JP7341880B2 - 熱可塑性ポリイミド樹脂とポリイミド樹脂の積層体のエッチング方法 - Google Patents
熱可塑性ポリイミド樹脂とポリイミド樹脂の積層体のエッチング方法 Download PDFInfo
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Description
本発明に係るポリイミド樹脂は、加熱しても軟化、接着性を示さない非熱可塑性ポリイミドであり、ピロメリット酸無水物と芳香族ジアミンとの反応から製造される、ポリピロメリット酸イミド系ポリイミドやビフェニルテトラカルボン酸二無水物とジアミンから製造されるポリビフェニルテトラカルボン酸系イミドが好ましく用いられる。この非熱可塑性ポリイミドとしては、市販品を用いることができ、例えば米国デュポン社の商品名「カプトン(登録商標)」、株式会社カネカの商品名「アピカル(登録商標)」や宇部興産株式会社の商品名「ユーピレックス(登録商標)」等が挙げられる。
本発明に係る熱可塑性ポリイミド樹脂は、加熱により軟化して接着性を発揮するポリイミドをいう。この熱可塑性ポリイミドとしては、市販品を用いることができ、例えば三井化学株式会社の商品名「オーラム(登録商標)」、株式会社カネカ製の商品名「ピクシオ(登録商標)」等が挙げられる。
本発明において、エッチング加工の対象となる熱可塑性ポリイミド樹脂とポリイミド樹脂の積層体は、加熱圧着により熱可塑性ポリイミド樹脂、ポリイミド樹脂の順で積層してなるものであり、ホットプレス法、ロールプレス法、ラミネート法など公知の方法により作製できる。熱可塑性ポリイミド樹脂とポリイミド樹脂と一緒に金属層を積層しても良い。金属層としては銅層が一般的である。
本発明に係るエッチング液は、熱可塑性ポリイミド樹脂とポリイミド樹脂の積層体用のエッチング液である。
以下に、本発明のエッチング方法について説明する。図1は、本発明のエッチング方法の一例を示す断面工程図である。図1に示したエッチング方法では、金属層4に接着された熱可塑性ポリイミド樹脂2とポリイミド樹脂1の積層体3の一部を除去することによって、熱可塑性ポリイミド樹脂とポリイミド樹脂の積層体パターンを形成することができる。
○:ずれが5μm未満
△:ずれが5~15μmの範囲
×:ずれが15μmを超える
2 熱可塑性ポリイミド樹脂
3 積層体
4 金属層
5 マスク材
6 パターンマスク
Claims (1)
- 熱可塑性ポリイミド樹脂とポリイミド樹脂の積層体をエッチングするエッチング方法において、エッチング液によるエッチング工程及び水洗工程をこの順に含み、該エッチング液が第1成分としての25~45質量%のアルカリ金属水酸化物及び第2成分としての15~35質量%のエタノールアミン化合物を含有し、水洗工程における水洗液の温度が70℃以上であることを特徴とするエッチング方法。
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