JP7299989B2 - 試験中の装置を光学的に検査するためのプローブシステム及びプローブシステムを動作させる方法 - Google Patents
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Description
前記DUTは、基板表面を画定する基板上に画定され、
前記トレンチ側壁は、前記基板表面から下方にデバイス距離を離して置いて位置決めされる光学デバイスを含み、
前記プローブシステムは、プロービングアセンブリを含み、
前記プロービングアセンブリは、光プローブと、距離センサ又はセンサ表面を画定する容量式距離センサと、を含み、
前記光プローブは、センサ表面内に延在する平面を通って延在し、
前記光プローブのプローブ先端は、前記平面のセンサに対向する側の上に位置決めされ、
さらに、前記プローブシステムは、プロービングアセンブリとDUTとの間の相対姿勢を選択的に調整するように構成される位置決めアセンブリを含み、
前記方法は、
前記センサ表面と前記基板表面との間の感知距離を判定するステップと、
前記光プローブと前記基板との間のプローブ距離を少なくとも1つ計算するステップであって、前記計算するステップは、前記感知距離に少なくとも部分的に基づく、ステップと、
位置決めアセンブリを用いて、前記プロービングアセンブリと前記DUTとの間の前記相対姿勢を調整するステップと、
少なくとも部分的に、少なくとも1つのプローブ距離に基づいて調節を調整し、少なくとも前記光プローブと前記基板との間の閾値分離距離を維持するステップと、
を含む、方法。
前記位置決めは、
(i)前記センサ表面が、基板表面に近接し、
(ii)前記センサ表面が、基板表面の閾値感知距離内にあり、
(iii)前記センサ表面が、プローブ先端に対してトレンチの遠位側にあり、
(iv)前記センサ表面が、基板表面と容量性通信し、
(v)前記センサ表面が、基板表面におけるトレンチのない領域と容量性通信し、
(vi)前記センサ表面が、基板表面における自由な構造の領域と容量性通信し、又は
(vii)前記センサ表面が、基板表面の均一な領域と容量性通信する、
ようにされる、A1に記載の方法。
前記位置決めは、
(i)前記プローブ先端が、前記トレンチに近接し、
(ii)前記プローブ先端が、前記トレンチの上方に位置決めされ、又は
(iii)前記プローブ先端が、前記トレンチ内に位置決めされる、
ようにされる、A1又はA2のいずれか一項に記載の方法。
前記トレンチ内で前記プローブ先端の垂直スキャンをするステップと、
少なくとも前記トレンチ側壁の閾値垂直領域で前記プローブ先端を上下させるステップと、
を含む、A1-A9のいずれか一項に記載の方法。
前記プローブ先端、前記距離センサ及び前記較正面を、前記センサ表面内に延在する平面に平行又は少なくとも実質的に平行な視線方向に沿って光学的に観察するステップと、
前記プローブ先端と前記較正面との間の光学的に判定される距離を、前記距離センサの電気出力に相関させるステップを含む、A21に記載の方法。
前記トレンチ側壁は、前記基板表面から下方にデバイス距離を離して位置決めされる光学デバイスを含み、
前記プローブシステムは、
プローブ先端を画定する光プローブと、センサ表面を画定する距離センサと、を含むプロービングアセンブリであって、前記光プローブは、前記センサ表面内に延在する平面を通って延在し、さらに前記プローブ先端は、前記平面のセンサに対向する側の上に位置決めされる、プロービングアセンブリと、
前記基板を支持するように構成される支持面と、
前記プロービングアセンブリと前記DUTとの間の相対姿勢を選択的に調節するように構成される位置決めアセンブリと、及び
A1-A23のいずれか一項の方法に従って前記プローブシステムの操作を制御するようにプログラムされるコントローラと、
を備える、プローブシステム。
前記トレンチ側壁は、前記基板表面から下方にデバイス距離を離して位置決めされる光学デバイスを含み、
前記プローブシステムは、
プローブ先端を画定する光プローブと、センサ表面を画定する距離センサと、を含むプロービングアセンブリであって、前記光プローブは、センサ表面内に延在する平面を通って延在し、さらに前記プローブ先端は、前記平面のセンサに対向する側の上に位置決めされる、プロービングアセンブリと、
前記基板を支持するように構成される支持面と、
前記プロービングアセンブリと前記DUTとの間の相対姿勢を選択的に調節するように構成される位置決めアセンブリと、
コントローラであって、
(i)前記センサ表面と前記基板表面との間の感知距離を判定し、
(ii)少なくとも部分的に前記感知距離に基づいて、前記光プローブと前記基板との間のプローブ距離を少なくとも1つ計算し、
(iii)前記位置決めアセンブリを用いて、前記プロービングアセンブリと前記DUTとの間の前記相対姿勢を調整し、及び
(iv)少なくとも部分的に、少なくとも1つのプローブ距離に基づいて、前記光プローブと前記基板との間の閾値分離距離を少なくとも1つ維持する相対姿勢の調整を調節する、
ことによって、前記プローブシステムの前記操作を制御するようにプログラムされるコントローラと、
を備える、プローブシステム。
前記位置決めは、
(i)前記センサ表面が、基板表面に近接し、
(ii)前記センサ表面が、基板表面の閾値感知距離内にあり、
(iii)前記センサ表面が、プローブ先端に対してトレンチの遠位側にあり、
(iv)前記センサ表面が、基板表面と容量性通信し、
(v)前記センサ表面が、基板表面におけるトレンチのない領域と容量性通信し、
(vi)前記センサ表面が、基板表面における自由な構造の領域と容量性通信し、又は
(vii)前記センサ表面が、基板表面の均一な領域と容量性通信する、
ようにされる、C1に記載のプローブシステム。
前記位置決めは、
(i)前記プローブ先端が、前記トレンチに近接し、
(ii)前記プローブ先端が、前記トレンチの上方に位置決めされ、又は
(iii)前記プローブ先端が、前記トレンチ内に位置決めされる、
ようにされる、C1又はC2のいずれか一項に記載のプローブシステム。
任意に、前記閾値分離距離は、前記プローブ先端と前記トレンチの前記底面との間の閾値先端底部間分離距離を含む、C1-C3のいずれか一項に記載のプローブシステム。
任意に、前記閾値分離距離は、前記光プローブと前記トレンチ縁部との間の閾値プローブ縁部間分離距離を含む、C1-C4のいずれか一項に記載のプローブシステム。
任意に、前記閾値分離距離は、前記基板表面より下方にある前記プローブ先端の閾値先端表面間分離距離を含む、C1-C5のいずれか一項に記載のプローブシステム。
前記トレンチ内で前記プローブ先端の垂直スキャンをすることと、
少なくとも前記トレンチ側壁の閾値垂直領域で前記プローブ先端を上下させることと、
を含み、
任意に、前記垂直スキャンの間、前記コントローラは、
(i)光学デバイスとプローブ先端との間で光信号を伝達し、又は
(ii)前記プローブ先端と前記光学デバイスとの間の光結合が最大になる垂直位置を判定する、
ようにさらにプログラムされる、C1-C6のいずれか一項に記載のプローブシステム。
任意に、前記水平スキャンの間、前記コントローラは、
(i)前記光学デバイスと前記プローブ先端との間で前記光信号を伝達し、又は
(ii)前記プローブ先端と前記光学デバイスとの間の光結合が最大になる水平位置を判定する、
ことのうちの少なくとも1つを実行するようにプログラムされる、C7に記載のプローブシステム。
任意に、前記回転中、前記コントローラは
(i)前記光学デバイスと前記プローブ先端との間で前記光信号を伝達し、又は
(ii)前記プローブ先端と前記光学デバイスとの間の光結合が最大となる相対的回転姿勢を判定する、
ようにさらにプログラムされる、C8又はC9のいずれか一項に記載のプローブシステム。
任意に、前記コントローラは、前記プローブ先端と前記較正面との間の光学的判定距離を、前記距離センサの電気出力に対して較正するようにさらにプログラムされる、C1-C11のいずれか一項に記載のプローブシステム。
Claims (18)
- 基板表面を画定する基板上に画定される試験中の装置(DUT)内に画定されるトレンチのトレンチ側壁を光学的に検査するためのプローブシステムであって、
前記トレンチ側壁は、前記基板表面から下方にデバイス距離だけ離して位置決めされる光学デバイスを含み、
前記プローブシステムは、
プローブ先端を画定する光プローブと、センサ表面を画定する距離センサと、を含むプロービングアセンブリであって、前記光プローブは、前記センサ表面内に延在する平面を通って延在し、さらに前記プローブ先端は、前記平面のセンサと対向する側の上に位置決めされる、プロービングアセンブリと、
前記基板を支持するように構成される支持面と、
前記プロービングアセンブリと前記DUTとの間の相対姿勢を選択的に調節するように構成される位置決めアセンブリと、
コントローラであって、
(i)前記センサ表面と前記基板表面との間の感知距離を判定し、
(ii)少なくとも部分的に前記感知距離に基づいて、前記光プローブと前記基板との間の少なくとも1つのプローブ距離を計算し、
(iii)前記位置決めアセンブリを用いて、前記プロービングアセンブリと前記DUTとの間の前記相対姿勢を調整し、及び
(iv)少なくとも部分的に、前記少なくとも1つのプローブ距離に基づいて、前記相対姿勢の調整を調節し、前記光プローブと前記基板との間の閾値分離距離を少なくとも維持する
ことによって、前記プローブシステムの操作を制御するようにプログラムされるコントローラと、
を備え、
前記プロービングアセンブリと前記DUTとの間の前記相対姿勢を調整することは、
前記トレンチ内において、少なくとも前記トレンチ側壁の閾値垂直領域で前記プローブ先端を上下させて、前記プローブ先端の垂直スキャンをすること、
を含み、
前記垂直スキャンの間、前記コントローラは、
(a)前記光学デバイスと前記プローブ先端との間で光信号を伝達し、
(b)前記プローブ先端と前記光学デバイスとの間の光結合が最大になる垂直位置を判定する、
ようにさらにプログラムされる、プローブシステム。 - 前記感知距離を判定する前に、前記コントローラは、前記位置決めアセンブリを用いて前記プロービングアセンブリ及び前記基板を互いに対して位置決めするようにさらにプログラムされ、
前記位置決めは、
(i)前記プローブ先端が、前記トレンチに近接し、
(ii)前記プローブ先端が、前記トレンチの上方に位置決めされ、又は
(iii)前記プローブ先端が、前記トレンチ内に位置決めされる、
ようにされる、請求項1に記載のプローブシステム。 - 前記少なくとも1つのプローブ距離は、前記プローブ先端と前記トレンチの底面との間の先端底部間分離距離を含み、
さらに、前記閾値分離距離は、前記プローブ先端と前記トレンチの前記底面との間の閾値先端底部間分離距離を含む、請求項1又は2のいずれか一項に記載のプローブシステム。 - 前記少なくとも1つのプローブ距離は、前記光プローブと前記トレンチのトレンチ縁部との間のプローブ縁部間分離距離を含み、
さらに、前記閾値分離距離は、前記光プローブと前記トレンチ縁部との間の閾値プローブ縁部間分離距離を含む、請求項1-3のいずれか一項に記載のプローブシステム。 - 前記少なくとも1つのプローブ距離は、前記基板表面より下方にある前記プローブ先端の先端表面間分離距離を含み、
さらに、前記閾値分離距離は、前記基板表面より下方にある前記プローブ先端の閾値先端表面間分離距離を含む、請求項1-4のいずれか一項に記載のプローブシステム。 - 前記プロービングアセンブリと前記DUTとの間の前記相対姿勢を調整することは、前記トレンチ内で、かつ少なくとも前記トレンチ側壁の閾値水平領域を横切って、前記プローブ先端の水平スキャンをすることをさらに含み、
前記水平スキャンの間、前記コントローラは、
(i)前記光学デバイスと前記プローブ先端との間で前記光信号を伝達し、
(ii)前記プローブ先端と前記光学デバイスとの間の光結合が最大になる水平位置を判定する、
ようにさらにプログラムされる、請求項1-5のいずれか一項に記載のプローブシステム。 - 前記コントローラは、前記水平スキャン及び前記垂直スキャンを実行するようにさらにプログラムされ、前記プローブ先端と前記光学デバイスとの間の光結合の2次元表現を、前記トレンチ側壁上の位置の関数として生成する、請求項6に記載のプローブシステム。
- 前記プロービングアセンブリと前記DUTとの間の前記相対姿勢を調整することは、前記光学デバイスに対して前記プローブ先端を回転させることをさらに含み、
前記回転中、前記コントローラは、
(i)前記光学デバイスと前記プローブ先端との間で前記光信号を伝達し、
(ii)前記プローブ先端と前記光学デバイスとの間の光結合が最大となる相対回転姿勢を判定する、
ようにさらにプログラムされる、請求項6又は7のいずれか一項に記載のプローブシステム。 - 前記コントローラは、前記水平スキャン、前記垂直スキャン及び前記回転を実行するようにさらにプログラムされ、前記プローブ先端と前記光学デバイスとの間の光結合の多次元表現を、前記トレンチ側壁上の位置の関数とし、前記トレンチ側壁に対する前記光プローブの回転の関数として生成する、請求項8に記載のプローブシステム。
- 前記コントローラは、前記感知距離を判定し、前記少なくとも1つのプローブ距離を計算し、前記相対姿勢を調整し、前記調整を調節することを、自動的にかつ繰り返し実行するようにさらにプログラムされる、請求項1-9のいずれか一項に記載のプローブシステム。
- 試験中の装置(DUT)内に画定されるトレンチのトレンチ側壁を、プローブシステムを用いて光学的に検査する方法であって、
前記DUTは、基板表面を画定する基板上に画定され、
前記トレンチ側壁は、前記基板表面から下方にデバイス距離だけ離して位置決めされる光学デバイスを含み、
前記プローブシステムは、プロービングアセンブリを含み、
前記プロービングアセンブリは、光プローブと、センサ表面を画定する距離センサと、を含み、
前記光プローブは、前記センサ表面内に延在する平面を通って延在し、
前記光プローブのプローブ先端は、前記平面のセンサに対向する側の上に位置決めされ、
さらに、前記プローブシステムは、前記プロービングアセンブリと前記DUTとの間の相対姿勢を選択的に調節するように構成される位置決めアセンブリを含み、
前記方法は、
前記センサ表面と前記基板表面との間の感知距離を判定するステップと、
前記光プローブと前記基板との間の少なくとも1つのプローブ距離を、前記感知距離に少なくとも部分的に基づいて計算するステップと、
前記位置決めアセンブリを用いて、前記プロービングアセンブリと前記DUTとの間の前記相対姿勢を調整するステップと、
少なくとも部分的に、前記少なくとも1つのプローブ距離に基づいて前記調整を調節し、少なくとも前記光プローブと前記基板との間の閾値分離距離を維持するステップと、
を含み、
前記プロービングアセンブリと前記DUTとの間の前記相対姿勢を調整するステップは、
前記トレンチ内において、少なくとも前記トレンチ側壁の閾値垂直領域で前記プローブ先端を上下させて、前記プローブ先端の垂直スキャンをするステップ、
を含み、
前記垂直スキャンをするステップの間、前記方法は、
(i)前記光学デバイスと前記プローブ先端との間で光信号を伝達するステップ、
(ii)前記プローブ先端と前記光学デバイスとの間の光結合が最大になる垂直位置を判定するステップ、
をさらに含む、方法。 - 前記感知距離を判定するステップの前に、前記方法は、前記位置決めアセンブリを用いて前記プロービングアセンブリ及び前記基板を互いに対して位置決めするステップをさらに含み、
前記位置決めは、
(i)前記プローブ先端が、前記トレンチに近接し、
(ii)前記プローブ先端が、前記トレンチの上方に位置決めされ、又は
(iii)前記プローブ先端が、前記トレンチ内に位置決めされる、
ようにされる、請求項11に記載の方法。 - 前記少なくとも1つのプローブ距離は、前記プローブ先端と前記トレンチの底面との間の先端底部間分離距離を含み、
さらに、前記閾値分離距離は、前記プローブ先端と前記トレンチの前記底面との間の閾値先端底部間分離距離を含む、請求項11又は12のいずれか一項に記載の方法。 - 前記少なくとも1つのプローブ距離は、前記光プローブと前記トレンチのトレンチ縁部との間のプローブ縁部間分離距離を含み、
さらに、前記閾値分離距離は、前記光プローブと前記トレンチ縁部との間の閾値プローブ縁部間分離距離を含む、請求項11-13のいずれか一項に記載の方法。 - 前記少なくとも1つのプローブ距離は、前記基板表面より下方にある前記プローブ先端の先端表面間分離距離を含み、
さらに、前記閾値分離距離は、前記基板表面より下方にある前記プローブ先端の閾値先端表面間分離距離を含む、請求項11-14のいずれか一項に記載の方法。 - 前記プロービングアセンブリと前記DUTとの間の前記相対姿勢を調整するステップは、前記トレンチ内で、かつ少なくとも前記トレンチ側壁の閾値水平領域を横切って、前記プローブ先端の水平スキャンをするステップを含み、
さらに、前記水平スキャンをするステップの間、前記方法は、
(i)前記光学デバイスと前記プローブ先端との間で前記光信号を伝達するステップ、
(ii)前記プローブ先端と前記光学デバイスとの間の光結合が最大になる水平位置を判定するステップ、をさらに含む、請求項11-15のいずれか一項に記載の方法。 - 前記水平スキャンをするステップ及び前記垂直スキャンをするステップは、前記プローブ先端と前記光学デバイスとの間の光結合の2次元表現を、前記トレンチ側壁上の位置の関数として生成するステップを含む、請求項16に記載の方法。
- 実行されると、プローブシステムに請求項11-17のいずれか一項に記載の方法を実行するように指示するコンピュータ可読命令を含む、非一時的コンピュータ可読記憶媒体。
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