JP7302832B2 - レーザーダイオード - Google Patents
レーザーダイオード Download PDFInfo
- Publication number
- JP7302832B2 JP7302832B2 JP2021548466A JP2021548466A JP7302832B2 JP 7302832 B2 JP7302832 B2 JP 7302832B2 JP 2021548466 A JP2021548466 A JP 2021548466A JP 2021548466 A JP2021548466 A JP 2021548466A JP 7302832 B2 JP7302832 B2 JP 7302832B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- type
- laser diode
- substrate
- composition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000005253 cladding Methods 0.000 claims description 80
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 62
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 60
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 17
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 17
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 17
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 12
- 238000000034 method Methods 0.000 description 62
- 239000010408 film Substances 0.000 description 23
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 20
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 20
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 16
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 11
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 11
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N trimethylaluminium Chemical compound C[Al](C)C JLTRXTDYQLMHGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N trimethylgallium Chemical compound C[Ga](C)C XCZXGTMEAKBVPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 6
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 5
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 4
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 description 3
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000007017 scission Effects 0.000 description 3
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- -1 etc. Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021478 group 5 element Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000069 nitrogen hydride Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 2
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- RGGPNXQUMRMPRA-UHFFFAOYSA-N triethylgallium Chemical compound CC[Ga](CC)CC RGGPNXQUMRMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021098 KOH—NaOH Inorganic materials 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CCNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000001739 density measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- QZQVBEXLDFYHSR-UHFFFAOYSA-N gallium(III) oxide Inorganic materials O=[Ga]O[Ga]=O QZQVBEXLDFYHSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004820 halides Chemical class 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004949 mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000002040 relaxant effect Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000000927 vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 1
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc oxide Inorganic materials [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/34—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/32—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures
- H01S5/3201—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures incorporating bulkstrain effects, e.g. strain compensation, strain related to polarisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/0206—Substrates, e.g. growth, shape, material, removal or bonding
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/026—Monolithically integrated components, e.g. waveguides, monitoring photo-detectors, drivers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/04—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping, e.g. by electron beams
- H01S5/042—Electrical excitation ; Circuits therefor
- H01S5/0421—Electrical excitation ; Circuits therefor characterised by the semiconducting contacting layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S2304/00—Special growth methods for semiconductor lasers
- H01S2304/04—MOCVD or MOVPE
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S2304/00—Special growth methods for semiconductor lasers
- H01S2304/12—Pendeo epitaxial lateral overgrowth [ELOG], e.g. for growing GaN based blue laser diodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/0014—Measuring characteristics or properties thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/02—Structural details or components not essential to laser action
- H01S5/0201—Separation of the wafer into individual elements, e.g. by dicing, cleaving, etching or directly during growth
- H01S5/0202—Cleaving
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/10—Construction or shape of the optical resonator, e.g. extended or external cavity, coupled cavities, bent-guide, varying width, thickness or composition of the active region
- H01S5/1039—Details on the cavity length
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/2004—Confining in the direction perpendicular to the layer structure
- H01S5/2018—Optical confinement, e.g. absorbing-, reflecting- or waveguide-layers
- H01S5/2031—Optical confinement, e.g. absorbing-, reflecting- or waveguide-layers characterized by special waveguide layers, e.g. asymmetric waveguide layers or defined bandgap discontinuities
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/2054—Methods of obtaining the confinement
- H01S5/2059—Methods of obtaining the confinement by means of particular conductivity zones, e.g. obtained by particle bombardment or diffusion
- H01S5/2068—Methods of obtaining the confinement by means of particular conductivity zones, e.g. obtained by particle bombardment or diffusion obtained by radiation treatment or annealing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/305—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region characterised by the doping materials used in the laser structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/305—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region characterised by the doping materials used in the laser structure
- H01S5/3054—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region characterised by the doping materials used in the laser structure p-doping
- H01S5/3063—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region characterised by the doping materials used in the laser structure p-doping using Mg
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/32—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures
- H01S5/3211—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures characterised by special cladding layers, e.g. details on band-discontinuities
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/34—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers
- H01S5/343—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser
- H01S5/34333—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser with a well layer based on Ga(In)N or Ga(In)P, e.g. blue laser
Description
図1に示すように、本実施形態のレーザーダイオード1は、基板11と、n型クラッド層12と、n型導波路層13と、発光層14と、p型導波路層15と、p型クラッド層20と、p型コンタクト層18と、を備える。p型クラッド層20は、p型縦伝導層16と、p型横伝導層17と、を備える。レーザーダイオード1は、正孔を発光層14へ注入させるため、Al組成sが、基板11の上面から遠ざかるにつれて減少する様に傾斜させたAlsGa1-sNから成るp型縦伝導層16と、p型縦伝導層16との隣接面において、AltGa1-tN(t>sの最小値)から成るp型横伝導層17から構成されるp型クラッド層20を備える。ここで、sの最小値とは、組成傾斜を有するAlsGa1-sN(0.3≦s≦1)から成るp型縦伝導層16がとり得るsのうち最小の値をいう。基板11から遠ざかるにつれてAl組成sが減少する様に傾斜させたAlsGa1-sから成るp型縦伝導層16は、p型の伝導性を獲得し得る。Al組成sの傾斜は、基板11の上面方向(すなわち垂直方向)の内部電界を生じさせるため、単一のAl組成sから成るAlsGa1-s混晶より縦伝導率に優れており、レーザーダイオード1に適している。一方で、Al組成を傾斜させた層における横抵抗率は縦抵抗率と比較して大幅に高いため、縦横抵抗率の比が大きくなる傾向にある。ここで、基板11の上面とは、基板11に積層される層のうち直上の層(図1の例ではn型クラッド層12)との界面を意味する。
基板11は、Al及びGaを含む窒化物半導体を、低い面内転位密度を有する基板11の上面に成長できるものが好ましい。本発明の効果を最大化できる実施形態の一つは、レーザーダイオード1の様々な層において、面内転位密度が5×104cm-2以下の良質な層である。特に面内転位密度が5×104cm-2以下の結晶では、転位によるキャリア散乱が軽減されることで、縦抵抗率が減少する結果、さらに縦横抵抗率の比が小さくなる傾向にある。したがって基板11は上記の欠陥密度よりさらに低い欠陥密度(例えば1×103~1×104cm2)が求められる。様々な基板11のうち、例えば、AlN単結晶の基板11上には1×104cm-2以下の欠陥密度を有するAlxGa1-xN混晶を得ることができるため好ましいが、この限りではない。基板11の貫通転位密度は、例えば、450℃で5分間KOH-NaOH共晶エッチングを行った後にエッチピット密度測定を用いて測定され得る。
p型クラッド層20は、p型の導電性を有する窒化物半導体層を含む。p型クラッド層20は、基板11に対して完全歪であることが好ましい。完全歪で形成されるレーザーダイオード1の層は貫通転位密度の増加を抑制することができるため、本発明の効果を最大化する。ここで、「基板11に対して完全歪」という文言は、多層膜を構成する層が基板11に対して格子緩和率が5%以下の非常に小さな歪み緩和を有することを意味する。格子緩和率は、非対称面のX線回折測定によって十分な回折強度が得られる面、例えば(105)面、(114)面又は(205)面などのいずれかの非対称面の回折ピークの逆格子座標と、基板11の回折ピークの逆格子座標から規定することができる。
p型縦伝導層16は、p型の伝導性を得る目的で、Al組成sが基板11の上面から遠ざかる方向へ減少する様に傾斜したAlsGa1-sNから成る層である。p型縦伝導層16の膜厚とAl組成s範囲は、所望する発光波長の光を吸収しないバンドギャップの材料であって、デバイス内で定在する光モードの電界強度分布と発光層14の重なりを増大させる(すなわち光閉じ込めを増大させる)目的でAl組成、膜厚が限定されることがある。発光層14の発光波長が210nm以上300nm以下の場合、例えばAl組成sが0.3以上1.0以下の範囲において、基板11の上面から遠ざかる方向に減少したAlsGa1-sNから成る層であって、膜厚が250nm以上450nm以下、より好ましくは300nm以上400nm以下であることが好ましい。適切に膜厚を制御することで、レーザーダイオード1の内部損失を低減することができる。
p型横伝導層17は、p型横伝導層17を貫通するキャリアの量子透過を容易とするように薄い膜厚であり得る。例えば20nm以下、又は10nm以下、好ましくは5nm以下である。
n型クラッド層12は、n型の導電性を有する窒化物半導体層を含む。n型クラッド層12は、基板11に対して完全歪で形成されることが好ましい、またn型クラッド層12が基板11に対して完全歪で形成する目的で、n型クラッド層12と基板11の界面にAl組成が一様に変化する中間層が存在し得、また、n型クラッド層12のAl組成と膜厚が制約を受けることがある。n型クラッド層12は、適切な電極に対して低い接触抵抗(例えば1×10-6~1×10-3Ωcm2、好ましくは1×10-6~1×10-4Ωcm2)を得る目的でAl組成が制限を受けることがある。上記の制限を鑑みたn型クラッド層12の実施形態として、Al組成が0.6~0.8、厚みが0.3~0.5μmであってよい。
導波路層は、所望する発光波長の光を吸収しないバンドギャップを持つAl、Gaを含む窒化物半導体であって、デバイス内で定在する光の電界強度分布と発光層14の重なりを増大させる目的でAl組成、膜厚が限定され得る。例えば260nm~280nmの発光層14に対してAl組成0.55~0.65、膜厚70~150nmなどが好ましい。
発光層14は、n型導波路層13とp型導波路層15によって挟まれた単数又は複数の量子井戸であり得る。量子井戸の数は、n型クラッドとp型クラッドの縦伝導率によって、3又は2、又は1であり得る。
p型コンタクト層18は、p型クラッド層20上に形成され、GaNを含む窒化物半導体であってよい。コンタクト抵抗を低減するなどの目的において、Nの他に,P,As,Sb等のN以外のV族元素,H,B,C,O,F,Mg,Ge,Si等の不純物が混入していて良いが,元素としてはこの限りではない。例えばMgを1×1020~1×1022cm-3混入させることができる。
p型コンタクト層18上に配置された電極層は、Ni,Pt、Au、B、Pdのうち一つ以上の元素を含む金属であって良い。
実施例1として、以下に示す窒化物半導体レーザーダイオード1が作製された。レーザーダイオード1の作製にはMOCVD、また、原料には、トリメチルガリウム(TMG)、トリエチルガリウム(TEG)、トリメチルアルミニウム(TMA)、アンモニア(NH3)、シラン(SiH4)、ビスシクロペンタジエニルマグネシウム(Cp2Mg)などが用いられた。単結晶AlN基板11の[0001]面に対して0.1°~0.3°傾斜した面上に、TMA、NH3を1200℃のH2雰囲気中で反応させることによって、0.2μmのAlNから成るホモエピ層が形成された。
実施例1の手順において、p型縦伝導層16の膜厚を0.21μmとする以外は、同様の手順でレーザーダイオード1が作製された。
実施例1の手順において、p型縦伝導層16の膜厚を0.25μmとする以外は、同様の手順でレーザーダイオード1が作製された。
実施例1の手順において、p型縦伝導層16の膜厚を0.45μmとする以外は、同様の手順でレーザーダイオード1を作製した。
実施例1の手順において、以下に示すp型横伝導層17の作製手順以外は同様の手順でレーザーダイオード1を作製する。
実施例1の手順において、p型横伝導層17におけるMg濃度を1×1016cm-3とする以外は、同様の手順でレーザーダイオード1を作製する。
実施例1において、p型縦伝導層16を膜厚0.32μmのAl0.7Ga0.3N(組成傾斜なし)とする以外は、実施例1と同一のレーザーダイオード1を作製する。
実施例1において、p型縦伝導層16を膜厚0.32μmのAl0.7Ga0.3N(組成傾斜なし)とし、さらにp型縦伝導層16の形成に続いて、p型コンタクト層18形成以降の手順を取ることによって、p型横伝導層17を無いレーザーダイオード1を作製する。
実施例1と同様の手順で、p型縦伝導層16までを作製し、続いてp型コンタクト層18形成以降の手順を取ることによって、p型横伝導層17の無いレーザーダイオード1を作製する。
意図的にレーザーダイオード構造を緩和させる目的で、実施例1の手順において、p型縦伝導層16の膜厚を0.8μmとする以外は、同様の手順でレーザーダイオード1を作製する。
実施例1の手順において、p型縦伝導層16の膜厚を0.5μmとする以外は、同様の手順でレーザーダイオード1を作製する。
p型縦伝導層16が0.32μmの膜厚を有し、Al組成が、基板11の上面から遠ざかる方向に1.0から0.1まで減少させるように積層される以外は、実施例1と同様の手順でレーザーダイオード1を作製する。
p型縦伝導層16が0.32μmの膜厚を有し、Al組成が、基板11の上面から遠ざかる方向に1.0から0.2まで減少させるように積層される以外は、実施例1と同様の手順でレーザーダイオード1を作製する。
実施例1-6のレーザーダイオード1は、縦伝導率が0.11以上かつ0.17以下、縦横抵抗率の比が1.5以上かつ2.9以下、内部損失が9cm-1以上かつ20cm-1以下である。比較例1及び2のレーザーダイオード1は、縦伝導率が0.06以上かつ0.07以下、縦横抵抗率の比が11.3以上かつ16.7以下であって、内部損失が31cm-1である。
上記の通り、実施例1-6のレーザーダイオード1は低い内部損失、高い縦伝導率及び低い縦横抵抗率の比を同時に有する。ここで、更に発振との関係性を調べるために、実施例1に対して発光層14が含む量子井戸層の構成と、p型縦伝導層16の構成と、を変更した変形例を用いて発振状態について測定した。以下の変形例の作製では、まず、電極付きのレーザーダイオード1を<11-20>方向に沿って切り出して、長さ400μmのレーザーキャビティを形成した。劈開によって原子的に平坦な(1-100)ファセットを得た後、両側の劈開面にHfO2/SiO2多層膜からなる高反射コーティング(反射率90%以上)を適用した。電気的特性は、室温で0.5ms周期(デューティ0.01%)で50nsのパルス電流注入下で測定された。
変形例1として、発光層14が総膜厚7.5nmの1枚の量子井戸層を備える以外は、実施例1と同じ構成のレーザーダイオード1を作製した。変形例1のレーザーダイオード1は発振し、発振閾値が60kA/cm2であった。
変形例2として、発光層14が総膜厚9nmの1枚の量子井戸層を備える以外は、実施例1と同じ構成のレーザーダイオード1を作製した。変形例2のレーザーダイオード1は発振し、発振閾値が25kA/cm2であった。
変形例3として、発光層14が総膜厚15nmの1枚の量子井戸層を備える以外は、実施例1と同じ構成のレーザーダイオード1を作製した。変形例3のレーザーダイオード1は発振し、発振閾値が9kA/cm2であった。
変形例4として、発光層14が総膜厚9nmの1枚の量子井戸層を備え、p型縦伝導層16のうちp型導波路層15との界面から厚み方向に10nmまでの領域がアンドープの状態である以外は、実施例1と同一のレーザーダイオード1を作製した。ここで、p型縦伝導層16のアンドープの状態でない部分は、1.3×1019cm-3のMgによってドープされている。また、p型縦伝導層16の膜厚は実施例1と同じく0.32μmである。変形例4のレーザーダイオード1は発振し、発振閾値が30kA/cm2であった。
変形例5として、発光層14が総膜厚9nmの1枚の量子井戸層を備え、p型縦伝導層16のうちp型導波路層15との界面から厚み方向に50nmまでの領域がアンドープの状態である以外は、実施例1と同一のレーザーダイオード1を作製した。ここで、p型縦伝導層16のアンドープの状態でない部分は、1.3×1019cm-3のMgによってドープされている。変形例5のレーザーダイオード1は発振し、発振閾値が20kA/cm2であった。
変形例6として、発光層14が総膜厚9nmの1枚の量子井戸層を備え、p型縦伝導層16のうちp型導波路層15との界面から厚み方向に100nmまでの領域がアンドープの状態である以外は、実施例1と同一のレーザーダイオード1を作製した。ここで、p型縦伝導層16のアンドープの状態でない部分は、1.3×1019cm-3のMgによってドープされている。変形例6のレーザーダイオード1は発振し、発振閾値が18kA/cm2であった。
本開示は、以上に記載した実施形態及び変形例に限定されうるものではない。当業者の知識に基づいて各実施形態に設計の変更等を加えることが可能であり、そのような変更等を加えた態様は本開示の範囲に含まれる。
Claims (9)
- AlN単結晶の基板と、
前記基板上に形成され、n型の導電性を有する窒化物半導体層を含むn型クラッド層と、
前記n型クラッド層上に形成され、一つ以上の量子井戸を含む発光層と、
前記発光層上に形成され、p型の導電性を有する窒化物半導体層を含むp型クラッド層と、
前記p型クラッド層上に形成され、GaNを含む窒化物半導体を含むp型コンタクト層と、
を備え、
前記p型クラッド層は、
AlsGa1-sN(0.3≦s≦1)を含み、前記基板から遠ざかるにつれてAl組成sが小さくなる組成傾斜を有し、膜厚を0.5μm未満とするp型縦伝導層と、
AltGa1-tN(0.3<t≦1)を含むp型横伝導層と、を備え、
前記p型横伝導層は、前記p型縦伝導層との隣接面において、前記Al組成tが前記Al組成sの最小値よりも大きい、レーザーダイオード。 - 前記p型クラッド層は、AlsGa1-sN(0.35<s≦1)を含む請求項1に記載のレーザーダイオード。
- 前記p型横伝導層は、膜厚が20nm以下である請求項1又は2に記載のレーザーダイオード。
- 前記n型クラッド層と前記発光層との間に形成されて、前記発光層へ光を閉じ込めるn型導波路層と、
前記p型クラッド層と前記発光層との間に形成されて、前記発光層へ光を閉じ込めるp型導波路層と、を備える、請求項1から3のいずれか一項に記載のレーザーダイオード。 - 前記p型縦伝導層と前記p型導波路層との間に形成されて、AlvGa1-vN(0<v≦1.0)を含み、前記基板から遠ざかるにつれてAl組成vが増加する組成傾斜を有する中間層、を備える、請求項4に記載のレーザーダイオード。
- 前記p型縦伝導層は、前記p型導波路層との界面を含む領域がアンドープである、請求項4又は5に記載のレーザーダイオード。
- 前記発光層の発光波長が210nm以上300nm以下である、請求項1から6のいずれか一項に記載のレーザーダイオード。
- 前記p型縦伝導層の膜厚が250nm以上450nm以下である、請求項1から7のいずれか一項に記載のレーザーダイオード。
- 前記p型縦伝導層及び前記p型横伝導層が前記基板に対して完全歪である、請求項1から8のいずれか一項に記載のレーザーダイオード。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019177788 | 2019-09-27 | ||
JP2019177788 | 2019-09-27 | ||
PCT/JP2020/036467 WO2021060538A1 (ja) | 2019-09-27 | 2020-09-25 | レーザーダイオード |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2021060538A1 JPWO2021060538A1 (ja) | 2021-04-01 |
JP7302832B2 true JP7302832B2 (ja) | 2023-07-04 |
Family
ID=75166254
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2021548466A Active JP7302832B2 (ja) | 2019-09-27 | 2020-09-25 | レーザーダイオード |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220337035A1 (ja) |
JP (1) | JP7302832B2 (ja) |
CN (1) | CN114342194B (ja) |
DE (1) | DE112020004592T5 (ja) |
WO (1) | WO2021060538A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11909172B2 (en) * | 2020-01-08 | 2024-02-20 | Asahi Kasei Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing optical device and optical device |
WO2023163230A1 (ja) * | 2022-02-28 | 2023-08-31 | 旭化成株式会社 | レーザダイオード |
WO2024047917A1 (ja) * | 2022-09-02 | 2024-03-07 | 旭化成株式会社 | レーザダイオード |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015002324A (ja) | 2013-06-18 | 2015-01-05 | 学校法人 名城大学 | 窒化物半導体発光素子 |
JP2018532265A (ja) | 2015-09-17 | 2018-11-01 | クリスタル アイエス, インコーポレーテッドCrystal Is, Inc. | 2次元正孔ガスを組み込んだ紫外線発光デバイス |
US20190103509A1 (en) | 2017-09-30 | 2019-04-04 | Sensor Electronic Technology, Inc. | Semiconductor Heterostructure with P-type Superlattice |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6031858A (en) * | 1996-09-09 | 2000-02-29 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor laser and method of fabricating same |
US8748919B2 (en) * | 2011-04-28 | 2014-06-10 | Palo Alto Research Center Incorporated | Ultraviolet light emitting device incorporating optically absorbing layers |
JP2019177788A (ja) | 2018-03-30 | 2019-10-17 | 株式会社Subaru | 車両の乗員保護装置 |
-
2020
- 2020-09-25 CN CN202080059053.4A patent/CN114342194B/zh active Active
- 2020-09-25 US US17/754,027 patent/US20220337035A1/en active Pending
- 2020-09-25 DE DE112020004592.7T patent/DE112020004592T5/de active Pending
- 2020-09-25 WO PCT/JP2020/036467 patent/WO2021060538A1/ja active Application Filing
- 2020-09-25 JP JP2021548466A patent/JP7302832B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015002324A (ja) | 2013-06-18 | 2015-01-05 | 学校法人 名城大学 | 窒化物半導体発光素子 |
JP2018532265A (ja) | 2015-09-17 | 2018-11-01 | クリスタル アイエス, インコーポレーテッドCrystal Is, Inc. | 2次元正孔ガスを組み込んだ紫外線発光デバイス |
US20190103509A1 (en) | 2017-09-30 | 2019-04-04 | Sensor Electronic Technology, Inc. | Semiconductor Heterostructure with P-type Superlattice |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
SATO, Kosuke et al.,Light confinement and high current density in UVB laser diode structure using Al composition-graded,Applied Physics Letters,2019年05月16日,Vol.114,pp.191103-1 - 191103-5 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2021060538A1 (ja) | 2021-04-01 |
CN114342194B (zh) | 2024-03-19 |
DE112020004592T5 (de) | 2022-06-09 |
US20220337035A1 (en) | 2022-10-20 |
CN114342194A (zh) | 2022-04-12 |
JPWO2021060538A1 (ja) | 2021-04-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6455877B1 (en) | III-N compound semiconductor device | |
JP7302832B2 (ja) | レーザーダイオード | |
KR101179319B1 (ko) | Ⅲ족 질화물 반도체 레이저 | |
JP2009252861A (ja) | 半導体レーザ素子 | |
JP2011023541A (ja) | Iii族窒化物半導体光素子及びエピタキシャル基板 | |
US8513684B2 (en) | Nitride semiconductor light emitting device | |
US8748868B2 (en) | Nitride semiconductor light emitting device and epitaxial substrate | |
JPH11135770A (ja) | 3−5族化合物半導体とその製造方法および半導体素子 | |
US6462354B1 (en) | Semiconductor device and semiconductor light emitting device | |
TW201310705A (zh) | 第iii族氮化物半導體元件及第iii族氮化物半導體元件之製造方法 | |
US8477818B2 (en) | Gallium nitride-based semiconductor laser device, and method for fabricating gallium nitride-based semiconductor laser device | |
JP5401145B2 (ja) | Iii族窒化物積層体の製造方法 | |
US20120327967A1 (en) | Group iii nitride semiconductor laser device, epitaxial substrate, method of fabricating group iii nitride semiconductor laser device | |
JP5873260B2 (ja) | Iii族窒化物積層体の製造方法 | |
US20150115220A1 (en) | (Al, In, Ga, B)N DEVICE STRUCTURES ON A PATTERNED SUBSTRATE | |
TW201320392A (zh) | 氮化物半導體發光元件、及氮化物半導體發光元件之製造方法 | |
JP3794530B2 (ja) | 窒化物半導体レーザ素子 | |
JP2008034754A (ja) | 発光素子 | |
JP2001196702A (ja) | Iii族窒化物系化合物半導体発光素子 | |
JP4628651B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子の製造方法 | |
JP2004014587A (ja) | 窒化物系化合物半導体エピタキシャルウエハ及び発光素子 | |
KR100742989B1 (ko) | 질화갈륨계 발광 소자의 제조 방법 | |
KR102553985B1 (ko) | Ⅲ족 질화물 반도체 | |
JP2009212343A (ja) | 窒化物半導体素子および窒化物半導体素子の製造方法 | |
JP2001308464A (ja) | 窒化物半導体素子、窒化物半導体結晶の作製方法および窒化物半導体基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221004 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221205 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230117 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230317 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230516 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230614 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7302832 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |