JP7331370B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
C>B・tan(90-E1) (数式1)
すなわち、上記数式1が満たされれば、イオンが中間層14に直接到達することを防止することができる。
(C/sin(90-E))-(B/cos(90-E))>D (数式2)
この関係について、以下に説明する。
X1=X-X2 (数式3)
また、距離Xは、下記数式4の関係を満たす。
X=C/sin(90-E) (数式4)
さらに、距離X2は、下記数式5の関係を満たす。
X2=B/cos(90-E) (数式5)
数式3、4、5から、下記数式6が得られる。
X1=(C/sin(90-E))-(B/cos(90-E)) (数式6)
したがって、X1>Dである場合、上記数式2が満たされる。すなわち、上記数式2が満たされれば、図10のようなイオンの注入を防止することができる。
A/cos(90-E)>D (数式7)
この関係について、以下に説明する。
Y=A/cos(90-E) (数式8)
したがって、Y>Dである場合、上記数式7が満たされる。すなわち、上記数式7が満たされれば、図11のようなイオンの注入を防止することができる。
14 :中間層
16 :レジスト
16a :硬化層
22 :p型領域
30 :開口部
Claims (1)
- 半導体装置の製造方法であって、
半導体基板の表面を覆う中間層を形成する工程と、
前記中間層の表面を覆うレジスト樹脂層であって、第1開口部と前記第1開口部よりも幅が狭い第2開口部を有し、前記第1開口部内と前記第2開口部内に前記中間層が露出しているレジスト樹脂層を形成する工程と、
前記レジスト樹脂層を介して前記半導体基板にイオンを注入する工程であって、前記第1開口部内の前記中間層を貫通して前記半導体基板に前記イオンが注入される工程と、
前記中間層をウェットエッチングにより除去することによって前記半導体基板から前記レジスト樹脂層を剥離させる工程、
を有し、
前記イオンを注入する前記工程では、前記イオンが前記第2開口部内の前記中間層に直接当たらない角度に前記イオンの注入方向を前記半導体基板の前記表面に対して傾斜させて前記イオンを注入し、
前記中間層を除去する前記工程では、前記第2開口部内にエッチング液を導入して前記中間層をウェットエッチングし、
前記レジスト樹脂層を形成してから前記レジスト樹脂層を剥離するまでの間に、前記第2開口部を介して前記半導体基板にイオンが注入される工程が存在しない、
製造方法。
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