JP7233302B2 - 測定装置および測定方法 - Google Patents
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Description
図1は、本実施形態に係る測定装置100の構成例を計測対象物10と共に示す図である。測定装置100は、当該測定装置100および計測対象物10の間の距離を光学的に測定する。また、測定装置100は、計測対象物10に照射するレーザ光の位置を走査して、計測対象物10の三次元的な形状を計測してもよい。測定装置100は、レーザ装置110と、分岐部120と、光サーキュレータ130と、光ヘッド部140と、ビート信号発生部150と、変換部160と、算出部170と、表示部180とを備える。
図2は、本実施形態に係るレーザ装置110の構成例を示す。図2のレーザ装置110は、周波数シフト帰還レーザの一例を示す。レーザ装置110は、レーザ共振器を有し、当該レーザ共振器内でレーザ光を発振させる。レーザ装置110のレーザ共振器は、周波数シフタ112と、増幅媒体114と、WDMカプラ116と、ポンプ光源117、出力カプラ118とを含むレーザ共振器を有する。
本実施形態に係る測定装置100は、(数2)式で示すような周波数成分を出力するレーザ装置110を用いて、光ヘッド部140および計測対象物10の間の距離dを測定する。ここで、参照光および反射光の間の光路差が、距離dを往復した距離2dだけであり、距離2dに対応する伝搬遅延をΔtとする。即ち、時刻tにおいて、測定光が計測対象物10から反射して戻ってきた場合、戻ってきた反射光は、時刻tよりも時間Δtだけ過去の周波数と略一致するので、次式で示すことができる。
そこで、本実施形態に係る測定装置100は、ビート信号の観測帯域を拡大して、異なる複数の帯域に発生する複数のビート信号を測定する。図4に示すように、ビート信号発生部150は、反射光および参照光を混合して異なる複数のモード番号mの複数のビート信号νB(m,d)を発生させる。したがって、変換部160のビート信号νB(m,d)の観測帯域を拡大すると、異なる周波数に発生する複数のビート信号νB(m,d)を観測できる。
図8は、本実施形態に係る測定装置100に設けられている変換部160および算出部170の構成例を示す。図8に示す変換部160は、図5で説明した変換部160と同様の構成なので、動作が略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。図8に示す変換部160および算出部170は、測定装置100が2×νC以上の観測帯域を有するように構成されている。
図9は、本実施形態に係る測定装置100に設けられている変換部160および算出部170の変形例を示す。図9に示す変換部160および算出部170は、図7で説明した変換部160および算出部170と同様の構成なので、動作が略同一のものには同一の符号を付け、説明を省略する。変形例の算出部170は、分割部172と、積算部178と、検出部174と、距離算出部176とを有する。
100 測定装置
110 レーザ装置
112 周波数シフタ
114 増幅媒体
116 WDMカプラ
117 ポンプ光源
118 出力カプラ
120 分岐部
130 光サーキュレータ
140 光ヘッド部
150 ビート信号発生部
152 光90度ハイブリッド
154 第1光電変換部
156 第2光電変換部
160 変換部
162 第1フィルタ部
164 第2フィルタ部
170 算出部
172 分割部
174 検出部
176 距離算出部
178 積算部
180 表示部
202 第1AD変換器
204 第2AD変換器
210 クロック信号供給部
220 周波数解析部
310 周波数変換部
Claims (7)
- 計測対象物までの距離を測定する測定装置であって、
レーザ共振器を有し、複数のモードの周波数変調レーザ光を出力するレーザ装置と、
前記レーザ装置が出力する前記周波数変調レーザ光の一部を参照光とし、残りの少なくとも一部を測定光として分岐する分岐部と、
前記測定光を計測対象物に照射して反射された反射光と、前記参照光とを混合して複数のビート信号を発生させるビート信号発生部と、
前記複数のビート信号を前記レーザ共振器の共振器周波数の4倍以上の周波数でサンプリングしてデジタル信号に変換する変換部と、
前記デジタル信号に基づき、前記測定装置から前記計測対象物までの距離を算出する算出部と
を備える、測定装置。 - 前記変換部は、前記デジタル信号を周波数情報に変換する周波数変換部を有し、
前記算出部は、
前記周波数変換部が変換した周波数情報の周波数帯域を、予め定められた帯域幅の複数の帯域の周波数情報に分割する分割部と、
分割された複数の周波数情報毎にビート信号の周波数位置を検出する検出部と、
検出した複数のビート信号の周波数位置に基づき、前記測定装置から前記計測対象物までの距離を算出する距離算出部と
を有する、請求項1に記載の測定装置。 - 前記距離算出部は、前記複数のビート信号の周波数位置に対応する前記測定装置から前記計測対象物までの距離をそれぞれ算出し、算出した複数の距離を平均化する、請求項2に記載の測定装置。
- 前記距離算出部は、前記複数のビート信号の対応する周波数位置を換算し、換算した周波数位置を平均化し、平均化した周波数位置に対応する前記測定装置から前記計測対象物までの距離を算出する、請求項2に記載の測定装置。
- 前記変換部は、前記デジタル信号を周波数情報に変換する周波数変換部を有し、
前記算出部は、
前記周波数変換部が変換した周波数情報の周波数帯域を、予め定められた帯域幅の複数の帯域の周波数情報に分割する分割部と、
分割された複数の周波数情報を対応する1つの周波数帯域の周波数情報に変換してから、周波数毎に信号レベルを積算する積算部と、
積算された周波数情報におけるビート信号の周波数位置を検出する検出部と、
検出した前記ビート信号の周波数位置に基づき、前記測定装置から前記計測対象物までの距離を算出する距離算出部と
を有する、請求項1に記載の測定装置。 - 前記分割部は、前記予め定められた帯域幅を前記共振器周波数以下の帯域幅とする、請求項2から5のいずれか一項に記載の測定装置。
- 計測対象物までの距離を測定する測定装置の測定方法であって、
レーザ共振器を有するレーザ装置から複数のモードの周波数変調レーザ光を出力するステップと、
前記周波数変調レーザ光の一部を参照光とし、残りの少なくとも一部を測定光として分岐するステップと、
前記測定光を計測対象物に照射して反射された反射光と、前記参照光とを混合して複数のビート信号を発生させるステップと、
前記複数のビート信号を前記レーザ共振器の共振器周波数の4倍以上の周波数でサンプリングしてデジタル信号に変換するステップと、
前記デジタル信号に基づき、前記測定装置から前記計測対象物までの距離を算出するステップと
を備える、測定方法。
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