JP7324758B2 - インサイチュでのウェハ温度の測定および制御 - Google Patents
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Description
本願は、「IN-SITU WAFER TEMPERATURE MEASUREMENT AND CONTROL」というタイトルが付された2018年3月30日に出願された米国仮出願No.62/650,832の利益を主張する米国非仮出願である。当該米国仮出願の全ての内容は、参照により本明細書に組み込まれる。
本開示は概して、ワークピースを処理するためのワークピース処理システムおよびワークピース処理方法に関する。より具体的には、本開示は、イオン注入システムにおけるサーマルチャック上のワークピースの温度を精密かつ正確に制御するためのシステムおよび方法に関する。
半導体処理では、多くの操作(例:イオン注入)がワークピースまたは半導体ウェハ上において実行されうる。イオン注入処理技術の進歩により、ワークピースにおける様々な注入特性を実現するために、ワークピースにおいて様々なイオン注入温度が採用されうる。例えば従来のイオン注入処理では、典型的には、(i)コールド注入(低温注入)、(ii)ホット注入(高温注入)、および、(iii)いわゆる準室温注入(quasi-temperature implants)という、3つの温度レジームが考慮されている。コールド注入では、ワークピースにおけるプロセス温度は、室温よりも低い温度に維持される。ホット注入では、ワークピースにおけるプロセス温度は、典型的には100~600℃の範囲の高温に維持される。準室温注入では、ワークピースにおけるプロセス温度は、室温よりもわずかに高いが、高温注入において使用される温度よりも低い温度(典型的には、50~100℃の範囲の準室温注入温度)に維持される。
以下では、本開示の一部の態様についての基本的な理解を提供するために、本開示の簡略化された概要を提示する。本概要は、本開示の広範な概要ではない。本概要は、本発明のキーポイント(key)または重要な要素を特定することも、本発明の範囲を規定することも意図していない。本概要の目的は、後に提示されるより詳細な説明の序文(前置き)として、本開示の一部のコンセプトを簡略化された形式によって提示することである。
図1は、本開示の一態様に係る例示的な加熱イオン注入システムのブロック図を示す。
本発明は概して、ワークピース処理システムおよびワークピース処理装置を対象としている。より詳細には、本発明は、ワークピースの温度を制御するように構成された、イオン注入システム内のサーマルチャック(熱チャック)を対象としている。そこで、以下では、図面を参照して本発明を説明する。同様の参照番号は、全体を通して同様の要素(部材)を指すために使用されてもよい。これらの態様の説明は、単に例示的なものであり、限定的な意味合いで解釈されるべきではないことを理解されたい。以下の記載では、説明のために、本発明についての完全な理解を提供すべく、様々な特定の詳細が示されている。但し、当業者であれば、これらの特定の詳細がなくとも本発明を実施できることは明らかであろう。
従って、本開示は、ビームパワー、背面ガス流(背面ガスフロー)などに依存せずに、ワークピース118の温度を制御する場合に有益である。
Claims (16)
- サーマルチャックシステムであって、
サーマルチャック装置と、
サーマルモニタリングデバイスと、
コントローラと、を備えており、
上記サーマルチャック装置は、当該サーマルチャック装置のクランプ表面上にワークピースを選択的に保持し、
上記サーマルチャック装置は、上記クランプ表面を選択的に加熱することによって上記ワークピースを選択的に加熱する1つ以上のヒータを含んでおり、
上記サーマルモニタリングデバイスは、上記ワークピースが上記クランプ表面上に存在している場合に上記ワークピースの表面の温度を決定することにより、測定温度を規定し、
上記コントローラは、上記測定温度に基づいて、上記1つ以上のヒータを選択的に通電し、
上記サーマルモニタリングデバイスは、上記ワークピースの表面に直接的に接触する1つ以上の直接接触サーマルデバイスを含んでおり、
上記1つ以上の直接接触サーマルデバイスのそれぞれは、冗長サーマルデバイスのそれぞれのペアを含んでおり、
冗長サーマルデバイスのそれぞれのペアは、
上記ワークピースの上記表面の1次温度を測定する1次サーマルデバイスと、
上記ワークピースの上記表面の2次温度を測定する2次サーマルデバイスと、を含んでおり、
上記コントローラは、
上記1次温度と上記2次温度との比較に基づいて、上記測定温度の精度を決定し、
上記測定温度の上記精度が所定の閾値を超えた場合に、信号を供給する、サーマルチャックシステム。 - 上記1つ以上の直接接触サーマルデバイスは、サーモカップル(TC)および抵抗温度検出器(RTD)のうちの1つ以上を含んでいる、請求項1に記載のサーマルチャックシステム。
- 冗長サーマルデバイスのそれぞれのペアは、上記ワークピースの上記表面を横切るそれぞれの位置において、上記ワークピースの上記表面の上記温度を決定する、請求項1に記載のサーマルチャックシステム。
- 上記1つ以上の直接接触サーマルデバイスは、上記ワークピースの上記表面を横切る1つ以上のそれぞれの位置において、上記ワークピースの上記表面に直接的に接触する、請求項1に記載のサーマルチャックシステム。
- 上記ワークピースの上記表面を横切る上記1つ以上のそれぞれの位置は、(i)上記ワークピースの中央領域と、(ii)上記ワークピースの周辺領域と、を少なくとも含んでいる、請求項4に記載のサーマルチャックシステム。
- 上記ワークピースの上記表面を横切る上記1つ以上の位置は、上記ワークピースの上記表面を横切る、円周方向に離間した複数の位置を含んでいる、請求項5に記載のサーマルチャックシステム。
- 上記ワークピースの上記表面は、上記サーマルチャック装置に対向する、上記ワークピースの背面を含んでいる、請求項1に記載のサーマルチャックシステム。
- 上記コントローラによって上記1つ以上のヒータを選択的に通電することにより、上記測定温度に基づいて、上記1つ以上のヒータの熱出力を選択的に制御する、請求項1に記載のサーマルチャックシステム。
- 上記ワークピースにイオンを注入することにより、上記ワークピースに熱を選択的に入力し、上記イオンが注入された位置における上記ワークピースの上記表面の上記温度を上昇させるイオン注入装置をさらに備えており、
上記1つ以上のヒータのそれぞれのうちの1つ以上は、上記位置に関連付けられており、
上記サーマルモニタリングデバイスは、上記位置に近接している上記ワークピースの上記表面の上記温度を監視し、
上記コントローラは、上記位置における上記ワークピースの上記表面の上記温度に基づいて、上記1つ以上のヒータのそれぞれのうちの1つ以上の出力を選択的に制御する、請求項1に記載のサーマルチャックシステム。 - 上記1つ以上のヒータは、上記サーマルチャック装置内に埋め込まれている、請求項1に記載のサーマルチャックシステム。
- 上記1つ以上のヒータはそれぞれ、抵抗ヒータおよび放射ヒータのうちの一方を含んでいる、請求項1に記載のサーマルチャックシステム。
- 熱処理システムであって、
ワークピースを支持するクランプ表面を有するサーマルチャックと、
上記クランプ表面上に存在している上記ワークピースを選択的に加熱する1つ以上のヒータと、
上記ワークピースが上記クランプ表面上に存在している場合に上記ワークピースの温度を決定することにより、測定温度を規定するサーマルモニタリングデバイスと、
上記測定温度に基づいて、上記1つ以上のヒータを選択的に通電するコントローラと、を備えており、
上記サーマルモニタリングデバイスは、上記ワークピースの表面に直接的に接触する1つ以上の直接接触サーマルデバイスを含んでおり、
上記1つ以上の直接接触サーマルデバイスのそれぞれは、冗長サーマルデバイスのそれぞれのペアを含んでおり、
冗長サーマルデバイスのそれぞれのペアは、
上記ワークピースの上記表面の1次温度を測定する1次サーマルデバイスと、
上記ワークピースの上記表面の2次温度を測定する2次サーマルデバイスと、を含んでおり、
上記コントローラは、
上記1次温度と上記2次温度との比較に基づいて、上記測定温度の精度を決定し、
上記測定温度の上記精度が所定の閾値を超えた場合に、信号を供給する、熱処理システム。 - 上記1つ以上の直接接触サーマルデバイスは、サーモカップル(TC)および抵抗温度検出器(RTD)のうちの1つ以上を含んでいる、請求項12に記載の熱処理システム。
- 上記ワークピースにイオンを選択的に注入するイオン注入装置をさらに備えている、請求項12に記載の熱処理システム。
- 上記サーマルチャックは、静電チャックおよび機械的クランププレートのうちの一方を含んでいる、請求項12に記載の熱処理システム。
- サーマルモニタリングシステムであって、
ワークピースを支持するクランプ表面を有するサーマルチャックと、
1つ以上の直接接触サーマルデバイスと、
上記ワークピースを選択的に加熱する1つ以上のヒータと、
コントローラと、を備えており、
上記1つ以上の直接接触サーマルデバイスは、上記ワークピースが上記サーマルチャックの上記クランプ表面上に存在している場合に、上記ワークピースの背面に直接的に接触し、
上記1つ以上の直接接触サーマルデバイスは、上記ワークピースの温度を測定することにより、1つ以上の測定温度を規定し、
上記コントローラは、上記1つ以上の測定温度に基づいて、上記1つ以上のヒータを選択的に通電し、
上記1つ以上の直接接触サーマルデバイスのそれぞれは、冗長サーマルデバイスのそれぞれのペアを含んでおり、
冗長サーマルデバイスのそれぞれのペアは、
上記ワークピースの上記背面の1次温度を測定する1次サーマルデバイスと、
上記ワークピースの上記背面の2次温度を測定する2次サーマルデバイスと、を含んでおり、
上記コントローラは、
上記1次温度と上記2次温度との比較に基づいて、上記測定温度の精度を決定し、
上記測定温度の上記精度が所定の閾値を超えた場合に、信号を供給する、サーマルモニタリングシステム。
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