JP7306044B2

JP7306044B2 - 把持装置

Info

Publication number: JP7306044B2
Application number: JP2019083018A
Authority: JP
Inventors: 貴士町田
Original assignee: Aisin Seiki Co Ltd; Aisin Corp
Current assignee: Aisin Corp
Priority date: 2019-04-24
Filing date: 2019-04-24
Publication date: 2023-07-11
Anticipated expiration: 2039-04-24
Also published as: CN111844000A; US11623350B2; JP2020179447A; US20200338749A1

Description

本発明は、把持装置に関する。

特許文献１には、複数の指部を有する袋状の把持本体と、把持本体が固定されるケースと、ケースに連結されるエアシリンダと、を備える把持装置が開示されている。把持本体は、内部の圧力が大気圧未満に減圧される場合、ワークを把持する。一方、把持本体は、内部が大気に連通される場合、ワークを手放す。また、把持装置は、エアシリンダが伸長することでワークが配置される基台に把持本体を接近させたり、エアシリンダが収縮することで基台から把持本体を遠ざけたりする。

特開２０１８－８６７１８号公報

上記のような把持装置は、把持本体がワークに接触した後もエアシリンダを伸長させ続けると、把持部がワークを強く押すことにより、把持部に大きな負荷が作用し得る。本発明の目的は、把持部をワークに接近させる際に、把持部に大きな負荷が作用することを抑制できる把持装置を提供することである。

以下、上記課題を解決するための手段及びその作用効果について記載する。
上記課題を解決する把持装置は、ワークを掴む閉位置及び前記ワークを離す開位置の間で変位する把持部と、前記把持部を保持する保持部と、前記保持部から延びる軸部と、前記把持部が前記ワークを向くように前記軸部を支持する支持部と、前記把持部を前記閉位置及び前記開位置の間で変位させる駆動部と、前記支持部を前記軸部の軸方向に移動する移動機構と、を備え、前記支持部は、前記軸部に荷重が前記軸方向に作用するとき、前記軸部が前記支持部に対して摺動できるように前記軸部を支持する。

上記構成の把持装置は、把持部でワークを把持する際、まず、把持部がワークに接近するように、移動機構で支持部を軸方向（以下、「第１方向」ともいう。）に移動させる。このとき、把持部がワークに接触した後も移動機構が支持部を第１方向に移動させ続けると、把持部がワークを第１方向に押すことになる。言い換えれば、ワークが第１方向の逆方向である第２方向に把持部を押し返すことになる。すると、把持部を介して軸部に第２方向の荷重が作用し、軸部が支持部と摺動する。詳しくは、第１方向に移動する支持部とともに、軸部が第１方向に移動しなくなる。こうして、把持装置は、把持部がワークに接触した後も支持部の移動を継続する場合であっても、軸部が支持部に対して相対的に変位できる点で、把持部に大きな負荷が作用することを抑制できる。

上記把持装置は、前記軸部の前記軸方向における変位を検出する変位センサと、前記変位センサの検出結果に基づいて、前記駆動部を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記軸部が前記支持部に対して摺動するときに、前記把持部を前記開位置から前記閉位置に変位させることが好ましい。

上記構成の把持装置において、軸部が支持部に対して相対的に変位するとき、把持部がワークに接触していると言える。そこで、把持装置は、変位センサの検出結果に基づいて、軸部が支持部に対して相対的に変位したときに、把持部を開位置から閉位置に変位させる。こうして、把持装置は、把持部がワークに接触する状態で、把持部を開位置から閉位置に変位させることができる。言い換えれば、把持装置は、把持部を開位置から閉位置に変位させるタイミングを適切なタイミングにできる。

上記把持装置は、前記軸部は、前記支持部と摺動可能な軸部本体と、前記軸部本体から前記軸方向と交差する方向に延びる突出部と、を有し、前記支持部は、前記軸方向が鉛直方向となるように、前記突出部を鉛直下方から支持し、前記変位センサは、前記突出部の前記支持部に対する変位を検出するものであり、前記制御部は、前記把持部が前記ワークに接近するように前記支持部を下降させる際に、前記突出部が前記支持部に対して相対的に上昇する場合に、前記把持部を前記開位置から前記閉位置に変位させることが好ましい。

上記構成の把持装置は、変位センサを単純な構成のセンサとすることができる。例えば、把持装置は、変位センサを、支持部から突出部が離れることでオンオフ状態が切り替わるスイッチとすることができる。

上記把持装置は、前記突出部を前記支持部に押し付けるように、前記軸部を付勢する付勢部材を備えることが好ましい。
上記構成の把持装置は、支持部の下降中に、軸部が支持部に対して相対的に上昇することを抑制できる。このため、把持装置は、支持部の下降中且つ把持部がワークに接触する前に、軸部が支持部に対して相対的に上昇することにより、把持部を開位置から閉位置に変位させることを抑制できる。

上記構成の把持装置は、把持部をワークに接近させる際に、把持部に大きな負荷が作用することを抑制できる。

一実施形態に係る把持装置の概略構成を示す斜視図。把持装置の把持部と保持部とを破断図示した分解斜視図。把持装置の軸部と支持部とを破断図示した斜視図。把持装置の制御部が実行する処理の流れを示すフローチャート。把持装置の作用を説明する破断正面図。把持装置の作用を説明する破断正面図。把持装置の作用を説明する破断正面図。

以下、把持装置の一実施形態について、図面を参照しつつ説明する。本実施形態の把持装置は、載置台に載置されたワークを水平方向に搬送する装置である。
図１に示すように、把持装置１０は、ワークＷを把持する把持部２０と、把持部２０を保持する保持部３０と、保持部３０から延びる軸部４０と、軸部４０を支持する支持部５０と、軸部４０を付勢する付勢部材６０と、把持部２０を駆動する駆動部７０と、支持部５０を移動する移動機構８０と、を備える。また、把持装置１０は、軸部４０の軸方向の変位を検出する変位センサ９０と、把持装置１０の構成部品の作動を制御する制御部１００と、を備える。以降の説明では、把持装置１０において、把持部２０と保持部３０と軸部４０と支持部５０と付勢部材６０とを合わせて「把持ユニット１１」ともいう。

図２に示すように、把持部２０は、外力の作用により往復動作する弾性壁２１と、弾性壁２１から延びる複数のアーム２２と、弾性壁２１の周囲から複数のアーム２２とは異なる方向に延びる筒状の周壁２３と、保持部３０に係合する係合凸部２４と、を有する。把持部２０には、弾性壁２１及び周壁２３によって囲われる内部空間２５が形成される。

弾性壁２１は、略円板状をなしている。弾性壁２１は、内部空間２５の圧力変化に応じて往復動作する。詳しくは、弾性壁２１は、内部空間２５の圧力が内部空間２５と弾性壁２１を介して区画される外部空間の圧力よりも低くなるとき、内部空間２５の容積を減少させる方向に変位する。一方、弾性壁２１は、内部空間２５の圧力が外部空間の圧力と同等となるとき、内部空間２５の容積を増大させる方向に変位する。外部空間の圧力は、例えば、大気圧である。なお、弾性壁２１は、円滑な往復動作を可能とするために、中央部及び周縁部の間に他の部位よりも厚さの薄い節となる部分を有することが好ましい。

複数のアーム２２は、弾性壁２１の周囲から弾性壁２１の径方向における外方に延びる。複数のアーム２２は、弾性壁２１の周方向に等間隔に配置され、弾性壁２１から放射状に延びる。アーム２２は、湾曲した形状を有し、先端が先細りした爪状をなしている。そして、把持部２０は、図２に示すように、弾性壁２１が突出する位置に配置される状態では、複数のアーム２２の先端同士が互いに離れた「開位置」に位置する。一方、把持部２０は、図２に示す状態とは異なり、弾性壁２１が後退する位置に配置される状態では、複数のアーム２２の先端同士が互いに近付いた「閉位置」に位置する。こうして、複数のアーム２２は、弾性壁２１の往復動作に応じて開閉動作する。開位置は、把持部２０にとって、ワークＷを離す位置であり、閉位置は、把持部２０にとって、ワークＷを掴む位置である。

周壁２３は、弾性壁２１から軸方向に沿うように延びる。周壁２３は、複数のアーム２２が円滑に開閉動作できるように、弾性壁２１に接続する基端の厚さが、他の部分に比較して薄くなることが好ましい。周壁２３の先端には、複数の係合凸部２４が、周壁２３の周方向に等間隔に形成される。係合凸部２４は、軸方向と交差する方向に周壁２３から突出する。

把持部２０は、金属材料に比較して大きな弾性変形が可能なゴム及び樹脂などのエラストマーで一体に形成される。つまり、把持部２０は、アンダーカット形状を有していても、スライドコアを用いない通常の金型で形成することが可能となる。

図２に示すように、保持部３０は、把持部２０の開口を覆うキャップ３１と、キャップ３１の中央部から延びる流路形成部３２と、キャップ３１から延びる鍔部３３と、を有する。

キャップ３１は、円筒状をなす側壁３４と、円板状をなす上壁３５と、を有する。キャップ３１は、把持部２０の開口を覆うことのできる形状を有していればよい。流路形成部３２には、軸方向に延びる第１流路３６が形成される。鍔部３３は、キャップ３１の側壁３４からキャップ３１の径方向に延びた後、キャップ３１の上壁３５から遠ざかる方向に延びる。こうして、キャップ３１の側壁３４と鍔部３３との間には、把持部２０の周壁２３の先端を収容する収容空間３７が形成される。収容空間３７は、環状をなす空間である。また、鍔部３３には、複数の係合凹部３８が、鍔部３３の周方向に等間隔に形成される。係合凹部３８は、収容空間３７に接続する。保持部３０は、例えば、樹脂材料の射出成形により一体に成形される。

図２に示すように、把持部２０を保持部３０に装着する場合には、保持部３０の収容空間３７に把持部２０の周壁２３が挿入される。すると、把持部２０の係合凸部２４が保持部３０の係合凹部３８に係合する。こうして、把持部２０が保持部３０に装着される。また、把持部２０が保持部３０に装着される状態では、把持部２０の内部空間２５は、第１流路３６を除き、閉じた空間となる。

図３に示すように、軸部４０は、棒状をなす軸部本体４１と、軸部本体４１の第２端寄りの位置に設けられる「突出部」の一例としての第１突出部４２と、軸部本体４１の長手方向における中間部に設けられる第２突出部４３と、を有する。

軸部本体４１は、軸方向に第２流路４４が貫通形成される。軸部本体４１の第１端は保持部３０の流路形成部３２に接続され、第２流路４４の第１端は第１流路３６に接続される。第１突出部４２及び第２突出部４３はフランジ状をなす。第１突出部４２及び第２突出部４３の外径は、軸部本体４１の外径よりも大きい。第１突出部４２は、支持部５０との係合部位となり、第２突出部４３は、付勢部材６０の台座となる。第１突出部４２及び第２突出部４３の一方は、軸部本体４１と一体に形成してもよい。

支持部５０は、略直方体状をなす。支持部５０の基端は、移動機構８０に連結される。支持部５０の先端には、摺動孔５１が貫通形成される。摺動孔５１の内径は、軸部本体４１の外径よりも僅かに大きく、第１突出部４２及び第２突出部４３の外径よりも小さい。つまり、摺動孔５１は、軸部本体４１と摺動可能な内径を有する。

支持部５０の摺動孔５１には、軸部４０の軸部本体４１が挿入される。また、支持部５０の上面には、軸部４０の第１突出部４２が接触する。こうして、支持部５０は、軸部４０の第１突出部４２を鉛直下方から支持することで、軸部４０を支持する。図１に示すように、支持部５０が軸部４０を支持する状態では、軸部４０の軸方向が鉛直方向を向くことで、把持部２０がワークＷを向く。

付勢部材６０は、支持部５０の下面と軸部４０の第２突出部４３との間に圧縮した状態で配置される。つまり、付勢部材６０は、軸部４０の第１突出部４２が支持部５０の上面に押し付けられるように、軸部４０と支持部５０との両者を付勢する。付勢部材６０は、コイルばねで構成される。付勢部材６０は、ゴム及び樹脂などのエラストマーによって構成してもよい。

図１に示すように、駆動部７０は、減圧機構７１と、軸部本体４１の第２流路４４と減圧機構７１とを接続する接続流路７２と、接続流路７２の途中に設けられる切換弁７３と、を有する。減圧機構７１は、吸引ポンプなどで構成すればよい。減圧機構７１は、把持部２０の内部空間２５から空気を吸引し、内部空間２５を減圧する。切換弁７３は、減圧機構７１及び接続流路７２を接続する減圧状態と、接続流路７２を外部空間（大気）に接続する開放状態と、を切り替える。つまり、切換弁７３が減圧状態に切り替わると、内部空間２５の圧力が外気圧未満となり、弾性壁２１が内部空間２５の容積を減少させる方向に変位する。一方、切換弁７３が開放状態に切り替わると、内部空間２５の圧力が外気圧と同等となり、弾性壁２１が内部空間２５の容積を増大させる方向に変位する。こうして、駆動部７０は、把持部２０を閉位置及び開位置の間で変位させる。

図１に示すように、移動機構８０は、把持ユニット１１を水平方向に移動させる第１移動機構８１と、把持ユニット１１を鉛直方向に移動させる第２移動機構８２と、を備える。

第１移動機構８１は、鉛直方向に延びる支柱８１１と、水平方向に延びる第１レール８１２と、第１レール８１２に沿って移動する第１移動体８１３と、第１移動体８１３を移動させる第１駆動源８１４と、を有する。第２移動機構８２は、鉛直方向に延びる第２レール８２１と、第２レール８２１に沿って移動する第２移動体８２２と、第２移動体８２２を移動させる第２駆動源８２３と、を有する。

第１移動機構８１の第１レール８１２は、支柱８１１の上端に固定される。第１移動機構８１の第１移動体８１３には、第２移動機構８２の第２レール８２１が固定され、第２移動機構８２の第２移動体８２２には、支持部５０の基端が固定される。第１駆動源８１４及び第２駆動源８２３は、空気圧及び油圧を利用した流体圧シリンダとしてもよいし、モータを有する電動アクチュエータとしてもよい。こうして、第１移動機構８１は、第２移動機構８２を水平方向に移動させることで、把持ユニット１１を水平方向に移動させる。また、第２移動機構８２は、把持ユニット１１を鉛直方向に移動させる。

以降の説明では、軸部４０の軸方向において、把持ユニット１１がワークＷに接近する方向を「第１方向」とも言い、把持ユニット１１がワークＷから遠ざかる方向を「第２方向」ともいう。本実施形態では、第１方向が鉛直下方であり、第２方向が鉛直上方である。

変位センサ９０は、支持部５０の上面に配置される。変位センサ９０は、軸部４０の軸方向における変位を検出する。詳しくは、変位センサ９０は、支持部５０に対する軸部４０の第１突出部４２の鉛直上方への変位量を検出する。変位センサ９０は、第１突出部４２が支持部５０に接触している場合と第１突出部４２が支持部５０から離れている場合とで、出力する信号のオンオフ状態が変化するスイッチとしてもよい。また、変位センサ９０は、透過型又は反射型の光電センサとしてもよいし、他のセンサとしてもよい。変位センサ９０は、軸部４０の変位量に応じた検出信号を制御部１００に出力する。

制御部１００は、第１駆動源８１４及び第２駆動源８２３の作動を制御することで、把持ユニット１１を水平方向及び鉛直方向に移動させる。また、制御部１００は、駆動部７０の作動を制御することで、把持部２０を閉位置及び開位置の間で変位させる。詳しくは、制御部１００は、把持ユニット１１を下降する際に、把持部２０がワークＷに接触したタイミングで把持部２０を開位置から閉位置に変位させる。本実施形態では、把持ユニット１１の下降中に把持部２０がワークＷに接触すると、把持ユニット１１の支持部５０を除く部分が支持部５０に対して相対的に上昇する。言い換えれば、支持部５０が下降を継続するのに対して、把持ユニット１１の支持部５０を除く部分が下降しなくなる。このため、制御部１００は、支持部５０に対して軸部４０が相対的に上昇することを変位センサ９０が検出したときに、把持部２０がワークＷに接触したと判定する。

次に、図４に示すフローチャートを参照して、ワークＷを搬送するために制御部１００が実行する処理の流れについて説明する。なお、本処理は、ワークＷが載置される載置台２００の鉛直上方にワークＷが位置する状況で実行される処理である。

図４に示すように、制御部１００は、把持ユニット１１をワークＷに向けて下降させる（ステップＳ１１）。続いて、制御部１００は、変位センサ９０の検出結果に基づいて、把持ユニット１１の下降中に軸部４０が支持部５０に対して相対的に上昇したか否かを判定する（ステップＳ１２）。

軸部４０が支持部５０に対して相対的に上昇しない場合（ステップＳ１２：ＮＯ）、制御部１００は、ステップＳ１１に移行する。この場合には、把持ユニット１１の下降が継続される。一方、軸部４０が支持部５０に対して相対的に上昇する場合（ステップＳ１２：ＹＥＳ）、言い換えれば、把持部２０がワークＷを押し始める場合、制御部１００は、把持ユニット１１の下降を停止させる（ステップＳ１３）。続いて、制御部１００は、把持部２０の内部空間２５を減圧させ、把持部２０にワークＷを把持させる（ステップＳ１４）。

把持部２０が閉位置に変位すると、制御部１００は、把持部２０の内部空間２５を減圧したまま、把持ユニット１１を上昇させる（ステップＳ１５）。その後、制御部１００は、把持ユニット１１を水平方向に移動させる（ステップＳ１６）。そして、制御部１００は、把持部２０の内部空間２５を外気に応じた圧力とし、把持部２０にワークＷを解放させる（ステップＳ１７）。その後、制御部１００は、本処理を一旦終了する。

本実施形態の作用について説明する。
図５～図７を参照して、把持部２０が鉛直下方に位置するワークＷを把持するまでの把持装置１０の作用について詳しく説明する。

図５に示すように、把持部２０がワークＷに向かって下降する状況では、把持ユニット１１が一体となって下降する。つまり、把持ユニット１１の支持部５０及び把持ユニット１１の把持部２０と保持部３０と軸部４０と付勢部材６０が同じ下降速度でワークＷに向かって下降する。その後、把持ユニット１１が下降し続けると、やがて、把持部２０がワークＷに接触する。

図６に示すように、把持部２０がワークＷに接触した後も、把持ユニット１１が下降し続けると、把持部２０がワークＷを押し始める。言い換えれば、ワークＷが把持部２０を押し返し始める。ここで、ワークＷが把持ユニット１１を押し返す力が、支持部５０を除く把持ユニット１１の重量、軸部４０と支持部５０との摩擦力及び付勢部材６０の弾性力などを足し合わせた力を上回ると、支持部５０が下降を継続する一方で、把持部２０と保持部３０と軸部４０とが下降しなくなる。言い換えれば、把持ユニット１１の支持部５０を除く部分が支持部５０に対して相対的に上昇する。すると、軸部４０の第１突出部４２が支持部５０の上面から離れることで、支持部５０と軸部４０の第１突出部４２との間に隙間ＧＰが生じる。本実施形態では、この隙間ＧＰの発生をトリガとして、把持ユニット１１の下降が停止されるとともに、把持部２０が開位置から閉位置に変位する。

そして、図７に示すように、把持部２０が開位置から閉位置に変位すると、把持部２０がワークＷを把持する。ワークＷを把持する際、把持部２０の複数のアーム２２は、ワークＷの形状に合わせて弾性変形する。このため、把持部２０は、ワークＷの姿勢に関わらず、ワークＷを精度良く把持する。

本実施形態の効果について説明する。
（１）把持装置１０において、把持部２０がワークＷに接触した後も把持ユニット１１を下降させる場合、軸部４０が支持部５０と摺動することにより、把持ユニット１１の支持部５０を除く部分が支持部５０に対して相対的に上昇する。このため、把持装置１０は、把持部２０がワークＷに接触した後も把持ユニット１１を下降させる場合であっても、把持部２０がワークＷを押し続けることを抑制できる。その結果、把持装置１０は、把持部２０に大きな負荷が作用したり、ワークＷに大きな負荷が作用したりすることを抑制できる。

（２）把持装置１０は、変位センサ９０の検出結果に基づいて、把持ユニット１１の支持部５０を除く部分が支持部５０に対して相対的に変位するときに、把持部２０を開位置から閉位置に変位させる。このため、把持装置１０は、把持部２０を開位置から閉位置に変位させるタイミングを適切なタイミングにできる。言い換えれば、把持装置１０は、把持部２０がワークＷを把持し損なうおそれを低減できる。

（３）把持装置１０は、軸部４０の第１突出部４２が支持部５０の上面から離れるか否かを検出する変位センサ９０の検出結果に基づいて、把持部２０を開位置から閉位置に変位できる。言い換えれば、変位センサ９０を第１突出部４２が支持部５０の上面に接触しているか離れているかを検出できる単純な構成のセンサとしても、把持装置１０が正しく機能する。

（４）把持装置１０は、付勢部材６０の反力により、把持ユニット１１を下降させる際に、把持ユニット１１の支持部５０を除く部分が支持部５０に対して相対的に動くことを抑制できる。例えば、把持装置１０は、把持ユニット１１を下降させる際の振動等で、把持ユニット１１の支持部５０を除く部分が支持部５０に対して相対的に上昇することで、把持部２０を開位置から閉位置に変位させることを抑制できる。

本実施形態は、以下のように変更して実施することができる。本実施形態及び以下の変更例は、技術的に矛盾しない範囲で互いに組み合わせて実施することができる。
・把持装置１０は、付勢部材６０を備えなくてもよい。この場合、把持ユニット１１の下降中であって且つ把持部２０がワークＷに接触する前に、軸部４０が支持部５０に対して相対的に変位することを抑制するために、軸部４０の軸部本体４１の外径及び支持部５０の摺動孔５１の内径は、精度良く管理されることが好ましい。

・把持装置１０の支持部５０は、軸部４０の軸方向が鉛直方向と交差する方向となるように、軸部４０を支持してもよい。例えば、把持装置１０の支持部５０は、軸部４０の軸方向が水平方向となるように、軸部４０を支持してもよい。この場合でも、把持装置１０は、把持ユニット１１をワークＷに向けて水平方向に接近させる場合において、上記実施形態の効果を得ることができる。

・把持装置１０は、支持部５０に対する軸部４０の変位量が所定の閾値以上となる場合に、把持部２０を開位置から閉位置に変位させてもよい。この場合、変位センサ９０は、支持部５０に対する軸部４０の変位量を検出可能なセンサであるとする。

・把持部２０の形状及び材質は、把持部２０が把持するワークＷに応じて適宜に変更すればよい。
・把持部２０は、複数のアクチュエータにより作動するロボットハンドとしてもよい。

・把持部２０は、複数のアーム２２のうちの一部のアームを駆動部７０で可動させることのできる可動アームとする一方、その他のアームを駆動部７０で駆動できない固定アームとしてもよい。

・支持部５０は、鉛直方向に延びるレールを有してもよい。この場合、軸部４０は、支持部５０のレールと摺動する移動体を有してもよい。つまり、支持部５０は、レールを介して軸部４０を摺動可能に支持してもよい。

・支持部５０の摺動孔５１に、軸部４０の軸部本体４１との摺動を許容する滑り軸受を設けてもよい。この構成によれば、軸部本体４１の外径との関係で、摺動孔５１の内径を精度良く管理しなくてもよくなる。

・移動機構８０は、垂直多関節ロボット又は水平多関節ロボットなどで構成してもよい。

Ｗ…ワーク、１０…把持装置、１１…把持ユニット、２０…把持部、２１…弾性壁、２２…アーム、２３…周壁、２４…係合凸部、２５…内部空間、３０…保持部、３１…キャップ、３２…流路形成部、３３…鍔部、３４…側壁、３５…上壁、３６…第１流路、３７…収容空間、３８…係合凹部、４０…軸部、４１…軸部本体、４２…第１突出部、４３…第２突出部、４４…第２流路、５０…支持部、５１…摺動孔、６０…付勢部材、７０…駆動部、７１…減圧機構、７２…接続流路、７３…切換弁、８０…移動機構、８１…第１移動機構、８１１…支柱、８１２…第１レール、８１３…第１移動体、８１４…第１駆動源、８２…第２移動機構、８２１…第２レール、８２２…第２移動体、８２３…第２駆動源、９０…変位センサ、１００…制御部、２００…載置台。

Claims

ワークを掴む閉位置及び前記ワークを離す開位置の間で変位する把持部と、
前記把持部を保持する保持部と、
前記保持部から延びる軸部と、
前記把持部が前記ワークを向くように前記軸部を支持する支持部と、
前記把持部を前記閉位置及び前記開位置の間で変位させる駆動部と、
前記支持部を前記軸部の軸方向に移動する移動機構と、を備え、
前記把持部は、外力の作用により往復動作する弾性壁を有し、前記弾性壁は、前記把持部の内部空間の圧力変化に応じて往復動作するものであって、
前記軸部は、軸方向に貫通形成される第２流路を有し、
前記保持部は、前記軸部の前記第２流路に接続される第１流路を有し、
前記駆動部は、減圧機構と、前記減圧機構と前記第２流路とを接続する接続流路と、を有し、
前記第１流路、前記第２流路、前記接続流路は連通しており、前記駆動部は、前記把持部の前記内部空間の圧力を変化させるものであって、
前記支持部は、前記軸部に荷重が前記軸方向に作用するとき、前記軸部が前記支持部に対して摺動できるように前記軸部を支持する
把持装置。
前記軸部の前記軸方向における変位を検出する変位センサと、
前記変位センサの検出結果に基づいて、前記駆動部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記軸部が前記支持部に対して摺動するときに、前記把持部を前記開位置から前記閉位置に変位させる
請求項１に記載の把持装置。
前記軸部は、前記支持部と摺動可能な軸部本体と、前記軸部本体から前記軸方向と交差する方向に延びる突出部と、を有し、
前記支持部は、前記軸方向が鉛直方向となるように、前記突出部を鉛直下方から支持し、
前記変位センサは、前記突出部の前記支持部に対する変位を検出するものであり、
前記制御部は、前記把持部が前記ワークに接近するように前記支持部を下降させる際に、前記突出部が前記支持部に対して相対的に上昇する場合に、前記把持部を前記開位置から前記閉位置に変位させる
請求項２に記載の把持装置。
前記突出部を前記支持部に押し付けるように、前記軸部を付勢する付勢部材を備える
請求項３に記載の把持装置。