CN216491058U - Mems麦克风 - Google Patents

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Abstract

本实用新型提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述振膜固定于所述基底并且位于所述背板靠近所述基底的一侧，所述背板包括本体部、与所述基底连接的固定部以及连接所述本体部和固定部的连接部，所述连接部包括远离所述基底的第一表面，所述第一表面包括与所述本体部连接的第一弧面，所述第一弧面向远离所述基底方向凸出。与相关技术相比，本实用新型提供的MEMS麦克风可提高产品的可靠性。

Description

MEMS麦克风
【技术领域】
本实用新型涉及电声转换领域，尤其涉及一种MEMS麦克风。
【背景技术】
近年来移动通信技术已经得到快速发展，消费者越来越多地使用移动通信设备，例如便携式电话、能上网的便携式电话、个人数字助理或专用通信网络进行通信的其他设备，其中麦克风则是其中重要的部件之一，特别是MEMS麦克风。
微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)麦克风是一种利用微机械加工技术制作出来的电能换声器，其具有体积小、频响特性好、噪声低等特点。随着电子设备的小巧化、轻薄化发展，MEMS麦克风被越来越广泛地运用到这些设备上。
相关技术中的MEMS麦克风包括具有背腔的基底以及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板及与所述背板相对设置的振膜，背板包括本体部、与基底连接的固定部以及连接本体部和固定部的连接部，连接部垂直于本体部和固定部，即背板和基底直接采用直角连接，当MEMS麦克风受到较大声压时，直角连接处存在应力集中，使背板容易断裂，降低了背板的可靠性。
因此，有必要提供一种改进的MEMS麦克风来解决上述问题。
【实用新型内容】
本实用新型要解决的技术问题是提供一种可靠性好的MEMS麦克风。
为解决上述技术问题，提供了一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述振膜固定于所述基底并且位于所述背板靠近所述基底的一侧，所述背板包括本体部、与所述基底连接的固定部以及连接所述本体部和固定部的连接部，所述连接部包括远离所述基底的第一表面，所述第一表面包括与所述本体部连接的第一弧面，所述第一弧面向远离所述基底方向凸出。
优选的，所述连接部还包括与所述第一表面相对的第二表面，所述第二表面包括第二弧面，所述第二弧面延伸至所述基底。
优选的，所述连接部还包括与所述第一表面相对的第二表面，所述第二表面包括与所述本体部连接的第二弧面以及连接所述第二弧面和所述基底的连接面，所述连接面垂直于所述基底设置。
优选的，所述连接部还包括与所述第一表面相对的第二表面，所述第二表面包括与所述本体部连接的第二弧面以及连接所述第二弧面和所述基底的连接面，所述连接面为圆弧面。
优选的，所述第一表面还包括连接所述第一弧面和所述固定部的第三弧面，所述第三弧面向远离所述基底方向凸出。
优选的，所述第一弧面和所述第三弧面的连接处比所述本体部更靠近所述基底。
优选的，所述第三弧面为圆弧面。
优选的，所述第一弧面为圆弧面。
与相关技术相比，本实用新型的MEMS麦克风通过第一弧面与背板的本体部连接，改善了背板与基底连接处的应力分布，提高了MEMS麦克风的和可靠性。
【附图说明】
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：
图1为本实用新型第一实施例的MEMS麦克风的立体结构示意图；
图2为图1沿AA线的剖视图；
图3为本实用新型第二实施例的MEMS麦克风的剖视图；
图4为本实用新型第三实施例的MEMS麦克风的剖视图；
图5为本实用新型第四实施例的MEMS麦克风的剖视图。
【具体实施方式】
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1和图2所示，为本实用新型的一种MEMS麦克风100，其包括具有背腔10的基底11及设置在所述基底11上的电容系统23。电容系统23包括背板30以及与所述背板30相对设置的振膜20，背板30和振膜20均固定于所述基底11，所述振膜20位于背板30靠近所述基底11的一侧。
所述背板30包括本体部31、与所述基底11连接的固定部32以及连接所述本体部31和固定部32的连接部33。所述连接部33包括远离基底11的第一表面330和与第一表面330相对的第二表面331，第一表面330包括与本体部31连接的第一弧面3301，第一弧面3301向远离基底11方向凸出。由于第一弧面3301与本体部31连接，可改善背板30与基底11连接位置的应力分布，提高背板30的可靠性。
另外，第二表面331包括第二弧面3310，所述第二弧面3310延伸至所述基底11，即第二弧面3310直接与基底11连接，可进一步改善背板30与基底11连接位置的应力分布。第一弧面3301和第二弧面3310都可为圆弧面。
参照图3所示，为本实用新型第二实施例的MEMS麦克风200，与第一实施例的区别仅在于：第二表面331’还包括连接第二弧面3310’和基底11’的连接面3311’，连接面3311’垂直于基底11’设置。
参照图4所示，为本实用新型第三实施例的MEMS麦克风300，与第一实施例的区别仅在于：第二表面331”还包括连接第二弧面3310”和基底11”的连接面3311”，连接面3311”为圆弧面。
参照图5所示，为本实用新型第四实施例的MEMS麦克风400，与第一实施例的区别仅在于：第一表面330”’还包括连接所述第一弧面3301”’和所述固定部32”’的第三弧面3302”’，第三弧面3302”’向远离基底11”’方向凸出，第一弧面3301”’和第三弧面3302”’的连接处比本体部31”’更靠近基底11”’。在其它实施例中，第一表面还包括更多的弧面相互连接，第三弧面也可为圆弧面。
以上所述的仅是本实用新型的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种MEMS麦克风，其包括具有背腔的基底及设置在所述基底上的电容系统，所述电容系统包括背板以及与所述背板相对设置的振膜，所述振膜固定于所述基底并且位于所述背板靠近所述基底的一侧，其特征在于：所述背板包括本体部、与所述基底连接的固定部以及连接所述本体部和固定部的连接部，所述连接部包括远离所述基底的第一表面，所述第一表面包括与所述本体部连接的第一弧面，所述第一弧面向远离所述基底方向凸出。
2.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述连接部还包括与所述第一表面相对的第二表面，所述第二表面包括第二弧面，所述第二弧面延伸至所述基底。
3.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述连接部还包括与所述第一表面相对的第二表面，所述第二表面包括与所述本体部连接的第二弧面以及连接所述第二弧面和所述基底的连接面，所述连接面垂直于所述基底设置。
4.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述连接部还包括与所述第一表面相对的第二表面，所述第二表面包括与所述本体部连接的第二弧面以及连接所述第二弧面和所述基底的连接面，所述连接面为圆弧面。
5.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第一表面还包括连接所述第一弧面和所述固定部的第三弧面，所述第三弧面向远离所述基底方向凸出。
6.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第一弧面和所述第三弧面的连接处比所述本体部更靠近所述基底。
7.根据权利要求5所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第三弧面为圆弧面。
8.根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述第一弧面为圆弧面。
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