾値とを比較する。この警報閾値は、レーザ出力光Ｌの光強度の目標値毎に記憶されており、例えば、目標値に対して所定の割合の値である。警報部１０２は、演算した光強度が目標値に対応した警報閾値より低い場合、レーザ出力光Ｌの光強度の低下をオペレータへ知らせる警報信号を表示部１５に出力する。

表示部１５は、例えばディスプレイ装置である。表示部１５は、警報部１０２からの制御に応じて、レーザ出力光Ｌの光強度の低下を警告するメッセージを警報として表示する。

次に、パルス信号検出器１Ａの動作例について図４を用いて説明する。図４は、パルス信号検出器１Ａがレーザ出力光Ｌの光強度の低下を判定する処理の流れを示すフローチャートである。

パルス信号検出器１Ａにおいては、駆動部２が励起レーザ光源３の駆動を開始すると、パルス光であるレーザ出力光Ｌが検出部１１で検出される。この検出部１１におけるレーザ出力光Ｌの検出は、検出ステップの一例である。検出部１１は、レーザ出力光Ｌに対応したパルス波形の電気信号をパルス出力部１３へ供給する。この電気信号は、パルス出力部１３でパルス幅が広げられてＡＤ変換部１４Ａへ供給される。このパルス出力部１３におけるパルス幅の変更は、第１のパルス出力ステップの一例である。ＡＤ変換部１４Ａは、予め定められた周期でサンプリングを行っており、サンプリングで得た電圧を示すデジタル信号ＳＤ１を出力する。このＡＤ変換部１４Ａにおけるデジタル信号への変換は、第１変換ステップの一例である。

ここで、ＡＤ変換部１４Ａが行うＡＤ変換のサンプリングのタイミングと、デジタル信号ＳＤ１が示す光強度との関係について説明する。まず、本実施形態との比較のため、例えばパルス信号検出器１Ａがパルス出力部１３を備えておらず、ＡＤ変換部１４Ｂから出力されるデジタル信号ＳＤ２が警報部１０２へ供給される構成の場合、即ち、検出部１１から出力される電気信号のパルス幅を変更しない構成の場合について説明する。

例えば、図３に示す周期ＴでＡＤ変換部１４Ｂがサンプリングを行い、サンプリングのタイミングがレーザ出力光Ｌの出力のタイミングに合致している場合、時点ｔ１１と時点ｔ１２でサンプリングが行われる。この場合、比較のための構成では、レーザ出力光Ｌのピーク時点の光強度を示すデジタル信号ＳＤ２が警報部１０２へ供給される。しかしながら、ＡＤ変換部１４Ｂのサンプリングのタイミングがレーザ出力光Ｌの出力のタイミングからずれている場合、例えば、レーザ出力光Ｌのピークからずれた時点ｔ２１と時点ｔ２２でサンプリングが行われる。この場合、比較のための構成では、目標の光強度でレーザ出力光Ｌが出力されていても、図３の（ａ）に示す波形で時点ｔ２１と時点ｔ２２サンプリングが行われ、デジタル信号ＳＤ２が示す光強度は、レーザ出力光Ｌのピーク時点の光強度に対応した電圧ではないため、警報部１０２においてレーザ出力光Ｌの光強度が低下しているか否かを正確に判定できなくなってしまう。

これに対し、本実施形態の場合、例えば、図３に示す周期ＴでＡＤ変換部１４Ａがサンプリングを行い、サンプリングのタイミングがレーザ出力光Ｌの出力のタイミングに合致している場合、時点ｔ１１と時点ｔ１２でサンプリングが行われる。この場合、レーザ出力光Ｌのピーク時点の光強度を示すデジタル信号ＳＤ１が警報部１０２へ供給される。

また、時点ｔ２１と時点ｔ２２でＡＤ変換部１４Ａがサンプリングを行ったとしても、パルス出力部１３のピークホールド回路で保持した電圧がＡＤ変換部１４Ａでサンプリングされる。このため、サンプリングのタイミングがレーザ出力光Ｌのピークのタイミングに合致していなくても、レーザ出力光Ｌのピーク時点の光強度に近似の光強度を示すデジタル信号ＳＤ１が警報部１０２へ供給され、レーザ出力光Ｌの光強度が低下しているか否かを判定することができる。

なお、パルス出力部１３が備えるピークホールド回路については、次のレーザ出力光Ｌのパルスの立ち上がりの時点で出力している電圧が、パルスのピークのときの電圧の３０％～５０％の範囲内となるように立下りの時定数が設定されているのが好ましい。例えば、時定数が小さく設定され、ＡＤ変換部１４Ａへ供給される電気信号の電圧が次のレーザ出力光Ｌのパルスの立ち上がりまでの間に０Ｖとなる場合、ＡＤ変換部１４Ａのサンプリングのタイミングによっては、レーザ出力光Ｌの光強度の低下を判定できなくなる虞がある。また、時定数が大きく設定され、ＡＤ変換部１４Ａへ供給される電気信号の電圧が次のレーザ出力光Ｌのパルスの立ち上がりまでの間にピークに近似した電圧を維持している場合、レーザ出力光Ｌの光強度の低下を判定できなくなる虞がある。一方、ピークホールド回路の立下りの時定数を前述のように設定すれば、このような問題を回避することができる。

図４に戻り、制御部１０Ａ（警報部１０２）は、デジタル信号ＳＤ１を取得する（ステップＳ１０１）。制御部１０Ａは、取得したデジタル信号ＳＤ１が示す光強度が、記憶部に記憶されているレーザ出力光Ｌの光強度の目標値に対応した警報閾値より大きいか判断する（ステップＳ１０２）。制御部１０Ａは、取得したデジタル信号ＳＤ１が示す光強度が、記憶部に記憶されているレーザ出力光Ｌの光強度の目標値に対応した警報閾値より大きい場合（ステップＳ１０２でＹＥＳ）、レーザ出力光Ｌの光強度が低下していないと判定する。

制御部１０Ａは、レーザ出力光Ｌの強度が低下していないと判定した場合、駆動部２が励起レーザ光源３の駆動を停止したか判断する（ステップＳ１０５）。制御部１０Ａは、駆動部２が励起レーザ光源３の駆動を停止していない場合（ステップＳ１０５でＮＯ）、処理の流れをステップＳ１０１へ戻す。制御部１０Ａは、駆動部２が励起レーザ光源３の駆動を停止した場合（ステップＳ１０５でＹＥＳ）、図４に示す処理を終了する。

また、制御部１０Ａ（警報部１０２）は、取得したデジタル信号ＳＤ１が示す光強度が、記憶部に記憶されているレーザ出力光Ｌの光強度の目標値に対応した警報閾値以下である場合（ステップＳ１０２でＮＯ）、レーザ出力光Ｌの光強度が低下していると判定する。制御部１０Ａは、レーザ出力光Ｌの光強度が低下していると判定した場合、まず駆動部２を制御して励起レーザ光源３の駆動を停止する（ステップＳ１０３）。次に制御部１０Ａは、表示部１５を制御する警報信号を出力し、表示部１５は、この警報信号に応じてレーザ出力光Ｌの光強度の低下を警告するメッセージ（警報）を表示する（ステップＳ１０４）。ステップＳ１０２とステップＳ１０４の処理は、出力ステップの一例である。

以上説明したように本実施形態によれば、ＡＤ変換部１４ＡにおけるＡＤ変換のサンプリングのタイミングがレーザ出力光Ｌのピークのタイミングに合致していなくても、レーザ出力光Ｌの光強度の低下を警告することができる。

なお、上述した実施形態においては、パルス信号検出器１Ａは、増幅部１２、ＡＤ変換部１４Ｂ及びモニタ部１０１を備えているが、増幅部１２、ＡＤ変換部１４Ｂ及びモニタ部１０１を備えていない構成であってもよい。

［第２実施形態］
次に本発明の第２実施形態について説明する。第２実施形態に係るファイバレーザ装置は、パルス信号検出器の構成が第１実施形態と異なる。具体的には、第２実施形態に係るパルス信号検出器１Ｂは、制御部１０Ａに替えて制御部１０Ｂを備え、制御部１０Ｂが行う処理が第１実施形態と異なる。このため、第１実施形態と同じ構成については同じ符号を用いて説明を省略し、以下の説明においては、第１実施形態との相違点について説明する。なお、パルス信号検出器１Ｂ及び駆動部２は、パルス信号発生器５００Ｂを構成している。

図５は、本発明の第２実施形態に係るファイバレーザ装置の構成の一例を示すブロック図である。制御部１０Ｂは、演算部と記憶部とを備えている。ＲＯＭに記憶されているプログラムを演算部が実行することにより、モニタ部１０１、警報部１０２、出力光制御部１０３及び選択部１０４が実現する。

選択部１０４は、ＡＤ変換部１４Ａから供給されるデジタル信号ＳＤ１と、ＡＤ変換部１４Ｂから供給されるデジタル信号ＳＤ２を取得する。選択部１０４は、デジタル信号ＳＤ１とデジタル信号ＳＤ２の一方を選択して警報部１０２へ供給し、他方をモニタ部１０１へ供給する。選択部１０４が行う選択は、選択ステップの一例である。

次に、パルス信号検出器１Ｂの動作例について図６を用いて説明する。図６は、パルス信号検出器１Ｂがレーザ出力光Ｌの光強度の低下を判定する処理の流れを示すフローチャートである。

パルス信号検出器１Ｂにおいては、駆動部２が励起レーザ光源３の駆動を開始すると、パルス光であるレーザ出力光Ｌが検出部１１で検出される。検出部１１は、レーザ出力光Ｌに対応したパルス波形の電気信号を増幅部１２とパルス出力部１３へ供給する。この電気信号は、増幅部１２で増幅されてＡＤ変換部１４Ｂへ供給され、パルス出力部１３でパルス幅が広げられてＡＤ変換部１４Ａへ供給される。ＡＤ変換部１４Ａ、１４Ｂは、予め定められた周期でサンプリングを行っており、ＡＤ変換部１４Ａは、サンプリングで得た電圧を示すデジタル信号ＳＤ１を出力し、ＡＤ変換部１４Ｂは、サンプリングで得た電圧を示すデジタル信号ＳＤ２を出力する。

制御部１０Ｂ（選択部１０４）は、デジタル信号ＳＤ１とデジタル信号ＳＤ２を取得する（ステップＳ２０１）。制御部１０Ｂは、取得したデジタル信号ＳＤ２の値がデジタル信号ＳＤ１の値より大きいか判断する（ステップＳ２０２）。制御部１０Ｂは、デジタル信号ＳＤ２の値がデジタル信号ＳＤ１の値より大きい場合（ステップＳ２０２でＹＥＳ）、デジタル信号ＳＤ２を警報部１０２へ供給し、デジタル信号ＳＤ１をモニタ部１０１へ供給する（ステップＳ２０３）。一方、制御部１０Ｂは、デジタル信号ＳＤ１の値がデジタル信号ＳＤ２の値以上である場合（ステップＳ２０２でＮＯ）、デジタル信号ＳＤ１を警報部１０２へ供給し、デジタル信号ＳＤ２をモニタ部１０１へ供給する（ステップＳ２０４）。ステップＳ２０２～ステップＳ２０４の処理は、選択ステップの一例である。

次に制御部１０Ｂ（警報部１０２）は、選択部１０４から警報部１０２へ供給されたデジタル信号が示す光強度が、記憶部に記憶されているレーザ出力光Ｌの光強度の目標値に対応した警報閾値より大きいか判断する（ステップＳ２０５）。制御部１０Ｂは、選択部１０４から警報部１０２へ供給されたデジタル信号が示す光強度が、記憶部に記憶されているレーザ出力光Ｌの光強度の目標値に対応した警報閾値より大きい場合（ステップＳ２０５でＹＥＳ）、レーザ出力光Ｌの光強度が低下していないと判定する。

制御部１０Ｂは、レーザ出力光Ｌの強度が低下していないと判定した場合、駆動部２が励起レーザ光源３の駆動を停止したか判断する（ステップＳ２０８）。制御部１０Ｂは、駆動部２が励起レーザ光源３の駆動を停止していない場合（ステップＳ２０８でＮＯ）、処理の流れをステップＳ２０１へ戻す。制御部１０Ｂは、駆動部２が励起レーザ光源３の駆動を停止した場合（ステップＳ２０８でＹＥＳ）、図６に示す処理を終了する。

また、制御部１０Ｂ（警報部１０２）は、選択部１０４から警報部１０２へ供給されたデジタル信号が示す光強度が、記憶部に記憶されているレーザ出力光Ｌの光強度の目標値に対応した警報閾値以下である場合（ステップＳ２０５でＮＯ）、レーザ出力光Ｌの光強度が低下していると判定する。制御部１０Ｂは、レーザ出力光Ｌの光強度が低下していると判定した場合、まず駆動部２を制御して励起レーザ光源３の駆動を停止する（ステップＳ２０６）。次に制御部１０Ｂは、表示部１５を制御する警報信号を出力し、表示部１５は、この警報信号に応じてレーザ出力光Ｌの強度の低下を警告するメッセージ（警報）を表示する（ステップＳ２０７）。ステップＳ２０６とステップＳ２０７の処理は、出力ステップの一例である。

例えば、パルス出力部１３の立ち上がりの時定数が大きい場合、パルス出力部１３から出力される電気信号のピークは、増幅部１２から出力される電気信号のピークより遅れる。このため、例えば、ＡＤ変換部１４Ａ、１４ＢにおけるＡＤ変換のサンプリングのタイミングが増幅部１２から出力される電気信号のピークのタイミングである場合、ＡＤ変換部１４Ａは、パルス出力部１３から出力される電気信号の立ち上がりでサンプリングを行い、デジタル信号ＳＤ１が示す光強度は、レーザ出力光Ｌのピーク時点の光強度に対応した電圧ではないものとなる。この場合、図４に示す処理であると、警報部１０２においてレーザ出力光Ｌの光強度が低下しているか否かを正確に判定できなくなる虞があるが、本実施形態では、増幅部１２から出力される電気信号のＡＤ変換の結果をレーザ出力光Ｌの光強度の判定に用いることができるため、誤判定を防ぐことができる。

［第３実施形態］
次に本発明の第３実施形態について説明する。第３実施形態に係るファイバレーザ装置は、パルス信号検出器の構成が第２実施形態と異なる。具体的には、第３実施形態に係るパルス信号検出器は、ハードウェア構成は第２実施形態と同じであり、制御部１０Ｂが行う処理が第２実施形態と異なる。このため、第１実施形態及び第２実施形態と同じ構成については同じ符号を用いて説明を省略し、以下の説明においては、第１実施形態及び第２実施形態との相違点について説明する。

図７は、第３実施形態に係るパルス信号検出器１Ｂがレーザ出力光Ｌの光強度の低下を判定する処理の流れを示すフローチャートである。

制御部１０Ｂ（選択部１０４）は、デジタル信号ＳＤ１とデジタル信号ＳＤ２を取得する（ステップＳ３０１）。制御部１０Ｂは、取得したデジタル信号ＳＤ１の値がデジタル信号ＳＤ２の値より大きいか判断する（ステップＳ３０２）。制御部１０Ｂは、デジタル信号ＳＤ１の値がデジタル信号ＳＤ２の値より大きい場合（ステップＳ３０２でＹＥＳ）、デジタル信号ＳＤ２をモニタ部１０１へ供給する（ステップＳ３０３）。

次に制御部１０Ｂは、デジタル信号ＳＤ１の値が記憶部に記憶されている予め定められた判別閾値より大きいか判断する（ステップＳ３０４）。この判別閾値は、レーザ出力光Ｌの光強度の目標値毎に記憶されており、警報閾値より大きい値である。制御部１０Ｂは、デジタル信号ＳＤ１の値が判別閾値以下である場合（ステップＳ３０４でＮＯ）、レーザ出力光Ｌの光強度について、判定不能とのエラー出力を表示部１５で行い（ステップＳ３０９）、図７に示す処理を終了する。

制御部１０Ｂは、デジタル信号ＳＤ１の値が判別閾値より大きい場合（ステップＳ３０４でＹＥＳ）、デジタル信号ＳＤ１を警報部１０２へ供給する（ステップＳ３０５）。なお、制御部１０Ｂは、ここでデジタル信号ＳＤ１に替えてデジタル信号ＳＤ２を警報部１０２へ供給してもよい。ステップＳ３０２～ステップＳ３０５の処理は、選択ステップの一例である。

次に制御部１０Ｂ（警報部１０２）は、選択部１０４から警報部１０２へ供給されたデジタル信号が示す光強度が、記憶部に記憶されているレーザ出力光Ｌの光強度の目標値に対応した警報閾値より大きいか判断する（ステップＳ３０６）。制御部１０Ｂは、選択部１０４から警報部１０２へ供給されたデジタル信号が示す光強度が、記憶部に記憶されているレーザ出力光Ｌの光強度の目標値に対応した警報閾値より大きい場合（ステップＳ３０６でＹＥＳ）、レーザ出力光Ｌの光強度が低下していないと判定する。

制御部１０Ｂは、レーザ出力光Ｌの強度が低下していないと判定した場合、駆動部２が励起レーザ光源３の駆動を停止したか判断する（ステップＳ３１３）。制御部１０Ｂは、駆動部２が励起レーザ光源３の駆動を停止していない場合（ステップＳ３１３でＮＯ）、処理の流れをステップＳ３０１へ戻す。制御部１０Ｂは、駆動部２が励起レーザ光源３の駆動を停止した場合（ステップＳ３１３でＹＥＳ）、図７に示す処理を終了する。

また、制御部１０Ｂ（警報部１０２）は、選択部１０４から警報部１０２へ供給されたデジタル信号が示す光強度が、記憶部に記憶されているレーザ出力光Ｌの光強度の目標値に対応した警報閾値以下である場合（ステップＳ３０６でＮＯ）、レーザ出力光Ｌの光強度が低下していると判定する。制御部１０Ｂは、レーザ出力光Ｌの光強度が低下していると判定した場合、まず駆動部２を制御して励起レーザ光源３の駆動を停止する（ステップＳ３０７）。次に制御部１０Ｂは、表示部１５を制御する警報信号を出力し、表示部１５は、この警報信号に応じてレーザ出力光Ｌの強度の低下を警告するメッセージ（警報）を表示する（ステップＳ３０８）。ステップＳ３０６とステップＳ３０８の処理は、出力ステップの一例である。

なお、制御部１０Ｂは、デジタル信号ＳＤ２の値がデジタル信号ＳＤ１の値以上である場合（ステップＳ３０２でＮＯ）、デジタル信号ＳＤ１をモニタ部１０１へ供給する（ステップＳ３１０）。

次に制御部１０Ｂは、デジタル信号ＳＤ２の値が判別閾値より大きいか判断する（ステップＳ３１１）。制御部１０Ｂは、デジタル信号ＳＤ２の値が判別閾値以下である場合（ステップＳ３１１でＮＯ）、レーザ出力光Ｌの光強度について、判定不能とのエラー出力を表示部１５で行い（ステップＳ３０９）、図７に示す処理を終了する。

制御部１０Ｂは、デジタル信号ＳＤ２の値が判別閾値より大きい場合（ステップＳ３１１でＹＥＳ）、デジタル信号ＳＤ２を警報部１０２へ供給する（ステップＳ３１２）。なお、制御部１０Ｂは、ここでデジタル信号ＳＤ２に替えてデジタル信号ＳＤ１を警報部１０２へ供給してもよい。ステップＳ３０２、Ｓ３１０、ステップＳ３１１及びステップＳ３１２の処理は、選択ステップの一例である。制御部１０Ｂは、ステップＳ３１２の後は、ステップＳ３０６へ処理の流れを移す。ステップＳ３０６から後の処理については前述したため、その説明を省略する。

本実施形態によれば、デジタル信号ＳＤ１、ＳＤ２のうち、警報の判定に使用できる判別閾値より大きい信号で光強度の低下を判定するため、誤判定を防ぐことができる。

［第４実施形態］
次に本発明の第４実施形態について説明する。図８は、本発明の第４実施形態に係るファイバレーザ装置の構成の一例を示すブロック図である。第４実施形態に係るファイバレーザ装置は、パルス信号検出器の構成が第２実施形態と異なる。具体的には、第４実施形態に係るパルス信号検出器１Ｄは、増幅部１２に替えて第２パルス出力部１３Ｂを備え、パルス出力部１３に替えて第１パルス出力部１３Ａを備える。なお、パルス信号検出器１Ｄ及び駆動部２は、パルス信号発生器５００Ｄを構成している。他の構成については第２実施形態と同じであるため、第２実施形態と同じ構成については同じ符号を用いて説明を省略し、以下の説明においては、第２実施形態との相違点について説明する。

第１パルス出力部１３Ａは、検出部１１から出力された電気信号が供給される。第１パルス出力部１３Ａは、供給される電気信号のパルス幅を変更する回路を備えている。本実施形態においては、第１パルス出力部１３Ａは、電気信号のパルス幅を変更する回路として、例えば、図２に示すピークホールド回路を備えている。第１パルス出力部１３Ａは、第１のパルス出力部の一例である。また、第１パルス出力部１３Ａが行うパルス幅の変更は、第１のパルス出力ステップの一例である。

第２パルス出力部１３Ｂは、検出部１１から出力された電気信号が供給される。第２パルス出力部１３Ｂは、供給される電気信号のパルス幅を変更する回路を備えている。本実施形態においては、第２パルス出力部１３Ｂは、電気信号のパルス幅を変更する回路として、例えば、図２に示すピークホールド回路を備えている。第２パルス出力部１３Ｂは、第２のパルス出力部の一例である。また、第２パルス出力部１３Ｂが行うパルス幅の変更は、第２のパルス出力ステップの一例である。

図９は、第１パルス出力部１３Ａから出力される電気信号の波形と、第２パルス出力部１３Ｂから出力される電気信号の波形の一例を示す図である。図９の（ａ）は、第２パルス出力部１３Ｂから出力される電気信号の波形であり、図９の（ｂ）は、第１パルス出力部１３Ａから出力される電気信号の波形である。第１パルス出力部１３Ａと第２パルス出力部１３Ｂにおいては、出力する電気信号について、立ち上がりの時定数が立下りの時定数より小さいものとなっている。また、第１パルス出力部１３Ａのピークホールド回路においては、コンデンサＣ１の容量が第２パルス出力部１３Ｂのピークホールド回路のコンデンサＣ１より大きいものとなっている。このため、図９に示すように、第１パルス出力部１３Ａの立下りの時定数は、第２パルス出力部１３Ｂの立下りの時定数より大きくなっている。

ＡＤ変換部１４Ｂは、第２パルス出力部１３Ｂから供給される電気信号の電圧をサンプリングし、サンプリングで得た電圧を示すデジタル信号ＳＤ２を制御部１０Ｂへ供給する。ＡＤ変換部１４Ｂが行うＡＤ変換は、第２変換ステップの一例である。ＡＤ変換部１４Ａは、第１パルス出力部１３Ａから供給される電気信号の電圧をサンプリングし、サンプリングで得た電圧を示すデジタル信号ＳＤ１を制御部１０Ｂへ供給する。ＡＤ変換部１４Ａが行うＡＤ変換は、第１変換ステップの一例である。

制御部１０Ｂは、第２実施形態に係る図６に示す処理を実行し、レーザ出力光Ｌの光強度の低下を警告する。なお、制御部１０Ｂは、図６に示す処理に替えて、第３実施形態に係る図７に示す処理を実行し、レーザ出力光Ｌの光強度の低下を警告してもよい。

本実施形態においても、ピークホールド回路で保持した電圧がＡＤ変換部１４Ａ、１４Ｂでサンプリングされるため、サンプリングのタイミングがレーザ出力光Ｌのピークのタイミングに合致していなくても、レーザ出力光Ｌのピーク時点の光強度に近似の光強度を示すデジタル信号ＳＤ１、ＳＤ２が警報部１０２へ供給され、レーザ出力光Ｌの光強度が低下しているか否かを判定することができる。

なお、パルス信号検出器１Ｄにおいては、選択部１０４を設けず、デジタル信号ＳＤ２がモニタ部１０１へ供給され、デジタル信号ＳＤ１が警報部１０２へ供給される構成であってもよい。

［変形例］
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態に限定されることなく、他の様々な形態で実施可能である。例えば上述の実施形態を以下のように変形して本発明を実施してもよい。なお、上述した実施形態及び以下の変形例は、各々を組み合わせてもよい。上述した各実施形態及び各変形例の構成要素を適宜組み合わせて構成したものも本発明に含まれる。また、さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。よって、本発明のより広範な態様は、上記の実施の形態や変形例に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。

パルス出力部１３、第１パルス出力部１３Ａ及び第２パルス出力部１３Ｂにおいては、供給される電気信号のパルス幅を変更する回路は、ピークホールド回路に限定されるものではなく、例えばローパスフィルタの回路であってもよい。

上述した実施形態においては、ピークホールド回路は、ダイオードＤ１、コンデンサＣ１及び抵抗Ｒ１で構成されているが、例えばダイオード、コンデンサ、抵抗及びオペアンプを用いた周知のピークホールド回路であってもよい。

パルス信号検出器１Ａ、１Ｂ、１Ｄは、検出部１１でパルス光であるレーザ出力光Ｌを検出しているが、パルス信号検出器１Ａ、１Ｂが検出するパルスは、レーザ出力光Ｌに限定されるものではなく、例えばパルスレーダ装置におけるパルス波を検出してもよい。この構成の場合、パルス波を出力する構成がパルス信号出力部に相当し、検出部１１は、パルス波を検出し、検出したパルス波に応じた電気信号を出力する。

１Ａ、１Ｂ、１Ｄ パルス信号検出器
２ 駆動部
３ 励起レーザ光源
４ 励起光合波器
５ 第１ファイバブラッググレーティング
６ 増幅用光ファイバ
７ 第２ファイバブラッググレーティング
８ カプラ
１０Ａ、１０Ｂ 制御部
１１ 検出部
１２ 増幅部
１３ パルス出力部
１３Ａ 第１パルス出力部
１３Ｂ 第２パルス出力部
１４Ａ、１４Ｂ ＡＤ変換部
１５ 表示部
１０１ モニタ部
１０２ 警報部
１０３ 出力光制御部
１０４ 選択部
５００Ａ、５００Ｂ、５００Ｄ パルス信号発生器
１０００ ファイバレーザ装置

Claims (14)

1. 入力されたレーザ光のパルス光であるパルス信号を検出し、入力されたレーザ光の強度に対応した電気信号を出力する検出部と、
   前記検出部が出力した前記電気信号のパルス幅を広げて出力する第１のパルス出力部と、
   前記第１のパルス出力部から出力された電気信号を次の電気信号の立ち上がりまでのいずれかの時点で第１デジタル信号に変換する第１変換部と、
   前記第１デジタル信号が示す値が予め定められた警報閾値より小さい場合、警報信号を出力する警報部と、
   を備え、
   前記第１のパルス出力部から出力された電気信号は、立ち上がりの方が立下りのときより急峻に変化し、次の電気信号の立ち上がり時点まで０Ｖではなく、
   前記第１のパルス出力部からパルス幅を広げて出力される電気信号は、パルス幅が広がることで前記第１変換部が前記第１のパルス出力部から出力された電気信号のピークのタイミングではないタイミングで第１デジタル信号に変換するときにはピークからの低下が抑えられている
   パルス信号検出器。
2. 入力されたレーザ光のパルス光であるパルス信号を検出し、入力されたレーザ光の強度に対応した電気信号を出力する検出部と、
   前記検出部が出力した前記電気信号のパルス幅を広げて出力する第１のパルス出力部と、
   前記検出部が出力した前記電気信号のパルス幅を、前記パルス幅以上で且つ前記第１のパルス出力部から出力される電気信号のパルス幅とは異なるパルス幅にして出力する第２のパルス出力部と、
   前記第１のパルス出力部から出力された電気信号を次の電気信号の立ち上がりまでのいずれかの時点で第１デジタル信号に変換する第１変換部と、
   前記第２のパルス出力部から出力された電気信号を次の電気信号の立ち上がりまでのいずれかの時点で第２デジタル信号に変換する第２変換部と、
   前記第１デジタル信号と前記第２デジタル信号の一方を選択する選択部と、
   前記選択部で選択された信号が示す値が予め定められた警報閾値より小さい場合、警報信号を出力する警報部と、
   を備え、
   前記第１のパルス出力部から出力された電気信号は、立ち上がりの方が立下りのときより急峻に変化し、次の電気信号の立ち上がり時点まで０Ｖではなく、
   前記第１のパルス出力部から出力されている電気信号の立下りの時定数が前記第２のパルス出力部から出力されている電気信号の立下りの時定数より大きく、
   前記第１のパルス出力部からパルス幅を広げて出力される電気信号は、パルス幅が広がることで前記第１変換部が前記第１のパルス出力部から出力された電気信号のピークのタイミングではないタイミングで第１デジタル信号に変換するときにはピークからの低下が抑えられている
   パルス信号検出器。
3. 前記第２のパルス出力部は、前記検出部で検出された前記電気信号のパルス幅を前記パルス幅より広く、且つ第１のパルス出力部から出力される電気信号のパルス幅未満に広げて出力する
   請求項２に記載のパルス信号検出器。
4. 前記第１デジタル信号と前記第２デジタル信号のうち、値の小さい信号をモニタ部に入力し、入力された信号に基づいてモニタ部で演算された値を、前記検出部に入力されたパルス信号の出力値とする
   請求項２又は請求項３に記載のパルス信号検出器。
5. 前記選択部は、前記第１デジタル信号と前記第２デジタル信号のうち、値の大きい信号を選択する
   請求項２から請求項４のいずれか一項に記載のパルス信号検出器。
6. 前記第１のパルス出力部から出力される電気信号の値は、次の電気信号の立ち上がりの時点でピーク値の３割以上の値である
   請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のパルス信号検出器。
7. 請求項１から請求項６のいずれか一項に記載のパルス信号検出器と、
   前記パルス信号検出器に入力されるレーザ光のパルス光であるパルス信号を出力するパルス信号出力部と、
   を備えるパルス信号発生器。
8. 請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のパルス信号検出器と、
   前記パルス信号検出器に入力されるレーザ光のパルス光であるパルス信号を出力する
   レーザ光出力部と、
   を備えるレーザ装置。
9. 入力されたレーザ光のパルス光であるパルス信号を検出し、入力されたレーザ光の強度に対応した電気信号を出力する検出ステップと、
   前記検出ステップで出力された前記電気信号のパルス幅を広げて出力する第１のパルス出力ステップと、
   前記第１のパルス出力ステップで出力された電気信号を次の電気信号の立ち上がりまでのいずれかの時点で第１デジタル信号に変換する第１変換ステップと、
   前記第１デジタル信号が示す値が予め定められた警報閾値より小さい場合、警報信号を出力する出力ステップと、
   を備え、
   前記第１のパルス出力ステップで出力された電気信号は、立ち上がりの方が立下りのときより急峻に変化し、次の電気信号の立ち上がり時点まで０Ｖではなく、
   前記第１のパルス出力ステップでパルス幅を広げて出力される電気信号は、パルス幅が広がることで前記第１変換ステップにおいて前記第１のパルス出力ステップで出力された電気信号のピークのタイミングではないタイミングで第１デジタル信号に変換するときにはピークからの低下が抑えられている
   パルス信号の検出方法。
10. 入力されたレーザ光のパルス光であるパルス信号を検出し、入力されたレーザ光の強度に対応した電気信号を出力する検出ステップと、
    前記検出ステップで出力された前記電気信号のパルス幅を広げて出力する第１のパルス出力ステップと、
    前記検出ステップで出力された前記電気信号のパルス幅を、前記パルス幅以上で且つ前記第１のパルス出力ステップで出力される電気信号のパルス幅とは異なるパルス幅にして出力する第２のパルス出力ステップと、
    前記第１のパルス出力ステップで出力された電気信号を次の電気信号の立ち上がりまでのいずれかの時点で第１デジタル信号に変換する第１変換ステップと、
    前記第２のパルス出力ステップで出力された電気信号を次の電気信号の立ち上がりまでのいずれかの時点で第２デジタル信号に変換する第２変換ステップと、
    前記第１デジタル信号と前記第２デジタル信号の一方を選択する選択ステップと、
    前記選択ステップで選択された信号が示す値が予め定められた警報閾値より小さい場合、警報信号を出力する出力ステップと、
    を備え、
    前記第１のパルス出力ステップで出力された電気信号は、立ち上がりの方が立下りのときより急峻に変化し、次の電気信号の立ち上がり時点まで０Ｖではなく、
    前記第１のパルス出力ステップで出力された電気信号の立下りの時定数が前記第２のパルス出力ステップで出力された電気信号の立下りの時定数より大きく、
    前記第１のパルス出力ステップでパルス幅を広げて出力される電気信号は、パルス幅が広がることで前記第１変換ステップにおいて前記第１のパルス出力ステップで出力された電気信号のピークのタイミングではないタイミングで第１デジタル信号に変換するときにはピークからの低下が抑えられている
    パルス信号の検出方法。
11. 入力されたレーザ光のパルス光であるパルス信号を検出し、入力されたレーザ光の強度に対応した電気信号を出力する検出部と、
    前記検出部が出力した前記電気信号のパルス幅を広げて出力する第１のパルス出力部と、
    前記第１のパルス出力部から出力された電気信号を次の電気信号の立ち上がりまでのいずれかの時点で第１デジタル信号に変換する第１変換部と、
    前記第１デジタル信号が示す値が予め定められた警報閾値より小さい場合、警報信号を出力する警報部と、
    を備え、
    前記第１のパルス出力部から出力された電気信号は、立ち上がりの方が立下りのときより急峻に変化し、次の電気信号の立ち上がり時点でピーク値の半分以下であり、
    前記第１のパルス出力部から出力される電気信号の値は、次の電気信号の立ち上がりの時点でピーク値の３割以上の値である
    パルス信号検出器。
12. 入力されたレーザ光のパルス光であるパルス信号を検出し、入力されたレーザ光の強度に対応した電気信号を出力する検出部と、
    前記検出部が出力した前記電気信号のパルス幅を広げて出力する第１のパルス出力部と、
    前記検出部が出力した前記電気信号のパルス幅を、前記パルス幅以上で且つ前記第１のパルス出力部から出力される電気信号のパルス幅とは異なるパルス幅にして出力する第２のパルス出力部と、
    前記第１のパルス出力部から出力された電気信号を次の電気信号の立ち上がりまでのいずれかの時点で第１デジタル信号に変換する第１変換部と、
    前記第２のパルス出力部から出力された電気信号を次の電気信号の立ち上がりまでのいずれかの時点で第２デジタル信号に変換する第２変換部と、
    前記第１デジタル信号と前記第２デジタル信号の一方を選択する選択部と、
    前記選択部で選択された信号が示す値が予め定められた警報閾値より小さい場合、警報信号を出力する警報部と、
    を備え、
    前記第１のパルス出力部から出力された電気信号は、立ち上がりの方が立下りのときより急峻に変化し、次の前記電気信号の立ち上がり時点でピーク値の半分以下であり、
    前記第１のパルス出力部から出力されている電気信号の立下りの時定数が前記第２のパルス出力部から出力されている電気信号の立下りの時定数より大きく、
    前記第１のパルス出力部から出力される電気信号の値は、次の電気信号の立ち上がりの時点でピーク値の３割以上の値である
    パルス信号検出器。
13. 入力されたレーザ光のパルス光であるパルス信号を検出し、入力されたレーザ光の強度に対応した電気信号を出力する検出ステップと、
    前記検出ステップで出力された前記電気信号のパルス幅を広げて出力する第１のパルス出力ステップと、
    前記第１のパルス出力ステップで出力された電気信号を次の電気信号の立ち上がりまでのいずれかの時点で第１デジタル信号に変換する第１変換ステップと、
    前記第１デジタル信号が示す値が予め定められた警報閾値より小さい場合、警報信号を出力する出力ステップと、
    を備え、
    前記第１のパルス出力ステップで出力された電気信号は、立ち上がりの方が立下りのときより急峻に変化し、次の前記電気信号の立ち上がり時点でピーク値の半分以下であり、
    前記第１のパルス出力ステップで出力される電気信号の値は、次の電気信号の立ち上がりの時点でピーク値の３割以上の値であるパルス信号の検出方法。
14. 入力されたレーザ光のパルス光であるパルス信号を検出し、入力されたレーザ光の強度に対応した電気信号を出力する検出ステップと、
    前記検出ステップで出力された前記電気信号のパルス幅を広げて出力する第１のパルス出力ステップと、
    前記検出ステップで出力された前記電気信号のパルス幅を、前記パルス幅以上で且つ前記第１のパルス出力ステップで出力される電気信号のパルス幅とは異なるパルス幅にして出力する第２のパルス出力ステップと、
    前記第１のパルス出力ステップで出力された電気信号を次の電気信号の立ち上がりまでのいずれかの時点で第１デジタル信号に変換する第１変換ステップと、
    前記第２のパルス出力ステップで出力された電気信号を次の電気信号の立ち上がりまでのいずれかの時点で第２デジタル信号に変換する第２変換ステップと、
    前記第１デジタル信号と前記第２デジタル信号の一方を選択する選択ステップと、
    前記選択ステップで選択された信号が示す値が予め定められた警報閾値より小さい場合、警報信号を出力する出力ステップと、
    を備え、
    前記第１のパルス出力ステップで出力された電気信号は、立ち上がりの方が立下りのときより急峻に変化し、次の前記電気信号の立ち上がり時点でピーク値の半分以下であり、
    前記第１のパルス出力ステップで出力された電気信号の立下りの時定数が前記第２のパルス出力ステップで出力された電気信号の立下りの時定数より大きく、
    前記第１のパルス出力ステップで出力される電気信号の値は、次の電気信号の立ち上がりの時点でピーク値の３割以上の値である
    パルス信号の検出方法。

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