JP7273618B2 - 加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウェーハ等の被加工物に加工を施す加工装置に関する。

例えば、半導体ウェーハ等の被加工物を切削ブレードで切削する切削装置は、切削ブレードで被加工物に形成され撮像手段で撮像されたカーフと切削装置に配設されたモニタの画面に予め表示させている基準線となるヘアライン（カメラ等の撮像手段の視野に設定された中心線）とを一致させヘアラインの中心とカーフの中心とを合わせるヘアライン合わせを、ブレード交換時又は切削加工中等の適宜のタイミングに行っている。このようなヘアライン合わせによって、切削ブレードと撮像手段（カメラ）との位置合わせがなされることで、実際の切削によりこれからさらに形成されるカーフとヘアラインの誤差とが修正される（例えば、特許文献１参照）。

また、ストリートで区画された領域にデバイスが形成された被加工物をストリートに沿って切削加工する場合には、アライメントマークをカメラ等の撮像手段で撮像してストリートの位置を認識している。即ち、被加工物のデバイス表面には、同一の回路パターンが形成されており、例えば、回路パターンのうちの特徴的な形状を有する一つのパターンが、アライメントマークとして装置に設定される。そして、ストリートは、アライメントマークから所定方向に所定距離離間した位置に設定されているため、アライメントマークを見つけることでストリートの位置を認識することが可能となる。そして、ヘアライン合わせが既に行われている切削装置においては、撮像手段のヘアラインを被加工物の狙いのストリートの中心に合わせることで、切削ブレードが狙いのストリートの中心を切削してカーフを形成することができる。

撮像手段が撮像した画像を映すモニタの画面には、先に説明したヘアラインが表示され、ヘアラインとカーフとは一致しているがヘアラインとストリートとがずれている場合があるので、ヘアラインがストリートと一致するようにする補正（カット位置補正）を切削装置は例えば切削加工中の適宜のタイミングに実施している。このようにカット位置補正で、ストリートとヘアラインとが位置合わせされ、ヘアライン合わせで、カーフとヘアラインとが位置合わせされる。これによって、デバイスに切り込むことなく切削ブレードが狙いのストリートの中心を正確に切削する加工が実施可能になる

特開２００８－２５８４９６号公報

切削ブレードを備える切削手段に向かって被加工物をＸ軸方向に切削送りする切削加工中においては、例えば切削加工を一時停止して撮像手段で被加工物に形成されたカーフをモニタに表示して、カーフが正常に形成されているか否かを判断するカーフチェックを行う。このとき、カーフの状態を観察する他、ヘアラインと形成されたカーフとが位置ずれしている場合があるので先に説明したヘアライン合わせを行う。又は、ヘアラインとストリートとがずれている場合があるのでカット位置補正を行う。

上記ヘアライン合わせでは、切削ブレードの取り付け具合等を原因としてヘアラインに対してカーフがストリートの幅方向（Ｘ軸方向に水平面において直交するＹ軸方向）にずれたのを補正する。また、上記カット位置補正では、加工熱による被加工物の径方向への伸び等を原因としてヘアラインに対してストリートがＹ軸方向にずれたのを補正する。

しかし、ヘアライン合わせを行ったのにもかかわらず、その直後にカーフのヘアラインに対する位置ずれが発生したり、カット位置補正を行ったのにもかかわらず、その直後にヘアラインのストリートに対する位置ずれが発生したりすることがある。これは、例えば切削手段が切削を行うことで生じ得る撮像手段（カメラ）の取り付けの緩みに起因することがある。
例えば、被加工物を加工する加工装置が、被加工物にレーザー光線を照射してアブレーション加工等を施しカーフを形成するレーザー加工装置である場合にも、上記問題は発生し得る。

よって、被加工物をストリートに沿って加工する加工装置においては、カーフやストリートのヘアラインに対する上記位置ずれを発生させる要因となる撮像手段（カメラ）の取り付けの緩みを判断できるようにするという課題がある。

上記課題を解決するための本発明は、ストリートによって区画された領域にデバイスが形成された被加工物を保持する保持面を備える保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を該ストリートに沿って加工する加工手段と、該保持手段を該加工手段に向けて加工送りする方向となるＸ軸方向に移動させるＸ軸移動手段と、該保持手段と該加工手段とを相対的に水平面で該Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に移動させるＹ軸移動手段と、該加工手段に配設され被加工物を上方から撮像する撮像手段と、該撮像手段が撮像した画像を画面に表示するとともに画面基準線となるヘアラインを表示するモニタと、装置制御を行う制御手段と、を備える加工装置であって、該制御手段は、該撮像手段が撮像し該モニタに表示された画像を用いて、該ヘアラインに対して該加工手段によって被加工物に形成されたカーフの中心が該Ｙ軸方向にずれたカーフずれ量を認識するカーフずれ量認識部と、該画像を用いて、該ヘアラインに対して該ストリートの中心が該Ｙ軸方向にずれたストリートずれ量を認識するストリートずれ量認識部と、該カーフずれ量認識部が認識した該カーフずれ量を無くすように、該Ｙ軸方向における該カーフずれ量が発生した方向の反対方向で該カーフずれ量分の補正値を設定するカーフずれ補正設定部と、該ストリートずれ量認識部が認識した該ストリートずれ量を無くすように、該Ｙ軸方向における該ストリートずれ量が発生した方向の反対方向で該ストリートずれ量分の補正値を設定するストリートずれ補正設定部と、該撮像手段の取り付けの緩みの発生の有無を判断する判断部と、を備え、該制御手段による制御の下で、該保持手段に保持された被加工物に該加工手段で該ストリートに沿ってカーフを形成する加工を一時停止させ、該撮像手段で被加工物に形成された該カーフを撮像した画像において、該カーフずれ補正設定部によるカーフずれ補正の設定と該ストリートずれ補正設定部によるストリートずれ補正の設定とを実施した後、被加工物を該加工手段で加工し、被加工物に新たなカーフを形成し、該撮像手段で該新たなカーフを撮像し、該判断部は、該新たなカーフを撮像した画像において、該カーフずれ量認識部が新たにカーフずれ量を認識し、該ストリートずれ量認識部が新たにストリートずれ量を認識し、かつ該新たに認識されたカーフずれ量と該新たに認識されたストリートずれ量とが一致していたら、該撮像手段の取り付けが緩んでいる可能性があると判断する加工装置である。

また、上記課題を解決するための本発明は、ストリートによって区画された領域にデバイスが形成された被加工物を保持する保持面を備える保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を該ストリートに沿って加工する加工手段と、該保持手段を該加工手段に向けて加工送りする方向となるＸ軸方向に移動させるＸ軸移動手段と、該保持手段と該加工手段とを相対的に水平面で該Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に移動させるＹ軸移動手段と、該加工手段に配設され被加工物を上方から撮像する撮像手段と、該撮像手段が撮像した画像を画面に表示するとともに画面基準線となるヘアラインを表示するモニタと、装置制御を行う制御手段と、を備える加工装置であって、該制御手段は、該撮像手段が撮像し該モニタに表示された画像を用いて、該ヘアラインに対して該加工手段によって被加工物に形成されたカーフの中心が該Ｙ軸方向にずれたカーフずれ量を認識するカーフずれ量認識部と、該画像を用いて、該ヘアラインに対して該ストリートの中心が該Ｙ軸方向にずれたストリートずれ量を認識するストリートずれ量認識部と、該カーフずれ量認識部が認識した該カーフずれ量を無くすように、該Ｙ軸方向における該カーフずれ量が発生した方向の反対方向で該カーフずれ量分の補正値を設定するカーフずれ補正設定部と、該ストリートずれ量認識部が認識した該ストリートずれ量を無くすように、該Ｙ軸方向における該ストリートずれ量が発生した方向の反対方向で該ストリートずれ量分の補正値を設定するストリートずれ補正設定部と、該撮像手段の取り付けの緩みの発生の有無を判断する判断部と、を備え、該制御手段による制御の下で、該保持手段に保持された被加工物に該加工手段で該ストリートに沿ってカーフを形成する加工を一時停止させ、該撮像手段で被加工物に形成された該カーフを撮像した該画像において、該カーフずれ補正設定部によるカーフずれ補正の設定と該ストリートずれ補正設定部によるストリートずれ補正の設定とを実施した後、被加工物を該加工手段で加工し、被加工物に新たなカーフを形成し、該撮像手段で該新たなカーフを撮像し、該判断部は、該新たなカーフを撮像した画像において、該カーフずれ量認識部が新たに認識したカーフずれ量が予め設定したカーフずれ閾値以上の場合、又は該ストリートずれ量認識部が新たに認識したストリートずれ量が予め設定したストリートずれ閾値以上の場合に、該撮像手段の取り付けが緩んでいる可能性があると判断する加工装置である。

本発明に係る加工装置は、加工手段に配設され被加工物を上方から撮像する撮像手段と、撮像手段が撮像した画像を画面に表示するとともに画面基準線となるヘアラインを表示するモニタと、装置制御を行う制御手段と、を備える加工装置であって、制御手段は、撮像手段が撮像しモニタに表示された画像を用いて、ヘアラインに対して加工手段によって被加工物に形成されたカーフの中心がＹ軸方向にずれたカーフずれ量を認識するカーフずれ量認識部と、該画像を用いて、ヘアラインに対してストリートの中心がＹ軸方向にずれたストリートずれ量を認識するストリートずれ量認識部と、カーフずれ量認識部が認識したカーフずれ量を無くすように、Ｙ軸方向におけるカーフずれ量が発生した方向の反対方向でカーフずれ量分の補正値を設定するカーフずれ補正設定部と、ストリートずれ量認識部が認識したストリートずれ量を無くすように、Ｙ軸方向におけるストリートずれ量が発生した方向の反対方向でストリートずれ量分の補正値を設定するストリートずれ補正設定部と、撮像手段の取り付けの緩みの発生の有無を判断する判断部と、を備えており、制御手段による制御の下で、保持手段に保持された被加工物に加工手段でストリートに沿ってカーフを形成する加工を一時停止させ、撮像手段で被加工物に形成されたカーフを撮像した画像において、カーフずれ補正設定部によるカーフずれ補正の設定とストリートずれ補正設定部によるストリートずれ補正の設定とを実施した後、被加工物を加工手段で加工し、被加工物に新たなカーフを形成し、撮像手段で新たなカーフを撮像し、判断部は、新たなカーフを撮像した画像において、カーフずれ量認識部が新たにカーフずれ量を認識し、ストリートずれ量認識部が新たにストリートずれ量を認識し、かつ新たに認識されたカーフずれ量と新たに認識されたストリートずれ量とが一致していたら、撮像手段の取り付けが緩んでいる可能性があると判断することで、ストリートに対するカーフのずれ及びヘアラインに対するカーフのずれを発生させる要因となる撮像手段の取り付けの緩みを認識できるようになる。

また、本発明に係る加工装置は、加工手段に配設され被加工物を上方から撮像する撮像手段と、撮像手段が撮像した画像を画面に表示するとともに画面基準線となるヘアラインを表示するモニタと、装置制御を行う制御手段と、を備える加工装置であって、制御手段は、撮像手段が撮像しモニタに表示された画像を用いて、ヘアラインに対して加工手段によって被加工物に形成されたカーフの中心がＹ軸方向にずれたカーフずれ量を認識するカーフずれ量認識部と、該画像を用いて、ヘアラインに対してストリートの中心がＹ軸方向にずれたストリートずれ量を認識するストリートずれ量認識部と、カーフずれ量認識部が認識したカーフずれ量を無くすように、Ｙ軸方向におけるカーフずれ量が発生した方向の反対方向でカーフずれ量分の補正値を設定するカーフずれ補正設定部と、ストリートずれ量認識部が認識したストリートずれ量を無くすように、Ｙ軸方向におけるストリートずれ量が発生した方向の反対方向でストリートずれ量分の補正値を設定するストリートずれ補正設定部と、撮像手段の取り付けの緩みの発生の有無を判断する判断部と、を備えており、制御手段による制御の下で、保持手段に保持された被加工物に加工手段でストリートに沿ってカーフを形成する加工を一時停止させ、撮像手段で被加工物に形成されたカーフを撮像した画像において、カーフずれ補正設定部によるカーフずれ補正の設定とストリートずれ補正設定部によるストリートずれ補正の設定とを実施した後、被加工物を加工手段で加工し、被加工物に新たなカーフを形成し、撮像手段で新たなカーフを撮像し、判断部は、新たなカーフを撮像した画像において、カーフずれ量認識部が新たに認識したカーフずれ量が予め設定したカーフずれ閾値以上の場合、又はストリートずれ量認識部が新たに認識したストリートずれ量が予め設定したストリートずれ閾値以上の場合に、撮像手段の取り付けが緩んでいる可能性があると判断することで、ストリートに対するカーフのずれ及びヘアラインに対するカーフのずれを発生させる要因となる撮像手段の取り付けの緩みを認識できるようになる。

加工装置の一例を示す斜視図である。 ターゲット画像の登録等のためにモニタの表示画面に表示された撮像画像を説明する説明図である。 加工手段が所定のＹ軸座標位置に位置付けられることで、モニタに表示された撮像画像中に示されるストリートの中心線とモニタの表示画面に示される画面基準線である２本のヘアラインのヘアライン中心線とが合った状態を説明する説明図である。 モニタに表示された撮像画像中に示されるストリートの中心線とモニタの表示画面に示される画面基準線である２本のヘアラインのヘアライン中心線とが合った状態で被加工物に形成されたカーフを説明する説明図である。 カーフのヘアラインに対する位置ずれ、及びストリートのヘアラインに対する位置ずれが発生した状態を説明する説明図である。 カーフずれ補正設定部によるカーフずれ補正の設定とストリートずれ補正設定部によるストリートずれ補正の設定とを既に実施しているにもかかわらず、新たに認識されたカーフずれ量と新たに認識されたストリートずれ量とが一致している状態を説明する説明図である。 新たなカーフを撮像した画像において、カーフずれ量認識部が新たに認識したカーフずれ量が予め設定したカーフずれ閾値以上となっている場合を説明する説明図である。

図１に示す加工装置１は、例えば、保持手段１５に保持された板状の被加工物Ｗに対して、加工手段１７の切削ブレード１７３を回転させ切り込ませて切削加工を施す装置である。なお、加工装置１は、被加工物Ｗにレーザー光線を照射してアブレーションさせてカーフ（加工溝）を形成するレーザー加工装置であってもよい。

図１に示す被加工物Ｗは、例えば、シリコンを母材とする外形が円形の半導体ウェーハであり、図１において上側を向いている表面Ｗａには、直交差する複数のストリートＳが形成されており、ストリートＳによって格子状に区画された各領域にはＩＣ等のデバイスＤがそれぞれ形成されている。被加工物Ｗの裏面Ｗｂは、ダイシングテープＴが貼着されて保護されている。なお、被加工物Ｗはシリコン以外にガリウムヒ素、サファイア、セラミックス、樹脂、窒化ガリウム、又はシリコンカーバイド等で構成されていてもよいし、その外形も円形状ではなく、例えば、矩形状に形成されていてもよい。
本実施形態においては、被加工物Ｗは、環状フレームＦによってダイシングテープＴを介してハンドリング可能に支持されているが、これに限定されるものではない。

加工装置１の基台１０上には、加工送り方向であるＸ軸方向に保持手段１５を往復移動させるＸ軸移動手段１１が配設されている。Ｘ軸移動手段１１は、Ｘ軸方向の軸心を有するボールネジ１１０と、ボールネジ１１０と平行に配設された一対のガイドレール１１１と、ボールネジ１１０を回動させるモータ１１２と、内部のナットがボールネジ１１０に螺合し底部がガイドレール１１１に摺接する可動板１１３とから構成される。そして、モータ１１２がボールネジ１１０を回動させると、これに伴い可動板１１３がガイドレール１１１にガイドされてＸ軸方向に移動し、可動板１１３上に配設された保持手段１５がＸ軸方向に移動する。

被加工物Ｗを保持する保持手段１５は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなる水平面と平行な保持面１５ａ上で被加工物Ｗを吸引保持する。保持手段１５は、その底面側に配設され軸方向がＺ軸方向である回転手段１５１を介して可動板１１３上に固定されている。
保持手段１５の周囲には、環状フレームＦを挟持固定するクランプ１５２が、周方向に均等間隔を空けて複数配設されている。

基台１０上の後方側（＋Ｘ方向側）には、門型コラム１００がＸ軸移動手段１１を跨ぐように立設されている。門型コラム１００の前面には、Ｘ軸方向に水平面において直交するＹ軸方向に加工手段１７を往復移動させるＹ軸移動手段１２が配設されている。Ｙ軸移動手段１２は、Ｙ軸方向の軸心を有するボールネジ１２０と、ボールネジ１２０と平行に配設された一対のガイドレール１２１と、ボールネジ１２０を回動させるモータ１２２と、内部のナットがボールネジ１２０に螺合し側部がガイドレール１２１に摺接する可動板１２３とから構成される。そして、モータ１２２がボールネジ１２０を回動させると、これに伴い可動板１２３がガイドレール１２１にガイドされてＹ軸方向に移動し、可動板１２３上にＺ軸移動手段１６を介して配設された加工手段１７がＹ軸方向にインデックス送りされる。

可動板１２３上には、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に対して直交するＺ軸方向（鉛直方向）に加工手段１７を往復移動させるＺ軸移動手段１６が配設されている。Ｚ軸移動手段１６は、Ｚ軸方向の軸心を有するボールネジ１６０と、ボールネジ１６０と平行に配設された一対のガイドレール１６１と、ボールネジ１６０を回動させるモータ１６２と、内部のナットがボールネジ１６０に螺合し側部がガイドレール１６１に摺接する支持部材１６３とから構成される。そして、モータ１６２がボールネジ１６０を回動させると、これに伴い支持部材１６３がガイドレール１６１にガイドされてＺ軸方向に移動し、支持部材１６３が支持する加工手段１７がＺ軸方向に切込み送りされる。

加工手段１７は、軸方向がＹ軸方向であるスピンドル１７０と、支持部材１６３の下端に固定されスピンドル１７０を回転可能に支持するハウジング１７１と、スピンドル１７０を回転させる図示しないモータと、スピンドル１７０に装着される円環状の切削ブレード１７３とを備えており、図示しないモータがスピンドル１７０を回転駆動することに伴って切削ブレード１７３も高速で回転する。

加工装置１は、加工手段１７に配設され保持手段１５で保持された被加工物Ｗを上方から撮像する撮像手段４を備えている。撮像手段４は、例えば、加工手段１７のハウジング１７１の－Ｘ方向側の側面に取り付けネジ等を介して取り付けられているカメラである。

撮像手段４は、外部光が遮光される筒状の筐体４０を備えており、例えば筐体４０の側面には被加工物Ｗの上方から被加工物Ｗを照らす照明４２が取り付けられている。照明４２は、ＬＥＤ又はキセノンランプ等の図示しない光源が生み出す光を光ファイバー等の伝送光学系を介して筐体４０内に伝搬する。
筐体４０内には、被加工物Ｗからの反射光を捉える対物レンズやミラー等の光学系、及び反射光に対応した電気信号を出力する撮像素子４４（ＣＣＤ）等が配設されている。図示しない光学系が捉えた被加工物Ｗからの反射光は、撮像素子４４により光電変換され画像情報として、図１に示すモニタ２に出力される。

図１に示すように、加工装置１は、装置全体の制御を行う制御手段９を備えている。ＣＰＵ及びメモリ等で構成される制御手段９は、Ｘ軸移動手段１１、Ｙ軸移動手段１２、及びＺ軸移動手段１６等に電気的に接続されており、制御手段９の制御の下で、Ｘ軸移動手段１１による保持手段１５の加工送り動作、Ｙ軸移動手段１２による加工手段１７のインデックス送り動作、及びＺ軸移動手段１６による加工手段１７の切込み送り動作等が制御される。

例えば、Ｙ軸移動手段１２のモータ１２２は、図示しないパルス発振器からドライバを介して供給される駆動パルスによって動作するパルスモータである。そして、制御手段９は、Ｙ軸移動手段１２のモータ１２２に供給される駆動パルス数をカウントすることにより、Ｙ軸移動手段１２によってインデックス送りされる保持手段１５の位置を逐次認識しながら定めることが可能となる。

例えば、Ｙ軸移動手段１２のモータ１２２をサーボモータとしてもよい。この場合、サーボモータのロータリエンコーダは、サーボアンプとしての機能も有する制御手段９に接続されており、制御手段９の出力インターフェイスからサーボモータに対して動作信号が供給された後、エンコーダ信号（サーボモータの回転数）を制御手段９の入力インターフェイスに対して出力する。そして、エンコーダ信号を受け取った制御手段９によって、保持手段１５のインデックス送り位置が逐次認識及び決定される。

例えば、加工装置１の基台１０上には、加工装置１を覆う装置筐体１３が配設されており、装置筐体１３内には先に説明した各加工装置１の各構成用件が収容される加工室が画成される。
例えば装置筐体１３の－Ｘ方向側の前面には、撮像手段４が撮像した画像を表示画面２４に表示するとともに画面基準線となるヘアラインを表示するモニタ２が配設されている。モニタ２は、例えば入力画面２２も表示され、オペレータが入力画面２２に触れて加工装置１の制御手段９に対して加工条件等を入力可能なタッチパネル式のものであるが、これに限定されるものではなく、キーボード等の入力端末から制御手段９に加工条件等が入力可能となっていてもよい。
モニタ２の表示画面２４は、撮像手段４により撮像された画像を表示するのみならず、入力された加工条件等の各種情報、及び制御手段９による処理等も表示可能である。

表示画面２４には、撮像手段４が撮像した画像と共に画面基準線となるヘアライン２４ａを表示させることができる。ヘアライン２４ａは、本実施形態においては、図１に示すように破線で示され表示画面２４内において平行に延在する２本の線であるが、１本の線であってもよい。また、図１に示すように、例えば表示画面２４には、２本のヘアライン２４ａの間の中点を通り２本のヘアライン２４ａに平行に延在する１本のヘアライン中心線２４ｃが一点鎖線で表示される。

以下に、図１に示す加工装置１を用いて被加工物Ｗを切削する場合の、加工装置１の各構成部位の動作について説明する。なお、被加工物Ｗの切削加工を開始する前の加工装置１は、撮像手段４の撮像視野に設定された２本のヘアライン２４ａの間のヘアライン中心線２４ｃと切削ブレード１７３の刃厚方向の中心線とは合致した状態になっている。また、例えば、切削ブレード１７３の最下端が保持手段１５の保持面１５ａに接触するときの切削ブレード１７３の高さを加工装置１に認識させるセットアップ等も既に行われた状態になっている。

まず、例えば、オペレータがモニタ２の入力画面２２上に表示される複数のデバイスデータから、これから加工する被加工物Ｗに対応するデバイスデータを選択して、制御手段９に入力する。デバイスデータとは、被加工物Ｗの種類や厚さ等に基づいて定められた加工条件であり、ワーク形状・サイズ、インデックスサイズ（インデックス量）、Ｘ軸方向における切削送り速度、加工手段１７のスピンドル回転数、及びブレードハイト等を含むデータである。インデックスサイズとは、ストリートＳの幅方向の中心線からその隣のストリートＳの幅方向の中心線までの距離であり、加工手段１７のインデックス送りの際に用いられる。

被加工物Ｗが、表面Ｗａが上側になるように保持手段１５の保持面１５ａ上に載置される。そして、図示しない吸引源により生み出される吸引力が保持面１５ａに伝達されることにより、保持手段１５が被加工物ＷをダイシングテープＴを介して吸引保持する。また、環状フレームＦがクランプ１５２により挟持固定される。なお、保持手段１５の保持面１５ａの中心と吸引保持された被加工物Ｗの中心とは略合致した状態になる。

そして、被加工物Ｗを吸引保持した保持手段１５が、図１に示すＸ軸移動手段１１によってＸ軸方向に移動される。また、撮像手段４が、Ｙ軸移動手段１２によってＹ軸方向に移動され、撮像手段４の図示しない対物レンズの直下に被加工物Ｗの例えば略中心が位置する状態になる。
そして、被加工物Ｗの表面Ｗａが撮像手段４によって撮像されて、図２に示す撮像画像ＧＡが形成され、撮像画像ＧＡがモニタ２の表示画面２４に表示される。

図２に示すように、表示画面２４に表示された撮像画像ＧＡに写る被加工物ＷのデバイスＤの表面には、同一の回路パターンが形成されている。そして、該回路パターンのうちの特徴的な形状を有する一つのパターンが、オペレータによりアライメントマークＭＡとして選定される。アライメントマークＭＡは、複数のデバイスＤの一つずつについて、同様の位置、例えば、デバイスＤのコーナー部分（図２においては左下隅）に形成されている。なお、アライメントマークは、回路パターンの一部でなくてもよい。該アライメントマークＭＡは、ターゲット画像ＧＴとして登録され図１に示す加工装置１のメモリなどからなる記憶部９９に記憶される。

図２に示すアライメントマークＭＡが選定されるのに伴って、アライメントマークＭＡからストリートＳまでの距離と方向とが、記憶部９９に記憶される。即ち、ピクセル数のカウント等により、アライメントマークＭＡの中心からストリートＳの幅の中心を通る中心線Ｓｃまでの距離Ｌｘ１及びアライメントマークＭＡの中心からストリートＳの幅の中心を通る中心線Ｓｄまでの距離Ｌｙ１が図１に示す記憶部９９に記憶される。ストリートＳの幅は、例えば、幅ＳＬである。

上記ターゲット画像ＧＴの登録等は、オペレータのマニュアル操作によって行われても良いし、加工装置１の制御手段９による自動処理で行われても良い。上記ターゲット画像ＧＴの登録等は、ティーチング処理（Ｔｅａｃｈｉｎｇ処理）等と呼ばれることもあり、同種類の被加工物Ｗを連続的に複数枚切削する場合においては、一枚目の被加工物Ｗを切削する前に一度行われれば、二枚目以降の被加工物Ｗを保持手段１５で新たに吸引保持した後に行う必要はない。

また、例えば、図２に示す撮像画像ＧＡの複数のデバイスＤの表面に形成された各アライメントマークＭＡのＹ軸方向における座標が一致するように、図１に示す保持手段１５が所定の角度θだけ回転することで、ストリートＳがＸ軸方向と平行に合わせられるθ合わせ（平行出し）が実施される。なお、ストリートＳがＸ軸方向に平行になるようにして図１に示す保持手段１５の保持面１５ａに被加工物Ｗを吸引保持させる機構を加工装置１が備えている場合には、該θ合わせを行わなくてもよい。

上記ティーチング処理で得られた情報を基にして、加工装置１の制御手段９は、撮像手段４によって得られた撮像画像を用いて、撮像画像中のアライメントマークＭＡとターゲット画像ＧＴとのパターンマッチング等の画像処理を実施し、保持手段１５によって吸引保持された被加工物Ｗの切削ブレード１７３を切り込ませる狙いのストリートＳのＹ軸座標位置の検出を自動的に行う（所謂、オートアライメントを行う）。

ここで、切削加工開始前において、撮像手段４の加工手段１７のハウジング１７１への取り付けの緩みが無く、適切に取り付けがなされているため、図１に示す撮像手段４の視野に設定された２本のヘアライン２４ａのヘアライン中心線２４ｃ、換言すれば、撮像手段４により形成される撮像画像が表示されるモニタ２の表示画面２４のヘアライン中心線２４ｃ（画面基準線２４ｃ）と被加工物ＷのストリートＳの中心線とを合致させると（カット位置補正を行うと）、また、ヘアライン中心線２４ｃ（画面基準線２４ｃ）とカーフの中心線とを合致させると（ヘアライン合わせを行うと）、切削ブレード１７３の刃厚方向の中心と狙いのストリートＳの中心線とが合致するように加工装置１は設計されている。

したがって、ストリートＳのＹ軸座標位置の検出が行われた後、例えば、図１に示す制御手段９による制御の下で、Ｙ軸移動手段１２がＹ軸方向に加工手段１７をインデックス送りして、撮像手段４により撮像されモニタ２に表示された図３に示す撮像画像ＧＢ中に示される狙いのストリートＳの中心線とモニタ２の表示画面２４に示されるヘアライン中心線２４ｃとが合うように、図１に示す加工手段１７が所定のＹ軸座標位置に位置付けられる。

この状態で、図１に示すスピンドル１７０が回転することに伴い、切削ブレード１７３が回転する。さらに、Ｚ軸移動手段１６によって加工手段１７が－Ｚ方向に向かって切込み送りされ、切削ブレード１７３の最下端が被加工物Ｗを例えば完全に切断しダイシングテープＴに切り込む所定の高さ位置に加工手段１７が位置付けられる。

被加工物Ｗを保持する保持手段１５が所定の切削送り速度で例えば＋Ｘ方向側に送り出されることで、回転する切削ブレード１７３がストリートＳに沿って被加工物Ｗの表面Ｗａ側から切り込んでいく。そして、被加工物Ｗに図４に示すカーフＫが形成され、被加工物Ｗが切断されていく。切削ブレード１７３が一本のストリートＳを切削し終えるＸ軸方向の所定の位置まで被加工物Ｗが送られると、被加工物Ｗの切削送りが一度停止され、切削ブレード１７３が被加工物Ｗから離間し、次いで、Ｙ軸移動手段１２がインデックスサイズ分加工手段１７をＹ軸方向にインデックス送りしながら、保持手段１５が－Ｘ方向に移動し原点位置に戻る。

順次同様の切削を行うことにより、Ｘ軸方向の全てのストリートＳに沿って被加工物Ｗを切削する。さらに、図１に示す保持手段１５により被加工物Ｗを９０度回転させてから同様の切削加工を行うことで、全てのストリートＳに沿って被加工物Ｗを切削して、被加工物ＷをデバイスＤを備えるチップに分割できる。なお、被加工物ＷをカーフＫ（フルカット溝）で分割するのではなく、被加工物Ｗにハーフカット溝であるカーフを形成してもよい。

上述した切削作業を繰り返して被加工物Ｗを連続的に一枚、二枚、三枚等と切削していく途中、又は、一枚目の被加工物Ｗを切削している途中において、図１に示す加工装置１では、制御手段９による制御の下で切削中に保持手段１５の切削送り動作等を一時停止して、切削ブレード１７３で被加工物Ｗに形成されたカーフＫの撮像を撮像手段４が行う。そして、形成された撮像画像をモニタ２の表示画面２４に表示させ、該撮像画像を用いてカーフチェックを行い、カーフＫが正常であるか（例えば、チッピングが許容の大きさに収まるか等）を確認したり、モニタ２の表示画面２４に表示されたヘアライン２４ａのヘアライン中心線２４ｃとカーフＫとに位置ずれが生じている場合にはヘアライン合わせを行ったり、ヘアライン中心線２４ｃとストリートＳとにずれが生じている場合にはカット位置補正を行ったりしている。該カーフチェックのタイミングは、例えば上述したデバイスデータの制御手段９に対する入力時においてオペレータが設定したり、又は、制御手段９によって自動的に設定されたりする。

２本のヘアライン２４ａとカーフＫとの位置ずれが生じる原因としては、例えば、切削ブレード１７３のスピンドル１７０に対する取り付けである。
この切削ブレード１７３の取り付けによって撮像手段４の２本のヘアライン２４ａとカーフＫとの位置ずれ、即ち、切削ブレード１７３の中心線とのヘアライン中心線２４ｃ（モニタ２の表示画面２４に示される画面基準線）との位置ずれが生じる。
若しくは、被加工物Ｗの切削を実施していくと、加工手段１７が振動することで加工手段１７に対する撮像手段４の取り付けが緩んで、２本のヘアライン２４ａとカーフＫとが位置ずれする場合がある。そして、その対応としてヘアライン合わせを実施する。
２本のヘアライン２４ａとストリートＳとの位置ずれ、即ち、本実施形態においては、ヘアライン中心線２４ｃとストリートＳの中心線との位置ずれが生じる原因としては、加工熱による被加工物Ｗの径方向への伸び、即ち、図４に示すストリートＳの幅ＳＬが拡がったこと等を原因とする。または、設定したインデックス量と、被加工物Ｗのインデックス量とが異なっていることを原因とする。そして、その対応としてカット位置補正を実施する。

ヘアライン合わせ及びカット位置補正について具体的に説明する。図１に示す制御手段９による制御の下で、加工手段１７が例えば切削加工開始から１枚目の被加工物ＷにストリートＳに沿って図５に示すような１本のカーフＫを形成した直後に、保持手段１５による被加工物Ｗの切削送り等が停止し該カーフＫを被加工物Ｗに形成する加工が停止する。そして、加工手段１７が１本目のカーフＫを被加工物Ｗに形成した位置に停止している状態で、撮像手段４の撮像視野内に位置付けられている該カーフＫが、撮像手段４により撮像される。そして、被加工物Ｗの表面ＷａのカーフＫ、ストリートＳ、及びデバイスＤ等が写った図５に示す撮像画像ＧＢがモニタ２の表示画面２４に表示される。

図１に示すように、本発明に係る加工装置１の制御手段９は、撮像手段４が撮像しモニタ２に表示された図５に示す撮像画像ＧＢを用いて、２本のヘアライン２４ａに対して加工手段１７によって被加工物Ｗに形成されたカーフＫの中心がＹ軸方向にずれたカーフずれ量Ｌｙ２を認識するカーフずれ量認識部９０と、カーフずれ量認識部９０が認識したカーフずれ量Ｌｙ２を無くすように、Ｙ軸方向においてカーフずれ量Ｌｙ２が発生した方向の反対方向でカーフずれ量Ｌｙ２分の補正値を設定するカーフずれ補正設定部９２と、図５に示す撮像画像ＧＢを用いて、２本のヘアライン２４ａに対してストリートＳの中心がＹ軸方向にずれたストリートずれ量Ｌｙ３を認識するストリートずれ量認識部９１と、ストリートずれ量認識部９１が認識したストリートずれ量Ｌｙ３を無くすように、Ｙ軸方向においてストリートずれ量Ｌｙ３が発生した方向の反対方向でストリートずれ量Ｌｙ３分の補正値を設定するストリートずれ補正設定部９３と、備えている。

カーフずれ量認識部９０は、例えば、図５に示す撮像画像ＧＢの各画素の輝度の違いを基にして、所定の輝度の画素からなるカーフＫを検出し、そして、任意の複数のＸ軸座標位置におけるカーフＫにおけるＹ軸方向の画素の総和をカウントしてカーフＫの幅を算出し、さらに、カーフＫの幅の中心線Ｋｃを検出する。そして、モニタ２の表示画面２４に表示されているヘアライン中心線２４ｃに対して被加工物Ｗに形成されたカーフＫの中心線ＫｃがＹ軸方向にずれたカーフずれ量を画素カウントして認識する。例えば、図５に示すように、カーフずれ量は、カーフずれ量Ｌｙ２となり、カーフずれ量認識部９０は、カーフずれが発生していると認識する。

図１に示すカーフずれ補正設定部９２は、カーフずれ量認識部９０が認識したカーフずれ量Ｌｙ２を無くすように、Ｙ軸方向におけるカーフずれ量Ｌｙ２が発生した方向（＋Ｙ方向）の反対方向（－Ｙ方向）でカーフずれ量Ｌｙ２分の補正値を設定する。具体的には、制御手段９による制御の下で、Ｙ軸移動手段１２が撮像手段４を移動し、撮像手段４の撮像視野に設定されている２本のヘアライン２４ａのヘアライン中心線２４ｃ（モニタ２の表示画面２４に示される画面基準線）と図５に示すカーフＫの中心線Ｋｃとを一致させる。カーフずれ補正設定部９２は、この際の撮像手段４の移動量Ｌｙ２をカーフずれ量Ｌｙ２が発生した方向（＋Ｙ方向）の反対方向（－Ｙ方向）とひもづけて、補正値Ｌｙ２として図１に示す記憶部９９に記憶させる。

これによって、制御手段９による制御の下で、被加工物Ｗにこれから新たにカーフＫを形成していく際の図１に示すＹ軸移動手段１２による加工手段１７のインデックス送り時に該補正値Ｌｙ２をヘアライン補正量として適用することで、図５に示す被加工物Ｗに形成されたカーフＫのカーフずれ量が発生した方向の反対方向、即ち、カーフずれ方向を打ち消す方向に補正値Ｌｙ２だけ移動させた位置を加工手段１７の切削ブレード１７３の実加工位置とすることが可能となる。

ストリートずれ量認識部９１は、ティーチング処理時に記憶した図２に示すターゲット画像ＧＴを用いて、図５に示す撮像画像ＧＢ中のアライメントマークＭＡをパターンマッチングにより検出する。
図１に示す記憶部９９には、ティーチング処理時において、図２に示すアライメントマークＭＡの中心から拡がる前のストリートＳの幅の中心を通る中心線Ｓｄまでの距離Ｌｙ１が記憶されている。そして、ストリートずれ量認識部９１による制御の下で、撮像手段４がＹ軸移動手段１２によってＹ軸方向に距離Ｌｙ１だけ移動する。そして、ストリートずれ量認識部９１は、アライメントマークＭＡの中心に撮像手段４のヘアライン中心線２４ｃが位置づけられるか否かを確認し、位置づけられない場合には図５に示す撮像画像ＧＢにおいてストリートずれが発生していると判断する。

該判断を行ったストリートずれ量認識部９１による制御の下で、撮像手段４がＹ軸移動手段１２によってさらにＹ軸方向に移動され、撮像手段４の撮像視野に設定されているヘアライン中心線２４ｃ（モニタ２の表示画面２４に示される画面基準線）とアライメントマークＭＡの中心とが一致する。この両者の一致を行った際の撮像手段４のＹ軸方向におけるさらなる移動量Ｌｙ３が、図５に示すストリートずれ量Ｌｙ３としてストリートずれ量認識部９１によって認識される。ストリートずれ量Ｌｙ３は、例えば、幅ＳＬが拡がった後の図５に示す幅ＳＭのストリートＳの中心線Ｓｅからヘアライン中心線２４ｃまでの距離である。

ストリートずれ補正設定部９３は、ストリートずれ量認識部９１が認識したストリートずれ量Ｌｙ３を無くすように、Ｙ軸方向におけるストリートずれ量Ｌｙ３が発生した方向（＋Ｙ方向）の反対方向（－Ｙ方向）でストリートずれ量Ｌｙ３の補正値を設定する。即ち、ストリートずれ補正設定部９３は、撮像手段４の移動量Ｌｙ３をストリートずれ量Ｌｙ３が発生した方向（＋Ｙ方向）の反対方向（－Ｙ方向）とひもづけて記憶部９９に記憶させる。これによって、制御手段９による制御の下で、被加工物Ｗに新たにカーフＫを形成していく際のＹ軸移動手段１２による加工手段１７のインデックス送り時に該補正値Ｌｙ３をカット位置補正量として適用することで、図５に示すストリートずれ量が発生した方向の反対方向、即ち、ストリートずれ方向を打ち消す方向に補正値Ｌｙ３だけ移動させた位置を加工手段１７の切削ブレード１７３の実加工位置とすることが可能となる。

図１に示すカーフずれ補正設定部９２による上記カーフずれ補正の設定とストリートずれ補正設定部９３による上記ストリートずれ補正の設定とを実施した後、制御手段９による制御の下で、再び被加工物Ｗが加工手段１７で切削加工される。即ち、被加工物Ｗを保持する保持手段１５が所定の切削送り速度で例えば＋Ｘ方向側に送り出されることで、回転する切削ブレード１７３がストリートＳに沿って被加工物Ｗの表面Ｗａ側から切り込んでいく。

切削ブレード１７３が新たな一本のストリートＳを切削し終えるＸ軸方向の所定の位置まで被加工物Ｗが送られると、被加工物Ｗの切削送りが一度停止され、切削ブレード１７３が被加工物Ｗから離間し、次いで、Ｙ軸移動手段１２が切削ブレード１７３をＹ軸方向にインデックス送りしながら、保持手段１５が－Ｘ方向に移動し原点位置に戻る。該インデックス送りにおいては、Ｙ軸移動手段１２による加工手段１７のＹ軸方向へのインデックス送りの送り量が、上述したヘアライン補正量である補正値Ｌｙ２及びカット位置補正量である補正値Ｌｙ３に応じて補正される。

（判断部９４による撮像手段４の取り付けの緩み発生の有無の判断の実施形態１）
カーフずれ補正設定部９２によるカーフずれ補正の設定とストリートずれ補正設定部９３によるストリートずれ補正の設定とを実施した後、被加工物Ｗを加工手段１７で上記のように切削加工し、被加工物Ｗに新たなカーフを例えば数本形成する。

図１に示す制御手段９による制御の下で、加工手段１７が例えば被加工物ＷにストリートＳに沿って数本の新たなカーフを形成した直後に、保持手段１５による被加工物Ｗの切削送り等が停止し該カーフを被加工物Ｗに形成する加工を停止する。そして、撮像手段４の撮像視野内に位置付けられている新たなカーフが、撮像手段４により撮像される。そして、被加工物Ｗの表面Ｗａの新たなカーフＫ１、ストリートＳ、及びデバイスＤ等が写った図６に示す撮像画像ＧＣがモニタ２の表示画面２４に表示される。

図１に示すように、制御手段９は、切削加工中に生じ得る撮像手段４の取り付けの緩みの発生の有無を判断する判断部９４を備えている。以下に、撮像手段４の取り付け緩みの発生の有無の判断を判断部９４がどのように行っていくかについて説明する。
例えば、図６に示すように、新たなカーフＫ１を撮像した撮像画像ＧＣにおいて、先に説明したように、カーフずれ補正設定部９２によるカーフずれ補正の設定とストリートずれ補正設定部９３によるストリートずれ補正の設定とを既に実施後にもかかわらず、カーフずれ量認識部９０が、モニタ２の表示画面２４に表示されているヘアライン中心線２４ｃに対して被加工物Ｗに新たに形成されたカーフＫ１の中心線Ｋ１ｃがＹ軸方向にずれたカーフずれ量を新たに認識し、また、ストリートずれ量認識部９１がストリートずれ量、即ち、ストリートＳの中心線Ｓｅとヘアライン中心線２４ｃとの間のズレ量を新たに認識する場合がある。

図１に示すカーフずれ量認識部９０が新たに認識したカーフずれ量が、例えば、図６に示すカーフずれ量Ｌｙ４となり、図１に示すストリートずれ量認識部９１が新たに認識したストリートずれ量が、図６に示すストリートずれ量Ｌｙ４となり、カーフずれ量Ｌｙ４とストリートずれ量Ｌｙ４が一致した値になったとする。なお、カーフずれ量認識部９０によるカーフずれ量Ｌｙ４の認識手順、及びストリートずれ量認識部９１によるストリートずれ量Ｌｙ４の認識手順は、先に説明した手順と同様に行われる。

カーフずれ補正設定部９２によるカーフずれ補正の設定とストリートずれ補正設定部９３によるストリートずれ補正の設定とを既に実施しているにもかかわらず、図６に示すように、新たに認識されたカーフずれ量Ｌｙ４と新たに認識されたストリートずれ量Ｌｙ４とが一致するのは、図１に示す撮像手段４の加工手段１７のハウジング１７１に対する取り付けが切削加工中に発生する振動等によって緩んでしまったことに起因する。なお、本発明の発明者は過去に行った実験から、上記因果関係を発見した。

そして、判断部９４は、カーフずれ補正設定部９２によるカーフずれ補正の設定とストリートずれ補正設定部９３によるストリートずれ補正の設定とを既に実施しているにもかかわらず、図６に示すように、新たに認識されたカーフずれ量Ｌｙ４と新たに認識されたストリートずれ量Ｌｙ４とが一致したことから、撮像手段４の取り付けが緩んでいる可能性があると判断する。

例えば、判断部９４は、撮像手段４の取り付けが緩んでいる可能性があると判断した場合には、オペレータに対する警告を装置スピーカーから発報又はモニタ２の表示画面２４で表示してもよい。オペレータが、該警告によって撮像手段４の取り付けの緩みが発生した可能性があることを認識したら、例えば、加工装置１を一度停止させて撮像手段４の取り付けのメンテナンスを行うことができる。したがって、加工装置１において、カーフずれ補正設定部９２によるカーフずれ補正の設定とストリートずれ補正設定部９３によるストリートずれ補正の設定とを再び繰り返しながら加工を行っていく必要が無くなり、制御手段９に掛かる負荷を軽減することが可能となる。

なお、カーフずれ補正設定部９２によるカーフずれ補正の設定とストリートずれ補正設定部９３によるストリートずれ補正の設定とを既に実施しているにもかかわらず、カーフずれ量認識部９０により新たにカーフずれ量が認識されてしまい、また、ストリートずれ量認識部９１により新たにストリートずれ量が認識されてしまい、かつ該両ずれ量が一致していない場合には、被加工物Ｗが保持手段１５に対して中心がずれて吸引保持されてしまっていたり、先に実施したカーフずれ補正やカット位置補正における各補正値の設定に誤りが発生してしまっていたりすることが疑われる。

（判断部９４による撮像手段４の取り付けの緩み発生の有無の判断の実施形態２）
制御手段９に含まれる判断部９４による撮像手段４の取り付け緩みの発生の有無の判断は、上記実施形態１のように行われる代わりに、以下に説明する実施形態２のように行われてもよい。
カーフずれ補正設定部９２によるカーフずれ補正の設定とストリートずれ補正設定部９３によるストリートずれ補正の設定とを実施した後、制御手段９による制御の下で、被加工物Ｗを加工手段１７で切削加工し、被加工物Ｗに新たなカーフを例えば数本形成した直後に、保持手段１５による被加工物Ｗの切削送り等を停止させ該カーフを被加工物Ｗに形成する加工を停止する。そして、図１に示す撮像手段４の撮像視野内に位置付けられている図７に示す新たなカーフＫ１が、撮像手段４により撮像される。そして、被加工物Ｗの表面Ｗａの新たなカーフＫ１、ストリートＳ、及びデバイスＤ等が写った図７に示す撮像画像ＧＤがモニタ２の表示画面２４に表示される。

例えば、図７に示すように、新たなカーフＫ１を撮像した撮像画像ＧＤにおいて、先に説明したように、図１に示すカーフずれ補正設定部９２によるカーフずれ補正の設定とストリートずれ補正設定部９３によるストリートずれ補正の設定とを既に実施した後にもかかわらず、カーフずれ量認識部９０が、モニタ２の表示画面２４に表示されているヘアライン中心線２４ｃに対して被加工物Ｗに新たに形成されたカーフＫ１の中心線Ｋ１ｃがＹ軸方向にずれたカーフずれ量を新たに認識する場合がある。又は、ストリートずれ量認識部９１がストリートずれ量、即ち、ストリートＳの中心線Ｓｅとヘアライン中心線２４ｃとの間のズレ量を新たに認識する場合がある。

図１に示す制御手段９の記憶部９９には、予め、図７に示すカーフずれ量Ｌｙ５に対するカーフずれ閾値Ｌｙ６が設定されている、及びストリートずれ量Ｌｙ７に対するストリートずれ閾値Ｌｙ６が設定されている。該２つの閾値は、実験的、経験的、又は理論的に、撮像手段４の取り付けが緩んでいる可能性の有無を判断部９４が判断するために設定される数値である。なお、予め設定されるカーフずれ量に対するカーフずれ閾値と予め設定されるストリートずれ量に対するストリートずれ閾値とは異なる数値であってもよい。

一例として、図１に示すカーフずれ量認識部９０が新たに認識したカーフずれ量が、例えば、図７に示すようにカーフずれ量Ｌｙ５となり、ストリートずれ量認識部９１が新たに認識したストリートずれ量が図７に示すＬｙ７となった場合について説明する。カーフずれ量認識部９０によるカーフずれ量Ｌｙ５の認識手順及びストリートずれ量認識部９１によるストリートずれ量Ｌｙ７の認識手順は、先に説明した手順と同様に行われる。

図１に示す判断部９４は、図７に示すように、ストリートずれ量認識部９１が新たに認識したストリートずれ量Ｌｙ７が、ストリートずれ閾値Ｌｙ６以上の場合に撮像手段４の取り付けが緩んでいる可能性があると判断する。また、カーフずれ量認識部９０が新たに認識したカーフずれ量Ｌｙ５がカーフずれ閾値Ｌｙ６以上の場合に撮像手段４の取り付けが緩んでいる可能性があると判断する。
なお、仮に、カーフずれ量認識部９０が新たに認識したカーフずれ量が、予め設定したカーフずれ閾値Ｌｙ６未満となり、一方、ストリートずれ量認識部９１が新たに認識したストリートずれ量が、予め設定したストリートずれ閾値Ｌｙ６以上となった場合においても、判断部９４は撮像手段４の取り付けが緩んでいる可能性があると判断する。
または、カーフずれ量認識部９０が新たに認識したカーフずれ量が、予め設定したカーフずれ閾値Ｌｙ６以上であり、かつ、ストリートずれ量認識部９１が新たに認識したストリートずれ量が、予め設定したストリートずれ閾値Ｌｙ６以上であった場合においても、判断部９４は撮像手段４の取り付けが緩んでいる可能性があると判断する。
例えば、カーフずれ量認識部９０が新たに認識したカーフずれ量が、予め設定したカーフずれ閾値Ｌｙ６未満であり、かつ、ストリートずれ量認識部９１が新たに認識したストリートずれ量が、予め設定したストリートずれ閾値Ｌｙ６未満であった場合には、判断部９４は撮像手段４の取り付けが緩んでいないと判断する。この場合には、被加工物Ｗが保持手段１５に対して中心がずれて吸引保持されてしまっていたり、先に実施したカーフずれ補正やカット位置補正における各補正値の設定に誤りが発生してしまっていたりすることが疑われる。

例えば、判断部９４は、撮像手段４の取り付けが緩んでいる可能性があると判断した場合には、オペレータに対する警告を装置スピーカーから発報又はモニタ２の表示画面２４で表示してもよい。オペレータが、該警告によって撮像手段４の取り付けの緩みが発生した可能性があることを認識したら、例えば、加工装置１を一度停止させて撮像手段４の取り付けのメンテナンスを行うことができる。したがって、加工装置１において、カーフずれ補正設定部９２によるカーフずれ補正の設定とストリートずれ補正設定部９３によるストリートずれ補正の設定とを再び繰り返しながら加工を行っていく必要が無くなり、制御手段９に掛かる負荷を軽減することが可能となる。

本発明に係る加工装置１は上記実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。また、添付図面に図示されている加工装置１の各構成の形状等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

Ｗ：被加工物 Ｗａ：被加工物の表面 Ｗｂ：被加工物の裏面 Ｓ：ストリート Ｄ：デバイス Ｆ：環状フレーム Ｔ：ダイシングテープ
１：加工装置 １０：基台 １００：コラム
１５：保持手段 １５ａ：保持面 １５１：回転手段 １５２：クランプ
１１：Ｘ軸移動手段 １１０：ボールネジ １１２：モータ
１２：Ｙ軸移動手段 １２０：ボールネジ １２２：モータ
１６：Ｚ軸移動手段 １６０：ボールネジ １６２：モータ
１７：加工手段 １７０：スピンドル １７１：ハウジング １７３：切削ブレード
４：撮像手段 ４０：筐体 ４２：照明 ４４：撮像素子
９：制御手段 ９９：記憶部 ９０：カーフずれ量認識部 ９１：ストリートずれ量認識部 ９２：カーフずれ補正設定部 ９３：ストリートずれ補正設定部 ９４：判断部
２：モニタ ２４：表示画面 ２４ａ：ヘアライン ２４ｃ：ヘアライン中心線 ２２：入力画面

Claims (2)

1. ストリートによって区画された領域にデバイスが形成された被加工物を保持する保持面を備える保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を該ストリートに沿って加工する加工手段と、該保持手段を該加工手段に向けて加工送りする方向となるＸ軸方向に移動させるＸ軸移動手段と、該保持手段と該加工手段とを相対的に水平面で該Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に移動させるＹ軸移動手段と、該加工手段に配設され被加工物を上方から撮像する撮像手段と、該撮像手段が撮像した画像を画面に表示するとともに画面基準線となるヘアラインを表示するモニタと、装置制御を行う制御手段と、を備える加工装置であって、
   該制御手段は、
   該撮像手段が撮像し該モニタに表示された画像を用いて、該ヘアラインに対して該加工手段によって被加工物に形成されたカーフの中心が該Ｙ軸方向にずれたカーフずれ量を認識するカーフずれ量認識部と、
   該画像を用いて、該ヘアラインに対して該ストリートの中心が該Ｙ軸方向にずれたストリートずれ量を認識するストリートずれ量認識部と、
   該カーフずれ量認識部が認識した該カーフずれ量を無くすように、該Ｙ軸方向における該カーフずれ量が発生した方向の反対方向で該カーフずれ量分の補正値を設定するカーフずれ補正設定部と、
   該ストリートずれ量認識部が認識した該ストリートずれ量を無くすように、該Ｙ軸方向における該ストリートずれ量が発生した方向の反対方向で該ストリートずれ量分の補正値を設定するストリートずれ補正設定部と、
   該撮像手段の取り付けの緩みの発生の有無を判断する判断部と、を備え、
   該制御手段による制御の下で、該保持手段に保持された被加工物に該加工手段で該ストリートに沿ってカーフを形成する加工を一時停止させ、該撮像手段で被加工物に形成された該カーフを撮像した画像において、該カーフずれ補正設定部によるカーフずれ補正の設定と該ストリートずれ補正設定部によるストリートずれ補正の設定とを実施した後、被加工物を該加工手段で加工し、被加工物に新たなカーフを形成し、該撮像手段で該新たなカーフを撮像し、
   該判断部は、該新たなカーフを撮像した画像において、該カーフずれ量認識部が新たにカーフずれ量を認識し、該ストリートずれ量認識部が新たにストリートずれ量を認識し、かつ該新たに認識されたカーフずれ量と該新たに認識されたストリートずれ量とが一致していたら、該撮像手段の取り付けが緩んでいる可能性があると判断する加工装置。
2. ストリートによって区画された領域にデバイスが形成された被加工物を保持する保持面を備える保持手段と、該保持手段に保持された被加工物を該ストリートに沿って加工する加工手段と、該保持手段を該加工手段に向けて加工送りする方向となるＸ軸方向に移動させるＸ軸移動手段と、該保持手段と該加工手段とを相対的に水平面で該Ｘ軸方向に直交するＹ軸方向に移動させるＹ軸移動手段と、該加工手段に配設され被加工物を上方から撮像する撮像手段と、該撮像手段が撮像した画像を画面に表示するとともに画面基準線となるヘアラインを表示するモニタと、装置制御を行う制御手段と、を備える加工装置であって、
   該制御手段は、
   該撮像手段が撮像し該モニタに表示された画像を用いて、該ヘアラインに対して該加工手段によって被加工物に形成されたカーフの中心が該Ｙ軸方向にずれたカーフずれ量を認識するカーフずれ量認識部と、
   該画像を用いて、該ヘアラインに対して該ストリートの中心が該Ｙ軸方向にずれたストリートずれ量を認識するストリートずれ量認識部と、
   該カーフずれ量認識部が認識した該カーフずれ量を無くすように、該Ｙ軸方向における該カーフずれ量が発生した方向の反対方向で該カーフずれ量分の補正値を設定するカーフずれ補正設定部と、
   該ストリートずれ量認識部が認識した該ストリートずれ量を無くすように、該Ｙ軸方向における該ストリートずれ量が発生した方向の反対方向で該ストリートずれ量分の補正値を設定するストリートずれ補正設定部と、
   該撮像手段の取り付けの緩みの発生の有無を判断する判断部と、を備え、
   該制御手段による制御の下で、該保持手段に保持された被加工物に該加工手段で該ストリートに沿ってカーフを形成する加工を一時停止させ、該撮像手段で被加工物に形成された該カーフを撮像した画像において、該カーフずれ補正設定部によるカーフずれ補正の設定と該ストリートずれ補正設定部によるストリートずれ補正の設定とを実施した後、被加工物を該加工手段で加工し、被加工物に新たなカーフを形成し、該撮像手段で該新たなカーフを撮像し、
   該判断部は、該新たなカーフを撮像した画像において、該カーフずれ量認識部が新たに認識したカーフずれ量が予め設定したカーフずれ閾値以上の場合、又は該ストリートずれ量認識部が新たに認識したストリートずれ量が予め設定したストリートずれ閾値以上の場合に、該撮像手段の取り付けが緩んでいる可能性があると判断する加工装置。

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