JP7340673B2 - Memsマイクロフォン - Google Patents
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Description
Claims (7)
- バックチャンバーを有する基板と、前記基板に設けられた容量システムとを備え、前記容量システムが、バックプレートと、前記バックプレートに対向して設けられた振動板とを有し、前記振動板が前記基板に固定され、前記バックプレートの前記基板に近い側に位置するMEMSマイクロフォンであって、
前記バックプレートは、中間部と、前記中間部を囲んで前記基板に固定された固定部とを有し、
前記固定部は、前記中間部よりも厚さが厚く、
前記固定部は、前記基板から離れる第1面と、前記第1面に対向する第2面とを有し、前記第1面は、前記中間部に接続された第1弧面を含み、前記第1弧面は、前記基板から離れる方向に突出しており、
前記固定部は、本体部と、前記本体部に積層された絶縁層とを有し、前記絶縁層は、前記固定部の第1面に接続されており、
前記本体部と絶縁層とは、同種の材料である、
ことを特徴とするMEMSマイクロフォン。 - 前記第1面は、前記第1弧面に接続された第2弧面をさらに含み、前記第2弧面は、前記基板から離れる方向に突出している、
ことを特徴とする請求項1に記載のMEMSマイクロフォン。 - 前記本体部と前記中間部とは、厚さが同じである、
ことを特徴とする請求項1に記載のMEMSマイクロフォン。 - 前記本体部と絶縁層とは、一体構造または別体構造である、
ことを特徴とする請求項1に記載のMEMSマイクロフォン。 - 前記絶縁層は、中空環状構造である、
ことを特徴とする請求項1に記載のMEMSマイクロフォン。 - 前記本体部と絶縁層とは、形状が同じである、
ことを特徴とする請求項1に記載のMEMSマイクロフォン。 - 前記第1面と第2面とは、形状が同じである、
ことを特徴とする請求項1に記載のMEMSマイクロフォン。
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