JP7333292B2 - イオン検出器 - Google Patents
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- イオンの入射を受けて二次電子を発生させ、発生した前記二次電子を増倍しつつ出力するためのマイクロチャネルプレートと、
前記マイクロチャネルプレート側に臨む電子入射面において前記マイクロチャネルプレートの有効領域よりも狭い有効領域を有しており、前記マイクロチャネルプレートから出力された前記二次電子の入射を受け、入射した前記二次電子を増倍しつつ検出するための複数の電子衝撃型ダイオードと、
前記マイクロチャネルプレートと前記電子衝撃型ダイオードとの間に配置され、前記電子衝撃型ダイオードに向けて前記二次電子を集束するためのフォーカス電極と、
を備え、
前記複数の電子衝撃型ダイオードのうちの互いに隣り合う少なくとも一対の前記電子衝撃型ダイオードは、互いの前記電子入射面によって前記マイクロチャネルプレート側又は前記マイクロチャネルプレートと反対側に凸となる角部が形成されるように配置される、
イオン検出器。 - 前記フォーカス電極と前記電子衝撃型ダイオードのとの間に配置され、前記電子衝撃型ダイオードの二次電子の入射方向からみて、前記複数の電子衝撃型ダイオードの有効領域よりも広い開口が形成されたカバーを備える、
請求項1に記載のイオン検出器。 - 前記開口は、前記一対の電子衝撃型ダイオードの有効領域が並ぶ方向を長手方向とする長穴である、
請求項2に記載のイオン検出器。 - 前記複数の電子衝撃型ダイオードのそれぞれには、前記電子入射面と反対側において、検出信号を出力するための出力端子が設けられており、
前記一対の電子衝撃型ダイオードの前記出力端子は、前記電子入射面側又は前記電子入射面と反対側に凸となる角部を形成するように配置されている、
請求項1~3のいずれか一項に記載のイオン検出器。 - 前記複数の電子衝撃型ダイオードのそれぞれに駆動電圧を印加する電圧供給部を備え、
前記電圧供給部は、前記複数の電子衝撃型ダイオードのうちの少なくとも2つの前記電子衝撃型ダイオードのそれぞれに対して、互い異なる値の駆動電圧を印加することにより、互いのゲインを異ならせる、
請求項1~4のいずれか一項に記載のイオン検出器。 - 前記電子衝撃型ダイオードは、前記電子衝撃型ダイオードにおける二次電子の入射方向からみて、前記有効領域と、前記有効領域の周囲に位置する非有効領域と、を含み、
前記入射方向からみたとき、前記有効領域は前記非有効領域の中心に対して少なくとも一方向に偏在しており、
前記一対の電子衝撃型ダイオードは、前記有効領域の偏在する側が隣り合うように配置されている、
請求項1~5のいずれか一項に記載のイオン検出器。 - 前記フォーカス電極と前記電子衝撃型ダイオードとの間に配置され、少なくとも1つの前記電子衝撃型ダイオードに入射する前記二次電子の一部を遮蔽するマスクを備える、
請求項1~6のいずれか一項に記載のイオン検出器。 - 前記マスクは、前記電子衝撃型ダイオードの前記電子入射面に形成されている、
請求項7に記載のイオン検出器。 - 前記マスクは、前記電子衝撃型ダイオードの前記電子入射面から離間して配置されている、
請求項7に記載のイオン検出器。
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