JP7344627B2 - ダイ取り付けシステム、およびダイを基板に取り付ける方法 - Google Patents
ダイ取り付けシステム、およびダイを基板に取り付ける方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7344627B2 JP7344627B2 JP2021536163A JP2021536163A JP7344627B2 JP 7344627 B2 JP7344627 B2 JP 7344627B2 JP 2021536163 A JP2021536163 A JP 2021536163A JP 2021536163 A JP2021536163 A JP 2021536163A JP 7344627 B2 JP7344627 B2 JP 7344627B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- die
- substrate
- bond
- source
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6835—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L21/6836—Wafer tapes, e.g. grinding or dicing support tapes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6835—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
- H01L24/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
- H01L24/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/03—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes
- H01L25/04—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers
- H01L25/075—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L33/00
- H01L25/0753—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof all the devices being of a type provided for in the same subgroup of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. assemblies of rectifier diodes the devices not having separate containers the devices being of a type provided for in group H01L33/00 the devices being arranged next to each other
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/62—Arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body, e.g. lead-frames, wire-bonds or solder balls
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68309—Auxiliary support including alignment aids
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68318—Auxiliary support including means facilitating the separation of a device or wafer from the auxiliary support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68354—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support used to support diced chips prior to mounting
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2221/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof covered by H01L21/00
- H01L2221/67—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L2221/683—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L2221/68304—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support
- H01L2221/68363—Apparatus for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using temporarily an auxiliary support used in a transfer process involving transfer directly from an origin substrate to a target substrate without use of an intermediate handle substrate
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
- H01L2224/16227—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation the bump connector connecting to a bond pad of the item
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/74—Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
- H01L2224/75—Apparatus for connecting with bump connectors or layer connectors
- H01L2224/7525—Means for applying energy, e.g. heating means
- H01L2224/753—Means for applying energy, e.g. heating means by means of pressure
- H01L2224/75301—Bonding head
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/15—Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/151—Die mounting substrate
- H01L2924/153—Connection portion
- H01L2924/1531—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
- H01L2924/15311—Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2933/0008—Processes
- H01L2933/0033—Processes relating to semiconductor body packages
- H01L2933/0066—Processes relating to semiconductor body packages relating to arrangements for conducting electric current to or from the semiconductor body
Description
この出願は、2018年9月3日に出願された米国仮出願第62/726,387号の利益を主張し、その内容はここで参照することにより本明細書に組み込まれるものである。
この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、以下のものがある(国際出願日以降国際段階で引用された文献及び他国に国内移行した際に引用された文献を含む)。
(先行技術文献)
(特許文献)
(特許文献1) 特開2001-284404号公報
(特許文献2) 特開2017-168693号公報
(特許文献3) 米国特許出願公開第2016/276205号明細書
(特許文献4) 米国特許出願公開第2012/0014084号明細書
(特許文献5) 米国特許第10,410,905号明細書
図2Eは、運動システム106 'を使用して、基板112に対して右にダイ供給源108が移動し、残りの左端のダイ108aが次の接合位置112aの上にあり、ボンドツール104bの下にあることを示している。このプロセスは、図2A~2Eと同様に続き、左端のダイ108aを次の接合位置112aに結合し、次にリセットして、次に残っている左端のダイ108a(または必要に応じて他のダイ108a)を次の接合位置112aに接合する。
Claims (20)
- ダイ取り付けシステムであって、
基板を支持するための支持構造と、
前記基板に取り付けるための複数のダイを含むダイ供給源と、
前記ダイ供給源から前記基板にダイを接合するためのボンドヘッドであって、前記ダイの前記ダイ供給源から前記基板への移送の間に前記ダイに接触するためのボンドツールを含む、ボンドヘッドと、
前記ボンドヘッドを第1の軸に沿って移動させるための第1の運動システムと、
前記第1の軸に沿って前記ボンドツールを移動させるための、前記第1の運動システムとは独立した第2の運動システムと、
を有し、
前記ダイ供給源は、接合操作中に前記基板と前記ボンドツールとの間に配置されるように構成されるものである、ダイ取り付けシステム。 - 請求項1記載のダイ取り付けシステムにおいて、前記ボンドツールは、前記ダイの前記ダイ供給源から前記基板への移送に関連して前記ダイに接触するための少なくとも1つのピンを含む、ダイ取り付けシステム。
- 請求項1記載のダイ取り付けシステムにおいて、前記ボンドツールは、前記ダイ供給源から前記基板への移送に関連して前記ダイに接触するための複数のピンを含む、請求項1に記載のダイ取り付けシステム。
- 請求項1記載のダイ取り付けシステムにおいて、前記ダイ供給源はLEDウェーハを含み、前記複数のダイは、複数のLEDダイである、ダイ取り付けシステム。
- 請求項1記載のダイ取り付けシステムにおいて、(i)前記ダイ、および(ii)前記ダイを受け入れるように構成された前記基板の接合位置のうちの少なくとも1つが、前記ダイ供給源から前記基板への移送後に前記ダイを前記接合位置に固定するための接着剤を含むものである、ダイ取り付けシステム。
- 請求項1記載のダイ取り付けシステムにおいて、前記第1の運動システムは、前記ボンドヘッドを運ぶための前記ダイ取り付けシステムのガントリーシステムに含まれるものである、ダイ取り付けシステム。
- 請求項1記載のダイ取り付けシステムにおいて、
前記第1の軸は、前記ダイ取り付けシステムのx軸またはy軸である、ダイ取り付けシステム。 - 請求項1記載のダイ取り付けシステムにおいて、
前記ボンドヘッドが前記第1の軸に沿って第1の方向に移動する間、前記第2の運動システムは、前記ボンドツールを前記第1の軸に沿って第2の方向に選択的に移動させるものであり、前記第2の方向は、前記第1の方向とは反対方向である、ダイ取り付けシステム。 - ダイを基板に取り付ける方法であって、この方法は、
(a)ボンドヘッドを第1の軸に沿って移動させるための第1の運動システムを操作する工程であって、前記ボンドヘッドは、前記ダイをダイ供給源から基板に接合するためのものであり、前記ボンドヘッドは、前記ダイの前記ダイ供給源から前記基板への移送の間に前記ダイに接触するためのボンドツールを含むものである、ボンドヘッドを操作する工程と、
(b)第2の運動システムを操作する工程であって、前記第1の運動システムとは独立して前記ボンドツールを前記第1の軸に沿って移動させるものである、第2の運動システムを操作する工程と、
(c)前記ボンドツールの操作により、前記ダイを前記ダイ供給源から前記基板に移送する工程であって、前記ダイ供給源は、この工程(c)の間、前記基板と前記ボンドツールとの間に配置されるものである、移送する工程と、
を有する、方法。 - 請求項9記載の方法において、
前記ボンドツールは、前記工程(c)における前記ダイ供給源から前記基板への移送に関連して前記ダイに接触するための少なくとも1つのピンを含むものである、方法。 - ダイ取り付けシステムであって、
基板を支持するための支持構造と、
前記基板に取り付けるための複数のダイを含むダイ供給源と、
前記ダイ供給源から前記基板にダイを接合するためのボンドヘッドであって、前記ダイの前記ダイ供給源から前記基板への移送の間に前記ダイに接触するためのボンドツールを含む、ボンドヘッドと、
前記ボンドヘッドを第1の軸に沿って移動させるための第1の運動システムと、
前記第1の軸に沿って前記ボンドツールを移動させるための、前記第1の運動システムとは独立した第2の運動システムと、
を有し、
前記ボンドヘッドが前記第1の軸に沿って第1の方向に移動する間、前記第2の運動システムは、前記ボンドツールを前記第1の軸に沿って第2の方向に選択的に移動させるものであり、前記第2の方向は、前記第1の方向とは反対方向である、ダイ取り付けシステム。 - 請求項11記載のダイ取り付けシステムにおいて、前記ボンドツールは、前記ダイの前記ダイ供給源から前記基板への移送に関連して前記ダイに接触するための少なくとも1つのピンを含む、ダイ取り付けシステム。
- 請求項11記載のダイ取り付けシステムにおいて、前記ボンドツールは、前記ダイ供給源から前記基板への移送に関連して前記ダイに接触するための複数のピンを含む、請求項1に記載のダイ取り付けシステム。
- 請求項11記載のダイ取り付けシステムにおいて、前記ダイ供給源はLEDウェーハを含み、前記複数のダイは、複数のLEDダイである、ダイ取り付けシステム。
- 請求項11記載のダイ取り付けシステムにおいて、(i)前記ダイ、および(ii)前記ダイを受け入れるように構成された前記基板の接合位置のうちの少なくとも1つが、前記ダイ供給源から前記基板への移送後に前記ダイを前記接合位置に固定するための接着剤を含むものである、ダイ取り付けシステム。
- 請求項11記載のダイ取り付けシステムにおいて、前記第1の運動システムは、前記ボンドヘッドを運ぶための前記ダイ取り付けシステムのガントリーシステムに含まれるものである、ダイ取り付けシステム。
- 請求項11記載のダイ取り付けシステムにおいて、
前記第1の軸は、前記ダイ取り付けシステムのx軸またはy軸である、ダイ取り付けシステム。 - 請求項11記載のダイ取り付けシステムにおいて、
前記ダイ供給源は、接合操作中に前記基板と前記ボンドツールとの間に配置されるように構成される、ダイ取り付けシステム。 - ダイを基板に取り付ける方法であって、この方法は、
(a)ボンドヘッドを第1の軸に沿って移動させるための第1の運動システムを操作する工程であって、前記ボンドヘッドは、前記ダイをダイ供給源から基板に接合するためのものであり、前記ボンドヘッドは、前記ダイの前記ダイ供給源から前記基板への移送の間に前記ダイに接触するためのボンドツールを含むものである、ボンドヘッドを操作する工程と、
(b)第2の運動システムを操作する工程であって、前記第1の運動システムとは独立して前記ボンドツールを前記第1の軸に沿って移動させるものである、第2の運動システムを操作する工程と、
(c)前記ボンドツールの操作により、前記ダイを前記ダイ供給源から前記基板に移送する工程と、
を有し、
前記ボンドヘッドが前記第1の軸に沿って第1の方向に移動する間、前記第2の運動システムは、前記ボンドツールを前記第1の軸に沿って第2の方向に選択的に移動させるものであり、前記第2の方向は、前記第1の方向とは反対方向である、方法。 - 請求項19記載の方法において、
前記ボンドツールは、前記工程(c)における前記ダイ供給源から前記基板への移送に関連して前記ダイに接触するための少なくとも1つのピンを含むものである、方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023140275A JP2023169199A (ja) | 2018-09-03 | 2023-08-30 | ダイ取り付けシステム、およびダイを基板に取り付ける方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201862726387P | 2018-09-03 | 2018-09-03 | |
US62/726,387 | 2018-09-03 | ||
PCT/EP2019/073413 WO2020048950A2 (en) | 2018-09-03 | 2019-09-03 | Die attach systems, and methods of attaching a die to a substrate |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023140275A Division JP2023169199A (ja) | 2018-09-03 | 2023-08-30 | ダイ取り付けシステム、およびダイを基板に取り付ける方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021535629A JP2021535629A (ja) | 2021-12-16 |
JPWO2020048950A5 JPWO2020048950A5 (ja) | 2022-05-27 |
JP7344627B2 true JP7344627B2 (ja) | 2023-09-14 |
Family
ID=67874437
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021536163A Active JP7344627B2 (ja) | 2018-09-03 | 2019-09-03 | ダイ取り付けシステム、およびダイを基板に取り付ける方法 |
JP2023140275A Pending JP2023169199A (ja) | 2018-09-03 | 2023-08-30 | ダイ取り付けシステム、およびダイを基板に取り付ける方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023140275A Pending JP2023169199A (ja) | 2018-09-03 | 2023-08-30 | ダイ取り付けシステム、およびダイを基板に取り付ける方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11069555B2 (ja) |
EP (2) | EP4220696A3 (ja) |
JP (2) | JP7344627B2 (ja) |
KR (1) | KR20210050563A (ja) |
CN (1) | CN112805817A (ja) |
TW (2) | TWI816871B (ja) |
WO (1) | WO2020048950A2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20230377917A1 (en) * | 2022-05-23 | 2023-11-23 | Rohinni, LLC | Method and apparatus for multiple axis direct transfers of semiconductor devices |
US20230411185A1 (en) * | 2022-05-25 | 2023-12-21 | Rohinni, LLC | Bridge apparatus and method for semiconductor die transfer |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001284404A (ja) | 2001-03-09 | 2001-10-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チップの圧着方法 |
JP2005196363A (ja) | 2004-01-05 | 2005-07-21 | Yamagata Casio Co Ltd | 位置決め装置及び部品搭載装置 |
JP2007027549A (ja) | 2005-07-20 | 2007-02-01 | Fujitsu Ltd | Icチップ実装方法 |
US20080042459A1 (en) | 2006-08-18 | 2008-02-21 | King Yuan Electronics Co., Ltd. | Pick-Up Head Device with a Pushing Mechanism |
JP2008535275A (ja) | 2005-04-08 | 2008-08-28 | パック テック−パッケージング テクノロジーズ ゲーエムベーハー | チップを接触基板に移送する方法及び装置 |
JP2012156473A (ja) | 2011-01-28 | 2012-08-16 | Adwelds:Kk | 部品移載装置および部品移載方法 |
JP2016092078A (ja) | 2014-10-30 | 2016-05-23 | 株式会社東芝 | 半導体チップの接合方法及び半導体チップの接合装置 |
JP2018513554A (ja) | 2015-03-20 | 2018-05-24 | ロヒンニ リミテッド ライアビリティ カンパニー | 半導体デバイスの転写方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2648118B2 (ja) * | 1995-02-24 | 1997-08-27 | 日本電気エンジニアリング株式会社 | 半導体チップのピックアップ機構 |
WO2009122711A1 (ja) * | 2008-04-01 | 2009-10-08 | パナソニック株式会社 | 部品実装装置および方法 |
JP4998503B2 (ja) * | 2009-04-07 | 2012-08-15 | パナソニック株式会社 | 電子部品実装システムおよび電子部品実装方法 |
JP2012248657A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd | ダイボンダ及びボンディング方法 |
JP6470088B2 (ja) * | 2015-04-02 | 2019-02-13 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | ボンディング装置及びボンディング方法 |
JP6667326B2 (ja) | 2016-03-17 | 2020-03-18 | ファスフォードテクノロジ株式会社 | ダイボンダおよびボンディング方法 |
US10410905B1 (en) * | 2018-05-12 | 2019-09-10 | Rohinni, LLC | Method and apparatus for direct transfer of multiple semiconductor devices |
-
2019
- 2019-08-29 US US16/556,158 patent/US11069555B2/en active Active
- 2019-08-30 TW TW108131330A patent/TWI816871B/zh active
- 2019-08-30 TW TW112133282A patent/TW202401645A/zh unknown
- 2019-09-03 KR KR1020217009728A patent/KR20210050563A/ko not_active Application Discontinuation
- 2019-09-03 JP JP2021536163A patent/JP7344627B2/ja active Active
- 2019-09-03 EP EP23151604.8A patent/EP4220696A3/en active Pending
- 2019-09-03 WO PCT/EP2019/073413 patent/WO2020048950A2/en unknown
- 2019-09-03 EP EP19765213.4A patent/EP3847692A2/en active Pending
- 2019-09-03 CN CN201980057691.XA patent/CN112805817A/zh active Pending
-
2021
- 2021-06-21 US US17/353,368 patent/US11410870B2/en active Active
-
2023
- 2023-08-30 JP JP2023140275A patent/JP2023169199A/ja active Pending
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001284404A (ja) | 2001-03-09 | 2001-10-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | チップの圧着方法 |
JP2005196363A (ja) | 2004-01-05 | 2005-07-21 | Yamagata Casio Co Ltd | 位置決め装置及び部品搭載装置 |
JP2008535275A (ja) | 2005-04-08 | 2008-08-28 | パック テック−パッケージング テクノロジーズ ゲーエムベーハー | チップを接触基板に移送する方法及び装置 |
JP2007027549A (ja) | 2005-07-20 | 2007-02-01 | Fujitsu Ltd | Icチップ実装方法 |
US20080042459A1 (en) | 2006-08-18 | 2008-02-21 | King Yuan Electronics Co., Ltd. | Pick-Up Head Device with a Pushing Mechanism |
JP2008044091A (ja) | 2006-08-18 | 2008-02-28 | King Yuan Electronics Co Ltd | プッシュアップ構造付きの電子部品のピックアンドプレイス装置 |
JP2012156473A (ja) | 2011-01-28 | 2012-08-16 | Adwelds:Kk | 部品移載装置および部品移載方法 |
JP2016092078A (ja) | 2014-10-30 | 2016-05-23 | 株式会社東芝 | 半導体チップの接合方法及び半導体チップの接合装置 |
JP2018513554A (ja) | 2015-03-20 | 2018-05-24 | ロヒンニ リミテッド ライアビリティ カンパニー | 半導体デバイスの転写方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US11069555B2 (en) | 2021-07-20 |
TW202015167A (zh) | 2020-04-16 |
JP2021535629A (ja) | 2021-12-16 |
US11410870B2 (en) | 2022-08-09 |
TWI816871B (zh) | 2023-10-01 |
EP4220696A3 (en) | 2023-08-23 |
TW202401645A (zh) | 2024-01-01 |
WO2020048950A3 (en) | 2020-04-16 |
JP2023169199A (ja) | 2023-11-29 |
EP3847692A2 (en) | 2021-07-14 |
US20210313215A1 (en) | 2021-10-07 |
KR20210050563A (ko) | 2021-05-07 |
US20200075385A1 (en) | 2020-03-05 |
EP4220696A2 (en) | 2023-08-02 |
CN112805817A (zh) | 2021-05-14 |
WO2020048950A2 (en) | 2020-03-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10910248B2 (en) | Electronic component mounting apparatus | |
JP2023169199A (ja) | ダイ取り付けシステム、およびダイを基板に取り付ける方法 | |
KR100636610B1 (ko) | 컴포넌트를 위한 다중 전달 디바이스를 갖는 반도체 장치 | |
US10497590B2 (en) | Electronic component handling unit | |
TWI666720B (zh) | 帶有多個用於傳送電子器件進行鍵合的旋轉傳送臂的鍵合裝置 | |
KR101886923B1 (ko) | 다이본더 및 반도체 장치의 제조 방법 | |
US9484241B2 (en) | Device for holding multiple semiconductor devices during thermocompression bonding and method of bonding | |
JP6941513B2 (ja) | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 | |
JP5507775B1 (ja) | ボンディング装置およびボンディング方法 | |
TWI480963B (zh) | 用於傳送襯底進行鍵合的裝置 | |
KR101422401B1 (ko) | 발광 소자 칩 본딩 장치 | |
KR100854438B1 (ko) | 반도체 패키지 제조용 볼마운팅 시스템의 플럭스 도포장치 | |
TW200421499A (en) | Handler for semiconductor singulation and method therefor | |
KR102539924B1 (ko) | 전자 부품의 실장 장치 | |
KR102552469B1 (ko) | 전자 부품의 실장 장치 | |
JP2003115698A (ja) | 電子部品実装装置 | |
US9847313B2 (en) | Thermocompression bonders, methods of operating thermocompression bonders, and horizontal scrub motions in thermocompression bonding | |
KR20210143647A (ko) | 반도체 다이 본딩용 장치 및 그 방법 | |
JP2003142507A (ja) | 半導体装置の製造装置及びそれを用いた半導体装置の製造方法 | |
KR20060109597A (ko) | 다이 부착 기구 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220412 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220412 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230523 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230524 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230814 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230822 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230902 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7344627 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |