JP7316011B2 - ガス供給システムおよびガス供給方法 - Google Patents
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Landscapes
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- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Transition And Organic Metals Composition Catalysts For Addition Polymerization (AREA)
Description
4 プロセスチャンバ
6 真空ポンプ
8 共通流路
10 気化供給装置
10A 第1気化供給装置
10B 第2気化供給装置
12 気化部
12A 第1気化部
12B 第2気化部
14 バルブ
14A 第1バルブ
14B 第2バルブ
16 供給圧力センサ
16A 第1供給圧力センサ
16B 第2供給圧力センサ
18 液体補充弁
18A 第1液体補充弁
18B 第2液体補充弁
20 制御回路
100 ガス供給システム
Claims (8)
- 原料が貯留されヒータを有する第1気化部と、前記第1気化部の下流側流路に設けられた第1バルブと、前記第1気化部と前記第1バルブとの間のガス圧力を測定する第1供給圧力センサとを備える第1気化供給装置と、
原料が貯留されヒータを有する第2気化部と、前記第2気化部の下流側流路に設けられた第2バルブと、前記第2気化部と前記第2バルブとの間のガス圧力を測定する第2供給圧力センサとを備える第2気化供給装置と、
前記第1気化供給装置および前記第2気化供給装置と接続された制御回路と
を備え、前記第1気化供給装置の下流側流路と前記第2気化供給装置の下流側流路とが共通の流路に連通しているガス供給システムであって、
前記制御回路は、前記第1バルブの開放期間と前記第2バルブの開放期間とを時間的にずらすように前記第1バルブおよび前記第2バルブの開閉を制御し、前記第1気化部からのガスと前記第2気化部からのガスとを前記共通の流路に順次的に流すことができ、
前記第1供給圧力センサの出力が設定値以上のときに前記第1バルブを閉から開にして前記第1気化部から共通の流路へのガスを流し始め、前記第2供給圧力センサの出力が設定値以上のときに前記第2バルブを閉から開にして前記第2気化部から共通の流路へのガスを流し始めるように構成されている、ガス供給システム。 - 前記第1バルブの開放期間において、前記第2バルブは閉状態に維持され、前記第2バルブの開放期間において、前記第1バルブは閉状態に維持される、請求項1に記載のガス供給システム。
- 前記第1バルブの開放期間と前記第2バルブの開放期間とにおいて、切り替え時の重複期間が設けられている、請求項1に記載のガス供給システム。
- 前記第1バルブの開放期間と前記第2バルブの開放期間とが交互に繰り返すように設けられる、請求項1から3のいずれかに記載のガス供給システム。
- 前記第1気化部と前記第2気化部が同一の形状かつ同一の容積であり、前記第1バルブの開放時の開度と前記第2バルブの開放時の開度とが同一であり、前記第1バルブの開放期間と前記第2バルブの開放期間とが同じ長さである請求項1から4のいずれかに記載のガス供給システム。
- 前記第1気化部および前記第2気化部に貯留される原料は、液体の有機金属材料または液体のSi2Cl6である、請求項1から5のいずれかに記載のガス供給システム。
- 原料が貯留されヒータを有する第3気化部と、前記第3気化部の下流側に設けられた第3バルブと、前記第3気化部と前記第3バルブとの間のガス圧力を測定する第3供給圧力センサとを備え、前記制御回路に接続されるとともに、その下流側流路が前記共通の流路に連通する第3気化供給装置をさらに備え、
前記制御回路は、前記第1バルブの開放期間と前記第2バルブの開放期間と前記第3バルブの開放期間とを時間的にずらすことによって、前記第1気化部からのガスと前記第2気化部からのガスと前記第3気化部からのガスとを前記共通の流路に順次的に流すことができるように構成されている、請求項1に記載のガス供給システム。 - 原料が貯留されヒータを有する第1気化部と、前記第1気化部の下流側流路に設けられた第1バルブと、前記第1気化部と前記第1バルブとの間のガス圧力を測定する第1供給圧力センサとを備える第1気化供給装置と、
原料が貯留されヒータを有する第2気化部と、前記第2気化部の下流側流路に設けられた第2バルブと、前記第2気化部と前記第2バルブとの間のガス圧力を測定する第2供給圧力センサとを備える第2気化供給装置と、
前記第1気化供給装置および前記第2気化供給装置に接続された制御回路と
を備え、前記第1気化供給装置の下流側流路と前記第2気化供給装置の下流側流路とが共通の流路に連通しているガス供給システムにおいて実行されるガス供給方法であって、
前記第1バルブを閉から開にした後、所定時間後に前記第1バルブを開から閉にするステップと、
前記第1バルブを開から閉にするのと同時に前記第2バルブを閉から開にした後、所定時間後に前記第2バルブを開から閉にするステップと、
前記第2バルブを開から閉にするのと同時に前記第1バルブを閉から開にした後、所定時間後に前記第1バルブを開から閉にするステップと
を含み、各ステップにおいて、
前記第1バルブを閉から開にする動作は、前記第1供給圧力センサの出力が設定値以上のときに実行され、
前記第2バルブを閉から開にする動作は、前記第2供給圧力センサの出力が設定値以上のときに実行される、ガス供給方法。
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