JP7295973B2 - thick film resistor paste - Google Patents

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Description

本発明は、導電ペーストに関し、具体的に、厚膜抵抗ペーストに関する。 The present invention relates to conductive pastes and, in particular, to thick film resistor pastes.

厚膜チップ抵抗器(chip resistor)は、厚膜抵抗器電子部品、厚膜ハイブリッド回路等に広く用いられており、シート型厚膜抵抗器は、主に組成物を絶縁基板の表面に形成された導線パターン又は電極に印刷して、その後850℃±20℃の温度で印刷物を焼成することにより、厚膜抵抗器を得る。 Thick-film chip resistors are widely used in thick-film resistor electronic components, thick-film hybrid circuits, etc. Sheet-type thick-film resistors are mainly composed of a composition formed on the surface of an insulating substrate. A thick film resistor is obtained by printing on a conductive wire pattern or electrode and then firing the print at a temperature of 850°C ± 20°C.

厚膜抵抗ペーストは、導電成分と無機バインダーを有機媒体(担体)に分散することにより製造するものである。そして、スクリーン印刷の方法により厚膜抵抗ペーストは絶縁の基板に堆積される。厚膜抵抗器の電気性能は、主に堆積層における無機バインダーと導電成分の性質によって決定される。無機バインダーは、主な成分がガラスであり、その役割は、主に導電成分を一緒に粘着させて導電パスとなり、厚膜抵抗の完全性を維持することであり、かつ、基板との接着の点で重要な役割を果たす。有機媒体は、分散媒体であり、主にペーストの応用特性、特にレオロジー特性に影響する。 Thick film resistor pastes are prepared by dispersing conductive components and inorganic binders in an organic medium (carrier). The thick film resistor paste is then deposited on the insulating substrate by a screen printing method. The electrical performance of thick film resistors is primarily determined by the nature of the inorganic binder and conductive components in the deposited layers. The inorganic binder, whose main component is glass, whose role is mainly to stick the conductive components together into a conductive path, maintain the integrity of the thick film resistor, and improve the adhesion with the substrate. play an important role in the The organic medium is the dispersing medium, which mainly affects the application properties of the paste, especially the rheological properties.

従来の厚膜抵抗器は、シート抵抗が100Ω/□(オーム・パー・スクエア)未満の低抵抗範囲において(例えば、10Ω/□、1Ω/□、0.1Ω/□の抵抗範囲、或いは0.01Ω/□のようなさらに低い抵抗範囲)、導電相としてAg、Pd、RuOを利用するが、その課題は、抵抗温度係数(temperature coefficient of resistance、TCRとも略称する)性能を向上させるために、貴金属であるPdの含有量を増加させる必要となり、コストが大幅に増えてしまうことにある。 Conventional thick film resistors are available in low resistance ranges with sheet resistances below 100 ohms per square (eg, resistance ranges of 10 ohms/square, 1 ohms/square, 0.1 ohms/square, or 0.1 ohms/square). 01 Ω/square), using Ag, Pd, RuO2 as the conductive phase, but the challenge is to improve the temperature coefficient of resistance (TCR) performance. , the content of Pd, which is a noble metal, must be increased, resulting in a significant increase in cost.

従来の低抵抗範囲の配合において、無機バインダーとして主に鉛含有の鉛珪酸塩ガラスを利用し、導電成分としてAg、Pd、RuOの3つの導電相を利用することが多く、一般的にAg、Pdで抵抗値及びTCRを制御し、Pd含有量が高くなるほど、より低いTCRが得られるが、抵抗値の低下が難しくなり、近年、低抵抗範囲の厚膜抵抗器への要求が高まっているため、低コストで高性能の抵抗ペーストが求められる。 In conventional formulations in the low resistance range, lead-containing lead silicate glass is mainly used as the inorganic binder, and the three conductive phases of Ag, Pd, and RuO2 are often used as the conductive component, generally Ag , Pd controls the resistance value and TCR, and the higher the Pd content, the lower the TCR can be obtained, but it becomes difficult to lower the resistance value. Therefore, a low-cost, high-performance resistor paste is required.

従来の低抵抗範囲の厚膜抵抗器は、貴金属であるPd粉末の含有量を増加することによりTCRを低下させるが、Pd粉末の含有量を増加すると、一般的に抵抗値が大きくなり、そしてAgの含有量を増加する必要があり、しかし、この場合、TCRが向上するため、さらにPd粉末の含有量を増加し、所望の抵抗値とTCR性能を達成するまで同様にすればよいが、このような方法の大きな課題として、このような煩雑な方法で所望の抵抗値とTCR性能を達成することが難しいことにある。 Conventional thick film resistors in the low resistance range lower the TCR by increasing the content of Pd powder, which is a noble metal, but increasing the content of Pd powder generally leads to higher resistance values, and It is necessary to increase the Ag content, but in this case the TCR is improved, so the content of the Pd powder can be further increased, and so on until the desired resistance value and TCR performance are achieved. A major problem with such a method is that it is difficult to achieve the desired resistance and TCR performance with such a cumbersome method.

本発明の目的は、従来技術にある不足を克服し、抵抗値が低く、TCR性能により優れた厚膜抵抗ペーストを提供することにある。 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to overcome deficiencies in the prior art and provide a thick film resistor paste with lower resistance and better TCR performance.

上記目的を達成するために、本発明の実施形態は、Ag粉末、Pt粉末及びAg-Pt合金粉末のうち少なくとも2つを含み、前記Pt粉末又はAg-Pt合金粉末は、ハニカム球状、綿状、球状及び略球形のうち少なくとも1つであり、前記Pt粉末又はAg-Pt合金粉末において、少なくとも90wt%のPt粉末又はAg-Pt合金粉末の長軸と短軸との長さの比が、長軸:短軸=1~3である、厚膜抵抗ペーストである。 To achieve the above object, an embodiment of the present invention includes at least two of Ag powder, Pt powder and Ag—Pt alloy powder, wherein the Pt powder or Ag—Pt alloy powder has a honeycomb spherical shape, flocculate shape, , at least one of a spherical shape and a substantially spherical shape, and in the Pt powder or Ag—Pt alloy powder, the length ratio of the major axis to the minor axis of at least 90 wt% of the Pt powder or Ag—Pt alloy powder is Long Axis: Thick Film Resistor Paste with Minor Axis=1-3.

従来の配合では、中低抵抗範囲、特にシート抵抗が100Ω/□未満の抵抗器のTCRは、主に貴金属であるPdの含有量に関係する。Pdには上記の欠点が存在するため、本発明では、Pdの代わりにPtを使用する手段を採用した。元素の周期表において、Ptは、Pdと同じ主族の元素であり、両者の物理・化学的性能が極めて類似し、純度、希少性及び耐久性の面で、両者が互いに置換されてもよく、純Ptは、良好な高温耐酸化性及び化学安定性を有する。常温で、Ptは、厚膜抵抗ペーストにおいて安定的に存在することができ、かつ850℃での焼結後、ペーストにおけるAgとAg-Pt二元系合金を形成することができ、その結果、厚膜抵抗器においてAg-Pt二元系合金の結晶相として存在する。また、PtとPd粉末との最も大きな相違点は、以下のとおりである。Pdは、室温~850℃で酸化・分解の過程が存在し、300~400℃の温度範囲に酸化し始めてPdOを形成し、800℃程度で分解し始めてPdを形成するが、PdOの完全分解温度が850℃を超え、850℃での焼結後、一部の未分解のPdOが残存する可能性もあり、PdOの存在により抵抗値及びTCRに大きな影響を与え、未分解のPdOの含有量が多くなるほど、抵抗値が高くなり、Pdの含有量が比較的に低下し、TCR値が高くなる。一方、Pt粉末は、酸化・分解の過程が存在せず、一定の温度まで焼結する際に、Agと直接Ag-Pt二元系合金を形成することができ、そのため、抵抗値が低く、TCR性能に優れた厚膜抵抗ペーストを得ることができる。 In conventional formulations, the TCR in the mid-to-low resistance range, especially for resistors with a sheet resistance of less than 100 ohms/square, is primarily related to the content of Pd, a noble metal. Since Pd has the above drawbacks, the present invention employs the means of using Pt instead of Pd. In the periodic table of the elements, Pt is an element of the same main group as Pd, both have very similar physical and chemical properties, and in terms of purity, rarity and durability, both may be substituted with each other. , pure Pt has good high temperature oxidation resistance and chemical stability. At normal temperature, Pt can stably exist in the thick film resistor paste, and after sintering at 850° C., can form Ag and Ag—Pt binary alloy in the paste, so that It exists as a crystalline phase of Ag—Pt binary alloy in thick film resistors. Moreover, the biggest difference between Pt and Pd powder is as follows. Pd undergoes a process of oxidation and decomposition between room temperature and 850°C, begins to oxidize in the temperature range of 300 to 400°C to form PdO, and begins to decompose to form Pd at about 800°C, but PdO is completely decomposed. When the temperature exceeds 850°C, some undecomposed PdO may remain after sintering at 850°C. The higher the amount, the higher the resistance value, the lower the Pd content, and the higher the TCR value. On the other hand, Pt powder does not undergo oxidation/decomposition processes, and can form an Ag—Pt binary alloy directly with Ag when sintered to a certain temperature. A thick film resistor paste with excellent TCR performance can be obtained.

そのため、発明者らは、以下のことを見出した。Pd粉末の代わりにPt粉末を使用した場合、シート抵抗が100Ω/□未満の抵抗器のTCRが低下することから、Pt粉の使用によりTCR性能を向上させることができ、これによりコストを低下させかつTCR性能を向上させる目的を達成できることがわかった。そして、特定の形状のPt粉末又はAg-Pt合金粉末を利用した場合、TCRの温度依存性(TCRの焼結温度による影響)及びTCRサイズ効果(サイズの大きさによる影響)が向上する。そして、Pd粉末の代わりにPt粉末を使用した場合、厚膜抵抗器の短時間過負荷性能が一定に保持され又はより優れたものになることが保証される。 Therefore, the inventors found out the following. Since the use of Pt powder instead of Pd powder results in lower TCR for resistors with a sheet resistance of less than 100 ohms/square, the use of Pt powder can improve TCR performance, thereby reducing cost. And it was found that the object of improving the TCR performance can be achieved. When a Pt powder or Ag--Pt alloy powder having a specific shape is used, the temperature dependence of TCR (influence of sintering temperature on TCR) and the TCR size effect (influence of size) are improved. And when Pt powder is used instead of Pd powder, it is ensured that the short time overload performance of the thick film resistor remains constant or even better.

Pt粉末又はAg-Pt合金粉末のモルフォロジーは、厚膜抵抗器の電気性能に大きな影響を与え、ハニカム球状、綿状、球状以及略球形のPt粉末又はAg-Pt合金粉末を使用することにより、その他の成分と有機担体において均一に混合して、良好なレオロジー性能を示すことができる。同時に、上述のようなモルフォロジーを有するPt粉末は、ガラス相及びAg粒子と良好に接触することができ、焼結過程において、Ag-Pt合金の形成に有利となり、かつガラス相がそれに対して良好な湿潤過程を示し、同様に、上述のようなモルフォロジーを有するAg-Pt合金粉末も、ガラス相と良好な接触となり、これにより、ガラス相がそれに対して良好な湿潤過程を示す。シート状粉体を使用すると、Pt粉末/Ag-Pt合金粉末がその他の成分において分散しにくく、分散が不均一となり、スクリーン印刷の過程において目詰まりの現象が発生する可能性があり、かつ、焼結した後、熱応力により厚膜抵抗器の表面にクラックやボイドなどの欠陥が発生することがある。 The morphology of the Pt powder or Ag--Pt alloy powder has a great influence on the electrical performance of the thick film resistor. It can be homogeneously mixed in the organic carrier with other ingredients to exhibit good rheological performance. At the same time, the Pt powder with the above morphology can make good contact with the glass phase and Ag particles, and in the sintering process, it favors the formation of Ag--Pt alloy, and the glass phase is good against it. Similarly, the Ag—Pt alloy powder with the morphology as described above also comes into good contact with the glass phase, which makes the glass phase exhibit good wetting with respect to it. When sheet-like powder is used, the Pt powder/Ag—Pt alloy powder is difficult to disperse in other components, resulting in non-uniform dispersion, which may cause clogging in the screen printing process, and After sintering, thermal stress can cause defects such as cracks and voids on the surface of the thick film resistor.

Pt粉末又はAg-Pt粉末は、長軸(a)と短軸(b)との長さの比a/bが3を超える場合、その粉体のモルフォロジーが針状モルフォロジーに近いものとなり、このようなモルフォロジーの場合、製造工程において分散しにくく、その他の導電相、ガラス相と有機担体において分散が不均一となる現象が発生しやすく、それにより厚膜抵抗器の電気性能及その他の性能に影響を与える。a/bが1~3であるPt粉末又はAg-Pt粉末は、その他の成分と有機担体において均一に混合して、良好なレオロジー性能を示すことができ、性能に優れた厚膜抵抗器が得られる。 When the Pt powder or Ag—Pt powder has a length ratio a/b of the major axis (a) to the minor axis (b) of more than 3, the morphology of the powder is close to an acicular morphology. In the case of such a morphology, it is difficult to disperse in the manufacturing process, and a phenomenon of non-uniform dispersion in other conductive phases, glass phases and organic carriers is likely to occur, which affects the electrical performance and other performance of the thick film resistor. influence. Pt powder or Ag—Pt powder with a/b of 1 to 3 can be uniformly mixed with other components in an organic carrier to exhibit good rheological performance, and a thick film resistor with excellent performance can be obtained. can get.

好ましくは、前記Pt粉末及びAg-Pt合金粉末において、X線回折法により測定されたPtの(111)結晶面の結晶子径が7~50nmである。 Preferably, in the Pt powder and the Ag—Pt alloy powder, the crystallite size of the (111) crystal face of Pt measured by X-ray diffraction is 7 to 50 nm.

好ましくは、前記Pt粉末の粒子径が、10nm~1μmであり、前記Pt粉末の比表面積が、0.3m/g~25m/gであり、前記Ag-Pt合金粉末の粒子径が、200nm~1μmであり、前記Ag-Pt合金粉末の比表面積が、0.3m/g~15m/gである。結晶子径が高すぎると、粒子径が大きくなるほど、比表面積が小さくなり、Pt粉末又はAg-Pt合金粉末を同じ質量で添加する場合の体積割合が小さくなり、導電相の体積割合は、厚膜抵抗器の電気性能に直接影響を与える。同様に、結晶子径が低すぎると、粒子径が小さくなるほど、比表面積が大きくなり、製造工程において集塊を形成しやすくなり、焼結過程においてガラス相が集塊内部の粉体を湿潤させることができなくなり、その結果、焼結過程において、熱応力作用により厚膜抵抗器の表面にクラックやボイドが発生し、このような欠陥は、厚膜抵抗器の電気性能に直接影響を与える。そのため、Ptの(111)結晶面の結晶子径が7~50nmである場合、性能に優れかつ表面にクラックやボイド等の欠陥がない厚膜抵抗器が得られる。 Preferably, the Pt powder has a particle size of 10 nm to 1 μm, the Pt powder has a specific surface area of 0.3 m 2 /g to 25 m 2 /g, and the Ag—Pt alloy powder has a particle size of 200 nm to 1 μm, and the specific surface area of the Ag—Pt alloy powder is 0.3 m 2 /g to 15 m 2 /g. If the crystallite size is too high, the larger the particle size, the smaller the specific surface area, and the smaller the volume ratio when the same mass of Pt powder or Ag—Pt alloy powder is added. It directly affects the electrical performance of film resistors. Similarly, if the crystallite size is too low, the smaller the particle size, the larger the specific surface area, the easier it is to form agglomerates in the manufacturing process, and the glass phase wets the powder inside the agglomerates during the sintering process. As a result, during the sintering process, cracks and voids occur on the surface of the thick film resistor due to the action of thermal stress, and such defects directly affect the electrical performance of the thick film resistor. Therefore, when the crystallite diameter of the (111) crystal plane of Pt is 7 to 50 nm, a thick film resistor having excellent performance and free from surface defects such as cracks and voids can be obtained.

好ましくは、前記厚膜抵抗ペーストは、30~80wt%の固相成分と、20~70wt%の有機成分とを含み、固相成分を100wt%とする場合、前記固相成分は、10~70wt%のAgと、0.1~60wt%のPtと、0~50wt%のRuOと、5~60wt%のガラス成分と、0~5wt%の無機フィラーとを含む。 Preferably, said thick film resistor paste comprises 30-80wt% solid phase component and 20-70wt% organic component, wherein said solid phase component is 10-70wt% % Ag, 0.1-60 wt % Pt, 0-50 wt % RuO 2 , 5-60 wt % glass component, and 0-5 wt % inorganic filler.

好ましくは、固相成分を100wt%とする場合、前記固相成分は、30~70wt%のAgと、5~60wt%のPtと、0~20wt%のRuOと、5~35wt%のガラス成分と、0~5wt%の無機フィラーとを含む。当該固相成分は、特に、0.1Ω/□の抵抗範囲(本願では、0.1Ω/□の抵抗範囲とは、実質的に、0.08~0.8Ω/□の範囲の抵抗範囲を示す。)の厚膜抵抗ペーストの製造に適用する。 Preferably, when the solid phase component is 100 wt%, the solid phase component is 30-70 wt% Ag, 5-60 wt% Pt, 0-20 wt% RuO2 , and 5-35 wt% glass. and 0-5 wt% inorganic filler. In particular, the solid phase component has a resistance range of 0.1 Ω/□ (in the present application, a resistance range of 0.1 Ω/□ substantially means a resistance range of 0.08 to 0.8 Ω/□). ) is applied to the manufacture of thick film resistor pastes.

好ましくは、固相成分を100wt%とする場合、前記固相成分は、20~60wt%のAgと、5~50wt%のPtと、0~20wt%のRuOと、10~40wt%のガラス成分と、0~5wt%の無機フィラーとを含む。当該固相成分は、特に、1Ω/□の抵抗範囲(本願では、1Ω/□の抵抗範囲とは、実質的に、0.8~10Ω/□の範囲の抵抗範囲を示す。)の厚膜抵抗ペーストの製造に適用する。 Preferably, when the solid phase component is 100 wt%, the solid phase component is 20-60 wt% Ag, 5-50 wt% Pt, 0-20 wt% RuO2 , and 10-40 wt% glass. and 0-5 wt% inorganic filler. The solid phase component is particularly a thick film having a resistance range of 1 Ω/□ (in this application, the resistance range of 1 Ω/□ substantially indicates a resistance range of 0.8 to 10 Ω/□). Applied in the production of resistor paste.

好ましくは、固相成分を100wt%とする場合、前記固相成分は、10~40wt%のAgと、0.1~20wt%のPtと、20~50wt%のRuOと、20~60wt%のガラス成分と、0~5wt%の無機フィラーとを含む。当該固相成分は、特に、10Ω/□の抵抗範囲(本願では、10Ω/□の抵抗範囲とは、実質的に、10~30Ω/□の範囲の抵抗範囲を示す。)の厚膜抵抗ペーストの製造に適用する。 Preferably, when the solid phase component is 100 wt%, the solid phase component is 10-40 wt% Ag, 0.1-20 wt% Pt, 20-50 wt% RuO2 , 20-60 wt% of the glass component and 0 to 5 wt% of inorganic filler. The solid phase component is, in particular, a thick film resistor paste with a resistance range of 10Ω/□ Applies to the manufacture of

シート抵抗が100Ω/□未満の抵抗器において、抵抗ペーストにおけるPtの含有量が所定の上限を超えると、まず、抵抗率が低いAg粉末の相対含有量が低下し、そのシート抵抗が所定の要求に満たしにくく、そして、ガラス相の相対含有量が低下し、ガラス相が少なすぎて多くの導電相を湿潤させることができなく、これにより、厚膜抵抗器の表面にクラックやボイドが発生し、その電気性能がさらに悪化する。Ptの含有量が所定の下限未満であると、TCR性能、STOL性能及その他の電気性能が要求に満たしにくく、そのため、全ての要求に満たすために、適切な添加範囲を選択する必要がある。
好ましくは、前記ガラス成分は、ガラス組成物1、ガラス組成物2、ガラス組成物3及びガラス組成物4のうち少なくとも1つであり、
In a resistor with a sheet resistance of less than 100Ω/□, when the content of Pt in the resistor paste exceeds a predetermined upper limit, firstly, the relative content of Ag powder with low resistivity decreases, and the sheet resistance is reduced to meet the predetermined requirement. and the relative content of the glass phase decreases, with too little glass phase to wet out much of the conductive phase, which leads to cracks and voids on the surface of the thick film resistor. , its electrical performance deteriorates further. If the Pt content is less than the predetermined lower limit, the TCR performance, STOL performance and other electrical performance are difficult to meet the requirements, so it is necessary to select an appropriate addition range to meet all requirements.
Preferably, the glass component is at least one of glass composition 1, glass composition 2, glass composition 3 and glass composition 4,

前記ガラス組成物1は、重量百分率で、PbO 10~50%、SiO35~55%、CaO 5~30%、Al 1~20%、B 1~10%及びZnO 0~10%を含み、前記PbO、SiO、CaO、Al、B及びZnOのガラス組成物1における重量百分率での含有量の合計が、少なくとも95%であり、
前記ガラス組成物2は、重量百分率で、SiO 40~75%、BaO 0~15%、SrO 0~20%、NaO 0~10%、KO 0~10%、Al 1~15%、B1~25%及びZnO 0~10%を含み、前記SiO、BaO、SrO、NaO、KO、Al、B及びZnOのガラス組成物2における重量百分率での含有量の合計が、少なくとも95%であり、
前記ガラス組成物3は、重量百分率で、PbO 50~88%、SiO10~30%、Al1~10%、B 1~10%及びZnO 0~10%を含み、前記PbO、SiO、Al、B及びZnOのガラス組成物3における重量百分率での含有量の合計が、少なくとも95%であり、
前記ガラス組成物4は、重量百分率で、PbO 60~88%、SiO 10~35%、Al 1~10%、B1~10%及び遷移金属酸化物0~20%を含み、前記遷移金属酸化物は、CuO、MnO、Nb、Ta、TiO及びZrOのうち少なくとも1つを含む。
前記無機フィラーは、Nb、MnO、CuO、TiO及びTaのうち少なくとも1つである。
The glass composition 1 contains, in weight percentages, 10-50% PbO, 35-55% SiO 2 , 5-30% CaO, 1-20% Al 2 O 3 , 1-10% B 2 O 3 and 0 ZnO. ~10%, wherein the sum of the PbO, SiO2 , CaO, Al2O3 , B2O3 and ZnO contents in the glass composition 1 in weight percentage is at least 95 %;
The glass composition 2 contains, in weight percentage, SiO 2 40-75%, BaO 0-15%, SrO 0-20%, Na 2 O 0-10%, K 2 O 0-10%, Al 2 O 3 1-15%, B 2 O 3 1-25% and ZnO 0-10%, and said SiO 2 , BaO, SrO, Na 2 O, K 2 O, Al 2 O 3 , B 2 O 3 and ZnO the total content in weight percentage in the glass composition 2 is at least 95%;
The glass composition 3 contains, in weight percentage, 50-88% PbO, 10-30% SiO 2 , 1-10% Al 2 O 3 , 1-10% B 2 O 3 and 0-10% ZnO, the sum of the PbO, SiO 2 , Al 2 O 3 , B 2 O 3 and ZnO contents in the glass composition 3 in weight percentage is at least 95%;
The glass composition 4 contains, in weight percentages, 60-88% PbO, 10-35% SiO 2 , 1-10% Al 2 O 3 , 1-10% B 2 O 3 and 0-20% transition metal oxides. and the transition metal oxide includes at least one of CuO, MnO2 , Nb2O5 , Ta2O5 , TiO2 and ZrO2 .
The inorganic filler is at least one of Nb2O5 , MnO2 , CuO , TiO2 and Ta2O5 .

好ましくは、前記有機成分は、有機担体と、有機溶媒とを含み、前記有機担体が、エチルセルロース、メチルセルロース、アクリル樹脂及びエポキシ樹脂のうち少なくとも1つであり、前記有機溶媒が、テルピネオール、ブチルカルビトール、ブチルカルビトールアセテート、ジエチレングリコールジブチルエーテル及びアルコールエステル系のうち少なくとも1つである。
Preferably, the organic component comprises an organic carrier and an organic solvent, wherein the organic carrier is at least one of ethyl cellulose, methyl cellulose, an acrylic resin and an epoxy resin, and the organic solvent comprises terpineol, At least one of butyl carbitol, butyl carbitol acetate, diethylene glycol dibutyl ether and alcohol ester.

本発明のもう一つの目的は、前記厚膜抵抗ペーストにより製造される抵抗器を提供することにある。 Another object of the present invention is to provide a resistor manufactured with said thick film resistor paste.

本発明の有益な効果は、以下のとおりである。本発明は、厚膜抵抗ペーストを提供し、本発明に係る厚膜抵抗ペーストにおける導電相成分は、Pdの代わりにPtを使用し、特定のモルフォロジーを有するPt粉末又はAg-Pt合金粉末を利用した後、シート抵抗が100Ω/□未満の抵抗器のTCRが低下し、かつTCRの温度依存性(TCRの焼結温度による影響)及びTCRサイズ効果(サイズの大きさによる影響)が向上し、これからわかるように、特定のモルフォロジーを有するPt粉末によりTCR性能を向上させることができ、コストを低下させかつTCR性能を向上させる目的を達成できる。そして、Pd粉末の代わりにPtを使用した後、厚膜抵抗器の短時間過負荷性能が一定に保持され又はより優れたものになることが保証される。 Beneficial effects of the present invention are as follows. The present invention provides a thick film resistor paste, the conductive phase component in the thick film resistor paste according to the present invention uses Pt instead of Pd, and utilizes Pt powder or Ag-Pt alloy powder with a specific morphology. After that, the TCR of resistors with a sheet resistance of less than 100 Ω/square is reduced, and the temperature dependence of the TCR (the effect of the sintering temperature on the TCR) and the TCR size effect (the effect of the size of the size) are improved; It can be seen that the Pt powder with a specific morphology can improve the TCR performance, achieving the objectives of lowering the cost and improving the TCR performance. And it is ensured that the short time overload performance of the thick film resistor remains constant or even better after using Pt instead of Pd powder.

本発明の目的、実施形態及び利点をよりよく説明するため、以下、具体的な実施例を参照しながら本発明についてさらに説明する。
実施例及び比較例に係るPt粉末のタイプは、表1に示す。

Figure 0007295973000001
注:表の中のPt(111)面の粒子径及び粒子の長軸と短軸との比とは、走査電子顕微鏡により測定された写真において80%以上の粒子の粒子径が当該Pt(111)面の粒子径及び粒子の長軸と短軸との比の範囲内にあることを示す。一般的には、抵抗ペーストに使用される白金粉末の一次粒子径は、基本的にX線回折法により測定された結晶子径と同等であるとみなし、結晶子径D(nm)は、Scherrerの式により算出され:D(nm)=(K・γ)/(B・cosθ)、ここで、KはScherrer定数であり、0.89とし、γ(nm)はX線の波長であり、Bは(111)面のピークの半値幅であり、θは回折角である。実施例に係るPt粉末の結晶子径は、X線回折法により測定された相対強度が最も高いピーク値から算出される。
実施例及び比較例に係るガラス成分は、表2に示し、単位はwt%である。
Figure 0007295973000002
ここで、遷移金属酸化物はCuO、MnO、Nb、Ta、TiO及びZrOの混合物であり、前記CuO、MnO、Nb、Ta、TiO及びZrOの重量の比は、1:1:1:1:1:1である。 In order to better explain the objects, embodiments and advantages of the present invention, the present invention will now be further described with reference to specific examples.
The types of Pt powder according to Examples and Comparative Examples are shown in Table 1.
Figure 0007295973000001
Note: The particle size of the Pt (111) plane and the ratio of the long axis to the short axis of the particle in the table are those of the Pt (111 ) within the grain size of the plane and the ratio of the major axis to the minor axis of the particle. In general, the primary particle size of the platinum powder used in the resistor paste is basically considered to be equivalent to the crystallite size measured by the X-ray diffraction method, and the crystallite size D (nm) is determined by Scherrer D (nm) = (K · γ) / (B · cos θ), where K is the Scherrer constant and is set to 0.89, γ (nm) is the wavelength of the X-ray, B is the half width of the peak of the (111) plane, and θ is the diffraction angle. The crystallite size of the Pt powder according to the example is calculated from the peak value with the highest relative intensity measured by the X-ray diffraction method.
Glass components according to Examples and Comparative Examples are shown in Table 2, and the unit is wt %.
Figure 0007295973000002
Here, the transition metal oxide is a mixture of CuO, MnO2 , Nb2O5 , Ta2O5 , TiO2 and ZrO2 , and the CuO, MnO2 , Nb2O5 , Ta2O5 , TiO 2 and ZrO 2 weight ratio is 1:1:1:1:1:1.

実施例及び比較例において、有機成分は、以下の重量百分率含有量での成分を含み:エチルセルロース及びテルピネオール、エチルセルロースとテルピネオールとの重量比=1:4である。 In the examples and comparative examples, the organic component comprises the following weight percentage contents: ethyl cellulose and terpineol, weight ratio of ethyl cellulose and terpineol = 1:4.

抵抗範囲が0.1Ω/□である厚膜抵抗ペーストの配合は、表3に示す。

Figure 0007295973000003
Formulations for thick film resistor pastes with a resistance range of 0.1 ohms/square are shown in Table 3.
Figure 0007295973000003

抵抗範囲が1Ω/□である厚膜抵抗ペーストの配合は、表4に示す。

Figure 0007295973000004
Thick film resistor paste formulations with a resistance range of 1 ohm/square are shown in Table 4.
Figure 0007295973000004

抵抗範囲が10Ω/□である厚膜抵抗ペーストの配合は、表5に示す。

Figure 0007295973000005
A thick film resistor paste formulation with a resistance range of 10 ohms/square is shown in Table 5.
Figure 0007295973000005

厚膜抵抗ペーストを850℃で焼結してチップ抵抗器を製造した後、その性能を測定した。
a.0603の規格を印刷し、全面における全てのチップ抵抗器の抵抗値の標準偏差を測定すると、SD<4%であった。
b.0.8*0.8の規格のチップ抵抗器のTCR性能を測定した。一般的には、25℃を基準として、125℃の条件で10min保温して測定した抵抗値をR125とし、-55℃の条件で10min保温して測定した抵抗値をR-55とし、

Figure 0007295973000006
Figure 0007295973000007
により測定したH(C)TCR性能が以下のとおりであった:0.1Ω/□<800ppm、1Ω/□<500ppm、10Ω/□が±100ppm範囲内にあった。
c.短時間過負荷(STOL)性能を測定した。0.8*0.8サイズの厚膜抵抗器に5sの2.5倍の定格電流(10Ω/□以下)或いは2.5倍の定格電圧(10Ω/□)を印加し、30分間放置して、
Figure 0007295973000008
(ここで、R、Rは、それぞれ、印加前後の抵抗値である。)によりその前後の抵抗値の変化を確認し、ΔR変化絶対値が1%未満であるものを合格とし、そうしないものを不合格とした。定格電圧が
Figure 0007295973000009
であり、定格電流が
Figure 0007295973000010
(Rが、対応するチップ抵抗器の抵抗値である。)である。 After the thick film resistor paste was sintered at 850° C. to produce a chip resistor, its performance was measured.
a. 0603 standard was printed and the standard deviation of the resistance values of all chip resistors across the entire surface was measured to be SD<4%.
b. The TCR performance of 0.8*0.8 standard chip resistors was measured. In general, with 25°C as the reference, the resistance value measured by keeping the temperature at 125°C for 10 minutes is defined as R125 , and the resistance value measured by keeping the temperature at -55°C for 10 minutes is defined as R -55 .
Figure 0007295973000006
Figure 0007295973000007
The H(C)TCR performance as measured by RI was as follows: 0.1 Ω/square <800 ppm, 1 Ω/square <500 ppm, 10 Ω/square within ±100 ppm.
c. Short time overload (STOL) performance was measured. Apply 2.5 times the rated current (10Ω/square or less) or 2.5 times the rated voltage (10Ω/square) of 5s to a 0.8*0.8 size thick film resistor and leave it for 30 minutes. hand,
Figure 0007295973000008
(Here, R 0 and R 1 are the resistance values before and after the application, respectively.) Confirm the change in the resistance value before and after the application, and pass those with an absolute value of ΔR change of less than 1%. Those that did not were rejected. rated voltage
Figure 0007295973000009
and the rated current is
Figure 0007295973000010
(R is the resistance value of the corresponding chip resistor).

抵抗範囲が0.1Ω/□である厚膜抵抗ペーストの性能測定結果は、表6に示す。

Figure 0007295973000011
Performance measurements of thick film resistor pastes with a resistance range of 0.1 ohms/square are shown in Table 6.
Figure 0007295973000011

抵抗範囲が1Ω/□である厚膜抵抗ペースト性能測定結果は、表7に示す。

Figure 0007295973000012
Thick film resistor paste performance measurements with a resistance range of 1 ohm/square are shown in Table 7.
Figure 0007295973000012

抵抗範囲が10Ω/□である厚膜抵抗ペースト性能測定結果は、表8に示す。

Figure 0007295973000013
Thick film resistor paste performance measurements with a resistance range of 10 ohms/square are shown in Table 8.
Figure 0007295973000013

比較例5
本比較例と実施例5との相違点は、本比較例において、実施例5におけるPtの代わりにPdを使用し、このPd粉末のモルフォロジー及び粒子径範囲が実施例5のPt粉末と同じであったことのみにある。
Comparative example 5
The difference between this comparative example and Example 5 is that in this Comparative example, Pd is used instead of Pt in Example 5, and the morphology and particle size range of this Pd powder are the same as those of the Pt powder of Example 5. It's all about what happened.

比較例6
本比較例と実施例14との相違点は、本比較例において、実施例14におけるPtの代わりにPdを使用し、このPd粉末のモルフォロジー及び粒子径範囲が実施例14のPt粉末と同じであったことのみにある。
Comparative example 6
The difference between this comparative example and Example 14 is that in this comparative example, Pd is used instead of Pt in Example 14, and the morphology and particle size range of this Pd powder are the same as those of the Pt powder of Example 14. It's all about what happened.

比較例7
本比較例と実施例21との相違点は、本比較例において実施例21におけるPtの代わりにPdを使用し、このPd粉のモルフォロジー及び粒子径範囲が実施例21のPt粉末と同じであったことのみにある。
Comparative example 7
The difference between this comparative example and Example 21 is that Pd is used instead of Pt in Example 21 in this comparative example, and the morphology and particle size range of this Pd powder are the same as those of the Pt powder of Example 21. It's just that.

比較例5~7の測定結果は、表9に示す。

Figure 0007295973000014
表6~9からわかるように、厚膜抵抗器は、低い抵抗範囲である1Ω/□、0.1Ω/□、或いはより低い抵抗範囲、例えば0.01Ω/□の場合、Pt粉末又はAg-Pt合金のモルフォロジー、比表面積及び粒子径を制御し、Pd粉末の代わりに同等の質量百分率のPt粉末を使用することにより、より優れたTCR性能が得られた。10Ω/□の場合、Pd粉末の代わりに同等の質量百分率のPt粉末を使用することにより、より優れたTCR温度依存特性及び小さいTCRサイズ効果が得られた。 Table 9 shows the measurement results of Comparative Examples 5 to 7.
Figure 0007295973000014
As can be seen from Tables 6-9, the thick film resistors can be either Pt powder or Ag- Better TCR performance was obtained by controlling the morphology, specific surface area and particle size of the Pt alloy and substituting the same mass percentage of Pt powder for Pd powder. In the case of 10 ohms/square, better TCR temperature dependent properties and smaller TCR size effect were obtained by substituting equivalent mass percentage of Pt powder for Pd powder.

実施例25
実施例7との相違点は、本実施例において実施例7におけるPtの代わりにf型Ptを使用したことのみにある。
Example 25
The only difference from Example 7 is that f-type Pt was used instead of Pt in Example 7 in this example.

実施例26
実施例15との相違点は、本実施例において実施例15におけるPtの代わりにg型Ptを使用したことのみにある。
Example 26
The only difference from Example 15 is that g-type Pt was used instead of Pt in Example 15 in this example.

実施例27
実施例10との相違点は、本実施例において実施例10におけるPtの代わりにh型Ptを使用したことのみにある。
Example 27
The only difference from Example 10 is that h-type Pt was used instead of Pt in Example 10 in this example.

実施例28
実施例17との相違点は、本実施例において実施例17におけるPtの代わりにi型Ptを使用したことのみにある。
Example 28
The only difference from Example 17 is that i-type Pt was used instead of Pt in Example 17 in this example.

比較例8
実施例5との相違点は、本比較例において実施例5におけるPtの代わりにj型Ptを使用したことのみにある。
Comparative example 8
The only difference from Example 5 is that j-type Pt was used instead of Pt in Example 5 in this comparative example.

比較例9
実施例14との相違点は、本比較例において実施例14におけるPtの代わりにj型Ptを使用したことのみにある。
Comparative example 9
The only difference from Example 14 is that j-type Pt was used instead of Pt in Example 14 in this comparative example.

比較例10
実施例21との相違点は、本比較例において実施例21におけるPtの代わりにj型Ptを使用したことのみにある。
Comparative example 10
The only difference from Example 21 is that j-type Pt was used instead of Pt in Example 21 in this comparative example.

実施例25~28及び比較例8~10の測定結果は、表10に示す。

Figure 0007295973000015
The measurement results of Examples 25-28 and Comparative Examples 8-10 are shown in Table 10.
Figure 0007295973000015

表10からわかるように、Ptの(111)結晶面の結晶子径が7~50nmの範囲内にない場合、STOL及び抵抗値の集中度が要求に満たしにくく、Pt粉末又はAg-Pt合金粉末の長軸と短軸との長さの比が3を超える(比較例10)場合、CTCR及びSDが要求に満たしにくかった。 As can be seen from Table 10, when the crystallite diameter of the (111) crystal face of Pt is not within the range of 7 to 50 nm, the concentration of STOL and resistance value is difficult to meet the requirements, and the Pt powder or Ag—Pt alloy powder When the length ratio of the major axis to the minor axis of is greater than 3 (Comparative Example 10), CTCR and SD were difficult to meet the requirements.

異なる焼結温度で厚膜抵抗ペーストからチップ抵抗器を製造した後、上記の方法に従って0.8*0.8規格のチップ抵抗器のTCR性能を測定したところ、測定の結果を、表11~15に示す。

Figure 0007295973000016
Figure 0007295973000017
Figure 0007295973000018
Figure 0007295973000019
Figure 0007295973000020
After fabricating chip resistors from thick film resistor paste at different sintering temperatures, the TCR performance of 0.8*0.8 standard chip resistors was measured according to the above method. 15.
Figure 0007295973000016
Figure 0007295973000017
Figure 0007295973000018
Figure 0007295973000019
Figure 0007295973000020

表11~15からわかるように、Pt粉末を使用した抵抗ペーストにより製造された抵抗器は、Pd粉末を使用したものよりも、優れたTCR温度依存性を有し、抵抗ペーストにおいて、Ptの(111)結晶面の結晶子径が7~50nm範囲内にあり、Pt粉末又はAg-Pt合金粉末の長軸と短軸との長さの比が3の範囲内にあり、このような抵抗ペーストにより製造された抵抗器は、より優れたTCR温度依存性を有する。 As can be seen from Tables 11-15, the resistors fabricated with the resistor paste using Pt powder have better TCR temperature dependence than those using Pd powder, indicating that Pt ( 111) The crystallite diameter of the crystal plane is in the range of 7 to 50 nm, the ratio of the length of the major axis to the minor axis of the Pt powder or Ag—Pt alloy powder is in the range of 3, and such a resistor paste has a better TCR temperature dependence.

厚膜抵抗ペーストを850℃で焼結してチップ抵抗器を製造した後、上記の方法に従って異なる規格のチップ抵抗器のTCR性能を測定した。測定結果は、表16~20に示す。

Figure 0007295973000021
Figure 0007295973000022
Figure 0007295973000023
Figure 0007295973000024
Figure 0007295973000025
After manufacturing chip resistors by sintering the thick film resistor paste at 850° C., the TCR performance of different standard chip resistors was measured according to the above method. The measurement results are shown in Tables 16-20.

Figure 0007295973000021
Figure 0007295973000022
Figure 0007295973000023
Figure 0007295973000024
Figure 0007295973000025

表16~20からわかるように、Pt粉末を使用した抵抗ペーストにより製造された抵抗器は、Pd粉末を使用したものよりも、優れたTCRサイズ効果を有し、抵抗ペーストにおいて、Ptの(111)結晶面の結晶子径が7~50nmの範囲内にあり、Pt粉末又はAg-Pt合金粉末の長軸と短軸との長さの比が3の範囲内にあり、このような抵抗ペーストにより製造された抵抗器は、より優れたTCRサイズ効果を有する。 As can be seen from Tables 16-20, resistors made with resistor pastes using Pt powder have better TCR sizing effects than those using Pd powder, showing that Pt (111 ) The crystallite diameter of the crystal plane is in the range of 7 to 50 nm, the length ratio of the major axis to the minor axis of the Pt powder or Ag-Pt alloy powder is in the range of 3, and such a resistor paste has a better TCR size effect.

なお、以上の実施例は、本発明の範囲を制限するものではなく、本発明の技術的手段を説明するためのものであり、好適な実施例を参照して本発明を詳細に説明したが、当業者は、本発明の技術的手段の本質と範囲から逸脱することなく、本発明の技術的手段に対して修正または均等物による置換を行うことができることを理解するであろう。 It should be noted that the above embodiments are not intended to limit the scope of the present invention, but are for the purpose of explaining the technical means of the present invention, and the present invention has been described in detail with reference to preferred embodiments. , Those skilled in the art will understand that the technical means of the present invention can be modified or replaced with equivalents without departing from the essence and scope of the technical means of the present invention.

Claims (6)

Ag粉末、Pt粉末及びAg-Pt合金粉末のうち少なくとも2つを含み、前記Pt粉末又はAg-Pt合金粉末は、ハニカム球状、綿状、球状及び略球形のうち少なくとも1つであり、前記Pt粉末又はAg-Pt合金粉末において、少なくとも90wt%のPt粉末又はAg-Pt合金粉末の長軸と短軸との長さの比が、長軸:短軸=1~3であ
前記厚膜抵抗ペーストは、30~80wt%の固相成分と、20~70wt%の有機成分とを含み、固相成分を100wt%とする場合、前記固相成分は、10~40wt%のAgと、0.1~20wt%のPtと、20~50wt%のRuO と、20~60wt%のガラス成分と、0~5wt%の無機フィラーとを含む、ことを特徴とする、厚膜抵抗ペースト。
At least two of Ag powder, Pt powder, and Ag—Pt alloy powder, wherein the Pt powder or Ag—Pt alloy powder is at least one of honeycomb spherical, flocculent, spherical, and substantially spherical, and the Pt In the powder or Ag—Pt alloy powder, at least 90 wt% of the Pt powder or Ag—Pt alloy powder has a length ratio of the major axis to the minor axis of major axis: minor axis = 1 to 3,
The thick film resistor paste includes 30-80 wt% solid phase component and 20-70 wt% organic component, where the solid phase component is 100 wt%, the solid phase component is 10-40 wt% Ag , 0.1-20 wt% Pt, 20-50 wt% RuO2 , 20-60 wt% glass component, and 0-5 wt% inorganic filler. paste.
前記Pt粉末及びAg-Pt合金粉末において、X線回折法により測定されたPtの(111)結晶面の結晶子径が7~50nmである、ことを特徴とする、請求項1に記載の厚膜抵抗ペースト。 In the Pt powder and Ag—Pt alloy powder, the crystallite size of the (111) crystal face of Pt measured by X-ray diffraction is 7 to 50 nm, The thickness according to claim 1 Membrane resistor paste. 前記Pt粉末の粒子径は、10nm~1μmであり、前記Pt粉末の比表面積は、0.3m/g~25m/gであり、前記Ag-Pt合金粉末の粒子径は、200nm~1μmであり、前記Ag-Pt合金粉末の比表面積は、0.3m/g~15m/gである、ことを特徴とする、請求項1に記載の厚膜抵抗ペースト。 The Pt powder has a particle size of 10 nm to 1 μm, the Pt powder has a specific surface area of 0.3 m 2 /g to 25 m 2 /g, and the Ag—Pt alloy powder has a particle size of 200 nm to 1 μm. , and the specific surface area of the Ag—Pt alloy powder is 0.3 m 2 /g to 15 m 2 /g. 前記ガラス成分は、ガラス組成物1、ガラス組成物2、ガラス組成物3及びガラス組成物4のうち少なくとも1つであり、
前記ガラス組成物1は、重量百分率で、PbO 10~50%、SiO35~55%、CaO 5~30%、Al 1~20%、B 1~10%及びZnO 0~10%を含み、前記PbO、SiO、CaO、Al、B及びZnOのガラス組成物1における重量百分率での含有量の合計が、少なくとも95%であり、
前記ガラス組成物2は、重量百分率で、SiO 40~75%、BaO 0~15%、SrO 0~20%、NaO 0~10%、KO 0~10%、Al 1~15%、B1~25%及びZnO 0~10%を含み、前記SiO、BaO、SrO、NaO、KO、Al、B及びZnOのガラス組成物2における重量百分率での含有量の合計が、少なくとも95%であり、
前記ガラス組成物3は、重量百分率で、PbO 50~88%、SiO10~30%、Al1~10%、B 1~10%及びZnO 0~10%を含み、前記PbO、SiO、Al、B及びZnOのガラス組成物3における重量百分率での含有量の合計が、少なくとも95%であり、
前記ガラス組成物4は、重量百分率で、PbO 60~88%、SiO 10~35%、Al 1~10%、B1~10%及び遷移金属酸化物0~20%を含み、前記遷移金属酸化物は、CuO、MnO、Nb、Ta、TiO及びZrOのうち少なくとも1つを含む、
ことを特徴とする、請求項1~3のいずれか一項に記載の厚膜抵抗ペースト。
the glass component is at least one of glass composition 1, glass composition 2, glass composition 3 and glass composition 4;
The glass composition 1 contains, in weight percentages, 10-50% PbO, 35-55% SiO 2 , 5-30% CaO, 1-20% Al 2 O 3 , 1-10% B 2 O 3 and 0 ZnO. ~10%, wherein the sum of the PbO, SiO2 , CaO, Al2O3 , B2O3 and ZnO contents in the glass composition 1 in weight percentage is at least 95 %;
The glass composition 2 contains, in weight percentage, SiO 2 40-75%, BaO 0-15%, SrO 0-20%, Na 2 O 0-10%, K 2 O 0-10%, Al 2 O 3 1-15%, B 2 O 3 1-25% and ZnO 0-10%, and said SiO 2 , BaO, SrO, Na 2 O, K 2 O, Al 2 O 3 , B 2 O 3 and ZnO the total content in weight percentage in the glass composition 2 is at least 95%;
The glass composition 3 contains, in weight percentage, 50-88% PbO, 10-30% SiO 2 , 1-10% Al 2 O 3 , 1-10% B 2 O 3 and 0-10% ZnO, the sum of the PbO, SiO 2 , Al 2 O 3 , B 2 O 3 and ZnO contents in the glass composition 3 in weight percentage is at least 95%;
The glass composition 4 contains, in weight percentages, 60-88% PbO, 10-35% SiO 2 , 1-10% Al 2 O 3 , 1-10% B 2 O 3 and 0-20% transition metal oxides. wherein the transition metal oxide comprises at least one of CuO, MnO2 , Nb2O5 , Ta2O5 , TiO2 and ZrO2 ;
The thick film resistor paste according to any one of claims 1 to 3 , characterized in that:
前記有機成分は、有機担体と、有機溶媒とを含み、前記有機担体が、メチルセルロース、エチルセルロース、アクリル樹脂及びエポキシ樹脂のうち少なくとも1つであり、前記有機溶媒が、テルピネオール、ブチルカルビトール、ブチルカルビトールアセテート、ジエチレングリコールジブチルエーテル及びアルコールエステル系のうち少なくとも1つである、ことを特徴とする、請求項1~3のいずれか一項に記載の厚膜抵抗ペースト。 The organic component includes an organic carrier and an organic solvent, wherein the organic carrier is at least one of methyl cellulose, ethyl cellulose, acrylic resin and epoxy resin, and the organic solvent is terpineol, butyl carbitol, butyl carbitol. Thick film resistor paste according to any one of claims 1 to 3, characterized in that it is at least one of tall acetate, diethylene glycol dibutyl ether and alcohol ester system. 請求項1~のいずれか一項に記載の厚膜抵抗ペーストにより製造される、抵抗器。 A resistor manufactured from the thick film resistor paste according to any one of claims 1-5 .
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