JP7344942B2 - 基板処理装置、クリーニング方法、半導体装置の製造方法及びプログラム - Google Patents
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Description
基板を処理する反応容器と、
前記反応容器内にクリーニングガスを供給するよう構成されたクリーニングガス供給系と、
前記反応容器の開口を閉塞可能に構成され、金属材料により構成された蓋と、
前記蓋の前記反応容器の内側に面する側の面上に設けられ、少なくとも表面が第1の非金属材料により構成された保護部材と、
前記蓋と前記保護部材がそれぞれ互いに対向する面の間に形成される内部空間と、
前記蓋により前記開口が閉塞された状態において、前記内部空間に不活性ガスを供給するよう構成された不活性ガス供給系と、
を備える技術が提供される。
図1は、本開示の一態様である基板処理装置において、反応容器内から基板支持具を搬出した状態で反応容器を蓋で閉塞した状態(クリーニング工程時)を示す縦断面図である。図2は、反応容器内に基板を装填した基板支持具を搬入した状態で反応容器をシールキャップで閉塞した状態(成膜工程時)を示す縦断面図である。
次に、本実施形態に係る半導体装置(デバイス)の製造工程の一工程として、上述の基板処理装置10を用い、ウエハ上に膜を形成して半導体装置(デバイス)を製造する方法の一例について説明する。以下の説明において、基板処理装置10を構成する各部の動作はコントローラ121により制御される。
基板処理装置10を用いて、ウエハ200に成膜ガスを供給して、ウエハ200上に所定元素を含む膜を形成する場合を用いて説明する。本態様では、複数のウエハ200がボート217に支持された状態で収容された処理室201を所定温度で加熱する。そして、処理室201に、成膜ガスとしての所定元素を含む原料ガスを供給する原料ガス供給ステップと、成膜ガスとしての反応ガスを供給する反応ガス供給ステップと、を所定回数(n回)行う。
複数枚のウエハ200を処理室201内に搬入(ボートロード)する。具体的には、複数枚のウエハ200がボート217に装填(ウエハチャージ)されると、図2に示されているように、複数枚のウエハ200を支持したボート217は、ボートエレベータ115によって持ち上げられて処理室201内に搬入される。この状態で、シールキャップ219はOリング220を介してマニホールド209の下端開口を閉塞した状態となる。
処理室201内が所望の圧力(真空度)となるように真空ポンプ246によって真空排気される。この際、処理室201内の圧力は、圧力センサ245で測定され、この測定された圧力情報に基づき、APCバルブ243がフィードバック制御される(圧力調整)。真空ポンプ246は、少なくともウエハ200に対する処理が完了するまでの間は常時作動させた状態を維持する。また、処理室201内が所望の温度となるようにヒータ207によって加熱される。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように、温度センサ263が検出した温度情報に基づきヒータ207への通電量がフィードバック制御される(温度調整)。ヒータ207による処理室201内の加熱は、少なくともウエハ200に対する処理が完了するまでの間は継続して行われる。
その後、原料ガス供給ステップ(第1ガス供給ステップ)、残留ガス除去ステップ、反応ガス供給ステップ(第2ガス供給ステップ)、残留ガス除去ステップをこの順で所定回数行う。
バルブ314を開き、ガス供給管310へ原料ガスを流す。原料ガスは、MFC312により流量調整され、処理室201内へ供給される。このとき同時に、バルブ514を開き、ガス供給管510内に不活性ガスであるキャリアガスを流す。キャリアガスは、MFC512により流量調整され、原料ガスと一緒に処理室201内に供給され、排気管231から排気される。さらに、ガス供給管320,330への原料ガスの侵入を防止(逆流を防止)するため、バルブ524,534を開き、ガス供給管520,530内へキャリアガスを流す。キャリアガスは、ガス供給管520,530を介して処理室201へ供給され、排気管231から排気される。
次に、バルブ314を閉じ、原料ガスの供給を停止する。このとき、APCバルブ243は開いたままとして、真空ポンプ246により処理室201を真空排気し、処理室201に残留する未反応又は層形成に寄与した後の原料ガスを処理室201から排除する。バルブ514,524,534は開いた状態でキャリアガスの処理室201への供給を維持する。
処理室201の残留ガスを除去した後、バルブ324を開き、ガス供給管320内に反応ガスを流す。反応ガスは、MFC322により流量調整され、ガス供給管320から処理室201内のウエハ200に対して供給され、排気管231から排気される。すなわちウエハ200は反応ガスに暴露される。
次に、バルブ324を閉じて、反応ガスの供給を停止する。そして、原料ガス供給ステップ後の残留ガス除去ステップと同様の処理手順により、処理室201内に残留する未反応もしくは第2層の形成に寄与した後の反応ガスや反応副生成物を処理室201内から排除する。
ガス供給管510,520,530のそれぞれから不活性ガスを処理室201内へ供給し、排気管231から排気する。不活性ガスはパージガスとして作用し、これにより処理室201内が不活性ガスでパージされ、処理室201内に残留するガスや副生成物が処理室201内から除去される(アフターパージ)。その後、処理室201内の雰囲気が不活性ガスに置換され(不活性ガス置換)、処理室201内の圧力が常圧に復帰される(大気圧復帰)。
その後、ボートエレベータ115によりシールキャップ219が下降されて、マニホールド209の下端が開口される。そして、処理済ウエハ200がボート217に支持された状態でプロセスチューブ203の下端からプロセスチューブ203の外部に搬出(ボートアンロード)される。その後、処理済のウエハ200は、ボート217より取り出される(ウエハディスチャージ)。
次に、成膜工程において処理室201内等に付着した膜をエッチングする工程(クリーニング工程)について説明する。
図1に示すように、処理室201内からボート217を搬出した状態でマニホールド209の下端開口である開口を、シャッタ81により閉塞する。この状態で、シャッタ81はOリング82b,83bを介してマニホールド209の開口を閉塞した状態となる。
処理室201内が所望の圧力(真空度)となるように真空ポンプ246によって真空排気される。この際、処理室201内の圧力は、圧力センサ245で測定され、この測定された圧力情報に基づき、APCバルブ243がフィードバック制御される(圧力調整)。真空ポンプ246は、少なくともウエハ200に対する処理が完了するまでの間は常時作動させた状態を維持する。また、処理室201内が所望の温度となるようにヒータ207によって加熱される。この際、処理室201内が所望の温度分布となるように、温度センサ263が検出した温度情報に基づきヒータ207への通電量がフィードバック制御される(温度調整)。ヒータ207による処理室201内の加熱は、少なくともエッチング処理が完了するまでの間は継続して行われる。
処理室201内等に付着した膜をエッチングして処理室201内をクリーニングするステップを実行する。
バルブ334を開き、ガス供給管330内にクリーニングガス(エッチングガス)を流す。クリーニングガスは、MFC332により流量調整され、ガス供給管330から処理室201内に供給され、排気管231から排気される。このとき同時にバルブ534を開き、ガス供給管530内に不活性ガスを流す。ガス供給管530内を流れた不活性ガスは、MFC532により流量調整され、クリーニングガスと一緒に処理室201内に供給され、排気管231から排気される。なお、このとき、ガス供給管310,320内へのクリーニングガスの侵入を防止するために、バルブ514,524を開き、ガス供給管510,520内に不活性ガスを流す。不活性ガスは、ガス供給管310,320を介して処理室201内に供給され、排気管231から排気される。
所定時間、クリーニングガスを処理室201に供給した後、バルブ334を閉じて、クリーニングガスの供給を停止する。APCバルブ243を閉じるか、処理に影響を及ぼさない程度に実質的に閉じていた場合は、APCバルブ243を開ける。そして、上述した成膜工程時の残留ガス除去ステップと同様の処理手順により、処理室201内に残留する未反応もしくは膜の除去に寄与した後のクリーニングガスを処理室201内から排除する。このとき、不活性ガス供給系700からの不活性ガスの供給を継続して行う。
上記したステップを順に行うサイクルを1回以上(所定回数(m回))行うことにより、処理室201内に付着した膜を除去する。上述のサイクルは、複数回繰り返すのが好ましい。
次に、シャッタ81の変形例について、図8を用いて説明する。本変形例では、上述した態様と異なる部分について特に説明する。
以下に、本開示の好ましい態様について付記する。
本開示の一態様によれば、
基板を処理する反応容器と、
前記反応容器内にクリーニングガスを供給するよう構成されたクリーニングガス供給系と、
前記反応容器の開口を閉塞可能に構成され、金属材料により構成された蓋と、
前記蓋の前記反応容器の内側に面する側の面上に設けられ、少なくとも表面が第1の非金属材料により構成された保護部材と、
前記蓋と前記保護部材がそれぞれ互いに対向する面の間に形成される内部空間と、
前記蓋により前記開口が閉塞された状態において、前記内部空間に不活性ガスを供給するよう構成された不活性ガス供給系と、
を備える基板処理装置が提供される。
付記1に記載の装置であって、
前記蓋及び前記保護部材の少なくとも何れかは、前記蓋と前記保護部材との間を第1封止部材により封止する第1封止部を備え、
前記内部空間は、前記蓋と前記保護部材がそれぞれ互いに対向する面と前記第1封止部とによって囲われた空間により構成されている。
付記2に記載の装置であって、
前記第1封止部は、前記保護部材の外周に沿って、前記蓋及び前記保護部材の少なくとも何れかの全周に亘って設けられる。
付記1~3の何れかに記載の装置であって、
前記保護部材は、その外周端に、前記内部空間と前記反応容器内の空間との間で連通する1又は複数の貫通孔を有する。
付記1~4の何れかに記載の装置であって、
前記不活性ガス供給系は、
前記蓋の前記内部空間に面する面に設けられた第1ガス供給口を介して、前記不活性ガスを前記内部空間に供給するよう構成されている。
付記5に記載の装置であって、
前記蓋は、前記反応容器の開口端との当接面に面する位置に設けられたガス導入口と、前記ガス導入口と前記第1ガス供給口が連通されるように接続するガス流路と、を備え、
前記反応容器は、前記蓋との前記当接面に面する位置に設けられた第2ガス供給口を備え、
前記第2ガス供給口と前記ガス導入口は、前記反応容器の前記開口が閉塞された状態において、前記第2ガス供給口と前記ガス導入口が連通されるように配置されている。
付記6に記載の装置であって、
前記蓋及び前記開口端の少なくとも何れかは、前記当接面に面している前記蓋の外周に沿って設けられた溝を備え、
前記第2ガス供給口は、前記蓋により前記開口が閉塞された状態において、前記溝を介して前記ガス導入口に接続される。
付記7に記載の装置であって、
前記蓋及び前記開口端の少なくとも何れかは、前記蓋の外周に沿って設けられている、前記蓋により前記開口が閉塞された状態において第2封止部材により前記当接面の間を封止する第2封止部を備え、
前記溝は、前記第2封止部よりも前記反応容器の中心から見て内側に設けられる。
付記8に記載の装置であって、
前記蓋部と前記反応容器の前記開口端との間には、前記蓋により前記開口が閉塞された状態において前記溝と前記反応容器内の空間とを連通させる間隙が設けられる。
付記9に記載の装置であって、
前記保護部材は、前記蓋により前記開口が閉塞された状態において、前記保護部材の外周端が前記開口端の内周よりも前記反応容器の中心から見て外側に位置するように設けられる。
付記1~10の何れかに記載の装置であって、
前記反応容器の前記開口端は、マニホールドにより構成されている。
付記1~11の何れかに記載の装置であって、
前記保護部材は、ネジ(ボルト)によって前記蓋に固定される。
付記12に記載の装置であって、
前記ネジは、第2の非金属材料により形成されている。
付記1~13の何れかに記載の装置であって、
前記クリーニングガス供給系から前記反応容器内に前記クリーニングガスを供給しながら、前記不活性ガス供給系から前記不活性ガスを前記内部空間内に供給するように、前記クリーニングガス供給系及び前記不活性ガス供給系を制御可能に構成された制御部、を更に備える。
付記14に記載の装置であって、
前記反応容器内を排気する排気系を更に備え、
前記制御部は、前記クリーニングガスが供給されている前記反応容器内の圧力よりも、前記内部空間内の圧力が高くなるように、前記クリーニングガス供給系、前記不活性ガス供給系、及び前記排気系を制御可能に構成されている。
付記1~15の何れかに記載の装置であって、
前記蓋の内部又は下面に設けられる冷媒流路を更に備える。
付記1~16の何れかに記載の装置であって、
前記保護部材は、石英および炭化シリコンの少なくとも何れかにより構成されている。
付記1~16の何れかに記載の装置であって、
前記保護部材は、表面が前記第1の非金属材料でコーティングされた金属部材により構成されている。
本開示の他の態様によれば、
基板を処理する反応容器の開口を、金属材料により構成された蓋により閉塞する工程と、
前記蓋により前記開口が閉塞された状態において、前記蓋と、前記蓋の前記反応容器の内側に面する側の面上に設けられ、少なくとも表面が第1の非金属材料で構成された保護部材と、がそれぞれ互いに対向する面の間に形成される内部空間に不活性ガスを供給する工程と、
前記内部空間に前記不活性ガスが供給された状態において、前記反応容器内にクリーニングガスを供給する工程と、
を有するクリーニング方法が提供される。
本開示のさらに他の態様によれば、
基板が収容された反応容器内に成膜ガスを供給することにより、前記基板上に膜を形成する工程と、
前記膜が形成された前記基板を前記反応容器内から搬出する工程と、
前記反応容器内から前記基板が搬出された後、付記19に記載のクリーニング方法を行う工程と、
を有する半導体装置の製造方法が提供される。
本開示のさらに他の態様によれば、
付記19又は付記20における各手順(各工程)をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラム(を記録したコンピュータにより読み取り可能な記録媒体)が提供される。
81、91 シャッタ(蓋)
121 コントローラ(制御部)
200 ウエハ(基板)
201 処理室
203 プロセスチューブ
209 マニホールド
600、800 プレート(保護部材)
Claims (27)
- 基板を処理する反応容器と、
前記反応容器内にクリーニングガスを供給するよう構成されたクリーニングガス供給系と、
前記反応容器の開口を閉塞可能に構成され、金属材料により構成された蓋と、
前記蓋の前記反応容器の内側に面する側の面上に設けられ、少なくとも表面が第1の非金属材料により構成された保護部材と、
前記蓋と前記保護部材がそれぞれ互いに対向する面の間に形成される内部空間と、
前記蓋により前記開口が閉塞された状態において、前記内部空間に不活性ガスを供給するよう構成された不活性ガス供給系と、を備え、
前記蓋及び前記保護部材の少なくとも何れかは、前記蓋と前記保護部材との間を第1封止部材により封止する前記保護部材の外周に沿って、前記蓋及び前記保護部材の少なくとも何れかの全周に亘って設けられた第1封止部を備え、
前記内部空間は、前記蓋と前記保護部材がそれぞれ互いに対向する面と前記第1封止部とによって囲われた空間により構成される
基板処理装置。 - 基板を処理する反応容器と、
前記反応容器内にクリーニングガスを供給するよう構成されたクリーニングガス供給系と、
前記反応容器の開口を閉塞可能に構成され、金属材料により構成された蓋と、
前記蓋の前記反応容器の内側に面する側の面上に設けられ、少なくとも表面が第1の非金属材料により構成された保護部材と、
前記蓋と前記保護部材がそれぞれ互いに対向する面の間に形成される内部空間と、
前記蓋により前記開口が閉塞された状態において、前記内部空間に不活性ガスを供給するよう構成された不活性ガス供給系と、を備え、
前記保護部材は、その外周端に、前記内部空間と前記反応容器内の空間との間で連通する1又は複数の貫通孔を有する
基板処理装置。 - 基板を処理する反応容器と、
前記反応容器内にクリーニングガスを供給するよう構成されたクリーニングガス供給系と、
前記反応容器の開口を閉塞可能に構成され、金属材料により構成された蓋と、
前記蓋の前記反応容器の内側に面する側の面上に設けられ、少なくとも表面が第1の非金属材料により構成された保護部材と、
前記蓋と前記保護部材がそれぞれ互いに対向する面の間に形成される内部空間と、
前記蓋により前記開口が閉塞された状態において、前記内部空間に不活性ガスを供給するよう構成された不活性ガス供給系と、
前記蓋の内部又は下面に設けられる冷媒流路と、
を有する基板処理装置。 - 基板を処理する反応容器と、
前記反応容器内にクリーニングガスを供給するよう構成されたクリーニングガス供給系と、
前記反応容器の開口を閉塞可能に構成され、金属材料により構成された蓋と、
前記蓋の前記反応容器の内側に面する側の面上に設けられ、少なくとも表面が第1の非金属材料により構成された保護部材と、
前記蓋と前記保護部材がそれぞれ互いに対向する面の間に形成される内部空間と、
前記蓋により前記開口が閉塞された状態において、前記内部空間に不活性ガスを供給するよう構成された不活性ガス供給系と、を備え、
前記不活性ガス供給系は、前記蓋の前記内部空間に面する面に設けられた第1ガス供給口を介して、前記不活性ガスを前記内部空間に供給するよう構成され、
前記蓋は、前記反応容器の開口端との当接面に面する位置に設けられたガス導入口と、前記ガス導入口と前記第1ガス供給口が連通されるように接続するガス流路と、を備え、
前記反応容器は、前記蓋との前記当接面に面する位置に設けられた第2ガス供給口を備え、
前記第2ガス供給口と前記ガス導入口は、前記反応容器の前記開口が閉塞された状態において、前記第2ガス供給口と前記ガス導入口が連通されるように配置されている
基板処理装置。 - 前記蓋及び前記保護部材の少なくとも何れかは、前記蓋と前記保護部材との間を第1封止部材により封止する第1封止部を備え、
前記内部空間は、前記蓋と前記保護部材がそれぞれ互いに対向する面と前記第1封止部とによって囲われた空間により構成されている
請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記第1封止部は、前記保護部材の外周に沿って、前記蓋及び前記保護部材の少なくとも何れかの全周に亘って設けられる
請求項5に記載の基板処理装置。 - 前記不活性ガス供給系は、
前記蓋の前記内部空間に面する面に設けられた第1ガス供給口を介して、前記不活性ガスを前記内部空間に供給するよう構成されている
請求項1~3のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記蓋及び前記開口端の少なくとも何れかは、前記当接面に面している前記蓋の外周に沿って設けられた溝を備え、
前記第2ガス供給口は、前記蓋により前記開口が閉塞された状態において、前記溝を介して前記ガス導入口に接続される
請求項4に記載の基板処理装置。 - 前記蓋及び前記開口端の少なくとも何れかは、前記蓋の外周に沿って設けられている、前記蓋により前記開口が閉塞された状態において第2封止部材により前記当接面の間を封止する第2封止部を備え、
前記溝は、前記第2封止部よりも前記反応容器の中心から見て内側に設けられる
請求項8に記載の基板処理装置。 - 前記蓋と前記反応容器の前記開口端との間には、前記蓋により前記開口が閉塞された状態において前記溝と前記反応容器内の空間とを連通させる間隙が設けられる
請求項9に記載の基板処理装置。 - 前記保護部材は、前記蓋により前記開口が閉塞された状態において、前記保護部材の外周端が前記開口端の内周よりも前記反応容器の中心から見て外側に位置するように設けられる
請求項10に記載の基板処理装置。 - 前記反応容器の開口端は、マニホールドにより構成されている
請求項1~11のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記保護部材は、ネジとボルトの少なくともいずれかによって前記蓋に固定される
請求項1~12のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記ネジは、第2の非金属材料により形成されている
請求項13に記載の基板処理装置。 - 前記クリーニングガス供給系から前記反応容器内に前記クリーニングガスを供給しながら、前記不活性ガス供給系から前記不活性ガスを前記内部空間内に供給するように、前記クリーニングガス供給系及び前記不活性ガス供給系を制御可能に構成された制御部、を更に備える
請求項1~14のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記反応容器内を排気する排気系を更に備え、
前記制御部は、前記クリーニングガスが供給されている前記反応容器内の圧力よりも、前記内部空間内の圧力が高くなるように、前記クリーニングガス供給系、前記不活性ガス供給系、及び前記排気系を制御可能に構成されている
請求項15に記載の基板処理装置。 - 前記保護部材は、石英および炭化シリコンの少なくとも何れかにより構成されている
請求項1~16のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記保護部材は、表面が前記第1の非金属材料でコーティングされた金属部材により構成されている
請求項1~16のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 基板を処理する反応容器の開口を、金属材料により構成された蓋により閉塞する工程と、
前記蓋により前記開口が閉塞された状態において、前記蓋と、前記蓋の前記反応容器の内側に面する側の面上に設けられ、少なくとも表面が第1の非金属材料で構成された保護部材と、がそれぞれ互いに対向する面と、前記蓋と前記保護部材との間を第1封止部材により封止する前記保護部材の外周に沿って、前記蓋及び前記保護部材の少なくとも何れかの全周に亘って設けられた第1封止部と、によって囲われている内部空間に不活性ガスを供給する工程と、
前記内部空間に前記不活性ガスが供給された状態において、前記反応容器内にクリーニングガスを供給する工程と、
を有するクリーニング方法。 - 基板を処理する反応容器の開口を、金属材料により構成された蓋により閉塞する工程と、
前記蓋により前記開口が閉塞された状態において、前記蓋と、前記蓋の前記反応容器の内側に面する側の面上に設けられ、少なくとも表面が第1の非金属材料で構成され、外周端に、内部空間と前記反応容器内の空間との間で連通する1又は複数の貫通孔を有する保護部材と、がそれぞれ互いに対向する面の間に形成される前記内部空間に不活性ガスを供給する工程と、
前記内部空間に前記不活性ガスが供給された状態において、前記反応容器内にクリーニングガスを供給する工程と、
を有するクリーニング方法。 - 基板を処理する反応容器の開口を、金属材料により構成され、その内部又は下面に設けられる冷媒流路を有する蓋により閉塞する工程と、
前記蓋により前記開口が閉塞された状態において、前記蓋と、前記蓋の前記反応容器の内側に面する側の面上に設けられ、少なくとも表面が第1の非金属材料で構成された保護部材と、がそれぞれ互いに対向する面の間に形成される内部空間に不活性ガスを供給する工程と、
前記内部空間に前記不活性ガスが供給された状態において、前記反応容器内にクリーニングガスを供給する工程と、
を有するクリーニング方法。 - 基板を処理する反応容器の開口を、金属材料により構成された蓋により閉塞する工程と、
前記蓋により前記開口が閉塞された状態において、
前記反応容器の、前記蓋との当接面に面する位置に設けられた第2ガス供給口と、前記反応容器の開口端との前記当接面に面する位置に設けられたガス導入口と、前記蓋の、前記蓋と、前記蓋の前記反応容器の内側に面する側の面上に設けられ、少なくとも表面が第1の非金属材料で構成された保護部材と、がそれぞれ互いに対向する面の間に形成される内部空間に面する面に設けられた第1ガス供給口とが連通されるように接続されるガス流路を介して、前記内部空間に不活性ガスを供給する工程と、
前記内部空間に前記不活性ガスが供給された状態において、前記反応容器内にクリーニングガスを供給する工程と、
を有するクリーニング方法。 - 基板が収容された反応容器内に成膜ガスを供給することにより、前記基板上に膜を形成する工程と、
前記膜が形成された前記基板を前記反応容器内から搬出する工程と、
前記反応容器内から前記基板が搬出された後、請求項19~22のいずれか一項に記載のクリーニング方法を行う工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - 基板を処理する反応容器の開口を、金属材料により構成された蓋により閉塞させる手順と、
前記蓋により前記開口が閉塞された状態において、前記蓋と、前記蓋の前記反応容器の内側に面する側の面上に設けられ、少なくとも表面が第1の非金属材料で構成された保護部材がそれぞれ互いに対向する面と、前記蓋と前記保護部材との間を第1封止部材により封止する前記保護部材の外周に沿って、前記蓋及び前記保護部材の少なくとも何れかの全周に亘って設けられた第1封止部と、によって囲われている内部空間に不活性ガスを供給させる手順と、
前記内部空間に前記不活性ガスが供給された状態において、前記反応容器内にクリーニングガスを供給させる手順と、
をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラム。 - 基板を処理する反応容器の開口を、金属材料により構成された蓋により閉塞させる手順と、
前記蓋により前記開口が閉塞された状態において、前記蓋と、前記蓋の前記反応容器の内側に面する側の面上に設けられ、少なくとも表面が第1の非金属材料で構成され、外周端に、内部空間と前記反応容器内の空間との間で連通する1又は複数の貫通孔を有する保護部材と、がそれぞれ互いに対向する面の間に形成される前記内部空間に不活性ガスを供給させる手順と、
前記内部空間に前記不活性ガスが供給された状態において、前記反応容器内にクリーニングガスを供給させる手順と、
をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラム。 - 基板を処理する反応容器の開口を、金属材料により構成され、その内部又は下面に設けられる冷媒流路を有する蓋により閉塞させる手順と、
前記蓋により前記開口が閉塞された状態において、前記蓋と、前記蓋の前記反応容器の内側に面する側の面上に設けられ、少なくとも表面が第1の非金属材料で構成された保護部材と、がそれぞれ互いに対向する面の間に形成される内部空間に不活性ガスを供給させる手順と、
前記内部空間に前記不活性ガスが供給された状態において、前記反応容器内にクリーニングガスを供給させる手順と、
をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラム。 - 基板を処理する反応容器の開口を、金属材料により構成された蓋により閉塞させる手順と、
前記蓋により前記開口が閉塞された状態において、
前記反応容器の、前記蓋との当接面に面する位置に設けられた第2ガス供給口と、前記反応容器の開口端との前記当接面に面する位置に設けられたガス導入口と、前記蓋の、前記蓋と、前記蓋の前記反応容器の内側に面する側の面上に設けられ、少なくとも表面が第1の非金属材料で構成された保護部材と、がそれぞれ互いに対向する面の間に形成される内部空間に面する面に設けられた第1ガス供給口とが連通されるように接続されるガス流路を介して、前記内部空間に不活性ガスを供給させる手順と、
前記内部空間に前記不活性ガスが供給された状態において、前記反応容器内にクリーニングガスを供給させる手順と、
をコンピュータによって基板処理装置に実行させるプログラム。
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