JP7328298B2 - 乾燥空間作製装置および乾燥空間作製方法 - Google Patents

Description

本発明は、乾燥空間を作製する装置および方法に関する。

近年は、二酸化炭素の排出を低減して地球環境上の悪影響を低減する等の観点から、ＥＶやＨＥＶ等の電動車両の普及が進んでいる。電動車両に対しては、固体電解質を有する電池（全固体電池等）の実用化に向けて、研究、開発が進められている。

固体電解質の中には、例えば硫化物系の固体電解質等、湿気を嫌うものがある。その場合、固体電池の製造ライン等に、乾燥空間（ドライ環境）を作製する乾燥空間作製装置が必要になる。

特開２００５－６１７１９号公報

乾燥空間を作製する手法としては、主に次の２つの手法（通常ガス置換、真空ガス置換）がある。

１つ目の手法（通常ガス置換）では、乾燥空間とすべき処理槽の内部空間にドライガスをひたすら供給すると共に、その供給分だけ、内部空間に元々あった常湿エア等の既存ガスを処理槽の外部に排出する。この場合、既存ガスとドライガスとが混じりながらのガス交換となるため、ドライガスの一部がそのまま既存ガスと共に処理槽の外部に排出されてしまう。そのため、大量のドライガスを必要とすると共に、ガス交換に要する時間も長くなってしまう。

２つ目の手法（真空ガス置換）では、内部空間の既存ガスを、ポンプ等で処理槽の外部に強制的に排出してから、内部空間にドライガスを供給する。この手法によれば、１つ目の手法（通常ガス置換）に比べて、既存ガスとドライガスとの混じり合いが抑えられる。そのことから、ドライガスの供給量およびガス交換に要する時間が抑えられる。しかしながら、内部空間を陰圧（負圧）にするため、処理槽に対する耐圧要求が大きくなってしまう。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、ドライガスの供給量、ガス交換に要する時間、および処理槽に対する耐圧要求、のいずれについても抑えつつ、乾燥空間を作製することを目的とする。

本発明者らは、処理槽内に設置した伸縮部材を膨らませると共に内部空間の既存ガスを処理槽の外部に排出してから、伸縮部材を縮めると共に内部空間にドライガスを供給すれば、ドライガスの供給量、ガス交換に要する時間、および処理槽に対する耐圧要求、のいずれについても抑えつつ、乾燥空間を作製できることを見出して、本発明に至った。本発明は、次の（１）～（９）の乾燥空間作製装置および（１０）の乾燥空間作製方法である。

（１）内部空間を有する処理槽と、
前記処理槽内に設けられており、前記内部空間の一部の領域を残して膨らむ伸縮部材と、
前記内部空間のガスを前記処理槽の外部に排出する排出部と、
前記内部空間にドライガスを供給するドライガス供給装置と、
前記伸縮部材を膨らましながら前記内部空間のガスを前記排出部により前記処理槽の外部に排出する第１制御を行ってから、前記伸縮部材を縮めながら前記ドライガス供給装置によりドライガスを前記内部空間に供給する第２制御を行う制御装置と、
を有する乾燥空間作製装置。

前記（１）の発明によれば、第１制御により、内部空間のガス（既存ガス）を処理槽の外部に排出してから、第２制御等により、ドライガスを内部空間に供給できる。そのため、既存ガスを排気せずにそのまま内部空間にドライガスを供給する場合（通常ガス置換）に比べて、既存ガスとドライガスとの混じり合いを抑制して、ドライガスが既存ガスと共に処理槽の外部に排出されるのを抑制できる。そのため、ドライガスの供給量およびガス交換に要する時間を抑えつつ、乾燥空間を作製できる。

しかも、第１制御では、内部空間のガスを処理槽の外部に排出する際に、伸縮部材を膨らませるため、膨らませることなくガスを強制的に排出する場合（真空ガス置換）に比べて、内部空間の陰圧（負圧）を抑えられる。そのため、処理槽に対する耐圧要求についても、抑えることができる。

以上、前記（１）の発明によれば、ドライガスの供給量、ガス交換に要する時間、および処理槽に対する耐圧要求、のいずれについても抑えつつ、乾燥空間を作製できる。しかも、第１制御の後には、第２制御により伸縮部材が縮むため、内部空間内における作業用空間を問題なく十分に大きく確保できる。

（２）前記制御装置は、前記第１制御と前記第２制御との間に、前記伸縮部材が膨らんだままの状態で、前記ドライガス供給装置により前記内部空間にドライガスを供給しながら、前記排出部により前記内部空間のガスを前記処理槽の外部に排出する置換制御を行う、前記（１）に記載の乾燥空間作製装置。

前記（２）の発明によれば、第１制御の後に置換制御を行わないで直ぐに第２制御を開始する場合に比べて、より多くの既存ガスを処理槽の外部に排出できる。しかも、置換制御の際には、伸縮部材が膨らんで内部空間が小さくなっているため、効率的にガス交換を行うことができる。

（３）前記内部空間の露点温度を検出する検出部を有し、
前記制御装置は、前記内部空間の露点温度に応じて変化するパラメータが閾値以下になったことに基づいて、前記第２制御を開始する、
前記（１）又は（２）に記載の乾燥空間作製装置。

前記（３）の発明によれば、露点温度に基づいて第２制御を開始するため、過不足なく適切なタイミングで第２制御を開始できる。

（４）前記処理槽の内底面に固定されている作業機器と、前記処理槽の内壁面の１つである作業面に取り付けられており、前記処理槽の外側から作業者が前記作業機器を操作可能に構成されているグローブと、を有し、
前記伸縮部材は、前記作業面以外の前記内壁面に設けられている、前記（１）～（３）のいずれか１つに記載の乾燥空間作製装置。

前記（４）の発明によれば、グローブと伸縮部材との干渉を避けることができる。

（５）前記伸縮部材は、前記作業面以外の全ての前記内壁面と前記処理槽の天井面とに設けられている、前記（４）に記載の乾燥空間作製装置。

前記（５）の発明によれば、これらの伸縮部材により、第１制御における内部空間の圧縮を効率的に行うことができる。

（６）前記処理槽の外部のガスを、前記伸縮部材を伸縮させるための伸縮空間に強制的に吸入する吸気装置を有し、
前記第１制御では、前記吸気装置により前記伸縮空間にガスを強制的に吸入することにより、前記伸縮部材を膨らませる、前記（１）～（５）のいずれか１つに記載の乾燥空間作製装置。

前記（６）の発明によれば、吸気装置により、伸縮部材を膨らませることができる。

（７）前記排出部は、前記内部空間のガスを前記処理槽の外部に強制的に排気する排出装置を有し、
前記第１制御では、前記処理槽の外部のガスを、前記伸縮部材を伸縮させるための伸縮空間に流入可能にした状態で、前記排出装置により前記内部空間のガスを前記処理槽の外部に強制的に排出することにより、前記内部空間の陰圧により前記伸縮部材を膨らませる、前記（１）～（６）のいずれか１つに記載の乾燥空間作製装置。

前記（７）の発明によれば、排出装置により、伸縮部材を膨らませることができる。

（８）前記伸縮部材を伸縮させるための伸縮空間のガスを、前記処理槽の外部に強制的に排出する排気装置を有し、
前記第２制御では、前記排気装置により前記伸縮空間のガスを前記処理槽の外部に強制的に排出することにより、前記伸縮部材を縮める、前記（１）～（７）のいずれか１つに記載の乾燥空間作製装置。

前記（８）の発明によれば、排気装置により、伸縮部材を縮めることができる。

（９）前記第２制御では、前記伸縮部材を伸縮させるための伸縮空間のガスを前記処理槽の外部に流出可能にし、且つ前記内部空間のガスを前記排出部から前記処理槽の外部に排出不能にした状態で、前記ドライガス供給装置によりドライガスを前記内部空間に供給することにより、前記内部空間の陽圧により前記伸縮部材を縮める、前記（１）～（８）のいずれか１つに記載の乾燥空間作製装置。

前記（９）の発明によれば、ドライガス供給装置により、伸縮部材を縮めることができる。

（１０）内部空間を有する処理槽と、
前記処理槽内に設けられており、前記内部空間の一部の領域を残して膨らむ伸縮部材と、
前記内部空間のガスを前記処理槽の外部に排出する排出部と、
前記内部空間にドライガスを供給するドライガス供給装置と、
を有する装置、を用いて行う乾燥空間作製方法であって、
前記伸縮部材を膨らましながら、前記内部空間のガスを前記排出部により前記処理槽の外部に排出する第１工程と、
前記第１工程で膨らませた前記伸縮部材を縮めながら、前記ドライガス供給装置により前記内部空間に前記ドライガスを供給する第２工程と、
を有する乾燥空間作製方法。

前記（１０）の方法によれば、前記（１）の装置と同様の効果が得られる。

以上、本発明によれば、第１制御又は第１工程を行ってから第２制御又は第２工程を行うことにより、ドライガスの供給量、ガス交換に要する時間、および処理槽に対する耐圧要求、のいずれについても抑えつつ、乾燥空間を作製できる。

第１実施形態の乾燥空間作製装置を示す正面図（正面断面図）である。 同乾燥空間作製装置を示す側面図（側面断面図）である。 第１制御時を示す正面図である。 同第１制御時を示す側面図である。 置換制御時を示す正面図である。 同置換制御時を示す側面図である。 第２制御時を示す正面図である。 同第２制御時を示す側面図である。 第２実施形態における、第１制御時を示す正面図である。 同第１制御時を示す側面図である。 置換制御時を示す正面図である。 同置換制御時を示す側面図である。 第２制御時を示す正面図である。 同第２制御時を示す側面図である。 変更例を示す正面図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しつつ説明する。ただし、本発明は、以下の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱ない範囲内で適宜変更して実施できる。

［第１実施形態］
図１および図２は、本実施形態の乾燥空間作製装置１００を示す正面図（正面断面図）および側面図（側面断面図）である。乾燥空間作製装置１００は、作業機器１０と、それを格納する処理槽２０とを有する。

作業機器１０は、例えば、硫化物系の固体電解質等の湿気を嫌う物質を扱うための機器である。つまり、作業機器１０は、乾燥空間（ドライ環境）での操作が要求される機器である。

処理槽２０は、内部空間Ｓａと排出口２５と供給口２７とグローブ２２とを有している。内部空間Ｓａは、乾燥空間とすべき空間である。排出口２５および供給口２７は、それぞれ、処理槽２０の外部と内部空間Ｓａとを連通させている。

作業機器１０は、内部空間Ｓａ内において、処理槽２０の内底面に固定されている。グローブ２２は、処理槽２０の内壁面の１つである作業面（図では前面）に取り付けられている。詳しくは、作業面には、処理槽２０の外壁から内壁にまで（つまり処理槽２０の外部から内部空間Ｓａにまで）貫通した貫通孔２１が２つ設けられており、各貫通孔２１にグローブ２２が取り付けられている。グローブ２２により、作業者が処理槽２０の外側から作業機器１０を操作可能になっている。

乾燥空間作製装置１００は、さらに、排出弁５０と、ドライガス供給装置７０と、伸縮部材３１～３４と、吸排気装置６０と、制御装置８０と、を有する。

排出弁５０は、排出口２５に設けられている。排出弁５０は、本実施形態では、制御装置８０により開閉が制御される電子弁であり、開弁すると排出口２５を開放し、閉弁すると排出口２５を閉鎖する。ただし、このような電子弁に代えて、内部空間Ｓａ側から処理槽２０の外部側へのガスの通過（流出）は許容する一方、処理槽２０の外部側から内部空間Ｓａ側へのガスの通過（流入）は許容しない逆止弁を設けてもよい。排出口２５と排出弁５０とにより、内部空間Ｓａの既存ガスを処理槽２０の外部に排出する排出部が構成されている。

ドライガス供給装置７０は、常湿エア等のガスから湿気を除いてドライガスを生成する装置であって、供給口２７に接続されている。

伸縮部材３１～３４は、処理槽２０内において、天井面と、作業面以外の全ての内壁面とに設けられている。つまり、伸縮部材３１～３４は、天井面に設置されている天井面の伸縮部材３１と、左側の内壁面に設置されている左側の伸縮部材３２と、後側の内壁面に設置されている後側の伸縮部材３３と、右側の内壁面に設置されている右側の伸縮部材３４と、からなる。

各伸縮部材３１～３４はシート材であって、縁部が処理槽２０の内面に隙間なく接続（シール）されている。それにより、各伸縮部材３１～３４と処理槽２０の内面との間には、伸縮部材３１～３４を伸縮させるための伸縮空間Ｓｂが形成されている。処理槽２０の天井面と作業面以外の全ての内壁面とには、処理槽２０の外部と各伸縮空間Ｓｂとを繋ぐ連通孔２６が形成されている。

吸排気装置６０は、ブロワーやポンプ等の吐出装置であって、各連通孔２６に接続されている。吸排気装置６０は、処理槽２０の外部のガスを伸縮空間Ｓｂに吐出（つまり強制的に吸入）することによって伸縮部材３１～３４を膨らまし、伸縮空間Ｓｂのガスを処理槽２０の外部に吐出（つまり強制的に排出）することによって伸縮部材３１～３４を縮める。つまり、吸排気装置６０は、伸縮空間Ｓｂに対する吸気装置と排気装置とを兼ねている。

制御装置８０は、排出弁５０と吸排気装置６０とドライガス供給装置７０とを制御する。制御装置８０は、作業者等による乾燥空間作製装置１００の操作により、乾燥空間の作製が指示されると、次に示す第１制御Ｃ１（第１工程）と置換制御Ｃｒ（置換工程）と第２制御Ｃ２（第２工程）とを順に実行する。

図３および図４は、第１制御Ｃ１時の乾燥空間作製装置１００を示す正面図および側面図である。制御装置８０は、第１制御Ｃ１では、排出弁５０に対して開弁指令αを送信すると共に、吸排気装置６０に対して吸気指令βｉを送信する。排出弁５０は、開弁指令αを受信すると、開弁して排出口２５を開放する。つまり、内部空間Ｓａの既存ガスＧを処理槽２０の外部に流出可能にする。吸排気装置６０は、吸気指令βｉを受信すると、処理槽２０の外部のガスｇを伸縮空間Ｓｂに強制的に吸入する。これにより、伸縮部材３１～３４が、内部空間Ｓａの一部の領域を残して膨らむと共に、その膨らんだ分だけ、内部空間Ｓａの既存ガスＧが排出口２５から処理槽２０の外部に排出される。制御装置８０は、伸縮空間Ｓｂにガスｇを所定量吸入すると、第１制御Ｃ１を終了して、置換制御Ｃｒを開始する。

図５および図６は、置換制御Ｃｒ時の乾燥空間作製装置１００を示す正面図および側面図である。制御装置８０は、置換制御Ｃｒでは、排出弁５０に対する開弁指令αを継続しつつ、吸排気装置６０に対する吸気指令βｉを停止すると共に、ドライガス供給装置７０に対して供給指令γを送信する。吸排気装置６０は、吸気指令βｉが停止されると、伸縮空間Ｓｂに対するガスｇの吸入を停止する。ドライガス供給装置７０は、供給指令γを受信すると、内部空間ＳａにドライガスＤを供給する。これにより、伸縮部材３１～３４が膨らんだままの状態で、ドライガス供給装置７０から内部空間ＳａにドライガスＤが供給されると共に、その分だけ、内部空間Ｓａの既存ガスＧが排出弁５０から処理槽２０の外部に排出される。これにより、内部空間Ｓａにおいて、既存ガスＧとドライガスＤとのガス交換が行われる。

乾燥空間作製装置１００は、さらに、内部空間Ｓａの露点温度を検出する検出部（図示略）を有する。制御装置８０は、検出部により検出された露点温度に応じて変化するパラメータが閾値以下になったことに基づいて、置換制御Ｃｒを終了して、第２制御Ｃ２を開始する。

図７および図８は、第２制御Ｃ２時の乾燥空間作製装置１００を示す正面図および側面図である。制御装置８０は、第２制御Ｃ２では、ドライガス供給装置７０に対する供給指令γを継続しつつ、排出弁５０に対する開弁指令αを停止すると共に、吸排気装置６０に対して排気指令βｅを送信する。排出弁５０は、開弁指令αが停止されると、閉弁して排出口２５を閉じる。つまり、内部空間ＳａのドライガスＤを処理槽２０の外部に流出不能にする。吸排気装置６０は、排気指令βｅを受信すると、伸縮空間Ｓｂのガスｇを処理槽２０の外部に強制的に排出する。これにより、内部空間Ｓａに対するドライガスＤの供給が継続されつつ、伸縮部材３１～３４が縮む。なお、このとき、内部空間ＳａのドライガスＤが処理槽２０の外部に排出されることなく、内部空間Ｓａの圧力は、ドライガスＤの供給による圧力増加と、伸縮部材３１～３４の収縮による圧力減少との相殺により、略一定に保たれる。

以下に本実施形態の効果をまとめる。本実施形態によれば、第１制御Ｃ１により、内部空間Ｓａの既存ガスＧを処理槽２０の外部に排出してから、置換制御Ｃｒおよび第２制御Ｃ２により、ドライガスＤを内部空間Ｓａに供給する。そのため、既存ガスＧを排出せずにそのまま内部空間ＳａにドライガスＤを供給する場合（通常ガス置換）に比べて、既存ガスＧとドライガスＤとの混じり合いを抑制でき、ドライガスＤが既存ガスＧと共に処理槽２０の外部に排出されるのを抑制できる。その結果、ドライガスＤの供給量およびガス交換に要する時間を抑えることができる。

しかも、第１制御Ｃ１では伸縮部材３１～３４を膨らますため、膨らませることなく内部空間Ｓａの既存ガスＧを処理槽２０の外部に強制的に排出する場合（真空ガス置換）に比べて、内部空間Ｓａの陰圧（負圧）が抑えられる。そのため、処理槽２０の耐圧要求についても、抑えることができる。

また、伸縮部材３１～３４は、処理槽２０内において、天井面と、作業面以外の全ての内壁面とに設けられているため、第１制御Ｃ１では、効率的に内部空間Ｓａを縮めることができる。また、第１制御Ｃ１では、吸排気装置６０により伸縮空間Ｓｂにガスｇを強制的に吸入することにより、伸縮部材３１～３４を膨らませることができる。

また、置換制御Ｃｒでは、伸縮部材３１～３４が膨らんだままの内部空間Ｓａが小さくなっている状態で、既存ガスＧとドライガスＤとのガス交換を行う。そのため、効率的にガス交換を行うことができる。

また、制御装置８０は、内部空間Ｓａの露点温度に基づいて第２制御Ｃ２を開始する。そのため、過不足なく適切なタイミングで第２制御Ｃ２を開始できる。また、第２制御Ｃ２では、吸排気装置６０により伸縮空間Ｓｂのガスｇを処理槽２０の外部に排出することにより、伸縮空間Ｓｂの陰圧（負圧）により、伸縮部材３１～３４を縮めることができる。また、このように伸縮部材３１～３４が縮むため、作業機器１０を操作する作業時には、内部空間Ｓａ（作業用空間）を問題なく十分に大きく確保できる。また、このように伸縮部材３１～３４が縮むため、第１制御Ｃ１では、図３に示すように、伸縮部材３２，３４を、正面視においてグローブ２２と干渉する位置にまで膨らませることができる。

［第２実施形態］
次に第２実施形態について説明する。本実施形態については、第１実施形態をベースにこれと異なる点を中心に説明し、第１実施形態と同一又は類似の点については、適宜説明を省略する。

図９および図１０は、本実施形態における第１制御Ｃ１時の乾燥空間作製装置１００を示す正面図および側面図である。乾燥空間作製装置１００は、第１実施形態でいう吸排気装置６０の代わりに、吸排気弁６０２を有すると共に、第１実施形態でいう排出弁５０の代わりに、排出装置５０２を有している。吸排気弁６０２は、制御装置８０により開閉が制御される電子弁であり、開弁すると連通孔２６を開放し、閉弁すると連通孔２６を閉鎖する。排出装置５０２は、例えばブロアー、ポンプ等の吐出装置であり、内部空間Ｓａの既存ガスＧを処理槽２０の外部に吐出（つまり強制的に排出）する。

制御装置８０は、第１制御Ｃ１では、排出装置５０２に対して排出指令αｅを送信すると共に、吸排気弁６０２に対して開弁指令βを送信する。排出装置５０２は、排出指令αｅを受信すると、内部空間Ｓａの既存ガスＧを処理槽２０の外部に強制的に排出する。吸排気弁６０２は、開弁指令βを受信すると、開弁して連通孔２６を開く。つまり、処理槽２０の外部のガスを伸縮空間Ｓｂに流入可能にする。これにより、内部空間Ｓａの既存ガスＧが処理槽２０の外部に強制的に排出されると共に、内部空間Ｓａ内の陰圧で伸縮部材３１～３４が膨らんで、その分だけ、処理槽２０の外部のガスｇが吸排気弁６０２を通過して伸縮空間Ｓｂに流入する。

図１１および図１２は、置換制御Ｃｒ時の乾燥空間作製装置１００を示す正面図および側面図である。制御装置８０は、置換制御Ｃｒでは、排出装置５０２に対する排出指令αｅを継続しつつ、吸排気弁６０２に対する開弁指令βを停止すると共に、ドライガス供給装置７０に対して供給指令γを送信する。吸排気弁６０２は、開弁指令βが停止されると、閉弁して連通孔２６を閉じる。つまり、伸縮空間Ｓｂのガスを処理槽２０の外部に流出不能にする。これにより、伸縮部材３１～３４が膨らんだままの状態で、内部空間Ｓａの既存ガスＧが、排出装置５０２により処理槽２０の外部に強制的に排出され続けると共に、ドライガス供給装置７０から内部空間ＳａにドライガスＤが供給される。これにより、内部空間Ｓａにおいて、既存ガスＧとドライガスＤとのガス交換が行われる。

図１３および図１４は、第２制御Ｃ２時の乾燥空間作製装置１００を示す正面図および側面図である。制御装置８０は、第２制御Ｃ２では、ドライガス供給装置７０に対する供給指令γを継続しつつ、排出装置５０２に対する排出指令αｅを停止すると共に、吸排気弁６０２に対して開弁指令βを送信する。排出装置５０２は、排出指令αｅが停止されると、内部空間Ｓａのガスの強制排出を停止して、内部空間Ｓａのガスを処理槽２０の外部に排出不能にする。吸排気弁６０２は、開弁指令βを受信すると、開弁して連通孔２６を開く。これにより、内部空間Ｓａに対するドライガスＤの供給が継続されると共に、内部空間Ｓａの陽圧により、伸縮部材３１～３４が収縮して、その収縮分だけ、伸縮空間Ｓｂのガスｇが吸排気弁６０２から処理槽２０の外部に排出される。

本実施形態によれば、第１実施形態でいう吸排気装置６０が無くても、第１制御Ｃ１では、排出装置５０２による内部空間Ｓａの陰圧（負圧）により、伸縮部材３１～３４を膨らますことができ、第２制御Ｃ２では、ドライガス供給装置７０による内部空間Ｓａの陽圧により、伸縮部材３１～３４を縮めることができる。

［他の実施形態］
以上の実施形態は、例えば次のように変更して実施できる。処理槽２０の内面および伸縮部材３１～３４のみで伸縮空間Ｓｂを完全にシールすることが困難な場合等には、図１５に示すように、伸縮空間Ｓｂにバルーン３９を設けて、当該バルーン３９の内側にガスｇを注入するようにしてもよい。

図１１等に示す第２実施形態において、吸排気弁６０２を無くして連通孔２６を常に開放しても、置換制御Ｃｒにおいて、伸縮部材３１～３４が縮んでしまう心配がない場合等には、吸排気弁６０２を無くして連通孔２６を常に開放してもよい。

１０ 作業機器
２０ 処理槽
２２ グローブ
２５ 排出口（排出部）
３１ 天井面の伸縮部材
３２ 左側の伸縮部材
３３ 後側の伸縮部材
３４ 右側の伸縮部材
５０ 排出弁（排出部）
５０２ 排出装置（排出部）
６０ 吸排気装置（吸気装置および排気装置）
７０ ドライガス供給装置
８０ 制御装置
１００ 乾燥空間作製装置
Ｃ１ 第１制御
Ｃ２ 第２制御
Ｃｒ 置換制御
Ｓａ 内部空間
Ｓｂ 伸縮空間
Ｄ ドライガス
Ｇ 既存ガス
ｇ ガス

Claims (11)

1. 内部空間を有する処理槽と、
   前記処理槽内に設けられており、前記内部空間の一部の領域を残して膨らむ伸縮部材と、
   前記内部空間のガスを前記処理槽の外部に排出する排出部と、
   前記内部空間にドライガスを供給するドライガス供給装置と、
   前記内部空間の露点温度を検出する検出部と、
   前記伸縮部材を膨らましながら前記内部空間のガスを前記排出部により前記処理槽の外部に排出する第１制御を行ってから、前記伸縮部材を縮めながら前記ドライガス供給装置によりドライガスを前記内部空間に供給する第２制御を行う制御装置と、を有し、
   前記制御装置は、前記内部空間の露点温度に応じて変化するパラメータが閾値以下になったことに基づいて、前記第２制御を開始する、
   乾燥空間作製装置。
2. 前記処理槽の外部のガスを、前記伸縮部材を伸縮させるための伸縮空間に強制的に吸入する吸気装置を有し、
   前記第１制御では、前記吸気装置により前記伸縮空間にガスを強制的に吸入することにより、前記伸縮部材を膨らませる、請求項１に記載の乾燥空間作製装置。
3. 前記排出部は、前記内部空間のガスを前記処理槽の外部に強制的に排気する排出装置を有し、
   前記第１制御では、前記処理槽の外部のガスを、前記伸縮部材を伸縮させるための伸縮空間に流入可能にした状態で、前記排出装置により前記内部空間のガスを前記処理槽の外部に強制的に排出することにより、前記内部空間の陰圧により前記伸縮部材を膨らませる、請求項１に記載の乾燥空間作製装置。
4. 内部空間を有する処理槽と、
   前記処理槽内に設けられており、前記内部空間の一部の領域を残して膨らむ伸縮部材と、
   前記内部空間のガスを前記処理槽の外部に排出する排出部と、
   前記内部空間にドライガスを供給するドライガス供給装置と、
   前記伸縮部材を膨らましながら前記内部空間のガスを前記排出部により前記処理槽の外部に排出する第１制御を行ってから、前記伸縮部材を縮めながら前記ドライガス供給装置によりドライガスを前記内部空間に供給する第２制御を行う制御装置と、を有し、
   前記排出部は、前記内部空間のガスを前記処理槽の外部に強制的に排気する排出装置を有し、
   前記第１制御では、前記処理槽の外部のガスを、前記伸縮部材を伸縮させるための伸縮空間に流入可能にした状態で、前記排出装置により前記内部空間のガスを前記処理槽の外部に強制的に排出することにより、前記内部空間の陰圧により前記伸縮部材を膨らませる、
   乾燥空間作製装置。
5. 前記制御装置は、前記第１制御と前記第２制御との間に、前記伸縮部材が膨らんだままの状態で、前記ドライガス供給装置により前記内部空間にドライガスを供給しながら、前記排出部により前記内部空間のガスを前記処理槽の外部に排出する置換制御を行う、請求項１～４のいずれか１つに記載の乾燥空間作製装置。
6. 前記処理槽の内底面に固定されている作業機器と、前記処理槽の内壁面の１つである作業面に取り付けられており、前記処理槽の外側から作業者が前記作業機器を操作可能に構成されているグローブと、を有し、
   前記伸縮部材は、前記作業面以外の前記内壁面に設けられている、請求項１～５のいずれか１つに記載の乾燥空間作製装置。
7. 前記伸縮部材は、前記作業面以外の全ての前記内壁面と前記処理槽の天井面とに設けられている、請求項６に記載の乾燥空間作製装置。
8. 前記伸縮部材を伸縮させるための伸縮空間のガスを、前記処理槽の外部に強制的に排出する排気装置を有し、
   前記第２制御では、前記排気装置により前記伸縮空間のガスを前記処理槽の外部に強制的に排出することにより、前記伸縮部材を縮める、請求項１～７のいずれか１つに記載の乾燥空間作製装置。
9. 前記第２制御では、前記伸縮部材を伸縮させるための伸縮空間のガスを前記処理槽の外部に流出可能にし、且つ前記内部空間のガスを前記排出部から前記処理槽の外部に排出不能にした状態で、前記ドライガス供給装置によりドライガスを前記内部空間に供給することにより、前記内部空間の陽圧により前記伸縮部材を縮める、請求項１～７のいずれか１つに記載の乾燥空間作製装置。
10. 内部空間を有する処理槽と、
    前記処理槽内に設けられており、前記内部空間の一部の領域を残して膨らむ伸縮部材と、
    前記内部空間のガスを前記処理槽の外部に排出する排出部と、
    前記内部空間にドライガスを供給するドライガス供給装置と、
    前記内部空間の露点温度を検出する検出部と、
    を有する装置、を用いて行う乾燥空間作製方法であって、
    前記伸縮部材を膨らましながら、前記内部空間のガスを前記排出部により前記処理槽の外部に排出する第１工程と、
    前記第１工程で膨らませた前記伸縮部材を縮めながら、前記ドライガス供給装置により前記内部空間に前記ドライガスを供給する第２工程と、
    を有し、
    前記第２工程は、前記内部空間の露点温度に応じて変化するパラメータが閾値以下になったことに基づいて開始する、
    乾燥空間作製方法。
11. 内部空間を有する処理槽と、
    前記処理槽内に設けられており、前記内部空間の一部の領域を残して膨らむ伸縮部材と、
    前記内部空間のガスを前記処理槽の外部に排出する排出部と、
    前記内部空間にドライガスを供給するドライガス供給装置と、を有し、
    前記排出部は、前記内部空間のガスを前記処理槽の外部に強制的に排気する排出装置を有する装置、
    を用いて行う乾燥空間作製方法であって、
    前記伸縮部材を膨らましながら、前記内部空間のガスを前記排出部により前記処理槽の外部に排出する第１工程と、
    前記第１工程で膨らませた前記伸縮部材を縮めながら、前記ドライガス供給装置により前記内部空間に前記ドライガスを供給する第２工程と、を有し、
    前記第１工程では、前記処理槽の外部のガスを、前記伸縮部材を伸縮させるための伸縮空間に流入可能にした状態で、前記排出装置により前記内部空間のガスを前記処理槽の外部に強制的に排出することにより、前記内部空間の陰圧により前記伸縮部材を膨らませる、
    乾燥空間作製方法。

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