JP7302409B2 - Irradiation unit and liquid crystal panel manufacturing equipment - Google Patents
Irradiation unit and liquid crystal panel manufacturing equipment Download PDFInfo
- Publication number
- JP7302409B2 JP7302409B2 JP2019173213A JP2019173213A JP7302409B2 JP 7302409 B2 JP7302409 B2 JP 7302409B2 JP 2019173213 A JP2019173213 A JP 2019173213A JP 2019173213 A JP2019173213 A JP 2019173213A JP 7302409 B2 JP7302409 B2 JP 7302409B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling block
- substrate
- channel
- irradiation unit
- flow path
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/133382—Heating or cooling of liquid crystal cells other than for activation, e.g. circuits or arrangements for temperature control, stabilisation or uniform distribution over the cell
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Non-Portable Lighting Devices Or Systems Thereof (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
Description
本発明の実施形態は、照射ユニットおよび液晶パネル製造装置に関する。 An embodiment of the present invention relates to an irradiation unit and a liquid crystal panel manufacturing apparatus.
従来、複数の発光素子を点灯させて光を照射する照射ユニットが知られている。照射ユニットは、液晶パネルの製造や、インクや接着材の硬化などさまざまな産業分野で使用される。 2. Description of the Related Art Conventionally, an irradiation unit that irradiates light by lighting a plurality of light emitting elements is known. Irradiation units are used in various industrial fields, such as manufacturing liquid crystal panels and curing inks and adhesives.
ところで、大型の液晶パネルを製造するために、例えば全長が2[m]を超えるような長尺の照射ユニットを複数並べて配置させることがあり、構成部材の点検や交換といった保守作業の作業性の改善が必要とされていた。 By the way, in order to manufacture a large liquid crystal panel, for example, a plurality of long irradiation units with a total length exceeding 2 [m] may be arranged side by side, and maintenance work such as inspection and replacement of constituent members is difficult. Improvement was needed.
本発明が解決しようとする課題は、保守作業を容易にすることができる照射ユニットおよび液晶パネル製造装置を提供することである。 A problem to be solved by the present invention is to provide an irradiation unit and a liquid crystal panel manufacturing apparatus that can facilitate maintenance work.
実施形態の照射ユニットは、複数の発光素子と、冷却ブロックと、冷却管と、第3流路とを具備する。複数の発光素子は、基板の前面に実装されている。冷却ブロックは、基板の長手方向に沿って延びる第1流路を有し、基板の背面に配置される。冷却管は、第1流路に並行する第2流路を有し、冷却ブロックの背面側に配置される。第3流路は、第1流路の一端と第2流路の一端とを連通させる。 An irradiation unit according to an embodiment includes a plurality of light emitting elements, a cooling block, a cooling pipe, and a third channel. A plurality of light emitting elements are mounted on the front surface of the substrate. The cooling block has a first channel extending along the longitudinal direction of the substrate and is disposed on the back surface of the substrate. The cooling pipe has a second flow path parallel to the first flow path and is arranged on the back side of the cooling block. The third channel connects one end of the first channel and one end of the second channel.
本発明によれば、保守作業を容易にすることができる。 According to the present invention, maintenance work can be facilitated.
以下で説明する実施形態に係る照射ユニット1は、複数の発光素子52と、冷却ブロック10と、冷却管20と、第3流路(流路31)とを具備する。複数の発光素子52は、基板51の前面に実装されている。冷却ブロック10は、基板51の長手方向に沿って延びる第1流路(流路11)を有し、基板51の背面に配置される。冷却管20は、第1流路(流路11)に並行する第2流路(流路21)を有し、冷却ブロック10を挟んで基板51の反対側に配置される。第3流路(流路31)は、第1流路(流路11)の一端と第2流路(流路21)の一端とを連通させる。
The
また、以下で説明する実施形態に係る照射ユニット1は、基板51の長手方向に沿って冷却ブロック10を保持する保持機構を具備する。
Also, the
また、以下で説明する実施形態に係る照射ユニット1は、第1流路(流路11)の他端側に接続される第1継手部材(継手部材71)と、第2流路(流路21)の他端側に接続される第2継手部材(継手部材72)とを具備する。
Further, the
また、以下で説明する実施形態に係る冷却ブロック10は、基板51の長手方向に沿って脱着可能に配置される。
Also, the
また、以下で説明する実施形態に係る液晶パネル製造装置100は、複数の紫外線照射装置を具備する。複数の紫外線照射装置は、光反応性物質を含有する被処理パネル6に光を照射する。紫外線照射装置は、照射ユニット1である。
Moreover, the liquid crystal
以下に、本発明に係る実施形態を図面に基づき説明する。なお、以下に示す各実施形態は、本発明が開示する技術を限定するものではない。また、以下に示す各実施形態及び各変形例は、矛盾しない範囲で適宜組合せることができる。また、各実施形態の説明において、同一構成には同一符号を付与して後出の説明を適宜省略する。 Embodiments according to the present invention will be described below with reference to the drawings. It should be noted that each embodiment described below does not limit the technology disclosed by the present invention. Moreover, each embodiment and each modified example shown below can be appropriately combined within a consistent range. In addition, in the description of each embodiment, the same reference numerals are given to the same configurations, and the description later will be omitted as appropriate.
[実施形態]
まず、図1を用いて実施形態に係る液晶パネル製造装置の概要について説明する。図1は、実施形態に係る液晶パネル製造装置の側面図である。
[Embodiment]
First, the outline of the liquid crystal panel manufacturing apparatus according to the embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a side view of the liquid crystal panel manufacturing apparatus according to the embodiment.
なお、説明を分かりやすくするために、図1には、照射方向を正方向とするZ軸を含む3次元の直交座標系を図示している。Z軸を含む3次元の直交座標系を図示している。かかる直交座標系は、後出の説明に用いる他の図面でも示す場合がある。 In order to make the explanation easier to understand, FIG. 1 shows a three-dimensional orthogonal coordinate system including the Z-axis with the irradiation direction as the positive direction. A three-dimensional Cartesian coordinate system including the Z-axis is illustrated. Such an orthogonal coordinate system may also be shown in other drawings used in the description below.
図1に示すように、実施形態に係る液晶パネル製造装置100は、照射部140と、ステージ部150とを有する。液晶パネル製造装置100は、ステージ部150に配置された被処理パネル6に紫外線を照射して液晶パネルを製造する装置である。
As shown in FIG. 1 , the liquid crystal
照射部140は、紫外線照射モジュール141と、点灯装置142と、反射板143とを有する。紫外線照射モジュール141は、複数の照射ユニット1を有する。照射ユニット1は、点灯装置142を介して不図示の電源装置から供給された電力により、被処理パネル6の処理に適した波長の紫外線を放射する。
The
反射板143は、照射ユニット1から放射される紫外線をステージ部150に向かうように反射させることで、照射効率を高めるものである。図1に示した例では、反射板143は、紫外線照射モジュール141の背面側(Z軸負方向側)にのみ配置させたが、これに限らず、例えば、照射部140やステージ部150の内部に配置させてもよい。
The
ここで、図2、図3を用いて、照射ユニット1の構成例について説明する。図2は、実施形態に係る照射ユニットの正面図である。図3は、実施形態に係る照射ユニットの側面図である。
Here, a configuration example of the
図2、図3に示すように、実施形態に係る照射ユニット1は、光源部50と、冷却ブロック10と、冷却管20と、接続部材30と、継手部材71、72と、取付部60と、保持部40と、支持部材80とを具備する。
As shown in FIGS. 2 and 3, the
光源部50は、基板51と、複数の発光素子52とを有する。基板51は、例えば、セラミックスによって形成された長尺状の基材に、例えば銀等によって所望のパターン状に形成された図示しないプリント配線が設けられたものである。基板51の前面には、複数の発光素子52が、プリント配線と電気的に接続されて設けられている。複数の発光素子52は、基板51の長手方向(X軸方向)に沿って一列に配列されている。
The
また、図示しないが、基板51は、発光素子52が接続される接続端子と、電源装置から電力が供給される電源端子とを除く領域が、絶縁性を確保し、腐食を防ぐために、被覆膜によって覆われている。被覆膜は、例えば、ガラス材等を主成分とする無機材料によって形成されている。なお、必要に応じて、基板51は、発光素子52が発する光を反射する反射性を高めるために、比較的高い反射率を有する白色のアルミナによって形成されてもよい。また、基板51は、熱伝導性を高く確保するために、比較的高い熱伝導性を有する窒化アルミニウムによって形成されてもよい。
In addition, although not shown, the
発光素子52には、紫外線を発する発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)や半導体レーザ(LD:Laser Diode)が用いられる。発光素子52は、例えば、波長300[nm]~400[nm]程度を主波長とし、かつ、ピーク波長が365[nm]の紫外線を発する。
A light emitting diode (LED: Light Emitting Diode) or a semiconductor laser (LD: Laser Diode) that emits ultraviolet rays is used for the
なお、実施形態でいう「紫外線」とは、波長450[nm]以下の波長の光であり、具体的には発光素子52が発する波長365[nm]の光であるが、その他の波長の光も許容される。また、発光素子52は、波長450[nm]以下の光を放射するLEDやLDに限定されるものではなく、例えば波長450[nm]以下の光を放射するのみでなく、波長450[nm]よりも長波長側の光を放射するLEDやLDであってもよい。すなわち、波長450[nm]以下の光を放射するLEDやLDであれば、その発光様式は限定されない。
In addition, the “ultraviolet rays” in the embodiment are light with a wavelength of 450 [nm] or less, specifically light with a wavelength of 365 [nm] emitted by the
冷却ブロック10は、略直方体状に形成されており、基板51の背面に配置されている。冷却ブロック10には、例えばアルミニウム、アルミニウム合金、ステンレス鋼等が用いられる。
The
また、冷却ブロック10は、基板51の長手方向(X軸方向)に延びる第1流路としての流路11を有する。冷却ブロック10は、流路11に流体を流通させることにより、いわゆる液冷ブロックとして機能し、基板51を介して発光素子52から伝わった熱を速やかに放熱させることができる。なお、流体は、例えば水である。また、流体として、例えば液体窒素や不凍液などの液体や、乾燥空気や窒素などの気体を使用してもよい。
The
冷却管20は、流路11に並行するようにX軸方向に延びる第2流路としての流路21を有し、冷却ブロック10の背面側に配置される直管状部材である。冷却管20には、例えばアルミニウム、アルミニウム合金、ステンレス鋼等が用いられる。流路21は、冷却管20の両端(端部20a、20b)に貫通する。
The cooling
接続部材30は、第3流路としての流路31を有する管状部材である。接続部材30は、例えば90[°]エルボジョイントであり、一端が冷却ブロック10の一端(端部10b)側に、他端が冷却管20の一端(端部20b)側に、それぞれ接続される。流路31は、接続部材30の両端に貫通しており、流路11と流路21とを連通させる。接続部材30には、例えばアルミニウム、アルミニウム合金、ステンレス鋼等が用いられる。なお、接続部材30は、直管状部材であってもよい。また、冷却ブロック10および/または冷却管20が流路31に相当するZ軸方向に延びる流路を有していれば、接続部材30を介さずに冷却ブロック10と冷却管20とを接続させた構成であっても構わない。
The connecting
継手部材71は、冷却ブロック10の他端(端部10a)側に開口する流路11に接続される。また、継手部材72は、冷却管20の他端(端部20a)側に開口する流路21に接続される。継手部材71、72は、例えば、カプリング(カプラ)、ワンタッチ(クイック)ジョイントとも称され、対応するホースその他の管状部材との脱着を容易にする部材である。継手部材71、72が逆止弁その他の逆止機構を備えていると、照射ユニット1を着脱する際に冷却ブロック10や冷却管20の内部からの流体の漏出が生じにくくなり、流体の漏出に伴う光源部50の汚損その他の不具合を抑えることができる。
The
取付部60は、天板144に取り付けられており、照射ユニット1を挟んでY軸方向の両側に配置されている。また、取付部60には、保持部40が配置されている。保持部40は、基板51の長手方向(X軸方向)に沿って延在しており、取付部60は、X軸方向に沿うように複数配置されることにより、保持部40が位置決めされる。
The
保持部40は、冷却ブロック10を挟んでY軸方向の両側に配置されており、照射ユニット1の冷却ブロック10側に突出するように形成されている。保持部40は、冷却ブロック10の側面に設けられた凹部12と係合して照射ユニット1を保持する。凹部12は、保持部40と共働して、基板51の長手方向、すなわちX軸方向に沿って冷却ブロック10を保持する保持機構の一例である。
The holding
また、保持部40は、冷却ブロック10を脱着させるガイドとしても機能する。すなわち、冷却ブロック10は、凹部12が保持部40と係合するようにX軸方向に沿って冷却ブロック10を脱着させることができる。このため、光源部50を含む冷却ブロック10や照射ユニット1の点検や交換に要する作業時間を短縮することができる。
The holding
支持部材80は、冷却管20と冷却ブロック10との間に配置され、冷却ブロック10のたわみや振動等に伴って光源部50で発生しうる不具合を防止する。支持部材80は、照射ユニット1のX軸方向に沿う長さや質量等に応じて1または複数配置することができる。
The
実施形態に係る照射ユニット1では、流路11→流路31→流路21の順で冷却媒体が略U字状に折り返すように流れる。なお、冷却媒体が流れる方向は、逆であってもよい。
In the
ここで、照射ユニット1として、冷却ブロック10の内部に、第1流路(流路11)と第3流路(流路31)と第2流路(流路21)とを設けて、一つの冷却ブロック10内でXY平面に沿って略U字状に冷却媒体を流す構成や、冷却管20をY軸に並列に設けて、冷却ブロック10と同じXY平面に沿って略U字状に冷却媒体を流す構成とすることもできる。しかしながら、当該構成では、冷却ブロック10や冷却管20がY軸方向に幅を占有することとなるため、好ましくない。また、複数の照射ユニット1をY軸に並べるときに所望の間隔(ピッチ)とすることが困難であるため、好ましくない。
Here, as the
また、照射ユニット1に冷却管20を設けず、複数の照射ユニット1の冷却ブロック10の第1流路を第3流路で連結して、複数の照射ユニット1に対して一体的に冷却媒体を流す構成とすることもできる。しかしながら、継手部材71が設けられる照射ユニット1と、継手部材72が設けられる照射ユニット1とでは冷却媒体の温度が異なる。このため、複数の照射ユニット1における冷却媒体の温度管理が困難となり、複数の照射ユニット1で紫外線の照度が異なる可能性があるため、好ましくない。また、複数の照射ユニット1の冷却ブロック10の第1流路を第3流路で連結すると、保守作業時に第3流路をすべて取り外さないと交換対象となる照射ユニット1の交換を行うことができないため、好ましくない。
In addition, the cooling
以上の不具合を解消するため、本実施形態のように、照射ユニット1は、冷却媒体がX軸方向に沿って略U字状に折り返すように流れる構成とすることが望ましい。
In order to solve the above problems, it is desirable that the
上述したように、実施形態に係る照射ユニット1は、被処理パネル6の処理に適した波長の紫外線を放射することで液晶パネルを効率よく製造することができるものである。ここで、図4を用いて、被処理パネル6について説明する。
As described above, the
図4は、液晶パネルを模式的に示す断面図である。図4に示す被処理パネル6は、一対の基板7、8と、基板7と基板8との間に設けられた液晶層9とを有する。
FIG. 4 is a cross-sectional view schematically showing the liquid crystal panel. A
基板7は、例えば、赤色、緑色、青色の光を透過するカラーフィルタ(図示しない)が基材上に配置され、保護膜でカラーフィルタが覆われてなるカラーフィルタ基板である。基板8は、液晶層9を挟んで基板7と対向するように設けられた対向基板であり、複数の電極がアレイ状に配置されている。
The
液晶層9は、液晶組成物と光反応性物質としての重合性モノマーとを含む。液晶層9は、照射ユニット1から放射された特定の波長を有する紫外線を吸収することで重合性モノマーが重合し、ステージ151上での電圧の印加によって配向を制御させた液晶組成物が安定化される。
The
次に、図5を用いて、紫外線照射モジュール141における複数の照射ユニット1の配置例について説明する。図5は、実施形態に係る紫外線照射モジュールの模式図である。
Next, an arrangement example of the plurality of
図5に示すように、複数の照射ユニット1は、天板144にそれぞれ固定されており、照射ユニット1の長さ方向がシャッタ160の開閉方向であるX軸方向に沿うようにそれぞれ平行に配置されている。なお、天板144は、反射板143(図1参照)を兼ねてもよい。
As shown in FIG. 5 , the plurality of
また、複数の照射ユニット1は、照射領域R1と照射領域R2とで配置される向きが異なる。具体的には、照射領域R1では、X軸負方向側の端部145に継手部材71、72が位置し、照射領域R2では、X軸正方向側の端部146に継手部材71、72が位置するようにそれぞれ配置される。これにより、照射領域R1では、端部145から、照射領域R2では、端部146からの照射ユニット1の脱着がそれぞれ可能になる。このため、保守作業を容易にすることができる。なお、照射領域が狭い場合、あるいは照射ユニット1の全長が大きい場合、複数の照射ユニット1は、すべて同じ方向に配列させてもよい。
In addition, the plurality of
図1に戻り、さらに説明する。ステージ部150は、ステージ151と、リフトピン152とを有する。ステージ151は、所定の位置に載置された被処理パネル6に電圧を印加する。ステージ151は、例えば、放熱性の高いアルミニウムを使用することができる。また、ステージ151の表面にフッ素樹脂をコーティングすると、パネル交換後の迅速な除電が可能となり、液晶パネルを効率よく製造することができる。
Returning to FIG. 1, further description will be made. The
リフトピン152は、載置された被処理パネル6を昇降させる昇降機であり、主として被処理パネル6の搬出入に使用される。具体的には、リフトピン152は、不図示の搬出入口からステージ部150に搬入された被処理パネル6を受け取る。また、リフトピン152は、ステージ151上に載置された紫外線照射後の被処理パネル6を浮上させ、不図示の搬送ロボットに受け渡す。
The
上述したように、実施形態に係る照射ユニット1は、複数の発光素子52と、冷却ブロック10と、冷却管20と、第3流路(流路31)とを具備する。複数の発光素子52は、基板51の前面に実装されている。冷却ブロック10は、基板51の長手方向に沿って延びる第1流路(流路11)を有し、基板51の背面に配置される。冷却管20は、第1流路(流路11)に並行する第2流路(流路21)を有し、冷却ブロック10を挟んで基板51の反対側に配置される。第3流路(流路31)は、第1流路(流路11)の一端と第2流路(流路21)の一端とを連通させる。このため、保守作業を容易にすることができる。
As described above, the
また、実施形態に係る冷却ブロック10は、基板51の長手方向に沿って脱着可能に配置される。このため、保守作業を容易にすることができる。
Also, the
また、実施形態に係る照射ユニット1は、第1流路(流路11)の他端側に接続される第1継手部材(継手部材71)と、第2流路(流路21)の他端側に接続される第2継手部材(継手部材72)とを具備する。このため、保守作業の際に冷却媒体が落下しにくくなる。
Further, the
また、実施形態に係る冷却ブロック10は、基板51の長手方向に沿って脱着可能に配置される。このため、保守作業を容易にすることができる。
Also, the
また、実施形態に係る液晶パネル製造装置100は、複数の紫外線照射装置を具備する。複数の紫外線照射装置は、光反応性物質を含有する被処理パネル6に光を照射する。紫外線照射装置は、照射ユニット1である。このため、保守作業を容易にすることができる。
Moreover, the liquid crystal
なお、上記した実施形態では、冷却ブロック10の凹部12が、保持部40と共働する保持機構の一例であるとして説明したが、これに限らず、例えば冷却ブロック10が基板51の長手方向に沿って突出する凸部を有し、保持部40がこの凸部と係合する凹部を有する構成としてもよい。
In the above-described embodiment, the
また、上記した各実施形態では、発光素子52は、基板51の長手方向に沿って一列に配列されるとして説明したが、これに限らず、例えば、配列方向に沿って、配列方向と交差する方向へ位置が交互にずらされた、いわゆる千鳥配列にされてもよい。
Further, in each of the above embodiments, the
本発明の実施形態を説明したが、実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。 While embodiments of the invention have been described, the embodiments are provided by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. Embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and modifications can be made without departing from the scope of the invention. The embodiments and modifications thereof are included in the scope and spirit of the invention, as well as the scope of the invention described in the claims and equivalents thereof.
1 照射ユニット
6 被処理パネル
10 冷却ブロック
12 凹部
20 冷却管
30 接続部材
40 保持部
50 光源部
51 基板
52 発光素子
71、72 継手部材
140 照射部
141 紫外線照射モジュール
100 液晶パネル製造装置
Claims (5)
前記基板の長手方向に沿って延びる第1流路を有し、前記基板の背面に配置される冷却ブロックと;
前記第1流路に並行する第2流路を有し、前記冷却ブロックの前記基板側とは反対の背面側に配置される冷却管と;
前記第1流路の一端と前記第2流路の一端とを連通させる第3流路と;
前記基板の長手方向に沿って前記冷却ブロックの側面のみを保持する保持部と;
を具備し、
前記冷却管は、前記冷却ブロックと離間して配置され、
前記保持部は、前記冷却ブロックを挟んだ両側から前記冷却ブロックの前記側面に向かって突出するように配置されており、前記冷却ブロックの前記背面側には前記保持部が配置されていない照射ユニット。 a plurality of light emitting elements mounted on the front surface of the substrate;
a cooling block having a first flow path extending along the longitudinal direction of the substrate and disposed on the back surface of the substrate;
a cooling pipe having a second flow path parallel to the first flow path and disposed on the back side of the cooling block opposite to the substrate side;
a third channel that connects one end of the first channel and one end of the second channel;
a holding part that holds only the side surface of the cooling block along the longitudinal direction of the substrate;
and
The cooling pipe is spaced apart from the cooling block,
The holding section is arranged so as to protrude from both sides of the cooling block toward the side surface of the cooling block, and the irradiation unit in which the holding section is not arranged on the back side of the cooling block. .
を具備する請求項1に記載の照射ユニット。 a support member disposed between the cooling pipe and the cooling block;
The illumination unit of claim 1, comprising:
前記第2流路の他端側に接続される第2継手部材と;
を具備する、請求項1または2に記載の照射ユニット。 a first joint member connected to the other end side of the first flow path;
a second joint member connected to the other end side of the second flow path;
3. An illumination unit according to claim 1 or 2 , comprising a
を具備し、
前記紫外線照射装置は、請求項1~4のいずれか1つに記載の照射ユニットである、液晶パネル製造装置。 a plurality of ultraviolet irradiation devices for irradiating light onto the panel to be processed containing the photoreactive substance;
and
A liquid crystal panel manufacturing apparatus, wherein the ultraviolet irradiation device is the irradiation unit according to any one of claims 1 to 4 .
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019173213A JP7302409B2 (en) | 2019-09-24 | 2019-09-24 | Irradiation unit and liquid crystal panel manufacturing equipment |
CN202021692780.8U CN212623449U (en) | 2019-09-24 | 2020-08-14 | Irradiation unit and liquid crystal panel manufacturing apparatus |
TW109128280A TWI829960B (en) | 2019-09-24 | 2020-08-19 | Irradiation unit and LCD panel manufacturing equipment |
KR1020200104500A KR20210035733A (en) | 2019-09-24 | 2020-08-20 | Apparatus for manufacturing liquid crystal panel and irradiation unit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019173213A JP7302409B2 (en) | 2019-09-24 | 2019-09-24 | Irradiation unit and liquid crystal panel manufacturing equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021051156A JP2021051156A (en) | 2021-04-01 |
JP7302409B2 true JP7302409B2 (en) | 2023-07-04 |
Family
ID=74713177
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019173213A Active JP7302409B2 (en) | 2019-09-24 | 2019-09-24 | Irradiation unit and liquid crystal panel manufacturing equipment |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7302409B2 (en) |
KR (1) | KR20210035733A (en) |
CN (1) | CN212623449U (en) |
TW (1) | TWI829960B (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102521350B1 (en) * | 2021-06-25 | 2023-04-14 | 주식회사 코렌스 | Heat exchanger for inverter power module |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20150146181A1 (en) | 2012-08-15 | 2015-05-28 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Apparatus of photolithography process to liquid display panel and method thereof |
JP2016194991A (en) | 2015-03-31 | 2016-11-17 | 東芝ライテック株式会社 | Irradiation body and irradiation device |
JP2019087561A (en) | 2017-11-02 | 2019-06-06 | 岩崎電気株式会社 | Cooling structure and light source unit |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009061702A (en) | 2007-09-06 | 2009-03-26 | Panasonic Electric Works Co Ltd | Ultraviolet irradiation apparatus |
KR102297802B1 (en) * | 2014-09-22 | 2021-09-03 | 도시바 라이텍쿠 가부시키가이샤 | Light source device |
-
2019
- 2019-09-24 JP JP2019173213A patent/JP7302409B2/en active Active
-
2020
- 2020-08-14 CN CN202021692780.8U patent/CN212623449U/en active Active
- 2020-08-19 TW TW109128280A patent/TWI829960B/en active
- 2020-08-20 KR KR1020200104500A patent/KR20210035733A/en not_active Application Discontinuation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20150146181A1 (en) | 2012-08-15 | 2015-05-28 | Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Apparatus of photolithography process to liquid display panel and method thereof |
JP2016194991A (en) | 2015-03-31 | 2016-11-17 | 東芝ライテック株式会社 | Irradiation body and irradiation device |
JP2019087561A (en) | 2017-11-02 | 2019-06-06 | 岩崎電気株式会社 | Cooling structure and light source unit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202113434A (en) | 2021-04-01 |
JP2021051156A (en) | 2021-04-01 |
TWI829960B (en) | 2024-01-21 |
CN212623449U (en) | 2021-02-26 |
KR20210035733A (en) | 2021-04-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5820397B2 (en) | Microchannel cooling type high heat load light emitting device | |
US7866827B2 (en) | Optical device and optical apparatus | |
EP1508157B1 (en) | High efficiency solid-state light source and methods of use and manufacture | |
TWI633376B (en) | Light source apparatus and ultra-violet irradiation apparatus | |
JP2007521622A (en) | Irradiation device | |
JP7302409B2 (en) | Irradiation unit and liquid crystal panel manufacturing equipment | |
JP2019010609A (en) | Fluid sterilizer | |
JP2019055126A (en) | Fluid sterilizer | |
TW201736775A (en) | Heat radiating apparatus and light illuminating apparatus with the same | |
KR20160010352A (en) | Light irradiation apparatus | |
KR20230004072A (en) | Ultraviolet curing device | |
JP6471586B2 (en) | Irradiation body and irradiation device | |
JP5271849B2 (en) | LED irradiation device | |
CN212617744U (en) | Ultraviolet irradiation device | |
JP6693581B2 (en) | Irradiator and irradiation device | |
TWI385273B (en) | Apparatus for repairing defects of circuit pattern and structure of target material | |
JP6544002B2 (en) | Irradiator | |
TWI809174B (en) | Ultraviolet irradiation unit and ultraviolet irradiation device | |
JP2017204597A (en) | Irradiation body and irradiating device | |
JP2010123900A (en) | Alignment apparatus, and method of manufacturing substrate bonded device and stacked semiconductor device | |
JP7159880B2 (en) | Irradiation device | |
JP2019061819A (en) | Light irradiation device | |
JP2022055654A (en) | Ultraviolet ray irradiation device | |
JP2011040605A (en) | Ultraviolet irradiation device | |
JP2014179182A (en) | Linear light source device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220215 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221013 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20221018 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20221216 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230214 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230413 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20230523 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230605 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7302409 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |