JP7336093B2

JP7336093B2 - 微少粉塵・ヒューム捕集装置および汚染空気回収機構

Info

Publication number: JP7336093B2
Application number: JP2018091852A
Authority: JP
Inventors: 博光稲垣; 隆行移川; 秀二木梨; 高志榑林
Original assignee: Chubu Electric Power Co Inc; Japan Environment Research Co Ltd
Current assignee: Chubu Electric Power Co Inc; Japan Environment Research Co Ltd
Priority date: 2018-05-11
Filing date: 2018-05-11
Publication date: 2023-08-31
Anticipated expiration: 2038-05-11
Also published as: JP2019195786A

Description

本発明は、塵埃が除去された清浄空気を作る微少粉塵・ヒューム捕集装置に関するとともに、汚染空気を回収する汚染空気回収機構に関する。

前処理室と、前処理室の下流側に配置された後処理室と、後処理室の下流側に配置された空気吸引装置とを備え、前処理室が、空気吸引装置による吸引作用により外部からヒューム含有空気を導入する吸引ダクトと、上部にヘッドスペースを有し、吸引したヒューム含有空気が下方へ向けて通過する球状吸着体を充填した球体層が配置された球体収容部とを有し、後処理室が、後処理室の下部に配置され、球体収容部を通過した吸引空気の上方への作用力を受けるプリコート剤と、プリコート剤の上方に配置され、上方へ舞い上げられたプリコート剤が付着することでコート層を形成させるフィルタとを有するヒューム捕集機が開示されている（特許文献１参照）。

特開２００５－１５２８３４号公報

前記特許文献１に開示のヒューム捕集機は、その下流に配置された空気吸引装置の吸引作用により吸引ダクトから外部のヒューム含有空気が球体収容部に吸引され、ヒューム含有空気が球体層を構成する多数の球状吸着体の間隙を通って球体層を通過する際、空気中に含まれるヒュームが吸着されるとともに、球体層全体の空気抵抗が少なくなるように個々の球状吸着体が上下左右に微小な運動を行うため圧力損失の安定化を図ることができ、これにより下流に配置されたフィルタの寿命を長時間維持することができる。しかし、前記特許文献１に開示のヒューム捕集機は、微細な塵埃やガス状の汚染物質を除去することができず、それらを除去した清浄空気を作ることができない。

なお、放射性物質によって汚染された地域の除染にレーザーが利用される場合がある。レーザーによる除染では、レーザー照射装置から処理面域（各種材料や金属製品、塗装箇所、樹脂成型物等の被除染箇所）にレーザー光を照射し、処理面域の表面を削り取る。処理面域の表面を削り取る際に、所定の大きさの塵埃が発生するのみならず、溶融した汚染物が蒸気となった後に冷えて微細なナノメートルサイズの塵埃（粒子）に変わり、それら塵埃が四方に飛散するとともに、ガスが発生し、そのガスが四方に飛散する。ナノメートルサイズの塵埃（粒子）を含む塵埃やガスが放射性物質に汚染されていれば、それら塵埃やガスが四方に飛散することは放射性物質の汚染を拡大することにもなりかねない。さらに、放射性物質に汚染された塵埃やガスを吸引することで、内部被ばくが生じる可能性がある。

本発明の目的は、微細な塵埃や微粉炭のみならず、ナノメートルサイズの塵埃（粒子）や超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を除去することができ、微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃（粒子）、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を除去した清浄空気を作ることができる微少粉塵・ヒューム捕集装置および汚染空気回収機構を提供することにある。本発明の他の目的は、放射性物質に汚染された微細な塵埃や微粉炭のみならず、放射性物質に汚染されたナノメートルサイズの塵埃（粒子）や超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を捕集することができ、放射性物質の汚染拡大を防ぐことができるとともに、内部被ばくを防ぐことができる微少粉塵・ヒューム捕集装置および汚染空気回収機構を提供することにある。

前記課題を解決するための本発明の第１の前提は、汚染空気が流入する流入口と、汚染空気に含まれる粉塵を捕集する捕集機構と、捕集機構によって塵埃が除去された清浄空気を給気する給気口とを備えた微少粉塵・ヒューム捕集装置である。

前記第１の前提における本発明の微少粉塵・ヒューム捕集装置の特徴は、微少粉塵・ヒューム捕集装置が、流入口に連結されて汚染空気を回収する汚染空気回収機構を含み、捕集機構が、微少粉塵・ヒューム捕集装置における汚染空気の通流経路の上流側に設置されたプレフィルタと、プレフィルタの下流側の通流経路に設置された活性炭フィルタと、活性炭フィルタの下流側の通流経路に設置されたＨＥＰＡフィルタとから形成され、汚染空気回収機構が、流入口につながる回収ホースと、回収ホースの先端部に連結された回収ダクトとから形成され、回収ダクトが、トーラス形に成形され、中空の空気流路と、空気流路につながる空気流入開口が作られた内周壁と、内周壁に囲繞されて所定の処理面域が露出する所定面積の作業スペースと、内周壁につながる円環状の頂壁と、内周壁につながる円環状の底壁と、頂底壁につながる円環状の外周壁と、外周壁に開口して回収ホースを連結する空気流出口とを有することにある。

本発明の微少粉塵・ヒューム捕集装置の一例としては、プレフィルタが、上下方向へ長い袋状に成形され、上下方向へ延びていて汚染空気が通流する内部空間と、活性炭フィルタに向かって開口する上方開口とを有し、捕集機構では、汚染空気がプレフィルタの外側からプレフィルタを通流して内部空間に進入しつつ、内部空間を通って上方開口から活性炭フィルタに向かって流出する。

本発明の微少粉塵・ヒューム捕集装置の他の一例としては、微少粉塵・ヒューム捕集装置が、汚染空気の流動中にプレフィルタの外周面に付着してプレフィルタの外周面にプリコート濾過層を形成するプリコート剤と、プレフィルタの上流側の通流経路に設置されたサイクロンセパレータとを含む。

本発明の微少粉塵・ヒューム捕集装置の他の一例として、回収ダクトでは、頂壁の面積を変更することで、作業スペースの面積を変更可能であり、回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整可能である。

本発明の微少粉塵・ヒューム捕集装置の他の一例としては、回収ダクトが、内周壁に作られた空気流入開口を開閉可能なシャッターを含み、回収ダクトでは、シャッターによって空気流入開口の開口面積を変更可能であるとともに回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整可能である。

本発明の微少粉塵・ヒューム捕集装置の他の一例としては、空気流入開口が、内周壁の周り方向へ所定寸法離間して作られ、回収ダクトでは、シャッターが各空気流入開口に上下方向へスライド可能に設置され、シャッターが各空気流入開口において上下方向へスライドすることで、各空気流入開口の開口面積を変更可能であるとともに回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整可能である。

本発明の微少粉塵・ヒューム捕集装置の他の一例としては、微少粉塵・ヒューム捕集装置が、処理面域にレーザー光を照射して処理面域の表面を除染するレーザー照射装置を含み、作業スペースに露出する処理面域にレーザー照射装置からレーザー光を照射し、レーザー光の照射によって処理面域の表面から発生した汚染空気に含まれる微細な塵埃およびガスを捕集する。

前記課題を解決するための本発明の第２の前提は、所定の処理面域から発生した汚染空気に含まれる微細な塵埃およびガスを捕集する微少粉塵・ヒューム捕集装置の汚染空気の流入口に連結される汚染空気回収機構である。

前記第２の前提における本発明の汚染空気回収機構の特徴は、汚染空気回収機構が、微少粉塵・ヒューム捕集装置の汚染空気の流入口に連結される回収ホースと、回収ホースの先端部に連結された回収ダクトとから形成され、回収ダクトが、トーラス形に成形され、中空の空気流路と、空気流路につながる空気流入開口が作られた内周壁と、内周壁に囲繞されて処理面域が露出する所定面積の作業スペースと、内周壁につながる円環状の頂壁と、内周壁につながる円環状の底壁と、頂底壁につながる円環状の外周壁と、外周壁に開口して前記回収ホースを連結する空気流出口とを有することにある。

本発明の汚染空気回収機構の一例として、汚染空気回収機構では、回収ダクトの頂壁の面積を変更することで、作業スペースの面積を変更可能であり、回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整可能である。

本発明の汚染空気回収機構の他の一例としては、回収ダクトが、内周壁に作られた空気流入開口を開閉可能なシャッターを含み、汚染空気回収機構では、回収ダクトのシャッターによって空気流入開口の開口面積を変更可能であるとともに回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整可能である。

本発明の汚染空気回収機構の他の一例としては、空気流入開口が、内周壁の周り方向へ所定寸法離間して作られ、汚染空気回収機構では、回収ダクトのシャッターが各空気流入開口に上下方向へスライド可能に設置され、シャッターが各空気流入開口において上下方向へスライドすることで、各空気流入開口の開口面積を変更可能であるとともに回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整可能である。

本発明の汚染空気回収機構の他の一例としては、汚染空気回収機構が、作業スペースに露出する処理面域にレーザー光を照射して作業スペースの表面を除染するレーザー照射装置を含み、レーザー照射装置から作業スペースに露出する処理面域にレーザー光を照射し、レーザー光の照射によって処理面域の表面から発生した汚染空気に含まれる微細な塵埃およびガスを捕集する。

本発明に係る微少粉塵・ヒューム捕集装置によれば、捕集機構が汚染空気の通流経路の上流側に設置されたプレフィルタとプレフィルタの下流側に設置された活性炭フィルタと活性炭フィルタの下流側に設置されたＨＥＰＡフィルタとから形成されているから、汚染空気に含まれる所定の大きさの塵埃をプレフィルタで捕集し、汚染空気に含まれるナノメートルサイズの塵埃（粒子）や超微細な粉塵、ガス状の汚染物質をプレフィルタの下流側に設置された活性炭フィルタで捕集するとともに、活性炭フィルタを通過した汚染空気に含まれる微細な塵埃や微粉炭を活性炭フィルタの下流側に設置されたＨＥＰＡフィルタで捕集することができ、汚染空気に微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質が含まれていたとしても、微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を確実に捕集することができ、汚染空気に含まれる微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を除去した清浄空気を作ることができる。

プレフィルタが、上下方向へ長い袋状に成形され、上下方向へ延びていて汚染空気が通流する内部空間と、活性炭フィルタに向かって開口する上方開口とを有し、汚染空気がプレフィルタの外側からプレフィルタを通流して内部空間に進入しつつ、内部空間を通って上方開口から活性炭フィルタに向かって流出する微少粉塵・ヒューム捕集装置は、汚染空気が袋状に成形されたプレフィルタの外側からプレフィルタを通流することで、汚染空気に含まれる所定の大きさの塵埃がプレフィルタに確実に捕集されるから、汚染空気から所定の大きさの塵埃を除去することができるとともに、プレフィルタの後流側に設置された活性炭フィルタやＨＥＰＡフィルタが大きいサイズの塵埃によって目詰まりを起こすことはなく、活性炭フィルタやＨＥＰＡフィルタの寿命を延ばすことができる。微少粉塵・ヒューム捕集装置は、活性炭フィルタやＨＥＰＡフィルタが大きいサイズの塵埃によって目詰まりを起こすことがないから、汚染空気に含まれるナノメートルサイズの塵埃（粒子）や超微細な粉塵、ガス状の汚染物質をプレフィルタの下流側に設置された活性炭フィルタに捕集させることができるとともに、活性炭フィルタを通過した汚染空気に含まれる微細な塵埃や微粉炭を活性炭フィルタの下流側に設置されたＨＥＰＡフィルタに捕集させることができ、汚染空気に含まれる微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を除去した清浄空気を作ることができる。

汚染空気の流動中にプレフィルタの外周面に付着してプレフィルタの外周面にプリコート濾過層を形成するプリコート剤と、プレフィルタの上流側の通流経路に設置されたサイクロンセパレータとを含む微少粉塵・ヒューム捕集装置は、プリコート剤によってプレフィルタの外周面にプリコート濾過層を形成することで、プリコート濾過層によってプレフィルタよりも空隙の小さな空隙を形成し、そのプリコート濾過層によって汚染空気に含まれる小さな粒径の塵埃を捕集することができ、汚染空気から小さな粒径の塵埃を除去することができるとともに、プレフィルタや活性炭フィルタ、ＨＥＰＡフィルタの目詰まりを防止してそれらフィルタの寿命を延ばすことができる。微少粉塵・ヒューム捕集装置は、サイクロンセパレータによって汚染空気に混在する塵埃（粒子）を汚染空気から分離することで、サイクロンセパレータによって塵埃（粒子）を事前に捕集することができ、プリコート濾過層やプレフィルタ、活性炭フィルタ、ＨＥＰＡフィルタの目詰まりを防止してそれらフィルタの寿命を延ばすことができる。微少粉塵・ヒューム捕集装置は、活性炭フィルタやＨＥＰＡフィルタが大きいサイズの塵埃によって目詰まりを起こすことがないから、汚染空気に含まれるナノメートルサイズの塵埃（粒子）や超微細な粉塵、ガス状の汚染物質をプレフィルタの下流側に設置された活性炭フィルタに捕集させることができるとともに、活性炭フィルタを通過した汚染空気に含まれる微細な塵埃や微粉炭を活性炭フィルタの下流側に設置されたＨＥＰＡフィルタに捕集させることができ、汚染空気に含まれる微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を除去した清浄空気を作ることができる。

微少粉塵・ヒューム捕集装置の流入口に連結されて汚染空気を回収する汚染空気回収機構を含み、汚染空気回収機構が、流入口につながる回収ホースと、回収ホースの先端部に連結された回収ダクトとから形成され、回収ダクトが、中空の空気流路と、空気流路につながる空気流入開口が作られた内周壁と、内周壁に囲繞されて所定の処理面域が露出する所定面積の作業スペースとを有する微少粉塵・ヒューム捕集装置は、回収ダクトの内周壁に囲繞された作業スペースに露出する処理面域（各種材料や金属製品、塗装箇所、樹脂成型物等の処理面域）から微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃（粒子）、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質が発生したとしても、微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質が回収ダクトにブロックされて四方に飛散することはなく、作業スペース内において微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を確実に回収することができる。微少粉塵・ヒューム捕集装置は、汚染空気回収機構によって回収された汚染空気に含まれるナノメートルサイズの塵埃（粒子）や超微細な粉塵、ガス状の汚染物質がプレフィルタの下流側に設置された活性炭フィルタに捕集され、活性炭フィルタを通過した汚染空気に含まれる微細な塵埃や微粉炭を活性炭フィルタの下流側に設置されたＨＥＰＡフィルタに捕集されるから、微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を確実に捕集することができ、汚染空気に含まれる微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を除去した清浄空気を作ることができる。

回収ダクトが、トーラス形に成形され、内周壁につながる円環状の頂壁と、内周壁につながる円環状の底壁と、頂底壁につながる円環状の外周壁と、外周壁に開口して回収ホースを連結する空気流出口とを有し、回収ダクトの頂壁の面積を変更することで、作業スペースの面積を変更可能であり、回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整可能である微少粉塵・ヒューム捕集装置は、トーラス形（ドーナツ型）に成形された回収ダクトの内外周壁と頂底壁とによって作業スペースが囲繞されるから、回収ダクトの内周壁に囲繞された作業スペースに露出する処理面域（各種材料や金属製品、塗装箇所、樹脂成型物等の処理面域）から微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃（粒子）、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質が発生したとしても、微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質が回収ダクトにブロックされて四方に飛散することはなく、作業スペース内において微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を確実に回収することができる。微少粉塵・ヒューム捕集装置は、回収ダクトの頂壁の面積を変更することで、回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整することができるから、汚染空気回収機構によって回収される汚染空気の風速をプレフィルタや活性炭フィルタ、ＨＥＰＡフィルタの捕集性能にあわせて調節することができ、プレフィルタや活性炭フィルタ、ＨＥＰＡフィルタに微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃（粒子）、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を確実に捕集させることができる。

回収ダクトが内周壁に作られた空気流入開口を開閉可能なシャッターを含み、シャッターによって空気流入開口の開口面積を変更可能であるとともに回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整可能である微少粉塵・ヒューム捕集装置は、回収ダクトのシャッターによって空気流入開口の開口面積を変更することで、回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整することができるから、汚染空気回収機構によって回収される汚染空気の風速をプレフィルタや活性炭フィルタ、ＨＥＰＡフィルタの捕集性能にあわせて調節することができ、プレフィルタや活性炭フィルタ、ＨＥＰＡフィルタに微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃（粒子）、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を確実に捕集させることができる。

空気流入開口が内周壁の周り方向へ所定寸法離間して作られ、シャッターが各空気流入開口に上下方向へスライド可能に設置され、シャッターが各空気流入開口において上下方向へスライドすることで、各空気流入開口の開口面積を変更可能であるとともに回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整可能である微少粉塵・ヒューム捕集装置は、回収ダクトの各空気流入開口において上下方向へスライドするシャッターによって空気流入開口の開口面積を変更することで、回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整することができるから、汚染空気回収機構によって回収される汚染空気の風速をプレフィルタや活性炭フィルタ、ＨＥＰＡフィルタの捕集性能にあわせて調節することができ、プレフィルタや活性炭フィルタ、ＨＥＰＡフィルタに微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃（粒子）、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を確実に捕集させることができる。

作業スペースに露出する処理面域にレーザー光を照射して処理面域の表面を除染するレーザー照射装置を含み、作業スペースに露出する処理面域にレーザー照射装置からレーザー光を照射し、レーザー光の照射によって処理面域の表面から発生した汚染空気に含まれる微細な塵埃およびガスを捕集する微少粉塵・ヒューム捕集装置は、処理面域（各種材料や金属製品、塗装箇所、樹脂成型物等の処理面域）の表面にレーザー照射装置からレーザー光を照射し、処理面域の表面を削り取る際にナノメートルサイズの塵埃（粒子）、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質が発生したとしても、汚染空気に含まれる所定の大きさの塵埃をプレフィルタで捕集し、汚染空気に含まれるナノメートルサイズの塵埃（粒子）や超微細な粉塵、ガス状の汚染物質をプレフィルタの下流側に設置された活性炭フィルタで捕集するとともに、活性炭フィルタを通過した汚染空気に含まれる微細な塵埃や微粉炭を活性炭フィルタの下流側に設置されたＨＥＰＡフィルタで捕集することができ、微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を確実に捕集することができ、汚染空気に含まれる微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を除去した清浄空気を作ることができる。微少粉塵・ヒューム捕集装置は、レーザー照射装置を利用してレーザー除染を行う場合、レーザー除染によって発生した放射性物質を含む所定の大きさの塵埃がプレフィルタに捕集され、レーザー除染によって発生した放射性物質を含むナノメートルサイズの塵埃（粒子）や超微細な粉塵、ガス状の汚染物質が活性炭フィルタに捕集されるとともに、放射性物質を含む微細な塵埃や微粉炭がＨＥＰＡフィルタに捕集されるから、放射性物質を含む微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を除去した清浄空気を作ることができるのみならず、レーザー除染において処理面域を確実に除染することができる。微少粉塵・ヒューム捕集装置は、レーザー除染において放射性物質の汚染拡大を防ぐことができ、レーザー除染における内部被ばくを防ぐことができる。微少粉塵・ヒューム捕集装置は、回収ダクトの内周壁に囲繞された作業スペースに露出する処理面域（各種材料や金属製品、塗装箇所、樹脂成型物等の処理面域）の表面にレーザー照射装置からレーザー光を照射し、処理面域の表面を削り取る際にナノメートルサイズの塵埃（粒子）、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質が発生したとしても、微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃（粒子）、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質が回収ダクトにブロックされて四方に飛散することはなく、プレフィルタや活性炭フィルタ、ＨＥＰＡフィルタに微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃（粒子）、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を確実に捕集させることができる。

本発明に係る汚染空気回収機構によれば、微少粉塵・ヒューム捕集装置の汚染空気の流入口に連結される回収ホースと、回収ホースの先端部に連結された回収ダクトとから形成され、回収ダクトが、中空の空気流路と、空気流路につながる空気流入開口が作られた内周壁と、内周壁に囲繞されて処理面域が露出する所定面積の作業スペースとを有するから、回収ダクトの内周壁に囲繞された作業スペースに露出する処理面域（各種材料や金属製品、塗装箇所、樹脂成型物等の処理面域）から微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃（粒子）、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質が発生したとしても、微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質が回収ダクトにブロックされて四方に飛散することはなく、作業スペース内において微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を確実に回収することができる。汚染空気回収機構は、作業スペースに露出する処理面域に発生した微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を飛散させることなく微少粉塵・ヒューム捕集装置に流入させることができ、微少粉塵・ヒューム捕集装置を利用して微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を除去した清浄空気を作ることができる。

回収ダクトが、トーラス形に成形され、内周壁につながる円環状の頂壁と、内周壁につながる円環状の底壁と、頂底壁につながる円環状の外周壁と、外周壁に開口して回収ホースを連結する空気流出口とを有し、回収ダクトの頂壁の面積を変更することで、作業スペースの面積を変更可能であり、回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整可能である汚染空気回収機構は、トーラス形（ドーナツ型）に成形された回収ダクトの内外周壁と頂底壁とによって作業スペースが囲繞されるから、回収ダクトの内周壁に囲繞された作業スペースに露出する処理面域（各種材料や金属製品、塗装箇所、樹脂成型物等の処理面域）から微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃（粒子）、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質が発生したとしても、微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質が回収ダクトにブロックされて四方に飛散することはなく、作業スペース内において微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を確実に回収することができる。汚染空気回収機構は、回収ダクトの頂壁の面積を変更することで、回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整することができるから、汚染空気回収機構によって回収される汚染空気の風速を微少粉塵・ヒューム捕集装置（プレフィルタや活性炭フィルタ、ＨＥＰＡフィルタ）の捕集性能にあわせて調節することができ、微少粉塵・ヒューム捕集装置に微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃（粒子）、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を確実に捕集させることができる。

回収ダクトが内周壁に作られた空気流入開口を開閉可能なシャッターを含み、回収ダクトのシャッターによって空気流入開口の開口面積を変更可能であるとともに回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整可能である汚染空気回収機構は、シャッターによって空気流入開口の開口面積を変更することで、回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整することができるから、汚染空気回収機構によって回収される汚染空気の風速を微少粉塵・ヒューム捕集装置（プレフィルタや活性炭フィルタ、ＨＥＰＡフィルタ）の捕集性能にあわせて調節することができ、微少粉塵・ヒューム捕集装置に微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃（粒子）、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を確実に捕集させることができる。

空気流入開口が内周壁の周り方向へ所定寸法離間して作られ、回収ダクトのシャッターが各空気流入開口に上下方向へスライド可能に設置され、シャッターが各空気流入開口において上下方向へスライドすることで、各空気流入開口の開口面積を変更可能であるとともに回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整可能である汚染空気回収機構は、回収ダクトの各空気流入開口において上下方向へスライドするシャッターによって空気流入開口の開口面積を変更することで、回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整することができるから、汚染空気回収機構によって回収される汚染空気の風速を微少粉塵・ヒューム捕集装置（プレフィルタや活性炭フィルタ、ＨＥＰＡフィルタ）の捕集性能にあわせて調節することができ、微少粉塵・ヒューム捕集装置に微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃（粒子）、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を確実に捕集させることができる。

作業スペースに露出する処理面域にレーザー光を照射して処理面域の表面を除染するレーザー照射装置を含み、レーザー照射装置から作業スペースに露出する処理面域にレーザー光を照射し、レーザー光の照射によって処理面域の表面から発生した汚染空気に含まれる微細な塵埃およびガスを捕集する汚染空気回収機構は、処理面域（各種材料や金属製品、塗装箇所、樹脂成型物等の処理面域）の表面にレーザー照射装置からレーザー光を照射し、処理面域の表面を削り取る際にナノメートルサイズの塵埃（粒子）、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質が発生したとしても、微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質が回収ダクトにブロックされて四方に飛散することはなく、作業スペース内において微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を確実に回収することができる。汚染空気回収機構は、作業スペースに露出する処理面域に発生した微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を飛散させることなく微少粉塵・ヒューム捕集装置に流入させることができ、微少粉塵・ヒューム捕集装置を利用して微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を除去した清浄空気を作ることができる。汚染空気回収機構は、レーザー照射装置を利用してレーザー除染を行う場合、レーザー除染によって発生した放射性物質を含む微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質が回収ダクトにブロックされて四方に飛散することはなく、作業スペース内において放射性物質を含む微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を確実に回収することができ、レーザー除染において処理面域を確実に除染することができる。汚染空気回収機構は、レーザー除染において放射性物質の汚染拡大を防ぐことができ、レーザー除染における内部被ばくを防ぐことができる。

一例として示す微少粉塵・ヒューム捕集装置の部分破断斜視図。微少粉塵・ヒューム捕集装置のフィルタ構成の一例を示す斜視図。プレフィルタの一例を示す斜視図。活性炭フィルタおよびＨＥＰＡフィルタの一例を示す部分破断斜視図。一例として示す汚染空気回収機構の斜視図。回収ダクトの上面図。回収ダクトの側面図。図６のＡ－Ａ線矢視断面図。図６のＢ－Ｂ線矢視断面図。図７のＣ－Ｃ線矢視断面図。回収ダクトの空気流入開口の開閉の一例を説明する部分拡大正面図。回収ダクトの空気流入開口の開閉の一例を説明する部分拡大側面図。他の一例として示す回収ダクトの上面図。微少粉塵・ヒューム捕集装置を利用した除染の一例を説明する斜視図。図１４の上面図。回収ダクトにおける汚染空気の回収の一例を示す図。プレフィルタ、活性炭フィルタ、ＨＥＰＡフィルタおける汚染空気の流動を説明する図。

一例として示す微少粉塵・ヒューム捕集装置１０の部分破断斜視図である図１等の添付の図面を参照し、本発明に係る微少粉塵・ヒューム捕集装置および汚染空気回収機構の詳細を説明すると、以下のとおりである。なお、図２は、微少粉塵・ヒューム捕集装置１０のフィルタ構成の一例を示す斜視図であり、図３は、プレフィルタ４１の一例を示す斜視図である。図４は、活性炭フィルタ４２およびＨＥＰＡフィルタ４３の一例を示す部分破断斜視図である。図１では、レーザー照射装置５１の図示を省略し、第１筐体１７および第２筐体１８を二点鎖線で示す。図１では、上下方向を矢印Ａ、横方向を矢印Ｂで示し、前後方向を矢印Ｃで示す。

微少粉塵・ヒューム捕集装置１０（レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置）および汚染空気回収機構１６は、レーザー光を利用し、放射性物質によって汚染された地域の除染に使用される。なお、本発明に係る微少粉塵・ヒューム捕集装置は、レーザー光を利用したレーザー除染に利用される他、レーザー光を利用したレーザー切断やレーザーマーキング、レーザー光を利用した塗装剥がし、レーザー光を利用した錆落としに利用される。また、電動工具による切断および粉砕、ガス溶断機やプラズマ切断等の熱溶断等に利用される。微少粉塵・ヒューム捕集装置は、レーザー光を利用したレーザー切断、レーザーマーキング、レーザー光を利用した塗装剥がし、レーザー光を利用した錆落としの際に発生する塵埃や微粉炭、ガス状の汚染物質を捕集し、電動工具による切断および粉砕、熱溶断の際に発生する塵埃や微粉炭、ガス状の汚染物質を捕集する。微少粉塵・ヒューム捕集装置１０は、装置筐体１１、サイクロンセパレータ１２、プリコート剤１３、捕集機構１４、送風ファン１５、汚染空気回収機構１６（図５参照）を備えている。装置筐体１４は、第１筐体１７および第２筐体１８から形成されている。なお、筐体が１つであってもよい。装置筐体１１では、第１筐体１７と第２筐体１８とが分離可能かつ連結可能である。

第１筐体１７は、上下方向へ長い正面壁１９および背面壁２０と、横方向へ延びる頂面壁２１および底面壁２２と、それら壁１９～２２の間に位置して上下方向へ延びる両側面壁２３とを有する六面体であり、それら壁１９～２３に囲繞された第１内部スペース２４を有する。第１筐体１７には、正面壁１９の上方に空気流入口２５（流入口）が形成され、背面壁２０の下方に空気流出口（図示せず）が形成されている。

第１筐体１７の下方には、横方向へ長い第１バケット２６が収納されている。第１バケット２６は、第１筐体１７に対して横方向へ引き出し可能である。第１バケット２６には、サイクロンセパレータ１２によって捕集された塵埃（粒子）が収容される。第１筐体１７の底壁２２には、第１筐体１７を移動させるためのキャスター２７が取り付けられている。第１筐体１７の第１内部スペース２４には、空気流入口２５と空気流出口との間に延びていて空気（汚染空気）が通流する第１通流経路２８（空気流路）が形成されている。

第２筐体１８は、上下方向へ延びる正面壁２９および背面壁３０と、横方向へ延びる頂面壁３１および底面壁３２と、それら壁２９～３２の間に位置して上下方向へ延びる両側面壁３３とを有する六面体であり、それら壁２９～３３に囲繞された第２内部スペース３４を有する。第２筐体１８の第２内部スペース３４には、横方向へ延びる仕切壁３５が取り付けられている。第２筐体１８には、第１筐体１７の空気流出口に対向する空気流入口（図示せず）が正面壁２９の下方に形成され、空気給気口３６（給気口）が頂面壁３１の中央に形成されている。仕切壁３５には、横方向と前後方向とへ並ぶ開口３７（貫通孔）が穿孔されている。

第２筐体１８の下方には、横方向へ長い第２バケット３８が収納されている。第２バケット３８は、第２筐体１８に対して横方向へ引き出し可能である。第２バケット３８には、後記するプリコート濾過層４０やプレフィルタ４１によって捕集された塵埃（粒子）が収容される。第２筐体１８の第２内部スペース３４には、空気流入口と空気給気口３６との間に延びていて空気（汚染空気および清浄空気）が通流する第２通流経路３９（空気流路）が形成されている。

装置筐体１１では、第１筐体１７と第２筐体１８とが連結されたときに、第１筐体１７の背面壁２０に穿孔された空気流出口と第２筐体１８の正面壁２９に穿孔された空気流入口とが気密に連結され、第１通流経路２８と第２通流経路３９とが一連につながり、第１筐体１７の上方から下方へ延びるとともに第２筐体１８の下方から上方へ延びる通流経路（空気流路）が画成される。

サイクロンセパレータ１２は、上下方向へ起立した状態で第１筐体１７の第１内部スペース２４（プレフィルタ４１の上流側の通流経路）に設置され、第１通流経路２８を画成する。サイクロンセパレータ１２の空気流入口は、第１筐体１７の正面壁１９に穿孔された給気流入口２５に気密につながっている。サイクロンセパレータ１２の空気流出口は、第１筐体１７の背面壁２０に穿孔された空気流出口に気密につながっている。サイクロンセパレータ１２は、その遠心力で空気（汚染空気）に含まれる塵埃を空気から分離し、分離した塵埃をその周壁に集める。塵埃は、サイクロンセパレータ１２の周壁近傍で回転しつつ下方へ沈殿し、リジェクト部から排出され、第１バケット２６に収容される。

プリコート剤１３は、第２筐体１８に設置された第２バケット３８（サイクロンセパレータ１２の下流側であってプレフィルタ４１の上流側の通流経路）に収容されている。プリコート剤１３は、レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置１０の稼働中に空気の流動によって第２バケット３８から上方へ向かって第２通流経路３９（第２内部スペース３４）に飛散し、後記するプレフィルタ４１の外周面（底壁部４４の外面および周壁部４５の外面）に付着してプレフィルタ４１の外周面にプリコート濾過層４０を形成する。プリコート濾過層４０は、汚染空気に含まれる放射性物質に汚染された所定の大きさの塵埃をプレフィルタ４１の前に汚染空気から捕集し、放射性物質に汚染された塵埃を汚染空気から除去する。なお、レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置１０では、プリコート剤１３を省くこともできる。

捕集機構１４は、第２筐体１８の第２内部スペース３４に配置され、第２通流経路３９に設置されている。捕集機構１４は、プレフィルタ４１と、活性炭フィルタ４２と、ＨＥＰＡフィルタ４３とから形成されている。捕集機構１４では、第２通流経路３９の上流側（空気流入口の側）から下流側（空気流出口の側）に向かってプレフィルタ４１→活性炭フィルタ４２→ＨＥＰＡフィルタ４３の順で並んでいる。

プレフィルタ４１（粗塵フィルタ、中性能フィルタ）は、第２筐体１８の第２通流経路３９の上流側に配置され、３つのそれが第２筐体１８の第２内部スペース３４に前後方向へ等間隔離間して並んだ状態で設置されている。プレフィルタ４１は、ポリエステル繊維やレーヨン繊維、モダアクリル繊維から作られた所定厚み（１０～２０ｍｍ）の合成繊維不織布であり、空気（汚染空気）に含まれる粗大な塵埃（粒子）を捕集する。それらプレフィルタ４１は、上下方向へ長い袋状に成形され、第２筐体１８の頂面壁３１の側から底面壁３２の側に向かって垂下した状態で第２筐体１８の仕切壁３５に取り付けられている。

それらプレフィルタ４１は、所定厚みの底壁部４４と、底壁部４４の周縁から上方へ延びる所定厚みの周壁部４５と、底壁部４４および周壁部４５に囲繞されて上下方向へ延びる内部空間４６と、活性炭フィルタ４２に向かって（第２筐体１８の頂面壁３１に向かって）開口する上方開口４７とを有する。内部空間４６は、プレフィルタ４１（底壁部４４および周壁部４５）を通流した空気が通る第２通流経路３９を画成している。

それらプレフィルタ４１は、上方開口４７を囲繞する周壁部４５の上方周縁が仕切壁３５に穿孔された開口３７の周縁部に着脱可能かつ気密に取り付けられている。それらプレフィルタ４１は、汚染空気に含まれる放射性物質に汚染された所定の大きさの塵埃を汚染空気から捕集し、放射性物質に汚染された所定の大きさの塵埃を汚染空気から除去する。プリコート濾過層４０やそれらプレフィルタ４１に捕集された塵埃は、それらプレフィルタ４１から落下して第２バケット３８に収容される。

活性炭フィルタ４２は、プレフィルタ４１（仕切板３５）の上方開口４７の直上に位置し、プレフィルタ４１の下流側であってＨＥＰＡフィルタ４３の上流側における第２筐体１８の第２通流経路３９に設置されている。活性炭フィルタ４２は、図４に示すように、所定厚み（１０～３０ｍｍ）および所定面積を有する四角形に成型されている。活性炭フィルタ４２はフィルタ取付用アルミフレーム４８に着脱可能に取り付けられ、フィルタ取付用アルミフレーム４８が第２筐体１８の仕切板３５の直上の第２内部スペース３４に着脱可能に取り付けられることで、活性炭フィルタ４２が第２筐体１８の仕切板３５の直上の第２内部スペース３４に着脱可能に設置される。

活性炭フィルタ４２は、汚染空気に含まれる放射性物質に汚染されたナノメートルサイズの塵埃（粒子）や放射性物質に汚染されたガスを汚染空気から吸着捕集し、放射性物質に汚染されたナノメートルサイズの塵埃（粒子）や放射性物質に汚染されたガス状の汚染物質を汚染空気から除去する。図４では、1つの活性炭フィルタ４２が第２筐体１８の第２内部スペース３４に設置されているが、上下方向へ重なり合う２つ以上の活性炭フィルタ４２が第２筐体１８の第２内部スペース３４に設置されていてもよい。

活性炭フィルタ４２には、高賦活の活性炭粒子を不織布に挟み込んだ活性炭シートをプリーツ形状に成形した所定面積および所定厚みのプリーツ形状活性炭フィルタ４２、活性炭原料を漉き込んだ有機繊維シートをコルゲートハニカム状に成形した所定面積および所定厚みのコルゲートハニカム状活性炭フィルタ４２、活性炭を有機バインダーに混練して押出成形で格子状のハニカム構造に成形した所定面積および所定厚みのハニカムカーボン活性炭フィルタ４２を使用することができる。なお、活性炭フィルタ４２には、比表面積が大きく圧力損失を抑えることができるプリーツ形状活性炭フィルタ４２を使用することが好ましい。

ＨＥＰＡフィルタ４３は、活性炭フィルタ４２の直上に位置し、活性炭フィルタ４２の下流側における第２筐体１８の第２通流経路３４に設置されている。ＨＥＰＡフィルタ４３はフィルタ取付用アルミフレーム４８に着脱可能に取り付けられ、フィルタ取付用アルミフレーム４７が活性炭フィルタ４２の直上の第２内部スペース３４に着脱可能に取り付けられることで、ＨＥＰＡフィルタ４３が活性炭フィルタ４２の直上の第２内部スペース３４に着脱可能に設置される。

ＨＥＰＡフィルタ４３は、汚染空気に含まれる放射性物質に汚染されたナノメートルサイズの塵埃（粒子）を汚染空気から捕集し、放射性物質に汚染されたナノメートルサイズの塵埃（粒子）を汚染空気から除去する。図４では、1つのＨＥＰＡフィルタ４３が第２筐体１８の第２内部スペース３４に設置されているが、上下方向へ重なり合う２つ以上のＨＥＰＡフィルタ４３が第２内部スペース３４に設置されていてもよい。

ＨＥＰＡフィルタ４３は、その濾材としてガラス繊維（グラスファイバー）が使用されている。ＨＥＰＡフィルタ４３には、四角形のプリーツ形状に成形された所定厚み（１０～３０ｍｍ）および所定面積のプリーツ形状ＨＥＰＡフィルタ４３が使用されている。送風ファン１５は、ＨＥＰＡフィルタ４３と第２筐体１８の空気給気口３６との間の第２内部スペース３４に設置されている。送風ファン１５は、空気（汚染空気）を第１筐体１７の空気流入口２５から第１通流経路２８に強制的に流入させ、空気（汚染空気）を第２筐体１８の空気流入口から第２通流経路３９に強制的に流入させるとともに第２筐体１８の空気給気口３６から外気に強制的に給気する。

図５は、一例として示す汚染空気回収機構１６の斜視図であり、図６は、回収ダクト５０の上面図である。図７は、回収ダクト５０の側面図であり、図８は、図６のＡ－Ａ線矢視断面図である。図９は、図６のＢ－Ｂ線矢視断面図であり、図１０は、図７のＣ－Ｃ線矢視断面図である。図５では、回収ホース４９を部分的に示し、図６～図８，図１０では、回収ホース４９、シャッター６４、シャッター収容部６５の図示を省略している。

汚染空気回収機構１６（汚染空気回収ユニット）は、回収ホース４９、回収ダクト５０、レーザー照射装置５１（図１４，１５参照）から形成されている。なお、本発明に係る汚染空気回収機構１６（汚染空気回収ユニット）は、レーザー光を利用したレーザー除染に利用される他、レーザー光を利用したレーザー切断やレーザーマーキング、レーザー光を利用した塗装剥がし、レーザー光を利用した錆落としに利用される。また、電動工具による切断および粉砕、ガス溶断機やプラズマ切断等の熱溶断等に利用される。汚染空気回収機構１６は、レーザー光を利用したレーザー切断、レーザーマーキング、レーザー光を利用した塗装剥がし、レーザー光を利用した錆落としの際に発生する塵埃や微粉炭、ガス状の汚染物質を回収し、電動工具による切断および粉砕、熱溶断の際に発生する塵埃や微粉炭、ガス状の汚染物質を回収する。回収ホース４９は、一方向へ長い長尺ホースであり、可撓性を有する。回収ホース４９には、ゴムホース、樹脂ホース、シリコンホース等を使用することができる。回収ホース４９は、第１筐体１７の給気流入口２５に着脱可能に連結される第１連結端部５２（後端部）と、後記する回収ダクト５０の空気流出筒部６０（空気流出口）に着脱可能に連結される第２連結端部５３（先端部）と、それら端部５２，５３の間に延びる中間部５４とを有する。

回収ダクト５０は、トーラス形（ドーナツ型）に成形され、トーラス形（ドーナツ型）に延びる中空の空気流路５５を有する。回収ダクト５０は、円環状（ドーナツ型）の内周壁５６と、内周壁５６につながる円環状（ドーナツ型）の頂壁５７と、内周壁５６につながって頂壁５７と並行して延びる円環状（ドーナツ型）の底壁５８と、頂底壁５７，５８につながって内周壁５６と並行して延びる円環状（ドーナツ型）の外周壁５９と、外周壁５９に開口する空気流出筒部６０（空気流出口）とを有する。内外周壁５６，５９や頂底壁５７，５８、空気流出筒部６０は、金属または合成樹脂から作られている。空気流出筒部６０は、外周壁５９から径方向外方へ延びている。空気流出筒部６０には、回収ホース４９の第２連結端部５３が着脱可能に連結される。

内周壁５６には、中空の空気流路５５につながる複数の空気流入開口６１が作られている。それら空気流入開口６１は、内周壁５６の上半分に開口し、内周壁５６の周り方向へ延びている。それら空気流入開口６１は、内周壁５６の周り方向へ等間隔離間（所定寸法離間）して並んでいる。頂壁５７は、その内周縁が内周壁５６の上端縁に気密に固定されている。底壁５８は、その内周縁が内周壁５６の下端縁に気密に固定されている。外周壁５９は、その上端縁が頂壁５７の外周縁に気密に固定され、その下端縁が底壁５８の外周縁に気密に固定されている。

回収ダクト５０には、内周壁５６に囲繞された所定面積の円形の作業スペース６２（レーザー照射スペース）が画成されている。作業スペース６２には、レーザー光の照射対象（除染対象）となる円形の処理面域６３（各種材料や金属製品、塗装箇所、樹脂成型物等の処理面域（被除染箇所））が露出する。なお、回収ダクト５０（内周壁５６）の直径を変更することで、作業スペース６２（レーザー照射スペース）の面積を変更可能であり、作業スペース６２に露出する処理面域６３の露出面積を変更可能である。また、回収ダクト５０が所定面積の作業スペース６２を有する四角形や楕円形に成形されていてもよい。レーザー照射装置５１は、回収ダクト５０の内周壁５６に囲繞された作業スペース６２に露出する処理面域６３にレーザー光を照射し、処理面域６３の表面をレーザー光によって削り取り、処理面域６３の表面を削り取って処理面域６３を除染する。

図１１は、回収ダクト５０の空気流入開口６１の開閉の一例を説明する部分拡大正面図であり、図１２は、回収ダクト５０の空気流入開口６１の開閉の一例を説明する部分拡大側面図である。回収ダクト５０の内周壁５６には、各空気流入開口６１を開閉するシャッター６４と、それらシャッター６４を収容するシャッター収容部６５とが設置されている。

それらシャッター６４は、金属または合成樹脂から作られた板材であり、内周壁５６の内側であって各空気流入開口６１に位置して周り方向へ延びている。それらシャッター６４の両側部６６には、固定ネジ６７を挿入する挿入開口６８が穿孔されている。挿入開口６８は、シャッター６４の両側部６６において上下方向へ延びている。

それらシャッター収容部６５は、金属または合成樹脂から作られ、内周壁５６の内側に取り付けられている。それらシャッター収容部６５は、各空気流入開口６１の下方に位置して周り方向へ延びている。それらシャッター収容部６５は、空気流入開口６１の下方の内周壁５６に固定されて内周壁５６から径方向内方へ延びる固定部分６９と、固定部分６９の先端から上方へ延びる延出部分７０とを有する。

延出部分７０は、回収ダクト５０の内周壁５６と並行して周り方向へ延びている。回収ダクト５０の内周壁５６とシャッター収容部６５の延出部分７０との間には、シャッター６４が進入するシャッター収容空間７１が画成されている。延出部分７０の両側には、固定ネジ６７を挿入する挿入孔７２が穿孔され、内周壁５６には固定ネジ６７を螺着する螺着孔が形成されている。

それらシャッター６４は、シャッター収容空間７１において上下方向へスライドする。シャッター６４の全てがシャッター収容部６５のシャッター収容空間７１に収容された場合、空気流入開口６１が全開となり、シャッター６４の下部（挿入開口６８の下部）がシャッター収容部６５のシャッター収容空間７１の上部に位置した場合、空気流入開口６１が全閉となるように、シャッター６４の上下方向の寸法とシャッター収容部６５（延出部分７０）のシャッター収容空間７１の上下方向の寸法とが調節されている。

それらシャッター６４をシャッター収容部６５（シャッター収容空間７１）において上下方向へスライドさせつつ、シャッター６４をシャッター収容部６５（シャッター収容空間７１）の所定の位置で停止させ、シャッター６４の挿入開口６８と延出部分７０の挿入孔７２とに挿入された固定ネジ６７を内周壁５６に螺着することで、シャッター６４をシャッター収容空間７１（空気流入開口６１）の所定の位置で固定することができる。

それらシャッター６４は、各空気流入開口６１において上下方向へスライドすることで、それら空気流入開口６１を開閉可能であり、全開と全閉との間でそれら空気流入開口６１の開口面積を変更可能（調節可能）である。回収ダクト５０では、それらシャッター６４によって各空気流入開口６１の開口面積を変更することで、回収ダクト５０の空気流入開口６１から空気流路５５に流入する汚染空気の風速（風量）を調整可能である。シャッター６４によって空気流入開口６１の開口面積を小さくすることで、空気流入開口６１から空気流路５５に流入する汚染空気の風速（風量）が小さくなり、シャッター６４によって空気流入開口６１の開口面積を大きく開放することで、空気流入開口６１から空気流路５５に流入する汚染空気の風速（風量）が大きくなる。

汚染空気回収機構１６を備えた微少粉塵・ヒューム捕集装置１０（レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置）は、各空気流入開口６１において上下方向へスライドするそれらシャッター６４によって空気流入開口６１の開口面積を変更することで、回収ダクト５０の空気流路５５に流入する汚染空気の風速（風量）を調整することができるから、汚染空気回収機構１６によって回収される汚染空気の風速（風量）をプレフィルタ４１や活性炭フィルタ４２、ＨＥＰＡフィルタ４３（微少粉塵・ヒューム捕集装置１０）の捕集性能にあわせて調節することができ、プレフィルタ４１や活性炭フィルタ４２、ＨＥＰＡフィルタ４３（微少粉塵・ヒューム捕集装置１０）の捕集性能を最大限に利用することができる。

図１３は、他の一例として示す回収ダクト５０の上面図である。この回収ダクト５０は、その頂壁５７の面積が図４に示す回収ダクト５０のそれよりも大きく、回収ダクト５０の内周壁５６に囲繞された作業スペース６２（レーザー照射スペース）の面積が図５の回収ダクト５０のそれよりも小さい。汚染空気回収機構１６では、回収ダクト５０の頂壁５７の面積を変更することで、作業スペース６２の面積を変更可能であるとともに作業スペース６２に露出する処理面域６３の露出面積を変更可能であり、回収ダクト５０の空気流入開口６１から空気流路５５に流入する汚染空気の風速（風量）を調整可能である。

回収ダクト５０の頂壁５７の面積を大きくすることで、作業スペース６２の面積（処理面域６３の露出面積）が小さくなり、空気流入開口６１から空気流路５５に流入する汚染空気の風速（風量）が小さくなる。回収ダクト５０の頂壁５７の面積を小さくすることで、作業スペース６２の面積（処理面域６３の露出面積）が大きくなり、空気流入開口６１から空気流路５５に流入する汚染空気の風速（風量）が大きくなる。

汚染空気回収機構１６を備えたレーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置１０（微少粉塵・ヒューム捕集装置）は、回収ダクト５０の頂壁５７の面積を変更することで、回収ダクト５０の空気流路５５に流入する汚染空気の風速（風量）を調整することができるから、汚染空気回収機構１６によって回収される汚染空気の風速（風量）をプレフィルタ４１や活性炭フィルタ４２、ＨＥＰＡフィルタ４３（レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置１０）の捕集性能にあわせて調節することができ、プレフィルタ４１や活性炭フィルタ４２、ＨＥＰＡフィルタ４３（レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置１０）の捕集性能を最大限に利用することができる。

図１４は、レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置１０を利用した除染の一例を説明する斜視図であり、図１５は、図１４の上面図である。図１６は、回収ダクト５０における汚染空気の回収の一例を示す図であり、図１７は、プレフィルタ４１や活性炭フィルタ４２、ＨＥＰＡフィルタ４３おける汚染空気の流動を説明する図である。図１４～図１７に基づいて処理面域６３の除染の手順の一例を説明すると、以下のとおりである。

なお、レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置１０では、シャッター６４によって空気流入開口６１の開口面積が調節されているとともに回収ダクト５０の頂壁５７の面積が調節され、プレフィルタ４１や活性炭フィルタ４２、ＨＥＰＡフィルタ４３（レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置１０）の捕集性能にあわせて汚染空気回収機構１６によって回収される汚染空気の風速（風量）が調節されており、プレフィルタ４１や活性炭フィルタ４２、ＨＥＰＡフィルタ４３（レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置１０）の捕集性能を最大限利用することができるようになっている。

回収ホース４９の第１連結端部５２（後端部）を第１筐体１７の給気流入口２５に連結し、回収ホース４９の第２連結端部５３（先端部）を回収ダクト５０の空気流出筒部６０（空気流出口）に連結し、汚染空気回収機構１６を第１筐体１７（図１参照）に連結する。次に、回収ダクト５０を処理面域６３（各種材料や金属製品、塗装箇所、樹脂成型物等の処理面域６３）に載置する。回収ダクト５０を処理面域６３に載置すると、回収ダクト５０（内周壁５６）に囲繞された作業スペース６２（レーザー照射スペース）に除染対象の円形の処理面域６３が露出する。

レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置１０のスイッチをＯＮにして送風ファン１５を起動する。送風ファン１５が起動すると、送風ファン１５によって空気が回収ダクト５０の内周壁５６の空気流入開口６１から空気流路５５に流入し、空気が回収ダクト５０から回収ホース４９を通って第１筐体１７の空気流入口２５から第１通流経路２８に流入するとともに、第２筐体１８の第２通流経路３９に流入し、空気が第２通流経路３９を通って第２筐体１７の空気給気口３６から外気に給気される。

空気が第２筐体１８の第２通流経路３９（第２内部スペース３４）に流入すると、プリコート剤１３が第２バケット３８から上方へ向かって第２通流経路３９（第２内部スペース３４）に飛散し（舞い上がり）、プリコート剤１３がプレフィルタ４１の外周面（底壁部４４の外面および周壁部４５の外面）に付着してプレフィルタ４１の外周面にプリコート濾過層４０が形成される。

回収ダクト５０を処理面域６３に載置した後、レーザー照射装置５１のスイッチをＯＮにし、レーザー照射装置５１の先端を作業スペース６２（レーザー照射スペース）に向け、図１４，１５に示すように、レーザー照射レバーをＯＮにしてレーザー照射装置５１から処理面域６３（作業スペース６２）にレーザー光を照射する。処理面域６３にレーザー光を照射すると、レーザー光によって処理面域６３の表面が削り取られる。処理面域６３（作業スペース６２）では、レーザー光によって処理面域６３の表面が削り取られることによって、放射性物質に汚染された処理面域６３の汚染表面が除去され、処理面域６３が除染される。

レーザー光によって処理面域６３の汚染表面を削り取ると、放射性物質に汚染された所定の大きさの塵埃が発生するとともに、溶融した汚染物が蒸気となった後に冷えて微細なナノメートルサイズの塵埃（粒子）に変わり、放射性物質に汚染されたナノメートルサイズの塵埃を含んだ多数の塵埃が発生する。さらに、放射性物質に汚染されたガスが発生する。

放射性物質に汚染されたナノメートルサイズの塵埃（粒子）を含む塵埃や放射性物質に汚染されたガス状の汚染物質が処理面域６３（作業スペース６２）において飛散するが、回収ダクト５０の内周壁５６に形成された空気流入開口６１から回収ダクト５０の空気流路５５に空気が吸引されており、図１６に矢印Ｌ１で示すように、処理面域６３（作業スペース６２）において飛散した塵埃やガス状の汚染物質が内周壁５６の空気流入開口６１から回収ダクト５０の空気流路５５に吸引され、塵埃やガス状の汚染物質の全てが空気流入開口６１から空気流路５５に流入する。

汚染空気回収機構１６を備えた微少粉塵・ヒューム捕集装置１０（レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置）は、トーラス形（ドーナツ型）に成形された回収ダクト５０の内外周壁５６，５９と頂底壁５６，５７とによって処理面域６３が囲繞されるから、作業スペース６２（レーザー照射スペース）に露出する処理面域６３（各種材料や金属製品、塗装箇所、樹脂成型物等の処理面域６３）にレーザー光を照射し、処理面域６３の表面を削り取る際に、ナノメートルサイズの塵埃（粒子）や超微細な粉塵、ガス状の汚染物質が発生したとしても、ナノメートルサイズの塵埃（粒子）および超微細な粉塵を含む塵埃やガス状の汚染物質がトーラス形の回収ダクト５０にブロックされて四方に飛散することはなく、それら塵埃やガス状の汚染物質の全てを回収ダクト５０の空気流入開口６１から空気流路５５に流入させることができ、汚染空気回収機構１６によってそれら塵埃やガス状の汚染物質の全てを回収することができる。

放射性物質に汚染された所定の大きさの塵埃や放射性物質に汚染されたナノメートルサイズの塵埃（粒子）や超微細な粉塵、放射性物質に汚染されたガス状の汚染物質を含む汚染空気は、回収ダクト５０の空気流路５５を通流して空気流出筒部６０から回収ホース４９に流入し、回収ホース４９を通流して第１筐体１７の空気流入口２５（流入口）から第１筐体１７の第１内部スペース２４に流入するとともに、第１筐体１７の第１内部スペース２４に設置されたサイクロンセパレータ１２（第１通流経路２８）に流入する。

サイクロンセパレータ１２では、その遠心力で汚染空気に混在する塵埃を汚染空気から分離する。サイクロンセパレータ１２によって分離された塵埃は、リジェクト部から排出されて第１バケット２６に収容される。第１バケット２６を第１筐体１７から引き出し、第１バケット２６に収容された塵埃を第１バケット２６から廃棄する。サイクロンセパレータ１２の空気流出口から流出した汚染空気は、第１筐体１７の空気流出口から第２筐体１８の空気流入口に流入し、第２筐体１８の第２内部スペース３４（第２通流経路３９）に流入する。

汚染空気回収機構１６を備えた微少粉塵・ヒューム捕集装置１０（レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置）は、サイクロンセパレータ１２によって汚染空気に混在する塵埃（粒子）を汚染空気から分離することで、サイクロンセパレータ１２によって塵埃（粒子）を事前に捕集することができ、プリコート濾過層４０やプレフィルタ４１、活性炭フィルタ４２、ＨＥＰＡフィルタ４３の目詰まりを防止してそれらフィルタ４１～４３の寿命を延ばすことができる。

第２筐体１８の第２内部スペース３４（第２通流経路３９）に流入した汚染空気は、図１７に矢印Ｌ１で示すように、それらプレフィルタ４１の外周面（底壁部４４の外面および周壁部４５の外面）からプレフィルタ４１の底壁部４４および周壁部４５を通流し、それらプレフィルタ４１の内部空間４６に流入する。

それらプレフィルタ４１の外周面（底壁部４４の外面および周壁部４５の外面）にはプリコート剤１３が付着して所定厚みのプリコート濾過層４０が形成されており、汚染空気がプリコート濾過層４０を通流する過程において汚染空気に含まれる放射性物質に汚染された塵埃がプリコート濾過層４０に捕集され、放射性物質に汚染された塵埃がプリコート濾過層４０によって汚染空気から除去される。さらに、汚染空気がそれらプレフィルタ４１の底壁部４４および周壁部４５を通流する過程において汚染空気に含まれる放射性物質に汚染された所定の大きさの塵埃がそれらプレフィルタ４１に捕集され、放射性物質に汚染された大きいサイズの塵埃がプレフィルタ４１によって汚染空気から除去される。

汚染空気回収機構１６を備えた微少粉塵・ヒューム捕集装置１０（レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置）は、プリコート剤１３によってそれらプレフィルタ４１の外周面（底壁部４４の外面および周壁部４５の外面）にプリコート濾過層４０を形成することで、プリコート濾過層４０によってプレフィルタ４１よりも空隙の小さな空隙を形成し、そのプリコート濾過層４０によって小さな粒径の塵埃を捕集することができ、汚染空気から放射性物質に汚染された小さな粒径の塵埃を除去することができる。

汚染空気回収機構１６を備えた微少粉塵・ヒューム捕集装置１０（レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置）は、プレフィルタ４１や活性炭フィルタ４２、ＨＥＰＡフィルタ４３の目詰まりを防止してそれらフィルタ４１～４３の寿命を延ばすことができ、プリコート濾過層４０を通過した塵埃をプレフィルタ４１に捕集させることができるとともに、プレフィルタ４１を通過した微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を活性炭フィルタ４２やＨＥＰＡフィルタ４３に捕集させることができる。

汚染空気回収機構１６を備えた微少粉塵・ヒューム捕集装置１０（レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置）は、汚染空気が袋状に成形されたそれらプレフィルタ４１の外側からプレフィルタ４１の底壁部４４および周壁部４５を通流することで、汚染空気に含まれる所定の大きさの塵埃がプレフィルタ４１に確実に捕集されるから、汚染空気から放射性物質に汚染された所定の大きさの塵埃を除去することができるとともに、プレフィルタ４１の後流側に設置された活性炭フィルタ４２やＨＥＰＡフィルタ４３が大きいサイズの塵埃によって目詰まりを起こすことはなく、活性炭フィルタ４２やＨＥＰＡフィルタ４３の寿命を延ばすことができ、プレフィルタ４１を通過した微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を活性炭フィルタ４２やＨＥＰＡフィルタ４３に捕集させることができる。

それらプレフィルタ４１の底壁部４４および周壁部４５を通流した汚染空気は、プレフィルタ４１の内部空間４６に流入した後、それらプレフィルタ４１の上方開口４７から流出する。それらプレフィルタ４１の上方開口４７から流出した汚染空気は、プレフィルタ４１の上方（プレフィルタ４１の上流側）に設置された活性炭フィルタ４２に流入し、活性炭フィルタ４２の下面から上面に向かって活性炭フィルタ４２を通流する。

活性炭フィルタ４２では、汚染空気が活性炭フィルタ４２を通流する過程において、汚染空気に含まれる放射性物質に汚染されたナノメートルサイズの塵埃（粒子）や放射性物質に汚染された超微細な粉塵、放射性物質に汚染されたガス状の汚染物質が活性炭の細孔（直径１０～２００Å）に吸着捕集され、放射性物質に汚染されたナノメートルサイズの塵埃（粒子）や放射性物質に汚染された超微細な粉塵、放射性物質に汚染されたガス状の汚染物質が汚染空気から除去される。活性炭フィルタ４２では、放射性物質に汚染された微細な塵埃や微粉炭が捕集されない。放射性物質に汚染された微細な塵埃や微粉炭は、活性炭フィルタ４２を透過する。

活性炭フィルタ４２を通流した汚染空気は、活性炭フィルタ４２の上方（活性炭フィルタ４２の上流側）に設置されたＨＥＰＡフィルタ４３に流入し、ＨＥＰＡフィルタ４３の下面から上面に向かってＨＥＰＡフィルタを通流する。ＨＥＰＡフィルタ４３では、汚染空気がＨＥＰＡプレフィルタ４３を通流する過程において、汚染空気に含まれる放射性物質に汚染された微細な塵埃や微粉炭がＨＥＰＡフィルタ４３に捕集され、放射性物質に汚染された微細な塵埃や微粉炭がＨＥＰＡフィルタ４３によって汚染空気から除去される。汚染空気がプリコート濾過層４０やプレフィルタ４１、活性炭フィルタ４２、ＨＥＰＡフィルタ４３を通流することで、汚染空気に含まれる放射性物質に汚染された塵埃や放射性物質に汚染されたガス状の汚染物質が除去された清浄空気が作られる。

プリコート濾過層４０、プレフィルタ４１、活性炭フィルタ４２、ＨＥＰＡフィルタ４３を通流して作られた清浄空気は、第２筐体１８の空気給気口３６（給気口）からレーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置１０の外部（外気）へ給気される。プリコート濾過層４０やプレフィルタ４１に捕集された塵埃は、第２バケット３８に収容される。第２バケット３８を第２筐体１８から引き出し、第２バケット３８に収容された塵埃を第２バケット３８から廃棄する。

汚染空気回収機構１６を備えた微少粉塵・ヒューム捕集装置１０（レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置）は、捕集機構１４が汚染空気の通流経路（第２通流経路３９）の上流側に設置されたプレフィルタ４１とプレフィルタ４１の下流側に設置された活性炭フィルタ４２と活性炭フィルタ４２の下流側に設置されたＨＥＰＡフィルタ４３とを備え、汚染空気に含まれる放射性物質に汚染された所定の大きさの塵埃をプレフィルタ４１で捕集し、汚染空気に含まれる放射性物質に汚染されたナノメートルサイズの塵埃や超微細な粉塵、ガス状の汚染物質をプレフィルタ４１の下流側に設置された活性炭フィルタ４２で捕集するとともに、活性炭フィルタ４２を通過した汚染空気に含まれる放射性物質に汚染された微細な塵埃や微粉炭を活性炭フィルタ４２の下流側に設置されたＨＥＰＡフィルタ４３で捕集するから、処理面域６３（各種材料や金属製品、塗装箇所、樹脂成型物等の処理面域６３）の表面にレーザー照射装置からレーザー光を照射し、処理面域の表面を削り取る際に放射性物質に汚染された微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質が発生したとしても、微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質をそれらフィルタ４１～４３によって確実に捕集することができ、レーザー除染において処理面域６３を確実に除染することができるとともに、放射性物質に汚染された微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を除去した清浄空気を作ることができる。微少粉塵・ヒューム捕集装置１０（レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置）は、レーザー除染において放射性物質の汚染拡大を防ぐことができ、レーザー除染における内部被ばくを防ぐことができる。

微少粉塵・ヒューム捕集装置１０（レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置）に使用する汚染空気回収機構１６（汚染空気回収ユニット）は、トーラス形（ドーナツ型）に成形された回収ダクト５０の内外周壁５６，５９と頂底壁５７，５８とによって作業スペース６３が囲繞されるから、作業スペース６２（レーザー照射スペース）に露出する処理面域６３（各種材料や金属製品、塗装箇所、樹脂成型物等の処理面域６３）にレーザー光を照射し、処理面域６３の表面を削り取る際に放射性物質に汚染された微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質が発生したとしても、微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質がトーラス形の回収ダクト５０にブロックされて四方に飛散することはなく、作業スペース６２内において微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を確実に回収することができる。汚染空気回収機構１６は、レーザー除染において処理面域６３を確実に除染することができるとともに、レーザー除染において放射性物質の汚染拡大を防ぐことができ、レーザー除染における内部被ばくを防ぐことができる。

微少粉塵・ヒューム捕集装置１０（レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置）に使用する汚染空気回収機構１６は、レーザー除染において発生した微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を飛散させることなく微少粉塵・ヒューム捕集装置１０に流入させることができ、微少粉塵・ヒューム捕集装置１０を利用して放射性物質に汚染された微細な塵埃や微粉炭、ナノメートルサイズの塵埃、超微細な粉塵、ガス状の汚染物質を除去した清浄空気を作ることができる。

１０微少粉塵・ヒューム捕集装置（レーザー除染用微少粉塵・ヒューム捕集装置）
１１装置筐体
１２サイクロンセパレータ
１３プリコート剤
１４捕集機構
１５送風ファン
１６汚染空気回収機構（汚染空気回収機構ユニット）
１７第１筐体
１８第２筐体
１９正面壁
２０背面壁
２１頂面壁
２２底面壁
２３両側面壁
２４第１内部スペース
２５空気流入口
２６第１バケット
２７キャスター
２８第１通流経路（空気流路）
２９正面壁
３０背面壁
３１頂面壁
３２底面壁
３３両側面壁
３４第２内部スペース
３５仕切壁
３６空気給気口（給気口）
３７開口（貫通孔）
３８第２バケット
３９第２通流経路（空気流路）
４０プリコート濾過層
４１プレフィルタ
４２活性炭フィルタ
４３ＨＥＰＡフィルタ
４４底壁部
４５周壁部
４６内部空間
４７上方開口
４８フィルタ取付用アルミフレーム
４９回収ホース
５０回収ダクト
５１レーザー照射装置
５２第１連結端部
５３第２連結端部
５４中間部
５５空気流路
５６内周壁
５７頂壁
５８底壁
５９外周壁
６０空気流出筒部（空気流出口）
６１空気流入開口
６２作業スペース（レーザー照射スペース）
６３処理面域
６４シャッター
６５シャッター収容部
６６両側部
６７固定ネジ
６８挿入開口
６９固定部分
７０延出部分
７１シャッター収容空間
７２挿入孔

Claims

汚染空気が流入する流入口と、前記汚染空気に含まれる粉塵を捕集する捕集機構と、前記捕集機構によって塵埃が除去された清浄空気を給気する給気口とを備えた微少粉塵・ヒューム捕集装置において、
前記微少粉塵・ヒューム捕集装置が、前記流入口に連結されて前記汚染空気を回収する汚染空気回収機構を含み、
前記捕集機構が、前記微少粉塵・ヒューム捕集装置における汚染空気の通流経路の上流側に設置されたプレフィルタと、前記プレフィルタの下流側の通流経路に設置された活性炭フィルタと、前記活性炭フィルタの下流側の通流経路に設置されたＨＥＰＡフィルタとから形成され、
前記汚染空気回収機構が、前記流入口につながる回収ホースと、前記回収ホースの先端部に連結された回収ダクトとから形成され、
前記回収ダクトが、トーラス形に成形され、中空の空気流路と、前記空気流路につながる空気流入開口が作られた内周壁と、前記内周壁に囲繞されて所定の処理面域が露出する所定面積の作業スペースと、前記内周壁につながる円環状の頂壁と、前記内周壁につながる円環状の底壁と、前記頂底壁につながる円環状の外周壁と、前記外周壁に開口して前記回収ホースを連結する空気流出口とを有することを特徴とする微少粉塵・ヒューム捕集装置。
前記プレフィルタが、上下方向へ長い袋状に成形され、上下方向へ延びていて前記汚染空気が通流する内部空間と、前記活性炭フィルタに向かって開口する上方開口とを有し、前記捕集機構では、前記汚染空気が前記プレフィルタの外側から該プレフィルタを通流して内部空間に進入しつつ、前記内部空間を通って前記上方開口から前記活性炭フィルタに向かって流出する請求項１に記載の微少粉塵・ヒューム捕集装置。
前記微少粉塵・ヒューム捕集装置が、前記汚染空気の流動中に前記プレフィルタの外周面に付着して該プレフィルタの外周面にプリコート濾過層を形成するプリコート剤と、前記プレフィルタの上流側の通流経路に設置されたサイクロンセパレータとを含む請求項１または請求項２に記載の微少粉塵・ヒューム捕集装置。
前記回収ダクトでは、前記頂壁の面積を変更することで、前記作業スペースの面積を変更可能であり、前記回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整可能である請求項１ないし請求項３いずれかに記載の微少粉塵・ヒューム捕集装置。
前記回収ダクトが、前記内周壁に作られた空気流入開口を開閉可能なシャッターを含み、前記回収ダクトでは、前記シャッターによって前記空気流入開口の開口面積を変更可能であるとともに該回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整可能である請求項１ないし請求項４いずれかに記載の微少粉塵・ヒューム捕集装置。
前記空気流入開口が、前記内周壁の周り方向へ所定寸法離間して作られ、前記回収ダクトでは、前記シャッターが各空気流入開口に上下方向へスライド可能に設置され、該シャッターが各空気流入開口において上下方向へスライドすることで、前記各空気流入開口の開口面積を変更可能であるとともに前記回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整可能である請求項５に記載の微少粉塵・ヒューム捕集装置。
前記微少粉塵・ヒューム捕集装置が、前記作業スペースに露出する前記処理面域にレーザー光を照射して該処理面域の表面を除染するレーザー照射装置を含み、前記作業スペースに露出する前記処理面域に前記レーザー照射装置からレーザー光を照射し、前記レーザー光の照射によって前記処理面域の表面から発生した汚染空気に含まれる微細な塵埃およびガスを捕集する請求項１ないし請求項６いずれかに記載の微少粉塵・ヒューム捕集装置。
所定の処理面域から発生した汚染空気に含まれる微細な塵埃およびガスを捕集する微少粉塵・ヒューム捕集装置の汚染空気の流入口に連結される汚染空気回収機構において、
前記汚染空気回収機構が、前記微少粉塵・ヒューム捕集装置の汚染空気の流入口に連結される回収ホースと、前記回収ホースの先端部に連結された回収ダクトとから形成され、
前記回収ダクトが、トーラス形に成形され、中空の空気流路と、前記空気流路につながる空気流入開口が作られた内周壁と、前記内周壁に囲繞されて前記処理面域が露出する所定面積の作業スペースと、前記内周壁につながる円環状の頂壁と、前記内周壁につながる円環状の底壁と、前記頂底壁につながる円環状の外周壁と、前記外周壁に開口して前記回収ホースを連結する空気流出口とを有することを特徴とする汚染空気回収機構。
前記汚染空気回収機構では、前記回収ダクトの頂壁の面積を変更することで、前記作業スペースの面積を変更可能であり、前記回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整可能である請求項８に記載の汚染空気回収機構。
前記回収ダクトが、前記内周壁に作られた空気流入開口を開閉可能なシャッターを含み、前記汚染空気回収機構では、前記回収ダクトのシャッターによって前記空気流入開口の開口面積を変更可能であるとともに該回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整可能である請求項８または請求項９に記載の汚染空気回収機構。
前記空気流入開口が、前記内周壁の周り方向へ所定寸法離間して作られ、前記汚染空気回収機構では、前記回収ダクトのシャッターが各空気流入開口に上下方向へスライド可能に設置され、該シャッターが各空気流入開口において上下方向へスライドすることで、前記各空気流入開口の開口面積を変更可能であるとともに前記回収ダクトの空気流路に流入する汚染空気の風速を調整可能である請求項１０に記載の汚染空気回収機構。
前記汚染空気回収機構が、前記作業スペースに露出する前記処理面域にレーザー光を照射して該処理面域の表面を除染するレーザー照射装置を含み、前記レーザー照射装置から前記作業スペースに露出する前記処理面域にレーザー光を照射し、前記レーザー光の照射によって処理面域の表面から発生した汚染空気に含まれる微細な塵埃およびガスを捕集する請求項８ないし請求項１１いずれかに記載の汚染空気回収機構。