JP7357982B2 - 流体制御器用筐体およびそれを備えた流体制御器 - Google Patents

Description

本発明は、流体制御器用筐体およびそれを備えた流体制御器に関する。

従来、流路が内部に形成された直方体の本体と、本体に取り付けられて流路内の圧力や温度等を検出するセンサと、本体上に取り付けられて、センサの検出値に応じて流路を開閉する制御弁と、を備える流体制御器が広く知られている（特許文献１～４等）。制御弁としては、積層型圧電素子を内蔵するピエゾアクチュエータの伸縮を利用してダイヤフラム弁体を開閉制御する圧電駆動弁が知られている。本体上の制御弁等を覆うようにして、本体上に筐体が取り付けられる。

図９は、従来の流体制御器の一例を示す断面図（特許文献３の図１）である。図９に示された流体制御器１００は、流路１０２が形成された本体１０１と、流路１０２に介在されたダイヤフラム弁体１０３と、ダイヤフラム弁体１０３を開閉操作するピエゾアクチュエータ１０４と、ダイヤフラム弁体１０３の下流側の流路１０２に介在された絞り機構１０５と、ダイヤフラム弁体１０３と絞り機構１０５と間の流路１０２内の圧力を検出する圧力センサ１０６と、を備えている。本体１０１に筐体１０７が取り付けられている。

オリフィス等の絞り機構１０５を通過するガスの流量Ｑは、絞り機構１０５の上流側の絶対圧力（Ｐ１）が絞り機構１０５の下流側の圧力（Ｐ２）の２倍以上の圧力条件下では、絞り機構１０５を通過するガスの流速が音速となる。つまり流量Ｑは絞り機構１０５のオリフィス部の速度が音速で不変であるため、上流側の絶対圧力（Ｐ１）にのみ比例する。この原理を臨界膨張条件といい、この種の流体制御器１００は、この原理を利用することにより高精度に流量を制御する。図９に示す流体制御器は、絞り機構１０５の上流側にのみ圧力センサ１０６が設けられている例が示されているが、図１０に示す例のように、絞り機構１０５の下流側にも圧力センサ１０８を追加して下流側の流体の圧力（Ｐ２）も検出され得る。なお、図１０に於いて、図９と同様の構成要素に同符号を付している。

ピエゾアクチュエータを備える圧電駆動弁は、メンテナンス時等において、必要に応じて、積層型圧電素子によるダイヤフラム弁体の作動ストロークが調整される。作動ストロークの調整は、積層型圧電素子１０４ａが収容されているケース１０４ｂの上部に螺着された調整用袋ナット１０４ｃの締め込み量を調整することによってなされる。斯かる調整に関して、参照により組み込まれる特開２００３－１２０８３２号公報，特開２００８－２４９００２号公報に詳細に記載されている。

また、この種の流体制御器においては、流体制御器を通過する流体が高温流体である場合、制御する流体を所定温度に保持するために、図１１に示すように、筐体１０７が固定されている流体制御器の本体をジャケットヒータ等の保温材１０９によって覆うことが、参照により組み込まれる国際公開ＷＯ２０１１/０６７８７７号に詳細に記載されている
。

特開平１１－３５３０３０号公報 特開２００３－１２０８３２号公報、段落００２８、図１ 特開２００８－２４９００２号公報、段落００２９、段落００４８、図１～図３、図９、図１０ 国際公開ＷＯ２０１１/０６７８７７号パンフレット、図１１

従来、圧電駆動弁のストローク調整等のメンテナンスを行うには、流体制御器の本体から筐体を取り外す必要がある。筐体は、一般に、筐体の下部が本体の側面にねじ止めされている。流体制御器の本体がジャケットヒータ等の保温材で覆われていると、筐体を取り外す前にジャケットヒータを取り外さなければならず、作業効率が悪かった。また、ジャケットヒータ等の保温材により筐体内の温度を所定温度に保持した状態で圧電駆動弁のストローク調整等のメンテナンスを行いたい場合であっても、筐体の下部の固定を流体制御器の本体から外すことにより筐体内の温度が急激に下がり、温度特性を考慮した調整等を行うことが困難であった。

そこで、本発明は、筐体の下部を流体制御器の本体に固定した状態であっても筐体内のメンテナンスを可能とし、メンテナンス性を向上させることができる流体制御器用筐体及び当該流体制御器用筐体を備えた流体制御器を提供することを主たる目的とする。

上記従来の問題を解決するため、本発明に係る流体制御器用筐体は、一態様において、流体制御器の本体上の機器をカバーするための流体制御器用筐体であって、前記本体に固定するための固定部を備える第１部分と、前記第１部分に取り付けられる第２部分と、前記筐体の所定高さ位置より上部において着脱可能に配設される第３部分と、に分割可能に構成されている。

一態様において、前記第１部分は、前記流体制御器用筐体を縦割状に分割した一方の部分であり、前記第２部分及び第３部分は、前記第１部分によって縦割状に分割された前記流体制御器用筐体の他方の部分を上下に分割可能とし、前記第３部分が前記第２部分の上部に配置される。

一態様において、前記第１部分は、前記固定部を備える第４部分と、前記第４部分の上部において着脱可能に配設される第５部分とに分割可能に構成される。

一態様において、前記第３部分と前記第５部分との高さ寸法が異なる。

一態様において、前記第１部分が被係止部を備え、前記第２部分は、前記被係止部に係止することにより前記第２部分を前記第１部分に着脱可能に取り付ける係止部を備え、前記係止部は、前記第２部分を前記第１部分に沿わせて下方にスライドさせることにより係止し、前記第２部分を前記第１部分に沿わせて上方にスライドさせることにより係止を離脱するように構成されている。

一態様において、前記第１部分は、前記流体制御器用筐体を上下に分割可能とする下方部分であり、前記第２部分及び第３部分は、前記第１部分によって分割された前記流体制御器用筐体の上方部分を縦割状に分割する部分である。

一態様において、前記第１部分と前記第２部分とが係合により着脱自在に取り付けられ、前記第３部分が前記第１部分及び前記第２部分の何れか一方に固定されることによって前記係合が外れないように構成されている。

また、上記従来の問題を解決するため、本発明に係る流体制御器は、流路が形成された本体と、前記本体上に搭載された流体制御用の機器と、前記本体に固定され前記機器を覆う本発明に係る上記態様の何れかに記載の流体制御器用筐体と、を備える。

本発明によれば、流体制御器用筐体を、流体制御器の本体に固定する第１部分とその他の部分とに分割し、更に前記その他の部分を第２部分と筐体の上部に位置する第３部分とに分割し、前記筐体の上部にある第３部分を着脱自在とすることにより、前記第３部分のみを取り外して筐体内をメンテナンスすることができる。

本発明に係る流体制御器用筐体の第１実施形態を流体制御器とともに示す分解斜視図である。 図１の流体制御器用筐体の他の分解状態を示す分解斜視図である。 図１の流体制御器用筐体の他の分解状態を示す分解斜視図である。 図１の流体制御器用筐体の組み立て後の状態を示す斜視図である。 本発明に係る流体制御器用筐体の第２実施形態を示す分解斜視図である。 本発明に係る流体制御器用筐体の第３実施形態を示す分解斜視図である。 本発明に係る流体制御器用筐体の第４実施形態を示す分解斜視図である。 本発明に係る流体制御器用筐体の第５実施形態を示す分解斜視図である。 従来の筐体が取り付けられた流体制御器の断面図である。 従来の筐体が取り付けられた流体制御器の断面図である。 従来の筐体が取り付けられた流体制御器であって、流体量制御器本体が保温材で覆われた例を示す斜視図である。

本発明に係る流体制御器用筐体の実施形態について、以下に図１～図８を参照して説明する。従来技術を含め、全図及び全実施形態を通して同一又は類似の構成要素には同符号を付している。

本発明に係る流体制御器用筐体の第１実施形態について、図１～図４を参照して説明する。流体制御器用筐体１は、流体制御器１００の本体１０１に固定される第１部分２と、第１部分２に取り付けられる第２部分４と、第２部分４の上部において着脱可能に配設される第３部分５と、に分割可能に構成されている。

第１部分２は、流体制御器用筐体１を縦割状に分割した一方の部分である。第２部分４及び第３部分５は、第１部分２によって縦割状に分割された流体制御器用筐体１の他方の部分３を上下に分割した部分である。第３部分５が第２部分４の上部に配置されている。

流体制御器１００は、流路１０２（図９参照）が形成された本体１０１の上に、ピエゾアクチュエータ１０４や圧力センサ１０６、１０８等の流体制御用の機器が固定され、これらの機器を流体制御器用筐体１がカバーする。ピエゾアクチュエータ１０４の上部には、調整用袋ナット１０４ｃが螺着されている。この種の流体制御器１００は、上述したように従来公知であるので、内部構造等の詳細な説明は省略する。第１部分２には、ピエゾアクチュエータ１０４、及び圧力センサ１０６、１０８の電気配線を接続するためのコネクタ６が取り付けられている。電気配線は、一部のみが図示され、残りの部分は図示省略されている。

第１部分２は、後板２ａと、左右の側板２ｂ、２ｃと、上部のステー２ｄと、鈎状の被係止部２ｅ、２ｆ、２ｇ、２ｈと、本体１０１に固定するための固定部２ｉを構成する座板とを備えている。第１部分２は、アルミ等の一枚の金属板を切削加工及び折り曲げ加工することにより、形成されている。固定部２ｉは、左右の側板２ｂ、２ｃの其々の下端から内側に直角に突出して形成されている。固定部２ｉは、螺子７（図２）を通す通孔２ｊが形成されている。固定部２ｉを構成する座板は、本体１０１の上面に載置される。なお、本明細書において「前」、「後」、「左」、「右」を便宜上使用しており、前後、左右はどちらでもよい。

本体１０１の上面には、通孔２ｊと合致する位置に螺子孔１０１ａが形成されている。図２に示すように螺子７によって、第１部分２が本体１０１上に載置されて固定され得る。

第２部分４は、下部前板４ａと、左右の下部側板４ｂ、４ｃと、左右の下部側板４ｂ、４ｃの其々に設けられた係止部４ｅ、４ｆ、４ｇ、４ｈとを備えている。第２部分４は、アルミ等の一枚の金属板を切削加工及び折り曲げ加工することにより、形成されている。

第３部分５は、天板５ａと、上部前板５ｂと、左右の上部側板５ｃ、５ｄと、下部突片５ｅと、側部突片５ｆ、５ｇとを備えている。第３部分５は、アルミ等の一枚の金属板を切削加工及び折り曲げ加工することにより、形成されている。

係止部４ｅ，４ｆ，４ｇ，４ｈが被係止部２ｅ，２ｆ，２ｇ，２ｈに其々係止することにより、第２部分４が第１部分２に着脱可能に取り付けられる。

第１部分２の被係止部２ｅ，２ｆ，２ｇ，２ｈは、上下に離間して複数段（図示例では２段）設けられている。係止部４ｅ，４ｆ，４ｇ，４ｈは、被係止部２ｅ，２ｆ，２ｇ，２ｈに対応して、上下に離間して複数段（図示例では２段）設けられている。

被係止部２ｅ，２ｆ，２ｇ，２ｈは、左右の側板２ｂ、２ｃの其々の内側から突出し、Ｌ字状に形成されている。係止部４ｅ，４ｆ，４ｇ，４ｈは、逆Ｌ字状に形成され、左右の下部側板４ｂ、４ｃの其々の側端縁から内側に直角に延びている。

被係止部２ｅ，２ｆ，２ｇ，２ｈの外側面が側板２ｂ、２ｃの内側面と同じ平面上に位置するように、被係止部２ｅ，２ｆ，２ｇ，２ｈが曲げ形成されている。係止部４ｅ，４ｆ，４ｇ，４ｈの外側面は、下部側板４ｂ、４ｃの側縁４ｂ１，４ｃ１と面一になるように曲げ形成されている。

係止部４ｅ，４ｆ，４ｇ，４ｈは、第２部分４を第１部分２に沿わせて下方にスライドさせることにより係止し、第２部分４を第１部分２に沿わせて上方にスライドさせることにより離脱する。Ｌ字状をした被係止部２ｅ，２ｆ，２ｇ，２ｈと逆Ｌ字状をした係止部４ｅ，４ｆ，４ｇ，４ｈは、同じ板厚であり、互いに嵌合し合う凹部の溝幅が板厚と略同一の幅とされており、図３に示す係止時にガタツキが生じにくくなっている。

図２を参照して、第２部分４の横幅Ｗ１と第１部分２の横幅Ｗ２とは、同寸法とされている。係止部４ｅ，４ｆ，４ｇ，４ｈを被係止部２ｅ，２ｆ，２ｇ，２ｈに係止させて第２部分４を第１部分２に取り付けると、下部側板４ｂ、４ｃと第１部分２の側板２ｂ、２ｃとは、互いに対向する側縁４ｂ１、４ｃ１と側縁２ｂ１、２ｃ１とが合致し、図３及び図４に示されているように側板２ｂ、２ｃと下部側板４ｂ、４ｃの其々の側面が面一になる。

第３部分５の天板５ａは、筐体１の天板を構成する。天板５ａは、第１部分２の上部に設けられたステー２ｄに載置され、図４に示すように螺子１０により螺子留めされる。天板５ａは、ステー２ｄに載置されると同時に、側板２ｂ、２ｃにも載置され得る。第３部分５は、螺子１０の付け外しにより、着脱可能となっている。

図３を参照して、天板５ａには、螺子１０を通すためのテーパー状の孔５ａ１、５ａ２が形成されており、ステー２ｄには螺子１０を螺入する螺子孔２ｄ１、２ｄ２が形成されている。ステー２ｄは、天板５ａに比べて小さい面積に形成されることにより、第３部分５を第１部分２から取り外した際に筐体内部にアクセスし易くなる。例えば、ステー２ｄの奥行寸法Ｗ３（図３）は、天板５ａの奥行寸法Ｗ４の半分以下とし得る。

上部前板５ｂの横幅Ｗ５は、第１部分２の横幅Ｗ２と同じ寸法である。上部側板５ｃ、５ｄの各々の側縁５ｃ１、５ｄ１は、第１部分２の左右の側板２ｂ、２ｃの側縁２ｂ１、２ｃ１と合致するように形成されている。また、第３部分５の下端縁５ｂ１は、第２部分４の上端縁４ａ１に合致する形状となっている。

側部突片５ｆ、５ｇが、第３部分５の側部から突出している。側部突片５ｆ、５ｇは、上部側板５ｃ、５ｄの内面から上部側板５ｃ、５ｄと平行に突出するように形成されている。側部突片５ｆ、５ｇは、第１部分２の側板２ｂ、２ｃの其々の内側面に当接し、案内され得る。第３部分５を第１部分２に取り付ける際、側部突片５ｆ、５ｇは、第１部分２の左右の側板２ｂ、２ｃの各々の内側面に当接することにより、第３部分５の左右方向の位置決めが容易になる。側部突片５ｆ、５ｇは、一方のみ設けることもできる。

下部突片５ｅは、上部前板５ｂの下部内面から下方に突出するようにして形成されている。下部突片５ｅは、第１部分２に取り付けられている第２部分４の下部前板４ａの内側面に当接し、案内され得る。第３部分５を第１部分２に取り付ける際、下部突片５ｅが第２部分４の下部前板４ａの内側面に案内されることにより、前後方向の位置決めが容易になり、第３部分５の下端縁５ｂ１と第２部分４の上端縁４ａ１との前後方向の位置合わせが容易になる。係止部４ｅ，４ｆ，４ｇ，４ｈを被係止部２ｅ，２ｆ，２ｇ，２ｈに係止させて第２部分４を第１部分２に取り付けた後、第３部分５を第１部分２に螺子１０により螺子留めすれば、第２部分４は上方へのスライドが第３部分５により阻止され、第２部分４の係止部４ｅ，４ｆ，４ｇ，４ｈは第１部分２の被係止部２ｅ，２ｆ，２ｇ，２ｈから抜脱できなくなる。そのため、第２部分４の螺子止め作業は不要であり、組立工数が削減され得る。

上記構成を有する流体制御器用筐体によれば、第３部分５を第１部分２から取り外せば、ピエゾアクチュエータ１０４の上端部に螺着された調整用袋ナット１０４ｃにアクセスして、その締め込み量（螺入量）を調節することができる。第３部分５及び第２部分４の高さ寸法は、本体１０１に搭載されるピエゾアクチュエータ１０４等の機器の寸法に応じて適宜設計することができる。

例えば、ピエゾアクチュエータ１０４の非円形断面を有する本体外周部１０４ｄ（図３）に一方のスパナ等の工具を掛け、調整用袋ナット１０４ｃに他のスパナ等の工具を掛けて、調整用袋ナット１０４ｃの締め込み量を調整することができる程度に、第３部分５及び第２部分４の高さ寸法を設定することがより好ましい。第２部分４の高さ寸法Ｈ１を、例えば、第１部分２の高さ寸法Ｈ２の１／２～１／４とすることにより、より容易にメンテナンス作業が可能となる。

また、流体制御器１００の本体１０１が保温材１０９（図４に破線で示す。）によって覆われている場合であっても、保温材１０９を取り外すことなく、第３部分５のみを第１部分２から取り外して、調整用袋ナット１０４ｃの締め込み量の調整（ストローク調整）等の機器メンテナンスを行うことができる。なお、流体制御器１００の本体１０１は、その周囲にアルミニウム製パネルヒータ（図示せず。）が取り付けられ、そのアルミニウム製パネルヒータを保温材１０９で覆う場合もある。

第３部分５のみを第１部分２から取り外すだけで、流体制御器用筐体１の全体を本体１０１から取り外す必要がないため、保温材１０９等による保温状態をある程度維持しつつ、調整用袋ナット１０４ｃの締め込み量の調整その他の筐体内部のメンテナンスを行うことができ、温度特性を考慮した調整その他のメンテンナンスが可能となる。

図５は、本発明に係る流体制御器用筐体の第２実施形態を示している。図５に示すように、第２実施形態の流体制御器用筐体は、係止部４ｅ’，４ｆ’，４ｇ’，４ｈ’を下部側板４ｂ、４ｃから下部側板４ｂ、４ｃに平行に突出した逆Ｌ字状とし、被係止部２ｅ’，２ｆ’，２ｇ’，２ｈ’を側板２ｂ、２ｃの内側面に突設したピンの形態としている点が上記第１実施形態と相違し、その他の構成は上記第１実施形態と同様である。

次に、本発明に係る流体制御器用筐体の第３実施形態について図６を参照して説明する。第３実施形態では、上記第１実施例の第１部分２に相当する部分が、固定部２ｉを備える第４部分２Ｄと、第４部分２Ｄの上部において着脱可能に配設される第５部分２Ｕとに上下に分割可能に構成されている。

この場合、第４部分２Ｄに設けられた係止部２Ｄ１、２Ｄ２と、第５部分２Ｕに設けられた被係止部２Ｕ１、２Ｕ２とが、其々係合する。係止部２Ｄ１、２Ｄ２は、左右の下部側板２ｃＤ，２ｂＤの内側面上端から上方に突設されている。被係止部２Ｕ１、２Ｕ２は、左右の上部側板２ｃＵ，２ｂＵの内側面下端から内側へ直角状に突設されている。第４部分２Ｄ上に第５部分２Ｕを載置してスライドさせることにより、係止部２Ｄ１、２Ｄ２と被係止部２Ｕ１、２Ｕ２とを係合させることができる。係止部２Ｄ１、２Ｄ２と被係止部２Ｕ１、２Ｕ２とを係合させることにより、上部後板２ａ１と下部後板２ａ２が面一となり、下部側板２ｃＤ，２ｂＤと上部側板２ｃＵ，２ｂＵも面一となる。

また、下部前板４の下部側板４ｂ、４ｃに設けられた係止部４ｉ、４ｊと、上部前板５の上部側板５ｃ、５ｄに設けられた被係止部５ｐ、５ｑとが、其々係合する。係止部４ｉ、４ｊは、左右の下部側板４ｂ，４ｃの内側面上端から上方に突設されている。被係止部５ｐ、５ｑは、左右の上部側板５ｃ，５ｄの内側面下端から内側へ直角状に突設されている。第２部分４上に第３部分５を載置してスライドさせることにより、係止部４ｉ、４ｊと被係止部５ｐ、５ｑとを係合させることができる。係止部４ｉ、４ｊと被係止部５ｐ、５ｑとを係合させることにより、下部前板４ａと上部前板５ｂとが面一となり、下部側板４ｂ，４ｃと上部側板５ｃ，５ｄも面一となる。

第３部分５の高さ寸法Ｈ３と第５部分２Ｕの高さ寸法Ｈ４を異なる寸法に設定することにより、メンテナンスが必要な機器に応じて、第３部分５を取り外すか第５部分２Ｕを取り外すかを選択することができる。第２部分４及び第４部分２Ｄの高さ寸法は、流体制御器に搭載される機器に応じて、適宜設定することができる。高さ寸法Ｈ３は、高さ寸法Ｈ４より短く設定されている。

第３実施形態では、第４部分２Ｄの固定部２ｉを流体制御器の本体１０１に螺子留めする。そして、第５部分２Ｕを第４部分２Ｄの上に載せてスライドさせて係止部２Ｄ１、２Ｄ２と被係止部２Ｕ１、２Ｕ２とを係合させ、第５部分２Ｕを第４部分２Ｄ上に着脱可能に接合する。次に、第２部分４の係止部４ｇ、４ｈを、第４部分２Ｄの被係止部２ｇ、２ｈに係止させて、第２部分４を第４部分２Ｄに接合させて着脱可能に取り付ける。次いで、第３部分５を第２部分４の上に載せてスライドさせることにより、係止部４ｉ、４ｊと被係止部５ｐ、５ｑとを係合させ、第２部分４上に第３部分５を接合するとともに第３部分５を第５部分２Ｕに当接させる。更に、孔５ａ１、５ａ２と螺子孔２ｄ１、２ｄ２を重合させて図示しない螺子により螺子留めする。この螺子留めにより、係止部２Ｄ１，２Ｄ２，４ｇ、４ｈ、４ｉ、４ｊと被係止部２Ｕ１、２Ｕ２、２ｇ、２ｈ、５ｐ、５ｑとの係合が外れないように構成されている。また、前記螺子留めされた螺子を外せば、第５部分２Ｕ又は第３部分５を取り外すことができる。

次に、本発明に係る流体制御器用筐体の第４実施形態について図７を参照して説明する。第４実施形態の流体制御器用筐体１では、第１部分２は、筐体１を上下に分割可能とする下方部分であり、第２部分４及び第３部分５は、第１部分２によって分割された筐体１の上方部分３を縦割状に分割する部分である。

第２部分４に係止部４ｍ、４ｎが形成されている。これらの係止部４ｍ、４ｎが係止する被係止部２ｍ、２ｎが、第１部分２に設けられている。第１部分２の上端縁２ｐの上に第２部分４の下端縁４ｐを載せて、第２部分４をスライドさせることにより、係止部４ｍ、４ｎが被係止部２ｍ、２ｎに係止する。

第３部分５には、対向する側板５ｈ，５ｉと、側板５ｈ，５ｉと直交する側板５ｋの各々から、下方に突出する下部突片５ｌ、５ｍ、５ｎが形成されている。下部突片５ｌ、５ｍ、５ｎは、第１部分２の内壁面に案内されて当接する。下部突片５ｌ、５ｍ、５ｎは、第１部分２に対する第３部分５の位置決めにもなる。下部突片５ｌが第１部分２の内壁面に当接した状態で第３部分５が第２部分４に接合することで、第２部分４のスライドが制限され、第２部分４の係止部４ｍ、４ｎが第１部分２の被係止部２ｍ、２ｎから外れないようになる。図示しないが、第１実施形態の側部突片５ｇ、５ｆのように、側板５ｈ，５ｉから側方へ突出する側部突片を設けることもできる。

こうして第３部分５が第１部分２及び第２部分４に接合すると、天板５ａに設けた孔５ａ１，５ａ２とステー２ｄに設けた螺子孔２ｄ１，２ｄ２が重合し、図示しない螺子を用いて、第３部分５を第２部分４に螺子留めすることができる。この螺子止めにより、第２部分４は第１部分２から外すことができなくなる。

第１部分２の高さ寸法、第２部分の縦横寸法等の寸法は、流体制御器に搭載される機器の種類や寸法に応じて適宜設定することができる。

次に本発明に係る流体制御器用筐体の第５実施形態について図８を参照して説明する。第５実施形態の流体制御器用筐体１は、上記第４実施形態の変形例であり、第３部分５が第１部分２に螺子止めにより固定される構成である。

図８を参照して、第１部分２の側面に螺子（図示せず。）を通す孔２ｑが形成されており、第３部分５の下部突片５ｎに螺子孔５ｑが形成されている。第２部分４を第１部分２に載せてスライドさせ、第２部分４の係止部４ｍ、４ｎを第１部分２の被係止部２ｍ、２ｎに係止させておいて、第３部分５を第２部分４に接合しながら第１部分２に載せ、図示しない螺子を孔２ｑに通して螺子孔５ｑに螺入する。こうして第３部分５が第１部分２に螺子留めにより固定されると、第２部分４はスライド移動が制限され、係止部４ｍ、４ｎを被係止部２ｍ、２ｎから外せなくなる。第３部分５を第１部分２に固定している螺子を外せば、第３部分５のみ第１部分２から外れ、筐体内のメンテナンスが可能となる。第２部分４の天板４ｒと第３部分５の天板５ａは、組立時に同じ高さとなるように設定され得る。

本発明に係る流体制御器用筐体は、上記実施形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。例えば、前記第３部分の螺子留めによって前記係止部と前記被係止部との係止が外れないように構成するために、係止部及び被係止部を設ける位置、及び突片を設ける位置、分割可能な部分の態様は、適宜変更することができる。また、上記実施形態では、係止部により係止する構造を例示したが、ボルト等の締結部材により固定する構造とすることもできる。

１ 流体制御器用筐体
２ 第１部分
２ａ 後板
２ｂ、２ｃ 側板
２ｄ ステー
２ｅ，２ｆ、２ｇ、２ｈ 被係止部
２ｅ’，２ｆ’，２ｇ’，２ｈ’ 被係止部
２ｉ 固定部
２Ｄ 第４部分
２Ｕ 第５部分
４ 第２部分
４ａ 下部前板
４ｂ、４ｃ 下部側板
４ｅ、４ｆ、４ｇ、４ｈ 係止部
４ｅ’，４ｆ’，４ｇ’，４ｈ’ 係止部
５ 第３部分
５ａ 天板
５ｂ 上部前板
５ｃ、５ｄ 上部側板
５ｆ、５ｇ 側部突片
５ｅ 下部突片
１００ 流体制御器
１０１ 本体
１０４ ピエゾアクチュエータ
１０４ｃ 調整用袋ナット

Claims (8)

1. 流体制御器の本体上の機器をカバーするための流体制御器用筐体であって、
   前記本体に固定するための固定部を備える第１部分と、前記第１部分に取り付けられる第２部分と、前記筐体の所定高さ位置より上部において着脱可能に配設される第３部分と、に分割可能に構成されている、前記流体制御器用筐体。
2. 前記第１部分は、前記流体制御器用筐体を縦割状に分割した一方の部分であり、
   前記第２部分及び第３部分は、前記第１部分によって縦割状に分割された前記流体制御器用筐体の他方の部分を上下に分割可能とし、前記第３部分が前記第２部分の上部に配置される、請求項１に記載の流体制御器用筐体。
3. 前記第１部分は、前記固定部を備える第４部分と、前記第４部分の上部において着脱可能に配設される第５部分とに分割可能に構成される、請求項２に記載の流体制御器用筐体。
4. 前記第３部分と前記第５部分との高さ寸法が異なる、請求項３に記載の流体制御器用筐体。
5. 前記第１部分が被係止部を備え、
   前記第２部分は、前記被係止部に係止することにより前記第２部分を前記第１部分に着脱可能に取り付ける係止部を備え、
   前記係止部は、前記第２部分を前記第１部分に沿わせて下方にスライドさせることにより係止し、前記第２部分を前記第１部分に沿わせて上方にスライドさせることにより係止を離脱するように構成されている、請求項２に記載の流体制御器用筐体。
6. 前記第１部分は、前記流体制御器用筐体を上下に分割可能とする下方部分であり、
   前記第２部分及び第３部分は、前記第１部分によって分割された前記流体制御器用筐体の上方部分を縦割状に分割する部分である、請求項１に記載の流体制御器用筐体。
7. 前記第１部分と前記第２部分とが係合により着脱自在に取り付けられ、前記第３部分が前記第１部分及び前記第２部分の何れか一方に固定されることによって前記係合が外れないように構成されている、請求項１に記載の流体制御器用筐体。
8. 流路が形成された本体と、
   前記本体上に搭載された流体制御用の機器と、
   前記本体に固定され前記機器を覆う、請求項１～請求項７の何れかに記載の流体制御器用筐体と、
   を備える流体制御器。

Images