JP7304589B2 - Pcb多層板に応用した非接触式上下層銅厚の測量方法 - Google Patents
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Description
失量から金属薄膜の厚さを推算する方法がある。上述の測量方法は、金属薄膜の厚さを推算するために、完全な理論模型及び比較データベースを確立する必要がある。したがって、如何に多層薄膜構造について、より速やかに且つ正確に測量を行う方法を設計するかが本分野における、現在の重要な課題である。
421から該第三辺515までの距離は同じであり、該第二、第四輻射部532、534の片側及び該第二隔壁542の第四短辺5422から該第四辺516までの距離は同じであり、該第一隔壁541の第一短辺5411から該第一辺513までの距離は該第一、第二輻射部531、532の片側から該第一辺513までの距離より大きい。
11 上層
12 下層
13 絶縁層
14 粘着層
2 第一検出ユニット
3 第二検出ユニット
5 マイクロストリップアンテナ
51 基板
511 第一面
512 第二面
513 第一辺
514 第二辺
515 第三辺
516 第四辺
52 金属グラウンド層
53 輻射体
531 第一輻射部
532 第二輻射部
533 第三輻射部
534 第四輻射部
54 マイクロストリップライン
541 第一隔壁
5411 第一短辺
5412 第二短辺
542 第二隔壁
5421 第三短辺
5422 第四短辺
543 輻射区
55 送込み部
551 接続端
552 送込み端
6 処理ユニット
91~94 ステップ
Claims (5)
- PCB多層板の上面または下面の銅層の膜厚を取得するために、前記銅層に接近して配置され、信号を送り込まれて前記銅層に向けて交番磁界を発生し、前記交番磁界により渦電流が生じた前記銅層のインピーダンスを測定するために用いられるマイクロストリップアンテナであって、
第一面及び反対になる第二面を有する基板、該基板の第二面に設けられた金属グラウンド層、前記基板の第一面に設けられた層状の輻射体、前記基板の第一面に設けられたマイクロストリップライン、及び、送込み部を備え、
前記輻射体は、前記第一面における形状がそれぞれ矩形の、第一輻射部、第二輻射部、第三輻射部及び第四輻射部を有し、
前記マイクロストリップラインは、第一隔壁及び該第一隔壁と垂直に交わって接続する第二隔壁を有する十字形であり、
前記送込み部は、前記金属グラウンド層に接続された接続端と、前記第一面に位置し、前記マイクロストリップラインに接続された送込み端を有し、
前記基板は、第一辺、該第一辺と対向して設けられた第二辺、該第一辺と第二辺との間に位置した第三辺、及び該第三辺と対向して設けられた第四辺を有し、
前記マイクロストリップラインの第一隔壁は、第一短辺及び前記第一短辺に対向した第二短辺を有し、前記第二隔壁は、第三短辺及び前記第三短辺に対向した第四短辺を有し、
前記第一短辺は、前記第一辺に接続しないが、前記第二短辺は前記第二辺に接続され、
十字形の前記第一および第二隔壁は、前記基板の第一面に四つの輻射区を規定し、矩形の前記第一、第二、第三および第四輻射部は、前記四つの輻射区の中にそれぞれ配置され、
十字形の前記第一および第二隔壁と、矩形の前記第一、第二、第三および第四輻射部との間には、間隙が設けられている
ことを特徴とするマイクロストリップアンテナ。 - マイクロストリップアンテナのビーム幅Xは61度であることを特徴とする、請求項1に記載のマイクロストリップアンテナ。
- 前記第一および第三輻射部から前記第三辺までの距離と、前記第二隔壁の前記第三短辺から前記第三辺までの距離は、同じであり、
前記第二および第四輻射部から前記第四辺までの距離と、前記第二隔壁の第四短辺から前記第四辺までの距離は同じであり、
前記第一隔壁の第一短辺から該第一辺までの距離は、前記第一および第二輻射部から前記第一辺までの距離より大きい、請求項1に記載のマイクロストリップアンテナ。 - 前記第一および第三輻射部から前記第三辺までの距離、前記第三短辺から前記第三辺までの距離、前記第二および第四輻射部から前記第四辺までの距離、および、前記第四短辺から前記第四辺までの距離はいずれも、前記第一および第二輻射部から前記第一辺までの距離、ならびに、前記第三および第四輻射部から前記第二辺までの距離より大きい、請求項3に記載のマイクロストリップアンテナ。
- 前記マイクロストリップアンテナの電界放射周波数は1MHz~2.5GHzである、請求項1に記載のマイクロストリップアンテナ。
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