JP7329376B2 - 測定装置および測定方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係る測定装置100の構成例を計測対象物10と共に示す図である。測定装置100は、当該測定装置100および計測対象物10の間の距離を光学的に測定する。また、測定装置100は、計測対象物10に照射するレーザ光の位置を走査して、計測対象物10の三次元的な形状を計測してもよい。測定装置100は、レーザ装置110と、分岐部120と、光サーキュレータ130と、光ヘッド部140と、ビート信号発生部150と、変換部160と、抽出部170と、算出部180と、表示部190とを備える。
図2は、本実施形態に係るレーザ装置110の構成例を示す。図2のレーザ装置110は、周波数シフト帰還レーザの一例を示す。レーザ装置110は、レーザ共振器を有し、当該レーザ共振器内でレーザ光を発振させる。レーザ装置110のレーザ共振器は、周波数シフタ112と、増幅媒体114と、WDMカプラ116と、ポンプ光源117、出力カプラ118とを含むレーザ共振器を有する。
本実施形態に係る測定装置100は、(数2)式で示すような周波数成分を出力するレーザ装置110を用いて、光ヘッド部140および計測対象物10の間の距離dを測定する。ここで、参照光および反射光の間の光路差が、距離dを往復した距離2dだけであり、距離2dに対応する伝搬遅延をΔtとする。即ち、時刻tにおいて、測定光が計測対象物10から反射して戻ってきた場合、戻ってきた反射光は、時刻tよりも時間Δtだけ過去の周波数と略一致するので、次式で示すことができる。
図8は、本実施形態に係る測定装置300の構成例を計測対象物10と共に示す。図8に示す測定装置300において、図1に示された本実施形態に係る測定装置100の動作と略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。測定装置300は、デジタルフィルタ310と第2クロック信号供給部320を更に備える。
図11は、本実施形態に係る測定装置300の変形例を計測対象物10と共に示す。図11に示す測定装置300において、図8に示された本実施形態に係る測定装置300の動作と略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。変形例の測定装置300は、算出部180が変化率算出部330、判定部340、および出力制御部350を更に備える。
100 測定装置
110 レーザ装置
112 周波数シフタ
114 増幅媒体
116 WDMカプラ
117 ポンプ光源
118 出力カプラ
120 分岐部
130 光サーキュレータ
140 光ヘッド部
150 ビート信号発生部
152 光90度ハイブリッド
154 第1光電変換部
156 第2光電変換部
160 変換部
162 第1フィルタ部
164 第2フィルタ部
170 抽出部
172 第3光電変換部
174 第3フィルタ部
176 第3AD変換器
178 共振器周波数出力部
180 算出部
190 表示部
202 第1AD変換器
204 第2AD変換器
210 第1クロック信号供給部
220 周波数解析部
300 測定装置
310 デジタルフィルタ
320 第2クロック信号供給部
330 変化率算出部
340 判定部
350 出力制御部
Claims (8)
- 計測対象物までの距離を測定する測定装置であって、
レーザ共振器を有し、複数のモードの周波数変調レーザ光を出力するレーザ装置と、
前記レーザ装置が出力する前記周波数変調レーザ光の一部を参照光とし、残りの少なくとも一部を測定光として分岐させる分岐部と、
前記測定光を計測対象物に照射して反射された反射光と、前記参照光とを混合してビート信号を発生させるビート信号発生部と、
前記ビート信号を第1サンプリングレートでデジタル信号に変換してから、前記デジタル信号を周波数解析する変換部と、
前記レーザ装置が出力する前記周波数変調レーザ光に重畳されている、前記レーザ共振器の共振器周波数を抽出し、抽出した共振器周波数に対応する信号成分を出力する抽出部と、
抽出された前記信号成分を第2サンプリングレートでデジタルフィルタリングするデジタルフィルタと、
前記ビート信号を周波数解析した結果と、デジタルフィルタリングされた前記信号成分とに基づき、前記参照光と前記測定光との伝搬距離の差を算出する算出部と
を備える、測定装置。 - 前記デジタルフィルタは、前記第1サンプリングレートよりも遅い前記第2サンプリングレートでデジタルフィルタリングする、請求項1に記載の測定装置。
- 前記分岐部は、前記周波数変調レーザ光を前記参照光、前記測定光、およびモニタ光に分岐し、
前記抽出部は、
前記モニタ光を電気信号に変換する光電変換部を有し、
前記光電変換部が変換した電気信号から前記レーザ共振器の共振器周波数に応じた前記信号成分を抽出する、
請求項1または2に記載の測定装置。 - 前記抽出部は、
前記光電変換部が変換した電気信号のうち前記レーザ共振器の共振器周波数を有する前記信号成分を通過させるフィルタ部と、
前記フィルタ部を通過した前記信号成分を周波数解析して前記レーザ共振器の共振器周波数を出力する共振器周波数出力部と
を更に有する、請求項3に記載の測定装置。 - 前記算出部は、
デジタルフィルタリングされた前記信号成分の単位時間当たりの変化率を算出する変化率算出部と、
単位時間当たりの前記変化率に基づき、前記測定装置による測定の安定性を判定する判定部と
を更に備える、請求項1から4のいずれか一項に記載の測定装置。 - 前記判定部は、更に、算出された前記変化率の値が第1閾値以上、かつ、第2閾値以下となったことに応じて、前記測定装置が安定であると判定する、請求項5に記載の測定装置。
- 計測対象物までの距離を測定する測定方法であって、
レーザ共振器を有するレーザ装置から複数のモードの周波数変調レーザ光を出力するステップと、
前記周波数変調レーザ光の一部を参照光とし、残りの少なくとも一部を測定光として分岐させるステップと、
前記測定光を計測対象物に照射して反射された反射光と、前記参照光とを混合してビート信号を発生させるステップと、
前記ビート信号を第1サンプリングレートでデジタル信号に変換してから、前記デジタル信号を周波数解析するステップと、
前記周波数変調レーザ光に重畳されている、前記レーザ共振器の共振器周波数を抽出し、抽出した共振器周波数に対応する信号成分を出力するステップと、
前記信号成分を第2サンプリングレートでデジタルフィルタリングするステップと、
前記ビート信号を周波数解析した結果と、デジタルフィルタリングされた前記信号成分とに基づき、前記参照光と前記測定光との伝搬距離の差を算出するステップと
を備える、測定方法。 - デジタルフィルタリングされた前記信号成分の単位時間当たりの変化率を算出するステップと、
単位時間当たりの前記変化率に基づき、測定の安定性を判定するステップと
を更に備える、請求項7に記載の測定方法。
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