CN217693708U - Mems麦克风 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述振膜包括振动部和环绕所述振动部并固定于所述基底的固定部，所述振动部和所述固定部之间通过狭缝间隔，所述固定部设有若干释放部，所述释放部贯穿所述固定部。与相关技术相比，本实用新型提供的MEMS麦克风可以提高背板的可靠性。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及电声转换领域，尤其涉及一种MEMS麦克风。
【背景技术】
近年来移动通信技术已经得到快速发展，消费者越来越多地使用移动通信设备，例如便携式电话、能上网的便携式电话、个人数字助理或专用通信网络进行通信的其他设备，其中麦克风则是其中重要的部件之一，特别是MEMS麦克风。
微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)麦克风是一种利用微机械加工技术制作出来的电能换声器，其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、轻薄化发展，MEMS麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。
相关技术中的MEMS麦克风包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板及与所述背板相对设置的振膜。在MEMS麦克风的制作过程中，振膜和背板之间的氧化物如果清理不干净会导致背板的可靠性受到影响。通常在背板的背板孔外圈周围再增加释放孔，氧化物刻蚀液从释放孔进来清理振膜与背板间的氧化物，但是这样会使得MEMS麦克风多了泄气通道，对于顶部进声的MEMS麦克风，降低了信噪比；对于底部进声的MEMS麦克风，影响了低衰。
因此，有必要提供一种改进的MEMS麦克风来解决上述问题。
【实用新型内容】
本实用新型要解决的技术问题是提供一种背板可靠性较高的MEMS麦克风。
为解决上述技术问题，提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述振膜包括振动部和环绕所述振动部并固定于所述基底的固定部，所述振动部和所述固定部之间通过狭缝间隔，所述固定部设有若干释放部，所述释放部贯穿所述固定部。
优选的，所述释放部为贯通孔，所述贯通孔设有多个，并且均匀的分布在所述固定部。
优选的，所述贯通孔沿垂直于所述振膜振动方向的截面呈圆形。
优选的，所述贯通孔沿垂直于所述振膜振动方向的截面呈椭圆形。
优选的，所述贯通孔向振膜的中心方向延伸。
优选的，所述贯通孔包括若干个依次互相连通的贯通部，每个贯通部包括依次设置的第一贯通部、第二贯通部、第三贯通部以及连通所述第一贯通部和第二贯通部的第四贯通部、连通所述第二贯通部和第三贯通部的第五贯通部，所述第四贯通部和第五贯通部分别位于所述第二贯通部的两侧。
优选的，所述第一贯通部、第二贯通部以及第三贯通部互相平行。
优选的，所述第四贯通部和第五贯通部与所述第二贯通部垂直。
优选的，所述振膜为跑道形，所述固定部的角部还设有若干个贯通的圆形孔，所述圆形孔位于相邻的贯通部之间。
优选的，所述振膜位于所述背板靠近所述基底的一侧。
与相关技术相比，由于振膜设有若干释放部，氧化物刻蚀液可以通过释放部进入振膜，从而清除干净振膜与背板间的氧化物，达到提高背板可靠性的目的。
【附图说明】
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：
图1为本实用新型第一实施方式提供的MEMS麦克风立体结构示意图；
图2为图1所示的所述MEMS麦克风的分解图；
图3为图1所示的所述MEMS麦克风沿A-A线的剖视图；
图4为本实用新型第一实施方式提供的MEMS麦克风的振膜结构示意图；
图5为本实用新型第二实施方式提供的MEMS麦克风的振膜结构示意图；
图6为本实用新型第三实施方式提供的MEMS麦克风的振膜结构示意图。
【具体实施方式】
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1至图4所示，为本实用新型的第一种实施方式的MEMS麦克风100，其包括具有背腔11的基底10及设置在所述基底10上的电容系统32。电容系统32包括背板13以及与所述背板13相对设置的振膜12，所述振膜12位于背板13靠近所述基底10的一侧。当声压作用于振膜12时，正对背板13与背对背板13的振膜12两面存在压强差，使得振膜12做靠近背板13或远离背板13的运动，从而引起振膜12与背板13间电容的变化，实现声音信号到电信号的转换。
所述振膜12为跑道形，其包括振动部121和环绕所述振动部121并固定于所述基底10的固定部122，所述振动部121和固定部122之间通过狭缝120间隔，所述狭缝120为连续的环状结构。狭缝120用于调节MEMS麦克风100的低衰值，进而调节MEMS麦克风100的性能。振动部121与背板13之间设有支撑件14，振动部121通过支撑件14与背板13固定连接。
所述固定部122设有若干释放部1220，所述释放部1220贯穿所述固定部122。在MEMS麦克风100的制作过程中，氧化物刻蚀液可以通过释放部1220进入振膜12，从而清除干净振膜12与背板13间的氧化物，达到提高背板13可靠性的目的。
释放部1220为贯通孔，贯通孔1220有多个并且均匀的分布在所述固定部122。在本实施方式中，贯通孔1220沿垂直于所述振膜12振动方向的截面呈圆形，即贯通孔122为圆形孔。
另外，背板13靠近振膜12一侧还设有阻挡部15，背板13的边缘通过与连接部101的内侧连接从而固定于所述基底10，振膜12通过绝缘层3固定于基底10。
参照图5所示，为本实用新型的第二实施方式的MEMS麦克风的振膜12’结构，第二实施方式与第一实施方式的区别仅在于：所述贯通孔1220’沿垂直于所述振膜12’振动方向的截面呈椭圆形，即贯通孔1220’为椭圆形，并且椭圆形贯通孔1220’向振膜12’的中心方向延伸。
参照图6所示，为本实用新型的第三实施方式的MEMS麦克风的振膜12”结构，第三实施方式与第一实施方式的区别仅在于：圆形孔12220”仅设置于固定部122”的角部，相邻的圆形孔12220”之间设有若干个依次互相连接的贯通部12210”，每个贯通部12210”包括依次设置的第一贯通部12211”、第二贯通部12212”、第三贯通部12213”以及连通所述第一贯通部12211”和第二贯通部12212”的第四贯通部12214”、连通所述第二贯通部12212”和第三贯通部12213”的第五贯通部12215”，所述第四贯通部12214”和第五贯通部12215”分别位于所述第二贯通部12212”的两侧。在本实施方式中，所述第一贯通部12211”、第二贯通部12212”以及第三贯通部12213”互相平行，第四贯通部12214”和第五贯通部12215”互相平行，所述第四贯通部12214”和第五贯通部12215”与所述第二贯通部12212”垂直。
可见，与相关技术相比，由于振膜设有若干释放部，氧化物刻蚀液可以通过释放部进入振膜，从而清除干净振膜与背板间的氧化物，达到提高背板可靠性的目的。
以上所述的仅是本实用新型的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本实用新型的保护范围。
Claims (10)
1.一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述振膜包括振动部和环绕所述振动部并固定于所述基底的固定部，所述振动部和所述固定部之间通过狭缝间隔，其特征在于，所述固定部设有若干释放部，所述释放部贯穿所述固定部。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述释放部为贯通孔，所述贯通孔设有多个，并且均匀的分布在所述固定部。
3.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述贯通孔沿垂直于所述振膜振动方向的截面呈圆形。
4.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述贯通孔沿垂直于所述振膜振动方向的截面呈椭圆形。
5.根据权利要求4所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述贯通孔向振膜的中心方向延伸。
6.根据权利要求2所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述贯通孔包括若干个依次互相连通的贯通部，每个贯通部包括依次设置的第一贯通部、第二贯通部、第三贯通部以及连通所述第一贯通部和第二贯通部的第四贯通部、连通所述第二贯通部和第三贯通部的第五贯通部，所述第四贯通部和第五贯通部分别位于所述第二贯通部的两侧。
7.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第一贯通部、第二贯通部以及第三贯通部互相平行。
8.根据权利要求7所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第四贯通部和第五贯通部与所述第二贯通部垂直。
9.根据权利要求6所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述振膜为跑道形，所述固定部的角部还设有若干个贯通的圆形孔，所述圆形孔位于相邻的贯通部之间。
10.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述振膜位于所述背板靠近所述基底的一侧。
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