JP7351558B1

JP7351558B1 - 研磨装置及び研磨方法

Info

Publication number: JP7351558B1
Application number: JP2022088357A
Authority: JP
Inventors: 成男吉田
Original assignee: 株式会社吉田光学工業所
Priority date: 2022-05-31
Filing date: 2022-05-31
Publication date: 2023-09-27
Anticipated expiration: 2042-05-31
Also published as: US20230405761A1; JP2023176196A; CN117140265A

Abstract

【課題】多様な外形仕様に柔軟に対応し、生産性及び作業性を向上させながら、高精度で被加工物を研磨できる研磨装置及び研磨方法を提供する。【解決手段】本発明の研磨装置１は、被加工物をそれぞれ保持する複数の被加工物保持部２０と、中心軸を中心に回転可能であり、かつ、複数の被加工物保持部２０が、中心軸から任意の距離の同一円周上に、相互に等間隔となるように配置される基台部１０と、被加工物保持部２０に保持された被加工物の被研磨面を研磨する複数の被加工物研磨部３０とを備えており、基台部１０が中心軸を中心に一方向に回転することにより、被加工物を保持した被加工物保持部２０を、複数の研磨位置に順次移動させて、複数の被加工物研磨部３０により研磨を行うと共に、複数の被加工物研磨部３０による研磨終了後の被加工物を、被加工物交換位置に移動させて、研磨終了後の被加工物を研磨前の被加工物に交換可能にすることを特徴とする。【選択図】図１

Description

本発明は、光学レンズ等の被加工物を研磨するための研磨装置及び研磨方法に関する。

従来の光学レンズ等の研磨装置としては、例えば、特許文献１に開示されるように、下軸を定位置で回転させ、その上端面をカンザシが移動し、両者間で被加工レンズと刃物を相対移動させて研削を行うものがある。

また特許文献２に開示されるように、帯電した微細砥粒を分散した研磨液に通電し、微細砥粒と逆の極性を有する研磨工具に微細砥粒を付着させて、研磨工具によりレンズ表面を研磨する装置がある。

しかしこれらの研磨装置では、被加工レンズの被研磨面の研磨領域（例えば、被加工レンズの周辺部等）に応じて研磨条件を変更しながら研磨を行うことが困難である。また、研磨領域ごとに研磨工具を変更して行うことも考えられるが、これらの研磨装置では、研磨工具の変更のために時間を要するため加工（研磨）時間が長くなり、その結果、作業性及び生産効率が低下するという問題がある。

実全昭５６－０８９４４７号特開２０００－１０８００２号

本発明の目的は、多様な外形仕様に柔軟に対応し、生産性及び作業性を向上させながら、高精度で被加工物を研磨できる研磨装置及び研磨方法を提供することにある。

本発明の研磨装置は、前記の課題を解決するために、被加工物を研磨するための研磨装置であって、前記被加工物をそれぞれ保持する複数の被加工物保持部と、中心軸を中心に回転可能であり、かつ、前記複数の被加工物保持部が、前記中心軸から任意の距離の同一円周上に、相互に等間隔となるように配置される基台部と、前記被加工物保持部に保持された前記被加工物の被研磨面を研磨する複数の被加工物研磨部と、を備え、前記複数の被加工物研磨部は、前記基台部の上方において、前記被加工物を研磨する複数の研磨位置にそれぞれ設けられ、かつ、前記被加工物保持部に保持されている研磨終了後の前記被加工物を交換するための被加工物交換位置には設けられておらず、前記複数の研磨位置及び前記被加工物交換位置は、前記基台部の前記中心軸を中心に同一円周上に設けられており、前記基台部が前記中心軸を中心に一方向に回転することにより、前記被加工物を保持した前記被加工物保持部を、前記複数の研磨位置に順次移動させて、前記複数の被加工物研磨部により研磨を行うと共に、前記複数の被加工物研磨部による研磨終了後の被加工物を、前記被加工物交換位置に移動させて、研磨終了後の被加工物を研磨前の被加工物に交換可能にすることを特徴とする。

前記の構成によれば、基台部の上方においては、複数の研磨位置と被加工物交換位置とが基台部の中心軸を中心に同一円周上に設けられている。そして、複数の被加工物研磨部はそれぞれの研磨位置に対応して設けられている。また、基台部上には複数の被加工物保持部が、基台部の中心軸から任意の距離の同一円周上に相互に等間隔となるように配置されている。そのため、中心軸を中心にして基台部を一方向に回転させることで、被加工物を保持した被加工物保持部を、複数の研磨位置に順次移動させることができる。また、各研磨位置での研磨終了後の被加工物を保持する被加工物保持部を、被加工物交換位置まで移動させることができる。

これにより、前記構成では、例えば、各被加工物研磨部を異ならせる等して、各研磨位置で被加工物の研磨領域や研磨条件を変更することができる。その結果、多様な外形仕様に柔軟に対応して、高精度の被加工物を製造することができる。また、被加工物交換位置には被加工物研磨部が設けられていないため、各研磨位置でそれぞれ被加工物の研磨を行いながら、研磨終了後の被加工物を研磨前の被加工物に容易に交換することができる。その結果、前記構成の研磨装置であると、従来の研磨装置と比較して生産性を向上させることが可能になる。

前記の構成においては、前記被加工物保持部は、前記基台部上に着脱自在に設けられていることが好ましい。これにより、基台部上に被加工物保持部が固定されている場合と比較して、被加工物交換位置での被加工物の交換を一層容易に行うことができ、さらに生産性の向上を図ることができる。

また前記の構成においては、前記基台部に設けられ、かつ前記複数の被加工物保持部にそれぞれ対応して設けられた複数の従動プーリと、前記複数の従動プーリのうち、前記研磨位置に対応した位置にある全ての従動プーリ、又は前記基台部の外周に巻き掛けられた無端ベルトと、前記研磨位置に対応した位置にある全ての従動プーリ又は前記基台部に、前記無端ベルトを介して連結された駆動プーリと、をさらに備えることが好ましい。この構成であると、駆動プーリが回転駆動することにより、無端ベルトを介して駆動プーリに連結された複数の従動プーリを回転させることができる。ここで、複数の従動プーリは、複数の被加工物保持部にそれぞれ対応して基台部に設けられたものであり、かつ研磨位置に位置するものである。そのため、従動プーリを回転させることで基台部自体を回転させることができる。また、無端ベルトを基台部の外周に巻き掛けることによっても当該基台部を回転させることができる。そして、基台部を回転させることで、被加工物を保持した被加工物保持部を、複数の研磨位置に順次移動させることができる。また、各研磨位置での研磨終了後の被加工物を保持する被加工物保持部を、被加工物交換位置まで移動させることができる。

また本発明の研磨方法は、前記の課題を解決するために、前述の研磨装置を用いて、前記被加工物を研磨するための研磨方法であって、前記基台部の中心軸から任意の距離の同一円周上に、相互に等間隔となるように配置された前記複数の被加工物保持部のそれぞれに被加工物を保持させ、前記基台部を、前記中心軸を中心に一方向に回転させることにより、前記被加工物を保持した前記被加工物保持部を、前記複数の研磨位置に順次移動させて、前記複数の被加工物研磨部により研磨を行うと共に、前記被加工物交換位置に移動させて、研磨終了後の被加工物を研磨前の被加工物に交換することを特徴とする。

前記の構成によれば、中心軸を中心に一方向に基台部を回転させることにより、被加工物を保持した被加工物保持部を複数の研磨位置に順次移動させながら研磨を行う。そのため、例えば、各被加工物研磨部を異ならせる等することで、各研磨位置で被加工物の研磨領域や研磨条件を変更することができる。その結果、多様な外形仕様に柔軟に対応して、高精度の被加工物を製造することができる。また、被加工物交換位置には被加工物研磨部が設けられていないため、各研磨位置でそれぞれ被加工物の研磨を行いながら、研磨終了後の被加工物を研磨前の被加工物に容易に交換することができる。そのため、被加工物の交換のために研磨装置を停止させる必要がなく、従来の研磨装置と比較して、生産性及び作業性を大幅に向上させることができる。

本発明は、被加工物を保持した被加工物保持部を複数の研磨位置に順次移動させながら研磨を行うので、多様な外形仕様に柔軟に対応して、高精度の被加工物を製造することができる。また、各研磨位置でそれぞれ被加工物の研磨を行いながら、被加工物交換位置で研磨終了後の被加工物を研磨前の被加工物に容易に交換できるので、従来の研磨装置と比較して生産性及び作業性の向上が図れる。

本発明の実施形態に係る研磨装置の概略構成を表す模式図である。本発明の実施形態に係る研磨装置において、基台部の要部及び回転駆動部を模式的に表す平面図である。本発明の実施形態に係る研磨装置において、基台部の底面側の要部及び回転駆動部を模式的に表す底面図である。図４（ａ）は被加工レンズを保持することが可能な被加工物保持部を模式的に表す斜視図であり、図４（ｂ）は被加工物保持部の下端部を表す底面図である。本発明の実施形態に係る研磨装置において、被加工物保持部に保持された被加工レンズを被加工物研磨部で研磨する様子を表す断面模式図である。本発明の実施形態に係る研磨装置において、研磨具の研磨面の概略構成を表す平面図である。

（研磨装置）
本発明の実施形態に係る研磨装置について、図１～図６を参照しながら以下に説明する。但し、説明に不要な部分は省略し、また説明を容易にするために拡大又は縮小等して図示した部分がある。

本実施形態の研磨装置１は、光学レンズ等の被加工物の被加工面（被研磨面）を研磨加工する装置である。
研磨装置１は、図１に示すように、基台部１０と、被加工レンズ（被加工物）４を保持する複数の被加工物保持部２０と、被加工レンズ４を研磨する複数の被加工物研磨部３０と、駆動プーリ４０と、研磨液貯留部５０と、制御部６０とを備えている。図１は、本実施形態の研磨装置１の概略構成を表す模式図である。

基台部１０は、台座２上の軸部３に軸支されて設けられている。基台部１０は、軸部３上で、基台部１０の中心軸（軸部３）を中心に回転可能に設けられている。

基台部１０は、平面視における全体形状が略円形状のテーブル１１を備える。テーブル１１の外周縁には、基台部１０のテーブル１１に対し垂直方向に立設するように外壁部１２が設けられている。これにより、基台部１０は円形状枠部となっている。外壁部１２が設けられることにより、被加工レンズ４の研磨に用いられる研磨液が基台部１０の周囲に流れ落ちるのを防止することができる。外壁部１２の上部には、研磨液の飛散を防止するための基台部側飛散防止部１４が立設している。また、基台部１０の中心には、平面視における形状が略円形状の円柱状部１３が設けられている。

基台部１０のテーブル１１において、外壁部１２と円柱状部１３との間に区画して形成される領域には、図２に示すように、被加工物保持部２０を着脱自在に固定することが可能な６つの固定部１５が設けられている。各固定部１５は、基台部１０の中心軸から任意の距離の同一円周上に、相互に等間隔となるように配置されている。尚、本実施形態では固定部１５が６つ設けられている場合を例にして説明するが、本発明はこの態様に限定されるものではない。固定部１５は、少なくとも２以上が設けられていればよい。また図２は、研磨装置１の基台部１０の要部及び駆動プーリ４０を模式的に表す平面図である。同図においては、被加工レンズ４が研磨される位置である研磨位置Ａ～Ｅと、研磨終了後の被加工レンズ４が研磨前の被加工レンズに交換される位置である被加工物交換位置Ｆとが仮想的に示されている。

固定部１５は、中心部において基台部１０のテーブル１１に対し垂直方向に突出した突出部１５ａと、突出部１５ａの側周面から突出する一対の回転防止部１５ｂとを有している。一対の回転防止部１５ｂは、突出部１５ａに対し相互に反対方向に突出するように設けられている。また、突出部１５ａ及び回転防止部１５ｂは、被加工物保持部２０の下端部と嵌合可能になっている。固定部１５は、その中心軸を中心に回転可能にテーブル１１上に設けてもよい。この場合、各固定部１５を制御部６０に電気的に接続し、制御部６０の動作指令によりその動作を制御するのが好ましい。

基台部１０のテーブル１１において、固定部１５が設けられている側と反対の裏面側には、図３に示すように、固定部１５（被加工物保持部２０）の設置位置に対応するように６つの従動プーリ１６が設けられている。図３は、研磨装置１の基台部１０において、底面側の要部及び駆動プーリ４０を模式的に表す底面図である。６つの従動プーリ１６のうち５つの従動プーリ１６の外周には、無端ベルト４１が掛け渡されている。これらの５つの従動プーリ１６は、研磨位置Ａ～Ｅに対応する位置にある。また、被加工物交換位置Ｆに対応する位置にある従動プーリ１６には、無端ベルト４１が掛け渡されていない。無端ベルト４１は駆動プーリ４０にも掛け渡されており、駆動プーリ４０が回転すると無端ベルト４１を介して５つの従動プーリ１６に動力が伝達される。これにより、軸部３上で基台部１０を、基台部１０の中心軸を中心に一方向に回転駆動させることができる。

被加工物保持部２０は、図４（ａ）に示すように、その内部が空洞であり、その上端部において平凸状の被加工レンズ４を保持することができる。図４（ａ）は、被加工レンズ４を保持することが可能な被加工物保持部２０を模式的に表す斜視図である。上端部には、被加工レンズ４の被研磨面（凸状面）が表出するように被加工レンズ４を保持することが可能な載置部２１が設けられている。載置部２１の載置面２１ａは、周縁部２１ｂよりも高さ位置が低くなるように段差が設けられている。これにより、載置部２１は、被加工レンズ４を嵌め込むようにして載置することができる。また、周縁部２１ｂの一部には切り欠き部２４が設けられている。切り欠き部２４は、被加工物保持部２０の側壁部２５において、下端部の方向に向かって任意の距離で直線状に延在している。これにより被加工レンズ４を載置部２１上に嵌め込んで載置する際に、被加工レンズ４の大きさに応じて、周縁部２１ｂを拡径することができる。さらに、被加工物保持部２０の側壁部２５には、被加工物保持部２０を貫通する一対の貫通穴２６が設けられている。この一対の貫通穴２６を介して、例えばボルトを側壁部２５に貫通させ、貫通したボルトを反対側からナットで締結することにより、周縁部２１ｂの縮径が可能になる。これにより、被加工レンズ４を周縁部２１ｂで固定し、載置部２１から脱離するのを抑制することができる。

また被加工物保持部２０の下端部には、図４（ｂ）に示すように、基台部１０の固定部１５に於ける突出部１５ａの挿入を可能にする挿入部２２が設けられている。図４（ｂ）は被加工物保持部２０の下端部を表す底面図である。また被加工物保持部２０の下端部には、固定部１５の突出部１５ａとの嵌合を可能にする、一対の嵌合溝部２３も設けられている。一対の嵌合溝部２３は、挿入部２２と連通している。

被加工物研磨部３０は、被加工レンズ４を研磨する５つの研磨位置Ａ～Ｅにおいて、被加工物保持部２０に保持される被加工レンズ４と対向配置されるように、それぞれ設けられている（図２を参照）。また、被加工物研磨部３０は、研磨終了後の被加工レンズ４の交換を行うための被加工物交換位置Ｆには設けられていない（図２を参照）。

被加工物研磨部３０は、図５及び図６に示すように、研磨具３１と、駆動部３２と、研磨液供給部３３と、研磨部側飛散防止部３４とを備える。図５は、被加工物保持部２０に保持された被加工レンズ４を被加工物研磨部３０で研磨する様子を表す断面模式図である。図６は、研磨具３１の研磨面３１ｂの概略構成を表す平面図である。

研磨具３１は、図５及び６に示すように、本体部３１ａと、研磨面３１ｂと、雌ネジ部３１ｃと、研磨液供給孔３１ｄとを備える。本体部３１ａにおいて、被加工レンズ４と対向する側には、被加工レンズ４を研磨するための研磨面３１ｂが設けられている。研磨面３１ｂは、その形状が略凹状となっており、被加工レンズ４の被研磨面と面接触して押圧しながら研磨することができる。研磨面３１ｂとしては、ポリウレタン等の研磨パッドからなる。但し、研磨面３１ｂの形状は略凹状の場合に限定されず、被加工レンズの形状や研磨条件に応じて適宜変更可能である。また、研磨面３１ｂは研磨パッドの場合に限定されず、例えば、砥石やペレット等を用いてもよい。

本体部３１ａにおいて、被加工レンズ４に対向する側との反対側には、雌ネジ部３１ｃが設けられている。雌ネジ部３１ｃは、後述する接続部３２ａの雄ネジ部と螺合している。これにより、研磨具３１は駆動部３２と連結されている。

本体部３１ａ及び研磨面３１ｂには、研磨面３１ｂに研磨液を供給するための３つの研磨液供給孔３１ｄが設けられている。また、研磨面３１ｂには、研磨液供給孔３１ｄと連通する排出路３１ｅが、研磨面３１ｂの周縁部に向かって延在している。これにより、各研磨液供給孔３１ｄから供給された研磨液を、排出路３１ｅを介して排出することができる。尚、本発明において、研磨液供給孔３１ｄ及び排出路３１ｅは、本体部３１ａ及び研磨面３１ｂに少なくとも１つ設けられていればよい。研磨液供給孔３１ｄ及び排出路３１ｅの数は、特に限定されない。

駆動部３２は、接続部３２ａに接続された研磨具３１を、研磨具３１の軸芯周りに回転させることができる。また、駆動部３２は、研磨具３１の研磨面３１ｂが被加工レンズ４の被研磨面に圧接（当接）した状態で研磨されるように、研磨具３１を被加工レンズ４に押圧する。駆動部３２は制御部６０と電気的に接続されており、制御部６０の動作指令によりその動作が制御される。

研磨液供給部３３は、研磨液貯留部５０から供給される研磨液を、研磨具３１の研磨面３１ｂと被加工レンズ４の被研磨面との間に供給する。研磨液供給部３３は、研磨具３１を回転させて被加工レンズ４を研磨する場合、研磨液供給孔３１ｄと連通しないのが好ましい。その一方、研磨液供給部３３は、被加工物保持部２０のみを回転させて被加工レンズ４を研磨する場合には、研磨液供給孔３１ｄと連通していてもよい。

研磨部側飛散防止部３４は、図５に示すように、研磨具３１の周囲を遮蔽する。研磨部側飛散防止部３４は、少なくとも、研磨具３１による被加工レンズ４の研磨位置まで垂下している。これにより、研磨具３１による被加工レンズ４の研磨中に、研磨液が周囲に飛散するのを防止することができる。

尚、被加工物研磨部３０は、被加工レンズ４を研磨するに際して、研磨具３１を被加工レンズ４に対し任意の角度で傾斜させて研磨することができる。これにより、被加工レンズ４の被研磨面の研磨領域を適宜調整することができる。その結果、例えば、研磨具３１を被加工レンズ４に対し垂直方向から当接させた場合には、被加工レンズ４の頭頂部の研磨が困難であるが、当該垂直方向に対し任意の角度に傾斜させた状態で研磨具３１を当接させることにより、頭頂部の研磨を容易に行うことができる。

駆動プーリ４０は、前述の通り、無端ベルト４１を介して、基台部１０のテーブル１１の裏面側に設けられた５つの従動プーリ１６に連結されている。従動プーリ１６は制御部６０と電気的に接続されており、当該制御部６０の動作指令によりその動作が制御される。尚、駆動プーリ４０は、無端ベルト４１を介して、基台部１０と直接連結されるように構成してもよい。この場合、無端ベルト４１は、基台部１０の外周に巻き掛けられるのが好ましい。このような場合でも、駆動プーリ４０が回転すると無端ベルト４１を介して基台部１０に動力が伝達され、軸部３上で基台部１０がその中心軸を中心に一方向に回転駆動させることができる。

研磨液貯留部５０は、その内部に研磨液を貯留している。研磨液貯留部５０には、各被加工物研磨部３０に研磨液を供給するための供給管５１が複数接続されている。さらに、各供給管５１の経路中には開閉弁５２がそれぞれ設けられている。開閉弁５２は、例えば制御部６０により、その開閉が制御されるようにしてもよい。この場合、制御部６０の動作指令により開閉弁５２が開栓されると、研磨液が供給管５１を介して各被加工物研磨部３０にそれぞれに圧送される。

制御部６０は研磨装置１の各部と電気的に接続しており、研磨装置１の動作を統括的に又は部分的に制御する。例えば、制御部６０は、被加工物研磨部３０や開閉弁５２、被加工物保持部２０等の各部の動作を制御することができる。ここで制御部６０は、例えば、演算部と、記憶部とを有するコンピュータにより構成することができる。記憶部には、例えば、研磨条件や駆動プーリ４０の駆動条件が予め格納されている。研磨条件としては、例えば被加工物研磨部３０の研磨具３１の回転数、研磨時間及び被研磨面における研磨領域等が挙げられる。また、被加工物保持部２０を回転させる場合には、その回転数及び回転（研磨）時間等が挙げられる。さらに、駆動プーリ４０の駆動条件としては、駆動プーリ４０の回転数や研磨時間に対応した駆動プーリ４０の駆動時間等が挙げられる。

（研磨方法）
次に、本実施形態の研磨装置１を用いた被加工レンズの研磨方法について、以下に説明する。

先ず、研磨前の被加工レンズを保持した被加工物保持部２０を、被加工物交換位置Ｆにおける固定部１５に固定させる。そして、制御部６０による動作制御により駆動プーリ４０を回転駆動させる。これにより、基台部１０のテーブル１１は、図２の矢印Ｘで示す方向に回転し、被加工物交換位置Ｆで固定部１５に固定された被加工物保持部２０は、研磨位置Ａに搬送される。

被加工物保持部２０が研磨位置Ａに搬送されると、研磨前の被加工レンズは研磨位置Ａに設けられている被加工物研磨部３０により、所定の研磨条件で研磨される。被加工物研磨部３０による研磨は、制御部６０による動作制御により行われる。また、研磨位置Ａで研磨されている間、被加工物交換位置Ｆでは、研磨前の新たな被加工レンズが補充される。すなわち、研磨前の新たな被加工レンズが保持された被加工物保持部２０が、被加工物交換位置Ｆにある固定部１５に固定される。

研磨位置Ａで研磨が終了し、かつ、被加工物交換位置Ｆで研磨前の新たな被加工レンズの補充が終了すると、制御部６０による動作制御により、再び駆動プーリ４０を回転駆動させる。これにより、基台部１０のテーブル１１が、矢印Ｘで示す方向に再び回転し、研磨位置Ａで研磨された被加工レンズは、被加工物保持部２０に保持されたまま研磨位置Ｂに搬送される。続いて、当該被加工レンズは研磨位置Ｂに設けられている被加工物研磨部３０により、所定の研磨条件で研磨される。また、被加工物交換位置Ｆで補充された研磨前の新たな被加工レンズは、研磨位置Ａに搬送される。そして、研磨前の新たな被加工レンズは、研磨位置Ａに設けられている被加工物研磨部３０により、所定の研磨条件で研磨される。

このようにして、被加工物交換位置Ｆで補充される研磨前の被加工レンズは、基台部１０のテーブル１１の間欠回転により、研磨位置Ａから研磨位置Ｅに順次搬送される。そして、各研磨位置Ａ～Ｅでは、それぞれに設置されている被加工物研磨部３０により所定の研磨条件にて研磨される。研磨位置Ａ～Ｅにおいて全ての研磨が終了し、再び被加工物交換位置Ｆに戻ると、研磨終了後の被加工レンズは、当該被加工物交換位置Ｆで研磨前の被加工レンズと交換される。

以上の通り、本実施形態の研磨装置１を用いた研磨方法であると、例えば、各研磨位置Ａ～Ｅでの研磨条件や、備え付ける各被加工物研磨部３０を異ならせる等することで、多様な外形仕様に柔軟に対応して、高精度のレンズを製造することができる。また、各研磨位置Ａ～Ｅでそれぞれ被加工レンズの研磨を行いながら、研磨終了後の被加工レンズを研磨前の被加工レンズに交換することができ、被加工レンズの交換のために研磨装置１を停止させる必要がない。そのため、従来の研磨装置と比較して、大幅に生産性及び作業性を向上させることができる。

１…研磨装置、２…台座、３…軸部、４…被加工レンズ（被加工物）、１０…基台部、１１…テーブル、１２…外壁部、１３…円柱状部、１４…基台部側飛散防止部、１５…固定部、１５ａ…突出部、１５ｂ…回転防止部、１６…従動プーリ、２０…被加工物保持部、２１…載置部、２１ａ…載置面、２１ｂ…周縁部、２２…挿入部、２３…嵌合溝部、２４…切り欠き部、２５…側壁部、２６…貫通穴、３０…被加工物研磨部、３１…研磨具、３１ａ…本体部、３１ｂ…研磨面、３１ｃ…雌ネジ部、３１ｄ…研磨液供給孔、３１ｅ…排出路、３２…駆動部、３２ａ…接続部、３３…研磨液供給部、３４…研磨部側飛散防止部、４０…駆動プーリ、４１…無端ベルト、５０…研磨液貯留部、５１…供給管、５２…開閉弁、６０…制御部、Ａ～Ｅ…研磨位置、Ｆ…被加工物交換位置、Ｊ…中心軸

Claims

被加工物を研磨するための研磨装置であって、
前記被加工物をそれぞれ保持する複数の被加工物保持部と、
中心軸を中心に回転可能であり、かつ、前記複数の被加工物保持部が、前記中心軸から任意の距離の同一円周上に、相互に等間隔となるように配置される基台部と、
前記被加工物保持部に保持された前記被加工物の被研磨面を研磨する複数の被加工物研磨部と、
を備え、
前記複数の被加工物研磨部は、
前記基台部の上方において、前記被加工物を研磨する複数の研磨位置にそれぞれ設けられ、かつ、前記被加工物保持部に保持されている研磨終了後の前記被加工物を交換するための被加工物交換位置には設けられておらず、
前記複数の研磨位置及び前記被加工物交換位置は、前記基台部の前記中心軸を中心に同一円周上に設けられており、
前記基台部が前記中心軸を中心に一方向に回転することにより、前記被加工物を保持した前記被加工物保持部を、前記複数の研磨位置に順次移動させて、前記複数の被加工物研磨部により研磨を行うと共に、前記複数の被加工物研磨部による研磨終了後の被加工物を、前記被加工物交換位置に移動させて、研磨終了後の被加工物を研磨前の被加工物に交換可能にし、
さらに、前記基台部に設けられ、かつ前記複数の被加工物保持部にそれぞれ対応して設けられた複数の従動プーリと、
前記複数の従動プーリのうち、前記研磨位置に対応した位置にある全ての従動プーリ、又は前記基台部の外周に巻き掛けられた無端ベルトと、
前記研磨位置に対応した位置にある全ての従動プーリ又は前記基台部に、前記無端ベルトを介して連結された駆動プーリと、
を備える研磨装置。
前記被加工物保持部は、前記基台部上に着脱自在に設けられている請求項１に記載の研磨装置。
請求項１又は２に記載の研磨装置を用いて、前記被加工物を研磨するための研磨方法であって、
前記基台部の中心軸から任意の距離の同一円周上に、相互に等間隔となるように配置された前記複数の被加工物保持部のそれぞれに被加工物を保持させ、
前記基台部を、前記中心軸を中心に一方向に回転させることにより、前記被加工物を保持した前記被加工物保持部を、前記複数の研磨位置に順次移動させて、前記複数の被加工物研磨部により研磨を行うと共に、
前記被加工物交換位置に移動させて、研磨終了後の被加工物を研磨前の被加工物に交換する研磨方法。