JP7298994B2 - 窒化アルミニウム膜、弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ - Google Patents
窒化アルミニウム膜、弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP7298994B2 JP7298994B2 JP2018089980A JP2018089980A JP7298994B2 JP 7298994 B2 JP7298994 B2 JP 7298994B2 JP 2018089980 A JP2018089980 A JP 2018089980A JP 2018089980 A JP2018089980 A JP 2018089980A JP 7298994 B2 JP7298994 B2 JP 7298994B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- group
- aluminum nitride
- nitride film
- hafnium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
圧電膜14として、MgおよびHfを添加した窒化アルミニウム膜を用い、MgとHfの原子比率を変えた圧電薄膜共振器のサンプルを作製した。作製条件は以下である。
下部電極12の下層12a:膜厚が100nmのCr膜
下部電極12の上層12b:膜厚が210nmのRu膜
圧電膜14:膜厚が1150nmの窒化アルミニウム膜
挿入膜28:膜厚が150nmの酸化シリコン膜
上部電極16の下層16a:膜厚が230nmのRu膜
上部電極16の上層16b:膜厚が20nmのCr膜
周波数調整膜24:膜厚が50nmの酸化シリコン膜
質量負荷膜20:なし
図5(a)および図5(b)は、実施例1の変形例1に係る圧電薄膜共振器の断面図である。図5(a)は、例えばラダー型フィルタの直列共振器、図5(b)は例えばラダー型フィルタの並列共振器の断面図を示している。
実施例1の変形例2および3は、空隙の構成を変えた例である。図6(a)および図6(b)は、実施例1の変形例2および3に係る圧電薄膜共振器の断面図である。図6(a)に示すように、基板10の上面に窪みが形成されている。下部電極12は、基板10上に平坦に形成されている。これにより、空隙30が、基板10の窪みに形成されている。空隙30は共振領域50を含むように形成されている。その他の構成は、実施例1と同じであり説明を省略する。空隙30は、基板10を貫通するように形成されていてもよい。
図6(b)に示すように、共振領域50の下部電極12下に音響反射膜31が形成されている。音響反射膜31は、音響インピーダンスの低い膜30aと音響インピーダンスの高い膜30bとが交互に設けられている。膜30aおよび30bの膜厚は例えばそれぞれλ/4(λは弾性波の波長)である。膜30aと膜30bの積層数は任意に設定できる。音響反射膜31は、音響特性の異なる少なくとも2種類の層が間隔をあけて積層されていればよい。また、基板10が音響反射膜31の音響特性の異なる少なくとも2種類の層のうちの1層であってもよい。例えば、音響反射膜31は、基板10中に音響インピーダンスの異なる膜が一層設けられている構成でもよい。その他の構成は、実施例1と同じであり説明を省略する。
上記実験において作製した窒化アルミニウム膜内のハフニウムの価数をSpring8におけるHAXPES(Hard X-ray PhotoElectron Spectroscopy)を用い評価した。通常のXPS(X-ray Photo electron Spectroscopy)ではX線の励起エネルギーが約3keVであり、窒化アルミニウム膜へのX線の侵入深さが10nm程度である。HAXPESを用いX線の励起エネルギーを8keVとした。これによりX線の侵入深さを80nmから100nmとすることができる。これにより、窒化アルミニウム膜のより深い領域の価数を精度よく評価することができる。
励起エネルギー:8keV
光電子取り出し角度:89°
光サイズ:30μm×30μm
各ピークの関数:60%Gauss-Lorents
4f5/2ピークと4f7/2とのエネルギー差:1.71eV
Hf4+ピークとHf3+ピークとのエネルギー差:1.90eV
4f5/2ピーク面積/4f7/2ピーク面積:0.75
12 下部電極
14 圧電膜
16 上部電極
Claims (9)
- ハフニウムとマグネシウムとを含み、
前記ハフニウムに対する前記マグネシウムの原子組成比が0.6以上かつ1未満であり、
アルミニウム、前記ハフニウムおよび前記マグネシウムの合計に対する前記ハフニウムの比率は3原子%以上かつ4原子%以下である窒化アルミニウム膜。 - 前記原子組成比は0.6以上かつ0.9以下である請求項1に記載の窒化アルミニウム膜。
- 前記ハフニウムおよび前記マグネシウムがアルミニウムに置き換わっている請求項1または2に記載の窒化アルミニウム膜。
- 前記ハフニウムは、3価のハフニウムと4価のハフニウムを含む請求項1から3のいずれか一項に記載の窒化アルミニウム膜。
- 前記3価のハフニウムと前記4価のハフニウムとの合計に対する前記4価のハフニウムの原子比は0.5以上かつ0.99以下である請求項4に記載の窒化アルミニウム膜。
- 請求項1から5のいずれか一項に記載の窒化アルミニウム膜と、
前記窒化アルミニウム膜を伝搬する弾性波を励振する電極と、
を具備する弾性波デバイス。 - 基板と、
前記基板上に設けられた請求項1から5のいずれか一項に記載の窒化アルミニウム膜と、
前記窒化アルミニウム膜の少なくとも一部を挟み対向する下部電極および上部電極と、
を備える共振器を具備する弾性波デバイス。 - 請求項7に記載の弾性波デバイスを含むフィルタ。
- 請求項8に記載のフィルタを含むマルチプレクサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US16/001,152 US10886887B2 (en) | 2017-06-23 | 2018-06-06 | Aluminum nitride film, acoustic wave device, filter, and multiplexer |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017123213 | 2017-06-23 | ||
JP2017123213 | 2017-06-23 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019009771A JP2019009771A (ja) | 2019-01-17 |
JP7298994B2 true JP7298994B2 (ja) | 2023-06-27 |
Family
ID=65029202
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018089980A Active JP7298994B2 (ja) | 2017-06-23 | 2018-05-08 | 窒化アルミニウム膜、弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7298994B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7344011B2 (ja) * | 2019-06-04 | 2023-09-13 | 太陽誘電株式会社 | 圧電薄膜共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
JP7425960B2 (ja) | 2019-10-29 | 2024-02-01 | Tdk株式会社 | 圧電薄膜素子 |
JP7441088B2 (ja) | 2020-03-23 | 2024-02-29 | 太陽誘電株式会社 | 窒化アルミニウム膜、圧電デバイス、共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015233042A (ja) | 2014-06-09 | 2015-12-24 | 株式会社村田製作所 | 圧電薄膜及びその製造方法、並びに圧電素子 |
WO2016111280A1 (ja) | 2015-01-06 | 2016-07-14 | 株式会社村田製作所 | 圧電薄膜及び圧電振動子 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6284726B2 (ja) * | 2013-09-11 | 2018-02-28 | 太陽誘電株式会社 | 窒化アルミニウム膜の成膜方法、弾性波デバイスの製造方法、及び窒化アルミニウム膜の製造装置 |
-
2018
- 2018-05-08 JP JP2018089980A patent/JP7298994B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015233042A (ja) | 2014-06-09 | 2015-12-24 | 株式会社村田製作所 | 圧電薄膜及びその製造方法、並びに圧電素子 |
WO2016111280A1 (ja) | 2015-01-06 | 2016-07-14 | 株式会社村田製作所 | 圧電薄膜及び圧電振動子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2019009771A (ja) | 2019-01-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6936837B2 (en) | Film bulk acoustic resonator | |
JP5957376B2 (ja) | 圧電薄膜共振子 | |
JP6535637B2 (ja) | 圧電薄膜共振器、フィルタ、デュプレクサ、及び圧電薄膜共振器の製造方法 | |
JP5904591B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
US10790799B2 (en) | Piezoelectric thin film resonator, filter, and multiplexer | |
JP7017364B2 (ja) | ラダー型フィルタ、圧電薄膜共振器およびその製造方法 | |
CN110545084B (zh) | 氮化铝膜、压电装置、谐振器、滤波器和多路复用器 | |
JP4478910B2 (ja) | 圧電薄膜共振子 | |
JP7298994B2 (ja) | 窒化アルミニウム膜、弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP3953315B2 (ja) | 窒化アルミニウム薄膜−金属電極積層体およびそれを用いた薄膜圧電共振子 | |
JP6185292B2 (ja) | 弾性波デバイス | |
US11075614B2 (en) | Piezoelectric thin film resonator, filter, and multiplexer | |
JP7269719B2 (ja) | 圧電膜およびその製造方法、圧電デバイス、共振器、フィルタ並びにマルチプレクサ | |
US10523177B2 (en) | Piezoelectric thin film resonator and fabrication method of the same, filter, and multiplexer | |
US10886887B2 (en) | Aluminum nitride film, acoustic wave device, filter, and multiplexer | |
JP7340349B2 (ja) | 圧電薄膜共振器およびその製造方法、フィルタ並びにマルチプレクサ | |
JP7299008B2 (ja) | 圧電薄膜共振器、フィルタ、及びマルチプレクサ | |
JP7441088B2 (ja) | 窒化アルミニウム膜、圧電デバイス、共振器、フィルタおよびマルチプレクサ | |
US10505514B2 (en) | Piezoelectric thin film and bulk acoustic wave filter | |
WO2020127294A1 (en) | Piezoelectric material and piezoelectric device | |
WO2020127514A1 (en) | Piezoelectric material and piezoelectric device | |
JP7383417B2 (ja) | 弾性波デバイスおよびその製造方法、圧電薄膜共振器、フィルタ並びにマルチプレクサ | |
JP2022163877A (ja) | 窒化アルミニウム膜、圧電デバイス、共振器、フィルタおよびマルチプレクサ | |
JP2024000247A (ja) | 弾性波デバイスおよびその製造方法、フィルタ並びにマルチプレクサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210107 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210927 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20211012 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211206 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20220426 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220720 |
|
C60 | Trial request (containing other claim documents, opposition documents) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C60 Effective date: 20220720 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20220729 |
|
C21 | Notice of transfer of a case for reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C21 Effective date: 20220802 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20220826 |
|
C211 | Notice of termination of reconsideration by examiners before appeal proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C211 Effective date: 20220830 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20221122 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20230322 |
|
C22 | Notice of designation (change) of administrative judge |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C22 Effective date: 20230404 |
|
C23 | Notice of termination of proceedings |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: C23 Effective date: 20230425 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230615 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7298994 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |