JP7303060B2 - 真空処理装置 - Google Patents
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- キャリアにセットした被処理基板をその処理面が水平方向を向く垂直姿勢で移送しながら、この被処理基板に対して所定の真空処理を施す真空処理装置において、
水平面内で互いに直交する二方向をX軸方向及びY軸方向、X軸方向及びY軸方向に直交する鉛直方向をZ軸方向とし、被処理基板の処理面をZ軸方向に向けた水平姿勢で被処理基板が搬出入される第1及び第2の各ロードロックチャンバと、
第1及び第2の各ロードロックチャンバのY軸方向一方にゲートバルブを介して夫々連設され、真空搬送ロボットが配置される第1及び第2の各搬送チャンバと、
第1及び第2の各搬送チャンバのY軸方向一方に連設され、キャリアが設置されて水平姿勢と垂直姿勢との間で被処理基板がセットされたキャリアの姿勢変更を可能とする姿勢変更手段を有する姿勢変更チャンバと、
姿勢変更チャンバのX軸方向一方に連設され、キャリアにセットされた垂直姿勢の被処理基板の処理面に対しその処理範囲を規制するマスクの装着または脱離を可能とするマスク着脱手段を備えるマスク着脱チャンバと、
マスク着脱チャンバのX軸方向一方に連設されて、キャリアにセットされて垂直姿勢で移送される被処理基板に対してマスク越しに所定の真空処理を施す処理手段を有する少なくとも一つの処理チャンバと、を備え、
姿勢変更手段が、X軸方向に並設された、キャリアを保持するX軸回りに回転自在な少なくとも2個の保持ステージを有し、各保持ステージ相互の間でキャリアをX軸方向に移動可能な移動手段が姿勢変更チャンバ内に設けられ、
処理チャンバ内が、X軸方向にのびる仕切壁で処理空間と搬送空間との2室に分離され、姿勢変更チャンバからマスク着脱チャンバを経て処理チャンバの処理空間へと線状にのびて垂直姿勢のキャリアのX軸方向一方への移送を可能とする第1搬送路と、処理チャンバの搬送空間からマスク着脱チャンバを経て姿勢変更チャンバへと線状にのびて垂直姿勢のキャリアのX軸方向他方への移送を可能とする第2搬送路とを更に有し、
マスク着脱チャンバにて処理前の被処理基板の処理面にマスクが装着された状態のキャリアが第1搬送路に沿ってX軸方向一方に移送されて被処理基板の処理面に対してマスク越しに所定の真空処理が施され、その後に第1搬送路のキャリアが第2搬送路へと受け渡されて第2搬送路に沿ってX軸方向他方に移送され、マスク着脱チャンバにて成膜済み被処理基板からマスクを取り外し、この取り外したマスクを処理前の被処理基板に再度装着するように構成したことを特徴とする真空処理装置。 - X軸方向最下流側に位置する前記処理チャンバに連設されるレーンチェンジチャンバを更に備え、レーンチェンジチャンバ内に、前記第1搬送路を移送されてきたキャリアを受け取り、被処理基板の姿勢を維持した状態でキャリアを前記第2搬送路に受け渡すレーンチェンジ手段を設けたことを特徴とする請求項1記載の真空処理装置。
Priority Applications (1)
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JP2019144898A JP7303060B2 (ja) | 2019-08-06 | 2019-08-06 | 真空処理装置 |
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JP2021025102A JP2021025102A (ja) | 2021-02-22 |
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Citations (2)
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---|---|---|---|---|
JP2018532888A (ja) | 2015-10-25 | 2018-11-08 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 基板上の真空堆積のための装置及びシステム、並びに基板上の真空堆積のための方法 |
JP2020502778A (ja) | 2016-12-14 | 2020-01-23 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 堆積システム |
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