JP7278584B2

JP7278584B2 - Grinding equipment

Info

Publication number: JP7278584B2
Application number: JP2019142511A
Authority: JP
Inventors: 伸二木村; 寿吉田
Original assignee: Takatori Corp
Current assignee: Takatori Corp
Priority date: 2019-08-01
Filing date: 2019-08-01
Publication date: 2023-05-22
Anticipated expiration: 2039-08-01
Also published as: JP2021024016A

Description

本発明は、被加工物を研削する研削装置に関する。 The present invention relates to a grinding apparatus for grinding a workpiece.

従来、チャックテーブルがターンテーブル上の同心円方向の３箇所に配置されると共に２連の研削部を備えた研削装置が知られている（例えば、特許文献１）。当該研削装置は、前記ターンテーブルが回転しながら、それぞれの研削部に向けてチャックテーブル上に保持した板状ワークが順次送り込まれるように構成されている。それぞれの研削部の直下に送り込まれた前記板状ワークは、前記研削部によって研削される。 2. Description of the Related Art Conventionally, there has been known a grinding apparatus in which chuck tables are arranged at three concentric locations on a turntable and which has two grinding units (for example, Patent Document 1). The grinding apparatus is configured such that the plate-like workpieces held on the chuck table are sequentially fed toward the respective grinding portions while the turntable rotates. The plate-like workpiece sent directly below each grinding section is ground by the grinding section.

特開２０１３－８６２４４JP 2013-86244

特許文献１の研削装置は、チャックテーブルを回転させながら、それぞれの研削部の直下にワークを送り込むものである。このため、前記研削部のスピンドルの軸心位置とチャックテーブルの軸心位置との関係は、一定に保たれている。すなわち、前記研削部が備える研削ホイールとワークとが接触する加工位置は、一定の位置関係が保たれている。 The grinding apparatus of Patent Literature 1 feeds workpieces directly under respective grinding portions while rotating a chuck table. Therefore, the relationship between the axial center position of the spindle of the grinding section and the axial center position of the chuck table is kept constant. That is, a certain positional relationship is maintained at the machining position where the grinding wheel provided in the grinding section and the work contact each other.

ところで、前記特許文献１の研削装置は、ワークの径や研削ホイールの径を変更する場合、前記スピンドルの軸心位置とチャックテーブルの軸心位置を変更する必要がある。しかしながら、前記特許文献１の研削装置は、前記スピンドルの軸心位置とチャックテーブルの軸心位置とが固定されており、変更することができない。従って、ワークの径や研削手段に備える研削ホイールの径を変更する場合、前記ワークの径や前記研削ホイールの径に合わせた別途の研削装置を用意しなければならない問題がある。 By the way, in the grinding apparatus of Patent Document 1, when changing the diameter of the workpiece or the diameter of the grinding wheel, it is necessary to change the axial center position of the spindle and the axial center position of the chuck table. However, in the grinding apparatus of Patent Document 1, the axial center position of the spindle and the axial center position of the chuck table are fixed and cannot be changed. Therefore, when changing the diameter of the workpiece or the diameter of the grinding wheel provided in the grinding means, there is a problem that a separate grinding device matching the diameter of the workpiece and the diameter of the grinding wheel must be prepared.

そこで本発明は、研削装置においてワークの径や研削ホイールの径を変更した場合であっても、別途の研削装置を用意することなく、各種の被加工物（ワークに相当）の研削が可能な研削装置を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention enables grinding of various workpieces (corresponding to workpieces) without preparing a separate grinding device even when the diameter of the workpiece or the diameter of the grinding wheel is changed in the grinding device. An object of the present invention is to provide a grinding device.

上述した課題を解決すべく提供される本発明の研削装置は、被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、前記チャックテーブルの保持面に保持された前記被加工物を研削する研削部と、前記研削部を前記保持面に対して研削送り可能に支持するコラムとを備える研削装置であって、前記研削部は、前記被加工物に研削を施すための砥石を有する研削ホイールと、前記研削ホイールを回転及び着脱可能に保持するスピンドルと、前記チャックテーブルに沿う方向に拡がるように形成され、前記スピンドルを支持する少なくとも一つの支持部とを有し、当該支持部は、前記チャックテーブルに対して水平方向かつ接近離反する方向となる配置方向に沿った配置部が形成され、前記スピンドルの配置を前記配置部に沿って変更可能としたことを特徴とするものである。 A grinding apparatus of the present invention, which is provided to solve the above-described problems, comprises a chuck table having a holding surface for holding a workpiece; and a column that supports the grinding part so that it can be fed to the holding surface, wherein the grinding part includes a grinding wheel having a grindstone for grinding the workpiece. , a spindle for rotatably and detachably holding the grinding wheel, and at least one supporting portion formed to expand in a direction along the chuck table and supporting the spindle, wherein the supporting portion is configured to support the chuck. The apparatus is characterized in that an arrangement portion is formed along an arrangement direction, which is a horizontal direction with respect to the table and a direction toward and away from the table, and the arrangement of the spindle can be changed along the arrangement portion.

かかる構成によれば、スピンドルの軸心位置をチャックテーブルに対して水平方向かつ接近離反する方向に変更して配置することが可能であるので、研削ホイールの径が変わっても、当該研削ホイールと被加工物が接触する加工位置を所定の位置に位置付けることができる。これにより、１台の研削装置で、各種の被加工物に対応することができるので、汎用性の高い研削装置が提供できる。前記配置部は、前記配置方向に沿った長孔又は開口を形成しておけば良い。なお、前記配置部は、スピンドルの配置を変更できるものであれば、各種の機構を採用できる。例えば、スピンドルがレールや溝に沿って移動するものであっても良い。 With such a configuration, it is possible to change the axial center position of the spindle with respect to the chuck table in the horizontal direction and in the direction of approaching and separating from the chuck table. The machining position with which the workpiece contacts can be positioned at a predetermined position. As a result, it is possible to provide a highly versatile grinding apparatus because one grinding apparatus can handle various types of workpieces. The arrangement portion may have a long hole or opening along the arrangement direction. Various mechanisms can be adopted as the arrangement portion as long as the arrangement of the spindles can be changed. For example, the spindle may move along rails or grooves.

また、上述した課題を解決すべく提供される本発明の研削装置は、前記配置部が、前記配置方向に沿った長孔又は開口が形成されていることを特徴とするものである。 Further, in the grinding apparatus of the present invention provided to solve the above-described problems, the arrangement portion is formed with a long hole or opening along the arrangement direction.

かかる構成によれば、スピンドルの配置の変更が、前記配置方向に沿って容易に行うことができる。前記配置部としての長孔又は開口は、スピンドルの配置位置を変更できるものであれば各種の形状のものが採用できる。例えば、前記長孔は、矩形状、楕円形状のものであっても良い。また、前記開口は、無端状のものだけでなく、例えば、一端が開口したＵ字形状、コの字形状のものであっても良い。 According to this configuration, the arrangement of the spindles can be easily changed along the arrangement direction. The elongated hole or opening as the placement portion may have various shapes as long as the placement position of the spindle can be changed. For example, the slot may be rectangular or elliptical. Moreover, the opening is not limited to an endless one, and may be, for example, a U-shaped or U-shaped opening at one end.

また、上述した課題を解決すべく提供される本発明の研削装置は、前記チャックテーブルの保持面が、前記被加工物の複数種類の外形に合わせて区画された複数の領域と、それぞれの領域毎に独立した保持力を発生する保持部とを備え、前記保持部による保持力が前記領域毎に切り替え可能に構成されていることを特徴とするものである。 Further, in the grinding apparatus of the present invention provided to solve the above-mentioned problems, the holding surface of the chuck table has a plurality of areas partitioned according to a plurality of types of contours of the workpiece, and and a holding portion that generates an independent holding force for each region, and the holding force by the holding portion is configured to be switchable for each of the regions.

かかる構成によれば、例えば円形状の外形を有する被加工物を研削する場合、被加工物の径が変わっても、チャックテーブルを交換することなく確実に保持できるので、前記研削装置の作業性と汎用性が向上する。また、チャックテーブルの交換に要する時間を廃することができるので、装置の稼働率を向上することが可能である。また、外形の形状が異なる被加工物を研削する場合であっても、確実に被加工物を保持することが可能である。前記複数の領域は、円形に限定されず、各種の形状を採用できる。例えば、領域は、矩形状、三角形状、楕円形状のものなどを採用できる。また、オリエンテーションフラット（オリフラとも称す）やノッチが形成されている被加工物を研削する場合は、前記オリフラやノッチの形状に合わせて領域を形成することが可能である。 According to this configuration, when grinding a workpiece having a circular outer shape, for example, even if the diameter of the workpiece changes, the chuck table can be reliably held without exchanging. and improve versatility. In addition, since the time required for replacing the chuck table can be eliminated, the operating rate of the apparatus can be improved. Moreover, even when grinding a workpiece having a different outer shape, it is possible to reliably hold the workpiece. The plurality of regions are not limited to circular shapes, and various shapes can be adopted. For example, the area may be rectangular, triangular, elliptical, or the like. In addition, when grinding a workpiece on which an orientation flat (also referred to as an orientation flat) or a notch is formed, it is possible to form a region according to the shape of the orientation flat or notch.

また、上述した課題を解決すべく提供される本発明の研削装置は、前記研削部を少なくとも１つ設けると共に前記チャックテーブルを複数設けたことを特徴とするものである。 Further, the grinding apparatus of the present invention provided to solve the above-described problems is characterized by providing at least one grinding section and a plurality of chuck tables.

かかる構成によれば、前記研削部で被加工物の研削を行っている間に、研削に寄与していないチャックテーブルで、被加工物の供給、検査、排出等を並行作業で行うことができる。これにより、研削装置の作業効率を向上することができる。また、複数の研削部及び複数のチャックテーブルを設けることにより、同時に複数の被加工物を加工できるので、被加工物の研削の作業効率が向上する。また、上述した本発明の研削装置は、研削部毎に違う条件を設定することにより、被加工物の多様な加工を行うことができる。 According to this configuration, while the workpiece is being ground in the grinding section, the workpiece can be supplied, inspected, discharged, etc., in parallel with the chuck table that does not contribute to the grinding. . Thereby, the working efficiency of the grinding device can be improved. Also, by providing a plurality of grinding units and a plurality of chuck tables, a plurality of workpieces can be processed at the same time, so that the working efficiency of grinding the workpieces is improved. In addition, the above-described grinding apparatus of the present invention can perform various processing of the workpiece by setting different conditions for each grinding section.

また、上述した課題を解決すべく提供される本発明の研削装置は、同心円方向に複数のチャックテーブルが配置されたターンテーブルを有し、前記研削部が、当該ターンテーブルに近接して少なくとも１つ配置されることを特徴とするものである。 Further, the grinding apparatus of the present invention provided to solve the above-described problems has a turntable on which a plurality of chuck tables are arranged concentrically, and the grinding section has at least one chuck table adjacent to the turntable. It is characterized by being arranged one.

かかる構成によれば、研削装置を複数台設置するよりも装置を小型化することができる。また、複数の研削部を配置することにより、前記ターンテーブル上に割り付けられた各ポジションで同時に被加工物の研削を行うことができるので作業効率が向上する。また、前記ターンテーブルの各ポジションを例えば粗研削ポジション、仕上げ研削ポジションのように割り付けることにより、１台の装置内で被加工物の一連の加工を行うことが可能となる。 According to such a configuration, the size of the device can be reduced compared to installing a plurality of grinding devices. Further, by arranging a plurality of grinding units, it is possible to simultaneously grind the workpiece at each position allocated on the turntable, thereby improving working efficiency. Further, by allocating each position of the turntable, for example, a rough grinding position and a finish grinding position, it becomes possible to process a series of workpieces in one apparatus.

また、上述した課題を解決すべく提供される本発明の研削装置は、前記研削部を構成する複数の研削ホイールのうち少なくとも１つが、他の一又は複数の研削ホイールと、砥石の形状及び材質のいずれか一方又は双方が異なるものであることを特徴とするものである。 Further, in the grinding apparatus of the present invention, which is provided to solve the above-described problems, at least one of the plurality of grinding wheels that constitute the grinding section has one or more other grinding wheels and the shape and material of the grindstone. Either one or both of are different.

かかる構成によれば、前記研削部毎に異なる砥石を用いることができるので、被加工物の多様な加工を行うことができる。また、複数の研削部に異なる径の砥石を用いることにより、１台の装置で複数種類の被加工物の加工を行うことが可能である。 According to such a configuration, different grindstones can be used for each of the grinding portions, so various processing of the workpiece can be performed. Further, by using grindstones with different diameters in a plurality of grinding portions, it is possible to process a plurality of types of workpieces with a single apparatus.

かかる構成において、砥石の形状には、砥石自体の形状だけではなく、砥石の配置も含むものである。砥石自体の形状は、例えば、矩形状、円形状、円弧形状、楕円形状、三角形状など各種の形状のものを使用できる。また、砥石の形状は、ブロック形状のものだけでなく、例えば平板状に形成されていても良い。また、砥石の配置は、環状に配置したものだけでなく、各種の方向に配置することが可能である。例えば、砥石の配置は、同心円方向に複数列砥石を配置したものや中心方向に向けて角度を設けて複数の砥石を配置したものなど各種の砥石の配置を採用できる。また、砥石は、平板状の研磨用のものであっても良い。また、砥石の径も各種の径のものを用いることができる。砥石の材質も、例えば、砥粒にダイヤモンドやＣＢＮなどを用いたもの、砥粒の結合にメタルボンド、レジンボンド、ビトリファイドボンドを使用したものなど各種のものを採用できる。 In such a configuration, the shape of the whetstone includes not only the shape of the whetstone itself but also the arrangement of the whetstone. As for the shape of the grindstone itself, various shapes such as rectangular, circular, arc-shaped, elliptical and triangular can be used. Moreover, the shape of the grindstone is not limited to a block shape, and may be formed in a flat plate shape, for example. Further, the grindstones can be arranged not only in a ring but also in various directions. For example, the whetstones can be arranged in various ways, such as a plurality of rows of whetstones arranged concentrically or a plurality of whetstones arranged at an angle toward the center. Further, the whetstone may be a plate-shaped one for polishing. Also, the diameter of the grindstone may be of various diameters. As for the material of the grindstone, various materials such as those using diamond or CBN as abrasive grains, and those using metal bond, resin bond, or vitrified bond for binding abrasive grains can be used.

また、上述した課題を解決すべく提供される本発明の研削装置は、前記支持部が、前記スピンドルを切り離し可能に自在に接続する接続部を有し、前記配置部において前記接続部の位置を変更可能とされていることを特徴とするものである。 Further, in the grinding apparatus of the present invention provided to solve the above-described problems, the support section has a connection section that freely detachably connects the spindle, and the position of the connection section can be adjusted in the placement section. It is characterized by being changeable.

かかる構成によれば、前記スピンドルが前記接続部を介して支持されるので、当該スピンドル自体を前記支持部に装着することなく、前記接続部を前記配置部に沿って前記スピンドルの軸心位置を変更することが可能となる。すなわち、前記接続部の位置を変更するだけで、前記スピンドルの配置位置への位置決めを行うことが可能となる。 According to this configuration, since the spindle is supported through the connection portion, the axial center position of the spindle can be adjusted by moving the connection portion along the placement portion without mounting the spindle itself to the support portion. It is possible to change. That is, it is possible to position the spindle to the arrangement position only by changing the position of the connection portion.

また、上述した課題を解決すべく提供される本発明の研削装置は、前記接続部が、前記支持部に設けられる第一接続部と、前記スピンドルに設けられる第二接続部とを有し、前記第一接続部と前記第二接続部とを切り離し可能に接続するものであり、前記支持部が、前記第一接続部を前記支持部に対して固定する固定部を有し、前記配置部が、前記第一接続部を前記配置方向に配置変更可能としたことを特徴とするものである。 Further, in the grinding apparatus of the present invention provided to solve the above-described problems, the connection portion has a first connection portion provided on the support portion and a second connection portion provided on the spindle, The first connection portion and the second connection portion are detachably connected, the support portion has a fixing portion that fixes the first connection portion to the support portion, and the placement portion However, it is characterized in that the arrangement of the first connecting portion can be changed in the arrangement direction.

かかる構成によれば、前記配置部が前記第一接続部を前記配置方向に配置変更可能としたので、前記第一接続部をスピンドルの配置位置に位置させるだけで、前記スピンドルの配置する位置を容易に決定することができる。これにより、スピンドルを支持部に支持する前に、予めスピンドルを配置する位置が決定できる。前記第一接続部と前記第二接続部は、各種の機構を採用でき、例えばフランジを採用し、それぞれのフランジをボルトやピン等で締結するようにしても良い。また、前記第一接続部と前記第二接続部は、溝等で互いに係合するものであっても良い。 According to this configuration, since the arrangement section allows the arrangement of the first connection section to be changed in the arrangement direction, the arrangement position of the spindle can be changed simply by positioning the first connection section at the arrangement position of the spindle. can be easily determined. Thereby, the position where the spindle is arranged can be determined in advance before the spindle is supported on the support portion. Various mechanisms can be adopted for the first connecting portion and the second connecting portion. For example, flanges may be adopted and the respective flanges may be fastened with bolts, pins, or the like. Further, the first connection portion and the second connection portion may be engaged with each other by a groove or the like.

また、上述した課題を解決すべく提供される本発明の研削装置は、前記接続部が、前記支持部に設けられる第一接続部と、前記スピンドルに設けられる第二接続部と、前記支持部に対して固定され、前記第一接続部を支持するベース部とを有し、前記ベース部が、前記チャックテーブルに対して交差する所定の軸線を軸心位置として周方向に位置を変更して配置可能なものであると共に、前記軸心位置から外れた位置において前記第一接続部を支持するものであり、前記配置部が、前記軸心位置を中心とする前記ベース部の周方向への前記接続部の位置変化に応じて、異なる位置に配置される前記第一接続部を、前記第二接続部と接続可能な状態で配置可能とされていることを特徴とするものである。 Further, in the grinding apparatus of the present invention provided to solve the above-described problems, the connection portions include a first connection portion provided on the support portion, a second connection portion provided on the spindle, and the support portion. and a base portion fixed to the chuck table to support the first connection portion, wherein the base portion changes its position in the circumferential direction with a predetermined axis that intersects with the chuck table as an axial position. It can be arranged and supports the first connecting portion at a position deviated from the axial position, and the arrangement portion extends in the circumferential direction of the base portion around the axial position. According to the position change of the said connection part, said 1st connection part arrange|positioned in a different position can be arrange|positioned in the state connectable with said 2nd connection part.

かかる構成によれば、複数の外径に対応したスピンドルの軸心位置が容易に変更できる。また、前記ベース部を前記チャックテーブルに対して交差する所定の軸線を軸心位置として周方向に位置を変更することにより、前記第一接続部の前記配置部への配置位置が変更可能である。 With such a configuration, it is possible to easily change the axial center position of the spindle corresponding to a plurality of outer diameters. Further, by changing the position of the base portion in the circumferential direction around a predetermined axis that intersects the chuck table, the arrangement position of the first connection portion to the arrangement portion can be changed. .

例えば、点対称となるように第一接続部を前記ベース部の偏心位置に配置し、前記ベース部を１８０度回転させることにより、前記ベース部の第一接続部を２箇所の異なる位置に配置させることができる。これにより、スピンドルの軸心位置を２箇所において精度良く位置決めすることが可能となる。また、例えば、２種類の径の被加工物を切り替えて研削する場合に、前記接続部を１８０度回転させるだけで、容易にスピンドルの軸心位置を被加工物の径に対応した位置に位置決めすることが可能となる。また、前記スピンドルが前記接続部を介して支持されるので、当該スピンドル自体を装着することなく軸心位置が変更可能となる。また、前記スピンドルを前記支持部に装着することなく、前記スピンドルの軸心位置の位置決めを行うことができるので、作業性が向上する。なお、前記接続部が点対称とならないように前記第一接続部を前記ベース部に配置した場合は、前記接続部を適宜の角度で、前記ベース部の周方向に位置を変更させて前記配置部に配置すれば良い。 For example, by arranging the first connection portion at an eccentric position of the base portion so as to be point symmetrical and rotating the base portion by 180 degrees, the first connection portion of the base portion is arranged at two different positions. can be made As a result, it is possible to accurately position the axial center of the spindle at two locations. In addition, for example, when switching and grinding workpieces with two different diameters, simply rotating the connecting portion by 180 degrees allows the axial center position of the spindle to be easily positioned at a position corresponding to the diameter of the workpiece. It becomes possible to Further, since the spindle is supported through the connecting portion, the axial position can be changed without mounting the spindle itself. Further, since the axial position of the spindle can be positioned without mounting the spindle on the support portion, workability is improved. In addition, when the first connection portion is arranged on the base portion so that the connection portion is not point-symmetrical, the position of the connection portion is changed at an appropriate angle in the circumferential direction of the base portion to arrange the connection portion. should be placed in the department.

また、上述した課題を解決すべく提供される本発明の研削装置は、前記ベース部が、前記配置方向に沿って形成されたベース部開口を有し、前記第一接続部を前記ベース部開口に沿って配置変更可能としたことを特徴とするものである。 Further, in the grinding apparatus of the present invention provided to solve the above-described problems, the base portion has a base portion opening formed along the arrangement direction, and the first connecting portion is connected to the base portion opening. It is characterized in that the arrangement can be changed along.

かかる構成によれば、前記ベース部へ前記第一接続部を支持する支持位置を変更することができる。これにより、前記ベース部と前記支持部との固定位置を変更することなく、前記第一接続部の前記配置部における配置位置の変更が可能となり、スピンドルの軸心位置の変更が容易に行える。例えば、前記接続部を点対称となる形状に形成した場合、前記第一接続部の支持位置を前記接続部の対称軸から外れた偏心位置において調整することが可能となるので、スピンドル配置位置の変更の自由度が向上する。すなわち、前記接続部は、複数種類の被加工物の外形に対応したものを用意することなく、１種類用意すれば複数のスピンドルの配置位置に対応できる。 According to such a configuration, it is possible to change the support position for supporting the first connecting portion to the base portion. This makes it possible to change the arrangement position of the first connection section in the arrangement section without changing the fixed position between the base section and the support section, and easily change the axial center position of the spindle. For example, when the connecting portion is formed in a point-symmetrical shape, it is possible to adjust the supporting position of the first connecting portion at an eccentric position off the axis of symmetry of the connecting portion. Increased freedom of change. That is, it is possible to correspond to the arrangement positions of a plurality of spindles by preparing one type of connection portion without preparing a connection portion corresponding to a plurality of types of outer shapes of workpieces.

また、上述した課題を解決すべく提供される本発明の研削装置は、前記研削部及びチャックテーブルが、それぞれ独立に水平方向に対して傾斜可能に構成されていることを特徴とするものである。 Further, the grinding apparatus of the present invention, which is provided to solve the above-mentioned problems, is characterized in that the grinding section and the chuck table are configured to be independently tiltable with respect to the horizontal direction. .

かかる構成によれば、使用する研削ホイールの径を変更した場合であっても、被加工物に合わせた加工条件となるように砥石と被加工物の接触状態を調整することが可能である。また、例えば、ターンテーブルを使用して複数の被加工物を複数の研削部でそれぞれ同時に加工する場合であっても、それぞれ同じ条件で研削したり、それぞれ異なる条件で研削したりすることが可能である。つまり、例えば１つの研削ホイールに粗研削用の砥石を装着し、他の研削ホイールに仕上げ研削用の砥石を装着した場合、前記研削部及びチャックテーブルにおいて傾斜を調整できるので、各砥石に合わせた最適な調整が可能となる。 According to such a configuration, even when the diameter of the grinding wheel used is changed, it is possible to adjust the contact state between the grindstone and the workpiece so that the processing conditions are suitable for the workpiece. Also, for example, even when multiple workpieces are processed simultaneously by multiple grinding units using a turntable, it is possible to grind them under the same conditions or under different conditions. is. That is, for example, when a grindstone for rough grinding is attached to one grinding wheel and a grindstone for finish grinding is attached to the other grinding wheel, the inclination can be adjusted in the grinding section and the chuck table, so that the grindstone can be adjusted according to each grindstone. Optimal adjustment is possible.

本発明の研削装置によれば、研削部におけるスピンドルの軸心位置を容易に変更できるので、複数の外径に対応した被加工物の加工を適正に行うことができる汎用性の高い研削装置を提供できる。 According to the grinding apparatus of the present invention, since the axial center position of the spindle in the grinding portion can be easily changed, a highly versatile grinding apparatus capable of appropriately processing workpieces corresponding to a plurality of outer diameters can be provided. can provide.

は、本発明の第一の実施形態に係る研削装置の一部省略正面図である。1 is a partially omitted front view of a grinding apparatus according to a first embodiment of the present invention; FIG. は、図１の右側面図である。2 is a right side view of FIG. 1; FIG. は、図２のＡ－Ａ方向断面矢視図である。2 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. （ａ）は、本発明の研削装置に用いられる接続部の一実施形態に係る平面図であり、（ｂ）は、正面図である。(a) is a plan view of an embodiment of a connecting portion used in the grinding apparatus of the present invention, and (b) is a front view. は、本発明の研削装置に用いられるチャックテーブルの一実施形態に係る平面説明図である。[FIG. 2] is a plan explanatory view relating to one embodiment of a chuck table used in the grinding apparatus of the present invention. （ａ）及び（ｂ）は、本発明の研削装置に用いられる接続部を配置部に配置する状態を表す説明図である。(a) and (b) are explanatory diagrams showing a state in which the connection portion used in the grinding apparatus of the present invention is arranged in the arrangement portion. （ａ）及び（ｂ）は、本発明の研削装置に用いられる接続部を配置部に配置する状態を表す説明図である。(a) and (b) are explanatory diagrams showing a state in which the connection portion used in the grinding apparatus of the present invention is arranged in the arrangement portion. （ａ）及び（ｂ）は、本発明の第一の実施形態に係る研削装置の使用状態の説明図である。(a) and (b) are explanatory diagrams of the usage state of the grinding apparatus according to the first embodiment of the present invention. は、本発明の第二の実施形態に係る研削装置の平面図である。1] is a plan view of a grinding apparatus according to a second embodiment of the present invention. [FIG. （ａ）及び（ｂ）は、本発明の第二の実施形態に係る説明図である。(a) and (b) are explanatory diagrams according to a second embodiment of the present invention. は、本発明の第二の実施形態に係る研削状態の説明図である。These are explanatory views of the grinding state according to the second embodiment of the present invention.

本発明の研削装置１０の第一の実施形態について図１から図５に基づいて以下に詳細を説明する。図１から図３のように研削装置１０は、機台１１と、機台１１に立設されたコラム１２等を備えている。また、研削装置１０は、研削部２０と、チャックテーブル５０等を備えている。 A first embodiment of the grinding apparatus 10 of the present invention will be described in detail below with reference to FIGS. 1 to 5. FIG. As shown in FIGS. 1 to 3, the grinding apparatus 10 includes a machine base 11, a column 12 erected on the machine base 11, and the like. The grinding device 10 also includes a grinding section 20, a chuck table 50, and the like.

機台１１は、水平方向の床面等に適宜固定され、機台１１の上面に被加工物Ｗを吸着等によって保持するチャックテーブル５０が設けられている。また、機台１１上のチャックテーブル５０の周辺には、コラム１２が立設されている。 The machine base 11 is appropriately fixed to a horizontal floor surface or the like, and a chuck table 50 for holding the workpiece W by suction or the like is provided on the upper surface of the machine base 11 . A column 12 is erected around the chuck table 50 on the machine base 11 .

コラム１２は、底部の３箇所にナット１３が設けられている。ナット１３は、機台１１上にナット１３と対向して立設された調整ボルト１４に螺合している。これにより、コラム１２は、機台１１に対しての傾きを調整することが可能である。 The column 12 is provided with nuts 13 at three locations on the bottom. The nut 13 is screwed into an adjusting bolt 14 erected on the machine base 11 so as to face the nut 13 . This allows the column 12 to adjust its inclination with respect to the machine base 11 .

コラム１２の前面側に、２本のレール１２ａ、１２ａが上下方向に敷設されている。また、両レール１２ａ、１２ａ間に、ボールネジ１５がレール１２ａに沿って回動可能に設けられている。ボールネジ１５は、コラム１２の底部に軸支されている。また、ボールネジ１５の上部は、コラム１２上に設けられた昇降モータ１６に接続されている。従って、昇降モータ１６を駆動するとボールネジ１５が回転する。 Two rails 12a, 12a are laid on the front side of the column 12 in the vertical direction. A ball screw 15 is provided between the rails 12a, 12a so as to be rotatable along the rail 12a. A ball screw 15 is pivotally supported on the bottom of the column 12 . An upper portion of the ball screw 15 is connected to an elevation motor 16 provided on the column 12 . Therefore, when the lift motor 16 is driven, the ball screw 15 rotates.

研削部２０は、略Ｌ字形状の昇降枠２１と、スピンドル３５と、当該スピンドル３５を回転駆動するモータ３０と、研削ホイール４５等を備えて構成されている。 The grinding unit 20 includes a substantially L-shaped elevating frame 21, a spindle 35, a motor 30 that rotationally drives the spindle 35, a grinding wheel 45, and the like.

昇降枠２１は、背面にスライダ２３が設けられている。スライダ２３は、レール１２ａに摺動可能に嵌合されている。また、昇降枠２１の背面にナット３９が設けられ、当該ナット３９は、ボールネジ１５に螺合している。従って、昇降枠２１は、昇降モータ１６を駆動することによりレール１２ａに沿って昇降可能である。 The elevating frame 21 has a slider 23 on its rear surface. The slider 23 is slidably fitted to the rail 12a. A nut 39 is provided on the rear surface of the lifting frame 21 , and the nut 39 is screwed onto the ball screw 15 . Therefore, the lift frame 21 can be lifted and lowered along the rails 12 a by driving the lift motor 16 .

昇降枠２１は、当該昇降枠２１の下部の水平方向に沿って支持部２２ａが形成されている。なお、本実施形態においては、支持部２２ａの上方に当該支持部２２ａと間隔を開けて支持部２２ｂが設けられている。また、昇降枠２１は、両側面に支持枠２４、２４が立設され、両支持枠２４、２４間の上方に支持板２５が水平となるように配置されている。 The lifting frame 21 has a support portion 22a formed along the horizontal direction at the bottom of the lifting frame 21 . In addition, in this embodiment, the support part 22b is provided above the support part 22a with a space from the support part 22a. Support frames 24, 24 are erected on both side surfaces of the lifting frame 21, and a support plate 25 is arranged horizontally above between the support frames 24, 24. As shown in FIG.

支持部２２ａは、前方（図２左方向）に向けて水平方向に延設されている。また、図３のように支持部２２ａは、略中央に本発明の配置部としての長孔２６ａが形成されている。長孔２６ａは、前方に向けて長手方向となるように開口されている。すなわち、支持部２２ａの下方に位置するチャックテーブル５０に対して水平方向かつ接近離反する方向となる配置方向（以下、単に配置方向と称す）に向けて長手方向となるように長孔２６ａが形成されている。また、支持部２２ａは、長孔２６ａを介してスピンドル３５を切り離し可能に支持する接続部２７が設けられている。図３のように支持部２２ａの長孔２６ａの周囲に複数のネジ穴４１が穿設され、当該ネジ穴４１は、後述する接続部２７の第一接続部３６が支持部２２ａに固定される固定部を形成している。第一接続部３６は、ネジ穴４１にボルトが螺合されることで、支持部２２ａに固定される。また、支持部２２ｂには、支持部２２ａと同様の長孔２６ｂとが形成されている。 The support portion 22a extends horizontally forward (leftward in FIG. 2). Further, as shown in FIG. 3, the support portion 22a has an elongated hole 26a as an arrangement portion of the present invention formed substantially in the center. The long hole 26a is open forward in the longitudinal direction. That is, the elongated hole 26a is formed so as to extend in the horizontal direction (hereinafter simply referred to as the "arrangement direction") toward the chuck table 50 positioned below the support portion 22a. It is In addition, the support portion 22a is provided with a connection portion 27 that detachably supports the spindle 35 through a long hole 26a. As shown in FIG. 3, a plurality of screw holes 41 are drilled around the elongated hole 26a of the support portion 22a, and a first connection portion 36 of a connection portion 27, which will be described later, is fixed to the support portion 22a through the screw holes 41. It forms a fixed part. The first connection portion 36 is fixed to the support portion 22 a by screwing a bolt into the screw hole 41 . Further, the support portion 22b is formed with an elongated hole 26b similar to that of the support portion 22a.

図２のように接続部２７は、第一接続部３６と、スピンドル３５に設けられる第二接続部３７等を備えている。図４（ａ）及び（ｂ）のように第一接続部３６は、ベース部２８と、フランジ部２９とを備えている。ベース部２８は、矩形状の板の対向する二辺が円形に面取りされた形状に形成されている。ベース部２８は、当該ベース部２８の中心から偏心位置に渡ってベース部開口２８ａが形成されている。また、ベース部２８は、支持部２２ａの各ネジ穴４１と対向する位置にネジ穴３８が穿設されている。 As shown in FIG. 2, the connecting portion 27 includes a first connecting portion 36, a second connecting portion 37 provided on the spindle 35, and the like. As shown in FIGS. 4A and 4B, the first connection portion 36 has a base portion 28 and a flange portion 29 . The base portion 28 is formed in a shape in which two opposing sides of a rectangular plate are chamfered into a circular shape. The base portion 28 has a base portion opening 28a extending from the center of the base portion 28 to an eccentric position. Further, the base portion 28 is provided with screw holes 38 at positions facing the respective screw holes 41 of the support portion 22a.

第一接続部３６は、フランジ部２９の内側に開口２９ａを備えている。フランジ部２９は、開口２９ａがベース部開口２８ａと連通するようにベース部２８の偏心位置に立設されている。なお、フランジ部２９は、例えば、ベース部２８に形成した凹部に嵌合させて立設固定するようにしても良い。このようにフランジ部２９をベース部２８の凹部に固定するようにすれば、フランジ部２９の移動や位置決めが容易に行える。フランジ部２９は、後述する前記スピンドル３５に設けられた第二接続部３７とボルト等で接続が可能である。 The first connection portion 36 has an opening 29 a inside the flange portion 29 . The flange portion 29 is erected at an eccentric position of the base portion 28 so that the opening 29a communicates with the base portion opening 28a. It should be noted that the flange portion 29 may, for example, be fitted into a concave portion formed in the base portion 28 so as to be erected and fixed. By fixing the flange portion 29 to the concave portion of the base portion 28 in this way, the movement and positioning of the flange portion 29 can be easily performed. The flange portion 29 can be connected to a second connection portion 37 provided on the spindle 35, which will be described later, with bolts or the like.

第一接続部３６は、支持部２２ａに装着する際に、フランジ部２９が長孔２６ａに収容されることにより、フランジ部２９の外周の一部が長孔２６ａに係合する。これにより、第一接続部３６は、長孔２６ａに沿って移動が可能である。なお、第一接続部３６は、長孔２６ａ内の所定位置に位置した状態で、支持部２２ａの固定部としてのネジ穴４１に固定される。第一接続部３６の支持部２２ａへの固定は、ネジ穴４１とネジ穴３８に図示しないボルトを螺合させることにより可能である。なお、支持部２２ａに装着した第一接続部３６の取り外しは、前記ボルトを取り外すことにより可能である。第一接続部３６の支持部２２ａへの着脱は、これに限定されず、各種のものが採用でき、例えば、ボルトとナットの組み合わせや、ボルトに代えて係合ピンを用いるものであっても良い。 When the first connection portion 36 is attached to the support portion 22a, the flange portion 29 is accommodated in the long hole 26a, so that a part of the outer circumference of the flange portion 29 is engaged with the long hole 26a. This allows the first connecting portion 36 to move along the long hole 26a. The first connecting portion 36 is fixed to a screw hole 41 as a fixing portion of the support portion 22a while positioned at a predetermined position within the long hole 26a. The first connection portion 36 can be fixed to the support portion 22 a by screwing a bolt (not shown) into the screw hole 41 and the screw hole 38 . The first connection portion 36 attached to the support portion 22a can be removed by removing the bolt. Attachment and detachment of the first connection portion 36 to and from the support portion 22a is not limited to this, and various methods can be adopted. good.

図１から図３のようにスピンドル３５は、下端付近に設けられる第二接続部３７を備えている。第二接続部３７は、例えばフランジであり、第一接続部３６とボルト等で接続が可能である。なお、第一接続部３６と第二接続部３７は、フランジ以外のものであっても良い。また、スピンドル３５は、下端に研削ホイール４５を装着することが可能である。スピンドル３５は、接続部２７の第一接続部３６と第二接続部３７とを接続することで、支持部２２ａ上に立設される。このとき、スピンドル３５の上端は、長孔２６ｂを介して支持部２２ｂに固定される。これにより、スピンドル３５は、昇降枠２１に支持される。また、支持部２２ａの前端部に長孔２６ａと水平方向に連通するネジ穴４０が設けられており、当該ネジ穴４０にボルトを螺合することが可能である。当該ボルトをネジ穴４０に螺合させることにより、当該ボルトで第一接続部３６及び第二接続部３７のいずれか一方又は両方を押圧することが可能である。従って、ボルトの押し引きにより、スピンドル３５の配置位置を長孔２６ａの長手方向に沿って微調整することが可能である。 As shown in FIGS. 1 to 3, the spindle 35 has a second connecting portion 37 provided near its lower end. The second connection portion 37 is, for example, a flange, and can be connected to the first connection portion 36 with bolts or the like. Note that the first connection portion 36 and the second connection portion 37 may be other than flanges. The spindle 35 can also be fitted with a grinding wheel 45 at its lower end. The spindle 35 is erected on the support portion 22 a by connecting the first connection portion 36 and the second connection portion 37 of the connection portion 27 . At this time, the upper end of the spindle 35 is fixed to the support portion 22b through the long hole 26b. Thereby, the spindle 35 is supported by the lifting frame 21 . A screw hole 40 communicating horizontally with the long hole 26a is provided at the front end of the support portion 22a, and a bolt can be screwed into the screw hole 40. As shown in FIG. By screwing the bolt into the screw hole 40 , it is possible to press either one or both of the first connection portion 36 and the second connection portion 37 with the bolt. Therefore, it is possible to finely adjust the arrangement position of the spindle 35 along the longitudinal direction of the long hole 26a by pushing and pulling the bolt.

また、図２のようにスピンドル３５の軸上端には従動プーリ３２が装着されている。また、モータ３０が、昇降枠２１に設けた支持板２５上に支持されている。従動プーリ３２は、モータ３０に接続された駆動プーリ３１にベルト３３を介して接続されている。これにより、モータ３０を駆動することで、スピンドル３５が回転駆動される。支持板２５は、モータ３０が前後方向（図２左右方向）に移動することを許容するように長孔２５ａが形成されている。 A driven pulley 32 is attached to the upper end of the shaft of the spindle 35 as shown in FIG. Also, the motor 30 is supported on a support plate 25 provided on the lifting frame 21 . The driven pulley 32 is connected via a belt 33 to a drive pulley 31 which is connected to the motor 30 . Accordingly, by driving the motor 30, the spindle 35 is rotationally driven. The support plate 25 is formed with an elongated hole 25a so as to allow the motor 30 to move in the front-rear direction (left-right direction in FIG. 2).

研削ホイール４５は、本実施形態では、複数のブロック形状の砥石４６が環状に配置されたものを用いている。なお、砥石４６は、これに限定されるものではなく各種のものを用いることができる。研削ホイール４５は、スピンドル３５の回転により、回転が可能である。また、研削ホイール４５は、昇降枠２１の昇降に伴って、昇降することが可能である。研削時には、昇降枠２１が下降することにより、研削ホイール４５がチャックテーブル５０に保持された被加工物Ｗに向けて研削送りされる。被加工物Ｗと砥石４６との距離は、図示しない適宜のインプロセスゲージ等を用いて制御可能である。従って、被加工物Ｗの研削量を制御することが可能である。 In this embodiment, the grinding wheel 45 uses a plurality of block-shaped grindstones 46 arranged in a ring. Note that the grindstone 46 is not limited to this, and various types can be used. Grinding wheel 45 is rotatable by rotation of spindle 35 . Further, the grinding wheel 45 can move up and down as the lift frame 21 moves up and down. During grinding, the lifting frame 21 is lowered to feed the grinding wheel 45 toward the workpiece W held on the chuck table 50 for grinding. The distance between the workpiece W and the grindstone 46 can be controlled using an appropriate in-process gauge or the like (not shown). Therefore, the grinding amount of the workpiece W can be controlled.

チャックテーブル５０は、本実施形態においては、機台１１上に１台設けられている。チャックテーブル５０は、被加工物Ｗを吸着保持する保持面５１が形成されており、図示しない回転機構により回転が可能である。また、チャックテーブル５０は、傾斜調整機構５７が設けられており、水平方向に対して傾斜させることが可能である。傾斜調整機構５７は、例えばチャックテーブル５０に設けられた３点の調整ネジで構成され、前記調整ネジで３点の高さを調整することにより水平方向の傾斜を調整するものである。これにより、チャックテーブル５０に保持された被加工物Ｗと研削ホイール４５における砥石４６との加工角度を調整することが可能である。 One chuck table 50 is provided on the machine base 11 in this embodiment. The chuck table 50 is formed with a holding surface 51 for sucking and holding the workpiece W, and can be rotated by a rotation mechanism (not shown). In addition, the chuck table 50 is provided with a tilt adjustment mechanism 57 and can be tilted with respect to the horizontal direction. The tilt adjusting mechanism 57 is composed of, for example, three adjusting screws provided on the chuck table 50, and adjusts the tilt in the horizontal direction by adjusting the heights of the three adjusting screws. Thereby, it is possible to adjust the processing angle between the workpiece W held on the chuck table 50 and the grindstone 46 on the grinding wheel 45 .

保持面５１は、表面が多孔質に形成され全面で吸着保持できるものや、キリ穴が複数設けられたもの等、各種の材質（例えば、セラミックスや超硬等）や形状のものを採用できる。なお、吸着に代えて、被加工物Ｗが、保持面５１にワックスや接着剤等で固定されるようにしても良い。図５のように保持面５１は、被加工物Ｗの外径に応じて、吸着範囲を切り替え可能なものを好ましく採用できる。保持面５１は、仕切壁５２により、３つの領域５３に区分けされている。 The holding surface 51 can be made of various materials (for example, ceramics, cemented carbide, etc.) and shapes, such as one having a porous surface that can be sucked and held over the entire surface, one having a plurality of drilled holes, and the like. Note that the workpiece W may be fixed to the holding surface 51 by wax, adhesive, or the like, instead of suction. As shown in FIG. 5, the holding surface 51 that can switch the suction range according to the outer diameter of the workpiece W can be preferably adopted. The holding surface 51 is divided into three regions 53 by partition walls 52 .

領域５３は、それぞれ保持面５１の裏面側に保持部としての吸引口５４が設けられている。それぞれの吸引口５４には、開閉用のバルブ５５を介してポンプ等の吸引源５６が接続されている。従って、バルブ５５の開閉により、各領域５３に発生する吸引力を切り替えすることができ、保持する被加工物Ｗの外径に応じて吸着範囲を切り替えすることが可能である。これにより、被加工物Ｗの外形が変わった場合であっても、チャックテーブル５０を交換することなく、保持面５１に被加工物Ｗを保持することが可能である。 Each of the regions 53 is provided with a suction port 54 as a holding portion on the back side of the holding surface 51 . A suction source 56 such as a pump is connected to each suction port 54 via a valve 55 for opening and closing. Therefore, by opening and closing the valve 55, the suction force generated in each region 53 can be switched, and the suction range can be switched according to the outer diameter of the workpiece W to be held. As a result, even if the outer shape of the workpiece W changes, the workpiece W can be held on the holding surface 51 without replacing the chuck table 50 .

図１及び図２のように保持面５１は、中央部が例えば５～２０μｍ程度盛り上がった円錐形状に形成されている。なお、理解が容易なように図１及び図２において、保持面５１の中央部の盛り上がりは、実際よりも誇張して描いてあることに留意されたい。保持面５１が円錐形状に形成されていることにより、保持面５１に保持した被加工物Ｗの外周と内周との周速差による研削量のばらつきを低減することが可能である。 As shown in FIGS. 1 and 2, the holding surface 51 is formed in a conical shape with a central portion raised by, for example, about 5 to 20 μm. It should be noted that in FIGS. 1 and 2, the bulge at the central portion of the holding surface 51 is drawn in an exaggerated manner so as to facilitate understanding. Since the holding surface 51 is formed in a conical shape, it is possible to reduce variation in the amount of grinding due to the peripheral speed difference between the outer circumference and the inner circumference of the workpiece W held on the holding surface 51 .

以上が、本発明の第一の実施形態における構成であり、次に図６及び図７に基づいて、本発明の研削装置１０の動作の詳細を説明する。 The above is the configuration of the first embodiment of the present invention. Next, the details of the operation of the grinding apparatus 10 of the present invention will be described with reference to FIGS. 6 and 7. FIG.

図６（ａ）及び図７（ａ）のように、フランジ部２９が後方側（チャックテーブル５０に対して水平方向でかつ離反する方向）となるように第一接続部３６が配置される。当該配置となるベース部２８を回転させる前の位置が接続部２７の第一位置４７として設定される。続いて、第一接続部３６を上昇させて、フランジ部２９が長孔２６ａに収容された状態で、第一接続部３６が支持部２２ａのネジ穴４１に装着固定される。 As shown in FIGS. 6A and 7A, the first connecting portion 36 is arranged such that the flange portion 29 is on the rear side (horizontal direction and away from the chuck table 50). The position before the rotation of the base portion 28 to be arranged is set as the first position 47 of the connecting portion 27 . Subsequently, the first connection portion 36 is lifted, and with the flange portion 29 accommodated in the elongated hole 26a, the first connection portion 36 is attached and fixed to the screw hole 41 of the support portion 22a.

上述のように支持部２２ａに第一接続部３６が固定されると、第一接続部３６とスピンドル３５の第二接続部３７とがボルト等の適宜の固定方法で結合される。また、スピンドル３５の位置に応じて、モータ３０も移動させて、支持板２５に固定する。これにより、図８（ａ）のようにスピンドル３５の軸心３５ａは、チャックテーブル５０の軸心５０ａから水平方向でかつ離反する方向に位置する。このようにスピンドル３５の軸心３５ａがチャックテーブル５０の軸心５０ａから離反する方向に移動することで、例えば、研削ホイール４５の径を大口径化することが可能となる。すなわち、被加工物Ｗを大口径化した場合であっても、適正な径の研削ホイール４５を用いることができるので、適正に被加工物Ｗを加工することが可能となる。 When the first connection portion 36 is fixed to the support portion 22a as described above, the first connection portion 36 and the second connection portion 37 of the spindle 35 are connected by an appropriate fixing method such as bolts. The motor 30 is also moved according to the position of the spindle 35 and fixed to the support plate 25 . As a result, the axis 35a of the spindle 35 is positioned horizontally and away from the axis 50a of the chuck table 50, as shown in FIG. 8(a). By moving the axis 35a of the spindle 35 away from the axis 50a of the chuck table 50 in this way, it is possible to increase the diameter of the grinding wheel 45, for example. That is, even if the diameter of the workpiece W is increased, the grinding wheel 45 having an appropriate diameter can be used, so that the workpiece W can be properly processed.

図６（ｂ）及び図７（ｂ）のように、第一接続部３６が前方側（チャックテーブル５０に対して水平方向でかつ接近する方向）となるようにベース部２８が対称点２８ｂ（図４（ａ）参照）を基点に回転（本実施形態においては１８０度）されて配置される。当該配置となるベース部２８を回転させた位置が、第一接続部３６の第二位置４８として設定される。これにより、ベース部２８は、チャックテーブル５０に対して交差する軸線を通る対称点２８ｂを軸心位置として、周方向に位置を変更して長孔２６ａに配置が可能となる。続いて、第一接続部３６を上昇させて、フランジ部２９が長孔２６ａに収容された状態で、第一接続部３６が支持部２２ａに装着固定される。これにより、対称点２８ｂを軸心位置としてベース部２８が周方向へ位置変化する。また、ベース部２８の周方向への位置変化に応じて、異なった第二位置４８に配置される第一接続部３６が、第二接続部３７と接続可能な状態で長孔２６ａに配置可能とされる。 As shown in FIGS. 6(b) and 7(b), the base portion 28 is positioned at the symmetry point 28b ( 4(a)) is rotated (180 degrees in this embodiment) and arranged. The position obtained by rotating the base portion 28 to be arranged is set as the second position 48 of the first connection portion 36 . As a result, the base portion 28 can be arranged in the elongated hole 26a by changing the position in the circumferential direction with the symmetry point 28b passing through the axis intersecting the chuck table 50 as the axial center position. Subsequently, the first connection portion 36 is lifted, and the first connection portion 36 is attached and fixed to the support portion 22a while the flange portion 29 is accommodated in the elongated hole 26a. As a result, the position of the base portion 28 changes in the circumferential direction with the symmetry point 28b as the axial position. In addition, the first connection portion 36 arranged at a different second position 48 can be arranged in the elongated hole 26a in a state where it can be connected to the second connection portion 37 according to the positional change of the base portion 28 in the circumferential direction. It is said that

このとき、上述のようにベース部２８が対称点２８ｂに対して点対称となる形状に形成されているので、支持部２２ａのネジ穴４１の位置とベース部２８のネジ穴３８の位置は、第一位置４７と第二位置４８とで同一となる。従って、第一位置４７と第二位置４８の切り替えが容易に行えるので作業性が向上する。また、ベース部２８の大きさを変更せずに第一位置４７と第二位置４８の切り替えを行うことができるので、研削装置１０を大型化させることがない。 At this time, since the base portion 28 is formed in a shape that is symmetrical with respect to the symmetry point 28b as described above, the positions of the screw holes 41 of the support portion 22a and the positions of the screw holes 38 of the base portion 28 are The first position 47 and the second position 48 are the same. Therefore, switching between the first position 47 and the second position 48 can be easily performed, thereby improving workability. Moreover, since the first position 47 and the second position 48 can be switched without changing the size of the base portion 28, the size of the grinding apparatus 10 is not increased.

上述のように支持部２２ａに第一接続部３６が固定されると、第一接続部３６のフランジ部２９とスピンドル３５の第二接続部３７とがボルト等の適宜の固定方法により接続される。また、スピンドル３５の位置に応じて、モータ３０も前方に移動させて、支持板２５に固定する。これにより、図８（ｂ）のようにスピンドル３５の軸心３５ａは、チャックテーブル５０の軸心５０ａに接近する方向に位置する。このようにスピンドル３５の軸心３５ａがチャックテーブル５０の軸心５０ａに接近する方向に移動することで、例えば、研削ホイール４５の径を小口径化することが可能となる。すなわち、被加工物Ｗを小口径化した場合であっても、適正に被加工物Ｗを加工することが可能となる。 When the first connection portion 36 is fixed to the support portion 22a as described above, the flange portion 29 of the first connection portion 36 and the second connection portion 37 of the spindle 35 are connected by an appropriate fixing method such as bolts. . The motor 30 is also moved forward according to the position of the spindle 35 and fixed to the support plate 25 . As a result, the axis 35a of the spindle 35 is positioned in a direction approaching the axis 50a of the chuck table 50, as shown in FIG. 8(b). By moving the axis 35a of the spindle 35 toward the axis 50a of the chuck table 50 in this way, it is possible to reduce the diameter of the grinding wheel 45, for example. That is, even if the diameter of the workpiece W is reduced, the workpiece W can be processed properly.

本実施形態においては、接続部２７が対称点２８ｂに対して点対称となるようにフランジ部２９を偏心配置し、第一接続部３６の形状も対称点２８ｂに対して点対称となるように形成している。これにより、第一接続部３６を１８０度回転させて、支持部２２ａに装着するだけで、容易にスピンドル３５の軸心位置が変更できる。また、スピンドル３５を研削部２０に搭載していない状態において、スピンドル３５の軸心３５ａの位置決めを行うことができるので、作業性が向上する。本実施形態は、特に２種類の被加工物Ｗの外径に対応する場合に有効であり、スピンドル３５の軸心３５ａの配置位置を精度良く調整することが可能である。 In this embodiment, the flange portion 29 is eccentrically arranged so that the connection portion 27 is symmetrical with respect to the symmetry point 28b, and the shape of the first connection portion 36 is also symmetrical with respect to the symmetry point 28b. forming. As a result, the axial position of the spindle 35 can be easily changed simply by rotating the first connecting portion 36 by 180 degrees and attaching it to the supporting portion 22a. Further, since the axial center 35a of the spindle 35 can be positioned in a state where the spindle 35 is not mounted on the grinding section 20, workability is improved. This embodiment is particularly effective when dealing with the outer diameters of two types of workpieces W, and it is possible to adjust the arrangement position of the axis 35a of the spindle 35 with high precision.

上述のようにスピンドル３５の位置決めが完了し、研削装置１０の稼働が可能となると、被加工物Ｗの研削を実施する。被加工物Ｗとして、例えば、サファイア、シリコンカーバイド、タンタル酸リチウム、シリコン等の各種の半導体材料や、セラミックス、石材、金属、ガラス、水晶、石英、樹脂等の各種材料が挙げられる。また、被加工物Ｗは、本実施形態においては、円形の薄板状のものであるが、矩形状、三角形状、楕円形状等の各種の形状のものを加工の対象とすることができる。また、被加工物Ｗの厚みも任意の厚さのものを加工することが可能である。 When the positioning of the spindle 35 is completed as described above and the grinding apparatus 10 becomes operable, the workpiece W is ground. Examples of the workpiece W include various semiconductor materials such as sapphire, silicon carbide, lithium tantalate, and silicon, and various materials such as ceramics, stone, metal, glass, crystal, quartz, and resin. In the present embodiment, the workpiece W is in the form of a circular thin plate. Moreover, it is possible to process the workpiece W having an arbitrary thickness.

被加工物Ｗの研削にあたり、被加工物Ｗがチャックテーブル５０の保持面５１に吸着保持される。このとき、被加工物Ｗの外径に合わせて予め保持面５１の吸着する領域５３が変更される。続いて、研削ホイール４５とチャックテーブル５０を回転させながら、研削部２０を昇降モータ１６の駆動により下降させて研削送りすることで、被加工物Ｗが研削加工される。なお、チャックテーブル５０の回転は、条件に応じて回転させずに行ったり、回転方向を変更したりすることが可能である。 In grinding the workpiece W, the workpiece W is held by suction on the holding surface 51 of the chuck table 50 . At this time, the suction area 53 of the holding surface 51 is changed in advance according to the outer diameter of the workpiece W. As shown in FIG. Subsequently, while rotating the grinding wheel 45 and the chuck table 50, the grinding unit 20 is lowered by driving the lifting motor 16 and fed for grinding, whereby the workpiece W is ground. It should be noted that the rotation of the chuck table 50 can be performed without rotation or the direction of rotation can be changed depending on the conditions.

以上が、本発明の第一の実施形態であり、次に第二の実施形態について図９及び図１０に基づいて説明する。図９のように、第二の実施形態においては、ターンテーブル６０と、上述の研削部２０が２連設けられている。なお、第二の実施形態においては、ターンテーブル６０以外は、第一の実施形態と同様の構成であるので、同様の構成部分の説明は省略する。 The above is the first embodiment of the present invention. Next, the second embodiment will be described with reference to FIGS. 9 and 10. FIG. As shown in FIG. 9, in the second embodiment, two turntables 60 and two grinding units 20 are provided. In addition, in the second embodiment, except for the turntable 60, the configuration is the same as that of the first embodiment, so the description of the same components will be omitted.

ターンテーブル６０は、機台１１上に回転可能に設けられている。２連の研削部２０は、それぞれターンテーブル６０の中心から１２０度の方向に向けて、ターンテーブル６０に近接して設けられている。また、ターンテーブル６０は、本実施形態においては３つのチャックテーブル５０が同心円方向に配置されている。ターンテーブル６０には図示しない適宜の回転機構が設けられ、ターンテーブル６０を１２０度毎に間欠回転させることが可能である。 The turntable 60 is rotatably provided on the machine base 11 . The two grinding units 20 are provided in close proximity to the turntable 60 so as to face the direction of 120 degrees from the center of the turntable 60 . Also, the turntable 60 has three chuck tables 50 arranged concentrically in this embodiment. The turntable 60 is provided with an appropriate rotating mechanism (not shown), which can intermittently rotate the turntable 60 every 120 degrees.

ターンテーブル６０は、１２０度毎に被加工物Ｗの供給排出ポジション６２と、第一研削ポジション６３と、第二研削ポジション６４とが設定されている。２連の研削部２０は、第一研削ポジション６３と、第二研削ポジション６４とにそれぞれ配置されている。従って、ターンテーブル６０が１２０度毎に間欠回転することでチャックテーブル５０が被加工物Ｗの供給排出ポジション６２、第一研削ポジション６３、第二研削ポジション６４に順次位置付けられる。 The turntable 60 has a supply/discharge position 62 for the workpiece W, a first grinding position 63, and a second grinding position 64 at intervals of 120 degrees. The double grinding units 20 are arranged at a first grinding position 63 and a second grinding position 64, respectively. Therefore, the chuck table 50 is sequentially positioned at the supply/discharge position 62 of the workpiece W, the first grinding position 63 and the second grinding position 64 by intermittently rotating the turntable 60 every 120 degrees.

なお、２連の研削部２０は、同一条件としても良いし、それぞれ異なる条件、例えば粗加工用と仕上げ加工用の条件としても良い。また、チャックテーブル５０と、研削部２０とは、用途に応じて、必要数設ければ良い。 The two grinding units 20 may have the same conditions, or may have different conditions, for example, conditions for roughing and finishing. Moreover, the required number of chuck tables 50 and grinding units 20 may be provided according to the application.

次に、第二の実施形態における研削装置１０の動作について図１０（ａ）及び（ｂ）に基づいて以下に説明する。 Next, the operation of the grinding apparatus 10 in the second embodiment will be described below based on FIGS. 10(a) and 10(b).

図１０（ａ）は、大口径の研削ホイール４５を用いて被加工物Ｗを研削する様子を表した説明図である。この場合、第一実施形態における図６（ａ）及び図７（ａ）のようにスピンドル３５の位置が、チャックテーブル５０に対して水平方向でかつ離反する方向に位置（第一位置４７とも称す）している。このとき研削ホイール４５の砥石４６の外周が被加工物Ｗの中心付近と接触しながら被加工物Ｗが研削される。 FIG. 10(a) is an explanatory diagram showing how the workpiece W is ground using a large-diameter grinding wheel 45. FIG. In this case, as shown in FIGS. 6A and 7A in the first embodiment, the position of the spindle 35 is positioned horizontally and away from the chuck table 50 (also referred to as the first position 47). )are doing. At this time, the workpiece W is ground while the outer circumference of the grindstone 46 of the grinding wheel 45 is in contact with the vicinity of the center of the workpiece W. As shown in FIG.

図１０（ｂ）は、一方の研削部２０に小口径の研削ホイール４５を用い、他方の研削部２０に大口径の研削ホイール４５を用いて被加工物Ｗが研削される様子を表した説明図である。この場合、図示左側の研削部２０は、図６（ｂ）及び図７（ｂ）のようにスピンドル３５の位置が、チャックテーブル５０に対して水平方向でかつ接近する方向（第二位置４８とも称す）に位置している。このように、研削部２０のスピンドル３５の軸心位置を変更可能とすることにより、径の異なる研削ホイール４５を用いて被加工物Ｗの加工を行うことが可能である。なお、研削ホイール４５の径だけではなく、研削部２０毎に砥石４６がそれぞれ異なるものを用いることも可能である。 FIG. 10(b) illustrates how a workpiece W is ground using a small-diameter grinding wheel 45 in one grinding section 20 and a large-diameter grinding wheel 45 in the other grinding section 20. It is a diagram. 6(b) and 7(b), the position of the spindle 35 in the grinding section 20 on the left side of the drawing is horizontal to the chuck table 50 and in the approaching direction (also referred to as the second position 48). is located in By making the axial position of the spindle 35 of the grinding unit 20 changeable in this manner, it is possible to process the workpiece W using grinding wheels 45 having different diameters. It is also possible to use not only the diameter of the grinding wheel 45 but also the grindstone 46 that differs for each grinding unit 20 .

なお、本発明の研削装置１０は、第一及び第二の実施形態において、研削部２０及びチャックテーブル５０が、それぞれ独立に水平方向への傾斜が可能に構成されている。研削部２０及びチャックテーブル５０の水平方向への傾斜について、図１１に基づいて詳細を説明する。 In addition, in the first and second embodiments of the grinding apparatus 10 of the present invention, the grinding section 20 and the chuck table 50 are configured to be independently tiltable in the horizontal direction. The horizontal inclination of the grinding section 20 and the chuck table 50 will be described in detail with reference to FIG. 11 .

図１１は、第二の実施形態における研削部２０及びチャックテーブル５０のそれぞれの傾斜状態の説明図である。なお、図１１において、理解が容易なように被加工物Ｗは実際より厚く描いている。また、図１１において、理解が容易なように保持面５１の中央部の盛り上がり並びに研削ホイール４５及びチャックテーブル５０の傾斜量も実際より誇張して描いてあることに留意されたい。 FIG. 11 is an explanatory diagram of the tilted states of the grinding section 20 and the chuck table 50 in the second embodiment. In addition, in FIG. 11, the workpiece W is drawn thicker than it actually is for easy understanding. Also, in FIG. 11, for ease of understanding, it should be noted that the bulge at the center of the holding surface 51 and the amount of inclination of the grinding wheel 45 and the chuck table 50 are exaggerated.

上述のように、チャックテーブル５０は、保持面５１が円錐形状に形成されている。これは、保持面５１が平坦であると、被加工物Ｗと砥石４６の周速差により被加工物Ｗの中央部の研削量が増えて、被加工物Ｗを平坦に研削できないためである。なお、保持面５１は、研削の条件に応じて、平坦なものや各種の形状のものを用いることが可能である。図示左側の研削部２０は、研削ホイール４５の軸心４５ａ（スピンドル３５の軸心３５ａと一致）が鉛直方向に設定されている。すなわち、砥石４６の研削面が水平方向となるように設定されている。研削ホイール４５の軸心４５ａの傾斜は、調整ボルト１４とナット１３の調整により、スピンドル３５の軸心３５ａを傾斜させることで行うことができる。ここで、研削ホイール４５の砥石４６と被加工物Ｗとが、研削位置において平行に接触するようにチャックテーブル５０の軸心５０ａが水平面に対して傾斜するように調整されている。 As described above, the chuck table 50 has the holding surface 51 formed in a conical shape. This is because if the holding surface 51 is flat, the grinding amount of the central portion of the workpiece W increases due to the peripheral speed difference between the workpiece W and the grindstone 46, and the workpiece W cannot be ground flat. . It should be noted that the holding surface 51 can be flat or have various shapes depending on the grinding conditions. In the grinding section 20 on the left side of the drawing, the axis 45a of the grinding wheel 45 (which coincides with the axis 35a of the spindle 35) is set in the vertical direction. That is, the grinding surface of the grindstone 46 is set to be horizontal. The inclination of the axis 45a of the grinding wheel 45 can be performed by adjusting the adjusting bolt 14 and the nut 13 to incline the axis 35a of the spindle 35. As shown in FIG. Here, the axis 50a of the chuck table 50 is adjusted to be inclined with respect to the horizontal plane so that the grindstone 46 of the grinding wheel 45 and the workpiece W are in parallel contact at the grinding position.

一方、図示右側の研削部２０は、研削ホイール４５の軸心４５ａがチャックテーブル５０の鉛直方向の軸心６１に対して、図示右方向にθ度傾斜した状態に設定されている。これにより、被加工物Ｗと砥石４６は、研削位置において、被加工物Ｗの外周側に多く接触する。従って、被加工物Ｗの中心部よりも外周側が多く研削される。なお、図示しないが、研削ホイール４５の軸心４５ａを上述と反対側の図示左方向に傾斜した状態に設定することで、被加工物Ｗの中央部を外周側より多く研削することが可能である。上述の角度θは、研削条件に応じて任意に設定することが可能である。 On the other hand, in the grinding section 20 on the right side of the drawing, the axis 45a of the grinding wheel 45 is set to be inclined by .theta. As a result, the workpiece W and the grindstone 46 are in contact with the outer peripheral side of the workpiece W at the grinding position. Therefore, the outer peripheral side of the workpiece W is ground more than the central portion thereof. Although not shown, by setting the axial center 45a of the grinding wheel 45 in a state inclined leftward in the drawing, which is opposite to the above, it is possible to grind more of the central portion of the workpiece W than the outer peripheral portion thereof. be. The angle θ described above can be arbitrarily set according to the grinding conditions.

上述のように、本発明の研削装置１０は、研削部２０及びチャックテーブル５０が、それぞれ独立に水平方向への傾斜が可能に構成されているので、被加工物Ｗを多様な形状に研削することが可能である。また、複数の研削部２０を備える研削装置１０において、研削部２０毎に異なる研削ホイール４５を用いる場合であっても、それぞれの研削部２０に合った研削条件を設定することが可能である。 As described above, in the grinding apparatus 10 of the present invention, the grinding section 20 and the chuck table 50 are configured so that they can be tilted independently in the horizontal direction, so that the workpiece W can be ground into various shapes. Is possible. Further, even when a different grinding wheel 45 is used for each grinding unit 20 in the grinding apparatus 10 having a plurality of grinding units 20, it is possible to set grinding conditions suitable for each grinding unit 20.

図９のように、研削装置１０は、２つの研削部２０がそれぞれターンテーブル６０の中心に対して１２０度方向となるように配置している。また、チャックテーブル５０もターンテーブル６０の中心に対して１２０度方向となるように配置している。上述のように研削部２０及びチャックテーブル５０を配置し、チャックテーブル５０の傾斜方向を統一しておくことにより、それぞれの研削部２０での研削条件の設定が容易になる。これは、ターンテーブル６０の回転によりチャックテーブル５０が、供給排出ポジション６２、第一研削ポジション６３及び第二研削ポジション６４のそれぞれのポジションにおいて同一の軸心方向となって位置付けられることによる。 As shown in FIG. 9 , the grinding device 10 is arranged so that the two grinding sections 20 are oriented 120 degrees with respect to the center of the turntable 60 . Also, the chuck table 50 is arranged so as to be oriented 120 degrees with respect to the center of the turntable 60 . By arranging the grinding section 20 and the chuck table 50 as described above and unifying the tilting direction of the chuck table 50, it becomes easy to set the grinding conditions in each grinding section 20 . This is because the turntable 60 rotates to position the chuck table 50 in the same axial direction at each of the supply/discharge position 62 , the first grinding position 63 and the second grinding position 64 .

以上が、本発明の実施形態であるが、上述の実施形態は、一実施形態を示したものに過ぎず、本発明は上述したものに限られない。 The embodiments of the present invention have been described above, but the above-described embodiments merely show one embodiment, and the present invention is not limited to the above-described embodiments.

上述の研削装置１０の支持部２２ａにおける長孔２６ａ又は開口の形状は、チャックテーブル５０に対して水平方向かつ接近離反する方向に沿って開口しているものであれば各種のものが採用できる。例えば、支持部２２ａの前端側がＵ字形状やコの字形状に開口しているものであっても良い。すなわち、スピンドル３５の軸心３５ａの位置が、チャックテーブル５０に対して水平方向かつ接近離反する方向に移動可能となるような開口を設ければ良い。また、長孔２６ａや開口の形状もスピンドル３５自体の形状やフランジの形状に合わせて、例えば、矩形状や楕円形状のものなど各種の形状のものが採用できる。 Various shapes can be adopted for the shape of the long hole 26a or the opening in the support portion 22a of the grinding apparatus 10 as long as the shape is horizontal with respect to the chuck table 50 and along the direction of approach and separation. For example, the front end side of the support portion 22a may be opened in a U shape or a U shape. That is, it is sufficient to provide an opening that allows the position of the axis 35a of the spindle 35 to move horizontally with respect to the chuck table 50 in the directions of approaching and separating. Also, the long hole 26a and the shape of the opening may be of various shapes such as rectangular or elliptical in accordance with the shape of the spindle 35 itself and the shape of the flange.

上述の実施形態は、研削を主とした説明を行ったが、同様の機構を採用できる研磨分野においても使用できる。また、被加工物Ｗも円形のものを例として説明したが、四角形や三角形、楕円等の各種の形状の被加工物Ｗを研削することが可能である。なお、この場合、チャックテーブル５０の形状も被加工物Ｗの外形に合わせて適宜変更すれば良い。 Although the above embodiment has been described mainly for grinding, it can also be used in the field of polishing where a similar mechanism can be employed. Also, although the workpiece W has been described as being circular, it is possible to grind workpieces W having various shapes such as square, triangle, and ellipse. In this case, the shape of the chuck table 50 may also be appropriately changed according to the outer shape of the workpiece W to be processed.

また、チャックテーブル５０の保持面５１は、本実施形態においては、同心円状の仕切壁５２で領域５３を複数に区画したものであるが、保持する被加工物Ｗの形状に応じて、各種の形状に領域５３を区画することが可能である。例えば、被加工物Ｗがオリフラを有する場合は、当該オリフラの部分を別途領域設定しても良い。領域５３は、円形だけではなく、例えば、楕円、三角形、四角形等の各種の形状であっても良い。 In this embodiment, the holding surface 51 of the chuck table 50 is formed by partitioning a plurality of areas 53 with concentric partition walls 52. However, depending on the shape of the workpiece W to be held, various It is possible to define regions 53 in shape. For example, if the workpiece W has an orientation flat, a separate area may be set for the orientation flat. The region 53 may have various shapes such as an ellipse, a triangle, and a square, as well as a circle.

また、本発明の第二の実施形態は、ターンテーブル６０に複数のチャックテーブル５０を設け、研削部２０を２連配したものであるが、ターンテーブル６０に代えて、複数のテーブルを直列又は並列に配して被加工物Ｗを研削部２０に送り込むものであっても良い。 In the second embodiment of the present invention, a turntable 60 is provided with a plurality of chuck tables 50 and two grinding units 20 are arranged in series. They may be arranged in parallel to feed the workpiece W to the grinding section 20 .

上述の実施形態においては、複数のブロック形状の砥石４６を環状に配置したものを用いているが、本発明はこれに限定されず、各種の形状の砥石を用いることができる。例えば、円形状の全面が砥石で形成されているものや、適宜の角度を設けてブロック形状の砥石が複数配置されているものなどを採用することができる。 In the above-described embodiment, a plurality of block-shaped grindstones 46 arranged in a ring is used, but the present invention is not limited to this, and grindstones of various shapes can be used. For example, it is possible to employ one in which the entire surface of a circular shape is formed by a whetstone, or one in which a plurality of block-shaped whetstones are arranged at appropriate angles.

上述の実施形態においては、第一接続部３６のフランジ部２９は、ベース部２８上に立設して設けられているが、フランジ部２９は、ベース部２８に一体的に平坦に形成されていても良い。また、第一接続部３６におけるフランジ部２９の形状及び第二接続部３７の形状は、円形だけではなく、例えば、楕円、四角形等、各種の形状のものを採用できる。また、第一接続部３６におけるベース部２８の形状も各種のものが採用できる。また、本実施形態においては、予め接続部２７を移動させて支持部２２ａに固定してから、第一接続部３６と第二接続部３７が接続されるようにしたが、第一接続部３６と第二接続部３７を接続した後に、接続部２７が移動されるものであっても良い。 In the above-described embodiment, the flange portion 29 of the first connection portion 36 is erected on the base portion 28, but the flange portion 29 is integrally formed flat with the base portion 28. can be Moreover, the shape of the flange portion 29 in the first connection portion 36 and the shape of the second connection portion 37 are not limited to a circular shape, and various shapes such as an ellipse and a square can be adopted. Also, various shapes can be adopted for the base portion 28 in the first connection portion 36 . Further, in the present embodiment, the connection portion 27 is moved in advance and fixed to the support portion 22a, and then the first connection portion 36 and the second connection portion 37 are connected. The connection portion 27 may be moved after connecting the second connection portion 37 with the second connection portion 37 .

また、ベース部２８におけるベース部開口２８ａは、各種の形状に形成することが可能である。例えば、ベース部開口２８ａは、長孔２６ａ方向に沿った矩形状や楕円形状に形成されたものやフランジ部２９の開口２９ａと連通する円状に形成されたものであっても良い。 Also, the base portion opening 28a in the base portion 28 can be formed in various shapes. For example, the base portion opening 28a may be formed in a rectangular shape or an elliptical shape along the direction of the long hole 26a, or may be formed in a circular shape communicating with the opening 29a of the flange portion 29. FIG.

上述の実施形態においては、研削部２０とチャックテーブル５０の水平方向への傾斜は、３点の調整ボルト１４で行うようにしたが、スペーサ、ジャッキ等で調整するようにしても良い。また、高さの調整は、適宜のゲージを設けて、条件に合わせてゲージの目盛で行うようにしても良い。 In the above-described embodiment, the horizontal inclination of the grinding section 20 and the chuck table 50 is performed by the three adjustment bolts 14, but it may be adjusted by spacers, jacks, or the like. Also, the height adjustment may be performed by providing an appropriate gauge and using the scale of the gauge according to the conditions.

本発明の研削装置１０を用いると、１つの研削ホイール４５に粗研削用の砥石４６を装着し、他の研削ホイール４５に仕上げ研削用の砥石４６を装着することにより、一つの研削装置１０内で連続的に粗研削及び仕上げ研削を行うことができる。この場合の研削方法は、例えば、研削ホイール４５の回転を決めるステップと、チャックテーブル５０の回転数を決めるステップと、チャックテーブル５０の吸着する領域５３を切り替えるステップと、研削ホイール４５の傾斜を調整するステップと、チャックテーブル５０の傾斜を調整するステップと、ターンテーブル６０を回転させてターンテーブル６０の粗研削ポジションから仕上げ研削ポジションに被加工物Ｗを移動させるステップ等からなる。 When the grinding apparatus 10 of the present invention is used, one grinding wheel 45 is equipped with a grindstone 46 for rough grinding, and another grinding wheel 45 is equipped with a grindstone 46 for finish grinding. Rough grinding and finish grinding can be performed continuously. The grinding method in this case includes, for example, a step of determining the rotation of the grinding wheel 45, a step of determining the number of rotations of the chuck table 50, a step of switching the suction area 53 of the chuck table 50, and adjusting the inclination of the grinding wheel 45. adjusting the inclination of the chuck table 50; rotating the turntable 60 to move the workpiece W from the rough grinding position of the turntable 60 to the finish grinding position;

本発明は、被加工物を研削する研削装置全般に適用が可能であり、特に半導体等のウエハを研削する用途に好適に利用することが可能である。 INDUSTRIAL APPLICABILITY The present invention can be applied to general grinding apparatuses for grinding workpieces, and can be particularly suitably used for grinding wafers such as semiconductors.

Ｗ被加工物
１０研削装置
１２コラム
２０研削部
２２支持部
２２ａ支持部
２２ｂ支持部
２６ａ長孔（配置部）
２７接続部
２８ベース部
２８ａベース部開口
２９フランジ部
３５スピンドル
３５ａ軸心
３６第一接続部
３７第二接続部
４１ネジ穴（固定部）
４５研削ホイール
４６砥石
４７第一位置
４８第二位置
５０チャックテーブル
５１保持面
５２仕切壁
５３領域
５７傾斜調整機構
６０ターンテーブル W Work piece 10 Grinding device 12 Column 20 Grinding part 22 Support part 22a Support part 22b Support part 26a Long hole (placement part)
27 connecting portion 28 base portion 28a base portion opening 29 flange portion 35 spindle 35a axis 36 first connecting portion 37 second connecting portion 41 screw hole (fixing portion)
45 grinding wheel 46 grindstone 47 first position 48 second position 50 chuck table 51 holding surface 52 partition wall 53 region 57 tilt adjustment mechanism 60 turntable

Claims

a chuck table having a holding surface for holding a workpiece;
a grinding unit that grinds the workpiece held on the holding surface of the chuck table;
A grinding device comprising a column that supports the grinding part so as to be able to be fed to the holding surface for grinding,
The grinding part is
a grinding wheel having a grindstone for grinding the workpiece;
a spindle rotatably and detachably holding the grinding wheel;
at least one supporting portion formed to extend in a direction along the chuck table and supporting the spindle;
The supporting portion is formed with an arrangement portion along an arrangement direction that is a horizontal direction and a direction toward and away from the chuck table, and the arrangement of the spindle can be changed along the arrangement portion. grinding equipment.

2. The grinding apparatus according to claim 1, wherein the placement portion is formed with a long hole or an opening along the placement direction.

The holding surface of the chuck table is
a plurality of regions partitioned according to a plurality of types of contours of the workpiece;
and a holding portion that generates an independent holding force for each region,
3. The grinding apparatus according to claim 1, wherein the holding force of said holding portion is switchable for each of said areas.

4. The grinding apparatus according to claim 1, wherein at least one grinding section is provided and a plurality of chuck tables are provided.

Having a turntable on which a plurality of chuck tables are arranged concentrically,
4. The grinding apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein at least one grinding section is arranged in the vicinity of the turntable.

At least one of the plurality of grinding wheels constituting the grinding section is different from the other one or more grinding wheels in one or both of the shape and material of the grindstone. 6. The grinding device according to any one of 5.

The support part is
having a connecting portion that freely detachably connects the spindle,
The grinding machine according to any one of claims 1 to 6, characterized in that the position of the connecting portion can be changed in the placement portion.

The connecting part is
a first connecting portion provided on the supporting portion;
a second connecting portion provided on the spindle;
The first connection portion and the second connection portion are detachably connected,
The support part is
Having a fixing portion that fixes the first connection portion to the support portion,
The placement unit
8. The grinding apparatus according to claim 7, wherein said first connecting portion is arranged to be changeable in said arrangement direction.

The connecting part is
a first connecting portion provided on the supporting portion;
a second connecting portion provided on the spindle;
a base portion that is fixed to the support portion and supports the first connection portion;
The base portion
It can be arranged by changing the position in the circumferential direction with a predetermined axis that intersects the chuck table as an axial center position, and supports the first connection part at a position deviated from the axial center position. and
The placement unit
The first connection portion arranged at different positions is connected to the second connection portion in accordance with the change in the position of the connection portion in the circumferential direction of the base portion about the axial position. 8. The grinding device according to claim 7, wherein the grinding device is deployable.

10. The base portion according to claim 9, wherein the base portion has a base portion opening formed along the arrangement direction, and the arrangement of the first connection portion can be changed along the base portion opening. grinding equipment.

11. The grinding apparatus according to any one of claims 1 to 10, wherein the grinding section and the chuck table are configured to be independently tiltable with respect to the horizontal direction.